JP2003066122A - Ic tester - Google Patents
Ic testerInfo
- Publication number
- JP2003066122A JP2003066122A JP2001253982A JP2001253982A JP2003066122A JP 2003066122 A JP2003066122 A JP 2003066122A JP 2001253982 A JP2001253982 A JP 2001253982A JP 2001253982 A JP2001253982 A JP 2001253982A JP 2003066122 A JP2003066122 A JP 2003066122A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- address
- index
- pattern generation
- generation sequencer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、アドレスに基づい
てパターンメモリが出力するパターンデータにより、被
試験対象を試験するIC試験装置に関し、短時間で容易
に不良解析ができるIC試験装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test apparatus for testing an object to be tested by pattern data output from a pattern memory based on an address, and more particularly to an IC test apparatus capable of easily performing failure analysis in a short time. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC試験装置は、被試験対象、例えば、
IC、LSI等に試験パターンを与え、被試験対象の出
力と期待値パターンとを比較し、被試験対象の良否を判
定するものである。この試験パターン、期待値パターン
等は、パターンデータとして、パターンメモリに記憶さ
れ、パターンメモリにアドレスを与えて、パターンデー
タを出力している。このような装置の要部構成を図3に
示し説明する。2. Description of the Related Art An IC test apparatus is an object to be tested, for example,
The test pattern is given to an IC, an LSI, etc., and the output of the test object is compared with the expected value pattern to judge the pass / fail of the test object. The test pattern, expected value pattern, etc. are stored in the pattern memory as pattern data, and an address is given to the pattern memory to output the pattern data. The structure of the main part of such an apparatus will be described with reference to FIG.
【0003】図3において、アドレス発生部1は、パタ
ーン発生シーケンサ11,12を有し、図示しないパタ
ーンメモリにアドレスを与える。パターン発生シーケン
サ11,12は、1以上のインデックスカウンタ11
0,120を設け、図示しないメモリに記憶された命令
に基づいて、パターンメモリにアドレスを排他的に与え
る。パターン発生シーケンサ11は、連続したアドレス
に適したもので、アクティブ信号を受けて、有効にな
り、アクティブ信号を出力する。パターン発生シーケン
サ12は、ランダムなアドレスの発生に適したもので、
パターン発生シーケンサ11のアクティブ信号を受け
て、有効になり、パターン発生シーケンサ11にアクテ
ィブ信号を出力する。インデックスカンタ110,12
0は、命令のループ回数をカウントする。In FIG. 3, the address generator 1 has pattern generation sequencers 11 and 12, and supplies an address to a pattern memory (not shown). The pattern generation sequencers 11 and 12 have one or more index counters 11
0 and 120 are provided, and an address is exclusively given to the pattern memory based on an instruction stored in a memory (not shown). The pattern generation sequencer 11 is suitable for continuous addresses, receives an active signal, becomes valid, and outputs an active signal. The pattern generation sequencer 12 is suitable for generating random addresses,
Upon receiving the active signal of the pattern generation sequencer 11, the pattern generation sequencer 11 becomes valid and outputs the active signal to the pattern generation sequencer 11. Index counter 110,12
0 counts the number of loops of the instruction.
【0004】不良解析用データ格納部2は、データバス
が接続され、図示しない被試験対象のピンごとのパス/
フェイル(被試験対象の出力と期待値パターンの比較結
果)を格納すると共に、アドレス発生部1が発生するア
ドレスを格納し、複数のインデックス格納部21,22
を有する。インデックス格納部21,22は、それぞれ
インデックスカウンタ110,120ごとに設けられ、
データバスが接続され、インデックスカウンタ110,
120のカウント値をインデックスデータとして格納す
る。ここで、アドレス発生部1が発生するアドレスに
は、パターンメモリに与えるアドレスの他に、パターン
発生シーケンサ11,12のどちらが発生したアドレス
かの情報が付加されている。The failure analysis data storage unit 2 is connected to a data bus and has a path / path for each pin (not shown) to be tested.
A plurality of index storage units 21, 22 are stored while storing a fail (comparison result of the output of the device under test and the expected value pattern) and an address generated by the address generation unit 1.
