JP2003066001A - ガス検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 採用する複数のガスセンサの各反応感度にバ
ラツキがあっても、被検出ガス濃度を正確に測定可能な
ガス検出装置を提供すること。 【解決手段】 被ガス検出系、例えばガス絶縁送電線路
６のガス室部分６３１〜６３ｎのそれぞれに分散配置さ
れた複数の個別ガスセンサ１１〜１ｎと一のセンサ信号
処理装置５を備え、センサ信号処理装置５は、上記各個
別ガスセンサ１１〜１ｎ毎の信号出力を上記各ガスセン
サ毎に予め求められた信号出力―被検出ガス濃度関係デ
−タに従って被検出ガス濃度に変換するデータ処理部５
４を有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス検出装置に関
し、特に電気絶縁ガスとして六フッ化硫黄ガスを封入し
た絶縁電気機器の内部で放電などの異常現象により生成
する、六フッ化硫黄ガスからの分解ガスを検出するガス
検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＧＩＳなどの高電圧の電気機器では、六
フッ化硫黄ガスが絶縁ガスとして一般的に使用されてお
り、その安全運転のために定期的な保守管理がなされて
いる。この保守管理においては、六フッ化硫黄ガスは放
電によりその一部が分解して４フッ化硫黄ガスやフッ化
水素ガスなどの含フッ素ガスを発生する事実に基づい
て、上記絶縁媒体中におけるかかる含フッ素ガスの有
無、あるいは発生した含フッ素ガスの量を検出すること
が行われている。

【０００３】特開２０００−１０５２１６号公報には、
上記の含フッ素ガスを検出するガス検出装置が提案され
ており、図１２はその概略説明図である。図１２におい
て、１０はガスセンサ、２は電流計、３は直流電源、４
はリード線である。上記ガスセンサ１０は、検出電極１
０１、フッ化物固体電解などのフッ素イオン導電性の固
体電解質１０２、および対向電極１０３からなり、検出
電極１０１と対向電極１０３とは、固体電解質１０２を
間に挟んで互いに対向するように固体電解質１０２の表
面に密着して設けられている。リード線４は、検出電極
１０１と電流計２とを接続するリード線部分４１と、対
向電極１０３と直流電源３と電流計２とを順次接続する
リード線部分４２とからなる。上記のガス検出装置は、
その使用に際しては、ガスセンサ１０の検出電極１０１
が部分放電や地絡などの異常により生じる分解ガスと接
触するように被検出ガスの雰囲気中に設置される。

【０００４】直流電源３は、リード線部分４１、４２を
介して検出電極１０１と対向電極１０３の間に直流電圧
を印加する機能をなし、この直流電圧の印加により検出
電極１０１で電極反応が生じて上記の含フッ素ガスが電
気分解され、このときの電気分解により生じる起電圧に
基づく電流は、ガスセンサ１の信号出力として電流計２
に表示され、この電流値から上記含フッ素ガス濃度を知
ることができる。

【０００５】ＧＩＳなどの高電圧の電気機器では、通
常、その多数個所における六フッ化硫黄ガスの分解の有
無あるいは分解の程度を監視するために、多数個のガス
センサ１０を用いてそれらを上記電気機器の各所に分散
配置している。その際、上記ガス検出装置の他の部分で
ある直流電源３、電流計２、更には電流値から含フッ素
ガス量を算出するデータ処理部（図１２には図示せず）
などは、個々のガスセンサ毎に設けるのではなしに、複
数個のガスセンサに対して１セットのみとして上記ガス
検出装置のコスト及び点検時の測定点数を低減すること
が望ましい。

【０００６】ところで本発明者らの研究から、上記ガス
検出装置のガスセンサ１０は、予想外にも、その生産過
程において使用原材料や生産工程上で十分な管理を施し
ても未だ性能、特に一定濃度のフッ素水素ガスに対する
反応感度に大きなバラツキがあることが判明した。換言
すると、一定濃度のフッ素水素ガスに対するガスセンサ
毎の信号出力たる電流及び点検時の測定点数を低減する
ことがかなり大きく異なる。かかる反応感度上にバラツ
キが生じる理由は目下のところ定かではないが、上記ガ
スセンサ１０の生産時における検出電極１０１、上記固
体電解質１０２、および対向電極１０３の各表面状態、
上記各部間の接触状態などのバラツキが主たる原因と思
われる。

