JP2003061331A - Linear motor - Google Patents

Linear motor

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JP2003061331A
JP2003061331A JP2001248901A JP2001248901A JP2003061331A JP 2003061331 A JP2003061331 A JP 2003061331A JP 2001248901 A JP2001248901 A JP 2001248901A JP 2001248901 A JP2001248901 A JP 2001248901A JP 2003061331 A JP2003061331 A JP 2003061331A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor small in size and high in rigidity wherein heat from an armature coil is efficiently transmitted to a frame and reduction is prevented in the thrust of a mover due to temperature rise in the armature coil. SOLUTION: In the linear motor 1, a flat plate-shaped heat pipe 7 is placed between a plurality of rows of coils constituting the armature coil 6 in the direction of the length of an armature 5. Further, part of the heat absorbing portion of the heat pipe 7 is bonded to the armature coil 6 and the heat radiating portion thereof is inserted into a coolant path 11. The heat pipe 7 is provided with a block-like engaging member 8 to be fixed on a frame 10 between the portion thereof to which the armature coil is bonded and the portion thereof inserted into the coolant path 11. Further, the frame 10 is provided with a hollow recessed portion 10a which constitues the coolant path 11 and is for inserting the heat radiating portion of the heat pipe 7 into the interior thereof, and an engaging stepped portion 10c which is capable of being engaged with the engaging member 8 installed on the heat pipe.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、FA機器の搬送シ
ステムなど、超精密位置決め・高推力が要求される用途
に適するリニアモータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor suitable for applications requiring ultra-precision positioning and high thrust, such as a transportation system for FA equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、FA機器の搬送システムなど、超
精密位置決め・高推力が要求される用途に適するリニア
モータは、図1のようになっている。図1は、一般的な
リニアモータの全体斜視図であって、後述する本発明と
共通な全体構成を示している。また、図5は、従来のリ
ニアモータの冷却構造を示すものであって、図1のA−
A線に沿う正断面図に相当する。なお、本例のリニアモ
ータは電機子を可動子とし、電機子の両側に磁気的空隙
を介して配置する界磁用の永久磁石を固定子とするムー
ビングコイル式であって、かつ、磁束貫通型構造のもの
を用いて説明する。図において、1はリニアモータ、2
は界磁ヨーク、3は永久磁石、4はヨークベース、5は
電機子、6は電機子コイル、9は樹脂モールド、13は
巻線固定枠、14はフレーム、15は冷媒通路である。
リニアモータ1は、N極、S極の極性が交互に異なるよ
うに界磁極を構成する複数の永久磁石3が2列の界磁ヨ
ーク2の側面に直線状に並べて配置され、各々の界磁ヨ
ーク2の間にヨークベース4を配設して固定子を構成し
ている。また、リニアモータ1は、永久磁石3の磁石列
と磁気的空隙を介して電機子5を平行に対向配置してい
る。電機子5は複数個のコイル群を平板状に成形してな
る2列のコアレス型の電機子コイル6を有すると共に、
電機子コイル6をステンレス等の金属からなる巻線固定
枠13の両面に直線状に並べて配置し、これら巻線固定
枠13および電機子コイル6を樹脂モールド9により固
着している。さらに、電機子5の上部にはその長手方向
に沿って電機子5を固定すると共に、ステンレス等の金
属からなるT字状断面を有するフレーム14を設けてい
る。電機子5とフレーム14の固定は、フレームの凹部
14aに巻線固定枠13の一方端を挿入した後、ロウ付
け、溶接あるいは接着などにより固定し一体化するよう
になっている。ここで、フレーム14の内部には冷媒通
路15を設けてあり、図示しない冷媒供給装置から冷媒
通路15に冷媒を供給するようになっている。なお、リ
ニアモータの可動子側および固定子側には、図示しない
スライダとガイドレールからなるリニアガイドを取り付
けると共に、可動子を固定子に対して直線移動させるよ
うになっている。このような構成において、図示しない
電源より各相の電機子コイル6に電流を印加すると、電
機子コイル6には永久磁石3との電磁作用により、電機
子コイル6と永久磁石3間の磁気的空隙部中に形成され
た磁界から電機子コイル6の長手方向に向かって電磁力
が働いて推力を発生し、滑らかな直線移動を行う。この
際、可動子を推進させるための駆動電流が電機子コイル
6に流れると、電機子コイル6は内部抵抗により発熱を
起こすが、電機子コイル6で発生した熱は、樹脂モール
ド9と巻線固定枠13を通じてフレーム14に伝熱した
後、冷媒通路15の内部を循環する冷媒によって熱交換
され、電機子5全体が冷却される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a linear motor suitable for applications requiring ultra-precision positioning and high thrust, such as a transportation system for FA equipment, is shown in FIG. FIG. 1 is an overall perspective view of a general linear motor, showing an overall configuration common to the present invention described later. Further, FIG. 5 shows a cooling structure of a conventional linear motor, which is taken along line A- of FIG.
