JP2003063001A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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JP2003063001A
JP2003063001A JP2001257774A JP2001257774A JP2003063001A JP 2003063001 A JP2003063001 A JP 2003063001A JP 2001257774 A JP2001257774 A JP 2001257774A JP 2001257774 A JP2001257774 A JP 2001257774A JP 2003063001 A JP2003063001 A JP 2003063001A
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JP
Japan
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ink
lower plate
inorganic material
diaphragm
recording head
Prior art date
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Application number
JP2001257774A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ayumi Matsumoto
歩 松元
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Pigments, Carbon Blacks, Or Wood Stains (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To resolve the problem of a conventional ink jet recording head such as that the ejecting amount and the ejection speed of ink drops are lowered and fine and exact recording cannot be performed. SOLUTION: The ink jet recording head comprises a lower plate 2, at least two separation walls 3 placed apart from each other on the upper face of the lower plate 2, a diaphragm 4 placed on the upper face of the separation walls 3, side plates 5 to close the inner space formed of the lower plate 2, a pair of the separation walls 3 and the diaphragm 4, and a pressuring means provided at the diaphragm 4, wherein ink ejection ports 7 and an ink supply port 8 are provided at the lower plate 2 and/or the side plates 5, and ink in the inside of the space is made to be ejected from the ink ejection ports 7 by deforming the diaphragm 4 by a pressurizing means 6. At least one of the lower plate 2, the separation walls 3, the diaphragm 4 and the side plates 5 is bonded by an adhesive 10 which contains an inorganic material filler in a thermosetting resin, and the surface of the inorganic material filler is coated with a silane coupling agent of 0.05 to 0.5 wt.% to the inorganic material filler.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、文字や画像の印刷
に用いる高精度のインクジェット記録装置に搭載される
インクジェット記録ヘッドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head mounted on a high precision ink jet recording apparatus used for printing characters and images.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピューターの普及
やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出
力する記録装置として、インクジェット方式の記録装置
の利用が急速に拡大している。
2. Description of the Related Art In recent years, with the spread of personal computers and the development of multimedia, the use of ink jet type recording devices has rapidly expanded as a recording device for outputting information to a recording medium.

【0003】かかるインクジェット方式の記録装置に
は、インクジェット記録ヘッド(以下ヘッドと称す)が搭
載されており、該ヘッドとしてはインクが充填されたイ
ンク流路を形成する振動板を圧電素子を用いた加圧手段
によって変形させ、機械的にインク室内のインクを加圧
し、インク滴をインク吐出孔より吐出させる圧電方式の
ヘッドが知られている。
An ink jet recording head (hereinafter referred to as a head) is mounted on such an ink jet type recording apparatus, and as the head, a vibrating plate forming an ink flow path filled with ink is used a piezoelectric element. There is known a piezoelectric head that is deformed by a pressurizing unit to mechanically pressurize ink in an ink chamber to eject ink droplets from an ink ejection hole.

【0004】かかる圧電方式のヘッドは、図3に示すよ
うにインク滴を吐出するインク吐出孔17を有する下板
12と、該下板12の上面に等間隔に配置された複数の
隔壁13と、該隔壁13の上面に配置された振動板14
と、前記下板12と各隔壁13及び振動板14とで形成
される内部空間を塞ぐ側板と、前記振動板14の上面に
備えられた圧電素子16とで形成されており、下板1
2、隔壁13及び振動板14とでインク流路11を構成
している(特開平7−156385参照)。
As shown in FIG. 3, such a piezoelectric head has a lower plate 12 having ink ejection holes 17 for ejecting ink droplets, and a plurality of partition walls 13 arranged on the upper surface of the lower plate 12 at equal intervals. A diaphragm 14 disposed on the upper surface of the partition wall 13.
A lower plate 12, a side plate that closes an internal space formed by the partition walls 13 and the vibration plate 14, and a piezoelectric element 16 provided on the upper surface of the vibration plate 14.
2, the partition wall 13 and the vibrating plate 14 form an ink flow path 11 (see Japanese Patent Laid-Open No. 7-156385).

【0005】このヘッドよりインク滴を吐出するには、
外部の駆動回路(不図示)より引出し線を経て、圧電素
子16に通電し、圧電素子16を変位させることによっ
て振動板14を変形させ、同時に各インク流路11内の
インクを加圧することによってインク滴がインク吐出孔
17より吐出される。
To eject ink droplets from this head,
By energizing the piezoelectric element 16 through a lead wire from an external drive circuit (not shown) and displacing the piezoelectric element 16, the vibration plate 14 is deformed, and at the same time, the ink in each ink flow path 11 is pressurized. Ink droplets are ejected from the ink ejection holes 17.

【0006】また、このヘッドは下板12の上面に隔壁
13を、隔壁13の上面に振動板14を、下板12、隔
壁13及び振動板14によって形成されるインク流路1
1の開放端面に側板を熱硬化性樹脂から成る接着剤20
を介して接合することによって製作されている。
In this head, the partition wall 13 is formed on the upper surface of the lower plate 12, the vibrating plate 14 is formed on the upper surface of the partition wall 13, and the ink passage 1 formed by the lower plate 12, the partition wall 13 and the vibrating plate 14.
1. Adhesive 20 composed of a thermosetting resin with a side plate on the open end face of No. 1
It is manufactured by joining through.

【0007】しかしながら、この熱硬化性樹脂から成る
接着剤20は、熱硬化時に一旦粘度が低下するためイン
ク流路11内に流れ込みやすく、インク流路11内に接
着剤20の一部が流れ込むと、インク流路11の一部が
塞がれてインクの流れに制限が加わり、その結果、各イ
ンク吐出孔17からのインク滴の吐出にばらつきが発生
して綺麗な記録ができないという欠点を有していた。
However, the adhesive 20 made of this thermosetting resin is apt to flow into the ink flow path 11 because the viscosity once decreases during thermosetting, and when a part of the adhesive 20 flows into the ink flow path 11. However, there is a drawback in that a part of the ink flow path 11 is blocked and the flow of ink is restricted, and as a result, the ejection of ink droplets from the respective ink ejection holes 17 varies, and it is not possible to perform a clean recording. Was.

【0008】そこで、上記欠点を解決するために熱硬化
性樹脂から成る接着剤20に無機材質フィラーを添加混
合し、接着剤20の熱硬化時の粘度低下を防止すること
が提案されている。
In order to solve the above-mentioned drawbacks, therefore, it has been proposed to add an inorganic filler to the adhesive 20 made of a thermosetting resin and mix it to prevent a decrease in viscosity of the adhesive 20 during thermosetting.

【0009】この無機材質フィラーを添加混合した熱硬
化性樹脂から成る接着剤20は、熱硬化時に粘度低下が
ないことから、接着剤20の一部がインク流路11内に
流れ込むのが有効に防止され、その結果、インク流路1
1内でのインクの流れを自由とすることができる。
The adhesive 20 made of a thermosetting resin mixed with and mixed with the filler of the inorganic material has no viscosity decrease during thermosetting, so that it is effective that a part of the adhesive 20 flows into the ink flow path 11. Is prevented and, as a result, the ink flow path 1
The flow of ink in 1 can be made free.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、熱硬化
性樹脂から成る接着剤20に添加混合される無機材質フ
ィラーは、接着剤20の粘度低下を防止するために混合
量、粒径等のみが注目されており、無機材質フィラーに
不純物として含有されている例えばFe、Mg、Ca等
の金属元素やNa、Li、K等のアルカリ金属元素につ
いては注目されておらず、従来一般には金属元素及び/
又はアルカリ金属元素は酸化物換算で無機材質フィラー
の全重量に対して0.7重量%以上含まれていた。
However, in order to prevent the viscosity of the adhesive 20 from being lowered, the inorganic filler to be added to and mixed with the adhesive 20 made of a thermosetting resin should be noted only in the mixing amount, the particle size and the like. However, no attention has been paid to metal elements such as Fe, Mg, and Ca, and alkali metal elements such as Na, Li, and K, which are contained as impurities in the inorganic material filler.
Alternatively, the alkali metal element was contained in an amount of 0.7% by weight or more in terms of oxide, based on the total weight of the inorganic filler.

