JP2003056562A - Linear guide device and control method therefor - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガイドレールに
対してテーブル等の移動体を案内するためのリニアガイ
ド装置及びその調整方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear guide device for guiding a moving body such as a table with respect to a guide rail and a method of adjusting the linear guide device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種のリニアガイド装置は、移動体を
少ない抵抗で、かつ高精度に案内できる機能を有し、工
作機械において多く採用されている。2. Description of the Related Art This type of linear guide device has a function of guiding a moving body with a small amount of resistance and with high precision, and is widely used in machine tools.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなリニアガイド装置においては、移動体の重心が変位
した場合等には、水平バランスが崩れるおそれがあり、
このような場合には大幅に加工精度が低下することにな
る。However, in such a linear guide device, when the center of gravity of the moving body is displaced, the horizontal balance may be lost,
In such a case, the processing accuracy will be significantly reduced.
【０００４】この発明の目的は、このような問題を解消
することができるリニアガイド装置及びその調整方法を
提供することにある。An object of the present invention is to provide a linear guide device and an adjusting method therefor capable of solving such a problem.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明においては、装置本体上に
設けられ、一方向に延在するガイドレールと、移動体の
下面に設けられるとともに、ガイドレールに支持され、
油静圧を介して前記ガイドレールの長手方向に沿って案
内されるリニアガイドとを備えたリニアガイド装置にお
いて、前記ガイドレールの長手方向に沿うリニアガイド
の長さを前記移動体のそれよりも短くするとともに、複
数のリニアガイドを移動体の両端部と、それらの間の位
置とに配置したことを特徴とする。In order to achieve the above object, in the invention described in claim 1, the guide rail provided on the main body of the apparatus and extending in one direction and the lower surface of the moving body are provided. It is provided and supported by guide rails,
In a linear guide device provided with a linear guide guided along the longitudinal direction of the guide rail via hydrostatic pressure, the length of the linear guide along the longitudinal direction of the guide rail is longer than that of the movable body. It is characterized in that it is shortened and a plurality of linear guides are arranged at both ends of the moving body and at positions between them.
【０００６】従って、リニアガイドレールの長手方向に
沿って長いリニアガイドを製造する必要がなく、製造が
簡単である。しかも、各リニアガイド部において圧力調
整できるため、移動体の水平度を維持できて、高精度加
工が可能になる。Therefore, it is not necessary to manufacture a long linear guide along the longitudinal direction of the linear guide rail, and the manufacture is simple. Moreover, since the pressure can be adjusted at each linear guide portion, the levelness of the moving body can be maintained and high-precision machining can be performed.
【０００７】請求項２に記載の発明においては、請求項
１において、両端部のリニアガイドを支持点としたこと
を特徴とする。従って、一方の支持点のリニアガイドの
静圧を調整すれば、移動体の水平度を確実に保持でき
る。According to a second aspect of the invention, in the first aspect, the linear guides at both ends are used as supporting points. Therefore, by adjusting the static pressure of the linear guide at one support point, the levelness of the moving body can be reliably maintained.
【０００８】請求項３に記載の発明においては、請求項
１または２において、リニアガイドとガイドレールとの
間の静圧圧力を検出するための検出手段を設けたことを
特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the detection means for detecting the static pressure between the linear guide and the guide rail is provided.
【０００９】従って、検出手段の検出結果に基づいて、
静圧の圧力調整を的確に行うことができる。請求項４に
記載の発明においては、請求項１〜３のいずれかにおい
て、両端部のリニアガイド間に位置する他のリニアガイ
ドを油以外の静圧を介してガイドレールに支持したこと
を特徴とする。Therefore, based on the detection result of the detection means,
The static pressure can be adjusted accurately. In the invention according to claim 4, in any one of claims 1 to 3, another linear guide located between the linear guides at both ends is supported on the guide rail via a static pressure other than oil. And
【００１０】このようにすれば、要求に応じて、リニア
ガイド全体と、リニアガイドレールとの間の摩擦係数を
変更できる。請求項５に記載の発明は、リニアガイド装
置に調整方法に関するものであり、請求項１〜４のいず
れかに記載のリニアガイド装置において、少なくとも１
箇所のリニアガイドとガイドレールとの間の静圧圧力を
調整することを特徴とした。With this configuration, the coefficient of friction between the entire linear guide and the linear guide rail can be changed according to demand. The invention according to claim 5 relates to a method for adjusting a linear guide device, and in the linear guide device according to any one of claims 1 to 4, at least 1
The feature is that the static pressure between the linear guide and the guide rail at the location is adjusted.
