JP2003068201A - Manufacturing method and sealing device for gas discharge panel - Google Patents

Manufacturing method and sealing device for gas discharge panel

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JP2003068201A
JP2003068201A JP2002234842A JP2002234842A JP2003068201A JP 2003068201 A JP2003068201 A JP 2003068201A JP 2002234842 A JP2002234842 A JP 2002234842A JP 2002234842 A JP2002234842 A JP 2002234842A JP 2003068201 A JP2003068201 A JP 2003068201A
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良樹 佐々木
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Katsuyoshi Yamashita
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Hiroyuki Yonehara
浩幸 米原
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信幸 桐原
Kazuo Otani
和夫 大谷
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for stable production of a gas discharge panel such as PDP having a panel substrate entirely sealed with the top of a partition. SOLUTION: An enclosure 40 of a PDP is put into heating furnace 51 after it is formed to seal the fringes of panels 10 and 20 under the inner pressure of the enclosure 40 controlled to be lower than the outer pressure. The inner pressure of the enclosure 40 is controlled, for example, by exhausting the inner gas through a pipe 26 with a vacuum pump 52. The two panels are pressed and sealed in this way and the top of the partition and the front panel 10 are tightly adhered and sealed as a whole.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電パネルの
製造方法に関し、特に、前面パネルと背面パネルを封着
する工程に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a gas discharge panel, and more particularly to a process of sealing a front panel and a back panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
CRT,液晶ディスプレイ(LCD),プラズマディス
プレイパネル(Plasma Display Panel,以下PDPと記
載する)といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。
2. Description of the Related Art In recent years, while expectations for high-definition and large-screen televisions such as high-definition television are increasing,
In the field of each display such as a CRT, a liquid crystal display (LCD) and a plasma display panel (Plasma Display Panel, hereinafter referred to as PDP), a display suitable for this is being developed.

【0003】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているCRTは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で40インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、LCDは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難さがある。
The CRT, which has been widely used as a display for television from the past, is excellent in resolution and image quality, but it has a large screen of 40 inches or more because the depth and weight increase with the size of the screen. Is not suitable for. Further, although the LCD has excellent performance of low power consumption and low driving voltage, it is technically difficult to manufacture a large screen.

【0004】これに対して、PDPは、小さい奥行きで
大画面を実現することが可能であって、既に50インチ
クラスの製品も開発されている。PDPは、駆動方式に
よって直流型(DC型)と交流型(AC型)とに大別さ
れるが、現在は、微細なセル構造のパネルを形成するの
に適しているAC型が主流となっている。
On the other hand, the PDP can realize a large screen with a small depth, and 50-inch class products have already been developed. PDPs are roughly classified into a direct current type (DC type) and an alternating current type (AC type) according to a driving method. At present, the AC type, which is suitable for forming a panel having a fine cell structure, is mainly used. ing.

【0005】AC型として代表的な交流面放電型PDP
は、一般的に、放電電極を配した前面プレートとアドレ
ス電極を配した背面プレートとが、両電極はマトリック
スを組むように、間隙をおいて平行に配され、両プレー
ト間の間隙は、ストライプ状の隔壁で仕切られている。
そして、隔壁と隔壁との間の溝には、赤,緑,青の蛍光
体層が形成されると共に放電ガスが封入されて構成され
ており、駆動回路で各電極に電圧を印加することによっ
て放電すると、紫外線が放出され、蛍光体層の蛍光体粒
子(赤,緑,青)がこの紫外線を受けて励起発光するこ
とによって画像表示されるようになっている。
AC surface discharge type PDP, which is a typical AC type
In general, a front plate having discharge electrodes and a back plate having address electrodes are arranged parallel to each other with a gap so that both electrodes form a matrix, and the gap between the plates is striped. It is separated by a partition wall.
The red, green, and blue phosphor layers are formed in the groove between the barrier ribs and the discharge gas is sealed therein. By applying a voltage to each electrode in the drive circuit, When discharged, ultraviolet rays are emitted, and the phosphor particles (red, green, blue) in the phosphor layer receive the ultraviolet rays and are excited to emit light, whereby an image is displayed.

【0006】ところで、このようなPDPは、通常、背
面プレート側に隔壁を配設し、隔壁間の溝に蛍光体層を
形成し、その上に前面プレートを重ね合わせることによ
って外囲器(前面プレートと背面プレートが重ね合わさ
れたもので内部空間を有する。)を形成し、この外囲器
における両プレートの外周部を封着材で封着し、外囲器
の内部から真空排気した後、放電ガスを封入することに
よって製造される。
By the way, in such a PDP, usually, partition walls are arranged on the back plate side, a phosphor layer is formed in the groove between the partition walls, and a front plate is superposed on the phosphor layer, whereby an envelope (front surface) is formed. The plate and the back plate are superposed on each other and have an internal space.), And the outer peripheral portions of both plates in this envelope are sealed with a sealing material, and after evacuating from the inside of the envelope, It is manufactured by enclosing a discharge gas.

【0007】この封着材は通常、熱によって軟化する低
融点ガラスであって、前面プレートおよび背面プレート
を対向配置して外囲器を形成する前に、どちらか一方の
プレートの外周部に、低融点ガラスをバインダとの混合
物の状態にしてディスペンサ等で塗布しておき、封着工
程においては、封着材を塗布した箇所から外周端縁にか
けてクリップ等で固定しながら、低融点ガラスの軟化点
以上の温度に加熱焼成することによって封着を行う。
This sealing material is usually a low-melting glass which is softened by heat, and before the front plate and the back plate are arranged to face each other to form an envelope, one of the plates has an outer peripheral portion. The low-melting glass is mixed with a binder and applied with a dispenser or the like.In the sealing step, the low-melting glass is softened while fixing with a clip or the like from the position where the sealing material is applied to the outer peripheral edge. Sealing is performed by heating and baking to a temperature above the point.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
してPDPを作製すると、出来上がったPDPは、隔壁
と前面パネル間に隙間が発生し、しかもその間隙は、隔
壁ごとあるいは各隔壁の中でも場所によってばらつきが
ある。これは、隔壁材料を背面プレート上に積み上げて
隔壁を形成する際にその高さにばらつきが生じること
や、ガス放電パネルの製造工程においては、隔壁の焼成
・蛍光体の焼成・電極の焼成・誘電体層の焼成・封着ガ
ラス層の仮焼成といった加熱を伴う工程が封着工程の前
に行われるので、この加熱工程によってプレートや隔壁
に歪みが生じることなどが原因と考えられる。
However, when the PDP is manufactured in this way, a gap is generated between the partition walls and the front panel in the completed PDP, and the gap is different for each partition wall or within each partition wall depending on the location. There are variations. This is because the height of the barrier rib material varies when the barrier rib material is stacked on the back plate to form the barrier rib, and in the manufacturing process of the gas discharge panel, the barrier rib is fired, the phosphor is fired, and the electrode is fired. Since a process involving heating, such as firing of the dielectric layer and calcination of the sealing glass layer, is performed before the sealing process, it is considered that the heating process causes distortion in the plate and partition walls.

【0009】また、PDPの封着工程において、通常
は、前面プレートおよび背面プレートを位置合わせしな
がら対向配置した後、位置ずれを防ぐためにクリップな
どの締結具で両プレートの外周部を締め付けながら封着
を行っている。ところが、このように外周部を押圧する
と、隔壁の端部を支点とする「てこの作用」によって、
中央部においては隔壁頂部と前面パネルとが互いに離れ
て間隙が形成されやすく、締結具の押圧力がばらついて
いることも多いため、この間隙が不均一に形成されやす
い。
In addition, in the PDP sealing step, usually, the front plate and the back plate are arranged facing each other while being aligned, and then the outer peripheral portions of both plates are tightened by fastening with a fastener such as a clip in order to prevent displacement. I'm wearing clothes. However, when the outer peripheral portion is pressed in this way, by the "leverage action" with the end portion of the partition wall as the fulcrum,
In the central portion, the top of the partition wall and the front panel are separated from each other, and a gap is likely to be formed, and the pressing force of the fastener often varies, so that the gap is likely to be formed unevenly.

【0010】そして、このような間隙が形成されている
状態で封着工程が行われると、作製されたPDPを駆動
して表示する際に、クロストークが発生する原因になっ
たり、放電によるパネルの振動で隔壁とパネル基板の間
で雑音が発生する原因となる。ところで、実開平1−1
13948号公報には、前面プレートおよび背面プレー
トを対向配置する前に、予め隔壁頂部に低融点ガラスを
塗布しておいて、隔壁頂部と前面プレートとの間を接合
するという技術が開示されている。この技術を用いて隔
壁頂部の全体を前面パネルに接着すれば、放電ガスを高
い圧力で封入しても外囲器が膨らむことはなく、また、
隔壁と前面パネルとの間隙を接合材で埋めることができ
るので、上記振動の課題も解決することができる。
If the sealing step is performed in the state where such a gap is formed, it may cause crosstalk when driving the manufactured PDP to display, or a panel due to discharge. Vibration causes noise between the partition wall and the panel substrate. By the way, Actual Kaihei 1-1
Japanese Patent No. 13948 discloses a technique in which a low-melting glass is applied to the tops of partition walls in advance before the front plate and the back plate are opposed to each other, and the tops of the partition walls and the front plate are joined together. . If this technique is used to bond the entire top of the partition wall to the front panel, the envelope will not swell even if the discharge gas is sealed at a high pressure.
Since the gap between the partition wall and the front panel can be filled with the bonding material, the problem of the vibration can be solved.

【0011】しかしながら実際には、隔壁頂部の全体を
前面プレートと接合することはなかなか難しく、未接合
の箇所が部分的に残ってしまうことが多い。従って、こ
の技術だけでは、耐圧の問題が十分に解決されないこと
もあり、特に、背面プレート上に形成された隔壁の高さ
が均一でない場合には、未接合の箇所が多く残るので、
耐圧性が十分に得られない傾向にある。
However, in practice, it is difficult to join the entire top of the partition wall to the front plate, and unbonded portions often remain partially. Therefore, this technique alone may not sufficiently solve the problem of withstand voltage, and especially when the height of the partition wall formed on the back plate is not uniform, many unbonded portions remain,
The pressure resistance tends to be insufficient.

【0012】一方、前面パネルと背面パネルとを重ねあ
わせ、その中央部に重石等を置いて押圧しながら外囲器
を加熱して封着する方法もあるが、この方法によれば重
石も一緒に加熱することになるので、加熱エネルギーが
多く必要であると共に外囲器の加熱温度も不均一になり
やすく、特に大型のPDPを作製する場合には、この技
術を適用することは困難である。
On the other hand, there is also a method of stacking the front panel and the rear panel, placing a weight or the like in the center thereof and pressing the envelope to heat and seal the envelope. Since this requires heating to a large amount, it requires a large amount of heating energy, and the heating temperature of the envelope tends to be non-uniform, and it is difficult to apply this technique particularly when manufacturing a large PDP. .

【0013】また、真空排気や放電ガス封入を行う際に
は、通常、外囲器に取り付けた排気管に真空ポンプや放
電ガスボンベを接続して行い、その後、この排気管はバ
ーナやヒータを用いてチップオフされるが、この排気管
を容易に且つ確実にチップオフする方法が望まれる。本
発明は、上記課題に鑑み、PDPをはじめとするガス放
電パネルを製造する上で、隔壁頂部とパネル基板とが全
面的に密着されたガス放電パネルを安定的に製造するこ
とのできる製造方法を提供することを主な目的とする。
Further, when performing vacuum evacuation or charging of discharge gas, usually, a vacuum pump or a discharge gas cylinder is connected to an exhaust pipe attached to an envelope, and thereafter, a burner or a heater is used for this exhaust pipe. However, a method for easily and surely tipping off the exhaust pipe is desired. In view of the above problems, the present invention is a method of manufacturing a gas discharge panel including a PDP, which can stably manufacture a gas discharge panel in which the tops of barrier ribs and a panel substrate are in close contact with each other. The main purpose is to provide.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ガス放電パネルの外囲器を形成した
後、その両基板の外周部どうしを封着材で封着する工程
を行う際に、外囲器の内部圧力が外部圧力よりも低くな
るよう圧力調整しながら行うようにした。これによっ
て、外囲器を形成する両基板は、外側から押圧された状
態で封着がなされるので、一方の基板上の隔壁頂部と他
方の基板とが全体的にぴったり密着した状態で封着され
ることになる。
To achieve the above object, in the present invention, after forming the envelope of the gas discharge panel, a step of sealing the outer peripheral portions of both substrates with a sealing material is performed. At this time, the pressure is adjusted so that the internal pressure of the envelope becomes lower than the external pressure. As a result, both substrates forming the envelope are sealed while being pressed from the outside, so that the tops of the partition walls on one substrate and the other substrate are closely adhered as a whole. Will be done.

【0015】このような効果を十分得るために、上記の
圧力調整は、封着材が硬化する前に開始することが好ま
しい。上記の圧力調整を行う方法としては、以下のよう
なものが挙げられる。外囲器の内部と外部とを連通させ
る連通路を設けておき、外囲器内部のガスを連通路から
外部に排気する方法。
In order to sufficiently obtain such effects, it is preferable that the above pressure adjustment be started before the sealing material is cured. Examples of the method for adjusting the pressure include the following. A method is provided in which a communication passage that connects the inside and the outside of the envelope is provided, and the gas inside the envelope is exhausted from the communication passage to the outside.

【0016】外囲器の内部空間の圧力よりも低い内圧を
持つ低内圧容器を用いて前記内部空間の圧力を低下させ
る方法。外囲器の内部空間と外部空間との間のガス流通
が遮断された状態にすると共に、遮断後の外囲器内の圧
力を遮断前の外囲器内の圧力よりも低くする方法(具体
的には、より低い温度に冷却したり、ガス吸着部材のガ
ス吸着作用を用いる。)。
A method of lowering the pressure of the internal space by using a low internal pressure container having an internal pressure lower than that of the internal space of the envelope. A method in which the gas flow between the inner space and the outer space of the envelope is blocked, and the pressure inside the envelope after blocking is lower than the pressure inside the envelope before blocking (specifically, As a result, it is cooled to a lower temperature or the gas adsorbing action of the gas adsorbing member is used).

【0017】加圧装置などを用いて、外囲器の外部空間
の圧力を、外囲器の外周部のシールがなされる前よりも
後の方で高くする方法。上記の封着工程において、更
に、外囲器を形成する前に、一方の基板上の隔壁頂部に
接合材を配設しておき、封着材による両基板の外周部の
封着と共に、接合材によって隔壁頂部と他方の基板との
接合を行うようにすれば、パネル全面にわたって隔壁頂
部と他方の基板とが接合され、両者の間隙をほとんど無
くすことができる。
A method of increasing the pressure of the outer space of the envelope by using a pressurizing device or the like after the pressure is applied to the outer space of the outer space of the envelope than before the sealing is performed. In the above sealing step, further, before forming the envelope, a bonding material is arranged on the top of the partition wall on one of the substrates, and the outer peripheral portions of both substrates are sealed by the sealing material and bonded together. If the top of the partition wall and the other substrate are bonded to each other by a material, the top of the partition wall and the other substrate are bonded to each other over the entire surface of the panel, and the gap between the two can be almost eliminated.

【0018】また、封着工程の中において、或は封着工
程の前後において、レーザ光や超音波などのエネルギー
を隔壁頂部に照射する方法を用いて隔壁頂部と他方の基
板とを接合することによっても、同様に、パネル全面に
わたって隔壁頂部と他方の基板との間隙をなくすことが
できる。また、上記の封着工程において、これを確実に
行うため、両基板を締結具で挟み込むことによって両基
板同士を押圧しながら封着を行うことが好ましい。この
場合、締結具による押圧に伴って基板が変形するのを防
止するために、押圧箇所に変形防止用の部材を配設して
おくのが好ましい。
In addition, during the sealing step, or before and after the sealing step, the partition top and the other substrate are bonded by a method of irradiating the partition top with energy such as laser light or ultrasonic waves. Similarly, it is possible to eliminate the gap between the top of the partition wall and the other substrate over the entire panel. Further, in the above-mentioned sealing step, in order to surely perform this, it is preferable to perform the sealing while sandwiching the both substrates with a fastener so as to press the both substrates together. In this case, in order to prevent the substrate from being deformed due to the pressing by the fastener, it is preferable to dispose a deformation preventing member at the pressing position.

【0019】また、外囲器に両基板の相対的位置ずれを
防止する位置ずれ防止手段を設けた状態で封着を行った
り、基板の外周部に、封着材が外囲器の内部に流入する
のを防止する流入防止部材を設けたりすることも好まし
い。また、排気管を容易に且つ確実にチップオフするた
めに、保持手段を用いて排気管から距離を確保した状態
で発熱体を保持し、この状態で発熱体を駆動させればよ
い。
Further, the enclosure is provided with a displacement prevention means for preventing relative displacement of the two substrates, and sealing is performed, or a sealing material is provided on the outer peripheral portion of the substrate inside the enclosure. It is also preferable to provide an inflow prevention member for preventing inflow. Further, in order to easily and surely tip off the exhaust pipe, it is only necessary to hold the heating element while maintaining a distance from the exhaust tube using the holding means, and drive the heating element in this state.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】〔PDPの全体構成及び製法につ
いて〕図1は、実施の形態に係る交流面放電型PDPを
示す斜視図であり、図2は、このPDPに回路ブロック
を実装した表示装置の構成図である。このPDPは、前
面ガラス基板11上に放電電極12(走査電極12a,
維持電極12b)、誘電体層13、保護層14が配され
てなる前面パネル10と、背面ガラス基板21上にアド
レス電極22、誘電体層23が配された背面パネル20
とが、電極12a,12bとアドレス電極22とを対向
させた状態で間隔をおいて互いに平行に配されて構成さ
れている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [Overall Structure and Manufacturing Method of PDP] FIG. 1 is a perspective view showing an AC surface discharge type PDP according to an embodiment, and FIG. 2 is a display in which a circuit block is mounted on this PDP. It is a block diagram of an apparatus. This PDP has a discharge electrode 12 (scan electrode 12a,
The sustain electrode 12b), the dielectric layer 13, and the protective layer 14 are arranged on the front panel 10, and the rear electrode 20 and the dielectric layer 23 are arranged on the rear glass substrate 21.
And the electrodes 12a and 12b and the address electrode 22 face each other and are arranged in parallel with each other with a space therebetween.

【0021】PDPの中央部は画像を表示する領域であ
って、ここでは前面パネル10及び背面パネル20間の
間隙は、ストライプ状の隔壁24で仕切られることによ
って放電空間30が形成され、当該放電空間30内には
放電ガスが封入されている。また放電空間30内におい
て、背面パネル20側には、蛍光体層25が配設されて
いる。この蛍光体層25は、赤,緑,青の順で繰返し並
べられている。
The central portion of the PDP is a region for displaying an image. Here, the gap between the front panel 10 and the rear panel 20 is partitioned by a partition wall 24 having a stripe shape so that a discharge space 30 is formed. A discharge gas is enclosed in the space 30. Further, in the discharge space 30, a phosphor layer 25 is arranged on the rear panel 20 side. The phosphor layers 25 are repeatedly arranged in the order of red, green and blue.

【0022】放電電極12及びアドレス電極22は、共
にストライプ状であって、放電電極12は隔壁24と直
交する方向に、アドレス電極22は隔壁24と平行に配
されている。そして、放電電極12とアドレス電極22
が交差するところに、赤,緑,青の各色を発光するセル
が形成されたパネル構成となっている。
The discharge electrode 12 and the address electrode 22 are both stripe-shaped, and the discharge electrode 12 is arranged in a direction orthogonal to the partition wall 24, and the address electrode 22 is arranged in parallel with the partition wall 24. Then, the discharge electrode 12 and the address electrode 22
In the panel structure, cells that emit red, green, and blue colors are formed at the intersections of the two.

【0023】誘電体層13は、前面ガラス基板11の放
電電極12が配された表面全体を覆って配設された誘電
物質からなる層であって、一般的に、鉛系低融点ガラス
が材料として用いられているが、ビスマス系低融点ガラ
ス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスの
積層物で形成しても良い。保護層14は、酸化マグネシ
ウム(MgO)からなる薄層であって、誘電体層13の
表面全体を覆っている。誘電体層23は、可視光反射層
としての働きも兼ねるように、TiO2粒子が混合され
ている。隔壁24は、ガラス材料からなり、背面パネル
20の誘電体層23の表面上に突設されている。
The dielectric layer 13 is a layer made of a dielectric material, which is arranged so as to cover the entire surface of the front glass substrate 11 on which the discharge electrodes 12 are arranged, and is generally made of lead-based low melting glass. However, it may be formed of a bismuth-based low-melting glass or a laminate of lead-based low-melting glass and bismuth-based low-melting glass. The protective layer 14 is a thin layer made of magnesium oxide (MgO) and covers the entire surface of the dielectric layer 13. The dielectric layer 23 is mixed with TiO 2 particles so that it also functions as a visible light reflecting layer. The partition wall 24 is made of a glass material and is provided so as to project on the surface of the dielectric layer 23 of the rear panel 20.