【0011】このような不純物としての金属元素及び/
又はアルカリ金属元素が含まれている無機材質フィラー
を熱硬化性樹脂から成る接着剤20に添加混合したもの
を用いて下板12の上面に隔壁13を、隔壁13の上面
に振動板14を、またインク流路11を形成する下板1
2と隔壁13と振動板14と側板とを接着した場合、無
機材質フィラーに含まれる金属元素及び/又はアルカリ
金属元素がインクに溶出するとともに陽イオン化し、イ
ンク中の着色剤を均一に分散させている分散剤の負の帯
電を部分的に中和してしまい、その結果、インク中の着
色剤に凝集が起こり、インクの粘度が増加してインクの
流れが悪くなったり、インク吐出孔17から吐出される
インク滴の吐出量や吐出速度が低下し、最悪の場合には
インク吐出孔17が塞がりインクの吐出が不可能となっ
て正確、且つ綺麗な記録ができなくなるという欠点が誘
発される。
Metal elements such as impurities and / or
Alternatively, the partition wall 13 is formed on the upper surface of the lower plate 12, and the diaphragm 14 is formed on the upper surface of the partition wall 13 by using a mixture of an inorganic material filler containing an alkali metal element added to an adhesive 20 made of a thermosetting resin. In addition, the lower plate 1 that forms the ink flow path 11
When 2, the partition wall 13, the diaphragm 14, and the side plate are bonded together, the metal element and / or the alkali metal element contained in the inorganic filler is eluted into the ink and cationized to evenly disperse the colorant in the ink. The negative charge of the existing dispersant is partially neutralized, and as a result, the colorant in the ink agglomerates, the viscosity of the ink increases, the flow of the ink deteriorates, and the ink ejection holes 17 The discharge amount and the discharge speed of the ink droplets discharged from the printer are reduced, and in the worst case, the ink discharge holes 17 are blocked and the ink cannot be discharged, which leads to a defect that accurate and clean recording cannot be performed. It

【0012】本発明は、上述の欠点に鑑み案出されたも
ので、その目的はインクの吐出速度、吐出量を安定と
し、綺麗で正確、鮮明な記録ができるインクジェット記
録ヘッドを提供することにある。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned drawbacks, and an object thereof is to provide an ink jet recording head capable of stabilizing ink ejection speed and ejection amount, and performing clean, accurate and clear recording. is there.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、下板と、該下
板の上面に離間して配置された少なくとも2つの隔壁
と、該隔壁の上面に配置された振動板と、前記下板と一
対の隔壁と振動板とで形成される内部空間を塞ぐ側板
と、前記振動板に備えられた加圧手段とからなり、前記
下板及び/又は側板にインク吐出孔、インク供給孔を設
け、インク供給孔を介して前記内部空間に供給されたイ
ンクを加圧手段による振動板の変形により加圧すること
によってインク吐出孔より吐出させるインクジェット記
録ヘッドであって、前記下板、隔壁、振動板及び側板の
少なくとも1つが熱硬化性樹脂に無機材質フィラーを含
有させた接着剤により接合されており、且つ該接着剤の
無機材質フィラーの表面が該無機材質フィラーに対して
0.05〜0.5重量%のシラン系カップリング剤にて
被覆されていることを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a lower plate, at least two partition walls spaced apart from each other on an upper surface of the lower plate, a vibration plate disposed on an upper surface of the partition wall, and the lower plate. And a side plate that closes an internal space formed by a pair of partition walls and a vibration plate, and a pressurizing unit provided in the vibration plate, and the lower plate and / or the side plate is provided with an ink ejection hole and an ink supply hole. An ink jet recording head for ejecting ink from an ink ejection hole by pressurizing ink supplied to the internal space through an ink supply hole by deformation of the diaphragm by a pressurizing means, the lower plate, the partition wall, and the diaphragm. And at least one of the side plates is joined by an adhesive containing a thermosetting resin containing an inorganic filler, and the surface of the inorganic filler of the adhesive is 0.05 to 0. 5 weight And it is characterized in that it is coated with a silane coupling agent.

【0014】また、前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂と
硬化剤とからなるとともに、前記シラン系カップリング
剤のエポキシ樹脂と化学結合する反応基におけるα位置
の炭素にアミノ基を有することを特徴とするものであ
る。
The thermosetting resin comprises an epoxy resin and a curing agent, and has an amino group at the α-position carbon in the reactive group chemically bonded to the epoxy resin of the silane coupling agent. To do.

【0015】さらに、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドは、前記硬化剤が脂肪族ポリアミン及び/又は脂環族
ポリアミンであることを特徴とするものである。
Further, the ink jet recording head of the present invention is characterized in that the curing agent is an aliphatic polyamine and / or an alicyclic polyamine.

【0016】本発明のインクジェット記録ヘッドによれ
ば、インクが充填される内部空間を形成する下板、隔
壁、振動板及び側板の少なくとも1つを熱硬化性樹脂に
表面をシラン系カップリング剤によって被覆した無機材
質フィラーを含有させた接着剤にて接合したことから、
接着剤の熱硬化時の粘度低下が無機材質フィラーにより
有効に防止されて接着剤の一部がインクが供給される内
部空間やインク吐出孔内に流れ込むことはなく、その結
果、インク流路内及びインク吐出孔でのインクの流れを
自由とし、インク吐出孔からのインク滴の吐出を均等と
して綺麗な記録を行うことができる。
According to the ink jet recording head of the present invention, at least one of the lower plate, the partition wall, the vibrating plate and the side plate forming the internal space filled with ink is made of a thermosetting resin and the surface thereof is made of a silane coupling agent. Since it was joined with the adhesive containing the coated inorganic material filler,
The decrease in viscosity during heat curing of the adhesive is effectively prevented by the inorganic material filler, and a part of the adhesive does not flow into the internal space where ink is supplied or into the ink ejection holes, and as a result, inside the ink flow path. In addition, it is possible to make the ink flow freely in the ink ejection holes and evenly eject the ink droplets from the ink ejection holes to perform clear recording.

【0017】また、無機材質フィラーはシラン系カップ
リング剤で表面が被覆されていることから、熱硬化性樹
脂と無機材質フィラーとの親和性が高まり、無機材質フ
ィラーの表面を熱硬化性樹脂が、均一に被覆することか
ら、無機材質フィラーの不純物である金属元素及び/又
はアルカリ金属元素がインク中に溶出することはほとん
どなく、熱硬化性樹脂が、インク流路内へ流れ込むこと
を防止するため、インクの流れがスムーズとなるととも
にインク吐出孔から吐出されるインク滴の吐出量や吐出
速度を一定として常に綺麗で、正確、鮮明な記録が可能
となる。
Further, since the surface of the inorganic material filler is coated with the silane coupling agent, the affinity between the thermosetting resin and the inorganic material filler is increased, and the surface of the inorganic material filler is protected by the thermosetting resin. Since it is uniformly coated, the metal element and / or the alkali metal element, which are impurities of the inorganic material filler, hardly elute into the ink, and the thermosetting resin is prevented from flowing into the ink flow path. Therefore, the flow of ink becomes smooth, and the amount of ink droplets and the ejection speed of ink droplets ejected from the ink ejection holes are kept constant, so that clear, accurate, and clear recording is always possible.

【0018】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
によれば、前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂と硬化剤と
からなり、前記シラン系カップリング剤のエポキシ樹脂
と化学結合する反応基におけるα位置の炭素にアミノ基
を有することから、無機材質フィラーと熱硬化性樹脂中
のエポキシ樹脂との親和性を格段に高めることができ、
インクの流れが、よりスムーズとなるとともにインク吐
出孔から吐出されるインク滴の吐出量や吐出速度を一定
として常に綺麗で、正確、鮮明な記録が可能となる。
Further, according to the ink jet recording head of the present invention, the thermosetting resin comprises an epoxy resin and a curing agent, and the carbon at the α position in the reactive group chemically bonded to the epoxy resin of the silane coupling agent. Since it has an amino group, it is possible to significantly increase the affinity between the inorganic material filler and the epoxy resin in the thermosetting resin,
The flow of ink becomes smoother, and the amount of ink droplets ejected from the ink ejection holes and the ejection speed are kept constant, so that clear, accurate, and clear recording can be performed at all times.

【0019】さらに、前記硬化剤が脂肪族ポリアミン及
び/又は脂環族ポリアミンであることから、前記シラン
系カップリング剤のアミノ基と類似した化学構造をもつ
ため、硬化反応時にシラン系カップリング剤のアミノ基
の部分がエポキシ樹脂に組み込まれ、前記エポキシ樹脂
と無機材質フィラーとをより強固に結合させ、無機材質
フィラーの不純物である金属元素及び/又はアルカリ金
属元素がインク中に溶出することがなくなり、インクの
流れがスムーズとなるとともにインク吐出孔から吐出さ
れるインク滴の吐出量や吐出速度を一定として常に綺麗
で、正確、鮮明な記録を行うことができる。
Furthermore, since the curing agent is an aliphatic polyamine and / or an alicyclic polyamine, it has a chemical structure similar to the amino group of the silane coupling agent, so that the silane coupling agent during the curing reaction. The amino group portion of the epoxy resin is incorporated into the epoxy resin, the epoxy resin and the inorganic material filler are more firmly bound, and the metal element and / or the alkali metal element that is an impurity of the inorganic material filler may be eluted into the ink. As a result, the flow of ink becomes smooth, and the amount and speed of ink droplets ejected from the ink ejection holes are kept constant, so that clean, accurate, and clear recording can always be performed.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面に基づいて説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0021】図1(a)は本発明のインクジェット記録
ヘッドの一実施形態を示す一部を破断した斜視図であ
り、図1(b)は同図(a)のX−X線における部分断
面図、図1(c)は同図(a)のY−Y線における部分
断面図である。
FIG. 1 (a) is a partially broken perspective view showing an embodiment of the ink jet recording head of the present invention, and FIG. 1 (b) is a partial sectional view taken along line XX of FIG. 1 (a). FIG. 1C is a partial cross-sectional view taken along the line YY of FIG.