【０００７】いずれにせよ複数のガスセンサのそれぞれ
の反応感度にバラツキがある状況では、上記含フッ素ガ
ス量を正確に測定することができず、一方、各ガスセン
サの上記バラツキを構造上から矯正すること、および反
応感度の均一なガスセンサを得ることは目下の状況では
技術的に困難であり、この結果、規格に合格する反応感
度を有するガスセンサの製造歩留まりが極めて低い問題
があった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術に
おける上記事情に鑑みて、採用する複数のガスセンサの
各反応感度にバラツキがあっても、被検出ガス濃度を正
確に測定可能なガス検出装置を提供することを課題とす
るものである。

【０００９】

【問題を解決するための手段】本発明のガス検出装置
は、（１）被ガス検出系に分散配置された複数のガスセ
ンサと一のセンサ信号処理装置を備え、上記センサ信号
処理装置は、上記各ガスセンサ毎の信号出力を上記各ガ
スセンサ毎に予め求められた信号出力―被検出ガス濃度
関係デ−タに従って被検出ガス濃度に変換するデータ処
理部を有するものである。

【００１０】（２）上記（１）において、上記各ガスセ
ンサは、六フッ化硫黄ガスの分解ガスの存在を検知する
と共に上記存在の濃度に対応した電気量を信号出力とす
るものである。

【００１１】（３）上記（１）または（２）において、
上記各ガスセンサは、固体電解質、上記固体電解質の一
方の面に設けられて被検出ガスと接する検出電極、上記
固体電解質の他方の面に設けられた対向電極を有するも
のである。

【００１２】（４）上記（３）において、上記固体電解
質は、フッ化物固体電解質とするものである。

【００１３】（５）上記（１）〜（４）のいずれか一項
において、上記各ガスセンサにおける信号出力―被検出
ガス濃度関係デ−タは、下式で表示されるものである、
logＡ＝α×logＢ＋β、ここに、Ａは上記信号出力、Ｂ
は上記被検出ガス濃度、αは定数、βは定数である。

【００１４】（６）上記（１において、上記センサ信号
処理装置は、上記各ガスセンサ毎の信号出力―被検出ガ
ス濃度関係デ−タを記憶した記憶部を有するものであ
る。

【００１５】（７）上記（１）、（５）、および（６）
のいずれか一項において、上記センサ信号処理装置は、
上記複数のガスセンサにおける上記α値およびβ値のバ
ラツキの範囲を複数のランクに区分すると共に上記各ガ
スセンサを個々の上記α値およびβ値の大きさに基づい
て上記ランク中のいずれかにランク付けする評定部を有
し、上記記憶部は各ガスセンサの上記ランクを記憶し、
上記データ処理部は、上記各ガスセンサ毎の信号出力を
上記各ランクに定められた信号出力―被検出ガス濃度関
係デ−タに従って被検出ガス濃度に変換するものであ
る。

【００１６】（８）上記（６）または（７）において、
上記記憶部は、上記センサ信号処理装置の内部または外
部、または上記各ガスセンサに設けられたものである。 （９）上記（８）において、上記内部に設けられた記憶
部および上記各ガスセンサに設けられた記憶部は、内臓
ＲＡＭであり、上記外部に設けられた記憶部は、メモリ
スティックまたはフロッピーディスクとするものであ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】実施の形態１.図１〜図３は、本
発明のガス検出装置における実施の形態１を説明するも
のであって、図１は実施の形態１のガス検出装置の概略
構造を示すブロック図、図２は上記ガス検出装置が上記
被ガス検出系の一例としてのガス絶縁送電線路に適用さ
れた例の一部断面図を含む側面図、図３は後記するガス
センサについての信号出力とフッ化水素ガス濃度との関
係グラフの例である。

【００１８】図１〜図２において、１はガスセンサ、３
は直流電源、５はセンサ信号処理装置、６はガス絶縁送
電線路である。ガスセンサ１は、複数の個別ガスセンサ
１１、１２、・・、１ｉから構成されており、それら各
個別ガスセンサは、前記図１２に示したガスセンサ１０
と同じ構造並びに機能を有する。センサ信号処理装置５
は、記憶部５１例えば内臓ＲＡＭ、個別ガスセンサ識別
部５２、個別信号読込部５３、データ処理部５４、およ
び処理結果表示部５５から構成されている。