It corresponds to a front sectional view taken along the line A. The linear motor of this example is a moving coil type in which an armature is a mover, and permanent magnets for field magnets arranged on both sides of the armature via magnetic gaps are stators, and the magnetic flux penetration is performed. An explanation will be given using a mold structure. In the figure, 1 is a linear motor, 2
Is a field yoke, 3 is a permanent magnet, 4 is a yoke base, 5 is an armature, 6 is an armature coil, 9 is a resin mold, 13 is a winding fixing frame, 14 is a frame, and 15 is a refrigerant passage.
In the linear motor 1, a plurality of permanent magnets 3 constituting field poles are arranged linearly on the side surfaces of two rows of field yokes 2 so that the N pole and the S pole have different polarities alternately. A yoke base 4 is arranged between the yokes 2 to form a stator. Further, in the linear motor 1, the armature 5 and the magnet array of the permanent magnets 3 are arranged to face each other in parallel with a magnetic gap. The armature 5 has two rows of coreless armature coils 6 formed by molding a plurality of coil groups into a flat plate shape, and
The armature coils 6 are linearly arranged on both sides of a winding fixing frame 13 made of metal such as stainless steel, and the winding fixing frame 13 and the armature coil 6 are fixed by a resin mold 9. Further, on the upper portion of the armature 5, the armature 5 is fixed along the longitudinal direction thereof, and a frame 14 having a T-shaped cross section made of metal such as stainless steel is provided. The armature 5 and the frame 14 are fixed to each other by inserting one end of the winding fixing frame 13 into the recess 14a of the frame and then fixing the brazing, welding, or bonding to integrate them. Here, a refrigerant passage 15 is provided inside the frame 14, and the refrigerant is supplied to the refrigerant passage 15 from a refrigerant supply device (not shown). A linear guide (not shown) including a slider and a guide rail is attached to the mover side and the stator side of the linear motor, and the mover is linearly moved with respect to the stator. In such a configuration, when a current is applied to the armature coil 6 of each phase from a power supply (not shown), the electromagnetic action between the armature coil 6 and the permanent magnet 3 causes a magnetic field between the armature coil 6 and the permanent magnet 3. An electromagnetic force acts in the longitudinal direction of the armature coil 6 from the magnetic field formed in the gap to generate thrust, which results in smooth linear movement. At this time, when a drive current for propelling the mover flows through the armature coil 6, the armature coil 6 generates heat due to internal resistance. However, the heat generated by the armature coil 6 causes the resin mold 9 and the winding wire to wind. After heat is transferred to the frame 14 through the fixed frame 13, heat is exchanged by the refrigerant circulating inside the refrigerant passage 15, and the entire armature 5 is cooled.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、以下のような問題があった。 (1)電機子コイル6は、コイル群の周囲を覆う樹脂モ
ールド9および電機子コイル6を保持する巻線固定枠1
3の熱伝導率が電機子コイル6に比べて極めて小さい。
また、巻線固定枠13とフレーム14との接触面積が小
さく、巻線固定枠13は冷媒通路15に直接接触してい
ないことから、全体的に見て電機子コイル6から冷媒通
路15までに至る経路中の熱抵抗が大きい。すなわち、
リニアモータの冷却能力は、電機子コイル6から冷媒通
路15間の熱抵抗で決まるため、フレーム14側に単に
冷媒を流す方策だけでは限界があり、電機子コイル6の
温度上昇により生じた熱をフレーム14に効率よく放熱
することができなかった。 (2)(1)より、電機子コイル6の温度上昇により生
じた熱をフレーム14に効率よく放熱することができな
いと、電機子コイル6の温度上昇に伴って、電機子コイ
ル6の内部抵抗が上昇し、駆動電流が低下する。この場
合、リニアモータ1の可動子の推力は駆動電流に比例す
るので、駆動電流の低下は、リニアモータ1の可動子の
推力を大幅に低下させていた。 (3)また、フレーム14の凹部14aに巻線固定枠1
3の一方端を挿入して固定する方法では、図5に示すよ
うにフレーム14に対して巻線固定枠13が挿入される
長さが短いため、このように一体化された電機子5とフ
レーム14の構成では可動子自体の剛性の低下を招くと
いう問題があった。その結果、可動子を走行させた場合
に、可動子がその両側面に磁気的空隙を介して対向する
固定子の方向に振動を発生させ、運動精度を悪化させて
いた。 (4)また、他の従来技術として、図示しないが、同一
の電機子コイル列の間に形成された隣り合うコイルとコ
イルの間に、冷媒を流す複数のヒートシンクを配設する
構造のリニアモータが提案されているが、電機子コイル
を固定する巻線固定枠の外側にヒートシンクを外付けし
ているため、これらを樹脂モールドで覆うと、電機子全
体が大型化してしまい、組立工数も増え、小形化するこ
とができなかった。 本発明は、上記課題を解決するためになされたものであ
り、電機子コイルの熱をフレームに効率よく伝熱し、電
機子コイルの温度上昇に伴う可動子の推力低下を防止す
ることができる、小形で剛性の高いリニアモータを提供
することを目的とする。
However, the conventional technique has the following problems. (1) The armature coil 6 includes a resin mold 9 that covers the periphery of the coil group and a winding fixing frame 1 that holds the armature coil 6.
The thermal conductivity of No. 3 is extremely smaller than that of the armature coil 6.
