JP2003068802A - Chip spacer and manufacturing method therefor - Google Patents

Chip spacer and manufacturing method therefor

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JP2003068802A
JP2003068802A JP2001252060A JP2001252060A JP2003068802A JP 2003068802 A JP2003068802 A JP 2003068802A JP 2001252060 A JP2001252060 A JP 2001252060A JP 2001252060 A JP2001252060 A JP 2001252060A JP 2003068802 A JP2003068802 A JP 2003068802A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that the manufacturing efficiency of a TAB spacer tape cannot be improved since a hole is previously formed in a tape body and injection is performed by accurately matching it with the positioning of the hole and a spacer projection is formed as injection molding is performed for manufacturing the TAB spacer tape. SOLUTION: The tape body 2 and the spacer projection 3 are separately manufactured, they are mutually fixed and the TAB spacer tape 1 is manufactured. Consequently, it is not necessary to make holes in the tape body 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、チップスペーサ及
びその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip spacer and its manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】本出願人は、嘗て、TAB(テープオー
トメーテットボンディング)用キャリアテープをリール
に巻回保持する場合に好適に使用できるTAB用スペー
サテープを提案している(特公平8−1916号公報参
照)。TAB用キャリアテープは、フレキシブルな材料
によって形成されたテープ状のキャリアテープ本体(以
下、「フレキシブル基材」と言う)に対し、その長手方
向に沿ってLSI等の半導体チップを所定間隔で配置
し、個々の半導体チップまわりに設けたテストパッドに
対してインナーリード及びアウターリードをボンディン
グさせたものである。
2. Description of the Related Art The present applicant has proposed a TAB spacer tape which can be suitably used when a TAB (tape automated mating) carrier tape is wound and held on a reel (Japanese Patent Publication No. 8-1916). (See the official gazette). The TAB carrier tape is a tape-shaped carrier tape body (hereinafter referred to as "flexible base material") formed of a flexible material, in which semiconductor chips such as LSI are arranged at predetermined intervals along the longitudinal direction. An inner lead and an outer lead are bonded to a test pad provided around each semiconductor chip.

【0003】なお、このようなTAB用キャリアテープ
と原理的によく似たもの(形状は別異)に、COF(チ
ップONフレキシブルプリントサーキット)等があり、
本件出願はこのCOF等に対しても適用できるので、本
明細書では、以下これらを総じて「チップ搬送体」と言
うこととする。この種のチップ搬送体は、上記したよう
なリールへの巻回時などに重合状態にされるが、この重
合をチップ搬送体単独で直接的に行ってしまうと半導体
チップ同士が当接しあうことになり、半導体チップ自体
の損傷や、テストパッド、インナーリード、アウターリ
ード等のボンディング部が損傷するおそれがある。
Incidentally, there is a COF (chip-on flexible printed circuit) or the like that is similar in principle to the TAB carrier tape (the shape is different).
Since the present application is also applicable to this COF and the like, in the present specification, these are collectively referred to as "chip carrier". This type of chip carrier is put into a superposed state when it is wound around the reel as described above. However, if this superposition is carried out directly by the chip carrier alone, semiconductor chips may come into contact with each other. Therefore, the semiconductor chip itself may be damaged, or the bonding parts such as the test pad, the inner lead, and the outer lead may be damaged.