Have. The index storage units 21 and 22 are provided for the index counters 110 and 120, respectively,
A data bus is connected to the index counter 110,
The count value of 120 is stored as index data. Here, in addition to the address given to the pattern memory, the address generated by the address generation unit 1 is added with information indicating which of the pattern generation sequencers 11 and 12 has generated the address.
【0005】このような装置の動作を以下に説明する。
パターン発生シーケンサ11が命令に基づいてアドレス
を発生し、命令のループ回数をインデックスカウンタ1
10でカウントする。このとき、パターン発生シーケン
サ12はアドレスを発生していない。パターン発生シー
ケンサ11のアドレスにより、パターンメモリからパタ
ーンデータが出力され、被試験対象の試験が行われ、被
試験対象の各ピンのパス/フェイルが判定される。そし
て、パス/フェイルを不良解析用データ格納部2はパス
/フェイルとパターン発生シーケンサ11のアドレスを
格納すると共に、不良解析用データ格納部2のインデッ
クス格納部21,22はインデックスカウンタ110,
120のカウント値を格納する。The operation of such a device will be described below.
The pattern generation sequencer 11 generates an address based on an instruction and the index counter 1 indicates the number of loops of the instruction.
Count at 10. At this time, the pattern generation sequencer 12 has not generated an address. The pattern data is output from the pattern memory by the address of the pattern generation sequencer 11, the test of the test target is performed, and the pass / fail of each pin of the test target is determined. Then, the pass / fail defect analysis data storage unit 2 stores the pass / fail and the address of the pattern generation sequencer 11, and the index storage units 21 and 22 of the defect analysis data storage unit 2 store the index counter 110,
The count value of 120 is stored.
【0006】このような動作を繰返し、パターン発生シ
ーケンサ11が命令によりアクティブ信号をパターン発
生シーケンサ12に出力し、アドレス発生をやめる。こ
れにより、パターン発生シーケンサ12は、有効とな
り、命令に基づいてアドレスを発生し、命令のループ回
数をインデックスカウンタ120でカウントする。この
アドレスにより、パターンメモリからパターンデータが
出力され、被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各
ピンのパス/フェイルが判定される。そして、パス/フ
ェイルを不良解析用データ格納部2はパス/フェイルと
パターン発生シーケンサ12のアドレスを格納すると共
に、不良解析用データ格納部2のインデックス格納部2
1,22はインデックスカウンタ110,120のカウ
ント値を格納する。このような動作を繰り返す。By repeating such an operation, the pattern generation sequencer 11 outputs an active signal to the pattern generation sequencer 12 in response to an instruction to stop the address generation. As a result, the pattern generation sequencer 12 becomes valid, generates an address based on the instruction, and the index counter 120 counts the number of loops of the instruction. With this address, the pattern data is output from the pattern memory, the test of the test target is performed, and the pass / fail of each pin of the test target is determined. The pass / fail data storage unit for failure analysis 2 stores the pass / fail and the address of the pattern generation sequencer 12, and the index storage unit 2 of the data storage unit for failure analysis 2
Reference numerals 1 and 22 store the count values of the index counters 110 and 120. Such operation is repeated.
【0007】そして、パターン発生シーケンサ12が命
令によりアクティブ信号をパターン発生シーケンサ11
に出力し、アドレス発生をやめる。再び、パターン発生
シーケンサ11はアドレス発生を開始する。Then, the pattern generation sequencer 12 sends an active signal to the pattern generation sequencer 11 according to an instruction.
To address and stop address generation. Again, the pattern generation sequencer 11 starts address generation.