【００１９】上記個別ガスセンサ１１〜１ｉが前記図１
２に示したガスセンサ１０と同じ構造並びに機能を有す
る実施の形態１においては、上記各個別ガスセンサ１１
〜１ｉからの分解ガスに関する信号出力は、前記した通
り起電圧に基づく電流であるので、個別信号読込部５３
としては電流計を主体とする装置が用いられる。また、
上記各個別ガスセンサ１１〜１ｉと個別信号読込部５３
と直流電源３とは、図１では詳細な電気回路の表示は省
略されているが、前記図１２の場合と同様にリード線４
により接続されている。なお、直流電源３の設置個所は
一般的には任意であるが、実施の形態１においてはセン
サ信号処理装置５を収容する外殻ケース内に上記各部分
５１〜５５と一緒に収容されており、かくすることでガ
ス検出装置がコンパクトになり、持ち運びなどの取り扱
いが容易となる。

【００２０】図２において、ガス絶縁送電線路６は、電
気導体６１、複数の隔壁６２、ガス室６３からなり、ガ
ス室６３は、隔壁６２により複数のガス室部分６３１、
６３２、・・、６３ｉに区画されている。また各ガス室
部分６３１〜６３ｉ内は、六フッ化硫黄ガスが充填され
ており、さらに個別ガスセンサ１１〜１ｉのそれぞれが
少なくとも各検出電極（図示せず）が露出する状態で設
置されている。

【００２１】上記した個別ガスセンサ１１〜１ｉのそれ
ぞれは、前記被検出ガスの一例としてのフッ化水素ガス
の濃度が既知で且つフッ化水素ガス濃度の異なる複数の
標準ガスを対象とする反応感度検査により、予め個々の
フッ化水素ガス濃度毎の信号出力が実測される。

【００２２】図３の実線は、両対数グラフ上における上
記の方法で調べられた或る個別ガスセンサに固有の信号
出力―フッ化水素ガス濃度関係デ−タを示し、同実線か
ら下式（１）が成立することが分かる。 logＡ＝α×logＢ＋β、 （１） ここに、Ａは上記信号出力（ｎＡ）であり、Ｂはフッ化
水素ガス濃度（体積ｐｐｍ）であり、α、βはいずれも
定数である。

【００２３】なお上記式（１）の確立の際にデ−タのバ
ラツキが生じることがある。図３において点線および一
点鎖線は、それぞれ上記バラツキの上限と下限とを示
し、かかる場合には、上記デ−タを母集団とする統計手
法により上記実線に対応する平均的関係（基準）を求め
てもよい。かくして個別ガスセンサ１１〜１ｉのそれぞ
れのα値とβ値とが決定され、センサ信号処理装置５の
記憶部５１、あるいは後記する図５、図６または図７の
各記憶部５１に各個別ガスセンサの識別記号と共に記憶
される。

【００２４】つぎに実施の形態１のガス検出装置の動作
について説明する。図２において、センサ信号処理装置
５は、ガス絶縁送電線路６のガス室部分６３１に設置さ
れた個別ガスセンサ１１に接続されており、よってガス
室部分６３１における六フッ化硫黄ガスの分解の有無を
調べる状態となっている。上記室に異常がなければ、セ
ンサ信号処理装置５は他の個別ガスセンサ、例えば隣接
の個別ガスセンサ１２に移されてガス室部分６３２につ
き同様の調査が行われる。以下同様である。

【００２５】上記の調査にて、例えば個別ガスセンサ１
３から六フッ化硫黄ガスの分解を知らせる信号出力があ
ると、その信号出力はセンサ信号処理装置５の個別信号
読込部５３において読み込まれ、個別ガスセンサ識別部
５２により個別ガスセンサ１３からのものであることが
識別され、データ処理部５４において記憶部５１に記憶
された個別ガスセンサ１３に固有の上記α値、β値およ
び上記式（１）に基づいて、ガス室部分６３３での分解
ガス濃度が算出され、ついで処理結果表示部５５にて上
記の結果が表示される。

【００２６】実施の形態２.図４は、本発明のガス検出
装置における実施の形態２を説明するものであって、一
部断面図を含む側面図である。なお実施の形態２以下に
おいて、前記実施の形態１にて表示された部位と同じ部
位に就いては同じ符号を付して各内容の説明を省略す
る。図４において、ガス絶縁送電線路６のガス室６３に
ついては、隔壁６２により区画されガス室部分６３１〜
６３ｉとガス室部分６３ｉ＋１〜６３ｎの合計ｎ室が示
されており、ガス室部分６３１〜６３ｉには個別ガスセ
ンサ１１〜１ｉが、一方、ガス室部分６３ｉ＋１〜６３
ｎには個別ガスセンサ１ｉ＋１〜１ｎが、それぞれ設置
されている。また、上記個別ガスセンサ１１〜１ｉは、
図示する通り、互いに直列に接続されて個別ガスセンサ
１１のリード線部分４１と個別ガスセンサ１ｉのリード
線部分４２の各ターミナルのみがセンサ信号処理装置５
に接続されている。ガス室部分６３ｉ＋１〜６３ｎに設
置された個別ガスセンサ１ｉ＋１〜１ｎも同様である。