【0022】本発明のインクジェット記録ヘッド(以下
ヘッドと称す)は、図1に示すようにインク滴を吐出す
るためのインク吐出孔7を備えた下板2と、該下板2の
上面に離間して配置された複数の隔壁3と、該隔壁3の
上面に配置された振動板4と、前記下板2と隔壁3及び
振動板4とで形成される内部空間をインク流路1とし、
該インク流路1の開放端面を塞ぐべく接合されたインク
供給孔8を備えた側板5と、前記振動板4の上面に備え
られた圧電素子からなる加圧手段6とから構成されてい
る。
An ink jet recording head (hereinafter referred to as a head) of the present invention has a lower plate 2 having an ink ejection hole 7 for ejecting an ink droplet as shown in FIG. An inner space formed by the plurality of partition walls 3 arranged in a plurality, the diaphragm 4 arranged on the upper surface of the partition wall 3, the lower plate 2, the partition walls 3 and the diaphragm 4 as an ink flow path 1.
It is composed of a side plate 5 having an ink supply hole 8 joined so as to close the open end surface of the ink flow path 1, and a pressure means 6 composed of a piezoelectric element provided on the upper surface of the vibrating plate 4.

【0023】前記下板2は、シリコン、ステンレス、チ
タン、ニッケル、銅、アルミ合金等の金属材料、ガラ
ス、酸化アルミニウム質焼結体、酸化珪素質焼結体、窒
化アルミニウム質焼結体等のセラミックスまたはガラス
セラミックス、あるいは高弾性の樹脂材料等から成り、
例えばシリコンから成る場合には浮遊帯域(FZ)法や
引き上げ(CZ)法等のシリコン単結晶成長技術を採用
することによって、また酸化アルミニウム質焼結体で形
成されている場合には酸化アルミニウム、酸化珪素、酸
化マグネシウム、酸化カルシウム等の原料粉末に有機溶
剤、溶媒を添加混合して原料を調整するとともに該原料
をプレス成形法、テープ成形法等によって所定形状に成
形し、しかる後これを約1000℃の温度で焼成するこ
とによって作製される。
The lower plate 2 is made of a metal material such as silicon, stainless steel, titanium, nickel, copper or aluminum alloy, glass, an aluminum oxide sintered body, a silicon oxide sintered body or an aluminum nitride sintered body. Made of ceramics or glass-ceramics, or highly elastic resin materials,
For example, when it is made of silicon, by adopting a silicon single crystal growth technique such as a floating zone (FZ) method or a pulling (CZ) method, and when it is formed of an aluminum oxide sintered body, aluminum oxide, An organic solvent and a solvent are added to and mixed with a raw material powder of silicon oxide, magnesium oxide, calcium oxide, etc. to prepare the raw material, and the raw material is molded into a predetermined shape by a press molding method, a tape molding method, etc. It is produced by firing at a temperature of 1000 ° C.

【0024】また、前記下板2は、その上面に複数の隔
壁3が下板2の一辺に沿って接合されており、各隔壁3
間は下板2と後述する側板5とともにインク流路1を形
成し、各インク流路1と連通するように下板2にはイン
ク吐出孔7が形成されている。
The lower plate 2 has a plurality of partition walls 3 bonded to the upper surface thereof along one side of the lower plate 2, and each partition wall 3
An ink flow path 1 is formed between the lower plate 2 and a side plate 5 described later, and an ink discharge hole 7 is formed in the lower plate 2 so as to communicate with each ink flow path 1.

【0025】前記隔壁3は、上述の下板2と同様のシリ
コン、ステンレス、チタン、ニッケル、銅、アルミ合金
等の金属材料、ガラス、酸化アルミニウム質焼結体、酸
化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体等のセラミ
ックスまたはガラスセラミックス、あるいは高弾性の樹
脂材料等から成り、上述の下板2と同様の方法によって
作製された板材を下板2の上面に接着剤10を介して接
着固定することによって下板2の上面所定位置に形成さ
れる。
The partition wall 3 is made of the same metal material as silicon, stainless steel, titanium, nickel, copper, aluminum alloy, glass, aluminum oxide sintered body, silicon oxide sintered body, nitriding material similar to the lower plate 2 described above. A plate material made of a ceramic such as an aluminum-based sintered body or glass ceramics, or a resin material having high elasticity and manufactured by the same method as that of the lower plate 2 described above is bonded to the upper surface of the lower plate 2 with an adhesive 10. By being fixed, it is formed at a predetermined position on the upper surface of the lower plate 2.

【0026】前記下板2及び隔壁3は、上述のシリコン
等の高弾性の材料によって形成しておくと、隔壁3間の
インク流路1内のインクが加圧されても、下板2及び隔
壁3に弾性変形が生じて、インク流路1内のインクの圧
力が低下しインク滴の吐出効率が低下したり、隣接する
インク流路1内のインクを加圧して不要なインク滴の吐
出が発生することを有効に防止することができる。
If the lower plate 2 and the partition wall 3 are formed of a highly elastic material such as silicon, even if the ink in the ink flow path 1 between the partition walls 3 is pressurized, the lower plate 2 and the partition wall 3 are formed. The partition wall 3 is elastically deformed, the pressure of the ink in the ink flow path 1 is reduced and the ejection efficiency of the ink drop is reduced, or the ink in the adjacent ink flow channel 1 is pressurized to eject an unnecessary ink drop. Can be effectively prevented.

【0027】また、前記下板2の各隔壁3間に対応する
箇所にはインク吐出孔7が形成されており、該インク吐
出孔7は下板2にエキシマレーザー、YAGレーザー等
のレーザー加工やエッチング加工等を施すことによって
所定の形状に形成される。
Further, ink discharge holes 7 are formed in the lower plate 2 at positions corresponding to the respective partition walls 3, and the ink discharge holes 7 are formed on the lower plate 2 by laser processing such as excimer laser or YAG laser. It is formed into a predetermined shape by performing etching processing or the like.

【0028】なお、前記インク吐出孔7は、図2に示す
ようにインク流路1からインクを送り込む連結孔7a及
びインクの流れを絞ってインク滴の吐出方向を安定させ
るためのテーパー孔7bとから構成することが好まし
い。そのため前記下板2は、上述の高弾性の材料から成
る下板2の下面に、加工性の高いポリイミド、ポリサル
フォン等から成る板状体にエキシマレーザー等によって
テーパー孔7bとなる孔を穿設した薄板材を接着剤10
を介して接合しておくことが好ましい。
As shown in FIG. 2, the ink discharge hole 7 includes a connection hole 7a for sending ink from the ink flow path 1 and a tapered hole 7b for stabilizing the ink droplet discharge direction by restricting the ink flow. It is preferable to be composed of Therefore, the lower plate 2 has a hole which becomes a tapered hole 7b formed by excimer laser or the like on a plate-like body made of highly workable polyimide, polysulfone or the like on the lower surface of the lower plate 2 made of the above-mentioned highly elastic material. Adhesive 10
It is preferable to bond them via.

【0029】さらに、前記隔壁3の上面には各インク流
路1の上部を塞ぐべく接着剤10を介して振動板4が接
合されており、前記下板2、隔壁3及び振動板4によっ
て形成される内部空間はインク流路1として作用する。
Further, a vibration plate 4 is bonded to the upper surface of the partition wall 3 with an adhesive 10 so as to close the upper part of each ink flow path 1, and is formed by the lower plate 2, the partition wall 3 and the vibration plate 4. The internal space formed serves as the ink flow path 1.

【0030】前記振動板4は、上述の下板2、隔壁3と
同様のシリコン、ステンレス、チタン、ニッケル、銅、
アルミ合金等の金属材料、ガラス、酸化アルミニウム質
焼結体、酸化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体
等のセラミックスまたはガラスセラミックス、あるいは
高弾性の樹脂材料等から成り、上述の下板2と同様の方
法によって作製された板材を隔壁3の上面に接着剤10
を介して接着固定することによって形成される。
The vibrating plate 4 is made of silicon, stainless steel, titanium, nickel, copper, similar to the lower plate 2 and the partition 3 described above.
The lower plate described above is made of a metal material such as an aluminum alloy, glass, a ceramic such as glass, an aluminum oxide sintered body, a silicon oxide sintered body, an aluminum nitride sintered body or the like, or a highly elastic resin material. A plate material manufactured by the same method as that of No. 2 is applied to the upper surface of the partition wall 3 with the adhesive 10
It is formed by adhesively fixing via.