【0008】このような動作を繰り返し試験が終了する
と、不良解析用データ格納部2からデータバス経由でデ
ータを読み出して不良解析を行う。このとき、インデッ
クス格納部21,22に格納されたカウント値から、パ
ターン発生シーケンサ11,12が有効だったものを拾
い出し、有効なカウント値のみを並べてから不良解析を
行っている。When the operation is repeated and the test is completed, the failure analysis is performed by reading the data from the failure analysis data storage unit 2 via the data bus. At this time, from the count values stored in the index storage units 21 and 22, the valid pattern generation sequencers 11 and 12 are picked up, and only the valid count values are arranged, and then the failure analysis is performed.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】このように、不良解析
時に、データバス経由でインデックスデータを読み出す
場合、インデックス格納部が多数存在するため、データ
の読み出しに時間がかかる。また、読み出したインデッ
クスデータからパターンデータ毎に有効であるパターン
発生シーケンサ11,12に対応したデータを抽出し、
時系列に組み合わせ等のデータ処理時間がかかってしま
うという問題点があった。As described above, when the index data is read via the data bus during the failure analysis, it takes a long time to read the data because there are many index storage units. Further, data corresponding to the pattern generation sequencers 11 and 12 that are effective for each pattern data is extracted from the read index data,
There is a problem that it takes a long time to process data such as combination in time series.
【0010】そこで、本発明の目的は、短時間で容易に
不良解析ができるIC試験装置を実現することにある。Therefore, an object of the present invention is to realize an IC test apparatus which enables easy failure analysis in a short time.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】第1の本発明は、アドレ
スに基いてパターンメモリが出力するパターンデータに
より、被試験対象を試験するIC試験装置において、命
令のループ回数をカウントする少なくとも1以上のイン
デックスカウンタを設け、命令に基づいて、前記パター
ンメモリにアドレスを排他的に与える少なくとも2以上
のパターン発生シーケンサと、これらのパターン発生シ
ーケンサの内、アドレスを与えているパターン発生シー
ケンサのインデックスカウンタを選択する選択部と、こ
の選択部が選択したインデックスカウンタのカウント値
を格納するインデックス格納部とを有することを特徴と
するものである。According to a first aspect of the present invention, in an IC test apparatus for testing an object to be tested by pattern data output from a pattern memory based on an address, at least one or more of counting the number of loops of instructions Of at least two pattern generation sequencers that exclusively give addresses to the pattern memory based on an instruction, and an index counter of the pattern generation sequencer that gives an address among these pattern generation sequencers. The present invention is characterized by having a selecting unit for selecting and an index storing unit for storing the count value of the index counter selected by the selecting unit.
【0012】第2の本発明は、アドレスを与えているパ
ターン発生シーケンサに基づいて、選択部を選択するイ
ンデックスコントローラを設けたことを特徴とする第1
の発明記載のものである。A second aspect of the present invention is characterized in that an index controller for selecting a selecting section is provided based on a pattern generation sequencer giving an address.
Of the invention.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施の
形態を説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成
図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し
説明を省略する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. Here, the same parts as those in FIG. 3 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【0014】図1において、インデックスコントローラ
3は、アドレス発生部1に設けられ、パターン発生シー
ケンサ11,12のアクティブ信号を入力し、選択信号
を出力する。マルチプレクサ4は選択部で、インデック
スコントローラ3の選択信号により、インデックスカウ
ンタ110,120のカウント値を選択する。複数のイ
ンデックス格納部23は、インデックス格納部21,2
2の代わりに、不良解析用データ格納部2に設けられ、
マルチプレクサ4が選択したインデックスカウンタ11
0,120のカウント値をインデックスデータとして格
納し、データバスを接続する。In FIG. 1, an index controller 3 is provided in the address generator 1 and receives active signals from the pattern generation sequencers 11 and 12 and outputs selection signals. The multiplexer 4 is a selection unit, and selects the count value of the index counters 110 and 120 according to the selection signal of the index controller 3. The plurality of index storage units 23 are index storage units 21 and 2.
Instead of 2, it is provided in the failure analysis data storage unit 2,
Index counter 11 selected by multiplexer 4
The count value of 0, 120 is stored as index data, and the data bus is connected.
【0015】このような装置の動作を以下で説明する。
パターン発生シーケンサ11が命令に基づいてアドレス
を発生し、命令のループ回数をインデックスカウンタ1
10でカウントする。このとき、パターン発生シーケン
サ12はアドレスを発生していない。また、インデック
スコトントローラ3は、起動時において、マルチプレク
サ4にインデックスカウンタ110を選択させている。The operation of such a device will be described below.