Further, since the contact area between the winding fixing frame 13 and the frame 14 is small and the winding fixing frame 13 is not in direct contact with the refrigerant passage 15, the armature coil 6 to the refrigerant passage 15 are generally viewed. The thermal resistance in the route is large. That is,
Since the cooling capacity of the linear motor is determined by the thermal resistance between the armature coil 6 and the refrigerant passage 15, there is a limit to how to simply let the refrigerant flow to the frame 14 side, and the heat generated by the temperature rise of the armature coil 6 is limited. The heat could not be efficiently radiated to the frame 14. (2) According to (1), if the heat generated by the temperature rise of the armature coil 6 cannot be efficiently dissipated to the frame 14, the internal resistance of the armature coil 6 increases with the temperature rise of the armature coil 6. Rises and the drive current decreases. In this case, since the thrust of the mover of the linear motor 1 is proportional to the drive current, the reduction of the drive current significantly reduces the thrust of the mover of the linear motor 1. (3) Further, the winding fixing frame 1 is provided in the recess 14a of the frame 14.
In the method of inserting and fixing the one end of the winding 3, the winding fixing frame 13 is inserted into the frame 14 in a short length as shown in FIG. The structure of the frame 14 has a problem that the rigidity of the mover itself is lowered. As a result, when the mover travels, the mover vibrates on both sides of the mover in the direction of the facing stator via the magnetic gap, which deteriorates the motion accuracy. (4) As another conventional technique, although not shown, a linear motor having a structure in which a plurality of heat sinks for flowing a refrigerant are arranged between adjacent coils formed between the same armature coil rows. However, since a heat sink is externally attached to the outside of the winding fixing frame that fixes the armature coil, covering them with a resin mold increases the size of the armature and increases the number of assembly steps. , Could not be miniaturized. The present invention has been made to solve the above problems, and efficiently transfers the heat of the armature coil to the frame, and it is possible to prevent the thrust of the mover from decreasing with the temperature rise of the armature coil. It is an object of the present invention to provide a small and highly rigid linear motor.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1の本発明は、交互に極性が異なるように界
磁極を構成する複数の永久磁石を直線状に並べて配置し
た界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を
介して平行に対向配置した電機子と、前記電機子を固定
し、かつ、ヒートシンクを具備するフレームとを備え、
前記界磁極と前記電機子との何れか一方を固定子に、他
方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に
走行するようにしたリニアモータにおいて、前記界磁極
を構成する永久磁石および界磁ヨークを2列並べて構成
してあり、前記電機子は、前記2列からなる界磁極の間
に設けられると共に、その長手方向に向かって複数個の
コイル群を平板状に並べて成形してなる少なくとも2列
の電機子コイルで構成してあり、前記複数のコイル列の
間に前記電機子の長手方向に沿って平板状のヒートパイ
プを配設すると共に、前記コイル列を覆うように樹脂モ
ールドで固着してあり、前記ヒートパイプは、その吸熱
部の一部を前記電機子コイルに固着し、かつ、その放熱
部を前記ヒートシンクの内部に挿入するように配置した
ものである。請求項2の本発明は、請求項1に記載のリ
ニアモータにおいて、前記ヒートパイプにおける電機子
コイルが固着される部分と前記ヒートシンク内部に挿入
される部分との間に前記フレームに固定するためのブロ
ック状の係止部材を設けたものである。請求項3の本発
明は、請求項1または2に記載のリニアモータにおい
て、前記フレームは、前記ヒートシンクを構成し、か
つ、前記ヒートパイプの放熱部を内部に挿入するための
中空状の凹部と、前記凹部の開口側に形成されると共に
前記係止部材と係止できるようにした段差を有する係止
段差部とを備えたものである。請求項4の本発明は、請
求項1から3までの何れか1項に記載のリニアモータに
おいて、前記ヒートシンクは、冷媒により熱交換するよ
うにした冷媒通路で構成されたものである。請求項5の
本発明は、請求項1から4までの何れか1項に記載のリ
ニアモータにおいて、前記ヒートパイプは、薄板部材の
内部に作動液を封入する蛇行した中空状の細管を備えた
ものである。請求項6の本発明は、請求項1から5まで
の何れか1項に記載のリニアモータにおいて、前記ヒー
トパイプの材質をステンレスとしたものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention according to claim 1 is a field magnet in which a plurality of permanent magnets forming field poles are alternately arranged so as to have different polarities. A yoke, an armature arranged to face the magnet array of the permanent magnets in parallel via a magnetic gap, and a frame fixing the armature and including a heat sink,
In a linear motor in which one of the field pole and the armature is a stator and the other is a mover so that the field pole and the armature travel relatively, The magnet and the field yoke are arranged in two rows, and the armature is provided between the field poles in two rows, and a plurality of coil groups are arranged in a flat plate shape in the longitudinal direction of the armature. Is formed of at least two rows of armature coils, and a flat plate-shaped heat pipe is arranged between the plurality of coil rows along the longitudinal direction of the armature and covers the coil rows. The heat pipe is fixed to the armature coil with a part of its heat absorbing portion, and the heat radiating portion is inserted