【００１１】従って、前述と同様に、移動体の水平度を
的確に維持できる。Therefore, similarly to the above, the levelness of the moving body can be accurately maintained.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下、この発
明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて
説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION (First Embodiment) A first embodiment embodying the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１３】図１及び図２に示すように、工作機械の本
体１には一対の平行なリニアガイドレール２がボルト７
により固定されている。このリニアガイドレール２の上
端部には突部２ａが外方を向くように形成されている。As shown in FIGS. 1 and 2, a pair of parallel linear guide rails 2 is provided on a body 1 of a machine tool by bolts 7.
It is fixed by. A protrusion 2a is formed on the upper end of the linear guide rail 2 so as to face outward.
【００１４】移動体としてのワークテーブル５のそれぞ
れ両側下面には複数（この実施形態では３）のリニアガ
イド３が前記リニアガイドレール２の長手方向に沿って
配列され、それぞれボルト１２，１３により固定されて
いる。これらのリニアガイド３は、後述する油静圧を介
して前記リニアガイドレール２にその長手方向に沿って
摺動可能に支持されている。従って、ワークテーブル５
がリニアガイドレール２の長手方向に沿って移動され
る。A plurality (three in this embodiment) of linear guides 3 are arranged along the longitudinal direction of the linear guide rail 2 on the lower surfaces of both sides of the work table 5 as a moving body, and fixed by bolts 12 and 13, respectively. Has been done. These linear guides 3 are slidably supported by the linear guide rails 2 along the longitudinal direction thereof via hydrostatic pressure, which will be described later. Therefore, work table 5
Are moved along the longitudinal direction of the linear guide rail 2.
【００１５】当然、各リニアガイド３は、ワークテーブ
ル５のリニアガイドレール２の長手方向の長さより短
い。このリニアガイド３は前記リニアガイドレール２の
側面、上面、突部２ａの上面および側面を覆う断面コ字
状に形成された第１リニアガイド片８と、前記リニアガ
イドレール２における突部２ａの下面を覆う第２リニア
ガイド片９とにより構成されている。Naturally, each linear guide 3 is shorter than the length of the linear guide rail 2 of the work table 5 in the longitudinal direction. The linear guide 3 includes a first linear guide piece 8 having a U-shaped cross section for covering the side surface and the upper surface of the linear guide rail 2 and the upper surface and the side surface of the protrusion 2a, and the protrusion 2a of the linear guide rail 2. The second linear guide piece 9 covers the lower surface.
【００１６】前記第１リニアガイド片８及び第２リニア
ガイド片９の内側面には凹部１４ａ〜１４ｃ，１５がそ
れぞれ形成さている。そして、前記各凹部１４ａ〜１４
ｃ、１５には摩擦係数が極めて小さい例えばフッ素樹脂
等からなる板状の補助部材１６ａ〜１６ｄがそれぞれ嵌
着されている。そして、前記補助部材１６ａ〜１６ｄに
はそれぞれ静圧ランド１８ａ〜１８ｄが透設され、これ
らの静圧ランド１８ａ〜１８ｄには静圧媒体としての潤
滑油が導入されるようになっている。そして、それぞれ
リニアガイドレール２を挟んで対向する静圧ランド１８
ａ及び１８ｃ，静圧ランド１８ｂ及び１８ｄは、同じ面
積になっている。静圧ランド１８ａ〜１８ｄに供給され
る潤滑油により、リニアガイドレール２と第１，第２リ
ニアガイド片８，９との間の静圧が形成される。Recesses 14a to 14c and 15 are formed on the inner side surfaces of the first linear guide piece 8 and the second linear guide piece 9, respectively. Then, each of the recesses 14a to 14
Plate-shaped auxiliary members 16a to 16d made of, for example, a fluororesin or the like having an extremely small friction coefficient are fitted to c and 15, respectively. Further, static pressure lands 18a to 18d are respectively provided on the auxiliary members 16a to 16d, and lubricating oil as a static pressure medium is introduced into these static pressure lands 18a to 18d. Then, the static pressure lands 18 facing each other with the linear guide rail 2 interposed therebetween are provided.