【0024】一方、PDPの外周部では、前面パネル1
0及び背面パネル20が封着材によって封着されてい
る。隔壁24の頂部と前面パネル10とは、ほぼ全体的
に接触しているか接合材によって接合された状態になっ
ている。このようなPDPを作製する方法の一例につい
て以下に説明する。
On the other hand, in the outer peripheral portion of the PDP, the front panel 1
0 and the back panel 20 are sealed by a sealing material. The top of the partition wall 24 and the front panel 10 are in contact with each other almost entirely or are joined by a joining material. An example of a method of manufacturing such a PDP will be described below.

【0025】前面パネルの作製:前面ガラス基板11上
に、放電電極12を形成し、その上を覆うように誘電体
層13を形成し、更に誘電体層13の表面に、真空蒸着
法,電子ビーム蒸着法,あるいはCVD法で、酸化マグ
ネシウム(MgO)からなる保護層14を形成すること
によって作製する。
Preparation of front panel: A discharge electrode 12 is formed on a front glass substrate 11, a dielectric layer 13 is formed so as to cover the discharge electrode 12, and a vacuum deposition method, an electron It is manufactured by forming a protective layer 14 made of magnesium oxide (MgO) by a beam evaporation method or a CVD method.

【0026】放電電極12は、銀電極用のペーストをス
クリーン印刷で塗布した後に焼成することによって形成
することができる。この他に、ITO(インジウム・ス
ズ・オキサイド)やSnO2で透明電極を形成した後、
その上に上記のように銀電極を形成したり、フォトリソ
グラフィー法でCr−Cu−Cr電極を形成してもよ
い。
The discharge electrode 12 can be formed by applying a silver electrode paste by screen printing and then firing it. In addition to this, after forming a transparent electrode with ITO (indium tin oxide) or SnO 2 ,
A silver electrode may be formed thereon as described above, or a Cr-Cu-Cr electrode may be formed by photolithography.

【0027】誘電体層13は、鉛系のガラス材料(その
組成は、例えば、酸化鉛[PbO]70重量%,酸化硼
素[B23]15重量%,酸化硅素[SiO2]15重量
%。)を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布し焼成
することによって形成することができる。 背面パネルの作製:背面ガラス基板21上に、放電電極
12と同様にスクリーン印刷法を用いて、アドレス電極
22を形成する。
The dielectric layer 13 is made of a lead-based glass material (composition thereof is, for example, 70% by weight of lead oxide [PbO], 15% by weight of boron oxide [B 2 O 3 ] and 15% by weight of silicon oxide [SiO 2 ]. %) Is applied by a screen printing method and fired. Fabrication of back panel: The address electrodes 22 are formed on the back glass substrate 21 by the screen printing method similarly to the discharge electrodes 12.

【0028】次に、TiO2粒子が混合されたガラス材
料をスクリーン印刷法を用いて塗布し焼成することによ
って誘電体層23を形成する。次に隔壁24を形成す
る。隔壁24は、スクリーン印刷法で隔壁用ガラスペー
ストを重ね塗布した後、焼成することによって形成する
ことができる。この外に、隔壁用ガラスペーストを背面
ガラス基板21上の全面に塗布した後、隔壁を形成しな
い部分をサンドブラスト法で削りとる方法を用いても隔
壁24を形成することができる。
Next, a glass material mixed with TiO 2 particles is applied by a screen printing method and baked to form a dielectric layer 23. Next, the partition wall 24 is formed. The partition wall 24 can be formed by stacking glass partition wall paste by a screen printing method and then baking the paste. Alternatively, the partition walls 24 can be formed by applying a glass paste for partition walls to the entire surface of the rear glass substrate 21 and then shaving off the portions where the partition walls are not formed by sandblasting.

【0029】そして、隔壁24の間の溝に蛍光体層25
を形成する。この蛍光体層25は、一般的には各色蛍光
体粒子を含む蛍光体ペーストをスクリーン印刷法で塗布
し焼成することによって形成されるが、蛍光体インキを
ノズルから連続的に噴射しながら溝に沿って走査する方
法で塗布し、塗布後に蛍光体インキに含まれている溶剤
やバインダーを除去するため焼成することによって形成
することもできる。この蛍光体インキは、各色蛍光体粒
子が、バインダー、溶剤、分散剤などの混合物に分散さ
れ、適度な粘度に調整されたものである。
Then, the phosphor layer 25 is formed in the groove between the partition walls 24.
To form. This phosphor layer 25 is generally formed by applying a phosphor paste containing phosphor particles of each color by a screen printing method and baking the paste, but the phosphor ink is continuously ejected from a nozzle into the groove. It can also be formed by applying by a method of scanning along and baking after removing to remove the solvent and binder contained in the phosphor ink. In this phosphor ink, phosphor particles of each color are dispersed in a mixture of a binder, a solvent, a dispersant, etc. and adjusted to have an appropriate viscosity.

【0030】蛍光体粒子の具体例としては、 青色蛍光体: BaMgAl1017:Eu2+ 緑色蛍光体: BaAl1219:MnあるいはZn2
iO4:Mn 赤色蛍光体: (YxGd1-x)BO3:Eu3+あるいはY
BO3:Eu3+ を挙げることができる。
Specific examples of the phosphor particles include: blue phosphor: BaMgAl 10 O 17 : Eu 2+ green phosphor: BaAl 12 O 19 : Mn or Zn 2 S
iO 4: Mn Red phosphor: (Y x Gd 1-x ) BO 3: Eu 3+ or Y
BO 3 : Eu 3+ may be mentioned.

【0031】本実施形態では、40インチクラスのVG
Aやハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは0.
1〜0.15mm、隔壁のピッチは0.15〜0.36
mmとする。 封着工程・排気工程・放電ガス封入工程:次に、このよ
うに作製した前面パネルと背面パネルとを封着する。
In this embodiment, a VG of 40 inch class
The height of the partition wall is 0.
1 to 0.15 mm, the partition pitch is 0.15 to 0.36
mm. Sealing step / exhaust step / discharge gas encapsulating step: Next, the front panel and the rear panel thus manufactured are sealed.

【0032】この封着工程においては、前面パネル10
及び背面パネル20を、外周部に封着材を介挿させて重
ね合わせて外囲器を形成し、当該封着材で封着を行う。
このとき、必要に応じて背面パネル20の隔壁24の頂
部に接合材を塗布しておく。封着材としては、熱などの
エネルギーを外部から加えることによって軟化しするも
の、通常は低融点ガラスを用い、封着材を加熱して軟化
させた後、硬化させることによって封着を行う。
In this sealing step, the front panel 10
The back panel 20 and the rear panel 20 are overlapped with each other with a sealing material interposed therebetween to form an envelope, and sealing is performed with the sealing material.
At this time, the bonding material is applied to the top of the partition wall 24 of the rear panel 20 as needed. As the sealing material, a material that is softened by externally applying energy such as heat, usually a low-melting point glass is used, and the sealing material is heated and softened, and then cured to perform sealing.

【0033】そして、封着工程を行う際に、外囲器の内
部と外部とで圧力差を形成することによって、両パネル
10・20は外側から均一的に押圧されるようにする。
それによって、隔壁24の頂部と前面パネル10とが全
体的に接触もしくは接近した状態で封着がなされる。封
着工程が終われば、外囲器の内部に吸着されている不純
物ガスなどを追い出すために内部空間を高真空(例えば
8×10-7Torr)にして排気する(真空排気工
程)。
When the sealing step is performed, a pressure difference is formed between the inside and the outside of the envelope so that both panels 10 and 20 are uniformly pressed from the outside.
As a result, the top of the partition wall 24 and the front panel 10 are entirely in contact or close to each other for sealing. After the sealing step is completed, the internal space is evacuated to a high vacuum (for example, 8 × 10 −7 Torr) to expel the impurity gas adsorbed inside the envelope (vacuum exhaust step).

【0034】その後、外囲器の内部に放電ガス(例えば
He−Xe系,Ne−Xe系の不活性ガス)を所定の圧
力で封入する(放電ガス封入工程)ことによってPDP
を作製する。なお、本実施形態では、放電ガスにおける
Xeの含有量を5体積%程度とし、封入圧力は500〜
800Torrの範囲に設定する。
After that, a discharge gas (for example, a He--Xe system inert gas or a Ne--Xe system inert gas) is sealed at a predetermined pressure inside the envelope (discharge gas sealing step).
To make. In the present embodiment, the content of Xe in the discharge gas is about 5% by volume, and the filling pressure is 500-.
Set in the range of 800 Torr.

【0035】PDPを駆動表示する際には、図2のよう
に回路ブロックを実装して駆動を行う。以下、封着工
程、並びに排気工程,放電ガス封入工程について、実施
の形態1〜10に分けて詳細に説明する。 〔実施の形態1〕本実施形態では、外囲器の内部空間か
ら真空ポンプで排気しながら封着工程を行う。
When driving and displaying the PDP, a circuit block is mounted as shown in FIG. 2 to drive the PDP. Hereinafter, the sealing step, the exhausting step, and the discharge gas charging step will be described in detail in the first to tenth embodiments. [Embodiment 1] In this embodiment, a sealing process is performed while exhausting a vacuum pump from the internal space of the envelope.

【0036】図3は、本実施形態の封着工程で用いる封
着装置50の断面を模式的に示す図であり、図4は、そ
の概略斜視図である。この封着装置50は、前面パネル
10及び背面パネル20が重ね合わせられた外囲器40
を収納してこれを加熱する加熱炉51と、加熱炉51の
外部に設けられた真空ポンプ52とから構成されてい
る。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a cross section of the sealing device 50 used in the sealing process of the present embodiment, and FIG. 4 is a schematic perspective view thereof. The sealing device 50 includes an envelope 40 in which a front panel 10 and a rear panel 20 are stacked.
And a vacuum pump 52 provided outside the heating furnace 51.

【0037】この加熱炉51は、ヒータ55で加熱する
ことができ、内部の温度は所望の設定温度に制御できる
ようになっている。この封着装置50を用いて、以下の
ように封着工程を行う。図3,4に示すように、予め、
背面パネル20には、表示領域より外側の外周部に通気
孔21aを設けておく。
The heating furnace 51 can be heated by a heater 55, and the internal temperature can be controlled to a desired set temperature. Using this sealing device 50, the sealing process is performed as follows. As shown in FIGS.
The rear panel 20 is provided with ventilation holes 21a on the outer peripheral portion outside the display area.

【0038】前面パネル10及び背面パネル20の対向
面のどちらか一方または両方の外周部に、封着材を含む
ペーストを塗布し焼成することによって封着材層41を
形成する。ここでは、封着材として隔壁24や誘電体層
23の材料よりも軟化温度の低い低融点ガラスを用い
る。低融点ガラスペーストの具体例としては、低融点ガ
ラスフリット(軟化点370℃)80部、エチルセルロ
ース系バインダー5部、酢酸イソアミル15部を混合し
たもの挙げることができ、これをディスペンサーで塗布
することによって、封着材層41を形成することができ
る。
A sealing material layer 41 is formed by applying a paste containing a sealing material to the outer peripheral portions of one or both of the facing surfaces of the front panel 10 and the back panel 20 and baking the paste. Here, low melting point glass having a lower softening temperature than the materials of the partition wall 24 and the dielectric layer 23 is used as the sealing material. Specific examples of the low-melting glass paste include a mixture of 80 parts of low-melting glass frit (softening point 370 ° C.), 5 parts of ethylcellulose-based binder, and 15 parts of isoamyl acetate. By applying this with a dispenser, The sealing material layer 41 can be formed.

【0039】次に、前面パネル10と背面パネル20と
を、位置合わせしながら重ね合わせて外囲器40を形成
する。そして、位置合わせされた前面パネル10と背面
パネル20とが位置ずれしないように、外囲器40の外
縁部をクリップ42で締め付けて固定する。この外囲器
40を、加熱炉51内にセットする。そして、外囲器4
0の通気孔21aと真空ポンプ52とを連結する配管部
材26を取り付ける。配管部材26は、クリップなどの
締結具(不図示)で背面パネル20に固定するのがよ
い。
Next, the front panel 10 and the rear panel 20 are overlapped while aligning each other to form the envelope 40. Then, the outer edge portion of the envelope 40 is clamped and fixed by the clip 42 so that the aligned front panel 10 and rear panel 20 are not displaced. The envelope 40 is set in the heating furnace 51. And the envelope 4
The piping member 26 that connects the zero ventilation hole 21a and the vacuum pump 52 is attached. The piping member 26 is preferably fixed to the back panel 20 with a fastener (not shown) such as a clip.

【0040】なお本実施形態では、配管部材26を取り
付けやすくするため、前面パネル10が下側、背面パネ
ル20が上側になるようセットするものとするが、上下
を逆にしてセットしてもよい。また、両パネル10・2
0が位置ずれしないように固定されていれば、加熱炉内
に外囲器40を立ててセットしてもかまわない。この配
管部材26は、封着温度以上の耐熱性を有するガラスで
形成され、途中で折れ曲がった形状であって、上記のよ
うにセットされた外囲器40の通気孔21aから上方に
伸び、更に加熱炉51の壁面に設けられた貫通孔51a
を通って先端が加熱炉51の外部に突き出ている。また
配管部材26の通気孔21aに接続する側の端部(接
続端部)は広がって通気孔21aの径より大きな径を有
している。
In the present embodiment, the front panel 10 is set on the lower side and the rear panel 20 is set on the upper side in order to facilitate the attachment of the piping member 26, but they may be set upside down. . Also, both panels 10 ・ 2
As long as 0 is fixed so as not to be displaced, the envelope 40 may be set upright in the heating furnace. The piping member 26 is formed of glass having heat resistance equal to or higher than the sealing temperature, has a bent shape in the middle, extends upward from the ventilation hole 21a of the envelope 40 set as described above, and further Through hole 51a provided on the wall surface of heating furnace 51
The tip projects through the heating furnace 51. Further, the end portion (connection end portion) of the piping member 26 on the side connected to the ventilation hole 21a widens and has a diameter larger than the diameter of the ventilation hole 21a.

【0041】なお、配管部材26と背面パネル20との
間を気密にシールするために、予め配管部材26の接続
端部と背面パネル20との間に接着材層26aを介挿さ
せておく。本実施形態では、接着材層26aと封着材層
41の材料は、同じものを用いることとする。配管部材
26の先端は、真空ポンプ52と連結する。
In order to hermetically seal between the piping member 26 and the rear panel 20, an adhesive layer 26a is previously inserted between the connecting end of the piping member 26 and the rear panel 20. In this embodiment, the same material is used for the adhesive material layer 26a and the sealing material layer 41. The tip of the piping member 26 is connected to the vacuum pump 52.

【0042】そして、加熱炉51内を加熱して、封着材
の軟化温度より若干高い封着温度(例えば450℃)ま
で昇温し、封着温度で10〜30分程度保った後、再び
軟化点温度以下に降温することによって両パネル10・
20間を封着するが、真空ポンプ52で外囲器40内部
から排気しながら封着を行う。この排気は、加熱炉51
内が封着材の軟化温度に達した後に開始することが望ま
しい。封着材の軟化温度に達するまでは、両パネル10
・20間の外周部の気密性があまりないので、外囲器4
0の内部空間から排気してもその内部を高い真空度にす
ることができないが、封着材が軟化した後は、両パネル
10・20間の外周部が気密シールされると共に、接着
材層26aも軟化されて配管部材26と通気孔21aと
の接続部分も気密シールされるので、外囲器40内部か
ら排気すると高い真空度(数Torr程度)に減圧され
るからである。
Then, the inside of the heating furnace 51 is heated to a sealing temperature (for example, 450 ° C.) which is slightly higher than the softening temperature of the sealing material, and the sealing temperature is maintained for about 10 to 30 minutes and then again. By lowering the temperature below the softening point, both panels 10
Although the space between the 20 is sealed, the vacuum pump 52 exhausts the inside of the envelope 40 to perform the sealing. This exhaust gas is used in the heating furnace 51.
It is desirable to start after the inside reaches the softening temperature of the sealing material. Both panels 10 until the softening temperature of the sealing material is reached.
・ Because there is not much airtightness in the outer peripheral portion between 20, the envelope 4
Even if it is evacuated from the internal space of 0, the inside cannot be made to have a high degree of vacuum, but after the sealing material is softened, the outer peripheral portion between both panels 10 and 20 is hermetically sealed and the adhesive layer This is because the portion 26a is also softened and the connecting portion between the piping member 26 and the vent hole 21a is also hermetically sealed, so that when exhausted from the inside of the envelope 40, the pressure is reduced to a high degree of vacuum (about several Torr).

【0043】このように外囲器40の内部空間から排気
することによって両パネル10・20は外側から均一に
加圧された状態となる。真空ポンプ52による排気は、
外囲器40内部が1分間に5Torr程度のゆっくりし
た減圧速度となるように行えばよい。両パネル10・2
0が外側から均一に加圧されると、図3に示すように、
背面パネル20上の隔壁頂部と前面パネル10とは、全
体的にぴったり密着した状態となる。そして、この状態
で降温されると、封着材が軟化以下の温度となり硬化す
ることによって外囲器40の封着がなされる。従って、
封着された後の外囲器40においては、隔壁頂部と前面
パネル10とが全体的にぴったり密着した状態が保たれ
ていることになる。
By exhausting air from the inner space of the envelope 40 in this way, both panels 10 and 20 are in a state of being uniformly pressed from the outside. Exhaust by the vacuum pump 52 is
The inside of the envelope 40 may be operated at a slow pressure reduction rate of about 5 Torr per minute. Both panels 10.2
When 0 is uniformly pressed from the outside, as shown in FIG.
The top of the partition wall on the rear panel 20 and the front panel 10 are in close contact with each other as a whole. Then, when the temperature is lowered in this state, the temperature of the sealing material becomes equal to or lower than the softening temperature, and the sealing material is hardened to seal the envelope 40. Therefore,
In the envelope 40 after being sealed, the top of the partition wall and the front panel 10 are kept in close contact with each other as a whole.

【0044】また、配管部材26と背面パネル20との
間も、硬化した接着材層26aによって気密にシールさ
れていることになる。このようにして外囲器40の封着
が完了した後、クリップ42を外して、次の真空排気工
程に移る。真空排気工程は、外囲器40を真空排気用の
加熱炉に入れると共に、配管部材26に真空ポンプを連
結し、加熱炉内を封着材の軟化温度より若干低い排気温
度(例えば350℃程度)に所定時間(例えば1時間)
維持することによって行う。
Further, the space between the piping member 26 and the rear panel 20 is also hermetically sealed by the cured adhesive layer 26a. After the sealing of the envelope 40 is completed in this way, the clip 42 is removed, and the process proceeds to the next vacuum exhaust step. In the vacuum evacuation process, the envelope 40 is put in a heating furnace for vacuum evacuation, a vacuum pump is connected to the piping member 26, and the inside of the heating furnace is at an exhaust temperature slightly lower than the softening temperature of the sealing material (for example, about 350 ° C.). ) For a certain time (eg 1 hour)
Do by maintaining.

【0045】引き続き、放電ガス封入工程では、放電ガ
スが入っているボンベを配管部材26に連結して外囲器
40の内部空間に放電ガスを所定の封入圧力(例えば4
00Torr)となるよう供給する。そして、配管部材
26の付根部分をバーナやヒータ(実施の形態14参
照)で溶融して封じ切る(チップオフ)ことによって通
気孔21aを封止する。
Subsequently, in the discharge gas filling step, the cylinder containing the discharge gas is connected to the pipe member 26 to fill the interior space of the envelope 40 with the discharge gas at a predetermined filling pressure (for example, 4).
00 Torr). Then, the vent hole 21a is sealed by melting the root portion of the piping member 26 with a burner or a heater (see Embodiment 14) and sealing off (chip off).

【0046】なお、上記のように、封着工程が終わった
外囲器を、別の真空排気用の加熱炉で真空排気する方法
以外に、1つの加熱装置の中で、外囲器40に封着工程
−真空排気工程−放電ガス封入工程を連続して施す方法
を採ることもできる。例えば、封着装置50において、
放電ガスを供給するボンベを、配管部材26に接続可能
にしておいて、封着工程終了後も外囲器40を加熱炉5
1内にセットしたまま、加熱炉51の温度を排気温度に
下げ真空ポンプ52を用いて排気工程を行い、更に、ボ
ンベを配管部材26に接続して放電ガスを供給するよう
にすることもできる。
As described above, in addition to the method of evacuating the envelope after the sealing step in another heating furnace for evacuating, the envelope 40 is installed in one heating device. It is also possible to adopt a method in which the sealing step, the vacuum evacuation step, and the discharge gas filling step are performed successively. For example, in the sealing device 50,
The cylinder for supplying the discharge gas is connectable to the pipe member 26 so that the envelope 40 is heated by the heating furnace 5 even after the sealing step is completed.
It is also possible to lower the temperature of the heating furnace 51 to the exhaust temperature while performing the evacuation process using the vacuum pump 52 while being set in 1, and further connect the cylinder to the pipe member 26 to supply the discharge gas. .