into the heat sink. The present invention according to claim 2 is the linear motor according to claim 1, wherein the heat pipe is fixed to the frame between a portion to which the armature coil is fixed and a portion to be inserted into the heat sink. A block-shaped locking member is provided. According to a third aspect of the present invention, in the linear motor according to the first or second aspect, the frame constitutes the heat sink, and a hollow recess for inserting the heat radiating portion of the heat pipe therein. And a locking step portion having a step formed on the opening side of the recess and capable of locking with the locking member. According to a fourth aspect of the present invention, in the linear motor according to any one of the first to third aspects, the heat sink is composed of a refrigerant passage adapted to exchange heat with a refrigerant. According to a fifth aspect of the present invention, in the linear motor according to any one of the first to fourth aspects, the heat pipe includes a meandering hollow thin tube for enclosing the working fluid in a thin plate member. It is a thing. According to a sixth aspect of the present invention, in the linear motor according to any one of the first to fifth aspects, the heat pipe is made of stainless steel.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図2は本発明の実施例におけるリニアモ
ータであって、図1のリニアモータを推力方向から見た
A―A線に沿う正断面図である。なお、本発明が従来と
同じ構成要素については同じ符号を付して説明を省略
し、異なる点のみ説明する。また、本実施例は、従来例
と同じく磁束貫通型構造のリニアモータの例を示してい
る。図において、7はヒートパイプ、8は係止部材、1
0はフレーム。10aは凹部、10bは係止端壁、10
cは係止段差部、11はヒートシンクであり、ここでは
冷媒により熱交換するようにした冷媒通路を示してい
る。本発明が従来と異なる点は、以下のとおりである。
電機子コイル6を構成する複数のコイル列の間に電機子
5の長手方向に沿って平板状のヒートパイプ7を配設す
ると共に、コイル列を覆うように樹脂モールド9で固着
してあり、具体的にはヒートパイプ7の吸熱部の一部を
電機子コイル6に固着し、かつ、その放熱部を冷媒通路
11の内部に挿入するように配置してある点である。ま
た、ヒートパイプ7における電機子コイルが固着される
部分と冷媒通路11内部に挿入される部分との間にフレ
ーム10に固定するためのブロック状の係止部材8を設
けてある。さらに、フレーム10は、冷媒通路11を構
成しヒートパイプ7の放熱部を内部に挿入するための中
空状の凹部10aと、凹部10aの開口部側に形成され
ると共にヒートパイプ7に取り付けた係止部材8と係止
できるようにした段差を有する係止段差部10cとを備
えている。ここで、図3はヒートパイプの拡大斜視図で
あって、内部を透視したものを示している。図3におい
て、71は細管、71aは吸熱部、71bは放熱部であ
る。ヒートパイプ7は、図に示すように、熱伝導の良い
金属製の薄板部材の内部に蛇行した中空状の細管71が
多数並ぶ構造とし、フロン等の液相作動液と気相作動液
からなる二相の作動液が細管71に封入されたものであ
り、吸熱部71aおよび放熱部71bを備える。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a linear motor according to an embodiment of the present invention, and is a front sectional view taken along the line AA of the linear motor of FIG. 1 as seen from the thrust direction. Note that the same components as those of the present invention are denoted by the same reference numerals, the description thereof will be omitted, and only different points will be described. Further, this embodiment shows an example of a linear motor having a magnetic flux penetration type structure as in the conventional example. In the figure, 7 is a heat pipe, 8 is a locking member, 1
0 is a frame. 10a is a recess, 10b is a locking end wall, 10
Reference numeral c is a locking stepped portion, 11 is a heat sink, and here, a refrigerant passage through which heat is exchanged by the refrigerant is shown. The present invention is different from the conventional one in the following points.
A flat plate-shaped heat pipe 7 is arranged along the longitudinal direction of the armature 5 between a plurality of coil rows constituting the armature coil 6, and is fixed by a resin mold 9 so as to cover the coil rows. Specifically, a part of the heat absorbing portion of the heat pipe 7 is fixed to the armature coil 6, and the heat radiating portion is arranged to be inserted into the refrigerant passage 11. Further, a block-shaped locking member 8 for fixing to the frame 10 is provided between a portion of the heat pipe 7 to which the armature coil is fixed and a portion to be inserted into the refrigerant passage 11. Further, the frame 10 forms a refrigerant passage 11 and has a hollow recess 10 a into which the heat dissipation portion of the heat pipe 7 is inserted, and a frame 10 formed on the opening side of the recess 10 a and attached to the heat pipe 7. The stopper member 8 is provided with a locking step portion 10c having a step capable of locking. Here, FIG. 3 is an enlarged perspective view of the heat pipe, showing a perspective view of the inside. In FIG. 3, 71 is a thin tube, 71a is a heat absorption part, and 71b is a heat dissipation part. As shown in the figure, the heat pipe 7 has a structure in which a large number of meandering hollow thin tubes 71 are lined up inside a thin metal plate member having good heat conduction, and is composed of a liquid phase working liquid such as CFC and a gas phase working liquid. The two-phase hydraulic fluid is sealed in a thin tube 71, and includes a heat absorbing portion 71a and a heat radiating portion 71b.