The areas a and 18c and the static pressure lands 18b and 18d have the same area. The lubricating oil supplied to the static pressure lands 18a to 18d forms a static pressure between the linear guide rail 2 and the first and second linear guide pieces 8 and 9.
【００１７】すなわち、前記補助部材１６ａ〜１６ｄと
リニアガイドレール２との間には若干（数μ程度）のク
リアランスが設けられるように静圧となる圧油が供給さ
れ、リニアガイド３がリニアガイドレール２に対して半
浮上するようになっている。従って、この状態でワーク
テーブル５を図示しない駆動シリンダによりリニアガイ
ドレール２に沿って往復動させることができる。That is, the static guide pressure oil is supplied between the auxiliary members 16a to 16d and the linear guide rail 2 so that a slight clearance (several .mu.) Is provided, and the linear guide 3 is linearly guided. It is designed to semi-float with respect to the rail 2. Therefore, in this state, the work table 5 can be reciprocated along the linear guide rail 2 by the drive cylinder (not shown).
【００１８】前記第１，２リニアガイド片８，９には潤
滑油を図示しない油圧制御装置から各静圧ランド１８ａ
〜１８ｄに導入するための流通路１９ａ〜１９ｄが形成
されている。Lubricating oil is applied to the first and second linear guide pieces 8 and 9 from a hydrostatic control device (not shown) to each hydrostatic land 18a.
The flow passages 19a to 19d for introduction into the -18d are formed.
【００１９】図２及び図３に示すように、前記第１，２
リニアガイド片８，９には複数の検出孔２０がそれぞれ
設けられている。各検出孔２０は、それぞれ前記各静圧
ランド１８ａ〜１８ｄに対応して配置されている。そし
て、これらの検出孔２０に接続された図示しない監視装
置により各静圧ランド１８ａ〜１８ｄ内における潤滑油
の圧力が検出されるようになっている。この検出孔２０
及び監視装置等により検出手段が構成されている。この
検出手段の検出に基づいて、各リニアガイド３部の静圧
が高くあるいは低く調整される。As shown in FIGS. 2 and 3, the first and second
Each of the linear guide pieces 8 and 9 is provided with a plurality of detection holes 20. The detection holes 20 are arranged corresponding to the static pressure lands 18a to 18d, respectively. The monitoring device (not shown) connected to these detection holes 20 detects the pressure of the lubricating oil in each static pressure land 18a-18d. This detection hole 20
The detection means is composed of the monitoring device and the like. Based on the detection of this detection means, the static pressure of each linear guide 3 is adjusted to be high or low.
【００２０】この実施形態において、通常はリニアガイ
ドレール２の両端部における一対のリニアガイド３（図
３の３Ａ）部分の油圧が高くなるように制御される。従
って、両端部の一対のリニアガイド３がワークテーブル
５の支持点になる。また、何らかの原因により、重心が
変位したりして、ワークテーブル５に傾斜力が作用した
場合には、水平状態が維持されるように、一方の支持点
のリニアガイド３部の油圧が調整される。In this embodiment, the hydraulic pressure of the pair of linear guides 3 (3A in FIG. 3) at both ends of the linear guide rail 2 is normally controlled to be high. Therefore, the pair of linear guides 3 at both ends serve as support points for the work table 5. Further, when the center of gravity is displaced for some reason or the like, and the tilting force acts on the work table 5, the hydraulic pressure of the linear guide 3 at one of the support points is adjusted so that the horizontal state is maintained. It
【００２１】以上のように構成されたこの実施形態にお
いては、以下のような作用を有する。
・ リニアガイド３をワークテーブル５より短くして、
複数設けたため、大きさの異なるワークテーブル５に簡
単に対応できる。すなわち、大きなワークテーブル５の
場合には、リニアガイド３の数を増やせばよく、ワーク
テーブル５が大きくても、大きなリニアガイドを用いる
必要がない。従って、製造が簡単になるばかりでなく、
大きなリニアガイドにつきものの精度管理の難しさもな
い。逆に、ワークテーブル５が小さい場合には、リニア
ガイド３の数を一対までに減らせばよい。In this embodiment having the above-described structure, the following operation is achieved.・ Make the linear guide 3 shorter than the work table 5,
Since a plurality of work tables 5 having different sizes are provided, it is possible to easily deal with the work tables 5. That is, in the case of a large work table 5, the number of linear guides 3 may be increased, and even if the work table 5 is large, it is not necessary to use a large linear guide. Therefore, not only is manufacturing easier,
There is no difficulty in controlling the accuracy that is associated with a large linear guide. On the contrary, when the work table 5 is small, the number of linear guides 3 may be reduced to one pair.