【００２７】上記の接続方法では、個々のガス室部分の
状況は不明であるが、ガス室部分６３１〜６３ｉのいず
れかで六フッ化硫黄ガスの分解があると、全体の出力に
変化（電流値の増加）が生じるので、その変化から上記
のいずれかのガス室部分において六フッ化水素ガスの分
解が生じたことが分かる。かくなると、個別ガスセンサ
１１〜１ｉ間の接続を図２のように変更して実施の形態
１の方法により問題のガス室部分を突き止めることがで
きる。ガス室部分６３ｉ＋１〜６３ｎと個別ガスセンサ
１ｉ＋１〜１ｎについても同様である。実施の形態２
は、数多あるガス室部分における一部の異常を短時間で
検出できる長所がある。

【００２８】実施の形態３.図５は、本発明のガス検出
装置における実施の形態３の概略構造を示すブロック図
であって、５１はセンサ信号処理装置５の外に設置され
た記憶部、例えばメモリスティック、フロッピーディス
などである。しかして実施の形態３は、実施の形態１と
は記憶部の設置個所が異なるのみで、その他の構成は同
じである。実施の形態３における記憶部５１は、センサ
信号処理装置５とは別個に携帯できる利便性がある。

【００２９】実施の形態４.図６は、本発明のガス検出
装置における実施の形態４の概略構造を示すブロック図
であって、５１はガスセンサ１に内臓された記憶部例え
ば内臓ＲＡＭであり、記憶部５１は、個別ガスセンサ１
１〜１ｎのそれぞれに内臓された記憶部分５１１、５１
２、・・、５１ｎからなっている。しかして実施の形態
４は、実施の形態１とは記憶部５１が上記の通り分散設
置された点が異なるのみで、その他の構成は同じであ
る。記憶部分５１１〜５１ｎは、個々の個別ガスセンサ
に内臓されているので、センサ信号処理装置５の個別信
号読込部５３での読み込みおよび個別ガスセンサ識別部
５２での識別が不要となって、個別ガスセンサ１１〜１
ｎからの信号出力は、各記憶部分５１１〜５１ｎを介し
てセンサ信号処理装置５のデータ処理部５４に入力する
ことができる。

【００３０】実施の形態５.図７〜図１１は、本発明の
ガス検出装置における実施の形態５を説明するものであ
って、図７は実施の形態５のガス検出装置の概略構造を
示すブロック図、図８はガス検出装置のガスセンサにお
ける反応感度のバラツキを示すグラフ、図９はガスセン
サにおける反応感度の他のバラツキを示すグラフ、図１
０は図８および図９のグラフをもとに作成した反応感度
ランク表、図１１は図１０の各ランク毎の信号出力―被
検出ガス濃度関係グラフである。図７において、５６は
前記評定部である

【００３１】図８および図９は、前記実施の形態１にお
いて説明した方法により実測したガスセンサ１の或る製
造ロット内における、それぞれα値およびβ値の分布を
示すものであって、それらの図においてＡ領域にあるも
のは高感度センサ、Ｂ領域にあるものは標準感度セン
サ、Ｃ領域にあるものは低感度センサであり、Ｄ領域の
ものは感度が過大あるいは過小であるので不良品として
除かれる。

【００３２】図８および図９のデータは、評定部５６に
入力される。評定部５６では、それらのデータを上記Ａ
〜Ｃ領域への分別、Ｄ領域分については不良品としての
除外の判定、それら区分を基に図１０に示す１〜９の９
ランク分け、上記各ランク別に平均α値および平均β値
の算出、などが行われる。図１１には、上記各ランク別
に算出された各平均α、β値を用いた前記式（１）の信
号出力―被検出ガス濃度関係がグラフ化されている。図
１１おいてＲ１〜Ｒ９は、上記ランク１〜９についての
それぞれの信号出力―被検出ガス濃度関係グラフであ
る。評定部５６ではさらに、個々の個別ガスセンサ毎
に、各個別ガスセンサに固有の実測α値、β値を基に上
記ランク１〜９のいずれのランクに属せしめる評定もな
され、個別ガスセンサ毎のかかる評定結果は記憶部５１
において記憶される。