【0004】そこで、このような不都合を避けるため
に、上記したTAB用スペーサテープをチップ搬送体の
相互重合間へ挟み込んで、半導体チップ同士の当接を防
止するというものであった。ところで、このTAB用ス
ペーサテープは、樹脂製のテープ本体に対してスペーサ
用の突起をインジェクション成形によって一体に設けた
ものである。すなわち、このインジェクション成形は、
テープ本体の幅方向両側に、テープ本体の長手方向に沿
って一定間隔で予め孔を列設しておき、これらの各孔を
目掛けてスペーサ用突起の材料となる樹脂を個々に噴射
することで、孔を介してテープ本体の表裏両面へスペー
サ用突起を付着形成させるというものであった。
Therefore, in order to avoid such inconvenience, the above-mentioned TAB spacer tape is sandwiched between the mutual superpositions of the chip carriers to prevent the semiconductor chips from contacting each other. By the way, in this TAB spacer tape, protrusions for spacers are integrally provided on a resin tape body by injection molding. That is, this injection molding is
Holes are provided in advance on both sides of the tape body in the width direction at regular intervals along the longitudinal direction of the tape body, and each of these holes is used as a target to individually inject the resin that will be the material for the spacer protrusions. Then, spacer protrusions are attached and formed on both front and back surfaces of the tape body through the holes.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記したようにインジ
ェクション成形を行うには、テープ本体へ予め孔を形成
しておかなければならない。これは、テープ本体に対す
るスペーサ用突起の固着力を確保するためである。しか
し、これに伴い、孔あけの工程が面倒となることは言う
までもなく、また1回1回のインジェクションをこれら
の孔の位置付けに正確に一致させながら進めなければな
らないということや、更には1回1回のインジェクショ
ンによって噴出される樹脂量を正確に制御しなければな
らないというようなことがあった。
In order to carry out injection molding as described above, it is necessary to form holes in the tape body in advance. This is to secure the fixing force of the spacer projections to the tape body. However, along with this, it goes without saying that the hole-drilling process becomes troublesome, and that it is necessary to carry out injection once at a time exactly in accordance with the positioning of these holes, or even once. There was a case where the amount of resin ejected by one injection had to be accurately controlled.

【0006】従って、これらのことがネックとなり、T
AB用スペーサテープの製造効率を高めることが困難に
なっていた。のみならず、上記のような製造手順が技術
的背景としてあるために、例えばテープ本体に対してス
ペーサ用突起を列設するピッチを異ならせたり、或いは
テープ本体の片面にだけスペーサ用突起を設けたりする
といったことに対しては、柔軟な対応が採りにくいとい
うことがあった。本発明は、上記事情に鑑みてなされた
ものであって、TAB用スペーサテープをはじめとする
各種のチップスペーサ(COF等にも適用できるもの)
として、製造の容易化をはかってその製造効率を高める
ことができ、また製造コストを低廉化できるものとし、
更に種々の設計変更にも柔軟に対応できるようにしたチ
ップスペーサ及びその製造方法を提供することを目的と
する。
Therefore, these things become a bottleneck, and T
It has been difficult to improve the manufacturing efficiency of the AB spacer tape. In addition, since the manufacturing procedure as described above is the technical background, for example, the pitch for arranging the spacer protrusions on the tape body is different, or the spacer protrusions are provided only on one surface of the tape body. It was difficult to take a flexible response to such a situation. The present invention has been made in view of the above circumstances, and various chip spacers including TAB spacer tapes (also applicable to COF and the like).
As a result, the manufacturing efficiency can be improved by facilitating the manufacturing, and the manufacturing cost can be reduced.
Further, it is an object of the present invention to provide a chip spacer and a manufacturing method thereof that can flexibly cope with various design changes.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は次の手段を講じた。即ち、本発に係るチッ
プスペーサは、TABやCOF等に対して適用できるも
のであって、上記したチップ搬送体(半導体チップをフ
レキシブル基材に所定配置で保持させたもの)を相互に
重合させるときに、その重合間に介在させて使用するも
のである。そして、このチップスペーサは、フレキシブ
ルなベース材と、このベース材の少なくとも一方面に突
設されたスペーサ用突起とを有している。
In order to achieve the above object, the present invention takes the following means. That is, the chip spacer according to the present invention is applicable to TAB, COF, etc., and the above-described chip carrier (a semiconductor chip held on a flexible base material in a predetermined arrangement) is polymerized with each other. It is sometimes used by interposing it during the polymerization. The chip spacer has a flexible base material and spacer projections protruding from at least one surface of the base material.

【0008】ベース材は、従来のTAB用スペーサテー
プで言えばテープ本体に相当するものである。このベー
ス材に対し、スペーサ用突起は、チップ搬送体の半導体
チップに干渉しない位置付けとされ、且つこの半導体チ
ップを越えた突出量を有したものとされている。そして
本発明では、ベース材とスペーサ用突起とがそれぞれ各
別に製作されたうえで、互いに固着されたものとなって
いる。
The base material corresponds to the tape main body in the conventional TAB spacer tape. The spacer projection is positioned with respect to the base material so as not to interfere with the semiconductor chip of the chip carrier, and has a protrusion amount beyond the semiconductor chip. In the present invention, the base material and the spacer projections are separately manufactured and then fixed to each other.