【0031】また、前記振動板4の上面には各インク流
路1と対応する位置に圧電素子からなる加圧手段6が接
着剤10を介して接合されており、該圧電素子からなる
加圧手段6は、例えば厚み方向に分極を施したチタン酸
ジルコン酸鉛(PZT)、マグネシウムニオブ酸鉛(P
MN)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN)等からなる圧電
磁器の両面に電極9を被着させた構造を有しており、電
極9間に通電し、圧電磁器を水平方向に伸縮させるとと
もにこの伸縮に伴って振動板4を変形させ、該振動板4
の変形によりインク流路1内のインクを加圧することに
よってインク滴をインク吐出孔7より吐出させる。
Further, on the upper surface of the vibrating plate 4, a pressurizing means 6 composed of a piezoelectric element is bonded at a position corresponding to each ink flow path 1 via an adhesive agent 10, and the pressurization composed of the piezoelectric element is applied. The means 6 is, for example, lead zirconate titanate (PZT) and lead magnesium niobate (PZ) polarized in the thickness direction.
MN), lead nickel niobate (PNN), etc., has a structure in which electrodes 9 are attached to both sides of the piezoelectric ceramic, and the piezoelectric ceramic is expanded and contracted in the horizontal direction by energizing between the electrodes 9. The vibration plate 4 is deformed in accordance with
The ink droplets are ejected from the ink ejection holes 7 by pressurizing the ink in the ink flow path 1 by the deformation of.

【0032】なお、前記加圧手段6は振動板4を介して
インク流路1内のインクを加圧する作用を成すものであ
ればよく、上述の圧電磁器の両面に電極9を被着させた
圧電素子に限らず、例えば図2に示すように振動板4の
下面に金や白金等から成る第1電極9aを振動板4の上
部に一定の間隔をあけて金や白金等から成る第2電極9
bを配しておき、電極9a、9b間に通電を行い、第1
電極9aを第2電極9b側に、または第2電極9bを第
1電極9a側に静電気力によって移動させ、これによっ
て振動板4を変形させるものであってもよい。また、前
記加圧手段6に用いた圧電磁器と電極9を複数層積層し
た積層圧電素子を用いて振動板4を変形させてもよい。
この場合も圧電素子の場合と同様に、振動板4を変形さ
せることによってインク流路1内に供給されたインクを
加圧してインク滴をインク吐出孔7より吐出させること
ができる。
The pressurizing means 6 may be any one that has a function of pressurizing the ink in the ink flow path 1 through the vibrating plate 4, and the electrodes 9 are attached to both surfaces of the above-mentioned piezoelectric ceramic. Not limited to the piezoelectric element, for example, as shown in FIG. 2, a first electrode 9a made of gold, platinum, or the like is provided on the lower surface of the vibration plate 4, and a second electrode made of gold, platinum, or the like is provided above the vibration plate 4 with a certain interval. Electrode 9
b is placed in advance, electricity is applied between the electrodes 9a and 9b, and the first
The diaphragm 9 may be deformed by moving the electrode 9a to the second electrode 9b side or the second electrode 9b to the first electrode 9a side by electrostatic force. Further, the diaphragm 4 may be deformed by using a laminated piezoelectric element in which a plurality of layers of the piezoelectric ceramic used for the pressurizing means 6 and the electrode 9 are laminated.
Also in this case, similarly to the case of the piezoelectric element, by deforming the vibrating plate 4, it is possible to pressurize the ink supplied into the ink flow path 1 to eject an ink droplet from the ink ejection hole 7.

【0033】さらに、前記各インク流路1の開放端面に
は側板5が接着剤10を介して接合されており、該側板
5には各インク流路1と連通するインク供給孔8が形成
されている。
Further, a side plate 5 is joined to the open end surface of each ink flow path 1 with an adhesive 10, and an ink supply hole 8 communicating with each ink flow path 1 is formed in the side plate 5. ing.

【0034】前記側板5は、上述の下板2、隔壁3、振
動板4と同様のシリコン、ステンレス、チタン、ニッケ
ル、銅、アルミ合金等の金属材料、ガラス、酸化アルミ
ニウム質焼結体、酸化珪素質焼結体、窒化アルミニウム
質焼結体等のセラミックスまたはガラスセラミックス、
あるいは高弾性の樹脂材料等から成り、上述の下板2等
と同様の方法によって作製された板材を、下板2、隔壁
3及び振動板4によって形成されたインク流路1の開放
端面に接着剤10を介して接着固定することによって形
成される。
The side plate 5 is made of the same metal material as silicon, stainless steel, titanium, nickel, copper, aluminum alloy, etc., glass, aluminum oxide sintered body, and oxidization similar to the lower plate 2, partition wall 3, and diaphragm 4 described above. Ceramics such as silicon-based sintered body, aluminum nitride-based sintered body or glass ceramics,
Alternatively, a plate material made of a highly elastic resin material or the like and manufactured by the same method as that of the lower plate 2 described above is bonded to the open end surface of the ink flow path 1 formed by the lower plate 2, the partition walls 3 and the diaphragm 4. It is formed by adhesively fixing via the agent 10.

【0035】ここで本発明においては、前記下板2と隔
壁3とを接合させる接着剤10、隔壁3と振動板4とを
接合させる接着剤10、下板2、隔壁3及び振動板4に
よって形成されるインク流路1の開放端面と側板5とを
接合させる接着剤10として、熱硬化性樹脂に無機材質
フィラーを含有してなり、無機材質フィラーの表面が該
無機材質フィラーに対して0.05〜0.5重量%のシ
ラン系カップリング剤で被覆されていることが重要であ
る。
In the present invention, the adhesive 10 for joining the lower plate 2 and the partition wall 3, the adhesive 10 for joining the partition wall 3 and the diaphragm 4, the lower plate 2, the partition wall 3 and the diaphragm 4 are used. As an adhesive 10 for joining the open end surface of the ink flow path 1 and the side plate 5 formed, a thermosetting resin contains an inorganic material filler, and the surface of the inorganic material filler is 0 relative to the inorganic material filler. It is important that the silane coupling agent is coated in an amount of 0.05 to 0.5% by weight.

【0036】前記接着剤10において添加混合される無
機材質フィラーとしては、アルミナ(AL23)、炭化
珪素(SiC)、シリカ(SiO2)、窒化珪素(Si3
4)、ガラス繊維等のうち少なくとも1種を主成分と
するものが使用され、アルミナ(AL23)、炭化珪素
(SiC)、シリカ(SiO2)がより好適に使用し得
る。
Inorganic fillers added and mixed in the adhesive 10 include alumina (AL 2 O 3 ), silicon carbide (SiC), silica (SiO 2 ), silicon nitride (Si 3 ).
N 4 ), glass fiber or the like having at least one of them as a main component is used, and alumina (AL 2 O 3 ), silicon carbide (SiC) and silica (SiO 2 ) can be more preferably used.

【0037】また、前記無機材質フィラーは、平均粒径
を10nm〜8μm、最大粒径を1〜20μmとしてお
くと、前記下板2と隔壁3、隔壁3と振動板4、下板
2、隔壁3及び振動板4によって形成されるインク流路
1の開放端面と側板5とを接合する際に無機材質フィラ
ーが最密に近い充填となって接着剤10の厚みを一定と
し、各接合を均等、且つ強固となすことができる。従っ
て、前記無機材質フィラーはその平均粒径を10nm〜
8μm、最大粒径を1〜20μmとしておくことが好ま
しい。
When the average particle size of the inorganic filler is 10 nm to 8 μm and the maximum particle size is 1 to 20 μm, the lower plate 2 and the partition wall 3, the partition wall 3 and the vibrating plate 4, the lower plate 2, and the partition wall. When the open end surface of the ink flow path 1 formed by the vibration plate 3 and the vibrating plate 4 and the side plate 5 are joined, the inorganic material filler is filled to the closest density so that the thickness of the adhesive 10 is constant and each joining is made uniform. It can be made strong. Therefore, the inorganic filler has an average particle size of 10 nm to
It is preferable that the maximum particle size is 8 μm and the maximum particle size is 1 to 20 μm.