【0047】また、連続式加熱装置を用いて、外囲器4
0に封着工程−真空排気工程−放電ガス封入工程を連続
的に施すことも可能である。例えば、連続炉の中を移動
するカートに、外囲器40と共に真空ポンプ及び放電ガ
スボンベを積載し、連続炉で外囲器40を加熱しなが
ら、真空ポンプによる排気並びに放電ガス封入を行うこ
とも可能である。
Further, by using a continuous heating device, the envelope 4
It is also possible to continuously perform the sealing step, the vacuum evacuation step, and the discharge gas filling step at 0. For example, it is possible to load a vacuum pump and a discharge gas cylinder together with the envelope 40 on a cart that moves in a continuous furnace, and perform evacuation by the vacuum pump and discharge gas filling while heating the envelope 40 in the continuous furnace. It is possible.

【0048】〔本実施形態の製造方法による効果につい
て〕従来のように外囲器40の内外圧力差を設けること
なく外縁部をクリップなどで締め付ける場合、外囲器4
0の中央部を押圧されないため、背面パネル20上の隔
壁頂部と前面パネル10とが全体的あるいは部分的に離
れた状態で封着されやすいのに対して、上記のように、
外囲器40は、内外の圧力差によって両パネル10・2
0が外側から均一的に押圧された状態で封着材層41が
硬化して封着されるので、隔壁頂部と前面パネル10と
の隙間がほとんどない状態で封着がなされる。
[Effects of Manufacturing Method of this Embodiment] When the outer edge portion is fastened with a clip or the like without providing a pressure difference between the inside and the outside of the envelope 40 as in the conventional case, the envelope 4
Since the central part of 0 is not pressed, the partition tops on the rear panel 20 and the front panel 10 are likely to be sealed in a state where they are wholly or partially separated from each other.
Due to the pressure difference between the inside and the outside of the envelope 40, the panels 40
Since the sealing material layer 41 is cured and sealed in a state where 0 is uniformly pressed from the outside, the sealing is performed in a state where there is almost no gap between the top of the partition wall and the front panel 10.

【0049】従って、本実施形態の製造方法によれば、
PDP駆動時の振動が発生しにくく且つ表示品位の良好
なPDPを容易に作製することができる。このような効
果を得るためには、少なくとも軟化した封着材層41が
硬化する時点においては、真空ポンプ52を駆動して外
囲器40の内外圧力差が生じている状態にする必要はあ
るが、封着工程の始めから終わりまで連続して真空ポン
プ52を駆動する必要はない。例えば、封着材層41が
軟化した後で、真空ポンプ52の駆動を開始しても、両
パネル10・20の内外圧差による効果を十分に得るこ
とができる。
Therefore, according to the manufacturing method of the present embodiment,
It is possible to easily manufacture a PDP which is less likely to generate vibration during driving of the PDP and has good display quality. In order to obtain such an effect, at least at the time when the softened sealing material layer 41 is cured, it is necessary to drive the vacuum pump 52 to bring the inside and outside pressure difference of the envelope 40 into a state. However, it is not necessary to continuously drive the vacuum pump 52 from the beginning to the end of the sealing process. For example, even if the driving of the vacuum pump 52 is started after the sealing material layer 41 has been softened, it is possible to sufficiently obtain the effect of the difference between the internal and external pressures of the panels 10 and 20.

【0050】また、外囲器40の内外圧力差を設けた状
態で封着を行うため、両パネル10・20がこの内外圧
力差によって互いに押圧されるので、クリップ42の押
圧力は、従来から封着工程で用いられているクリップよ
りも押圧力が小さくても、十分に位置ずれを防止するこ
とができる。なお、クリップ42は必ずしも用いなくて
も、封着中の両パネル10・20の位置ずれを防止する
ことはできるが、本実施形態のようにクリップ42で固
定すれば、両パネル10・20の位置ずれをより確実に
防止できるとともに、両パネル10・20の外周部がク
リップ42で押圧されることによってこの外周部に介挿
されている封着材層41が押圧されるため、封着材層4
1が軟化したときに、この押圧力によって当該外周部全
体に均一的に封着材層41が広がり、外周部をより気密
性よくシールすることができる。
Further, since the sealing is performed in the state where the pressure difference between the inside and the outside of the envelope 40 is provided, the both panels 10 and 20 are pressed against each other by the pressure difference between the inside and the outside, so that the pressing force of the clip 42 is conventionally. Even if the pressing force is smaller than that of the clip used in the sealing step, the positional displacement can be sufficiently prevented. It should be noted that although the clip 42 is not necessarily used, it is possible to prevent the displacement of the both panels 10 and 20 during sealing, but if the clip 42 is fixed as in the present embodiment, the both panels 10 and 20 can be prevented from being displaced. The positional deviation can be more reliably prevented, and since the outer peripheral portions of both panels 10 and 20 are pressed by the clips 42, the sealing material layer 41 interposed in the outer peripheral portions is pressed, so that the sealing material Layer 4
When 1 is softened, this pressing force causes the sealing material layer 41 to spread uniformly over the entire outer peripheral portion, so that the outer peripheral portion can be sealed more airtightly.

【0051】また、接着材層26aと封着材層41の材
料は、別々の材料を用いてもよいが、本実施形態のよう
に同一の低融点ガラスを用いれば、封着材層41が軟化
・硬化して外囲器40が封着されるのに伴って、接着材
層26aも軟化・硬化されることによって配管部材26
と背面パネル20の通気孔21aとの接続及び気密シー
ルも自動的になされるという効果を奏する。
The adhesive layer 26a and the sealing material layer 41 may be made of different materials. However, if the same low melting point glass is used as in this embodiment, the sealing material layer 41 is As the envelope 40 is sealed by being softened and hardened, the adhesive material layer 26a is also softened and hardened, so that the pipe member 26
The effect that the connection with the ventilation hole 21a of the rear panel 20 and the airtight sealing are automatically performed.

【0052】〔本実施形態の変形例〕本実施形態では、
接着材層26aとして、低融点ガラスを用いる例を示し
たが、この場合、接着材層26aが軟化しているときに
外囲器40の内部が減圧にされるので、場合によって
は、接着材層26aが通気孔21aの方に流出すること
によって、配管部材26と背面パネル20の通気孔21
aとのシールが破られる可能性もある。
[Modification of the Present Embodiment] In the present embodiment,
Although an example of using a low melting point glass as the adhesive layer 26a has been shown, in this case, the inside of the envelope 40 is depressurized when the adhesive layer 26a is softened. The layer 26 a flows out toward the ventilation hole 21 a, so that the piping member 26 and the ventilation hole 21 of the rear panel 20 are discharged.
The seal with a may be broken.

【0053】これに対して、接着材層26aとして封着
材層41より低い温度で結晶化する結晶化ガラスを用い
ればよい。結晶化ガラスとしては、PbO−ZnO−B
23系フリットガラスが代表的である。結晶化ガラス
は、加熱されて流動状態になった後、結晶化して固化
し、その後は当初の結晶化温度まで加熱されても軟化し
ない性質を持つので、接着材層26aとして結晶化ガラ
スを用い、外囲器40をゆっくりと加熱昇温させれば、
封着材層41が軟化する時点で結晶化ガラスが固化して
いることになるため、接着材層26aの流出によるシー
ル不良の問題を解消することができる。
On the other hand, crystallized glass that crystallizes at a temperature lower than that of the sealing material layer 41 may be used as the adhesive material layer 26a. As crystallized glass, PbO-ZnO-B
2 O 3 type frit glass is typical. Since crystallized glass has the property of being crystallized and solidified after being heated to a fluid state and then not softened even when heated to the initial crystallization temperature, crystallized glass is used as the adhesive layer 26a. By slowly heating and raising the temperature of the envelope 40,
Since the crystallized glass is solidified at the time when the sealing material layer 41 is softened, it is possible to solve the problem of defective sealing due to the outflow of the adhesive material layer 26a.

【0054】また、接着材層26aの材料として、封着
材層41の材料よりも軟化温度が若干高いガラスを用い
ることによっても、接着材層26aの流出を抑える効果
が期待できる。その他、接着材層26aとして低融点ガ
ラスを用いるのではなく、封着温度では軟化しないよう
な材料(封着材層41の材料よりも軟化点がかなり高い
ガラスやセラミック系接着剤)を用い、予め配管部材2
6を背面パネル20の通気孔21aに取り付けておくこ
とによっても、この問題を解消することができる。
Further, by using glass as the material of the adhesive layer 26a, which has a slightly higher softening temperature than the material of the sealing material layer 41, the effect of suppressing the outflow of the adhesive layer 26a can be expected. In addition, instead of using a low melting point glass as the adhesive layer 26a, a material that does not soften at the sealing temperature (a glass or ceramic adhesive having a significantly higher softening point than the material of the sealing material layer 41) is used, Piping member 2 in advance
This problem can be solved also by attaching 6 to the ventilation hole 21a of the rear panel 20.

【0055】〔実施の形態2〕本実施形態は、上記実施
の形態1と同様であるが、封着工程において、図5
(a)および(b)に示すように、両パネル10・20
を互いに対向配置して外囲器40を形成した後に、両パ
ネル10・20の外周部に介挿されている封着材層41
の外側に更にシール材層43を形成する。
[Embodiment 2] This embodiment is the same as Embodiment 1 described above, except that in the sealing step, as shown in FIG.
As shown in (a) and (b), both panels 10 and 20
After forming the envelope 40 by arranging them opposite to each other, the sealing material layer 41 inserted in the outer peripheral portions of both panels 10 and 20.
A sealing material layer 43 is further formed on the outer side of.

【0056】このように封着材層41とは別に更にシー
ル材層43を形成することにより、仮に封着材層41に
よるシールが不完全であったとしても、両パネル10・
20の外周部がシール材層43によってシールされるた
め、封着をより確実に行うことができると共に、隔壁頂
部と前面パネル10との隙間をより少なくすることがで
きる。
By thus forming the sealing material layer 43 separately from the sealing material layer 41, even if the sealing by the sealing material layer 41 is incomplete, both panels 10 and
Since the outer peripheral portion of 20 is sealed by the sealing material layer 43, sealing can be performed more reliably and the gap between the top of the partition wall and the front panel 10 can be further reduced.

【0057】この他にも、シール材層43を形成するこ
とによって、シール材層43が軟化する以前において
は、両パネル10・20がシール材層43によって互い
に固定されるので、両パネル10・20の位置ずれが防
止される。また、封着材層41やシール材層43が軟化
する以前から、シール材層43によってある程度の気密
性は確保されるので、真空ポンプ52を駆動することに
よって両パネル10・20に押圧力を加えることができ
る。
In addition to this, by forming the sealing material layer 43, both the panels 10 and 20 are fixed to each other by the sealing material layer 43 before the sealing material layer 43 is softened. The displacement of 20 is prevented. Further, since the sealing material layer 43 ensures a certain degree of airtightness before the sealing material layer 41 and the sealing material layer 43 are softened, by driving the vacuum pump 52, a pressing force is applied to both the panels 10 and 20. Can be added.

【0058】このような効果を奏するようにするため、
シール材層43を形成する材料としては、封着材層41
の材料と同様のものを用いるのが望ましく、例えば、封
着材層41を形成するのに用いたのと同じ封着材(低融
点ガラス)を含むペーストを、外囲器40の封着材層4
1の外側に塗布することによって形成することができ
る。
In order to achieve such an effect,
As a material for forming the sealing material layer 43, the sealing material layer 41 is used.
It is desirable to use the same material as the above-mentioned material. For example, a paste containing the same sealing material (low melting point glass) as that used to form the sealing material layer 41 is used as the sealing material for the envelope 40. Layer 4
It can be formed by applying to the outside of 1.

【0059】またこの他に、セラミック系の接着剤を塗
布することによって封着材層41を形成することもでき
る。 〔実施の形態3〕本実施形態は、上記実施の形態1と同
様であるが、封着工程に入る前に、予め、図6(a)に
示すように、前面パネル10及び背面パネル20の一方
または両方の外周部表面において、封着材層41を形成
する領域の内側沿って、封着材流入防止リブ44を形成
しておく点が異なっている。
In addition to this, the sealing material layer 41 can be formed by applying a ceramic adhesive. [Third Embodiment] This embodiment is the same as the above-described first embodiment, but before the sealing step, as shown in FIG. The difference is that the sealing material inflow prevention ribs 44 are formed along the inner side of the region where the sealing material layer 41 is formed on one or both outer peripheral surface.

【0060】このような封着材流入防止リブ44を形成
しておくことによって、封着工程において、封着材層4
1が軟化した状態で外囲器40の内圧が外圧よりも低く
なったときに封着材層41が表示エリア内に流入するの
を防止することができる。封着材流入防止リブ44の高
さは、両パネル10・20を対向配置したときに、隔壁
24と同程度の高さとなるように形成するのが好まし
い。封着材流入防止リブ44の方が隔壁24よりも高い
と、隔壁24の頂部と前面パネル10との間に間隙が形
成されることになり、封着材流入防止リブ44が隔壁2
4と比べて低すぎると、封着材層41の流入防止効果が
あまり期待できないためである。
By forming the sealing material inflow preventing ribs 44 as described above, the sealing material layer 4 is formed in the sealing step.
It is possible to prevent the sealing material layer 41 from flowing into the display area when the inner pressure of the envelope 40 becomes lower than the outer pressure in the softened state of 1. The height of the sealing material inflow prevention rib 44 is preferably formed so as to be approximately the same as the height of the partition wall 24 when the panels 10 and 20 are opposed to each other. When the sealing material inflow prevention rib 44 is higher than the partition wall 24, a gap is formed between the top of the partition wall 24 and the front panel 10, and the sealing material inflow prevention rib 44 is formed in the partition wall 2.
This is because if it is too low as compared with 4, the effect of preventing the inflow of the sealing material layer 41 cannot be expected so much.

【0061】このような封着材流入防止リブ44は、例
えば、図6(b)に示されるように、背面パネル20に
おいて背面ガラス基板21に隔壁24を形成する際に、
同じ材料で同時に形成すれば、容易に形成することがで
きる。 〔実施の形態4〕本実施形態は、上記実施の形態1と同
様であるが、封着工程において、外囲器40の内部が外
部より圧力が低くなるよう圧力差を設けるのに、実施の
形態1では、外囲器40の内部から排気することによっ
て当該内部を減圧する方法を用いたのに対して、本実施
の形態では、逆に、外囲器40の外部を加圧する方法を
用いる点が異なっている。
Such a sealing material inflow prevention rib 44 is formed, for example, when the partition wall 24 is formed on the rear glass substrate 21 in the rear panel 20 as shown in FIG. 6B.
If they are made of the same material at the same time, they can be easily formed. [Embodiment 4] This embodiment is similar to Embodiment 1 described above, but in the sealing step, a pressure difference is provided so that the pressure inside the envelope 40 is lower than the pressure outside. In the first embodiment, a method of decompressing the inside of the envelope 40 by exhausting the inside of the envelope 40 is used, whereas in the present embodiment, conversely, a method of pressurizing the outside of the envelope 40 is used. The points are different.

【0062】そのため、本実施形態の封着装置50にお
いては、図7に示すように、真空ポンプ52は設けられ
ず、加熱炉51の内部を加圧できるように、加熱炉51
を密封可能な構造とし、これに加圧ポンプ53が取り付
けられている。そして、本実施形態の封着工程において
は、配管部材26の先端は加熱炉51の外で大気中に開
放された状態にし、加圧ポンプ53で加熱炉51内を加
圧状態にしながら外囲器40を加熱して封着を行う。
Therefore, in the sealing device 50 of the present embodiment, as shown in FIG. 7, the vacuum pump 52 is not provided, and the heating furnace 51 is pressurized so that the inside of the heating furnace 51 can be pressurized.
Has a structure capable of being sealed, and a pressurizing pump 53 is attached to this. Then, in the sealing step of the present embodiment, the tip of the piping member 26 is opened to the atmosphere outside the heating furnace 51, and the pressure pump 53 pressurizes the inside of the heating furnace 51 to enclose it. The container 40 is heated for sealing.

【0063】このような封着方法によれば、外囲器40
の内部空間はほぼ大気圧に保たれる一方、外囲器40の
外部空間は高圧となるため、外囲器40は外側から押圧
された状態で封着される。従って、上記実施の形態1と
同様の効果を奏する。 〔実施の形態5〕本実施形態では、上記実施の形態4と
同様の封着装置50を用いて外囲器40の封着を行う
が、図8に示すように、本実施形態の配管部材26は直
線状であって、その先端は加熱炉51の内部で閉じられ
ている。
According to such a sealing method, the envelope 40
Since the internal space of the enclosure is maintained at approximately atmospheric pressure, the external space of the envelope 40 has a high pressure, and thus the envelope 40 is sealed while being pressed from the outside. Therefore, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. [Embodiment 5] In this embodiment, the envelope 40 is sealed by using the sealing device 50 similar to that in the above-mentioned Embodiment 4, but as shown in FIG. Reference numeral 26 is a straight line, and its tip is closed inside the heating furnace 51.

【0064】図9は、外囲器40を封着材層41で封着
する過程において、(a)は封着材層41が軟化する前
の状態、(b)は封着材層41が軟化した後の状態を示
す図である。本図を参照しながら、本実施形態の封着工
程について説明する。本実施形態の封着工程において
は、まず、加圧ポンプ53を作動させず加熱炉51内を
大気圧に保ったまま、外囲器40を加熱して封着材層4
1を軟化させる。
9A and 9B, in the process of sealing the envelope 40 with the sealing material layer 41, FIG. 9A shows a state before the sealing material layer 41 is softened, and FIG. 9B shows the sealing material layer 41. It is a figure which shows the state after softening. The sealing step of the present embodiment will be described with reference to this figure. In the sealing step of the present embodiment, first, the envelope 40 is heated while the pressure inside the heating furnace 51 is kept at atmospheric pressure without operating the pressure pump 53, and the sealing material layer 4 is heated.
1 is softened.

【0065】図9(a)に示すように、封着材層41が
軟化する前は、外囲器40の内部空間と外部空間とはガ
ス流通が遮断された状態になっておらず、相互のガス流
通が可能である。従って、封着材層41が軟化する時点
における外囲器40の内部空間の圧力はほぼ大気圧とな
る。そして、封着材層41及び接着材層26aが軟化し
た後に、加圧ポンプ53を作動させて加熱炉51内を加
圧する。
As shown in FIG. 9 (a), before the sealing material layer 41 is softened, the gas flow between the inner space and the outer space of the envelope 40 is not interrupted and the mutual space is not blocked. The gas distribution is possible. Therefore, the pressure in the internal space of the envelope 40 at the time when the sealing material layer 41 is softened becomes almost atmospheric pressure. Then, after the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 26a are softened, the pressure pump 53 is operated to pressurize the inside of the heating furnace 51.

【0066】図9(b)に示すように、封着材層41及
び接着材層26aが軟化した後には、外囲器40の内部
空間と外部空間とはガス流通が遮断されるので、加熱炉
51内を加圧すると、外囲器40の内部空間が大気圧に
近い圧力であるのに対して、外囲器40の外部空間の方
がより高い圧力となる。そして、このように加熱炉51
内を加圧した状態で、加熱炉51内の温度を下げ封着材
層41を硬化させれば、外囲器40が外側から押圧され
た状態で封着される。
As shown in FIG. 9B, after the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 26a are softened, the gas flow is cut off between the inner space and the outer space of the envelope 40, so that heating is performed. When the inside of the furnace 51 is pressurized, the internal space of the envelope 40 has a pressure close to the atmospheric pressure, whereas the external space of the envelope 40 has a higher pressure. And, in this way, the heating furnace 51
If the temperature in the heating furnace 51 is lowered and the sealing material layer 41 is cured while the inside is pressurized, the envelope 40 is sealed while being pressed from the outside.