【0006】次にリニアモータを構成する電機子とフレ
ームの組立について説明する。図4は、図2のリニアモ
ータを構成する電機子とフレームの組立工程を示す説明
図である。電機子5とフレーム10を固着する際は、ま
ず、ヒートパイプ7の吸熱部に電機子コイル6を接着す
る。そして、ヒートパイプ7の電機子コイル6を固着し
た部分の上端部に係止部材8を溶接、ろう付けあるいは
接着などにより固定する。次に、フレーム10の凹部1
0aにヒートパイプ7の先端部を挿入した後、ヒートパ
イプ7に固着された係止部材8をフレーム10の係止段
差部10cに接触させ、フレーム10の係止端壁10b
の先端と係止部材8の先端とを溶接、ろう付けあるいは
接着などにより電機子5とフレーム10を固定して一体
化するようになっている。
Next, the assembling of the armature and the frame constituting the linear motor will be described. FIG. 4 is an explanatory view showing an assembling process of the armature and the frame which form the linear motor of FIG. When fixing the armature 5 and the frame 10, first, the armature coil 6 is bonded to the heat absorbing portion of the heat pipe 7. Then, the locking member 8 is fixed to the upper end of the portion of the heat pipe 7 to which the armature coil 6 is fixed by welding, brazing, or bonding. Next, the recess 1 of the frame 10
After inserting the tip portion of the heat pipe 7 into 0a, the locking member 8 fixed to the heat pipe 7 is brought into contact with the locking step portion 10c of the frame 10 to lock the end wall 10b of the frame 10.
The tip of the armature 5 and the tip of the locking member 8 are fixed by welding, brazing, or adhering the armature 5 and the frame 10 to be integrated.

【0007】次に、リニアモータの冷却形態を説明す
る。リニアモータの電機子コイル6に駆動電流を流す
と、電機子コイル6は内部抵抗により発熱を起こす。電
機子コイル6で発生した熱はヒートパイプ7の吸熱部に
伝わり、この吸熱部で熱を吸収すると激しい核沸騰を発
生する。核沸騰の断続による圧力波が振動波となって蛇
行した細管71に封入された作動液に振動を引き起こ
し、作動液の振動により放熱部に大量の熱が伝わる。そ
して、ヒートパイプ7の放熱部に伝熱した熱は冷媒通路
11に伝わる。結果として、電機子コイル6で発生した
熱が効率よく冷媒通路11で熱交換され、電機子コイル
6の温度上昇が抑制される。
Next, the cooling mode of the linear motor will be described. When a drive current is passed through the armature coil 6 of the linear motor, the armature coil 6 generates heat due to internal resistance. The heat generated in the armature coil 6 is transmitted to the heat absorbing portion of the heat pipe 7, and when the heat absorbing portion absorbs the heat, intense nucleate boiling occurs. The pressure wave due to the intermittent nucleate boiling becomes a vibration wave, which causes vibration in the working fluid enclosed in the meandering thin tube 71, and a large amount of heat is transferred to the heat radiating portion due to the vibration of the working fluid. Then, the heat transferred to the heat dissipation portion of the heat pipe 7 is transferred to the refrigerant passage 11. As a result, the heat generated in the armature coil 6 is efficiently heat-exchanged in the refrigerant passage 11, and the temperature rise of the armature coil 6 is suppressed.

【0008】次に、本実施例によるリニアモータの冷却
能力を計算すると、ヒートパイプ7の伝熱方向の熱伝導
率は約2000W/m・℃以上となり、例えば、従来の
巻線固定枠の材質がアルミ(熱伝導率=約200W/m
・℃)の場合の10倍以上、また、樹脂モールド9の熱
伝導率(約2W/m・℃)の1000倍以上の伝熱能力
を有することになる。そのため、従来、電機子コイル6
の熱抵抗が高い端部付近まで効率良く熱を奪うことが可
能となり、電機子コイル6や樹脂モールド9の温度上昇
を、従来の少なくとも10分の1以下に低減することが
できる。
Next, when the cooling capacity of the linear motor according to the present embodiment is calculated, the thermal conductivity of the heat pipe 7 in the heat transfer direction becomes about 2000 W / m · ° C. or more. Is aluminum (thermal conductivity = approximately 200 W / m
The heat transfer capacity is 10 times or more that of the resin mold 9 and 1000 times or more of the thermal conductivity of the resin mold 9 (about 2 W / m.degree. C.). Therefore, conventionally, the armature coil 6
It is possible to efficiently take heat up to the vicinity of the end portion where the heat resistance is high, and the temperature rise of the armature coil 6 and the resin mold 9 can be reduced to at least one-tenth or less of the conventional temperature rise.