【0038】さらに、前記無機材質フィラーの含有量
は、5〜50体積%が好ましい。この含有量が5体積%
未満となると、接着剤10の熱硬化時における粘度低下
を有効に防止することができず、接着剤10の一部がイ
ンク流路1内に流れ込んでしまう危険性がある。一方、
50体積%を超えると、熱硬化性樹脂の絶対量が少なく
なり、前記下板2と隔壁3、隔壁3と振動板4、下板
2、隔壁3及び振動板4によって形成されるインク流路
1の開放端面と側板5とを強固に接着することが困難と
なってしまう危険性がある。
Further, the content of the inorganic filler is preferably 5 to 50% by volume. This content is 5% by volume
If it is less than the above range, it is not possible to effectively prevent a decrease in viscosity of the adhesive 10 during thermosetting, and there is a risk that part of the adhesive 10 may flow into the ink flow path 1. on the other hand,
When it exceeds 50% by volume, the absolute amount of the thermosetting resin decreases, and the ink flow path formed by the lower plate 2 and the partition 3, the partition 3 and the diaphragm 4, the lower plate 2, the partition 3 and the diaphragm 4. There is a risk that it will be difficult to firmly bond the open end face of No. 1 and the side plate 5 together.

【0039】なお、前記熱硬化性樹脂へ無機材質フィラ
ーを添加混合するには、遠心力を用いた混合攪拌装置も
しくは、ホモジナイザー等の混合攪拌装置を使用するこ
とによって、均一な混合が可能となる。
In order to add and mix the inorganic material filler to the thermosetting resin, a mixing and stirring device using centrifugal force or a mixing and stirring device such as a homogenizer can be used to achieve uniform mixing. .

【0040】また、前記熱硬化性樹脂としては、フェノ
ール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等が使用され
る。
As the thermosetting resin, phenol resin, epoxy resin, melamine resin and the like are used.

【0041】上述のように接着剤10として熱硬化性樹
脂に無機材質フィラーを含有させたものを使用すると、
接着剤10の熱硬化時の粘度低下が無機材質フィラーに
より有効に防止されて接着剤10の一部がインク流路1
内に流れ込むことはなく、その結果、インク流路1内で
のインクの流れを自由とし、インク吐出孔7からのイン
ク滴の吐出を均等として綺麗な記録を行うことが可能と
なる。
If the thermosetting resin containing the inorganic filler is used as the adhesive 10 as described above,
The decrease in viscosity of the adhesive 10 during thermosetting is effectively prevented by the inorganic filler, and a part of the adhesive 10 is partially removed from the ink flow path 1.
As a result, it is possible to freely flow the ink in the ink flow path 1 and evenly eject ink droplets from the ink ejection holes 7 to perform clear recording.

【0042】さらに、前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂
を硬化剤とからなるとともに、前記シラン系カップリン
グ剤のエポキシ樹脂と化学結合する反応基におけるα位
置の炭素にアミノ基を有することが好ましい。
Further, it is preferable that the thermosetting resin comprises an epoxy resin as a curing agent, and that the reactive group chemically bonded to the epoxy resin of the silane coupling agent has an amino group at the α-position carbon.

【0043】前記エポキシ樹脂は、優れた耐熱性、耐水
性を有することから、硬化後は不溶不融の熱硬化性樹脂
となり、また、揮発物を含有しないため、長時間インク
に接触していても膨潤もほとんど発生せず、膨潤による
インクの漏れやインク中への溶出が生じることがないか
ら、長時間にわたり安定したインク吐出が可能となる。
Since the epoxy resin has excellent heat resistance and water resistance, it becomes an insoluble and infusible thermosetting resin after curing, and since it does not contain volatile matter, it remains in contact with ink for a long time. Also, swelling hardly occurs, and ink does not leak or elute into the ink due to swelling, so that stable ink ejection can be performed for a long time.

【0044】また、前記エポキシ樹脂の硬化剤は、脂肪
族ポリアミン及び/又は脂環族ポリアミンであることが
好ましく、熱硬化性樹脂を硬化処理した後、エポキシ樹
脂の化学構造の一部としてシラン系カップリング剤のア
ミノ基が組み込まれ、無機材質フィラーとエポキシ樹脂
とをより強固に結合させることが可能となる。そして、
無機材質フィラーに含有されている不純物としての金属
元素やアルカリ金属元素がインク中に溶出することを防
止して、インク吐出孔7から吐出されるインク滴の吐出
量や吐出速度を安定させることができる。
The curing agent for the epoxy resin is preferably an aliphatic polyamine and / or an alicyclic polyamine. After curing the thermosetting resin, a silane-based curing agent is used as a part of the chemical structure of the epoxy resin. By incorporating the amino group of the coupling agent, it becomes possible to more firmly bond the inorganic material filler and the epoxy resin. And
A metal element or an alkali metal element as an impurity contained in the inorganic material filler can be prevented from eluting into the ink, and the ejection amount and ejection speed of ink droplets ejected from the ink ejection holes 7 can be stabilized. it can.

【0045】前記脂肪族ポリアミンとして、ジエチレン
トリアミン、トリエチレンテトラアミン、テトラエチレ
ンペンタミン、ジエチルアミノプロピルアミン等を用い
ることができ、また脂環族ポリアミンとしてメンセンジ
アミン、イソホロンジアミン、N−アミノエチルピペラ
ジン等を用いることができる。
As the aliphatic polyamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, diethylaminopropylamine, etc. can be used, and as the alicyclic polyamine, mensendiamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, etc. Can be used.

【0046】なお、前記無機材質フィラー中の金属元素
及び/又はアルカリ金属元素の含有量の測定は、蛍光X
線分析法を用いて定量することができる。
The content of the metal element and / or the alkali metal element in the inorganic filler is measured by fluorescence X
It can be quantified using a linear analysis method.

【0047】ここで、前記無機材質フィラーの表面は、
該無機材質フィラーに対し0.05〜0.5重量%のシ
ラン系カップリング剤によって被覆されていることが重
要である。
Here, the surface of the inorganic filler is
It is important that the inorganic material filler is coated with 0.05 to 0.5% by weight of a silane coupling agent.

【0048】前記無機材質フィラーの表面をシラン系カ
ップリング剤によって被覆することで、無機材質フィラ
ーに不純物として含まれる金属元素及び/又はアルカリ
金属元素がインク中へ溶出することを有効に防止でき、
熱硬化性樹脂と無機材質フィラーの親和性を高めること
ができる。また、前記シラン系カップリング剤は、化学
構造の自由度が幅広いため、無機材質フィラーの種類に
よって適宜選択することができ、インクへの溶出の可能
性のある元素が含まれないため、カップリング剤として
シラン系カップリング剤に特定される。
By coating the surface of the inorganic filler with a silane coupling agent, it is possible to effectively prevent the metal element and / or the alkali metal element contained as an impurity in the inorganic filler from being eluted into the ink.
The affinity between the thermosetting resin and the inorganic filler can be increased. Further, since the silane coupling agent has a wide range of degrees of freedom in chemical structure, the silane coupling agent can be appropriately selected depending on the type of the inorganic filler and does not contain an element that may be eluted into the ink. The agent is specified as a silane coupling agent.

【0049】また、前記シラン系カップリング剤の含有
量は0.05重量%未満となると、無機材質フィラー表
面に均一に熱硬化性樹脂が被覆されないため、無機材質
フィラーに含まれる金属元素やアルカリ金属元素がイン
ク中に溶出しやすく、無機材質フィラー表面と熱硬化性
樹脂の親和性が低くなる。一方、0.5重量%を超える
と、シラン系カップリング剤が過剰となり、無機材質フ
ィラーを添加混合した熱硬化性樹脂の粘度を極端に低下
させ、インク流路1内へ接着剤10が流れ込み、インク
吐出孔7からのインク滴の吐出にバラツキが生じ、綺麗
な記録を行うことができなくなる。従って、前記シラン
系カップリング剤の含有量は無機材質フィラーに対し
0.05〜0.5重量%に特定される。
If the content of the silane coupling agent is less than 0.05% by weight, the surface of the inorganic material filler is not uniformly coated with the thermosetting resin, so that the metal element or alkali contained in the inorganic material filler is not used. The metal element easily elutes in the ink, and the affinity between the surface of the inorganic material filler and the thermosetting resin becomes low. On the other hand, if it exceeds 0.5% by weight, the silane coupling agent becomes excessive, and the viscosity of the thermosetting resin mixed with the inorganic filler is extremely lowered, and the adhesive 10 flows into the ink flow path 1. As a result, the ejection of the ink droplets from the ink ejection holes 7 varies, and it becomes impossible to perform clear recording. Therefore, the content of the silane coupling agent is specified to be 0.05 to 0.5% by weight with respect to the inorganic filler.

【0050】また、このシラン系カップリング剤は、下
記の化1に示すように、Siに結合している無機物と化
学結合する反応基(OR)と、有機物に対して反応性、
溶解性に富む反応基中にアミノ基(NH2)を含み、前
記アミノ基は有機物に対する反応基のα位置に存在する
炭素(C)に結合していることが好ましい。
Further, this silane coupling agent has a reactive group (OR) chemically bonded to an inorganic material bonded to Si and a reactivity to an organic material, as shown in the following chemical formula 1.
It is preferable that the reactive group having high solubility contains an amino group (NH 2 ), and the amino group is bonded to carbon (C) existing at the α position of the reactive group with respect to an organic substance.