【0067】従って、本実施形態の封着方法によって
も、上記実施の形態1と同様の効果を奏する。このよう
な封着工程の後、真空排気工程では、配管部材26の先
端部をカットして開封してから、配管部材26に真空ポ
ンプを連結して真空排気を行う。 〔実施の形態6〕本実施形態は、基本的に上記実施の形
態5と同様であるが、封着工程において、実施の形態5
では外囲器40の内部を大気圧に近い圧力、外部を高圧
にして内外の圧力差を設けたのに対して、本実施形態で
は、外囲器40の内部を減圧にし外部を大気圧にして内
外の圧力差を設ける点が異なっている。
Therefore, the sealing method of the present embodiment also has the same effect as that of the first embodiment. After such a sealing step, in the vacuum exhausting step, the tip end of the pipe member 26 is cut and opened, and then a vacuum pump is connected to the pipe member 26 to perform vacuum exhaust. [Sixth Embodiment] This embodiment is basically the same as the above-mentioned fifth embodiment, but in the sealing step, the fifth embodiment is performed.
In contrast, the inside of the envelope 40 has a pressure close to atmospheric pressure and the outside has a high pressure to provide a pressure difference between the inside and the outside, whereas in the present embodiment, the inside of the envelope 40 has a reduced pressure and the outside has an atmospheric pressure. The difference is that an internal and external pressure difference is provided.

【0068】本実施形態で用いる封着装置50は、図8
に示す封着装置50において、加圧ポンプ53の代わり
に真空ポンプが設けられたものである。本実施形態の封
着工程においては、まず、真空ポンプを作動して加熱炉
51内を減圧に保ったまま、外囲器40を加熱して封着
材層41を軟化させる。封着材層41が軟化する前は、
外囲器40の内部空間と外部空間とはガス流通が可能な
ので、封着材層41が軟化する時点における外囲器40
の内部空間は減圧状態となる。
The sealing device 50 used in this embodiment is shown in FIG.
In the sealing device 50 shown in (1), a vacuum pump is provided instead of the pressurizing pump 53. In the sealing step of the present embodiment, first, while the vacuum pump is operated and the inside of the heating furnace 51 is kept at a reduced pressure, the envelope 40 is heated to soften the sealing material layer 41. Before the sealing material layer 41 is softened,
Since gas can flow between the inner space and the outer space of the envelope 40, the envelope 40 at the time when the sealing material layer 41 is softened.
The internal space of is under reduced pressure.

【0069】そして、封着材層41及び接着材層26a
が軟化した後に、真空ポンプを停止させて加熱炉51内
を大気圧にする。封着材層41及び接着材層26aが軟
化した後には、外囲器40の内部空間と外部空間はガス
流通が気密に遮断されるので、加熱炉51内を大気圧に
すると、外囲器40の内部空間が減圧状態であるのに対
して、外囲器40の外部空間の方がより高い圧力とな
る。
Then, the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 26a
After the softening occurs, the vacuum pump is stopped to bring the inside of the heating furnace 51 to atmospheric pressure. After the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 26a are softened, gas flow is hermetically shut off between the inner space and the outer space of the envelope 40. While the internal space of 40 is in a reduced pressure state, the external space of the envelope 40 has a higher pressure.

【0070】そして、この状態で、加熱炉51内の温度
を下げ封着材層41を硬化させれば、外囲器40が外側
から押圧された状態で封着される。従って、本実施形態
の封着方法によっても、上記実施の形態5と同様の効果
を奏する。 〔実施の形態7〕本実施形態では、封着工程において、
内部圧力の低い容器を外囲器に連結し外囲器内から排気
することによって外囲器内の圧力を低くしながら封着を
行う例を示す。
Then, in this state, if the temperature in the heating furnace 51 is lowered and the sealing material layer 41 is cured, the envelope 40 is sealed while being pressed from the outside. Therefore, the sealing method of the present embodiment also has the same effect as that of the fifth embodiment. [Embodiment 7] In the present embodiment, in the sealing step,
An example will be shown in which a container having a low internal pressure is connected to an envelope and exhausted from the inside of the envelope to perform sealing while reducing the pressure inside the envelope.

【0071】図10は、本実施形態の封着方法で外囲器
40を封着している様子を示す斜視図である。実施の形
態1では、予め、背面パネル20の表示領域より外側の
外周部に通気孔21aを設けたが、本実施形態では、通
気孔21aの他に通気孔21bも外周部に設けておく。
FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the envelope 40 is sealed by the sealing method of this embodiment. In the first embodiment, the ventilation hole 21a is provided in advance in the outer peripheral portion outside the display area of the back panel 20, but in the present embodiment, the ventilation hole 21b is also provided in the outer peripheral portion in addition to the ventilation hole 21a.

【0072】実施の形態1と同様に、前面パネル10及
び背面パネル20の対向面のどちらか一方または両方の
外周部に封着材層41を形成し、前面パネル10と背面
パネル20とを、位置合わせしながら重ね合わせて外囲
器40を形成し、その外縁部をクリップ42で締め付け
て固定する。そして、外囲器40の通気孔21aには低
内圧容器70を取り付け、通気孔21bには、実施の形
態5で用いたものと同様の先端が閉じられた配管部材2
6を取り付ける。
Similar to the first embodiment, the sealing material layer 41 is formed on the outer peripheral portion of either or both of the facing surfaces of the front panel 10 and the rear panel 20, and the front panel 10 and the rear panel 20 are connected to each other. The envelope 40 is formed by overlapping while aligning, and the outer edge of the envelope 40 is clamped and fixed by a clip 42. Then, the low internal pressure container 70 is attached to the ventilation hole 21a of the envelope 40, and the piping member 2 having the same closed end as that used in the fifth embodiment is attached to the ventilation hole 21b.
Attach 6.

【0073】この低内圧容器70は、配管部材26と同
様に封着温度以上の耐熱性を有するガラスで形成され、
容器本体71と、通気孔21aに接続されるように容器
本体71から突出する接続管72とから構成されてい
る。そして、容器本体71の内部は、接続管72内に設
けられた気体流通遮断層73(図13(a)参照)によ
って外部とのガス流通が気密に遮断され、減圧状態に保
たれている。
The low internal pressure container 70 is formed of glass having heat resistance equal to or higher than the sealing temperature, like the piping member 26,
It is composed of a container body 71 and a connecting pipe 72 protruding from the container body 71 so as to be connected to the ventilation hole 21a. The inside of the container body 71 is kept in a depressurized state by hermetically blocking the gas flow from the outside by the gas flow blocking layer 73 (see FIG. 13A) provided in the connecting pipe 72.

【0074】低内圧容器70及び配管部材26を各通気
孔21a,21bに取り付ける際に、低内圧容器70及
び配管部材26と背面パネル20との間が気密にシール
できるように、接続管72と背面パネル20との間には
接着材層74を形成し、配管部材26と背面パネル20
との間には接着材層26aを形成しておく。本実施形態
では、接着材層26a及び接着材層74は、封着材層4
1と同じ材料を用いることとする。
When the low internal pressure container 70 and the piping member 26 are attached to the ventilation holes 21a and 21b, the connection pipe 72 is provided so that the low internal pressure container 70 and the piping member 26 and the rear panel 20 can be hermetically sealed. An adhesive layer 74 is formed between the rear panel 20 and the rear panel 20, and the piping member 26 and the rear panel 20 are formed.
An adhesive material layer 26a is formed between and. In the present embodiment, the adhesive layer 26 a and the adhesive layer 74 are the sealing material layer 4
The same material as 1 is used.

【0075】気体流通遮断層73は、封着工程において
封着材層41並びに接着材層26a,接着材層74が軟
化するよりも後で軟化するかもしくはほぼ同時に軟化す
るように、封着材層41の材料よりも軟化点の若干高い
低融点ガラスを用いて形成するか、封着材層41の材料
と同じ材料を用いて形成する。ここで、低内圧容器70
の作製方法の一例について、図11を参照しながら説明
する。
The gas flow blocking layer 73 is softened after the sealing material layer 41 and the adhesive material layers 26a, 74a and 74 are softened or softened at the same time in the sealing step so that the gas flow blocking layer 73 softens at the same time. It is formed by using a low melting point glass having a slightly higher softening point than the material of the layer 41, or by using the same material as the material of the sealing material layer 41. Here, the low internal pressure container 70
An example of the manufacturing method of will be described with reference to FIGS.

【0076】容器本体71及び接続管72は、フラスコ
等を作製するときのガラス加工技術を用いて作製する。
なお、容器本体71には、接続管72とは別に真空排気
するための排気管72aを形成しておく。図11(a)
に示すように、接続管72の中に、気体流通遮断層73
の材料となる低融点ガラスを含むペーストを充填し、ガ
スバーナなどのヒータを用いてこれを加熱して一旦軟化
させ、再び硬化させることによって、気体流通遮断層7
3を形成する。
The container body 71 and the connecting pipe 72 are manufactured by using the glass processing technique when manufacturing a flask or the like.
In addition to the connecting pipe 72, an exhaust pipe 72a for vacuum evacuation is formed in the container body 71. FIG. 11 (a)
As shown in FIG.
The gas flow blocking layer 7 is filled with a paste containing a low-melting point glass as a material of, and heated by using a heater such as a gas burner to once soften and harden again.
3 is formed.

【0077】次に、図11(b)に示すように、排気管
72aに真空ポンプを連結して、容器本体71内が所定
の真空度になるまで、容器本体71内から排気する。次
に、図11(c)に示すように、真空ポンプを連結した
まま、容器本体71内を所定の真空度に保った状態で、
排気管72aをガスバーナでチップオフする。
Next, as shown in FIG. 11 (b), a vacuum pump is connected to the exhaust pipe 72a to evacuate the inside of the container body 71 until the inside of the container body 71 reaches a predetermined vacuum degree. Next, as shown in FIG. 11 (c), with the vacuum pump connected, the inside of the container body 71 is kept at a predetermined vacuum level,
The exhaust pipe 72a is chipped off with a gas burner.

【0078】以上で、容器本体71内が所定の真空度に
保たれた低内圧容器70が出来上がる。図12は、本実
施の形態で外囲器40の封着に使用するベルト式加熱装
置を示す概略構成図である。この加熱装置60は、基板
を加熱する加熱炉61、加熱炉61内を通過するように
外囲器40を搬送する搬送ベルト62、加熱炉61内に
搬送方向に沿って設けられた複数のヒータ63などから
構成されている。
As described above, the low internal pressure container 70 in which the inside of the container body 71 is maintained at a predetermined vacuum degree is completed. FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing a belt-type heating device used for sealing the envelope 40 in the present embodiment. The heating device 60 includes a heating furnace 61 that heats a substrate, a conveyor belt 62 that conveys the envelope 40 so as to pass through the heating furnace 61, and a plurality of heaters that are provided in the heating furnace 61 along the conveyance direction. It is composed of 63 and the like.

【0079】そして、各ヒータ63で加熱炉61の入口
64から出口65に至るまでの各箇所の温度を設定する
ことによって、外囲器40を所望の温度プロファイルで
昇温並びに降温できるようになっている。図13は、外
囲器40の封着工程における状態変化を示す説明図であ
る。上記のように低内圧容器70及び配管部材26を取
り付けた外囲器40を、以下のようにして加熱装置60
を用いて封着する。
By setting the temperature of each portion from the inlet 64 to the outlet 65 of the heating furnace 61 with each heater 63, the envelope 40 can be heated and lowered with a desired temperature profile. ing. FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state change in the sealing process of the envelope 40. The enclosure 40 to which the low internal pressure container 70 and the piping member 26 are attached as described above is heated by the heating device 60 as follows.
To seal.

【0080】外囲器40を加熱装置60の搬送ベルト6
2上に置くと、外囲器40は、加熱炉61内を搬送さ
れ、気体流通遮断層73の軟化温度よりも若干高く設定
された封着温度まで昇温される。この昇温速度は、例え
ば10℃/分とする。外囲器40が封着材層41の軟化
温度より低いときには、封着材層41を通して外囲器4
0の内部と外部との間でガス流通が可能である。一方、
容器本体71内は、図13(a)に示されるように、気
体流通遮断層73によって外部とのガス流通ができず、
真空度が保たれる。
The envelope 40 is connected to the conveyor belt 6 of the heating device 60.
When placed on the upper surface 2, the envelope 40 is transported in the heating furnace 61 and heated to a sealing temperature which is set slightly higher than the softening temperature of the gas flow blocking layer 73. The rate of temperature increase is, for example, 10 ° C./minute. When the envelope 40 is lower than the softening temperature of the sealing material layer 41, the envelope 4 is passed through the sealing material layer 41.
Gas can flow between the inside and outside of the zero. on the other hand,
As shown in FIG. 13 (a), the inside of the container body 71 cannot flow gas with the outside due to the gas flow blocking layer 73.
The degree of vacuum is maintained.

【0081】外囲器40が、封着材層41の軟化温度ま
で昇温されると、封着材層41は軟化し、両パネル10
・20の外周部の間は、封着材層41によって気密にシ
ールされる。また、接着材層26a,接着材層74も軟
化するので、低内圧容器70及び配管部材26と背面パ
ネル20との間も気密にシールされる。これによって、
外囲器40の内部空間と外部空間との間でガス流通が遮
断されることになる。すなわち、詳しくいえば、外囲器
40と低内圧容器70とが合わさってなる容器複合体の
内部と外部との間でガス流通が遮断されることなる。
When the envelope 40 is heated to the softening temperature of the sealing material layer 41, the sealing material layer 41 is softened and both panels 10 are heated.
The space between the outer peripheral portions of 20 is hermetically sealed by the sealing material layer 41. Further, since the adhesive layer 26a and the adhesive layer 74 are also softened, the low internal pressure container 70 and the piping member 26 and the rear panel 20 are also hermetically sealed. by this,
Gas flow is interrupted between the inner space and the outer space of the envelope 40. That is, in detail, the gas flow is blocked between the inside and the outside of the container complex in which the envelope 40 and the low internal pressure container 70 are combined.

【0082】そして、この封着材層41の軟化する時期
とほぼ同時もしくは少し後で、気体流通遮断層73も軟
化する。このとき、容器本体71内は真空度が保たれて
いるので、図13(b)に示されるように、気体流通遮
断層73は圧力差によって破られてガス流通可能とな
り、外囲器40内部のガスが容器本体71に引き込まれ
る。
The gas flow blocking layer 73 also softens at the same time as or slightly after the softening time of the sealing material layer 41. At this time, since the degree of vacuum is maintained inside the container body 71, as shown in FIG. 13B, the gas flow blocking layer 73 is broken by the pressure difference and the gas can flow therethrough. Gas is drawn into the container body 71.

【0083】それに伴って、外囲器40内部が減圧状態
となるので、外囲器40の内外圧力差によって両パネル
10・20は外側から押圧される。この押圧力によっ
て、図13(c)に示されるように、隔壁24の頂部と
前面パネル10との隙間は少なくなる。外囲器40は、
封着温度でしばらく(例えば30分間)保たれた後、降
温されて加熱炉61から排出される。
Along with this, the inside of the envelope 40 is in a depressurized state, so that the panels 10 and 20 are pressed from the outside by the pressure difference between the inside and the outside of the envelope 40. This pressing force reduces the gap between the top of the partition wall 24 and the front panel 10 as shown in FIG. 13 (c). The envelope 40 is
After being kept at the sealing temperature for a while (for example, 30 minutes), it is cooled and discharged from the heating furnace 61.

【0084】外囲器40が封着材層41の軟化温度以下
に降温されると、両パネル10・20が外側から押圧さ
れた状態のまま封着材層41が硬化するので、隔壁24
の頂部と前面パネル10との隙間が少ない状態で封着が
なされることになる。このように加熱装置60で封着工
程が終わった後、接続管72をバーナで焼き切って通気
孔21bを封止する。また、配管部材26の先端部をカ
ットして開封してから、配管部材26に真空ポンプを連
結して真空排気を行う。
When the envelope 40 is cooled to a temperature not higher than the softening temperature of the sealing material layer 41, the sealing material layer 41 is hardened while the both panels 10 and 20 are pressed from the outside.
Sealing is performed in a state where there is a small gap between the top and the front panel 10. After the sealing process is completed by the heating device 60, the connecting pipe 72 is burned off by a burner to seal the vent hole 21b. Further, after cutting and opening the tip of the piping member 26, a vacuum pump is connected to the piping member 26 to perform vacuum evacuation.

【0085】〔本実施形態の封着方法による効果につい
て〕本実施形態の封着方法によれば、実施の形態1と同
様に、両パネル10・20が外側から均一に加圧された
状態で封着されるので、背面パネル20上の隔壁頂部と
前面パネル10とが、全体的にぴったり密着した状態で
封着される。更に、本実施形態の封着工程では、実施形
態1のように真空ポンプを外囲器40に接続したり、実
施の形態3〜5のように加熱炉内を加圧したり減圧した
りする必要がないので、上記加熱装置60のような連続
式加熱装置を用いて連続的に封着工程を行うことも容易
である。
[Effects of Sealing Method of this Embodiment] According to the sealing method of this embodiment, as in Embodiment 1, both panels 10 and 20 are pressed uniformly from the outside. Since they are sealed, the tops of the partition walls on the rear panel 20 and the front panel 10 are sealed in a state of being in close contact with each other as a whole. Further, in the sealing step of the present embodiment, it is necessary to connect the vacuum pump to the envelope 40 as in the first embodiment, or pressurize or depressurize the heating furnace as in the third to fifth embodiments. Therefore, it is easy to continuously perform the sealing step using a continuous heating device such as the heating device 60.

【0086】なお、低内圧容器70を作製する上で、容
器本体71の容積や真空度は、気体流通遮断層73が破
られた後の外囲器40内の圧力が10〜600Torr
の範囲内になるよう設定するのが好ましい。これは、外
囲器40内の圧力が10Torr未満の低圧になると封
着材層41が圧力差によってシールが破られることがあ
り、一方600Torrを越える場合は、押圧力も弱く
効果があまり期待できないためである。
In manufacturing the low internal pressure container 70, the volume and the degree of vacuum of the container body 71 are such that the pressure inside the envelope 40 after the gas flow blocking layer 73 is broken is 10 to 600 Torr.
It is preferable to set it within the range of. This is because when the pressure in the envelope 40 becomes a low pressure of less than 10 Torr, the sealing material layer 41 may break the seal due to the pressure difference, while when it exceeds 600 Torr, the pressing force is weak and the effect cannot be expected so much. This is because.

【0087】〔本実施形態の変形例について〕本実施形
態では、気体流通遮断層73を、封着工程の途中で熱に
より軟化するように低融点ガラスで形成する例を示した
が、光あるいは超音波のようなエネルギーを加えること
によって溶融もしくは分解する材料を用いて気体流通遮
断層73を形成し、封着工程の途中でこれに光や超音波
といったエネルギーを加えるようにしてもよい。
[Regarding Modifications of this Embodiment] In this embodiment, an example in which the gas flow blocking layer 73 is formed of a low-melting glass so as to be softened by heat during the sealing process is shown. The gas flow blocking layer 73 may be formed using a material that melts or decomposes by applying energy such as ultrasonic waves, and energy such as light or ultrasonic waves may be applied to the gas flow blocking layer 73 during the sealing process.

【0088】例えば、ノボラック樹脂を用いて気体流通
遮断層73を形成し、封着工程の途中でこれに光を照射
して分解するようにしても、同様に実施することがで
き、同様の効果を奏する。 〔実施の形態8〕本実施の形態では、封着工程におい
て、高温に加熱した外囲器40の内部空間と外部空間と
の間でガスが流通しないよう遮断した後、温度を下げて
内部空間の圧力を下げることによって内外圧力差を形成
する例を示す。
For example, even if the gas flow blocking layer 73 is formed of a novolac resin and is decomposed by irradiating it with light during the sealing process, the same effect can be obtained. Play. [Embodiment 8] In the present embodiment, in the sealing step, after shutting off gas so as not to flow between the internal space of the envelope 40 heated to a high temperature and the external space, the temperature is lowered to reduce the internal space. An example of forming an internal / external pressure difference by lowering the pressure is shown.

【0089】図14は、本実施の形態で外囲器40の封
着に使用するベルト式加熱装置を示す概略構成図であ
り、図15は、このベルト式加熱装置内に外囲器40が
置かれて封着工程がなされる様子を示す図である。本実
施形態の封着工程では、実施の形態5と同様、直線状の
配管部材26(ただし先端は開放されている)が通気孔
21aに取り付けられた外囲器40を形成し(図15参
照)、形成した外囲器40を、図14に示すように、ベ
ルト式の加熱装置80を用いて封着する。
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing a belt type heating device used for sealing the envelope 40 in the present embodiment, and FIG. 15 shows the belt type heating device with the envelope 40 inside. It is a figure which shows a mode that it is placed and a sealing process is performed. In the sealing step of the present embodiment, as in the case of the fifth embodiment, the straight pipe member 26 (however, the tip is open) is attached to the vent hole 21a to form the envelope 40 (see FIG. 15). ), The formed envelope 40 is sealed by using a belt type heating device 80 as shown in FIG.