【0009】このように、スペーサ用突起をベース材と
は別に製作して、互いに固着する構造としておけば、ベ
ース材に対してわざわざ孔を列設する必要はなくなる。
そのため、ベース材に対するスペーサ用突起の位置付け
は、孔位置による拘束を何ら受けるものではなく、任意
となる。このような構成のチップスペーサであれば、例
えば、スペーサ用突起をベース材の片面にのみ設けるよ
うにすることや、ベース材の両面間で位置付けを不一致
とさるようにすることも簡単にできることになる。
As described above, if the spacer projections are manufactured separately from the base material and are fixed to each other, it is not necessary to form holes in the base material.
Therefore, the positioning of the spacer projections with respect to the base material is not limited by the position of the hole and is arbitrary. With the chip spacer having such a configuration, for example, it is possible to easily provide the spacer protrusion only on one surface of the base material or to make the positioning mismatch between both surfaces of the base material. Become.

【0010】そして、上記説明から自明なように、本発
明に係るチップスペーサの製造方法では、ベース材とス
ペーサ用突起とを予め各別に製作し、これら両者を互い
に固着するという手順を採るものである。
As is apparent from the above description, in the method of manufacturing the chip spacer according to the present invention, the base material and the spacer projection are separately manufactured in advance, and the two are fixed to each other. is there.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づき説明する。図3乃至図5は、本発明に係るチ
ップスペーサ1の第1実施形態を示している。また図1
及び図2は、このチップスペーサ1の製造方法における
一工程を示している。このチップスペーサ1は、ベース
材2と、このベース材2に設けられたスペーサ用突起3
とを有している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 3 to 5 show a first embodiment of the chip spacer 1 according to the present invention. See also FIG.
2A and 2B show one step in the method for manufacturing the chip spacer 1. The chip spacer 1 includes a base material 2 and spacer projections 3 provided on the base material 2.
And have.

【0012】図5に示すように、この第1実施形態のチ
ップスペーサ1は、チップ搬送体5がTAB用キャリア
テープの場合であり、且つこのチップ搬送体5をリール
6に巻回保持する場合に使用するものとされている。従
って、図3から明らかなように、ベース材2はチップ搬
送体5のフレキシブル基材7と同じくテープ状に形成さ
れている。また、スペーサ用突起3はベース材2の幅方
向両側に設けられており、且つ当該ベース材2の長手方
向に沿って一定間隔で列設されている。
As shown in FIG. 5, in the chip spacer 1 of the first embodiment, the chip carrier 5 is a TAB carrier tape, and the chip carrier 5 is wound around a reel 6 and held. It is supposed to be used for. Therefore, as is clear from FIG. 3, the base material 2 is formed in a tape shape like the flexible base material 7 of the chip carrier 5. Further, the spacer protrusions 3 are provided on both sides of the base material 2 in the width direction, and are arranged in rows along the longitudinal direction of the base material 2 at regular intervals.

【0013】更に、スペーサ用突起3はベース材2の表
裏両面で突出しており、この表裏両面間でスペーサ用突
起3の配置は、チップ搬送体5の長手方向及び幅方向の
双方で一致したものとなっている。ベース材2とスペー
サ用突起3とは、それぞれ別々の独立した製作工程を経
て製作される。ここにおいて、ベース材2の幅寸法はチ
ップ搬送体5の幅寸法と略同じに形成されている(図5
参照)。そして、このベース材2(スペーサ用突起3を
設ける前の段階にあるもの)には、スペーサ用突起3を
設ける予定位置へ孔を設けておく必要はないものとされ
ている。
Further, the spacer protrusions 3 are projected on both front and back surfaces of the base material 2, and the spacer protrusions 3 are arranged on both front and back surfaces in the longitudinal direction and the width direction of the chip carrier 5. Has become. The base material 2 and the spacer protrusions 3 are manufactured through separate and independent manufacturing processes. Here, the width dimension of the base material 2 is formed to be substantially the same as the width dimension of the chip carrier 5 (FIG. 5).
reference). The base material 2 (which is in a stage before the spacer protrusion 3 is provided) does not need to be provided with a hole at a position where the spacer protrusion 3 is to be provided.