【0051】[0051]

【化1】 [Chemical 1]

【0052】前記シラン系カップリング剤の有機反応基
であるアミノ基は熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂と結
合しやすく、また、エポキシ樹脂の硬化剤として用いら
れる脂肪族アミン、脂環族アミン、芳香族アミン等は化
学結合にアミノ基構造を有し、酸無水物は一般に硬化反
応促進のために使用される第3級アミン等とのエステル
結合を形成する際の化学構造に、−NR3というアミノ
基類似構造を持つことから、アミノ基が、熱硬化性樹脂
の硬化反応時に反応系の一部として取り込まれることか
ら、エポキシ樹脂との親和性が高まりより強固な結合を
することができる。
The amino group which is an organic reactive group of the silane coupling agent is easily bonded to an epoxy resin which is a thermosetting resin, and an aliphatic amine, an alicyclic amine, which is used as a curing agent for the epoxy resin, the chemical structure for forming the ester bond with tertiary amines and aromatic amines having an amino group structure chemical bonding, which is used for the acid anhydride of the general curing reaction accelerator, -NR 3 The amino group is incorporated as a part of the reaction system during the curing reaction of the thermosetting resin, and thus the affinity with the epoxy resin is increased and a stronger bond can be formed. .

【0053】なお、前記構造を有するシラン系カップリ
ング剤としては、α−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、α−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β
(アミノエチル)−α−アミノプロピルメチルジメトキ
シシラン等を用いることができる。
As the silane coupling agent having the above structure, α-aminopropyltrimethoxysilane, α-aminopropyltriethoxysilane, N-β
(Aminoethyl) -α-aminopropylmethyldimethoxysilane or the like can be used.

【0054】上述のヘッドよりインク滴を吐出するに
は、先ず、外部の駆動回路より引出し線を経て圧電素子
等からなる加圧手段6に通電して、圧電素子等からなる
加圧手段6を変形させ、振動板4の一面を引張すると、
振動板4がインク流路1内に向けて下方に撓むように変
形する。これにともなってインク流路1内のインクの圧
力が上昇し、インク吐出孔7より一定量のインクが高速
で流出しインクの表面張力によって、インク吐出孔7よ
り吐出したインクが滴化しながらインク滴が形成される
ことによって行われる。
In order to eject ink droplets from the above-described head, first, an external driving circuit is energized to the pressurizing means 6 composed of a piezoelectric element or the like via a lead wire to drive the pressurizing means 6 composed of a piezoelectric element or the like. When it is deformed and one side of the diaphragm 4 is pulled,
The vibration plate 4 is deformed so as to bend downward into the ink flow path 1. Along with this, the pressure of the ink in the ink flow path 1 rises, a constant amount of ink flows out from the ink ejection hole 7 at a high speed, and the surface tension of the ink causes the ink ejected from the ink ejection hole 7 to drop. This is done by forming drops.

【0055】なお、本発明は上述の実施形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれ
ば種々の変更が可能であり、例えば上述の実施形態では
下板2と隔壁3とを別個に形成し接着剤10によって接
合したが、下板2と隔壁3とは一体的に形成してもよ
い。また、上述の実施形態では下板2にインク吐出孔7
を、側板5にインク供給孔8を設けたが、インク吐出孔
7及びインク供給孔8は、それぞれ下板2、側板5の何
れに設けられていてもよく、またインク吐出孔7とイン
ク供給孔8とが同じ下板2や側板5等に設けられていて
もよい。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the lower plate 2 and the partition wall are used. The lower plate 2 and the partition wall 3 may be integrally formed, though the lower plate 2 and the partition wall 3 are separately formed and joined by the adhesive 10. Further, in the above-described embodiment, the ink discharge holes 7 are formed in the lower plate 2.
Although the ink supply hole 8 is provided in the side plate 5, the ink discharge hole 7 and the ink supply hole 8 may be provided in either the lower plate 2 or the side plate 5, respectively. The holes 8 may be provided in the same lower plate 2, side plate 5 or the like.

【0056】[0056]

【実施例】(実施例1)先ず、図1に示すようにシリコ
ンから成る下板を用意し、その上面にエポキシ樹脂に表
1に示す不純物としての金属元素やアルカリ金属元素が
含有されている各種無機材質フィラーを添加混合させ、
硬化剤として脂肪族ポリアミンのトリエチルテトラミン
を用いた接着剤を介してシリコンから成る複数の隔壁を
接合し、その上面にステンレスから成る振動板を、さら
に振動板の上面にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を主
成分とする圧電磁器を用いた加圧手段をエポキシ等の熱
硬化性樹脂から成る接着剤を介して接合し、インク流路
の幅120μm、深さ300μmの寸法を有するヘッド
を作製した。
EXAMPLES Example 1 First, as shown in FIG. 1, a lower plate made of silicon was prepared, and epoxy resin contained metal elements or alkali metal elements as impurities shown in Table 1 on its upper surface. Add and mix various inorganic fillers,
A plurality of partition walls made of silicon are bonded to each other via an adhesive agent using triethyltetramine, which is an aliphatic polyamine as a curing agent, and a diaphragm made of stainless steel is attached to the upper surface of the partition walls, and lead zirconate titanate (PZT A pressure means using a piezoelectric ceramic mainly composed of (1) is joined via an adhesive made of a thermosetting resin such as epoxy to manufacture a head having a width of the ink flow path of 120 μm and a depth of 300 μm. .

【0057】また、試料No.2〜6,8〜12は、接
着剤における無機材質フィラーを表1に示す如くシラン
系カップリング剤を用いて表面を被覆している。
Sample No. Nos. 2 to 6 and 8 to 12 have the inorganic material filler in the adhesive coated on the surface with a silane coupling agent as shown in Table 1.

【0058】そして、得られた各ヘッドに水系インクを
充填したのち、インク吐出孔をシリコンゴム製のキャッ
プで塞ぎ、70℃で4週間放置した後に水系インクを回
収し、凝集物の観察、インクの粘度測定の確認を行っ
た。
After filling each of the obtained heads with a water-based ink, the ink ejection holes were closed with a silicone rubber cap and left at 70 ° C. for 4 weeks, and then the water-based ink was collected. The viscosity measurement was confirmed.

【0059】また、前記圧電磁器を用いた加圧手段に駆
動周波数12kHz、電圧30Vを通電しインク流路に
圧力を加え、インク滴の吐出を行いインクの吐出速度を
高速度ビデオカメラ及びストロボを用いて、インク滴の
軌道を測定し算出した。
Further, by applying a driving frequency of 12 kHz and a voltage of 30 V to the pressurizing means using the piezoelectric ceramic, pressure is applied to the ink flow path to eject ink droplets, and the ink ejection speed is controlled by a high-speed video camera and a strobe. It was used to measure and calculate the trajectory of the ink droplet.

【0060】なお、試料No.1,7,13は本発明と
比較するための比較試料であり、試料No.1及び7は
シラン系カップリング剤を含有していないもの、試料N
o.13は無機材質フィラーを添加混合しないものであ
る。
Sample No. Sample Nos. 1, 7, and 13 are comparative samples for comparison with the present invention. 1 and 7 do not contain a silane coupling agent, sample N
o. No. 13 does not add and mix the inorganic filler.

【0061】また、無機材質フィラー中の金属元素及び
アルカリ金属元素の含有量は、各々蛍光X線分析法にて
定量を行った。
The contents of the metal element and the alkali metal element in the inorganic material filler were quantified by fluorescent X-ray analysis.

【0062】上記の結果を表1に示す。The above results are shown in Table 1.

【0063】[0063]

【表1】 [Table 1]

【0064】表1から明らかなように、接着剤10の無
機材質フィラーの表面を0.05〜0.5重量%のシラ
ン系カップリング剤にて表面処理を行った試料(No.
3〜5,9〜11)は、金属元素及び/又はアルカリ金
属元素が酸化物換算で無機材質フィラー全重量に対し
0.5重量%に近い量であっても、インク吐出速度が
5.8m/sec以上を維持し安定したインクの吐出が
可能であることが判った。
As is clear from Table 1, the surface of the inorganic filler in the adhesive 10 was surface-treated with 0.05 to 0.5% by weight of a silane coupling agent (No.
3-5, 9-11) has an ink ejection speed of 5.8 m even if the metal element and / or the alkali metal element is in an amount close to 0.5% by weight based on the total weight of the inorganic material filler in terms of oxide. It has been found that stable ink ejection is possible by maintaining above / sec.