The pattern generation sequencer 11 generates an address based on an instruction and the index counter 1 indicates the number of loops of the instruction.
Count at 10. At this time, the pattern generation sequencer 12 has not generated an address. Further, the index controller 3 causes the multiplexer 4 to select the index counter 110 at the time of starting.
【0016】パターン発生シーケンサ11のアドレスに
より、パターンメモリからパターンデータが出力され、
被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各ピンのパス
/フェイルが判定される。そして、パス/フェイルを不
良解析用データ格納部2はパス/フェイルとパターン発
生シーケンサ11のアドレスを格納する。同時に、不良
解析用データ格納部2のインデックス格納部23は、マ
ルチプレクサ4からのインデックスカウンタ110のカ
ウント値を格納する。At the address of the pattern generation sequencer 11, pattern data is output from the pattern memory,
The device under test is tested and the pass / fail of each pin under test is determined. Then, the pass / fail defect analysis data storage unit 2 stores the pass / fail and the address of the pattern generation sequencer 11. At the same time, the index storage unit 23 of the failure analysis data storage unit 2 stores the count value of the index counter 110 from the multiplexer 4.
【0017】このような動作を繰返し、パターン発生シ
ーケンサ11が命令によりアクティブ信号をパターン発
生シーケンサ12に出力し、アドレス発生をやめる。こ
れにより、パターン発生シーケンサ12は、有効とな
り、命令に基づいてアドレスを発生し、命令のループ回
数をインデックスカウンタ120でカウントする。ま
た、インデックスコントローラ3は、パターン発生シー
ケンサ11が出力するアクティブ信号を入力し、マルチ
プレクサ4にインデックスカウンタ120を選択させ
る。By repeating such operations, the pattern generation sequencer 11 outputs an active signal to the pattern generation sequencer 12 in response to an instruction to stop the address generation. As a result, the pattern generation sequencer 12 becomes valid, generates an address based on the instruction, and the index counter 120 counts the number of loops of the instruction. Further, the index controller 3 inputs the active signal output from the pattern generation sequencer 11, and causes the multiplexer 4 to select the index counter 120.
【0018】パターン発生シーケンサ12のアドレスに
より、パターンメモリからパターンデータが出力され、
被試験対象の試験が行われ、被試験対象の各ピンのパス
/フェイルが判定される。そして、パス/フェイルを不
良解析用データ格納部2はパス/フェイルとパターン発
生シーケンサ12のアドレスを格納する。同時に、不良
解析用データ格納部2のインデックス格納部23は、イ
ンデックスカウンタ120のカウント値を格納する。こ
のような動作を繰り返す。At the address of the pattern generation sequencer 12, pattern data is output from the pattern memory,
The device under test is tested and the pass / fail of each pin under test is determined. Then, the pass / fail defect analysis data storage unit 2 stores the pass / fail and the address of the pattern generation sequencer 12. At the same time, the index storage unit 23 of the failure analysis data storage unit 2 stores the count value of the index counter 120. Such operation is repeated.
【0019】そして、パターン発生シーケンサ12が命
令によりアクティブ信号をパターン発生シーケンサ11
に出力し、アドレス発生をやめる。再び、パターン発生
シーケンサ11はアドレス発生を開始する。また、イン
デックスコントローラ3は、パターン発生シーケンサ1
2が出力するアクティブ信号を入力し、マルチプレクサ
4にインデックスカウンタ110を選択させる。Then, the pattern generation sequencer 12 sends an active signal to the pattern generation sequencer 11 according to an instruction.
To address and stop address generation. Again, the pattern generation sequencer 11 starts address generation. Also, the index controller 3 is the pattern generation sequencer 1
2 inputs the active signal output from the multiplexer 2, and causes the multiplexer 4 to select the index counter 110.
【0020】このような動作を繰り返し試験が終了する
と、不良解析用データ格納部2からデータバス経由でデ
ータを読み出して不良解析を行う。When the test is repeated by repeating the above operation, the failure analysis is performed by reading the data from the failure analysis data storage unit 2 via the data bus.