【００２２】・ ワークテーブル５の両端部のリニアガ
イド３がワークテーブル５の支持点を構成しているた
め、支持点が３箇所以上存在する場合に比較して、ワー
クテーブル５の水平度を簡単に得ることができる。Since the linear guides 3 at both ends of the work table 5 constitute the support points of the work table 5, the horizontality of the work table 5 is simple as compared with the case where there are three or more support points. Can be obtained.
【００２３】・ しかも、重心移動等によりワークテー
ブル５に対して傾斜力が作用した場合には、一方の支持
点におけるリニアガイド３とリニアガイドレール２との
間の油圧を調整すればよいため、その調整が簡単で、常
に高精度加工を達成できる。すなわち、第１，２リニア
ガイド片８，９には各静圧ランド１８ａ〜１８ｄからの
油圧を検出する検出孔２０を設けている。この結果、油
圧の変動によりリニアガイド３の重心がどちらの方向に
変位しているかを検出することができ、この油圧の変動
に基づいて図示しない油圧制御装置により各静圧ランド
１８ａ〜１８ｄからの油圧を制御することができる。こ
の結果、ワークテーブル５の傾きを補正して、ワーク加
工の精度を安定させることができる。Moreover, when a tilting force is applied to the work table 5 due to movement of the center of gravity or the like, the hydraulic pressure between the linear guide 3 and the linear guide rail 2 at one support point may be adjusted. Its adjustment is easy and high precision machining can always be achieved. That is, the first and second linear guide pieces 8 and 9 are provided with detection holes 20 for detecting the hydraulic pressure from the static pressure lands 18a to 18d. As a result, it is possible to detect in which direction the center of gravity of the linear guide 3 is displaced due to the fluctuation of the hydraulic pressure, and based on the fluctuation of the hydraulic pressure, a hydraulic control device (not shown) controls the static pressure lands 18a to 18d. The hydraulic pressure can be controlled. As a result, it is possible to correct the inclination of the work table 5 and stabilize the accuracy of work processing.
【００２４】・ リニアガイド３を第１，２リニアガイ
ド片８，９により分割構成したことにより、個々の第
１，２リニアガイド片８，９の形状が単純化されて、製
作が容易になる。このため、製作時における第１，２リ
ニアガイド片８，９の製作ミスを少なくすることがで
き、第１，２リニアガイド８，９の製作効率を向上させ
ることができる。Since the linear guide 3 is divided into the first and second linear guide pieces 8 and 9, the shape of each of the first and second linear guide pieces 8 and 9 is simplified, and the production is facilitated. . Therefore, it is possible to reduce manufacturing errors of the first and second linear guide pieces 8 and 9 during manufacturing, and it is possible to improve the manufacturing efficiency of the first and second linear guides 8 and 9.
【００２５】・ 第１，２リニアガイド片８，９の内側
面に摩擦係数の小さい補助部材１６ａ〜１６ｄを設けた
ので、仮に補助部材１６ａ〜１６ｄとリニアガイド３と
が摺接してもリニアガイド３をスムーズに摺動させるこ
とができる。Since the auxiliary members 16a to 16d having a small friction coefficient are provided on the inner side surfaces of the first and second linear guide pieces 8 and 9, even if the auxiliary members 16a to 16d and the linear guide 3 are in sliding contact with each other, the linear guide 3 can be slid smoothly.
【００２６】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態について、前記第１の実施形態と異なる部分
を中心にして図４を参照しながら説明する。(Second Embodiment) Next, the second embodiment of the present invention will be described.
This embodiment will be described with reference to FIG. 4 focusing on the parts different from the first embodiment.