【0065】これに対し、シラン系カップリング剤を含
有しない試料及び0.05重量%未満の試料(No.
1,2,7,8)は、インクの粘度が増加し、インクの
吐出速度が5.0m/sec以下に低下していることが
判った。
On the other hand, the sample containing no silane coupling agent and the sample containing less than 0.05% by weight (No.
1, 2, 7, 8), it was found that the viscosity of the ink increased and the ejection speed of the ink decreased to 5.0 m / sec or less.

【0066】また、シラン系カップリング剤を0.5重
量%を越えて添加した試料(No.6,12)は、無機
材質フィラーに含有されている金属元素及び/又はアル
カリ金属元素のインク中への溶出によりインクの粘度は
増加しなかったが、シラン系カップリング剤が余剰とな
り、エポキシ樹脂の粘度が低下し、インク流路1内へ流
れ込んだため、インク吐出速度が著しく低下しているこ
とが判った。 (実施例2)実施例1と同様なインクジェット記録ヘッ
ド試料を作製した。
The sample (No. 6, 12) to which the silane coupling agent was added in an amount of more than 0.5% by weight was used in the ink containing the metal element and / or the alkali metal element contained in the inorganic filler. Although the viscosity of the ink did not increase due to the elution to the ink, the silane coupling agent became excessive, the viscosity of the epoxy resin decreased, and the viscosity of the epoxy resin flowed into the ink flow path 1. Therefore, the ink discharge speed significantly decreased. I knew that. Example 2 An ink jet recording head sample similar to that of Example 1 was prepared.

【0067】なお、シリコンから成る下板を用意し、そ
の上面にエポキシ樹脂に表2に示す不純物としての金属
元素やアルカリ金属元素が含有されている各種無機材質
フィラー添加させた接着剤10を介してシリコンから成
る複数の隔壁を接合した。
A lower plate made of silicon was prepared, and an adhesive 10 was added on the upper surface of the epoxy resin with various inorganic material fillers containing metal elements or alkali metal elements as impurities shown in Table 2 contained therein. A plurality of partition walls made of silicon were joined together.

【0068】エポキシ系樹脂には、予めα−アミノプロ
ピルトリメトキシシラン、α−アミノプロピルトリエト
キシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、
γ−アミノプロピルトリエトキシシランの4種のシラン
系カップリング剤を用いて無機材質フィラーの表面を被
覆したものを添加混合し、硬化剤としては、脂肪族ポリ
アミンのトリエチルテトラアミンを用いた。
For the epoxy resin, α-aminopropyltrimethoxysilane, α-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, and
An inorganic filler whose surface was coated with four types of silane coupling agents of γ-aminopropyltriethoxysilane was added and mixed, and triethyltetraamine, an aliphatic polyamine, was used as a curing agent.

【0069】そして、ヘッドのインクの粘度、インクの
吐出速度の測定及び評価を実施例1と同様の方法で行
い、また、シラン系カップリング剤の作用を確認するた
め、接着剤10中の無機材質フィラーの状態を電子顕微
鏡にて観察を行った。
Then, the ink viscosity of the head and the ink ejection speed were measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and in order to confirm the action of the silane coupling agent, the inorganic substance in the adhesive 10 was confirmed. The state of the material filler was observed with an electron microscope.

【0070】上記の結果を表2に示す。The above results are shown in Table 2.

【0071】[0071]

【表2】 [Table 2]

【0072】表2から明らかなように、α位置にアミノ
基を有するシラン系カップリング剤を用いた試料(N
o.14〜17,22〜25)は、インク粘度が増加す
ることなく、エポキシ樹脂硬化物中の無機材質フィラー
が均一に分散されており、エポキシ樹脂硬化物の剛性が
高く保たれるため、インク吐出速度が5.8m/sec
以上となることが判った。
As is clear from Table 2, the sample (N with the silane coupling agent having an amino group at the α position was used).
o. Nos. 14 to 17 and 22 to 25), the inorganic material filler in the epoxy resin cured product is uniformly dispersed without increasing the ink viscosity, and the rigidity of the epoxy resin cured product is kept high, so that ink ejection is performed. Speed is 5.8m / sec
It turned out that it was above.

【0073】これに対し、γ位置にアミノ基を有するシ
ラン系カップリング剤を用いた試料(No.18〜2
1,27〜30)は、エポキシ樹脂硬化物中の無機材質
フィラーが凝集されており、エポキシ樹脂が流路内に流
れ込み硬化していることが確認され、インク吐出速度が
5.5m/sec以下となることが判った。 (実施例3)次いで、実施例1及び2と同様なインクジ
ェット記録ヘッド試料を得、シリコンから成る下板を用
意し、その上面にエポキシ樹脂に表3に示す如くエポキ
シ樹脂に不純物としての金属元素やアルカリ金属元素が
含有されている各種無機材質フィラーをα−アミノプロ
ピルトリメトキシシランで表面を被覆し添加混合させ、
硬化剤として、脂肪族ポリアミンのトリエチルテトラア
ミン、脂環族ポリアミンのN−アミノエチルピペラジン
及び酸無水物のメチルテトラヒドロ無水フタル酸を用い
た接着剤10を介してシリコンから成る複数の隔壁を接
合した。
On the other hand, samples using the silane coupling agent having an amino group at the γ position (No. 18 to 2)
1, 27 to 30), the inorganic filler in the cured epoxy resin was aggregated, and it was confirmed that the epoxy resin flowed into the flow channel and was cured, and the ink ejection speed was 5.5 m / sec or less. It turns out that (Embodiment 3) Next, the same ink jet recording head samples as in Embodiments 1 and 2 are obtained, a lower plate made of silicon is prepared, and an epoxy resin is provided on the upper surface of the lower plate as shown in Table 3 and a metal element as an impurity in the epoxy resin. And various inorganic material fillers containing alkali metal elements are coated on the surface with α-aminopropyltrimethoxysilane and mixed,
A plurality of partition walls made of silicon were bonded through an adhesive 10 using triethyltetraamine, an aliphatic polyamine, N-aminoethylpiperazine, an alicyclic polyamine, and methyltetrahydrophthalic anhydride, an acid anhydride, as a curing agent. .

【0074】そして、ヘッドのインクの粘度、インクの
吐出速度の測定及び評価を実施例1と同様の方法で行
い、また、シラン系カップリング剤の作用を確認するた
め、接着剤10中の無機材質フィラーの状態を電子顕微
鏡にて観察を行った。
Then, the viscosity of the ink in the head and the ejection speed of the ink were measured and evaluated in the same manner as in Example 1, and in order to confirm the action of the silane coupling agent, the inorganic substance in the adhesive 10 was confirmed. The state of the material filler was observed with an electron microscope.

【0075】上記の結果を表3に示す。The above results are shown in Table 3.

【0076】[0076]

【表3】 [Table 3]

【0077】表3から明らかなように、硬化剤として脂
肪族ポリアミンのトリエチルテトラアミン、脂環族ポリ
アミンのN−アミノエチルピペラジンを用いた試料(N
o.14,15,31,32)は、エポキシ樹脂と無機
材質フィラーの親和性がより高まり、無機材質フィラー
が均一に分散し、インク吐出速度が5.8m/sec以
上となることが判った。
As is clear from Table 3, samples using the aliphatic polyamine triethyltetraamine and the alicyclic polyamine N-aminoethylpiperazine as curing agents (N
o. 14, 15, 31, 32), the affinity between the epoxy resin and the filler of the inorganic material was further increased, the filler of the inorganic material was uniformly dispersed, and the ink ejection speed was 5.8 m / sec or more.

【0078】これに対し、硬化剤として酸無水物のメチ
ルテトラヒドロ無水フタル酸を用いた試料(No.3
3,34)は、インク吐出速度がわずかに低下し、若干
無機材質フィラーが凝集することが判った。
On the other hand, a sample using the acid anhydride methyltetrahydrophthalic anhydride as a curing agent (No. 3)
No. 3,34), the ink discharge speed was slightly decreased, and the inorganic filler was slightly aggregated.

【0079】[0079]

【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッドによ
れば、インクが充填される内部空間を形成する下板、隔
壁、振動板及び側板の少なくとも1つを熱硬化性樹脂に
無機材質フィラーを含有させた接着剤で接合したことか
ら、接着剤の熱硬化時の粘度低下が無機材質フィラーに
より有効に防止されて接着剤の一部がインクが供給され
る内部空間やインク吐出孔内に流れ込むことはなく、そ
の結果、インク流路及びインク吐出孔でのインクの流れ
を自由とし、インク吐出孔からのインク滴の吐出を均等
として綺麗な記録を行える。
According to the ink jet recording head of the present invention, at least one of a lower plate, a partition wall, a vibrating plate and a side plate forming an internal space filled with ink is made of a thermosetting resin containing an inorganic material filler. Since the adhesive is used for bonding, the decrease in viscosity during thermosetting of the adhesive is effectively prevented by the inorganic filler, and part of the adhesive does not flow into the internal space where ink is supplied or into the ink ejection holes. As a result, the ink flow in the ink flow path and the ink ejection holes can be freely set, and the ink droplets can be uniformly ejected from the ink ejection holes to perform clear recording.