【００３３】

【発明の効果】本発明のガス検出装置は、以上説明した
通り、（１）被ガス検出系に分散配置された複数のガス
センサと一のセンサ信号処理装置を備え、上記センサ信
号処理装置は、上記各ガスセンサ毎の信号出力を上記各
ガスセンサ毎に予め求められた信号出力―被検出ガス濃
度関係デ−タに従って被検出ガス濃度に変換するデータ
処理部を有するものであるので、複数のガスセンサのそ
れぞれに反応感度差があっても上記被検出ガス濃度の測
定誤差が実質的に無くなる効果がある。また上記各ガス
センサとして反応感度が区々のものを採用することが可
能となるので、ガスセンサの製造歩留まりが向上する大
きな効果がある。

【００３４】また（２）上記（１）において、上記各ガ
スセンサは、六フッ化硫黄ガスの分解ガスの存在を検知
すると共に上記存在の濃度に対応した電気量を信号出力
とするものであると、電気絶縁ガスとして多用されてい
る上記六フッ化硫黄ガスを用いた種々の絶縁電気機器用
のガス検出装置として有用である。

【００３５】また（３）上記（１）または（２）におい
て、上記各ガスセンサは、固体電解質、上記固体電解質
の一方の面に設けられて被検出ガスと接する検出電極、
上記固体電解質の他方の面に設けられた対向電極を有す
るものであり、また（４）上記（３）において、上記固
体電解質は、フッ化物固体電解質とするものであると、
六フッ化水素ガスの分解ガスに対して極めて良好な反応
感度示す。

【００３６】また（５）上記（１）〜（４）のいずれか
一項において、上記各ガスセンサにおける信号出力−被
検出ガス濃度関係デ−タは、下式で表示されるものであ
り、（６）上記（１）において、上記センサ信号処理装
置は、上記各ガスセンサ毎の信号出力―被検出ガス濃度
関係デ−タを記憶した記憶部を有するものであると、個
々のガスセンサについて信号出力と被検出ガス濃度の関
係をあらかじめ調査し、各々のガスセンサのα、β値を
記憶部に記憶させるだけで被検出ガス濃度の算出が可能
となり、この結果、被検出ガスの検出とその濃度の算出
に要する時間が短縮される効果がある。logＡ＝α×log
Ｂ＋β、ここに、Ａは上記信号出力、Ｂは上記被検出ガ
ス濃度、αは定数、βは定数である。

【００３７】また（７）上記（１）、（５）、および
（６）のいずれか一項において、上記センサ信号処理装
置は、上記複数のガスセンサにおける上記α値およびβ
値のバラツキの範囲を複数のランクに区分すると共に上
記各ガスセンサを個々の上記α値およびβ値の大きさに
基づいて上記ランク中のいずれかにランク付けする評定
部を有し、上記記憶部は各ガスセンサの上記ランクを記
憶し、上記データ処理部は、上記各ガスセンサ毎の信号
出力を上記各ランクに定められた信号出力―被検出ガス
濃度関係デ−タに従って被検出ガス濃度に変換するもの
であると、記憶部が記憶すべき量が大幅に少なくなるの
で、記憶部としては容量の小さいもので済み、さらに被
検出ガスの検出とその濃度の算出に要する時間が一層短
縮される効果がある。

【００３８】また（８）上記（６）または（７）におい
て、上記記憶部は、上記センサ信号処理装置の内部また
は外部、または上記各ガスセンサに設けられたものであ
り、また（９）上記（８）において、上記内部に設けら
れた記憶部および上記各ガスセンサに設けられた記憶部
は、内臓ＲＡＭであり、上記外部に設けられた記憶部
は、メモリスティックまたはフロッピーディスクとする
ものであると、上記外部に設けられた記憶部の場合に
は、分解ガス濃度を測定する際にそれを携帯することが
できる効果がある。記憶部が上記各ガスセンサに設けら
れた場合には、分解ガス濃度を測定する際にそれを携帯
する必要が無く、また個々のガスセンサの認識番号を必
要個所に入力する必要が無いので、入力することで生じ
る人為的ミスを回避できる効果がある。一方、上記記憶
部は、上記センサ信号処理装置の内部に設けられたもの
であると、分解ガス濃度を測定する際に携帯する必要が
無い効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明における実施の形態１のガス検出装置
の概略構造を示すブロック図。