【００２７】この第２実施形態においては、前記第１の
実施形態と同様に、一対の平行なリニアガイドレール２
が本体１上に配置され、ボルト７により固定されてい
る。また、リニアガイド３は、ワークテーブル５の下面
に、例えば３個が前記第１の実施形態と同様な配置で設
けられている。In the second embodiment, as in the first embodiment, a pair of parallel linear guide rails 2 are provided.
Are arranged on the main body 1 and fixed by bolts 7. Further, for example, three linear guides 3 are provided on the lower surface of the work table 5 in the same arrangement as in the first embodiment.
【００２８】リニアガイド３は、ボルト３１によりワー
クテーブル５に固定された１つの第１リニアガイド片８
と、その下面にボルト３２により固定された一対の第２
リニアガイド片９とにより構成されている。The linear guide 3 has one first linear guide piece 8 fixed to the work table 5 with bolts 31.
And a pair of second members fixed to the lower surface by bolts 32.
It is composed of a linear guide piece 9.
【００２９】リニアガイドレール２の上部には両側面に
は突部２ａが一体形成され、それらの下面には斜面２ｄ
が形成されている。両第２リニアガイド片９には前記リ
ニアガイドレール２の側面に沿う斜状部２３ａが形成さ
れている。Projections 2a are integrally formed on both sides of the upper portion of the linear guide rail 2, and slopes 2d are formed on the lower surfaces thereof.
Are formed. Each of the second linear guide pieces 9 is formed with an inclined portion 23a along the side surface of the linear guide rail 2.
【００３０】前記第２リニアガイド片９の斜状部２３ａ
および第２リニアガイド片９の下面には静圧ランド１８
ａ〜１８ｄがそれぞれ凹設されている。そして、第２リ
ニアガイド片９には前記各静圧ランド１８ａ〜１８ｄに
接続される流通路１９ａ〜１９ｄが設けられている。従
って、図示しない油圧制御装置から各流通路１９ａ〜１
９ｄを介して静圧ランド１８ａ〜１８ｄに潤滑油を供給
することにより、リニアガイド３を半浮上させることが
でき、ワークテーブル５をリニアガイドレール２に沿っ
てスムーズに摺動させることができる。The slanted portion 23a of the second linear guide piece 9
And a static pressure land 18 on the lower surface of the second linear guide piece 9.
Each of a to 18d is recessed. The second linear guide piece 9 is provided with flow passages 19a to 19d connected to the static pressure lands 18a to 18d. Therefore, from the hydraulic control device (not shown), the respective flow passages 19a to 19a
By supplying the lubricating oil to the hydrostatic lands 18a to 18d via 9d, the linear guide 3 can be semi-floated, and the work table 5 can be smoothly slid along the linear guide rail 2.
【００３１】なお、図示はしないが、前記各静圧ランド
１８ａ〜１８ｄのそれぞれ近傍に、監視装置に接続され
た検出孔が設けられている。従って、この第２の実施形
態においても検出手段が設けられている。Although not shown, detection holes connected to a monitoring device are provided near the respective static pressure lands 18a to 18d. Therefore, the detecting means is also provided in the second embodiment.
【００３２】・ リニアガイド３をワークテーブル５よ
り短くして、複数設けたため、大きさの異なるワークテ
ーブル５に簡単に対応できる。すなわち、大きなワーク
テーブル５の場合には、リニアガイド３の数を増やせば
よく、ワークテーブル５が大きくても、大きなリニアガ
イドを用いる必要がない。従って、製造が簡単になるば
かりでなく、大きなリニアガイドにつきものの精度管理
の難しさもない。逆に、ワークテーブル５が小さい場合
には、リニアガイド３の数を一対までに減らせばよい。Since the linear guide 3 is shorter than the work table 5 and a plurality of linear guides 3 are provided, it is possible to easily cope with work tables 5 having different sizes. That is, in the case of a large work table 5, the number of linear guides 3 may be increased, and even if the work table 5 is large, it is not necessary to use a large linear guide. Therefore, not only is the manufacturing simple, but there is no difficulty in controlling the accuracy of the large linear guide. On the contrary, when the work table 5 is small, the number of linear guides 3 may be reduced to one pair.
【００３３】・ ワークテーブル５の両端部のリニアガ
イド３がワークテーブル５の支持点を構成しているた
め、支持点が３箇所以上存在する場合に比較して、ワー
クテーブル５の水平度を簡単に得ることができる。Since the linear guides 3 at both ends of the work table 5 form the support points of the work table 5, the horizontality of the work table 5 is simple as compared with the case where there are three or more support points. Can be obtained.