【0080】また、無機材質フィラーはシラン系カップ
リング剤で表面が被覆されていることから、熱硬化性樹
脂と無機材質フィラーとの親和性が高まり、無機材質フ
ィラーの表面を熱硬化性樹脂が、均一に被覆することか
ら、無機材質フィラーの不純物である金属元素及び/又
はアルカリ金属元素がインク中に溶出することはほとん
どなく、熱硬化性樹脂が、インク流路内へ流れ込むこと
を防止するため、インクの流れがスムーズとなるととも
にインク吐出孔から吐出されるインク滴の吐出量や吐出
速度を一定として常に綺麗で、正確、鮮明な記録が可能
となる。
In addition, since the surface of the inorganic material filler is coated with the silane coupling agent, the affinity between the thermosetting resin and the inorganic material filler is increased, and the surface of the inorganic material filler is protected by the thermosetting resin. Since it is uniformly coated, the metal element and / or the alkali metal element, which are impurities of the inorganic material filler, hardly elute into the ink, and the thermosetting resin is prevented from flowing into the ink flow path. Therefore, the flow of ink becomes smooth, and the amount of ink droplets and the ejection speed of ink droplets ejected from the ink ejection holes are kept constant, so that clear, accurate, and clear recording is always possible.

【0081】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
によれば、前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂と硬化剤と
からなり、前記シラン系カップリング剤のエポキシ樹脂
と化学結合する反応基におけるα位置の炭素にアミノ基
を有することから、無機材質フィラーと熱硬化性樹脂中
のエポキシ樹脂との親和性を格段に高めることができ、
インクの流れが、よりスムーズとなるとともにインク吐
出孔から吐出されるインク滴の吐出量や吐出速度を一定
として常に綺麗で、正確、鮮明な記録が可能となる。
Further, according to the ink jet recording head of the present invention, the thermosetting resin comprises an epoxy resin and a curing agent, and the carbon at the α position in the reactive group chemically bonded to the epoxy resin of the silane coupling agent. Since it has an amino group, it is possible to significantly increase the affinity between the inorganic material filler and the epoxy resin in the thermosetting resin,
The flow of ink becomes smoother, and the amount of ink droplets ejected from the ink ejection holes and the ejection speed are kept constant, so that clear, accurate, and clear recording can be performed at all times.

【0082】さらに、前記硬化剤が脂肪族ポリアミン及
び/又は脂環族ポリアミンであることから、前記シラン
系カップリング剤のアミノ基と類似した化学構造をもつ
ため、硬化反応時にシラン系カップリング剤のアミノ基
の部分がエポキシ樹脂に組み込まれ、前記エポキシ樹脂
と無機材質フィラーとをより強固に結合させ、無機材質
フィラーの不純物である金属元素及び/又はアルカリ金
属元素がインク中に溶出することがなくなり、インクの
流れがスムーズとなるとともにインク吐出孔から吐出さ
れるインク滴の吐出量や吐出速度を一定として常に綺麗
で、正確、鮮明な記録を行うことができる。
Further, since the curing agent is an aliphatic polyamine and / or an alicyclic polyamine, it has a chemical structure similar to the amino group of the silane coupling agent, so that the silane coupling agent during the curing reaction. The amino group portion of the epoxy resin is incorporated into the epoxy resin, the epoxy resin and the inorganic material filler are more firmly bound, and the metal element and / or the alkali metal element that is an impurity of the inorganic material filler may be eluted into the ink. As a result, the flow of ink becomes smooth, and the amount and speed of ink droplets ejected from the ink ejection holes are kept constant, so that clean, accurate, and clear recording can always be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は本発明のインクジェット記録ヘッドの
一実施形態を示す斜視図であり、(b)は同図(a)の
X−X線における部分断面図、(c)は同図(a)のY
−Y線における部分断面図である。
1A is a perspective view showing an embodiment of an ink jet recording head of the present invention, FIG. 1B is a partial cross-sectional view taken along line XX of FIG. 1A, and FIG. (A) Y
It is a fragmentary sectional view in the -Y line.

【図2】本発明のインクジェット記録ヘッドの他の実施
形態を示す部分断面図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing another embodiment of the inkjet recording head of the present invention.

【図3】従来のインクジェット記録ヘッドの一実施形態
を示す部分断面図である。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of a conventional inkjet recording head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:インク流路 2:下板 3:隔壁 4:振動板 5:側板 6:加圧手段 7:インク吐出孔 8:インク供給孔 9:電極 10:接着剤 1: Ink flow path 2: Lower plate 3: Partition wall 4: Vibration plate 5: Side plate 6: Pressurizing means 7: Ink ejection hole 8: Ink supply hole 9: Electrode 10: Adhesive

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09J 11/04 B41J 3/04 103A 163/00 103H 201/00 Fターム(参考) 2C057 AF23 AF42 AG44 AG54 AP25 BA03 BA14 BA15 4J036 AA01 DC06 DC09 FA01 JA06 4J037 AA17 AA18 AA24 CB23 DD05 EE03 FF15 4J040 EB031 EB131 EC001 HA136 HA296 HA306 HC02 HC08 JB02 KA07 KA16 KA42 MA02 MA04 MA05 MA10 NA19 NA21─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) C09J 11/04 B41J 3/04 103A 163/00 103H 201/00 F term (reference) 2C057 AF23 AF42 AG44 AG54 AP25 BA03 BA14 BA15 4J036 AA01 DC06 DC09 FA01 JA06 4J037 AA17 AA18 AA24 CB23 DD05 EE03 FF15 4J040 EB031 EB131 EC001 HA136 HA296 HA306 HC02 HC08 JB02 KA07 KA16 KA42 MA02 MA04 MA05 MA10 NA19 NA21

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】下板と、該下板の上面に離間して配置され
た少なくとも2つの隔壁と、該隔壁の上面に配置された
振動板と、前記下板と一対の隔壁と振動板とで形成され
る内部空間を塞ぐ側板と、前記振動板に備えられた加圧
手段とからなり、前記下板及び/又は側板にインク吐出
孔、インク供給孔を設け、インク供給孔を介して前記内
部空間に供給されたインクを加圧手段による振動板の変
形により加圧することによってインク吐出孔より吐出さ
せるインクジェット記録ヘッドであって、前記下板、隔
壁、振動板及び側板の少なくとも1つが熱硬化性樹脂に
無機材質フィラーを含有させた接着剤により接合されて
おり、前記無機材質フィラーの表面が該無機材質フィラ
ーに対して0.05〜0.5重量%のシラン系カップリ
ング剤にて被覆されていることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド。
1. A lower plate, at least two partition walls that are spaced apart from each other on an upper surface of the lower plate, a diaphragm that is disposed on an upper surface of the partition wall, the lower plate, a pair of partition walls, and a diaphragm. And a pressurizing means provided on the vibrating plate. The lower plate and / or the side plate is provided with an ink ejection hole and an ink supply hole, and the ink is supplied through the ink supply hole. An ink jet recording head which ejects ink from an ink ejection hole by pressurizing ink supplied to an internal space by deformation of a vibrating plate by a pressurizing means, wherein at least one of the lower plate, partition wall, vibrating plate and side plate is thermoset. Bonded with an adhesive containing an inorganic material filler in a hydrophilic resin, and the surface of the inorganic material filler is covered with a silane coupling agent in an amount of 0.05 to 0.5% by weight based on the inorganic material filler. It And an ink jet recording head, characterized in that it is.
【請求項2】前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂と硬化剤
とからなるとともに、前記シラン系カップリング剤のエ
ポキシ樹脂と化学結合する反応基におけるα位置の炭素
にアミノ基を有することを特徴とする請求項1に記載の
インクジェット記録ヘッド。
2. The thermosetting resin comprises an epoxy resin and a curing agent, and has an amino group at the α-position carbon in the reactive group chemically bonded to the epoxy resin of the silane coupling agent. The inkjet recording head according to claim 1.
【請求項3】前記硬化剤が脂肪族ポリアミン及び/又は
脂環族ポリアミンであることを特徴とする請求項2に記
載のインクジェット記録ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 2, wherein the curing agent is an aliphatic polyamine and / or an alicyclic polyamine.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015147337A (en) * 2014-02-06 2015-08-20 セイコーインスツル株式会社 Printer head and manufacturing method of printer head

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015147337A (en) * 2014-02-06 2015-08-20 セイコーインスツル株式会社 Printer head and manufacturing method of printer head

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