【図２】 図１のガス検出装置がガス絶縁送電線路に適
用された例の一部断面図を含む側面図。

【図３】 ガスセンサについての信号出力とフッ化水素
ガス濃度との関係グラフの例。

【図４】 本発明におけるガス検出装置の実施の形態２
を説明する一部断面図を含む側面図である。

【図５】 本発明における実施の形態３のガス検出装置
の概略構造を示すブロック図。

【図６】 本発明における実施の形態４のガス検出装置
の概略構造を示すブロック図。

【図７】 本発明における実施の形態５のガス検出装置
の概略構造を示すブロック図。

【図８】 本発明の実施の形態５におけるガスセンサの
反応感度のバラツキを示すグラフ。

【図９】 本発明の実施の形態５におけるガスセンサの
反応感度の他のバラツキを示すグラフ。

【図１０】 図８、図９のグラフをもとに作成した反応
感度ランク表。

【図１１】 図１０の反応感度ランク表に示された各ラ
ンク毎の信号出力―被検出ガス濃度関係グラフ。

【図１２】 従来の分解ガスセンサの概略説明図。

【符号の説明】

１ ガスセンサ、２ 電流計、３ 直流電源、４ リー
ド線、５ センサ信号処理装置、５１ 記憶部、５２
個別ガスセンサ識別部、５３ 個別信号読込部、５４
データ処理部、５５ 処理結果表示部、５６ 評定部、
６ ガス絶縁送電線路、６１ 電気導体、６２ 隔壁、
６３ ガス室。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石飛 親人 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5G017 DD02 EE07 5G028 GG16 5G365 DN05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被ガス検出系に分散配置された複数のガ
   スセンサと一のセンサ信号処理装置を備え、上記センサ
   信号処理装置は、上記各ガスセンサ毎の信号出力を上記
   各ガスセンサ毎に予め求められた信号出力―被検出ガス
   濃度関係デ−タに従って被検出ガス濃度に変換するデー
   タ処理部を有することを特徴とするガス検出装置。
2. 【請求項２】 上記各ガスセンサは、六フッ化硫黄ガス
   の分解ガスの存在を検知すると共に上記存在の濃度に対
   応した電気量を信号出力とすることを特徴とする請求項
   １記載のガス検出装置。
3. 【請求項３】 上記各ガスセンサは、固体電解質、上記
   固体電解質の一方の面に設けられて被検出ガスと接する
   検出電極、上記固体電解質の他方の面に設けられた対向
   電極を有するものであることを特徴とする請求項１また
   は請求項２記載のガス検出装置。
4. 【請求項４】 上記固体電解質は、フッ化物固体電解質
   であることを特徴とする請求項３記載のガス検出装置。
5. 【請求項５】 上記各ガスセンサにおける信号出力―被
   検出ガス濃度関係デ−タは、下式で表示されることを特
   徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項記載のガス
   検出装置、 logＡ＝α×logＢ＋β、 ここに、Ａは上記信号出力、Ｂは上記被検出ガス濃度、
   αは定数、βは定数である。
6. 【請求項６】 上記センサ信号処理装置は、上記各ガス
   センサ毎の信号出力―被検出ガス濃度関係デ−タを記憶
   した記憶部を有することを特徴とする請求項１記載のガ
   ス検出装置。
7. 【請求項７】 上記センサ信号処理装置は、上記複数の
   ガスセンサにおける上記α値およびβ値のバラツキの範
   囲を複数のランクに区分すると共に上記各ガスセンサを
   個々の上記α値およびβ値の大きさに基づいて上記ラン
   ク中のいずれかにランク付けする評定部を有し、上記記
   憶部は各ガスセンサの上記ランクを記憶し、上記データ
   処理部は、上記各ガスセンサ毎の信号出力を上記各ラン
   クに定められた信号出力―被検出ガス濃度関係デ−タに
   従って被検出ガス濃度に変換することを特徴とする請求
   項１、請求項５、および請求項６のいずれか一項記載の
   ガス検出装置。
8. 【請求項８】 上記記憶部は、上記センサ信号処理装置
   の内部または外部、または上記各ガスセンサに設けられ
   たことを特徴とする請求項６または請求項７記載のガス
   検出装置。
9. 【請求項９】 上記内部に設けられた記憶部および上記
   各ガスセンサに設けられた記憶部は、内臓ＲＡＭであ
   り、上記外部に設けられた記憶部は、メモリスティック
   またはフロッピー（登録商標）ディスクであることを特
   徴とする請求項８記載のガス検出装置。