【0090】加熱装置80は、実施の形態7で説明した
加熱装置60と同様の構成であるが、加熱炉61の内部
に配管部材26の先端部を加熱して封止するためのバー
ナ81が設置されている。加熱炉61内におけるバーナ
81の取り付け位置は、搬送ベルト62に載って加熱炉
61内を搬送される外囲器40が最も高い温度(ピーク
温度)になる範囲内に設定されている。
The heating device 80 has the same structure as the heating device 60 described in the seventh embodiment, but a burner 81 for heating and sealing the tip of the pipe member 26 is provided inside the heating furnace 61. is set up. The mounting position of the burner 81 in the heating furnace 61 is set within a range in which the envelope 40 placed on the conveyor belt 62 and conveyed in the heating furnace 61 has the highest temperature (peak temperature).

【0091】この加熱装置80を用いて、配管部材26
を取り付けた外囲器40を、以下のようにして封着す
る。外囲器40を加熱装置80の搬送ベルト62上に置
くと、外囲器40は、加熱炉61内を搬送され、封着材
層41の軟化温度(例えば380℃)よりも高く設定さ
れたピーク温度(例えば500℃)まで昇温される。こ
のときの昇温速度は例えば10℃/分とする。
Using this heating device 80, the piping member 26
The envelope 40 attached with is sealed as follows. When the envelope 40 is placed on the conveyor belt 62 of the heating device 80, the envelope 40 is conveyed in the heating furnace 61 and set higher than the softening temperature (for example, 380 ° C.) of the sealing material layer 41. The temperature is raised to the peak temperature (eg 500 ° C.). The heating rate at this time is, eg, 10 ° C./minute.

【0092】そして、ピーク温度でしばらく(例えば1
0分程度)保たれた後、配管部材26の先端がバーナ8
1によって加熱溶融されて封止される。このとき、外囲
器40の状態は、実施の形態5の図9(b)に示されて
いる状態と同様、封着材層41及び接着材層26aが軟
化しているので、外囲器40の内部空間と外部空間とは
ガスの流通が遮断された密封空間となっている。
Then, at the peak temperature for a while (for example, 1
After being held for about 0 minutes, the tip of the piping member 26 is burner 8
It is heated and melted by 1 and sealed. At this time, the state of the envelope 40 is the same as the state shown in FIG. 9B of the fifth embodiment, because the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 26a are softened, so the envelope is The inner space and the outer space of 40 are hermetically sealed spaces in which gas flow is blocked.

【0093】バーナ81を通過した後、加熱炉61内を
搬送される外囲器40は降温され、加熱炉61から排出
される。密閉空間内の圧力は絶対温度に比例する(ボイ
ル−シャルルの法則)ので、外囲器40の降温に伴っ
て、外囲器40の内部空間は、圧力が低下する。そのた
め、外部空間との圧力差が生じ、両パネル10・20が
外側から押圧される。そして、この状態で、外囲器40
が封着材層41の軟化温度まで降温されると、封着材層
41及び接着材層26aが硬化するので、隔壁24の頂
部と前面パネル10との隙間が少ない状態で封着がなさ
れることになる。また、配管部材26の背面パネル20
上への固着もなされる。
After passing through the burner 81, the temperature of the envelope 40 conveyed in the heating furnace 61 is lowered and the temperature is discharged from the heating furnace 61. Since the pressure in the closed space is proportional to the absolute temperature (Boyle-Charles' law), the pressure in the inner space of the envelope 40 decreases as the temperature of the envelope 40 decreases. Therefore, a pressure difference with the external space is generated, and both panels 10 and 20 are pressed from the outside. Then, in this state, the envelope 40
When the temperature is lowered to the softening temperature of the sealing material layer 41, the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 26a are cured, so that the sealing is performed in a state where there is a small gap between the top portion of the partition wall 24 and the front panel 10. It will be. In addition, the rear panel 20 of the piping member 26
It is also fixed to the top.

【0094】封着工程が終わった後、配管部材26の先
端部をカットして開封してから、配管部材26に真空ポ
ンプを連結して真空排気を行う。 〔本実施形態の封着方法による効果について〕本実施形
態の封着方法によれば、上記実施の形態7と同様に、背
面パネル20上の隔壁頂部と前面パネル10とは、全体
的にぴったり密着した状態で封着されると共に、加熱装
置80のような連続式加熱装置を用いて連続的に封着工
程を行うことも容易である。
After the sealing process is completed, the tip of the pipe member 26 is cut and opened, and then a vacuum pump is connected to the pipe member 26 to evacuate it. [Effects of Sealing Method of Present Embodiment] According to the sealing method of the present embodiment, the top of the partition wall on the rear panel 20 and the front panel 10 are perfectly aligned as in the case of the seventh embodiment. It is easy to carry out the sealing step in the state of being in close contact with each other and to continuously perform the sealing step using a continuous heating device such as the heating device 80.

【0095】なお、本実施形態の封着工程において、十
分な効果を得るために、封着材層41が硬化するときに
外囲器40の内外圧力差が十分に設けられていることが
必要である。従って、配管部材26の先端を封止すると
きの温度(ピーク温度)は、封着材層41の軟化温度よ
りも10℃以上高く設定すべきであり、好ましくは数十
度以上高く設定する。
In the sealing step of this embodiment, in order to obtain a sufficient effect, it is necessary that the pressure difference between the inside and the outside of the envelope 40 is sufficiently set when the sealing material layer 41 is cured. Is. Therefore, the temperature (peak temperature) at the time of sealing the tip of the piping member 26 should be set higher than the softening temperature of the sealing material layer 41 by 10 ° C. or higher, and preferably set higher than several tens of degrees.

【0096】〔本実施形態の変形例について〕本実施形
態では、外囲器40の内部空間と外部空間とのガス流通
を遮断する方法として、配管部材26の先端をバーナ8
1で封止する例を示したが、この他に以下のように行う
こともできる。外囲器40を形成する際に、予め、配管
部材26の先端部に、軟化温度が上記ピーク温度より若
干低い低融点ガラスを充填しておけば、配管部材26の
先端をバーナ81で封止しなくても、外囲器40がピー
ク温度に達するときには、この低融点ガラスが軟化して
配管部材26の先端部は封止される。そして、外囲器4
0がピーク温度から降温されると、すぐに配管部材26
の先端部の低融点ガラスは硬化する。更に、封着材層4
1の軟化温度まで降温されると、外囲器40に内外圧力
差が生じるので、本実施の形態と同様の効果を奏する。
[Regarding Modification of this Embodiment] In this embodiment, as a method of interrupting gas flow between the inner space and the outer space of the envelope 40, the tip of the piping member 26 is attached to the burner 8
Although the example of sealing with 1 is shown, in addition to this, it is also possible to perform as follows. When forming the envelope 40, if the low melting point glass whose softening temperature is slightly lower than the above-mentioned peak temperature is filled in the tip portion of the piping member 26 in advance, the tip of the piping member 26 is sealed with the burner 81. Even if it does not, when the envelope 40 reaches the peak temperature, the low melting point glass is softened and the tip portion of the piping member 26 is sealed. And the envelope 4
As soon as 0 is lowered from the peak temperature, the piping member 26
The low-melting-point glass at the tip of is hardened. Further, the sealing material layer 4
When the temperature is lowered to the softening temperature of 1, an inner / outer pressure difference is generated in the envelope 40, and therefore the same effect as that of the present embodiment is achieved.

【0097】或は、外囲器40を形成する際に、実施の
形態7と同様に、背面ガラス基板21に予め通気孔21
aとは別の通気孔21bを設けておき、先端部が封止さ
れた配管部材26を通気孔21bに取り付けておく。但
し、通気孔21aには何も取り付けずに開放しておく。
そして、外囲器40がピーク温度に達したときに、軟化
温度がこのピーク温度より若干低い低融点ガラスを通気
孔21aに滴らして通気孔21aを封止する。この場合
も、外囲器40がピーク温度から降温されると、この低
融点ガラスは硬化し、更に、封着材層41の軟化温度ま
で降温されると、外囲器40に内外圧力差が生じるの
で、本実施の形態と同様の効果を奏する。
Alternatively, when the envelope 40 is formed, the ventilation holes 21 are previously formed in the rear glass substrate 21 as in the seventh embodiment.
A ventilation hole 21b different from a is provided, and the piping member 26 having a sealed tip is attached to the ventilation hole 21b. However, the vent hole 21a is opened without attaching anything.
Then, when the envelope 40 reaches the peak temperature, low-melting glass having a softening temperature slightly lower than the peak temperature is dropped into the ventilation hole 21a to seal the ventilation hole 21a. Also in this case, when the temperature of the envelope 40 is lowered from the peak temperature, the low melting point glass is hardened, and when the temperature is lowered to the softening temperature of the sealing material layer 41, the pressure difference between the inside and the outside of the envelope 40 is reduced. As a result, the same effect as that of the present embodiment is obtained.

【0098】〔実施の形態9〕本実施の形態では、封着
工程において、外囲器に容器を連結して容器複合体を形
成し、連結した容器を高温にした状態で、容器複合体の
内部空間と外部空間とのガス流通を遮断した後、降温す
ることによって、外囲器内の圧力を低くしながら封着を
行う例を示す。
[Embodiment 9] In the present embodiment, in the sealing step, a container is connected to an envelope to form a container complex, and the connected container is heated to a high temperature. An example will be shown in which the gas flow between the internal space and the external space is interrupted, and then the temperature is lowered to perform sealing while lowering the pressure inside the envelope.

【0099】図16は、本実施の形態の封着工程におい
て外囲器40を封着する様子を示す図である。図16
(a)に示すように、本実施形態の封着工程では、実施
の形態1と同様に、封着材層41を介して前面パネル1
0及び背面パネル20を重ねて外囲器40を、加熱炉5
1内にセットするが、背面ガラス基板21の通気孔21
aには、配管部材26の代わりに、先端が開放された容
器部材90を取り付けておく。
FIG. 16 is a diagram showing how the envelope 40 is sealed in the sealing step of this embodiment. FIG.
As shown in (a), in the sealing step of the present embodiment, as in the first embodiment, the front panel 1 is interposed via the sealing material layer 41.
0 and the back panel 20 are overlapped with each other to form the envelope 40 and the heating furnace 5
1, but the ventilation hole 21 of the rear glass substrate 21
Instead of the piping member 26, a container member 90 having an open tip is attached to a.

【0100】容器部材90は、容器本体91と、通気孔
21aに接続されるように容器本体91から突出する接
続管92と、容器本体91から接続管92と反対側に延
設され先端が開放された延設管93とから構成されてい
る。容器部材90を通気孔21aに取り付ける際に、容
器本体91を加熱炉51の外部に露出させた状態で取り
付ける。また、容器部材90と背面パネル20との間が
気密にシールできるように、接続管92と背面パネル2
0との間には接着材層94を形成しておく。本実施形態
では、接着材層94は封着材層41と同じ材料を用いる
こととする。
The container member 90 has a container body 91, a connecting pipe 92 projecting from the container body 91 so as to be connected to the vent hole 21a, and a container body 90 extending from the container body 91 to the side opposite to the connecting pipe 92 and having an open tip. And the extended pipe 93 that is formed. When the container member 90 is attached to the ventilation hole 21a, the container body 91 is attached to the heating furnace 51 in an exposed state. In addition, the connection pipe 92 and the rear panel 2 are provided so that the container member 90 and the rear panel 20 can be hermetically sealed.
An adhesive material layer 94 is formed between 0 and 0. In this embodiment, the adhesive layer 94 is made of the same material as the sealing material layer 41.

【0101】また、容器本体91には、これを加熱昇温
できるように、電熱ヒータ95を取り付けておく。この
ようにセットした後、加熱炉51で外囲器40を封着材
層41の軟化温度以上の封着温度(例えば480℃)に
なるまで加熱昇温させる(昇温速度は例えば10℃/
分)。それと共に、電熱ヒータ95で容器本体91をそ
の設定温度(例えば200℃)まで加熱昇温させる。そ
して、延設管93の先端部をバーナで封止する。
An electric heater 95 is attached to the container body 91 so that the container body 91 can be heated and heated. After setting in this way, the envelope 40 is heated and heated in the heating furnace 51 until it reaches a sealing temperature (for example, 480 ° C.) that is equal to or higher than the softening temperature of the sealing material layer 41 (a heating rate is, for example, 10 ° C. /
Minutes). At the same time, the electric heater 95 heats and raises the temperature of the container body 91 to the set temperature (for example, 200 ° C.). Then, the tip of the extended pipe 93 is sealed with a burner.

【0102】このとき、図16(b)のように、延設管
93の先端部は閉じられ、且つ封着材層41及び接着材
層94は軟化しているので、外囲器40の内部空間及び
容器本体91内と外部空間(加熱炉51内の空間)と
は、ガス流通が遮断された状態となっている。次に、図
16(c)のように、加熱炉51で外囲器40を封着材
層41の軟化温度以上の温度に保温したまま、電熱ヒー
タ95を切って容器本体91を放冷する。
At this time, as shown in FIG. 16 (b), since the distal end portion of the extended pipe 93 is closed and the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 94 are softened, the inside of the envelope 40 is closed. Gas flow between the space and the container body 91 and the external space (the space in the heating furnace 51) is blocked. Next, as shown in FIG. 16C, the electric heater 95 is turned off and the container body 91 is allowed to cool while the envelope 40 is kept at a temperature equal to or higher than the softening temperature of the sealing material layer 41 in the heating furnace 51. .

【0103】容器本体91の温度が降下するのに伴っ
て、容器本体91内の圧力が低下し、それに伴って外囲
器40内の圧力も低下する。そのため、実施形態8と同
様に、外囲器40の内部空間と外部空間との圧力差が生
じ、両パネル10・20が外側から押圧される。そし
て、この状態で加熱炉51内を降温して、外囲器40を
封着材層41の軟化温度まで降温すると、封着材層41
及び接着材層94が硬化するので、隔壁24の頂部と前
面パネル10との隙間が少ない状態で封着がなされるこ
とになる。また、容器部材90の背面パネル20上への
固着もなされる。
As the temperature of the container body 91 drops, the pressure in the container body 91 drops, and the pressure in the envelope 40 also drops accordingly. Therefore, as in the eighth embodiment, a pressure difference occurs between the inner space and the outer space of the envelope 40, and the both panels 10 and 20 are pressed from the outside. Then, in this state, the temperature of the heating furnace 51 is lowered to lower the temperature of the envelope 40 to the softening temperature of the sealing material layer 41.
Since the adhesive layer 94 and the adhesive layer 94 are cured, sealing is performed with a small gap between the top of the partition wall 24 and the front panel 10. Further, the container member 90 is also fixed to the rear panel 20.

【0104】封着工程が終わった後、延設管93の先端
部をカットして開封してから、これに真空ポンプを連結
して真空排気を行う。 〔本実施形態の封着方法による効果について〕本実施形
態の封着方法によれば、上記実施の形態8と同様に、背
面パネル20上の隔壁頂部と前面パネル10とは、全体
的にぴったり密着した状態で封着される。
After the sealing step is completed, the tip end of the extension pipe 93 is cut and opened, and then a vacuum pump is connected to this to evacuate it. [Effects of Sealing Method of Present Embodiment] According to the sealing method of the present embodiment, the top of the partition wall on the rear panel 20 and the front panel 10 are perfectly aligned as in the case of the eighth embodiment. Sealed in close contact.

【0105】また、本実施形態では、実施の形態8のよ
うに外囲器40自体の温度降下により圧力を低下させる
のではなく、これと別個に温度調整可能な容器部材90
の温度を降下させることによって外囲器40の内部空間
の圧力を低下させているため、実施の形態8のように外
囲器40の温度を封着材層41の軟化温度よりもかなり
高い温度まで昇温させる必要はなく、封着材層41の軟
化温度と同等以上の温度まで上昇させれば十分である。
Further, in the present embodiment, the pressure is not lowered by the temperature drop of the envelope 40 itself as in the case of the eighth embodiment, but the temperature is adjusted separately from the container member 90.
Since the pressure in the inner space of the envelope 40 is lowered by lowering the temperature of the envelope 40, the temperature of the envelope 40 is considerably higher than the softening temperature of the sealing material layer 41 as in the eighth embodiment. It is not necessary to raise the temperature up to, and it is sufficient to raise it to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the sealing material layer 41.

【0106】〔実施の形態10〕本実施の形態では、連
続式の加熱装置を用いて、実施の形態9と同様に、外囲
器40に容器部材90を連結し、複合容器の内部空間を
外部空間と遮断した後、降温することによって、外囲器
内の圧力を低くしながら封着を行う例を示す。図17
は、本実施の形態で外囲器40の封着に使用するベルト
式加熱装置を示す概略構成図であり、図18は、このベ
ルト式加熱装置内に外囲器40が置かれて封着工程がな
される様子を示す図である。
[Embodiment 10] In the present embodiment, a continuous heating device is used to connect the container member 90 to the envelope 40 in the same manner as in Embodiment 9 so that the internal space of the composite container is An example will be shown in which the pressure in the envelope is lowered and the sealing is performed by lowering the temperature after shutting off from the external space. FIG. 17
FIG. 18 is a schematic configuration diagram showing a belt-type heating device used for sealing the envelope 40 in the present embodiment, and FIG. 18 shows a case where the envelope 40 is placed inside the belt-type heating device for sealing. It is a figure which shows a mode that a process is performed.

【0107】本実施形態の封着工程では、実施の形態8
と同様にして、外囲器40を形成すると共に、接着材層
94を介して容器部材90を外囲器40の通気孔21a
に取り付け、これを、図17に示すように加熱装置10
0を通過させることによって封着する。この加熱装置1
00は、実施の形態8で説明した加熱装置80と同様の
構成であって、加熱炉61の内部に容器部材90の延設
管93先端部を加熱して封止するためのバーナ101が
設置されている。なお、加熱炉61内におけるバーナ1
01の取り付け位置は、搬送ベルト62に載って加熱炉
61内を搬送される外囲器40が封着温度以上(封着材
層41の軟化温度以上)となる範囲内に設定されてい
る。
In the sealing step of this embodiment, the eighth embodiment is adopted.
Similarly to the above, the envelope 40 is formed, and the container member 90 is attached to the ventilation hole 21a of the envelope 40 through the adhesive layer 94.
Attached to the heating device 10 as shown in FIG.
Seal by passing 0. This heating device 1
00 has the same configuration as that of the heating device 80 described in the eighth embodiment, and the burner 101 for heating and sealing the tip of the extension pipe 93 of the container member 90 is installed inside the heating furnace 61. Has been done. The burner 1 in the heating furnace 61
The mounting position of 01 is set within a range where the envelope 40 placed on the conveyor belt 62 and conveyed in the heating furnace 61 has a sealing temperature or higher (softening temperature of the sealing material layer 41 or higher).

【0108】また、加熱装置100は、バーナ101よ
り出口側では、加熱炉61の天井板61aの高さが低く
設定され、当該天井板61aには、搬送方向に沿って容
器部材90の接続管92が貫通するための溝61b、並
びに容器本体91が通過するための通過窓61cが開設
されている。この加熱装置100の搬送ベルト62上
に、容器部材90を取り付けた上記外囲器40をセット
して流通させると、この外囲器40は、封着温度に昇温
されて封着温度でしばらく保たれる共に、容器部材90
の延設管93先端部がバーナ101によって加熱溶融さ
れて封止される。
Further, in the heating device 100, the height of the ceiling plate 61a of the heating furnace 61 is set to be low on the outlet side of the burner 101, and the ceiling plate 61a is connected to the connecting pipe of the container member 90 along the carrying direction. A groove 61b through which the container 92 penetrates and a passage window 61c through which the container body 91 passes are provided. When the envelope 40 having the container member 90 attached thereto is set on the conveyor belt 62 of the heating device 100 and circulated, the envelope 40 is heated to the sealing temperature and kept at the sealing temperature for a while. Kept together with the container member 90
The leading end of the extended pipe 93 is heated and melted by the burner 101 and sealed.

【0109】このときの外囲器40は、実施の形態9の
図16(b)の状態と同様であって、延設管93の先端
部は閉じられ、且つ封着材層41及び接着材層94は軟
化しているので、外囲器40の内部空間及び容器本体9
1内と外部空間とは、ガス流通が遮断された状態とな
る。バーナ101を通過した後の外囲器40は、バーナ
101より出口側でも加熱炉61の内部を通過すること
によって封着材層41の軟化温度以上の温度に保温がな
されるが、容器本体91は、通過窓61cを通過した
後、加熱炉61の外(天井板61aより上)に出て放冷
される。
The envelope 40 at this time is the same as that in the state of FIG. 16B of the ninth embodiment, the tip of the extending pipe 93 is closed, and the sealing material layer 41 and the adhesive material are provided. Since the layer 94 is softened, the inner space of the envelope 40 and the container body 9 are
The gas flow between the inside of 1 and the outside space is cut off. The envelope 40 after passing through the burner 101 is kept at a temperature equal to or higher than the softening temperature of the sealing material layer 41 by passing through the inside of the heating furnace 61 even on the outlet side of the burner 101, but the container body 91 After passing through the passage window 61c, is discharged outside the heating furnace 61 (above the ceiling plate 61a) and allowed to cool.