【0009】したがって、電機子コイル6を構成する複
数のコイル列の間に電機子5の長手方向に沿って平板状
のヒートパイプ7を配設すると共に、コイル列を覆うよ
うに樹脂モールド9で固着し、また、ヒートパイプ7の
吸熱部の一部を電機子コイル6に固着し、かつ、その放
熱部を冷媒通路11の内部に挿入するように配置したの
で、電機子コイル6で生じた熱が冷媒通路11に効率よ
く放熱されて、電機子コイル6の温度上昇を大幅に低減
することができる。また、電機子コイル6の発熱を効率
よく放熱することが出来ることから、駆動電流を低下す
ることなく、可動子の推力を上げることが出来る。ま
た、ヒートパイプ7における電機子コイル6が固着され
る部分と冷媒通路11内部に挿入される部分との間にフ
レーム10に固定するためのブロック状の係止部材8を
設け、さらにフレーム10は、冷媒通路11を構成しヒ
ートパイプ7の放熱部を内部に挿入するための中空状の
凹部10aと、凹部10aの開口側に形成されると共に
ヒートパイプに取り付けた係止部材8と係止できるよう
にした段差を有する係止段差部10cとを備えたので、
電機子5とフレーム10を係止部材8および係止段差部
10cとで容易に一体化することででき、可動子自体の
剛性を上げることができる。その結果、可動子を走行さ
せた場合に、可動子がその両側面に磁気的空隙を介して
対向する固定子の方向に振動を発生させる問題もなくな
り、運動精度を向上させることができる。さらに、ヒー
トパイプ7は、熱伝導の良い金属製の薄板部材の内部に
吸熱部と放熱部を有する蛇行した中空状の細管6が多数
並ぶ構造としたので、強度を下げることなく軽量化する
ことができ、しかも従来の巻線固定枠の形状サイズを維
持したままで、組立工数を少なくすることができる小形
のリニアモータを提供することができる。
Therefore, a flat plate-shaped heat pipe 7 is arranged along the longitudinal direction of the armature 5 between a plurality of coil rows forming the armature coil 6, and a resin mold 9 is provided so as to cover the coil rows. Since the heat pipe 7 is fixed and a part of the heat absorbing portion of the heat pipe 7 is fixed to the armature coil 6 and the heat radiating portion is arranged to be inserted into the refrigerant passage 11, the armature coil 6 is caused. The heat is efficiently radiated to the refrigerant passage 11, and the temperature rise of the armature coil 6 can be significantly reduced. Further, since the heat generated by the armature coil 6 can be efficiently dissipated, the thrust of the mover can be increased without lowering the drive current. Further, a block-shaped locking member 8 for fixing to the frame 10 is provided between the portion of the heat pipe 7 to which the armature coil 6 is fixed and the portion to be inserted into the coolant passage 11, and the frame 10 is It is possible to engage with the hollow concave portion 10a which constitutes the refrigerant passage 11 and into which the heat radiation portion of the heat pipe 7 is inserted, and the locking member 8 which is formed on the opening side of the concave portion 10a and is attached to the heat pipe. Since the locking step portion 10c having the above step is provided,
The armature 5 and the frame 10 can be easily integrated with the locking member 8 and the locking step portion 10c, and the rigidity of the mover itself can be increased. As a result, when the mover travels, there is no problem that the mover vibrates on both sides of the mover in the direction of the facing stator via the magnetic gap, and the motion accuracy can be improved. Further, the heat pipe 7 has a structure in which a large number of meandering hollow thin tubes 6 having a heat absorbing portion and a heat radiating portion are arranged inside a thin plate member made of a metal having good heat conduction, so that the weight can be reduced without lowering the strength. It is possible to provide a small-sized linear motor that can reduce the number of assembling steps while maintaining the shape and size of the conventional winding fixing frame.

【0010】なお、本実施例では、リニアモータの電機
子を可動子に、界磁極を固定子としたムービングコイル
形の構成を例にとり説明したが、リニアモータの電機子
を固定子に、界磁極を可動子としたムービングマグネッ
ト形の構成にしても構わない。また、本実施例では、電
機子コイルのコイル列が2列の例を用いて説明したが、
コイル列が3列以上の構造のものでも良く、その際、コ
イル列数と相数の組合せが限定されるものでない。ま
た、ヒートパイプ7の材質は、ステンレスやアルミなど
の金属を用いても構わない。ヒートパイプ7にステンレ
スのものを用いると、リニアモータの電機子が永久磁石
3の列間に沿って推力方向に移動した際に生じるヒート
パイプ7の金属部の渦電流が低減され、渦電流発生に伴
う可動子の粘性抵抗力を低減することができる。また、
ヒートパイプ7は、蛇行した細管71に液相作動液と気
相作動液を封入して核沸騰現象を利用する冷却特性を有
した例を示したが、このような冷却特性を満足するもの
であれば、他の構造のヒートパイプを用いても構わな
い。また、ヒートシンク11は、冷媒により熱交換する
ようにした冷媒通路としたが、フレーム10の内部に設
けた凹部10Aに高熱伝導性の金属ブロック(不図示)
を嵌合させ、金属ブロックをフレーム10の長手方向の
長さから突出させて外気に放熱するような構成にしても
構わない。
In the present embodiment, a moving coil type structure in which the armature of the linear motor is used as the mover and the field poles are used as the stator has been described as an example, but the armature of the linear motor is used as the stator and A moving magnet type structure may be used in which the magnetic poles are the movers. Further, in the present embodiment, an example in which the armature coil has two coil rows has been described.