【0014】このベース材2は、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリエステルイミド、ポリイミド等のフレキシ
ブル性を有する合成樹脂により形成されている。勿論、
その他の樹脂材を用いて形成することもできる。これに
対し、各スペーサ用突起3におけるその高さ寸法は、少
なくともチップ搬送体5の表裏面上で半導体チップ8が
膨出している肉厚寸法を超えた突出量となるように形成
されている。なお、ベース材2の長手方向に沿ったスペ
ーサ用突起3の突端平面大きさM(図4参照)は、ベー
ス材2の長手方向におけるスペーサ用突起3の相互間隔
(隙間)Lよりも大きくなるように形成しておけばよい
(特公平8−1916号公報参照)。
The base material 2 is formed of a flexible synthetic resin such as polyethylene terephthalate, polyester imide or polyimide. Of course,
It can also be formed using other resin materials. On the other hand, the height of each of the spacer projections 3 is formed so as to exceed at least the thickness of the semiconductor chip 8 bulging on the front and back surfaces of the chip carrier 5. . In addition, the protrusion end plane size M (see FIG. 4) of the spacer projections 3 along the longitudinal direction of the base material 2 is larger than the mutual interval (gap) L of the spacer projections 3 in the longitudinal direction of the base material 2. It may be formed as described above (see Japanese Patent Publication No. 8-1916).

【0015】このようなスペーサ用突起3の形状や形成
材料、更にはその製作方法は何ら限定されるものではな
い。例えば、スペーサ用突起3の形状としては、側面視
形状を台形状、三角形状、半円状、角形状等とすればよ
く、また平面視形状も円形状や角形状等とすればよい。
また、このスペーサ用突起3は、中実構造としても、中
空構造としてもよい。またスペーサ用突起3の製作方法
としては、インジェクション(絞り出し的なものや滴下
的なものを含む)をはじめとして、棒状成形品からの切
り出しなど、種々の造粒方法によって小球化させればよ
いものである。
The shape and forming material of the spacer protrusions 3 and the manufacturing method thereof are not limited in any way. For example, the shape of the spacer protrusions 3 may be trapezoidal, triangular, semicircular, angular, or the like in a side view, and may be circular or angular in a plan view.
The spacer protrusion 3 may have a solid structure or a hollow structure. As a method of manufacturing the spacer protrusions 3, small particles may be formed by various granulation methods such as injection (including squeezing and dropping) and cutting out from a rod-shaped molded product. It is a thing.

【0016】スペーサ用突起3の形成材料としては、ポ
リプロピレン、ポリアセタール、ポリエチレン等の耐熱
性及び耐薬品性を有する合成樹脂を使用することができ
る。勿論、その他の樹脂材を用いて形成することもでき
る。このようにして各別に製作されるベース材2とスペ
ーサ用突起3とを互いに固着する方法としては、接着剤
や有機溶剤を用いた接着、超音波接着、加熱融着(溶
着)などを行えばよい。ベース材2の幅方向に対するス
ペーサ用突起3の相互間ピッチW(図5参照)は、チッ
プ搬送体5に設けられた半導体チップ8と、この半導体
チップ8のまわりにインナーリード及びアウターリード
のボンディング部9を介して設けられたテストパッド1
0群とを跨ぐ寸法に保持されている。
A synthetic resin having heat resistance and chemical resistance such as polypropylene, polyacetal, polyethylene or the like can be used as a material for forming the spacer protrusions 3. Of course, it can also be formed using other resin materials. As a method of fixing the base material 2 and the spacer protrusions 3 separately manufactured in this way to each other, adhesion using an adhesive or an organic solvent, ultrasonic bonding, heat fusion (welding), etc. may be performed. Good. The mutual pitch W (see FIG. 5) of the spacer protrusions 3 with respect to the width direction of the base material 2 is determined by the semiconductor chip 8 provided on the chip carrier 5 and the bonding of the inner lead and the outer lead around the semiconductor chip 8. Test pad 1 provided via the section 9
The size is held across the 0 group.