【0110】このときの外囲器40は、実施の形態9の
図16(c)の状態と同様、容器本体91が降温するの
に伴って、容器本体91内及び外囲器40内の圧力は低
下するため、外囲器40の内部空間と外部空間との圧力
差が生じ、両パネル10・20が外側から押圧される。
この状態で外囲器40が封着材層41の軟化温度まで降
温されると、封着材層41及び接着材層94が硬化する
ので、隔壁24の頂部と前面パネル10との隙間が少な
い状態で封着がなされる。それと共に、容器部材90の
背面パネル20上への固着もなされて、外囲器40は加
熱炉61から排出される。
At this time, as in the state of FIG. 16C of the ninth embodiment, the envelope 40 at this time has a pressure inside the container body 91 and the envelope 40 as the temperature of the container body 91 decreases. Therefore, a pressure difference occurs between the inner space and the outer space of the envelope 40, and the panels 10 and 20 are pressed from the outside.
When the envelope 40 is cooled to the softening temperature of the sealing material layer 41 in this state, the sealing material layer 41 and the adhesive material layer 94 are hardened, so that the gap between the top of the partition wall 24 and the front panel 10 is small. Sealing is done in the state. At the same time, the container member 90 is fixed to the rear panel 20, and the envelope 40 is discharged from the heating furnace 61.

【0111】封着工程が終わった後、延設管93の先端
部をカットして開封してから、これに真空ポンプを連結
して真空排気を行う。なお、図示はしないが、通過窓6
1cに開閉シャッタを設けておいて、容器本体91が通
過するときだけ開放するようすることが、加熱炉61内
部を保温する上で好ましい。
After the sealing process is completed, the tip end of the extended pipe 93 is cut and opened, and then a vacuum pump is connected to this to evacuate it. Although not shown, the passage window 6
In order to keep the inside of the heating furnace 61 warm, it is preferable to provide an opening / closing shutter on 1c so that it is opened only when the container body 91 passes through.

【0112】(外囲器40の内部空間を減圧する方法に
ついての変形例)上記実施の形態9,10においては、
最初は延設管93の先端部を開放しておいて、容器本体
91を加熱してから延設管93の先端部をバーナで封止
することによって、外囲器40の内部空間及び容器本体
91内と外部空間とをガス流通が遮断された状態にした
が、延設管93の先端部を最初から閉じておいても、封
着材層41が軟化するより先に容器本体91を加熱昇温
させれば、封着材層41が軟化した後に容器本体91の
温度を下げると、同様に内部は減圧されることになる。
(Modification of Method for Decompressing Internal Space of Envelope 40) In the above ninth and tenth embodiments,
First, the tip end of the extension pipe 93 is opened, the container main body 91 is heated, and then the tip end of the extension pipe 93 is sealed with a burner, whereby the inner space of the envelope 40 and the container main body are closed. Although the gas flow is cut off between the inside of 91 and the external space, the container body 91 is heated before the sealing material layer 41 is softened even if the tip of the extension pipe 93 is closed from the beginning. If the temperature is raised, if the temperature of the container body 91 is lowered after the sealing material layer 41 is softened, the inside pressure is also reduced.

【0113】また、上記実施の形態8〜10において
は、外囲器40の内部空間を減圧する際に、外囲器40
を温度降下したり、外囲器40に連結した容器部材90
を温度降下することによって行ったが、この他にも、次
のように、内部に封入されているガス分子の数を減らす
ことによって減圧する変形例が考えられる。例えば予
め、外囲器40の内部、或は外囲器40に連結した容器
部材90の内部に酸素ガスを封入しておき、封着材層4
1が軟化した状態にあるときに、レーザ光を照射するこ
とによって酸素をオゾンに変化させ、封入されているガ
ス分子の数を減らすことによって、外囲器40の内部空
間を減圧することも可能である。
Further, in the eighth to tenth embodiments described above, when decompressing the internal space of the envelope 40, the envelope 40 is
The temperature of the container, or the container member 90 connected to the envelope 40
However, in addition to this, a modified example in which the pressure is reduced by reducing the number of gas molecules sealed inside is conceivable. For example, oxygen gas is sealed in advance inside the envelope 40 or inside the container member 90 connected to the envelope 40, and the sealing material layer 4
When 1 is in a softened state, it is possible to reduce the pressure inside the envelope 40 by irradiating laser light to change oxygen into ozone and reducing the number of enclosed gas molecules. Is.

【0114】また、予め外囲器40の内部、或は外囲器
40に連結した容器部材90の内部に、熱や光などの刺
激を加えることによって活性化される気体吸着材(例え
ばゲッター)と、この気体吸着材が活性化されるときに
吸着されるガスを封入しておき、封着材層41が軟化状
態にあるときに気体吸着材が活性化されるようにすれ
ば、封入されているガス分子の数を減らし外囲器40の
内部空間を減圧することができる。
Further, a gas adsorbent (eg getter) which is activated by applying a stimulus such as heat or light to the inside of the envelope 40 or the inside of the container member 90 connected to the envelope 40 in advance. The gas adsorbed when the gas adsorbent is activated is enclosed, and the gas adsorbent is activated when the sealing material layer 41 is in the softened state. It is possible to reduce the number of existing gas molecules and reduce the pressure inside the envelope 40.

【0115】そのため、気体吸着材として、封着材層4
1の軟化温度以上の温度で活性状態になるものを用いて
もよいし、封着材層41が軟化状態にあるときに気体吸
着材にレーザ光を照射してこれを活性化させるようにし
てもよい。 〔実施の形態11〕本実施の形態は実施の形態1と同様
であるが、図19に示すように、外囲器40を形成する
前に、予め背面パネル20の隔壁24の頂部全体にわた
って、隔壁24と前面ガラス基板10とを接合するため
の接合材層45を形成しておく点が異なっている。
Therefore, the sealing material layer 4 is used as the gas adsorbent.
A material that is activated at a temperature equal to or higher than the softening temperature of 1 may be used, or when the sealing material layer 41 is in a softened state, the gas adsorbent is irradiated with laser light to activate it. Good. [Embodiment 11] This embodiment is the same as Embodiment 1, but as shown in FIG. 19, before forming the envelope 40, the entire top of the partition wall 24 of the rear panel 20 is previously formed. The difference is that a bonding material layer 45 for bonding the partition wall 24 and the front glass substrate 10 is formed.

【0116】接合材層45を形成する接合材料として
は、隔壁24と前面ガラス基板10とを接合する能力を
持ち、且つPDPの動作に悪い影響を与えることのない
材料を用いればよく、ここでは、封着材層41と同様の
低融点ガラスを用いることとする。接合材層45は、こ
の接合材料(低融点ガラス)を含むペーストを、スクリ
ーン印刷などを用いて隔壁24の頂部に塗布し、焼成す
ることによって形成することができる。
As the bonding material for forming the bonding material layer 45, a material which has the ability to bond the partition wall 24 and the front glass substrate 10 and which does not adversely affect the operation of the PDP may be used. The same low melting point glass as the sealing material layer 41 is used. The bonding material layer 45 can be formed by applying a paste containing the bonding material (low melting point glass) to the top of the partition wall 24 using screen printing and firing.

【0117】このように隔壁24の頂部に接合材層を形
成した上で、実施の形態1と同様に、封着工程におい
て、封着材層41及び接合材層45が軟化しているとき
に外囲器40の内部が外部より圧力が低くなるよう圧力
差を設ければ、内外の圧力差によって両パネル10・2
0が外側から均一的に押圧された状態となるので、接合
材層45は全体的に前面ガラス基板10と確実に接触す
ることになる。従って、この状態のまま封着材層41及
び接合材層を硬化させると、隔壁24の頂部と前面ガラ
ス基板10とは、全体にわたって確実に接合材層45に
よって接合されることになる。
After the bonding material layer is formed on the top of the partition wall 24 as described above, when the sealing material layer 41 and the bonding material layer 45 are softened in the sealing step, as in the first embodiment. If a pressure difference is provided so that the inside of the envelope 40 has a lower pressure than the outside, the pressure difference between the inside and the outside of both panels 10.
Since 0 is uniformly pressed from the outside, the bonding material layer 45 as a whole makes sure contact with the front glass substrate 10. Therefore, when the sealing material layer 41 and the bonding material layer are cured in this state, the top of the partition wall 24 and the front glass substrate 10 are reliably bonded to each other by the bonding material layer 45.

【0118】本実施形態の製造方法によって作製された
PDPは、隔壁24と前面ガラス基板10との間は全体
にわたって接合されているので、放電ガスを高圧で封入
することができ、且つPDP駆動時における振動抑制効
果や表示品位を向上させる効果は、実施の形態1と比べ
てより優れたものとなる。なお、本実施形態では、実施
の形態1の製法について隔壁24の頂部に予め接合材層
45を設けておく技術について説明したが、上記実施の
形態2〜10に示したいずれの製法においても適用でき
る。すなわち、上記実施の形態2〜10に示した例にお
いて、隔壁24の頂部に予め接合材層45を設けておけ
ば、作製されたPDPは、隔壁24と前面ガラス基板1
0との間は全体にわたって接合されているので、放電ガ
スを高圧で封入することができ、且つPDP駆動時にお
ける振動抑制効果や表示品位向上効果は、実施の形態2
〜10と比べてより優れたものとなる。
In the PDP manufactured by the manufacturing method of the present embodiment, since the partition wall 24 and the front glass substrate 10 are bonded together, the discharge gas can be sealed at a high pressure and the PDP is driven. The effect of suppressing the vibration and the effect of improving the display quality in are more excellent than those in the first embodiment. In the present embodiment, the technique of providing the bonding material layer 45 on the top of the partition wall 24 in advance in the manufacturing method of the first embodiment has been described, but it is applicable to any of the manufacturing methods shown in the second to tenth embodiments. it can. That is, in the examples shown in Embodiments 2 to 10 above, if the bonding material layer 45 is provided on the top of the partition wall 24 in advance, the manufactured PDP has the partition wall 24 and the front glass substrate 1.
Since 0 and 0 are joined together, the discharge gas can be filled at a high pressure, and the vibration suppressing effect and the display quality improving effect at the time of driving the PDP are the same as those of the second embodiment.
It is more excellent than 10 to 10.

【0119】〔実施の形態12〕本実施形態は、実施の
形態1と同様であるが、封着工程に入る前に、予め、図
20(a),(b)に示すように、前面パネル10及び
背面パネル20の一方または両方の外周部表面におい
て、封着材層41を形成する領域近傍に基板変形規制リ
ブ46を形成しておく。
[Embodiment 12] This embodiment is the same as Embodiment 1, but before the sealing step, as shown in FIGS. Substrate deformation restricting ribs 46 are formed in the vicinity of the region where the sealing material layer 41 is formed on the outer peripheral surface of one or both of 10 and the rear panel 20.

【0120】図20(a)の例では、封着材層41の外
側に沿って基板変形規制リブ46が形成され、図20
(b)の例では、封着材層41の外側と内側に沿って基
板変形規制リブ46a,46bが形成されている。この
ように基板変形規制リブ46を形成しておけば、クリッ
プ42で両パネル10・20の外周部を押圧しても両パ
ネル10・20の変形は防止できる。
In the example of FIG. 20 (a), the substrate deformation regulating rib 46 is formed along the outer side of the sealing material layer 41.
In the example of (b), substrate deformation regulating ribs 46a and 46b are formed along the outside and inside of the sealing material layer 41. By forming the board deformation restricting ribs 46 in this way, the deformation of both panels 10 and 20 can be prevented even if the outer peripheral portions of both panels 10 and 20 are pressed by the clip 42.

【0121】すなわち、図20(d)に示すように封着
材層41の近傍に基板変形防止用のリブが形成されてい
ない場合は、封着工程において、封着材層41が軟化し
たときに、クリップ42の押圧力によって、外囲器40
の外周部では、両パネル10・20が互いに接近する方
向(矢印A)に変形しようし、それに伴って外囲器40
の中央部では、隔壁24の端部を支点として、てこの作
用により両パネル10・20が互いに離れる方向(矢印
B)に変形しようとする。このような作用は、隔壁24
の頂部と前面パネル10との間隙を大きくするので好ま
しくない。
That is, when the ribs for preventing the substrate deformation are not formed near the sealing material layer 41 as shown in FIG. 20D, when the sealing material layer 41 is softened in the sealing step. In addition, due to the pressing force of the clip 42, the envelope 40
At the outer peripheral part of the panel 10, both panels 10 and 20 tend to deform in the direction (arrow A) approaching each other, and the envelope 40
At the center of the panel, the ends of the partition wall 24 serve as fulcrums, and the levers try to deform the panels 10 and 20 in directions away from each other (arrow B). Such an operation is performed by the partition wall 24.
It is not preferable because the gap between the top of the and the front panel 10 is increased.

【0122】これに対して、上記のように基板変形規制
リブ46を形成しておけば、封着工程において、封着材
層41が軟化しても、クリップ42の押圧力による両パ
ネル10・20の変形作用は生じない。従って、基板変
形規制リブ46を設けることによって、隔壁24の頂部
と前面パネル10との間の間隙を抑える効果を高めるこ
とができることになる。
On the other hand, if the substrate deformation regulating ribs 46 are formed as described above, even if the sealing material layer 41 is softened in the sealing process, both panels 10 and The deformation effect of 20 does not occur. Therefore, by providing the substrate deformation regulating rib 46, the effect of suppressing the gap between the top portion of the partition wall 24 and the front panel 10 can be enhanced.

【0123】また、上記のように、隔壁24とは別の基
板変形規制リブ46を設ける方法の他に、図20(c)
に示すように、クリップ42で押圧する位置が隔壁24
の端部よりも内側となるように設定すること、すなわ
ち、クリップ42で画像表示領域を押圧するようにする
ことによっても、同様にクリップ42の押圧力による両
パネル10・20の変形作用は防止することができる。
In addition to the method of providing the substrate deformation regulating rib 46 different from the partition wall 24 as described above, FIG.
As shown in FIG.
Even if the clip 42 presses the image display area, the deformation of both panels 10 and 20 due to the pressing force of the clip 42 can be prevented. can do.

【0124】なお、図10(b)の例では、封着材層4
1の内側に沿っても基板変形規制リブ46bが形成され
ているので、封着材層41が軟化した状態で外囲器40
の内圧が外圧よりも低くなったときに封着材層41が表
示エリア内に流入するのを防止する効果も奏する。すな
わち、図20(b)の内側の基板変形規制リブ46b
は、実施の形態3で説明した封着材流入防止リブ44の
働きを兼ねていることになる。
In the example of FIG. 10B, the sealing material layer 4
Since the substrate deformation regulating rib 46b is formed along the inner side of the envelope 1, the envelope 40 is softened in the sealing material layer 41.
It also has an effect of preventing the sealing material layer 41 from flowing into the display area when the internal pressure becomes lower than the external pressure. That is, the board deformation regulating rib 46b on the inner side of FIG.
Serves also as the sealing material inflow prevention rib 44 described in the third embodiment.

【0125】基板変形規制リブ46を形成する際の高さ
については、両パネル10・20を対向配置したとき
に、隔壁24と同程度の高さとなるように形成するのが
好ましい。これは、基板変形規制リブ46の高さが隔壁
24の高さよりも高いと、隔壁24の頂部と前面パネル
10との間に間隙が形成されることになる一方、基板変
形規制リブ46が隔壁24と比べて低すぎると、両パネ
ル10・20の変形防止効果があまり期待できないため
である。
Regarding the height when the substrate deformation regulating rib 46 is formed, it is preferable that the height is approximately the same as the height of the partition wall 24 when the panels 10 and 20 are arranged opposite to each other. This means that when the height of the substrate deformation regulating rib 46 is higher than the height of the partition wall 24, a gap is formed between the top of the partition wall 24 and the front panel 10, while the substrate deformation regulating rib 46 functions as the partition wall. This is because if it is too low as compared with 24, the deformation preventing effect of both panels 10 and 20 cannot be expected so much.

【0126】基板変形規制リブ46の形成方法について
は、実施の形態3で封着材流入防止リブ44を形成する
場合について説明したのと同様、背面ガラス基板21に
隔壁24を形成する際に、同じ材料で同時に基板変形規
制リブ46を形成すれば、容易に形成することができ
る。図21(a)〜(f)は、背面パネル20に設ける
基板変形規制リブ46の形状の具体例を示す部分上面図
である。図中、斜線で示す領域Cが、封着材層41を形
成する領域である。
Regarding the method of forming the substrate deformation regulating rib 46, as in the case of forming the sealing material inflow preventing rib 44 in the third embodiment, when the partition wall 24 is formed on the rear glass substrate 21, If the substrate deformation regulating rib 46 is simultaneously formed of the same material, it can be easily formed. 21A to 21F are partial top views showing specific examples of the shape of the substrate deformation regulating rib 46 provided on the rear panel 20. In the figure, a shaded region C is a region where the sealing material layer 41 is formed.

【0127】(a)では、封着材層41が形成される領
域Cの外側と内側に沿って、連続線状に基板変形規制リ
ブ46a,46bが形成されている。(b)では、封着
材層41が形成される領域Cを跨いで、基板変形規制リ
ブ46が、一定の間隔で分散されている。(c)では、
封着材層41が形成される領域Cの中に、短い基板変形
規制リブ46がランダムに分散されている。
In (a), substrate deformation regulating ribs 46a and 46b are formed in a continuous line along the outside and inside of the region C where the sealing material layer 41 is formed. In (b), the substrate deformation regulating ribs 46 are dispersed at regular intervals across the region C where the sealing material layer 41 is formed. In (c),
In the region C where the sealing material layer 41 is formed, short substrate deformation regulating ribs 46 are randomly dispersed.

【0128】(d)では、封着材層41が形成される領
域Cの中に、短い基板変形規制リブ46が、傾斜して一
定の間隔で分散されている。(e)では、封着材層41
が形成される領域Cの外側に沿って、破線状に基板変形
規制リブ46aが形成され、内側に沿って連続線状に基
板変形規制リブ46bが形成されている。
In (d), short substrate deformation regulating ribs 46 are inclined and dispersed at regular intervals in the region C where the sealing material layer 41 is formed. In (e), the sealing material layer 41
Substrate deformation regulating ribs 46a are formed in a broken line shape along the outside of the region C in which is formed, and substrate deformation regulating ribs 46b are formed in a continuous line along the inside.

【0129】(f)では、封着材層41が形成される領
域Cを横切って、基板変形規制リブ46aが、一定の間
隔で分散され、内側に沿って連続線状に基板変形規制リ
ブ46bが形成されている。 〔本実施形態についての変形例〕なお、上記のように基
板変形規制リブ46を設ける技術やクリップ42で画像
表示領域を押圧する技術は、外囲器40の内部が外部よ
り圧力が低くなるよう圧力差を設けて封着工程を行う場
合に限らず、PDPの一般的な封着工程においても適用
することができ、同様の効果を奏する。
In (f), the substrate deformation regulating ribs 46a are dispersed at a constant interval across the region C where the sealing material layer 41 is formed, and the substrate deformation regulating ribs 46b are continuously linearly formed along the inner side. Are formed. [Modification of this Embodiment] The technique of providing the substrate deformation regulating ribs 46 and the technique of pressing the image display area with the clip 42 as described above are such that the pressure inside the envelope 40 is lower than the pressure outside. The present invention can be applied not only to the case where the pressure difference is provided and the sealing step is performed, but also to the general sealing step of the PDP, and the same effect is obtained.

【0130】〔実施の形態13〕本実施の形態では、上
記実施の形態1〜10で説明したように封着工程を行っ
た後で、隔壁頂部に集中的にエネルギー照射することに
よって、隔壁頂部と前面パネルとの接合を行う例を示
す。図22は、レーザ光照射により隔壁頂部と前面パネ
ルとの接合を行う工程を示す図である。
[Embodiment 13] In this embodiment, after the sealing step is performed as described in Embodiments 1 to 10, energy is intensively applied to the tops of the partition walls so that the tops of the partition walls are exposed. The following shows an example in which the front panel and the front panel are joined. FIG. 22 is a diagram showing a process of joining the partition top and the front panel by laser light irradiation.

【0131】先ず、実施の形態1〜10と同様にして、
前面パネル10と背面パネル20とを重ね合わせて外囲
器40を形成し、封着材層41を軟化し硬化させること
によって封着を行う(図22(a))。次に図22
(b)に示すように、レーザ加工機200を用いて、封
着した外囲器40の前面パネル10側から隔壁頂部にレ
ーザ光を照射して接合する。
First, similar to the first to tenth embodiments,
The front panel 10 and the rear panel 20 are overlapped with each other to form the envelope 40, and the sealing material layer 41 is softened and hardened to perform sealing (FIG. 22A). Next, FIG.
As shown in (b), a laser beam machine 200 is used to irradiate laser light to the top of the partition wall from the front panel 10 side of the sealed enclosure 40 to bond them.