【００３４】この第２の実施形態においても、重心移動
等によりワークテーブル５に対して傾斜力が作用した場
合には、一方の支持点におけるリニアガイド３とリニア
ガイドレール２との間の油圧を調整すればよい。また、
検出孔を介して、油圧の変動によりリニアガイド３の重
心がどちらの方向に変位しているかを検出することがで
きる。従って、ワークテーブル５の傾きを補正して、ワ
ーク加工の精度を安定させることができる。また、この
第２の実施形態においてもリニアガイド３を第１，２リ
ニアガイド片８，９によって分割構成したので、個々の
リニアガイド片８，９の形状を簡素化することができ
て、製造が容易となる。Also in the second embodiment, when the tilting force acts on the work table 5 due to the movement of the center of gravity or the like, the hydraulic pressure between the linear guide 3 and the linear guide rail 2 at one support point is changed. Adjust it. Also,
Through the detection hole, it is possible to detect in which direction the center of gravity of the linear guide 3 is displaced due to a change in hydraulic pressure. Therefore, it is possible to correct the inclination of the work table 5 and stabilize the accuracy of work processing. Further, also in the second embodiment, since the linear guide 3 is divided into the first and second linear guide pieces 8 and 9, the shape of each of the linear guide pieces 8 and 9 can be simplified, and the manufacturing Will be easier.
【００３５】（変更例）この発明は、前記第１，第２実
施形態に限定されるものではなく、以下のように具体化
することも可能である。(Modification) The present invention is not limited to the first and second embodiments, but can be embodied as follows.
【００３６】・ 前記第１の実施形態においては、補助
部材１６ａ〜１６ｄに静圧ランド１８ａ〜１８ｄを形成
したが、補助部材１６ａ〜１６ｄを無くし、直接第１，
２リニアガイド片８，９に静圧ランド１８ａ〜１８ｄを
形成すること。このようにすれば、部品点数が少なくな
る。In the first embodiment, the static pressure lands 18a to 18d are formed on the auxiliary members 16a to 16d, but the auxiliary members 16a to 16d are eliminated and the first and second direct members are directly formed.
2 Form static pressure lands 18a to 18d on the linear guide pieces 8 and 9. By doing so, the number of parts is reduced.
【００３７】・ 図５に示すように、リニアガイドレー
ル２を支持部２ｂと断面Ｔ字状に形成した突部２ｃとに
分割構成し、突部２ａが嵌め込まれる凹部２２をワーク
テーブル５の裏面に直接形成する。そして、前記リニア
ガイドレール２の突部２ｃを挟んでリニアガイド３を構
成する四角形状の一対のリニアガイド片２３をボルト１
２，１３によりワークテーブル５の裏面に対し締付固定
すること。また、前記一対のリニアガイド片２３の上面
および下面に静圧ランド１８ａ〜１８ｄを設け、流通路
１９ａ，１９ｂにより静圧ランド１８ａ〜１９ｄに潤滑
油を図示しない油圧制御装置により供給できるようにす
る。この結果、さらにリニアガイド３の形状を簡素化す
ることができ、製造を容易にすることができる。As shown in FIG. 5, the linear guide rail 2 is divided into a support portion 2b and a protrusion 2c having a T-shaped cross section, and a recess 22 into which the protrusion 2a is fitted is provided on the back surface of the work table 5. Directly on. Then, the pair of square linear guide pieces 23 forming the linear guide 3 sandwiching the protrusion 2c of the linear guide rail 2 is attached to the bolt 1 by the bolt 1.
Tighten and fix it to the back surface of the work table 5 with Nos. 2 and 13. Further, static pressure lands 18a to 18d are provided on the upper and lower surfaces of the pair of linear guide pieces 23 so that the lubricating oil can be supplied to the static pressure lands 18a to 19d by the hydraulic passages (not shown) through the flow passages 19a and 19b. . As a result, the shape of the linear guide 3 can be further simplified, and manufacturing can be facilitated.