【0017】ベース材2とスペーサ用突起3とを互いに
固着してできたチップスペーサ1は、チップ搬送体5
(TAB用キャリアテープ)をリール6に巻回保持する
場合に、チップ搬送体5の重合間に挟み込み、半導体チ
ップ8同士が当接するのを防止させるようにして使用す
る。図6は、本発明に係るチップスペーサ1の第2実施
形態を示している。この第2実施形態のチップスペーサ
1が上記した第1実施形態と異なるところは、ベース材
2に対してその片面にのみスペーサ用突起3が設けられ
ている点にある。
The chip spacer 1 formed by fixing the base material 2 and the spacer projection 3 to each other is a chip carrier 5.
When the (TAB carrier tape) is wound and held on the reel 6, the TAB carrier tape is used by being sandwiched between the superposed chip carrier bodies 5 to prevent the semiconductor chips 8 from contacting each other. FIG. 6 shows a second embodiment of the chip spacer 1 according to the present invention. The chip spacer 1 of the second embodiment is different from that of the first embodiment described above in that the spacer projection 3 is provided only on one surface of the base material 2.

【0018】上記したように、本発明の製造方法ではベ
ース材2に対してスペーサ用突起3を設けるための孔を
形成させているものではないので、この第2実施形態の
ようなスペーサ用突起3の設けかたをすることも簡単に
対応できるものである。なお、その他の構成及び作用効
果は、第1実施形態と略同様であるので、ここでの詳説
は省略する。図7は、本発明に係るチップスペーサ1の
第3実施形態を示している。この第3実施形態では、第
1実施形態の場合と同様に、ベース材2に対してその表
裏両面にスペーサ用突起3が設けられている。ただし、
ベース材2の表裏面間でのスペーサ用突起3の位置付け
は半ピッチ分だけずれたものとなっている。
As described above, according to the manufacturing method of the present invention, the holes for forming the spacer protrusions 3 are not formed in the base material 2. Therefore, the spacer protrusions of the second embodiment are not formed. It is also possible to easily provide the method of providing 3. Since the other configurations, functions and effects are substantially the same as those of the first embodiment, detailed description thereof is omitted here. FIG. 7 shows a third embodiment of the chip spacer 1 according to the present invention. In the third embodiment, similarly to the case of the first embodiment, the spacer projections 3 are provided on both front and back surfaces of the base material 2. However,
The positioning of the spacer protrusions 3 between the front and back surfaces of the base material 2 is shifted by a half pitch.

【0019】なお、その他の構成及び作用効果は、第1
実施形態と略同様であるので、ここでの詳説は省略す
る。以上、第1実施形態乃至第3実施形態を説明してき
たところから明らかなように、本発明ではベース材2と
スペーサ用突起3とを各別に製作してから、これら両者
を互いに固着する構造及び製造方法であるので、スペー
サ用突起3の位置付けは任意に変更できるものである。
従って、上記した各実施形態以外にも、例えばベース材
2の幅方向一方側だけにスペーサ用突起3を設けるよう
なことや、ベース材2の長手方向途中でスペーサ用突起
3の配置ピッチを異ならせるようなこと、更にはスペー
サ用突起3を全体としてランダム配置にすることなども
可能となる。
The other constructions and effects are as follows.
Since it is substantially the same as the embodiment, detailed description thereof will be omitted. As is apparent from the above description of the first to third embodiments, in the present invention, the base member 2 and the spacer protrusion 3 are separately manufactured, and then the two members are fixed to each other. Since this is a manufacturing method, the positioning of the spacer protrusions 3 can be arbitrarily changed.
Therefore, in addition to the above-described respective embodiments, for example, the spacer projections 3 may be provided only on one side in the width direction of the base material 2, or the arrangement pitch of the spacer projections 3 may be different in the longitudinal direction of the base material 2. It is also possible to make the spacer projections 3 randomly arranged as a whole.

【0020】本発明は、上記以外にも、更に実施の形態
に応じて適宜変更可能である。例えば、ベース材2はテ
ープ状に形成することが限定されるものではない。
In addition to the above, the present invention can be appropriately modified according to the embodiment. For example, the base material 2 is not limited to be formed in a tape shape.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るチップスペーサ及びその製造方法では、製造が容
易で製造効率が高められ、また製造コストが低廉化され
る。また、種々の設計変更にも柔軟に対応できるもので
ある。
As is apparent from the above description, the chip spacer and the method for manufacturing the same according to the present invention are easy to manufacture, the manufacturing efficiency is improved, and the manufacturing cost is reduced. Moreover, it is possible to flexibly deal with various design changes.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るチップスペーサの製造方法におけ
る一工程を示した側面図である。
FIG. 1 is a side view showing one step in a method for manufacturing a chip spacer according to the present invention.

【図2】図1に続く工程手順を示した側面図である。FIG. 2 is a side view showing a process procedure following FIG.