【0132】このレーザ加工機200は、詳しくは後述
するが、YAGレーザ発振器201からパルス状に発振
されるレーザ光をレーザヘッド203から照射しなが
ら、レーザヘッド203をワーク(外囲器40)に対し
て相対的に縦横方向(図中xy方向)に走査するもので
あって、レーザヘッド203には、集光レンズ204が
設けられ、レーザ光は、長円形状のスポットとしてワー
クの表面に集光して照射されるようになっている。
This laser processing machine 200 will be described in detail later, but the laser head 203 is irradiated onto the work (envelope 40) while irradiating the laser light pulsated from the YAG laser oscillator 201 from the laser head 203. In contrast, scanning is performed in the vertical and horizontal directions (xy directions in the drawing) relatively, and a condenser lens 204 is provided in the laser head 203, and the laser light is collected on the surface of the work as an oval spot. It is designed to be illuminated with light.

【0133】隔壁頂部にレーザ光が照射されると、その
頂部表面が集中的に高温に加熱される。そして、隔壁材
料の軟化温度(例えば500〜600℃)よりも高温に
加熱されて軟化(溶融)し、その後冷却されて硬化す
る。このとき、隔壁頂部と前面パネル10とはぴったり
と密着した状態にあるので、隔壁24と前面パネル10
とが接合される。
When the top of the partition wall is irradiated with laser light, the top surface of the partition is intensively heated to a high temperature. Then, the partition wall material is heated to a temperature higher than the softening temperature (for example, 500 to 600 ° C.) to be softened (melted), and then cooled and hardened. At this time, since the top of the partition wall and the front panel 10 are in close contact with each other, the partition wall 24 and the front panel 10 are in contact with each other.
And are joined.

【0134】従って、このようにレーザ光を隔壁頂部に
照射しながらその位置を隔壁の長手方向に沿って図中矢
印の方向に走査することによって、パネル全体にわたっ
て隔壁24の頂部と前面パネル10とが接合されること
になる(図中斜線部は接合された部分)。図22(c)
においては、レーザ光を間欠的に照射しながら走査する
ことによって、隔壁頂部のレーザスポットが照射された
部分(図中斜線部)が、点状に連なって前面パネル10
と接合されている様子が示されているが、レーザ光を照
射する間隔を狭くしたりレーザ光を連続的に照射するこ
とによって、線状に接合することもできる。
Therefore, by irradiating the top of the partition wall with the laser beam as described above, the position is scanned in the direction of the arrow in the drawing along the longitudinal direction of the partition wall, whereby the top of the partition wall 24 and the front panel 10 are spread over the entire panel. Will be joined (the hatched portion in the figure is the joined portion). FIG. 22 (c)
In the above, by scanning while intermittently irradiating the laser beam, the portion (hatched portion in the figure) on the top of the partition wall where the laser spot is irradiated is connected in a dotted pattern to the front panel 10.
However, it is also possible to perform linear joining by narrowing the laser light irradiation interval or continuously irradiating the laser light.

【0135】このようにレーザ光を照射して隔壁24と
前面パネル10とを接合する工程を行う際に、外囲器4
0の内部空間と外部空間に圧力差を設けなくても接合は
できるが、上記実施の形態1〜5,7〜10の封着工程
で説明した外囲器40の内部空間を外部空間に対して減
圧にした状態をそのまま保ちながら行えば、隔壁頂部と
前面パネル10とがより密着した状態で接合されるので
望ましい。
When performing the step of joining the partition wall 24 and the front panel 10 by irradiating the laser beam in this way, the envelope 4 is
Although the bonding can be performed without providing a pressure difference between the inner space of 0 and the outer space, the inner space of the envelope 40 described in the sealing step of the first to fifth, seventh, and tenth embodiments can be connected to the outer space. It is desirable to carry out the process while keeping the depressurized state as it is because the top of the partition wall and the front panel 10 are joined together in a more intimate state.

【0136】図23は、レーザ加工機200の具体例を
示す概略斜視図である。本図に示すレーザ加工機200
は、ガントリー式と称されるレーザ加工機であって、テ
ーブル202はx方向に移動可能に支持され、このテー
ブル202を跨ぐようにアーチ210が設けられ、この
アーチ210によって、レーザトーチ211がy方向へ
移動可能に支持されている。そして、レーザトーチ21
1およびテーブル202は、ステッピングモータ(不図
示)により精密に駆動されるようになっている。
FIG. 23 is a schematic perspective view showing a specific example of the laser processing machine 200. Laser processing machine 200 shown in this figure
Is a laser processing machine called a gantry type, in which the table 202 is supported so as to be movable in the x direction, and an arch 210 is provided so as to straddle the table 202. With this arch 210, the laser torch 211 is moved in the y direction. Is movably supported by. And laser torch 21
1 and the table 202 are precisely driven by a stepping motor (not shown).

【0137】テーブル202上には、真空チャック機構
によって外囲器40を固定できるようになっている。ま
た、このレーザトーチ211にレーザヘッド203が固
着され、レーザ発振器201から発振されるレーザ光
は、石英ガラス製の光ファイバケーブル212を通って
レーザヘッド203に導かれる。レーザ発振器201と
しては、短時間で強い光を発振できるYAGレーザ発振
器または炭酸ガスレーザ発振器を用いるのが好ましく、
その出力は例えば10mWである。
The envelope 40 can be fixed on the table 202 by a vacuum chuck mechanism. The laser head 203 is fixed to the laser torch 211, and the laser light emitted from the laser oscillator 201 is guided to the laser head 203 through the optical fiber cable 212 made of quartz glass. As the laser oscillator 201, it is preferable to use a YAG laser oscillator or a carbon dioxide gas laser oscillator capable of oscillating strong light in a short time,
The output is 10 mW, for example.

【0138】このレーザ加工機200のテーブル202
に、先ず外囲器40をセットする。このとき、隔壁24
の長手方向がx方向に沿うようにセットする。そして、
レーザ光を隔壁24の頂部照射しながらx方向に走査す
ることによって、1つの隔壁24についての接合がなさ
れる。次に、y方向に隔壁ピッチに相当する距離だけず
らして同様の操作を行う。このような動作を繰り返すこ
とによって、パネル全体にわたって接合がなされる。
Table 202 of this laser processing machine 200
First, the envelope 40 is set. At this time, the partition wall 24
Set so that the longitudinal direction of is along the x direction. And
By scanning in the x direction while irradiating the top of the partition wall 24 with the laser light, one partition wall 24 is joined. Next, the same operation is performed by shifting in the y direction by a distance corresponding to the partition pitch. By repeating such an operation, the entire panel is joined.

【0139】(本実施形態の効果)本実施形態の方法に
よれば、隔壁24と前面パネル10とが外囲器40全面
にわたって接合されるので、放電ガスを高圧で封入する
ことができ、PDP駆動時における振動抑制効果や表示
品位向上効果は、上記実施の形態11と同様に優れてい
る。
(Effect of this Embodiment) According to the method of this embodiment, since the partition wall 24 and the front panel 10 are bonded over the entire surface of the envelope 40, the discharge gas can be sealed at a high pressure, and the PDP can be sealed. The vibration suppressing effect and the display quality improving effect during driving are as excellent as those of the eleventh embodiment.

【0140】本実施形態の方法を用いて作製したPDP
について駆動実験を行った結果においても、従来のよう
に隔壁と前面パネルとの間の共振は起こらず、ノイズレ
ベルも従来の10分の1以下に低減され、セル間のクロ
ストークも全く観測されなかった。また、本実施形態の
方法によれば、上記実施の形態11のように隔壁頂部に
接合材を塗布しなくても接合することができるので、そ
の点で工程が簡便である。
PDP manufactured by using the method of this embodiment
Also in the result of the driving experiment, the resonance between the partition wall and the front panel does not occur unlike the conventional case, the noise level is reduced to 1/10 or less of the conventional case, and the crosstalk between the cells is observed at all. There wasn't. Further, according to the method of the present embodiment, it is possible to perform the bonding without applying the bonding material to the tops of the partition walls as in the above-mentioned Embodiment 11, so that the process is simple in that respect.

【0141】また、本実施形態の方法によって製造され
たPDPは、背面パネル20の隔壁24の頂部と前面パ
ネル10とが、隔壁とは別の接合材で接合されているの
ではなく、隔壁24の材料によって融着されている。P
DPの画像表示領域に接合材が存在すると、その接合材
から放電ガス中に不純物が混じる可能性もあるが、本実
施形態の方法で製造されたPDPはそのような可能性を
なくせる点でも有利である。
Further, in the PDP manufactured by the method of this embodiment, the top of the partition wall 24 of the rear panel 20 and the front panel 10 are not bonded by a bonding material different from the partition wall, but the partition wall 24. It is fused by the material. P
If there is a bonding material in the image display area of the DP, impurities may be mixed into the discharge gas from the bonding material, but the PDP manufactured by the method of the present embodiment can eliminate such a possibility. It is advantageous.

【0142】但し、予め実施の形態11と同様に隔壁2
4の頂部に接合材層45を形成しておいて、外囲器40
を形成した後、本実施形態のようにレーザ光を接合材層
45に照射して前面パネル10と接合する方法をとるこ
とも可能であって、この場合、上記メリットは得られな
いが、より確実に接合を行うことはできる。なお、接合
材層45を形成する場合は、接合材に黒色フィラーのよ
うにレーザ光の吸収を向上させる物質を混ぜておけば、
更に確実に接合することができる。
However, similar to the eleventh embodiment, the partition wall 2 is previously prepared.
4 has a bonding material layer 45 formed on the top thereof, and the envelope 40
It is also possible to adopt a method of irradiating the bonding material layer 45 with laser light to bond it to the front panel 10 as in the present embodiment after forming the above. In this case, the above merit is not obtained, but It is possible to perform reliable joining. In addition, when forming the bonding material layer 45, if a material that improves absorption of laser light, such as a black filler, is mixed in the bonding material,
Further, it is possible to surely bond them.

【0143】(本実施形態の変形例)上記のようなレー
ザ加工機200は、一般的にワークに対してマイクロオ
ーダーで精密な2次元レーザ加工を施すことが可能であ
って、このレーザ加工機200に、ワークの表面を観測
する装置を設けることによって、以下に説明するように
更に精密な接合を行うことができる。
(Modification of this Embodiment) The laser beam machine 200 as described above is generally capable of performing precise two-dimensional laser beam machining on a workpiece in the order of micrometer. By providing 200 with a device for observing the surface of the work, more precise joining can be performed as described below.

【0144】図24に示すレーザ加工機200において
は、レーザヘッド203とは別に観測用ヘッド205を
備えられている。この観測用ヘッド205には、ワーク
表面にプローブ光を照射するプローブ光発生器206
と、ワーク表面で反射された光を検出する検出器207
とを備え、レーザヘッド203と同様にワーク(外囲器
40)に対して相対的に縦横方向(図中xy方向)に走
査できるようになっている。
The laser beam machine 200 shown in FIG. 24 is provided with an observation head 205 in addition to the laser head 203. The observation head 205 includes a probe light generator 206 for irradiating the work surface with probe light.
And a detector 207 for detecting the light reflected on the work surface.
As in the laser head 203, the workpiece (envelope 40) can be relatively scanned in the vertical and horizontal directions (the xy directions in the drawing).

【0145】そして、先ずレーザ光を照射するのに先立
って、制御器208は、観測用ヘッド205を走査しな
がら検出器207からの信号を受信することによって、
隔壁24の形状をモニターする(テーブル202上のx
y座標において、隔壁頂部の存在する位置を記憶す
る)。次に、レーザ光を照射しながらレーザヘッド20
3をX方向に走査するが、このとき、制御器208は、
上記のモニターした隔壁頂部の位置情報を用いて、レー
ザ光のスポットが丁度隔壁24の頂部中央に照射される
ように、レーザヘッド203をY方向に微調整する。
First, before irradiating the laser beam, the controller 208 receives the signal from the detector 207 while scanning the observation head 205,
Monitor the shape of the partition wall 24 (x on the table 202)
Store the position of the top of the partition in the y coordinate). Next, the laser head 20 is irradiated with laser light.
3 is scanned in the X direction, at which time the controller 208
The laser head 203 is finely adjusted in the Y direction so that the spot of the laser beam is exactly applied to the center of the top of the partition wall 24 using the monitored positional information of the top portion of the partition wall.

【0146】これによって、仮に隔壁24が湾曲(蛇
行)したり部分的に欠けたりしていたとしても、確実に
隔壁中央部にレーザが照射され、高精度の接合がなされ
ることになる。この他に、図24に示すレーザ加工機2
00を用いて、隔壁頂部の部分ごとの幅や光反射率をモ
ニターしておいて、レーザ光を照射する強度をそれに応
じて調整することも可能である。
As a result, even if the partition wall 24 is curved (meandering) or partially broken, the central portion of the partition wall is reliably irradiated with the laser, and high-accuracy bonding is achieved. In addition to this, the laser processing machine 2 shown in FIG.
It is also possible to monitor the width and the light reflectance of each part of the top of the partition wall using 00, and adjust the intensity of laser light irradiation accordingly.

【0147】例えば、隔壁頂部にレーザ光を照射して軟
化させる場合、隔壁頂部の幅が大きい部分や光反射率が
大きい部分では、レーザ光が照射されても昇温しにくい
ので、接合面積も小さくなると考えられる。一方、隔壁
頂部に接合材層が形成されている場合には、隔壁頂部の
幅が大きいところは接合材の量も多いので、接合面積が
大きくなる可能性も考えられる。従って、隔壁頂部の幅
や光反射率にばらつきがある場合は、レーザ光の照射強
度が固定されていると、各部分の接合状態(隔壁頂部の
溶融する面積)にばらつきが生じやすい。
For example, in the case where the top of the partition wall is irradiated with laser light to be softened, it is difficult for the width of the top part of the partition wall or the portion having a large light reflectance to rise in temperature even when irradiated with the laser light, so that the bonding area is also increased. It will be smaller. On the other hand, when the bonding material layer is formed on the tops of the partition walls, the amount of the bonding material is large where the width of the partition tops is large, so that the bonding area may be increased. Therefore, when the width or light reflectance of the top of the partition wall varies, if the irradiation intensity of the laser light is fixed, the bonding state (melting area of the top portion of the partition wall) of each portion tends to vary.

【0148】これ対して、モニターした隔壁頂部の部分
ごとの幅や光反射率に応じてレーザ光の照射強度や照射
角度を制御すれば、隔壁頂部の部分ごとのばらつきに起
因する接合状態のばらつきをなくすことができる。な
お、本実施形態では、レーザ光照射による隔壁24と前
面パネル10との接合工程を、外囲器40の内部空間を
外部空間に対して低圧にした状態で封着工程を行った後
で行う例を示したが、この接合工程は、従来の封着工程
の後で行うこともできる。ただし、この場合、本実施形
態と比べて、隔壁24と前面パネル10との間隙が大き
いので接合状態が劣ると考えられる。
On the other hand, if the irradiation intensity and the irradiation angle of the laser beam are controlled according to the monitored width and light reflectance of each part of the partition wall top, the variation of the bonding state due to the variation of each partition wall top part will occur. Can be eliminated. In this embodiment, the step of joining the partition wall 24 and the front panel 10 by laser light irradiation is performed after the sealing step is performed in a state where the internal space of the envelope 40 is at a lower pressure than the external space. Although an example is shown, this joining step can also be performed after the conventional sealing step. However, in this case, since the gap between the partition wall 24 and the front panel 10 is larger than that of the present embodiment, the joining state is considered to be inferior.

【0149】また、本実施形態では、レーザ光照射によ
る隔壁24と前面パネル10との接合工程を封着工程の
後に行う例を示したが、この接合工程は、封着工程に先
立って行うことも可能であるし、封着工程を行いながら
これと並行して行うことも可能である。封着工程に先立
ってこの接合工程を行う場合、パネル全体にわたって良
好に接合させるために、例えば実施の形態2のように外
囲器40の外周部をシール材層でシールしておいて外囲
器40の内部空間から排気することによって減圧にしな
がら接合工程を行うことが望ましい。
Further, in the present embodiment, an example is shown in which the step of joining the partition wall 24 and the front panel 10 by laser light irradiation is performed after the sealing step, but this joining step should be performed prior to the sealing step. It is also possible to carry out the above, and it is also possible to carry out in parallel with the sealing process. When this joining step is performed prior to the sealing step, the outer peripheral portion of the envelope 40 is sealed with a sealing material layer, for example, as in the second embodiment, in order to ensure good joining over the entire panel. It is desirable to perform the joining process while reducing the pressure by exhausting the internal space of the container 40.

【0150】また、本実施形態では、レーザ光を隔壁2
4の頂部に照射することによって隔壁24の頂部や接合
材を軟化(溶融)させる例を示したが、隔壁頂部を集中
的に加熱できればよく、超音波のようなエネルギーを隔
壁24の頂部に照射したり、前面パネル10をヒータで
集中的に加熱することによっても同様に隔壁頂部や接合
材を軟化させることは可能である。
Further, in this embodiment, the laser light is applied to the partition wall 2.
Although the example of softening (melting) the top of the partition wall 24 or the bonding material by irradiating the top part of the partition wall 4 has been shown, it suffices if the top part of the partition wall can be intensively heated, and energy such as ultrasonic waves is applied to the top part of the partition wall 24. It is also possible to soften the top of the partition wall and the bonding material by heating the front panel 10 intensively with a heater.

【0151】また、外囲器40を形成する際に、隔壁2
4の材料が軟化する温度程度に前面パネル10を加熱し
た状態で背面パネル20に重ねることによっても、前面
パネル10に密接する隔壁24の頂部や接合材を軟化さ
せて接合することが可能と考えられる。 〔実施の形態14〕本実施形態では、PDPを製造する
際、放電ガス封入工程の後などに、外囲器に付いている
排気管(例えば上記実施の形態1で示した配管部材2
6)を容易にチップオフすることのできる排気管封止装
置について説明する。
When forming the envelope 40, the partition wall 2
By stacking the front panel 10 on the rear panel 20 while heating the front panel 10 to a temperature at which the material of FIG. 4 softens, it is considered possible to soften and join the tops of the partition walls 24 and the bonding material that are in close contact with the front panel 10. To be [Embodiment 14] In the present embodiment, when manufacturing a PDP, an exhaust pipe attached to an envelope (for example, the piping member 2 shown in the above-mentioned Embodiment 1) after the discharge gas filling step.
An exhaust pipe sealing device capable of easily tipping off 6) will be described.

【0152】図25は、排気管300に排気管封止装置
310が取り付けられる様子を示す斜視図であり、図2
6は、排気管300に取り付けられている排気管封止装
置310の概略断面図である。なお、図25,26で
は、外囲器は示されていないが、排気管300の図中下
端側が根元であって、この根元が背面パネルの通気孔に
接続されている(図5参照)。
FIG. 25 is a perspective view showing how the exhaust pipe sealing device 310 is attached to the exhaust pipe 300.
6 is a schematic cross-sectional view of the exhaust pipe sealing device 310 attached to the exhaust pipe 300. 25 and 26, the envelope is not shown, but the lower end side of the exhaust pipe 300 in the drawing is the root, and this root is connected to the ventilation hole of the rear panel (see FIG. 5).

【0153】排気管封止装置310は、排気管300を
加熱するための発熱ユニット311と、この発熱ユニッ
ト311の排気管300に対する装着位置を規制する規
制部材315とから構成されている。発熱ユニット31
1は、排気管300の外径よりもかなり大きい径を持つ
円筒状の支持部材312と、この支持部材の内周面全体
にわたって張りめぐらされたコイル状の電熱ヒータ31
3とから構成されている。
The exhaust pipe sealing device 310 comprises a heat generating unit 311 for heating the exhaust pipe 300, and a regulating member 315 for regulating the mounting position of the heat generating unit 311 on the exhaust pipe 300. Heating unit 31
Reference numeral 1 denotes a cylindrical support member 312 having a diameter considerably larger than the outer diameter of the exhaust pipe 300, and a coil-shaped electric heater 31 stretched over the entire inner peripheral surface of this support member.
3 and 3.

【0154】規制部材315は、排気管300を挿入す
る孔が中心軸に沿って形成された円柱状の部材であっ
て、その片端側(図中下側)には、発熱ユニット311
の片端部(図中上端部)が填まり込むよう小径の填込部
316が形成されている。この規制部材315は、中心
軸を通る平面で2つの規制部材片315a,315bに
分割できるようになっている。
The regulating member 315 is a columnar member having a hole for inserting the exhaust pipe 300 formed along the central axis, and one end side (lower side in the figure) of the heat generating unit 311.
A fitting portion 316 having a small diameter is formed so that one end portion (upper end portion in the drawing) of the fitting portion is fitted. The restricting member 315 can be divided into two restricting member pieces 315a and 315b on a plane passing through the central axis.