A structure having three or more coil rows may be used, and in that case, the combination of the number of coil rows and the number of phases is not limited. The heat pipe 7 may be made of metal such as stainless steel or aluminum. When stainless steel is used for the heat pipe 7, the eddy current in the metal portion of the heat pipe 7 that occurs when the armature of the linear motor moves in the thrust direction along the rows of the permanent magnets 3 is reduced, and the eddy current is generated. It is possible to reduce the viscous resistance force of the mover. Also,
The heat pipe 7 has shown an example in which the liquid-phase working liquid and the gas-phase working liquid are enclosed in the meandering thin tube 71 to have the cooling characteristic of utilizing the nucleate boiling phenomenon, but the cooling characteristic is satisfied. If necessary, a heat pipe having another structure may be used. Further, although the heat sink 11 is a coolant passage configured to exchange heat with a coolant, a metal block (not shown) having high heat conductivity is provided in the recess 10A provided inside the frame 10.
May be fitted to each other, and the metal block may be projected from the length of the frame 10 in the longitudinal direction to radiate heat to the outside air.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、以
下の効果がある。 (1)電機子コイルを構成する複数のコイル列の間に電
機子5の長手方向に沿って平板状のヒートパイプを配設
すると共に、コイル列を覆うように樹脂モールドで固着
し、また、ヒートパイプの吸熱部の一部を電機子コイル
に固着し、かつ、その放熱部を冷媒通路の内部に挿入す
るように配置したため、電機子コイルで生じた熱が冷媒
通路に効率よく放熱されて、電機子コイルの温度上昇を
大幅に低減することができる。 (2)電機子コイルの発熱を効率よく放熱することが出
来ることから、駆動電流を低下することなく、可動子の
推力を上げることが出来る。 (3)ヒートパイプにおける電機子コイルが固着される
部分と冷媒通路内部に挿入される部分との間にフレーム
に固定するためのブロック状の係止部材を設け、さらに
フレームは、冷媒通路を構成し、かつ、ヒートパイプの
放熱部を内部に挿入するための中空状の凹部と、凹部の
開口側に形成されると共にヒートパイプに取り付けた係
止部材と係止できるようにした段差を有する係止段差部
とを備えたため、電機子とフレームを係止部材および係
止段差部とで容易に一体化することででき、可動子自体
の剛性を上げることができる。その結果、可動子を走行
させた場合に、可動子がその両側面に磁気的空隙を介し
て対向する固定子の方向に振動を発生させる問題もなく
なり、運動精度を向上させることができる。 (4)ヒートパイプは、熱伝導の良い金属製の薄板部材
の内部に吸熱部と放熱部を有する蛇行した中空状の細管
が多数並ぶ構造としたため、強度を下げることなく軽量
化することができ、しかも従来の巻線固定枠の形状サイ
ズを維持したままで、組立工数を少なくすることができ
る小形のリニアモータを提供することができる。
As described above, the present invention has the following effects. (1) A plate-shaped heat pipe is arranged along the longitudinal direction of the armature 5 between a plurality of coil rows forming the armature coil, and the coil rows are fixed by resin molding so as to cover the coil rows. Since a part of the heat absorbing part of the heat pipe is fixed to the armature coil and the heat radiating part is arranged to be inserted inside the refrigerant passage, the heat generated in the armature coil is efficiently radiated to the refrigerant passage. The temperature rise of the armature coil can be significantly reduced. (2) Since the heat generated by the armature coil can be efficiently dissipated, the thrust of the mover can be increased without reducing the drive current. (3) A block-shaped locking member for fixing to the frame is provided between the portion of the heat pipe to which the armature coil is fixed and the portion inserted into the refrigerant passage, and the frame constitutes the refrigerant passage. And a hollow recess for inserting the heat radiating portion of the heat pipe therein, and a step formed on the opening side of the recess and capable of being locked by a locking member attached to the heat pipe Since the armature and the frame are provided with the stopping step portion, the armature and the frame can be easily integrated with each other by the engaging member and the engaging step portion, and the rigidity of the mover itself can be increased. As a result, when the mover travels, there is no problem that the mover vibrates on both sides of the mover in the direction of the facing stator via the magnetic gap, and the motion accuracy can be improved. (4) Since the heat pipe has a structure in which a large number of meandering hollow thin tubes having a heat absorbing portion and a heat radiating portion are arranged inside a thin metal plate member having good heat conduction, it is possible to reduce the weight without lowering the strength. Moreover, it is possible to provide a small-sized linear motor capable of reducing the number of assembling steps while maintaining the shape and size of the conventional winding fixing frame.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一般的なリニアモータの全体斜視図であって、
本発明と従来技術に共通な全体構成を示している。
FIG. 1 is an overall perspective view of a general linear motor,
1 shows an overall configuration common to the present invention and the prior art.

【図2】本発明の実施例におけるリニアモータであっ
て、図1のリニアモータを推力方向から見たA―A線に
沿う正断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view taken along the line AA of the linear motor of the embodiment of the present invention, the linear motor of FIG. 1 being viewed from the thrust direction.

【図3】図3はヒートパイプの拡大斜視図で、内部を透
視したものである。
FIG. 3 is an enlarged perspective view of a heat pipe, showing the inside thereof in a see-through manner.

【図4】図2のリニアモータを構成する電機子とフレー
ムの組立工程を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing an assembly process of an armature and a frame which form the linear motor of FIG.