【図3】本発明に係るチップスペーサの第1実施形態を
示した斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a first embodiment of a chip spacer according to the present invention.

【図4】図3に対応する側面図である。FIG. 4 is a side view corresponding to FIG.

【図5】第1実施形態のチップスペーサにおける使用状
態を示した正面断面図である。
FIG. 5 is a front sectional view showing a usage state of the chip spacer according to the first embodiment.

【図6】本発明に係るチップスペーサの第2実施形態を
示した側面図である。
FIG. 6 is a side view showing a second embodiment of the chip spacer according to the present invention.

【図7】本発明に係るチップスペーサの第3実施形態を
示した側面図である。
FIG. 7 is a side view showing a third embodiment of the chip spacer according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 チップスペーサ 2 ベース材 3 スペーサ用突起。 5 チップ搬送体 7 フレキシブル基材 8 半導体チップ 1 chip spacer 2 base materials 3 Spacer protrusion. 5 chip carrier 7 Flexible base material 8 semiconductor chips

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体チップ(8)をフレキシブル基材
(7)に所定配置で保持させて成るチップ搬送体(5)
を相互に重合させるときにこれらチップ搬送体(5)の
重合間に介在させて使用するチップスペーサであって、 フレキシブルなベース材(2)と該ベース材(2)の少
なくとも一方面に突設されたスペーサ用突起(3)とを
有し、ベース材(2)に対してスペーサ用突起(3)が
上記チップ搬送体(5)の半導体チップ(8)に干渉し
ない配置で且つ当該半導体チップ(8)の肉厚を越えた
突出量とされており、 上記ベース材(2)とスペーサ用突起(3)とが各別に
製作されたうえで互いに固着されていることを特徴とす
るチップスペーサ。
1. A chip carrier (5) comprising a semiconductor substrate (8) held on a flexible substrate (7) in a predetermined arrangement.
A chip spacer to be used by interposing between the chip carriers (5) when they are polymerized with each other, the flexible base member (2) and at least one surface of the base member (2) protruding. And the spacer projections (3) formed so that the spacer projections (3) do not interfere with the semiconductor chip (8) of the chip carrier (5) with respect to the base material (2). A chip spacer characterized in that the protrusion amount exceeds the wall thickness of (8), and the base material (2) and the spacer protrusion (3) are separately manufactured and then fixed to each other. .
【請求項2】 前記スペーサ用突起(3)はベース材
(2)の片面にのみ設けられていることを特徴とする請
求項1記載のチップスペーサ。
2. The chip spacer according to claim 1, wherein the spacer protrusion (3) is provided only on one surface of the base material (2).
【請求項3】 前記スペーサ用突起(3)はベース材
(2)の両面間で位置付けが不一致となっていることを
特徴とする請求項1記載のチップスペーサ。
3. The chip spacer according to claim 1, wherein the spacer projections (3) are not aligned in position on both sides of the base material (2).
【請求項4】 半導体チップ(8)をフレキシブル基材
(7)に所定配置で保持させて成るチップ搬送体(5)
を相互に重合させるときにこれらチップ搬送体(5)の
重合間に介在させて使用するチップスぺーサについてこ
れを製造する方法であって、 フレキシブルなベース材(2)と該ベース材(2)の少
なくとも一方面に突設させるスペーサ用突起(3)とを
予め各別に製作しておき、 しかる後、ベース材(2)に対して、上記チップ搬送体
(5)の半導体チップ(8)とは干渉しない位置へ、該
半導体チップ(8)の肉厚を越える突出量とさせつつス
ペーサ用突起(3)を固着させることを特徴とするチッ
プスペーサの製造方法。
4. A chip carrier (5) comprising a semiconductor substrate (8) held on a flexible substrate (7) in a predetermined arrangement.
A method for producing a chip spacer used by interposing between the chip carriers (5) when they are mutually polymerized, comprising a flexible base material (2) and the base material (2). And a spacer projection (3) to be projected on at least one surface of the chip are prepared in advance, and then the semiconductor chip (8) of the chip carrier (5) and the base material (2) are prepared. Is a method of manufacturing a chip spacer, characterized in that the spacer protrusion (3) is fixed to a position where it does not interfere with the protrusion amount exceeding the wall thickness of the semiconductor chip (8).
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