【0021】このように、インデックスコントローラ3
により、マルチプレクサ4が、アドレスを与えるパター
ン発生シーケンサ11,12に基づいて、インデックス
カウンタ110,120を選択するので、有効なカウン
ト値のみが実行順にインデックス格納部23に格納さ
れ、データ処理時間を短縮することができる。また、イ
ンデックス格納部23が1つでよいので、回路規模を縮
小できる。In this way, the index controller 3
As a result, the multiplexer 4 selects the index counters 110 and 120 based on the pattern generation sequencers 11 and 12 that give addresses, so that only valid count values are stored in the index storage unit 23 in the order of execution, reducing the data processing time. can do. Further, since only one index storage unit 23 is required, the circuit scale can be reduced.
【0022】次に、第2の実施例を図2に示し説明す
る。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を
省略する。図2に示す装置が図1に示す装置と異なる点
は、2つのパターン発生シーケンサ11,12からn個
のパターン発生シーケンサ11〜1nを設けた点であ
る。これに伴い、インデックスコントローラ3が、パタ
ーン発生シーケンサ11〜1nのパターン発生に基づい
て、選択信号を出力し、この選択信号により、マルチプ
レクサ4が、パターン発生シーケンサ11〜1nのイン
デックスカウンタ110〜1n0を選択する。その他の
動作は図1に示す装置と同一なので説明を省略する。Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. Here, the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. The apparatus shown in FIG. 2 is different from the apparatus shown in FIG. 1 in that two pattern generation sequencers 11 and 12 are provided with n pattern generation sequencers 11 to 1n. Along with this, the index controller 3 outputs a selection signal based on the pattern generation by the pattern generation sequencers 11 to 1n, and the multiplexer 4 causes the index counters 110 to 1n0 of the pattern generation sequencers 11 to 1n by the selection signal. select. Since other operations are the same as those of the apparatus shown in FIG. 1, description thereof will be omitted.
【0023】なお、本発明はこれに限定されるものでは
なく、インデックスコントローラ3を用いて、マルチプ
レクサ4を選択する構成を示したが、インデックスコン
トローラ3を設けずに、パターン発生シーケンサ11
0,120からのアクティブ信号により切り換える構成
でもよい。また、インデックスコントローラ3がアクテ
ィブ信号を受けるのではなく、各パターン発生シーケン
サ110,120を監視して、マルチプレクサ4を切換
える構成にしてもよい。The present invention is not limited to this, and the configuration in which the multiplexer 4 is selected by using the index controller 3 has been shown. However, the pattern generation sequencer 11 without the index controller 3 is provided.
The configuration may be such that switching is performed by an active signal from 0, 120. Further, instead of the index controller 3 receiving the active signal, the pattern generation sequencers 110 and 120 may be monitored and the multiplexer 4 may be switched.
【0024】また、インデックス格納部23は、複数の
メモリで構成される例を示したが、1つのメモリの領域
を分割した構成でもよい。Further, although the index storage unit 23 is shown as an example including a plurality of memories, it may have a structure in which one memory area is divided.
【0025】そして、不良解析用データ格納部2は、す
べてのデータを格納する例を示したが、フェイル時のみ
データを格納する構成でもよい。Although the failure analysis data storage unit 2 has shown an example in which all data is stored, it may be configured to store data only when a failure occurs.
【0026】[0026]
【発明の効果】本発明によれば、選択部が、アドレスを
与えるパターン発生シーケンサに基づいて、インデック
スカウンタを選択するので、有効なカウント値のみが実
行順にインデックス格納部に格納され、データ処理時間
を短縮することができる。また、インデックス格納部が
1つでよいので、回路規模を縮小できる。According to the present invention, since the selection section selects the index counter based on the pattern generation sequencer which gives the address, only the effective count value is stored in the index storage section in the order of execution, and the data processing time is reduced. Can be shortened. Moreover, since only one index storage unit is required, the circuit scale can be reduced.