【００３８】・ ワークテーブル５の両端部のリニアガ
イド３（図３の３Ａ）間における他のリニアガイド３と
リニアガイドレール２との間の静圧を、油以外の静圧媒
体である圧縮空気の供給による空気静圧とすること。あ
るいは、静圧媒体として磁性流体を用いること。The static pressure between the other linear guides 3 and the linear guide rails 2 between the linear guides 3 (3A in FIG. 3) at both ends of the work table 5 is determined by compressed air which is a static pressure medium other than oil. The static air pressure supplied by Alternatively, use a magnetic fluid as the static pressure medium.
【００３９】・ 前記各実施形態においては、検出手段
により全てのリニアガイド３部の静圧を調整するように
構成したが、少なくともワークテーブル５の移動方向に
おける端部のリニアガイド３部の静圧を調整するように
構成すること。このように構成しても、ワークテーブル
の水平バランスを調整できる。In each of the above-mentioned embodiments, the static pressure of all the linear guides 3 is adjusted by the detection means, but the static pressure of the linear guides 3 at least at the end in the moving direction of the work table 5 is adjusted. Be configured to adjust. Even with this structure, the horizontal balance of the work table can be adjusted.
【００４０】[0040]
【発明の効果】以上、詳述したように、この発明におい
ては、製造が簡単になるとともに、ワークテーブルの水
平度を維持して高精度加工を達成することができるとい
う優れた効果を発揮する。As described above in detail, in the present invention, it is possible to achieve the excellent effects that the manufacturing is simplified and the work table can be maintained at a high level to achieve high precision machining. .
【図１】 第１の実施形態におけるリニアガイド装置を
示す正面図。FIG. 1 is a front view showing a linear guide device according to a first embodiment.
【図２】 同じく断面図。FIG. 2 is a sectional view of the same.
【図３】 同じく側面図。FIG. 3 is a side view of the same.
【図４】 第２の実施形態におけるリニアガイド装置を
示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a linear guide device according to a second embodiment.
【図５】 変更例を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a modified example.
２…リニアガイドレール、３…リニアガイド、５…移動
体を構成するワークテーブル、２０…検出手段を構成す
る検出孔2 ... Linear guide rail, 3 ... Linear guide, 5 ... Work table that constitutes a moving body, 20 ... Detection hole that constitutes detection means
Claims (5)
延在するガイドレール（２）と、 移動体（５）の下面に設けられるとともに、ガイドレー
ル（２）に支持され、油静圧を介して前記ガイドレール
（２）の長手方向に沿って案内されるリニアガイド
（３）とを備えたリニアガイド装置において、 前記ガイドレール（２）の長手方向に沿うリニアガイド
（３）の長さを前記移動体（５）のそれよりも短くする
とともに、複数のリニアガイド（３）を移動体（５）の
両端部と、それらの間の位置とに配置したことを特徴と
するリニアガイド装置。1. A guide rail (2) which is provided on a device body (1) and extends in one direction, and a guide rail (2) which is provided on a lower surface of a moving body (5) and is supported by the guide rail (2), A linear guide device comprising a linear guide (3) guided along the longitudinal direction of the guide rail (2) via static pressure, the linear guide (3) along the longitudinal direction of the guide rail (2). Is shorter than that of the moving body (5), and a plurality of linear guides (3) are arranged at both ends of the moving body (5) and at positions between them. Linear guide device.
とするリニアガイド装置。2. The linear guide device according to claim 1, wherein the linear guides (3) at both ends are used as support points.
圧力を検出するための検出手段を設けたことを特徴とす
るリニアガイド装置。3. The linear guide device according to claim 1, further comprising detection means for detecting a static pressure between the linear guide (3) and the guide rail (2).
イド（３）を油以外の静圧を介してガイドレール（２）
に支持したことを特徴とするリニアガイド装置。4. The guide rail (2) according to any one of claims 1 to 3, wherein another linear guide (3) located between the linear guides (3) at both ends is subjected to a static pressure other than oil through a static pressure.
A linear guide device characterized by being supported by.
ガイド装置において、少なくとも１箇所のリニアガイド
（３）とガイドレール（２）との間の静圧圧力を調整す
ることを特徴としたリニアガイド装置の調整方法。5. The linear guide device according to any one of claims 1 to 4, wherein a static pressure between at least one linear guide (3) and the guide rail (2) is adjusted. How to adjust the linear guide device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001243291A JP2003056562A (en) | 2001-08-10 | 2001-08-10 | Linear guide device and control method therefor |
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