【0155】規制部材315の材料としては、絶縁性が
高く、排気管300が溶融する温度でも溶融しないセラ
ミックスなどが望ましい。規制部材315の孔は、排気
管300の外形よりやや大きい径であることが望まし
い。これは、孔の径が大きすぎると規制部材315の位
置ががたつき、位置の規制ができないからである。
As the material of the regulating member 315, ceramics or the like which has a high insulating property and which does not melt even at the temperature at which the exhaust pipe 300 melts is desirable. The hole of the restriction member 315 preferably has a diameter slightly larger than the outer shape of the exhaust pipe 300. This is because if the diameter of the hole is too large, the position of the restricting member 315 rattles and the position cannot be restricted.

【0156】また、填込部316は、発熱ユニット31
1の径よりやや小さくすることが望ましい。これは、大
きすぎるとヒータに接触し、昇温の妨げとなり、一方小
さすぎると、電熱ヒータ313の位置ががたつき、位置
の規制ができないからである。上記構成の排気管封止装
置310を用いて、以下のように排気管300の封止を
行う。
Further, the filling portion 316 is the heat generating unit 31.
It is desirable to make the diameter slightly smaller than 1. This is because if it is too large, it comes into contact with the heater to hinder the temperature rise, while if it is too small, the position of the electrothermal heater 313 rattles and the position cannot be regulated. The exhaust pipe 300 is sealed as follows using the exhaust pipe sealing device 310 having the above configuration.

【0157】先ず、排気管300のチップオフすべき位
置に、発熱ユニット311を配置する。次に、排気管3
00と発熱ユニット311との間に規制部材315の填
込部316を挿入する。そして、電熱ヒータ313に通
電し、排気管300を加熱してチップオフする。 (本実施形態の効果について)仮に規制部材315を用
いないで発熱ユニット311だけで排気管300をチッ
プオフする場合は、電熱ヒータ313が排気管300に
接触しやすく、溶融した排気管300が電熱ヒータ31
3に溶着して排気管300が破壊されることもあるが、
上記のように規制部材315を用いてチップオフを行え
ば、電熱ヒータ313と排気管300とが接触すること
なくこれを行うことができる。
First, the heat generating unit 311 is arranged at the position where the tip of the exhaust pipe 300 should be turned off. Next, the exhaust pipe 3
00 and the heat generating unit 311 are inserted with the fitting portion 316 of the regulating member 315. Then, the electric heater 313 is energized to heat the exhaust pipe 300 and tip off. (Regarding Effect of Present Embodiment) If the exhaust pipe 300 is chipped off only by the heat generating unit 311 without using the regulating member 315, the electric heater 313 easily contacts the exhaust pipe 300 and the melted exhaust pipe 300 is heated by the electric heat. Heater 31
The exhaust pipe 300 may be destroyed by welding to No. 3,
If the chip-off is performed using the regulating member 315 as described above, this can be performed without the electric heater 313 and the exhaust pipe 300 coming into contact with each other.

【0158】また、規制部材315が、排気管300の
軸線を含む平面で割断した割型になっているので、発熱
ユニット311を排気管300に填めた後、規制部材3
15を排気管300と電熱ヒータ313との間に容易に
装着することができる。 (本実施形態の変形例について)本実施形態では、規制
部材315が規制部材片315a,315bに分割でき
るようになっているが、規制部材315は、必ずしも分
割可能な構成でなくてもよい。
Further, since the regulating member 315 is of a split type cut along a plane including the axis of the exhaust pipe 300, after the heat generating unit 311 is fitted into the exhaust pipe 300, the regulating member 3 is formed.
15 can be easily mounted between the exhaust pipe 300 and the electric heater 313. (Regarding Modified Example of Present Embodiment) In the present embodiment, the regulation member 315 can be divided into the regulation member pieces 315a and 315b, but the regulation member 315 does not necessarily have a dividable structure.

【0159】図26の排気管封止装置310では、規制
部材315の填込部316の外側に発熱ユニット311
の一端が填まり込むようになっていたが、図27の排気
管封止装置310では、規制部材315の填込部316
の内側に発熱ユニット311の一端が填まり込むように
なっている。この場合も、同様の効果を得ることができ
る。
In the exhaust pipe sealing device 310 of FIG. 26, the heat generating unit 311 is provided outside the fitting portion 316 of the regulating member 315.
27 has been designed to fit in, but in the exhaust pipe sealing device 310 of FIG. 27, the fitting portion 316 of the regulating member 315 is fitted.
One end of the heat generating unit 311 is fitted into the inside of the. Also in this case, the same effect can be obtained.

【0160】図26の排気管封止装置310では、発熱
ユニット311の一端が規制部材315に填まり込むよ
うになっていたが、図28に示す排気管封止装置310
では、発熱ユニット311の両端が規制部材315に填
まり込むようなっている。このように2ヶ所で規制すれ
ば、より確実に、電熱ヒータ313と排気管300との
位置を規制して、相互の接触を防止することができる。
In the exhaust pipe sealing device 310 of FIG. 26, one end of the heat generating unit 311 is fitted in the regulating member 315, but the exhaust pipe sealing device 310 shown in FIG. 28.
Then, both ends of the heat generating unit 311 are fitted into the restricting member 315. By controlling at two locations in this way, the positions of the electric heater 313 and the exhaust pipe 300 can be more reliably regulated, and mutual contact can be prevented.

【0161】また、上記排気管封止装置310では、規
制部材315と発熱ユニット311とを別体としたが、
図29に示す排気管封止装置320のように、支持部材
312と規制部材315とが一体化させたような構成と
することもできる。すなわち、図29の排気管封止装置
320は、片側に蓋部321aが形成された円筒状の規
制部材321の内周面に電熱ヒータ322が配設された
一体構成であって、蓋部321aの中心部に排気管30
0に填め込む孔が開設されている。
Further, in the exhaust pipe sealing device 310, the restricting member 315 and the heat generating unit 311 are separate bodies,
As in the exhaust pipe sealing device 320 shown in FIG. 29, the supporting member 312 and the regulating member 315 may be integrated. That is, the exhaust pipe sealing device 320 of FIG. 29 has an integral structure in which the electric heater 322 is arranged on the inner peripheral surface of the cylindrical regulation member 321 having the lid portion 321a formed on one side, and the lid portion 321a. Exhaust pipe 30 in the center of
There is a hole that fits into 0.

【0162】図30の排気管封止装置330も、ヒータ
を支持する支持部材と規制部材とが一体化されたもので
あって、両側に蓋部331a,331bが形成された円
筒状の規制部材331の内周面に電熱ヒータ332が配
設された構成である。この排気管封止装置330は、円
筒状であるがその中心軸を含む平面によって分割可能で
ある。この排気管封止装置330は、2分割可能あっ
て、図30では2分割された片方だけが図示されてい
る。
The exhaust pipe sealing device 330 of FIG. 30 is also one in which a support member for supporting the heater and a regulating member are integrated, and a cylindrical regulating member having lids 331a and 331b formed on both sides. An electric heater 332 is arranged on the inner peripheral surface of 331. The exhaust pipe sealing device 330 is cylindrical but can be divided by a plane including the central axis thereof. The exhaust pipe sealing device 330 can be divided into two parts, and in FIG. 30, only one of the two parts is shown.

【0163】このような排気管封止装置320,330
を用いても,排気管300に填め込んで電熱ヒータを作
動することにより、上記排気管封止装置310と同様に
排気管300をチップオフすることができる。 〔実施の形態1〜14についての変形例など〕上記実施
の形態では、背面パネル20側に隔壁24が設けられた
PDPを例示したが、前面パネル10側に隔壁を設ける
場合においても、同様に実施することができる。
Such an exhaust pipe sealing device 320, 330
Even if the above is used, the exhaust pipe 300 can be chipped off in the same manner as the exhaust pipe sealing device 310 by fitting the exhaust pipe 300 and operating the electric heater. [Modifications of First to Fourteenth Embodiments] In the above embodiments, the PDP in which the partition wall 24 is provided on the rear panel 20 side is illustrated, but the same applies to the case where the partition wall is provided on the front panel 10 side. It can be carried out.

【0164】上記実施の形態ではAC型のPDPを例に
とって説明したが、本発明は、AC型のPDPに限ら
ず、隔壁が配設された基板上に別の基板を重ね合わせて
封着することのよって作製するガス放電パネルを作製す
るのに広く適用することできる。
In the above embodiment, the AC type PDP has been described as an example, but the present invention is not limited to the AC type PDP and another substrate is superposed and sealed on the substrate on which the partition wall is provided. It can be widely applied to the production of gas discharge panels.

【0165】[0165]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ガス放
電パネルの外囲器を形成した後、その両基板の外周部ど
うしを封着材で封着する工程を行う際に、外囲器の内部
圧力が外部圧力よりも低くなるよう圧力調整しながら行
うことによって、一方の基板上の隔壁頂部と他方の基板
とが全体的にぴったり密着した状態で封着することが可
能となり、これによって、PDP駆動時における振動や
クロストークの発生が抑制される。
As described above, according to the present invention, when the envelope of the gas discharge panel is formed and then the outer peripheral portions of both substrates are sealed with the sealing material, the envelope is sealed. By adjusting the internal pressure of the container so that it is lower than the external pressure, it becomes possible to seal the top of the partition wall on one substrate and the other substrate in a completely tight contact. Thus, the generation of vibration and crosstalk during driving of the PDP is suppressed.

【0166】ここで、更に、外囲器を形成する前に、一
方の基板上の隔壁頂部に接合材を配設しておき、封着材
による両基板の外周部の封着と共に、接合材によって隔
壁頂部と他方の基板との接合を行うようにすれば、パネ
ル全面にわたって隔壁頂部と他方の基板とが接合される
ので、放電ガスを高圧で封入することができ、振動やク
ロストークの発生の抑制効果はより顕著になる。
Here, further, before forming the envelope, a bonding material is provided on the top of the partition wall on one of the substrates, and the bonding material is sealed along with the outer peripheral portions of both substrates by the sealing material. If the top of the barrier ribs and the other substrate are bonded by means of the above, the top of the barrier ribs and the other substrate are bonded over the entire surface of the panel, so that the discharge gas can be sealed at a high pressure, and vibration and crosstalk are generated. The suppression effect of is more remarkable.

【0167】また、封着工程の中において、或は封着工
程の前後において、レーザ光や超音波などのエネルギー
を隔壁頂部に照射する方法を用いて隔壁頂部と他方の基
板とを接合することによっても、同様に、パネル全面に
わたって隔壁頂部と他方の基板との間隙をなくすことが
できる。また、排気管をチップオフする際に、保持手段
を用いて、排気管から距離を確保した状態で発熱体を保
持し、この状態で発熱体を駆動させれば、排気管を容易
に且つ確実にチップオフすることができる。
Also, during the sealing step, or before and after the sealing step, the partition top and the other substrate are joined by a method of irradiating the partition top with energy such as laser light or ultrasonic waves. Similarly, it is possible to eliminate the gap between the top of the partition wall and the other substrate over the entire panel. Further, when the exhaust pipe is chipped off, the holding means is used to hold the heating element while keeping a distance from the exhaust pipe, and the heating element is driven in this state, so that the exhaust pipe can be easily and securely held. You can tip off to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施の形態に係る交流面放電型PDPを示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an AC surface discharge type PDP according to an embodiment.

【図2】図1のPDPに回路ブロックを実装した表示装
置の構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of a display device in which a circuit block is mounted on the PDP of FIG.

【図3】実施の形態1の封着工程で用いる封着装置の断
面を模式的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a cross section of a sealing device used in the sealing process of the first embodiment.

【図4】図3に示す封着装置の概略斜視図である。FIG. 4 is a schematic perspective view of the sealing device shown in FIG.

【図5】実施の形態2の封着工程を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a sealing step according to the second embodiment.

【図6】実施の形態3の封着工程を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a sealing process according to a third embodiment.

【図7】実施の形態4の封着工程を説明する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a sealing step according to the fourth embodiment.

【図8】実施の形態5の封着工程を説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a sealing process according to a fifth embodiment.

【図9】実施の形態5の封着過程を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a sealing process according to the fifth embodiment.

【図10】実施の形態7の封着工程を示す斜視図であ
る。
FIG. 10 is a perspective view showing a sealing step according to the seventh embodiment.

【図11】実施の形態7の封着工程で用いる低内圧容器
の作製方法を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a method of manufacturing a low internal pressure container used in the sealing step of the seventh embodiment.

【図12】実施の形態7の封着工程に使用するベルト式
加熱装置を示す概略構成図である。
FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing a belt-type heating device used in a sealing process according to a seventh embodiment.

【図13】実施の形態7の封着工程における状態変化を
示す説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state change in the sealing process of the seventh embodiment.

【図14】実施の形態8で封着工程に用いるベルト式加
熱装置を示す概略構成図である。
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing a belt-type heating device used in a sealing step in the eighth embodiment.

【図15】図14のベルト式加熱装置で封着工程がなさ
れる様子を示す図である。
FIG. 15 is a diagram showing a state in which a sealing process is performed by the belt-type heating device of FIG.

【図16】実施の形態9の封着工程の様子を示す図であ
る。
FIG. 16 is a diagram showing a state of a sealing step according to the ninth embodiment.

【図17】実施の形態10で使いるベルト式加熱装置を
示す概略構成図である。
FIG. 17 is a schematic configuration diagram showing a belt-type heating device used in the tenth embodiment.

【図18】上記ベルト式加熱装置で封着工程がなされる
様子を示す図である。
FIG. 18 is a diagram showing a state in which a sealing process is performed by the belt type heating device.

【図19】実施の形態11の封着工程がなされる様子を
示す図である。
FIG. 19 is a diagram showing the manner in which the sealing step according to the eleventh embodiment is performed.

【図20】実施の形態12の封着工程がなされる様子を
示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing a manner of performing a sealing step according to the twelfth embodiment.

【図21】実施の形態12にかかる基板変形規制リブの
形状の具体例を示す部分上面図である。
FIG. 21 is a partial top view showing a specific example of the shape of the substrate deformation regulating rib according to the twelfth embodiment.

【図22】実施の形態13において、レーザ光照射によ
り隔壁頂部と前面パネルとの接合を行う工程を示す図で
ある。
FIG. 22 is a diagram showing the step of joining the partition top and the front panel by laser light irradiation in the thirteenth embodiment.

【図23】実施の形態13で用いるレーザ加工機の具体
例を示す概略斜視図である。
FIG. 23 is a schematic perspective view showing a specific example of the laser processing machine used in the thirteenth embodiment.

【図24】実施の形態13で用いるレーザ加工機の一例
を示す図である。
FIG. 24 is a diagram showing an example of a laser processing machine used in the thirteenth embodiment.

【図25】実施の形態14で用いる排気管封止装置を示
す斜視図である。
FIG. 25 is a perspective view showing an exhaust pipe sealing device used in the fourteenth embodiment.

【図26】上記排気管封止装置の概略断面図である。FIG. 26 is a schematic sectional view of the exhaust pipe sealing device.

【図27】実施の形態14にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。
FIG. 27 is a diagram showing a modification of the exhaust pipe sealing device according to the fourteenth embodiment.

【図28】実施の形態14にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。
FIG. 28 is a diagram showing a modification of the exhaust pipe sealing device according to the fourteenth embodiment.

【図29】実施の形態14にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。
FIG. 29 is a view showing a modified example of the exhaust pipe sealing device according to the fourteenth embodiment.

【図30】実施の形態14にかかる排気管封止装置の変
形例を示す図である。
FIG. 30 is a diagram showing a modification of the exhaust pipe sealing device according to the fourteenth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 前面パネル 11 前面ガラス基板 12 放電電極 13 誘電体層 14 保護層 20 背面パネル 21 背面ガラス基板 21a,21b 通気孔 22 アドレス電極 23 誘電体層 24 隔壁 25 蛍光体層 26 配管部材 26a 接着材層 30 放電空間 40 外囲器 41 封着材層 42 クリップ 43 シール材層 44 封着材流入防止リブ 45 接合材層 46 基板変形規制リブ 50 封着装置 70 低内圧容器 74 接着材層 90 容器部材 100 加熱装置 200 レーザ加工機 202 テーブル 203 レーザヘッド 205 観測用ヘッド 206 プローブ光発生器 207 検出器 310 排気管封止装置 311 発熱ユニット 312 支持部材 313 電熱ヒータ 315 規制部材 10 Front panel 11 Front glass substrate 12 discharge electrodes 13 Dielectric layer 14 Protective layer 20 back panel 21 Rear glass substrate 21a, 21b ventilation holes 22 Address electrode 23 Dielectric layer 24 partitions 25 Phosphor layer 26 Piping members 26a Adhesive layer 30 discharge space 40 envelope 41 sealing material layer 42 clips 43 Seal material layer 44 Sealing material inflow prevention rib 45 Bonding material layer 46 Substrate deformation restriction rib 50 sealing device 70 Low internal pressure container 74 Adhesive layer 90 Container member 100 heating device 200 laser processing machine 202 table 203 laser head 205 Observation head 206 Probe light generator 207 detector 310 Exhaust pipe sealing device 311 Heating unit 312 Support member 313 electric heater 315 Control member

フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平11−66407 (32)優先日 平成11年3月12日(1999.3.12) (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平11−119446 (32)優先日 平成11年4月27日(1999.4.27) (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平11−122106 (32)優先日 平成11年4月28日(1999.4.28) (33)優先権主張国 日本(JP) (72)発明者 日比野 純一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山下 勝義 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 米原 浩幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 桐原 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 大谷 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 野々村 欽造 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5C012 AA09 BC03 5C027 AA09 5C040 GF01 GF12 GF16 GF19 HA01 JA17 LA01 MA23 Continued front page    (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 11-66407 (32) Priority date March 12, 1999 (March 12, 1999) (33) Priority claiming country Japan (JP) (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 11-119446 (32) Priority date April 27, 1999 (April 27, 1999) (33) Priority claiming country Japan (JP) (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 11-122106 (32) Priority date April 28, 1999 (April 28, 1999) (33) Priority claiming country Japan (JP) (72) Inventor Junichi Hibino             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Katsuyoshi Yamashita             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Hiroyuki Yonehara             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Nobuyuki Kirihara             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Kazuo Otani             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Kinzo Nonomura             1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric             Sangyo Co., Ltd. F term (reference) 5C012 AA09 BC03                 5C027 AA09                 5C040 GF01 GF12 GF16 GF19 HA01                       JA17 LA01 MA23

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 発光セルどうしを隔てる隔壁が主表面に
形成された第1基板の当該隔壁側表面上に第2基板を対
向配置することにより外囲器を形成する外囲器形成ステ
ップと、当該外囲器における両基板の外周部どうしを封
着材で封着する封着ステップと、当該外囲器の内部に放
電ガスを封入する封入ステップとを備えるガス放電パネ
ルの製造方法であって、 前記封着ステップは、 外囲器の内部圧力が外部圧力よりも低くなるよう圧力調
整する圧力調整サブステップを備え、 前記外囲器形成ステップで用いる第1基板および第2基
板の少なくとも一方の外周部には、前記封着材が外囲器
の内部に流入するのを防止する流入防止部材が設けられ
ており、 前記封着材は、 前記外囲器形成ステップにおいて、前記流入防止部材の
外側に配設されることを特徴とするガス放電パネルの製
造方法。
1. An envelope forming step of forming an envelope by disposing a second substrate on a surface of a first substrate having a main surface on which a partition for separating the light emitting cells is formed, the envelope being formed. A method of manufacturing a gas discharge panel, comprising: a sealing step of sealing the outer peripheral portions of both substrates in the envelope with a sealing material; and a sealing step of sealing a discharge gas inside the envelope. The sealing step includes a pressure adjusting sub-step of adjusting the internal pressure of the envelope to be lower than the external pressure, and at least one of the first substrate and the second substrate used in the envelope forming step. The outer peripheral portion is provided with an inflow prevention member that prevents the sealing material from flowing into the inside of the envelope, and the sealing material is the inflow prevention member in the envelope forming step. Placed outside Method for manufacturing a gas discharge panel, wherein the door.
【請求項2】 前記第1基板の主表面上に、隔壁及び流
入防止部材を同時に形成する隔壁形成ステップを備える
ことを特徴とする請求項1記載のガス放電パネルの製造
方法。
2. The method of manufacturing a gas discharge panel according to claim 1, further comprising a barrier rib forming step of simultaneously forming barrier ribs and an inflow prevention member on the main surface of the first substrate.
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