【図5】従来のリニアモータの冷却構造を示すものであ
って、図1のA−A線に沿う正断面図に相当する。
5 shows a cooling structure of a conventional linear motor, and corresponds to a front sectional view taken along the line AA of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リニアモータ 2 界磁ヨーク 3 永久磁石 4 ヨークベース 5 電機子 6 電機子コイル 7 ヒートパイプ 71 細管 71a 吸熱部 71b 放熱部 8 係止部材 9 樹脂モールド 10 フレーム 10a 凹部 10b 係止端壁 10c 係止段差部 11 冷媒通路(ヒートシンク) 1 linear motor 2 field yoke 3 permanent magnet 4 York base 5 armature 6 Armature coil 7 heat pipe 71 thin tube 71a Heat absorbing part 71b Heat dissipation part 8 locking member 9 resin mold 10 frames 10a recess 10b Locking end wall 10c Locking step 11 Refrigerant passage (heat sink)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5H609 BB08 PP09 QQ04 QQ23 RR61 RR62 RR63 5H641 BB06 BB18 BB19 GG05 GG07 GG11 GG12 HH02 HH03 HH05 JB03 JB05 JB10    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 5H609 BB08 PP09 QQ04 QQ23 RR61                       RR62 RR63                 5H641 BB06 BB18 BB19 GG05 GG07                       GG11 GG12 HH02 HH03 HH05                       JB03 JB05 JB10

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 交互に極性が異なるように界磁極を構成
する複数の永久磁石を直線状に並べて配置した界磁ヨー
クと、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して平行
に対向配置した電機子と、前記電機子を固定し、かつ、
ヒートシンクを具備するフレームとを備え、前記界磁極
と前記電機子との何れか一方を固定子に、他方を可動子
として、前記界磁極と前記電機子を相対的に走行するよ
うにしたリニアモータにおいて、 前記界磁極を構成する永久磁石および界磁ヨークを2列
並べて構成してあり、 前記電機子は、前記2列からなる界磁極の間に設けられ
ると共に、その長手方向に向かって複数個のコイル群を
平板状に並べて成形してなる少なくとも2列の電機子コ
イルで構成してあり。前記複数のコイル列の間に前記電
機子の長手方向に沿って平板状のヒートパイプを配設す
ると共に、前記コイル列を覆うように樹脂モールドで固
着してあり、前記ヒートパイプは、その吸熱部の一部を
前記電機子コイルに固着し、かつ、その放熱部を前記ヒ
ートシンクの内部に挿入するように配置してあることを
特徴とするリニアモータ。
1. A field yoke in which a plurality of permanent magnets forming field poles are alternately arranged so as to alternately have different polarities, and a field yoke is arranged in parallel with a magnet row of the permanent magnets via a magnetic gap. Fixed armature and said armature, and
A linear motor including a frame having a heat sink, wherein one of the field pole and the armature is a stator and the other is a mover so that the field pole and the armature travel relatively. The permanent magnets and field yokes forming the field poles are arranged in two rows, and the armature is provided between the field poles in the two rows, and a plurality of armatures are provided in the longitudinal direction. Of at least two rows of armature coils formed by arranging the above coil groups in a flat plate shape. A plate-shaped heat pipe is arranged along the longitudinal direction of the armature between the plurality of coil rows, and is fixed with a resin mold so as to cover the coil rows, and the heat pipe absorbs heat. A linear motor, wherein a part of the portion is fixed to the armature coil, and the heat radiation portion is arranged to be inserted into the heat sink.
【請求項2】 前記ヒートパイプにおける電機子コイル
が固着される部分と前記ヒートシンク内部に挿入される
部分との間に前記フレームに固定するためのブロック状
の係止部材を設けてあることを特徴とする請求項1記載
のリニアモータ。
2. A block-shaped locking member for fixing to the frame is provided between a portion of the heat pipe to which the armature coil is fixed and a portion inserted into the heat sink. The linear motor according to claim 1.
【請求項3】前記フレームは、前記ヒートシンクを構成
し、かつ、前記ヒートパイプの放熱部を内部に挿入する
ための中空状の凹部と、前記凹部の開口側にに形成され
ると共に前記係止部材と係止できるようにした段差を有
する係止段差部とを備えたことを特徴とする請求項1ま
たは2に記載のリニアモータ。
3. The frame constitutes the heat sink, and is formed on the opening side of the hollow portion with a hollow concave portion into which the heat radiation portion of the heat pipe is inserted, and the locking portion. The linear motor according to claim 1 or 2, further comprising: a locking step portion having a step that can be locked with the member.
【請求項4】前記ヒートシンクは、冷媒により熱交換す
るようにした冷媒通路で構成されたことを特徴とする1
から3までの何れか1項に記載のリニアモータ。
4. The heat sink is constituted by a refrigerant passage adapted to exchange heat with a refrigerant.
The linear motor according to any one of 1 to 3.
【請求項5】前記ヒートパイプは、薄板部材の内部に作
動液を封入する蛇行した中空状の細管を備えたことを特
徴とする請求項1から4までの何れか1項に記載のリニ
アモータ。
5. The linear motor according to claim 1, wherein the heat pipe includes a meandering hollow thin tube for enclosing the working fluid inside a thin plate member. .
【請求項6】前記ヒートパイプの材質をステンレスとし
たことを特徴とする請求項1から5までの何れか1項に
記載のリニアモータ。
6. The linear motor according to claim 1, wherein a material of the heat pipe is stainless steel.
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