【図1】本発明の一実施例を示した構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の他の実施例を示した構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図3】従来のIC試験装置の構成を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a conventional IC test apparatus.
3 インデックスコントローラ 4 マルチプレクサ 11〜1n パターン発生シーケンサ 23 インデックス格納部 3 Index controller 4 multiplexer 11-1n pattern generation sequencer 23 Index Storage
Claims (2)
するパターンデータにより、被試験対象を試験するIC
試験装置において、 命令のループ回数をカウントする少なくとも1以上のイ
ンデックスカウンタを設け、命令に基づいて、前記パタ
ーンメモリにアドレスを排他的に与える少なくとも2以
上のパターン発生シーケンサと、 これらのパターン発生シーケンサの内、アドレスを与え
ているパターン発生シーケンサのインデックスカウンタ
を選択する選択部と、 この選択部が選択したインデックスカウンタのカウント
値を格納するインデックス格納部とを有することを特徴
とするIC試験装置。1. An IC for testing an object to be tested by pattern data output from a pattern memory based on an address.
In the test apparatus, at least one or more index counters for counting the number of loops of instructions are provided, and at least two or more pattern generation sequencers for exclusively giving an address to the pattern memory based on the instructions, and these pattern generation sequencer Among them, an IC test apparatus having a selecting section for selecting an index counter of a pattern generation sequencer giving an address and an index storing section for storing a count value of the index counter selected by the selecting section.
ケンサに基づいて、選択部を選択するインデックスコン
トローラを設けたことを特徴とする請求項1記載のIC
試験装置。2. The IC according to claim 1, further comprising an index controller for selecting a selection unit based on a pattern generation sequencer giving an address.
Test equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001253982A JP4310797B2 (en) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | IC test equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001253982A JP4310797B2 (en) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | IC test equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003066122A true JP2003066122A (en) | 2003-03-05 |
JP4310797B2 JP4310797B2 (en) | 2009-08-12 |
Family
ID=19082210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001253982A Expired - Fee Related JP4310797B2 (en) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | IC test equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4310797B2 (en) |
-
2001
- 2001-08-24 JP JP2001253982A patent/JP4310797B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4310797B2 (en) | 2009-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3893238B2 (en) | Semiconductor memory device failure analysis device | |
JP3871384B2 (en) | Defect analysis memory for semiconductor memory test equipment | |
US7472327B2 (en) | Pattern generator and test apparatus | |
JPH0917197A (en) | Method and equipment for testing semiconductor memory | |
US9293226B2 (en) | Memory test device and operating method thereof | |
JPWO2002093583A1 (en) | Semiconductor memory test apparatus and address generation method for failure analysis | |
JP3127111U (en) | Test system and single chip tester that can test multiple chips simultaneously | |
JPWO2002033708A1 (en) | Memory defect repair analysis method and memory test apparatus for implementing the method | |
US6249533B1 (en) | Pattern generator | |
US20050210351A1 (en) | Test circuit and circuit test method | |
JP2003066122A (en) | Ic tester | |
JPH1164454A (en) | Simultaneous measurement control circuit for semiconductor-testing device | |
US20060195722A1 (en) | Pattern generator and testing apparatus | |
JP2520234B2 (en) | Memory test equipment | |
JP4724774B2 (en) | Semiconductor circuit device, memory test circuit, and test method for semiconductor circuit device | |
JP4438985B2 (en) | Pattern generator and test apparatus | |
JPS63191080A (en) | Electronic circuit measuring apparatus | |
JP2002286800A (en) | Semiconductor testing device | |
JP4952546B2 (en) | Waveform generator and semiconductor test apparatus | |
JPH0675023A (en) | Self-diagnostic system for semiconductor memory | |
JP2720761B2 (en) | Semiconductor integrated circuit test equipment | |
JPH0926460A (en) | Semiconductor testing device | |
JP5326800B2 (en) | Analysis apparatus and analysis method | |
JP2008226388A (en) | Semiconductor test device | |
JP2001527261A (en) | Memory test system having test sequence optimizing means and operating method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090420 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090503 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |