JPH05263825A - Straight line guide apparatus - Google Patents
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- F16C29/0614—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a shoe type bearing body, e.g. a body facing one side of the guide rail or track only
- F16C29/0616—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a shoe type bearing body, e.g. a body facing one side of the guide rail or track only for supporting load essentially in a single direction
- F16C29/0619—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a shoe type bearing body, e.g. a body facing one side of the guide rail or track only for supporting load essentially in a single direction with rollers or needles
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- B23Q1/262—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members with means to adjust the distance between the relatively slidable members
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は少なくとも1つの案内路
と各案内路に配属され、緩衝部材又は所定の案内長さの
案内ユニットとして構成された少なくとも1つの案内部
材とを有し、該案内部材が1つの案内軸に沿って互いに
相対運動可能である形式の直線案内装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention has at least one guideway and at least one guideway assigned to each guideway and configured as a cushioning member or a guide unit of a predetermined guide length. A linear guide device of the type in which the members are movable relative to one another along one guide axis.
【0002】[0002]
【従来の技術】直線案内装置においては案内ユニットに
おける負荷が不均一であると案内路に沿ったその運動に
関して理想ラインに対して偏差が生じる。このような負
荷差特に瞬間負荷時に生じる。直線案内装置は加工機械
においても使用されるので、これは加工する工作物の寸
法維持性にも影響を及ぼす、案内ユニットの他に直線案
内装置は緩衝往復台又は緩衝楔を有している。この緩衝
往復台又は緩衝楔は案内路に対して狭いすき間をおいて
案内ユニットと一緒に相対的に調節可能である。2. Description of the Prior Art In a linear guide system, an uneven load on the guide unit causes a deviation from the ideal line with respect to its movement along the guideway. Such a load difference occurs especially at an instantaneous load. Since linear guides are also used in processing machines, this also influences the dimensional maintenance of the workpiece to be machined. In addition to the guide unit, linear guides also have a shock carriage or a wedge. This buffer carriage or buffer wedge is adjustable relative to the guide unit with a narrow gap with respect to the guideway.
【0003】[0003]
【発明の課題】本発明の課題は案内の平行性と案内路に
対する案内間隔とを負荷の大きさとは無関係に一定に保
つことである。SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to keep the parallelism of the guide and the guide spacing with respect to the guideway constant, irrespective of the magnitude of the load.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、案内部
材の少なくとも1つに又は1つの案内路に沿って複数の
案内部材が運動可能である場合にはこれらに共通に案内
軸又はこれに対する平行線に対して直角に調節可能でか
つ互いに間隔をおいた2つの調節部材が所属しており、
調節部材の調節軸が案内路の案内軸又はこれに対する平
行線と交差しているか又は等間隔をおいて交差してお
り、各案内部材又は案内部材の各グループの調節部材の
対に、案内路に沿って延びる基準面に対する間隔を測定
する間隔測定器がそれぞれ1つ配属されており、さらに
比較器と比較器により確認された基準値からの偏差に相
応して調節部材を調節するための調整器とが存在してい
ることにより解決された。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the invention to provide a guide shaft or a common guide shaft to at least one of the guide members or to a plurality of guide members which are movable along one guide path. Belonging to two adjusting members which are adjustable at right angles to the parallel to
The adjusting shaft of the adjusting member intersects with the guide shaft of the guideway or a parallel line to the guide shaft or intersects at equal intervals, and the guideway is provided to each guide member or a pair of adjusting members of each group of guide members. A distance measuring device for measuring a distance with respect to a reference surface extending along the axis is assigned to each of the distance measuring devices, and the adjustment device adjusts the adjusting member according to the deviation from the reference value confirmed by the comparator. It was solved by the existence of the vessel.
【0005】例えば往復台又は定置のコラムに、1つの
案内路又は案内軸に関して複数の案内部材、例えば2つ
の案内部材が配属されていると、各案内部材は1つの間
隔測定器、有利には外方端部における間隔測定器しか設
けられていない。If, for example, a carriage or a stationary column is associated with a plurality of guide elements, for example two guide elements, with respect to one guide path or guide shaft, each guide element is associated with a distance measuring device, preferably with a distance measuring device. Only the distance measuring device at the outer end is provided.
【0006】この構成の利点は負荷差が間隔測定器にお
いて確認された間隔差によって検出可能であって適当な
調節によって再び平行性が達成できることである。さら
に通常案内軸を理想ラインから平行移動させ、案内路に
対する接近をもたらすであろう均一な負荷の場合にも間
隔の拡大により理想ラインに向かって案内軸を戻すこと
が行われる。これによってこのような直線案内装置を切
削加工用の加工機械に使用した場合には高い加工精度が
保証される。精度改善は特に瞬間負荷に際して達成され
る。各案内部材自体に本発明による間隔測定装置と調整
装置とが設けられているので、複数の案内部材を備えた
往復台においても往復台全体を位置調整することが行わ
れる。The advantage of this arrangement is that the load difference can be detected by the distance difference identified in the distance measuring device and parallelism can be achieved again by appropriate adjustment. In addition, the guide shaft is usually moved parallel to the ideal line, and the guide shaft is returned toward the ideal line due to the increased distance even in the case of a uniform load that would bring the approach to the guide path. This ensures a high machining accuracy when such a linear guide device is used in a machining machine for cutting. Accuracy improvement is achieved especially at instantaneous loads. Since each guide member itself is provided with the distance measuring device and the adjusting device according to the present invention, the position of the entire carriage can be adjusted even in a carriage having a plurality of guide members.
【0007】[0007]
【実施態様】本発明の別の構成によれば2つの平面にお
ける位置調整は、少なくとも1つの別の、同様に案内路
に対して直角に調節可能な調節部材が設けられており、
調節部材の調節軸が両方の第1の調節部材の調節軸に対
して平行に延びていることにより達成される。According to another aspect of the invention, the adjustment of the positions in the two planes is provided by at least one further adjusting member, which is likewise adjustable at right angles to the guideway,
This is achieved by the adjusting axis of the adjusting member extending parallel to the adjusting axes of both first adjusting members.
【0008】有利には基準面としては案内部材の案内路
が用いられる。The guide path of the guide member is preferably used as the reference surface.
【0009】有利には転がり案内である案内ユニットと
して構成されれた案内部材と一緒に使用される。この場
合には転動体はエンドレスな列を成して循環案内され、
案内路に沿って転動する。この場合には転動体はロー
ラ、球又はニードルとして構成しておくことができる。
しかし特に有利であるのは高い負荷をかけるのに適し、
切削加工のための加工機において使用されるローラ循環
シュー又はそれに類似した部材である。It is used in conjunction with a guide member which is preferably a rolling guide unit. In this case, the rolling elements are circulated and guided in endless rows,
Roll along the guideway. In this case, the rolling elements can be configured as rollers, balls or needles.
But especially advantageous is suitable for high loads,
It is a roller circulation shoe used in a processing machine for cutting or a member similar thereto.
【0010】選択的又は付加的に案内部材は直線案内装
置の緩衝部材を成すことができる。この場合、緩衝部材
は案内路を少なくとも部分的にすき間で取囲む緩衝往復
台として又は案内路の面に対して狭いすき間を形成する
緩衝楔として設けられる。Alternatively or additionally, the guide member can form a buffer member for the linear guide device. In this case, the cushioning member is provided as a cushioning carriage that at least partially surrounds the guideway with a gap or as a cushioning wedge forming a narrow gap with respect to the face of the guideway.
【0011】負荷伝達ユニットとしては圧力負荷可能な
ピストンシリンダユニットを使用することができる。し
かしながら調節はほぼ200分の数ミリまでの範囲で行
われるので選択的に圧電式の調節装置を使用することが
できる。電圧をかけることで調節はクリスタルの厚さ変
化により達成される。As the load transmission unit, a piston cylinder unit capable of pressure loading can be used. However, the adjustment takes place in the range of up to approximately a few hundredths of a millimeter, so that a piezoelectric adjustment device can be selectively used. By applying a voltage, the adjustment is achieved by changing the thickness of the crystal.
【0012】本発明の別の構成によれば間隔測定器とし
ては機械的、電気機械式、電気式又は電子的に働く測定
器又は圧電メータとして構成された間隔測定器が提案さ
れている。間隔が電気的な測定値として与えられる間隔
測定器を使用する場合には電圧変化に反応する圧電式調
節装置に調節のために作用する迅速に反応する調整回路
における圧電メータが有利である。電気的な測定フィー
ラを使用する場合にはこの測定フィーラを誘導式又は容
量式に働く接近センサとして構成することができる。According to a further development of the invention, a distance measuring device which is designed as a mechanical, electromechanical, electrical or electronic measuring device or as a piezoelectric meter is proposed as distance measuring device. A piezometer in a fast-acting regulating circuit which acts for regulation of a piezo-regulator which responds to voltage changes is advantageous when using a calibrator in which the distance is given as an electrical measurement. If an electrical measuring feeler is used, this measuring feeler can be configured as an inductive or capacitive working proximity sensor.
【0013】[0013]
【実施例】図1にはコラム2とこれに沿って走行可能な
ランナ3とを有する直線案内装置1が横断面図で示され
ている。この場合、ランナ3はコラム2において案内ユ
ニットとしてのローラ循環シュー5aから5fまでを介
して互いに平行に配置された2つの案内レール4に沿っ
て案内されている。垂直方向に位置決めするためには全
部で2つのローラ循環シュー5c,5fが存在し、水平
方向の位置決めするためには全部で4つのローラ循環シ
ュー5a,5b,5d,5eが存在している。これに対
して平行な平面においては同じ装置がもう一度配置され
ている。矢印によっては負荷が垂直方向に発生し、モー
メントが作用することが示されている。1 is a cross-sectional view of a linear guide device 1 having a column 2 and a runner 3 along which it can run. In this case, the runner 3 is guided in the column 2 along two guide rails 4 arranged in parallel to each other via roller circulation shoes 5a to 5f as guide units. There are a total of two roller circulation shoes 5c, 5f for vertical positioning and a total of four roller circulation shoes 5a, 5b, 5d, 5e for horizontal positioning. The same device is again arranged in a plane parallel to this. Some arrows indicate that a load is generated vertically and a moment acts.
【0014】垂直方向の位置決めを引き受ける両方の案
内ユニット5c,5fは定置の部分に対する可能なラン
ナ3の新しい位置決めを行うことができるように主負荷
に対して逆向きに移動可能である。位置決めは案内ユニ
ット5c,5fに配属された調節ユニット8により行わ
れる。調節ユニット8と案内ユニット5との相互関係は
図2、図3に基づきかつ制御装置は図4に基づき記載さ
れる。Both guide units 5c, 5f, which take up the vertical positioning, are movable in the opposite direction to the main load so that a new positioning of the possible runners 3 with respect to the stationary part can be made. The positioning is performed by the adjusting unit 8 assigned to the guide units 5c and 5f. The interrelationship between the adjusting unit 8 and the guiding unit 5 is described on the basis of FIGS. 2 and 3 and the control device on the basis of FIG.
【0015】案内ユニット5cと案内レール4は案内軸
7に関して互いに向き合って調節可能である。案内軸7
は案内ユニット5a〜5fが所属の案内レール4に沿っ
て運動する運動方向の軸である。調節装置8は固定ねじ
12を介してコラム2に固定可能な調節ケーシング11
と調節部材14とを有している。調節ケーシング11は
2つの孔16を有し、該孔16内にはピストン15が受
容されている。ピストン15と孔16は一緒になって調
節部材14を形成する。両方の調節部材14は案内軸7
と同一平面内に位置し、案内軸に対して垂直な調節運動
を生ぜしめる調節軸32を有している。案内路6は案内
軸7に対して平行に延びている。この実施例の場合には
調節軸32も案内路に垂直に延びている。両方のピスト
ン15をシールするためにはそれぞれシール部材17が
孔16に設けられている。コラム2に対して調節ケーシ
ング11をシールすることは同様にシール部材18によ
り行われる。コラム2に向かって形成されたシリンダ室
には圧力媒体孔を介して圧力媒体が供給可能である。案
内ユニット5cの接触面に向かってはカバープレート1
0が設けられている。該カバープレートは制限されて調
節可能に保たれている。正確な案内と力の伝達を達成す
るためにはカバープレート10は調節ケーシング11と
ピン13を介して結合されている。さらに調節ユニット
8は2つの間隔測定部材20を有している。この間隔測
定部材20は同様に案内軸7の上にセンタリングして配
置されており、基準面として構成された案内面6に対す
る間隔を測定するために役立つ。案内ユニット5cは固
定ねじ9を介してカバープレート10と結合されてい
る。案内ユニット5cを調節ユニット8と共に最初に組
み込むときに最初の位置決めが行われ、ランナ3に平行
案内性が与えられる。この場合、各調節部材14に1つ
配属されている両方の間隔測定部材20は、元来調節す
るときに基準面として役立つ案内路6に対して調整され
た基準値に対する間隔変化を確認する。測定値は増幅器
において増幅され、比較器に送られる。この比較器は同
時に調整器として構成され、符号23で示されている。
この調整器23は測定された値と基準値との間の偏差を
求め、所属の電気液圧式の多方向制御弁24を制御す
る。この多方向制御弁24を介して圧力タンク25から
圧力媒体が調節部材14に、ひいてはピストン15を動
かすために供給されるか又は形成されたシリンダ室から
排出される。圧力タンク25にはポンプ27により圧力
制限弁26を介して圧力媒体が供給される調節ユニット
8を有する反対側の案内ユニット5fの調節部材14、
ひいてはピストン15は相応に逆向きに制御されること
ができる。The guide unit 5c and the guide rail 4 are adjustable with respect to each other with respect to the guide shaft 7. Guide shaft 7
Is the axis of the movement direction in which the guide units 5a to 5f move along the associated guide rail 4. The adjusting device 8 is an adjusting casing 11 which can be fixed to the column 2 via fixing screws 12.
And an adjusting member 14. The adjusting casing 11 has two holes 16 in which a piston 15 is received. The piston 15 and the bore 16 together form the adjusting member 14. Both adjusting members 14 have a guide shaft 7
Has an adjusting shaft 32 which lies in the same plane as and which causes an adjusting movement perpendicular to the guide axis. The guide path 6 extends parallel to the guide shaft 7. In the case of this embodiment, the adjusting shaft 32 also extends perpendicularly to the guideway. In order to seal both pistons 15, a sealing member 17 is provided in each hole 16. The sealing of the adjusting casing 11 with respect to the column 2 is likewise effected by the sealing element 18. The pressure medium can be supplied to the cylinder chamber formed toward the column 2 through the pressure medium hole. The cover plate 1 faces the contact surface of the guide unit 5c.
0 is provided. The cover plate is kept restricted and adjustable. In order to achieve precise guidance and force transmission, the cover plate 10 is connected to the adjusting casing 11 via pins 13. Furthermore, the adjusting unit 8 has two distance measuring members 20. The distance measuring member 20 is likewise centered on the guide shaft 7 and serves for measuring the distance to the guide surface 6 which is designed as a reference surface. The guide unit 5c is connected to the cover plate 10 via a fixing screw 9. When the guide unit 5c is first installed with the adjusting unit 8, an initial positioning is carried out and the runner 3 is provided with parallel guidance. In this case, both distance measuring members 20, one assigned to each adjusting member 14, check the distance change with respect to the reference value adjusted for the guideway 6 which originally serves as a reference surface when adjusting. The measured value is amplified in the amplifier and sent to the comparator. This comparator is also configured as a coordinator and is designated by the reference numeral 23.
This regulator 23 determines the deviation between the measured value and the reference value and controls the associated electrohydraulic multidirectional control valve 24. Via this multidirectional control valve 24, the pressure medium from the pressure tank 25 is supplied to the adjusting member 14 and thus to the piston chamber 15 which is supplied or discharged to form a cylinder chamber. The pressure tank 25 has an adjusting unit 8 to which the pressure medium is supplied by a pump 27 via a pressure limiting valve 26, the adjusting member 14 of the guide unit 5f on the opposite side,
The piston 15 can accordingly be controlled accordingly in the opposite direction.
【0016】図5と図6は調節ユニット8の二者択一的
な構成を示している。調節ケーシング11とカバープレ
ート10は楔(バイアス楔28)として構成され、予備
調節を行うことができるようになっている。すなわち、
組み込むときに所望の平行案内性が得られるようになっ
ている。調節部材14は弁ケーシング11内に配置され
た4つの圧電アクチェータ29を有しており、これらの
圧電アクチェータのそれぞれ2つはそれぞれ図7に示し
た比較器と調整器23の形をした制御ユニットと間隔測
定部材20とを介してかつ高電圧電網部分のための制御
装置を介して制御される。カバープレート10と調節ケ
ーシング11とをバイアス楔28として構成することに
より、調節のために当初必要な大きい調節距離が生ぜし
められる。次いで圧電調節部材14は負荷に起因する変
化の修正のためだけに利用される。圧電調節部材14に
おいて達成可能な調節距離は液圧式の調節部材の場合よ
りもきわめて小さいが、その代わりにきわめて正確であ
る。この理由から必要なバイアスはまず有利にはバイア
ス楔で従来の形式で、図5に示されているように調節さ
れる。調節するためにはバイアス楔と統合された調節ユ
ニット14とが設けられている。圧電調節部材14にお
ける調整費用は液圧式の制御の場合よりも小さい。5 and 6 show alternative constructions of the adjusting unit 8. The adjustment casing 11 and the cover plate 10 are configured as wedges (bias wedges 28) so that a preliminary adjustment can be performed. That is,
The desired parallel guidance is obtained when assembled. The adjusting member 14 has four piezoelectric actuators 29 arranged in the valve casing 11, each two of these piezoelectric actuators having a control unit in the form of a comparator and a regulator 23 shown in FIG. And the distance measuring member 20 and via the control device for the high-voltage grid section. By configuring the cover plate 10 and the adjustment casing 11 as bias wedges 28, the large adjustment distance initially required for adjustment is created. Piezoelectric adjustment member 14 is then utilized only to correct load-induced changes. The adjustment distance achievable with the piezoelectric adjusting member 14 is much smaller than with a hydraulic adjusting member, but is instead very precise. For this reason, the required bias is first adjusted, preferably in the conventional manner with a bias wedge, as shown in FIG. A biasing wedge and an integrated adjusting unit 14 are provided for adjusting. The adjustment cost of the piezoelectric adjusting member 14 is smaller than that of the hydraulic control.
【0017】図8から図10までには案内の二者択一的
な構成が示されている。これはランナ3がローラ循環ユ
ニットを介してコラム2に固定された案内レール4に沿
って案内される案内である。ローラ循環ユニットは案内
レール4を取り囲んでいる。循環案内ユニットは案内軸
7に対して互いに向き合って傾けられた案内路6に沿っ
て転動可能であるので、垂直力も水平力も受容すること
ができる。2つの調節部材14はそれらの調節軸32が
直接的に案内軸7と交差するように互いに間隔をおいて
配置されている。さらに両方の第1の調節部材14、2
つの別の調節部材14、第1の及び案内軸7の上に配置
された調節部材14の両方の調節軸32を含む結合平面
は同じ間隔をおいて交差して配置されている。平行な案
内レールの上に案内された案内ユニットの場合には付加
的な調節部材14だけが間隔測定器と共に案内ユニット
に配属されている。この場合、その調節軸32は前述の
平面に対して平行に延びている。さらに第1の間隔測定
器20が両方の第1の、案内軸7の上に配置された調節
部材14のために存在している。両方の他の、これに対
して横方向に配置されかつ案内軸7を同じ間隔で交差す
る調節部材14には別の間隔測定器20が配属されてい
る。両方の第1の調節部材14の制御は図4に示された
ものに相当する。調節部材14はピストンシリンダユニ
ットとして構成されている。この場合にも同様に、ピス
トン15のための孔16が設けられている調節ケーシン
グが存在している。さらに調節ケーシング11は両方の
間隔測定器20を保持している。案内レール4の上方の
面は間隔測定器のための基準面31として役立つ。8 to 10 show alternative configurations of guidance. This is a guide in which the runner 3 is guided along a guide rail 4 fixed to the column 2 via a roller circulation unit. The roller circulation unit surrounds the guide rail 4. Since the circulation guiding unit is rollable along the guideways 6 which are inclined with respect to the guide shaft 7 facing each other, both vertical and horizontal forces can be received. The two adjusting elements 14 are arranged at a distance from each other such that their adjusting axes 32 directly intersect the guide axis 7. Furthermore, both first adjusting members 14, 2
The coupling planes, which include the adjusting shafts 32 of the two further adjusting members 14, both the first and the adjusting member 14 arranged on the guide shaft 7, are arranged at equal intervals and intersecting. In the case of a guide unit guided on parallel guide rails, only the additional adjusting member 14 is associated with the guide unit together with the distance measuring device. In this case, the adjusting shaft 32 extends parallel to the aforementioned plane. Furthermore, a first distance measuring device 20 is present for both first, adjusting members 14 arranged on the guide shaft 7. A further distance measuring device 20 is assigned to both of the other, laterally arranged, adjusting elements 14 arranged transverse to this and intersecting the guide shafts 7 at the same distance. The control of both first adjusting members 14 corresponds to that shown in FIG. The adjusting member 14 is configured as a piston cylinder unit. In this case as well, there is an adjusting casing in which a bore 16 for the piston 15 is provided. Furthermore, the adjusting casing 11 holds both distance measuring devices 20. The upper surface of the guide rail 4 serves as a reference surface 31 for the distance measuring device.
【0018】図8から図10までに示された実施例のた
めには液圧式の調節の代わりに、図5から図7までに記
述した圧電部材を介した調節装置を用いることもでき
る。図8から図10まで示した構造で、特に調節部材と
して圧電部材を有する構造の利点はきわめて正確な案内
にある。何故ならば案内ユニット5は案内軸7と前もっ
て組み立てられ、工場から発送するときに既にバイアス
が与えられているからである。このように装備された直
線案内装置は例えば測定器のテーブルのために適してい
る。この場合にはばね値は負荷を受けた状態で最大0.
02mmである。調節部材14を介してさらに改善され
た案内性が達成されるかもしくはばね値は補償される。
この場合にはピストンと圧電部材を調節部材として組合
すことにより、特に細かい調節が達成される。何故なら
ばピストンは粗い調節を引き受け、圧電部材は細かい調
節に用いられるからである。このような圧電調節部材は
圧力を生ぜしめることができ、アクチェータと呼ぶこと
がき、電圧をかけた場合に例えばその厚さの0.1%ま
で膨張するという性質を有している。したがって厚さ1
0mmの部材においては例えば0.01mm厚さが増大
する。ピストン調節と圧電部材を介する調節の組合せ
は、大きい調節距離が必要である場合に構成高さの減少
を可能にする。これは圧電部材を用いた構成にも当嵌ま
る。Instead of the hydraulic adjustment for the embodiment shown in FIGS. 8 to 10, it is also possible to use the adjusting device via a piezoelectric element described in FIGS. 5 to 7. The advantage of the construction shown in FIGS. 8 to 10, in particular with a piezoelectric element as the adjusting element, lies in the very precise guidance. This is because the guide unit 5 is preassembled with the guide shaft 7 and is already biased when shipped from the factory. A linear guidance device equipped in this way is suitable, for example, for a measuring table. In this case, the maximum spring value is 0.
It is 02 mm. Through the adjusting member 14, a further improved guideability is achieved or the spring value is compensated.
In this case, a particularly fine adjustment is achieved by combining the piston and the piezoelectric element as an adjusting element. This is because the piston takes on the coarse adjustment and the piezoelectric element is used for the fine adjustment. Such a piezoelectric adjusting member can generate pressure and is called an actuator, and has a property of expanding to 0.1% of its thickness when a voltage is applied. Therefore thickness 1
For a 0 mm member, for example, a 0.01 mm thickness increase. The combination of the piston adjustment and the adjustment via the piezo member allows a reduction of the construction height when a large adjustment distance is required. This also applies to a configuration using a piezoelectric member.
【0019】図11にはテーブル3が2つの平行な案内
レール4に沿ってローラ循環シューユニット5aから5
dとして構成された案内ユニットを介在させて運動可能
である直線案内装置1bが示されている。さらにそれぞ
れローラ循環シューユニット5aから5dまでに隣接し
て緩衝往復台33が配置されている。このような緩衝往
復台33は案内レール4に沿ったテーブル3の運動を緩
衝するために用いられる。In FIG. 11, the table 3 is provided with two roller guide shoe units 5a to 5 along two parallel guide rails 4.
A linear guide device 1b is shown which is movable through a guide unit configured as d. Further, a buffer carriage 33 is arranged adjacent to each of the roller circulation shoe units 5a to 5d. Such a buffer carriage 33 is used to buffer the movement of the table 3 along the guide rail 4.
【0020】案内ユニットに加えて、すなわちローラ循
環シューユニット5aから5fまでに加えて、緩衝往復
台33も調節ユニットとして構成されているか、もしく
は調節ユニットを備えている。この場合には、図12と
13とから判るように緩衝器ケーシング34は挿入体3
5を備えている。緩衝器ケーシング34は案内レール4
の断面形をわずかなすき間をおいて取り囲んでおり、こ
のすき間に油が供給される。緩衝往復台33は同様に案
内レール4により与えられている案内軸7に沿って調節
可能である。緩衝器ケーシング34内では圧電アクチェ
ータ29が切欠き36に受容されかつ支えられている。
圧電アクチェータ29はさらに緩衝器ケーシング34に
沿って運動可能な支持プレート37に支えられている。
2つの間隔測定器20は支持プレート37の孔に固定さ
れ、案内レール4の両方の基準面6に対する間隔を測定
する。間隔測定器20は緩衝器ケーシング34における
切欠きを通って基準面6に向かって突出する。支持プレ
ート37は緩衝器ケーシング34に運動可能に支えられ
て結合されている。緩衝器ケーシング34はテーブル3
と結合されているが、しかし圧電アクチェータ29によ
る調節の枠内で、緩衝器ケーシング34を固定するねじ
の弾性的な変形による伸長又は短縮によって基準面6に
対するテーブル3の間隔を変えるために相対運動を可能
にするようになっている。調節ユニットの回路と機能は
図5と図6と関連したものに相当する。In addition to the guide unit, that is to say in addition to the roller circulation shoe units 5a to 5f, the buffer carriage 33 is also configured as an adjusting unit or comprises an adjusting unit. In this case, as seen in FIGS. 12 and 13, the shock absorber casing 34 is attached to the insert 3
It is equipped with 5. The shock absorber casing 34 is the guide rail 4
It surrounds the cross-sectional shape with a slight gap, and oil is supplied to this gap. The buffer carriage 33 is likewise adjustable along the guide shaft 7 provided by the guide rail 4. In the shock absorber casing 34, the piezoelectric actuator 29 is received and supported in the cutout 36.
The piezoelectric actuator 29 is further supported by a support plate 37 which is movable along the shock absorber casing 34.
The two distance measuring devices 20 are fixed in the holes of the support plate 37 and measure the distance between the guide rails 4 and both reference planes 6. The distance measuring device 20 projects toward the reference plane 6 through a notch in the shock absorber casing 34. The support plate 37 is movably supported and connected to the shock absorber casing 34. The shock absorber casing 34 is the table 3
However, in the frame of adjustment by the piezoelectric actuator 29, relative movement is performed to change the distance of the table 3 with respect to the reference plane 6 by stretching or shortening by elastic deformation of the screw fixing the shock absorber casing 34. Is made possible. The circuit and function of the adjusting unit correspond to those associated with FIGS.
【0021】図14には同時に調節ユニット8として構
成された、緩衝楔41を有するテーブルガイドの横断面
が示され、図17には図14のXVII−XVII線に
沿った断面が示されている。この場合には図17から判
るようにそれぞれ2つの案内ユニット5と緩衝楔41と
がそれぞれ1対を成して相前後して配置されている。図
面には2つの実施例が示されている。図14の左側の半
分には緩衝楔として構成された調節ユニットは図2から
図8までと関連して記述した原理を有するピストンシリ
ンダ装置として構成されているが、図15に示されてい
るように調節ケーシング11は案内ユニット5の横に配
置されている。調節ケーシング11は基準面として役立
つ案内路6に向かって調節ケーシングに対してピストン
15により調節可能な、滑りライニング39を有する滑
りプレート38を介して案内路6に支えられている。滑
りプレート38はピン継手40を介して調節ケーシング
11と運動可能に結合されている。FIG. 14 shows a cross section of a table guide with a cushioning wedge 41, which is simultaneously constructed as an adjusting unit 8, and FIG. 17 shows a cross section along the line XVII-XVII of FIG. .. In this case, as can be seen from FIG. 17, the two guide units 5 and the buffer wedges 41 are respectively arranged in pairs to be arranged one behind the other. Two embodiments are shown in the drawings. In the left half of FIG. 14, the adjusting unit, which is configured as a buffer wedge, is configured as a piston-cylinder device having the principle described in connection with FIGS. 2 to 8, but as shown in FIG. The adjusting casing 11 is arranged next to the guide unit 5. The adjusting casing 11 is supported on the guideway 6 via a sliding plate 38 with a sliding lining 39, which is adjustable by means of a piston 15 against the adjusting casing 6 towards the guideway 6 which serves as a reference surface. The sliding plate 38 is movably connected to the adjusting casing 11 via a pin joint 40.
【0022】図14の右側の半分には調節ユニット8と
して構成された緩衝楔が示されている。この場合には調
節機能は圧電アクチェータ29により発揮される。圧電
アクチェータ29は調節ケーシング11(図16)に受
容され、一方では支持プレート37に支えられ、この支
持プレート37を介してテーブル3に支持されて、他方
では滑りプレート38に支えられている。滑りライニン
グ39を備えた滑りプレート38は案内路6に支えられ
ている。滑りプレート38はピン継手40を介して調節
ケーシング11に運動可能に保持されている。調節及び
間隔測定器20と圧電アクチェータ29との協働は図5
から図7までに用いて記述したものに相当する。緩衝楔
として構成された調節ユニット8は案内ユニット5の横
に配置されている。In the right-hand half of FIG. 14, a cushioning wedge configured as the adjusting unit 8 is shown. In this case, the adjusting function is exerted by the piezoelectric actuator 29. The piezoelectric actuator 29 is received in the adjusting casing 11 (FIG. 16) and is supported on the one hand by a support plate 37, via this support plate 37 on the table 3 and on the other hand by a slide plate 38. A slide plate 38 with a slide lining 39 is supported on the guideway 6. The sliding plate 38 is movably held on the adjusting casing 11 via a pin joint 40. The cooperation between the adjusting and distance measuring device 20 and the piezoelectric actuator 29 is shown in FIG.
7 to FIG. 7 and correspond to those described. The adjusting unit 8, which is embodied as a buffer wedge, is arranged next to the guide unit 5.
【図1】直線案内装置の典型的な構成の横断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view of a typical configuration of a linear guide device.
【図2】図1の部分2の部分断面図。2 is a partial cross-sectional view of a portion 2 of FIG.
【図3】図2のIII−III線に沿った断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.
【図4】図2による構造の制御に関するブロック図。4 is a block diagram relating to the control of the structure according to FIG.
【図5】圧電調節部材を有する実施例を示した図。FIG. 5 is a diagram showing an embodiment having a piezoelectric adjusting member.
【図6】図5のVI−VI線に沿った断面図。6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG.
【図7】図5と図6に示した実施例のブロック図。7 is a block diagram of the embodiment shown in FIGS. 5 and 6. FIG.
【図8】案内ユニットとしてローラ循環ユニットを有す
る往復台案内の横断面図。FIG. 8 is a transverse sectional view of a carriage guide having a roller circulation unit as a guide unit.
【図9】図8の側面図。9 is a side view of FIG.
【図10】図9のX−X線に沿った断面図。10 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG.
【図11】案内レールに沿った案内ユニットと緩衝往復
台とを移動可能なテーブルを有する直線案内装置。FIG. 11 is a linear guide device having a table capable of moving a guide unit along a guide rail and a buffer carriage.
【図12】図11の緩衝往復台の案内レールに対する配
属を示した詳細図。12 is a detailed view showing the assignment of the buffer carriage of FIG. 11 to a guide rail.
【図13】図12のXIII−XIII線に沿った断面
図。13 is a sectional view taken along line XIII-XIII in FIG.
【図14】異なる原理で構成された2つの緩衝楔と共に
直線案内装置を示した断面図。FIG. 14 is a cross-sectional view showing a linear guide device with two cushioning wedges constructed according to different principles.
【図15】図14の左半分に示した調節のための油圧式
ピストンシリンダ装置の構造を示した図。15 is a view showing the structure of a hydraulic piston cylinder device for adjustment shown in the left half of FIG.
【図16】図14の右半分に示した圧電アクチェータを
有する調節装置の拡大図。16 is an enlarged view of the adjusting device having the piezoelectric actuator shown in the right half of FIG.
【図17】図14のXVII−XVII線に沿った断面
図。17 is a cross-sectional view taken along the line XVII-XVII in FIG.
1,1a,1b,1c 直線案内装置、 2 コラム、
3 ランナ/テーブル、 4 案内レール、 5,5
a,5c,5d,5e,5f 案内ユニット、6 案内
路/基準面、 7 案内軸、 7a 平行線、 8 調
節ユニット、9 固定ねじ、 10 カバープレート、
11 調節軸、 12 固定ねじ、 13 ピン、
15 ピストン、 16 孔、 17,18 シール、
19 圧力媒体孔、 20 間隔測定器、 21 潤
滑剤孔、 22 測定値増幅器、 23 比較器、 2
4 弁、 25 圧力タンク、 26 圧力制限弁、2
7 ポンプ、 28 バイアス楔、 29 圧電アクチ
ェータ、 30 制御装置、 31 基準面、 32
調節軸、 33 緩衝往復台、 34 緩衝ケーシン
グ、 35 挿入体、 37 切欠き、 37 支持プ
レート、 38滑りプレート、 39 滑りライニン
グ、 40 ピン継手、 41 緩衝楔1, 1a, 1b, 1c Linear guide device, 2 columns,
3 runners / tables, 4 guide rails, 5, 5
a, 5c, 5d, 5e, 5f guide unit, 6 guide path / reference plane, 7 guide shaft, 7a parallel line, 8 adjusting unit, 9 fixing screw, 10 cover plate,
11 adjusting shaft, 12 fixing screw, 13 pin,
15 pistons, 16 holes, 17, 18 seals,
19 pressure medium hole, 20 interval measuring device, 21 lubricant hole, 22 measured value amplifier, 23 comparator, 2
4 valves, 25 pressure tanks, 26 pressure limiting valves, 2
7 Pump, 28 Bias Wedge, 29 Piezoelectric Actuator, 30 Control Device, 31 Reference Plane, 32
Adjustment shaft, 33 shock absorber carriage, 34 shock absorber casing, 35 insert, 37 notch, 37 support plate, 38 slide plate, 39 slide lining, 40 pin joint, 41 shock absorber wedge
Claims (12)
属され、緩衝部材又は所定の案内長さの案内ユニットと
して構成された少なくとも1つの案内部材とを有し、該
案内部材が1つの案内軸に沿って互いに相対運動可能で
ある形式の直線案内装置において、案内部材(5,5a
−5f,33)の少なくとも1つに又は1つの案内路
(6)に沿って複数の案内部材(5a−5f,33,4
1)が運動可能である場合にはこれらに共通に、案内路
(7)又はこれに対する平行線(7a)に対して直角に
調節可能でかつ互いに間隔を置いた2つの調節部材(1
4)が所属しており、これらの調節部材(14)の調節
軸(32)が案内路(6)の案内軸線(7)又はこれに
対する平行線(7a)と交差しているか又は同じ間隔を
おいて交差しており、各案内部材又は各案内部材のグル
ープの調節部材(14)のグループに、案内路(6)に
沿って延びている基準面(6,31)に対する間隔を測
定するための間隔測定器(20)がそれぞれ1つ配属さ
れており、さらに比較器(23)と調節部材(14)を
比較器(23)により確認された基準値からの偏差に応
じて調節するための調整器(23)とが設けられている
ことを特徴とする、直線案内装置。1. At least one guide path and at least one guide member assigned to each guide path and configured as a buffer member or a guide unit of a predetermined guide length, the guide member being one guide. In a linear guide device of the type that is movable relative to one another along an axis, the guide members (5, 5a
-5f, 33) or a plurality of guide members (5a-5f, 33, 4) along at least one of the guideways (6).
In common with these, when 1) is movable, two adjusting members (1) which are adjustable at right angles to the guideway (7) or its parallel line (7a) and are spaced from each other.
4) to which the adjusting shafts (32) of these adjusting members (14) intersect or have the same spacing as the guide axis (7) of the guideway (6) or the parallel line (7a) to it. For measuring the distance to a reference plane (6, 31) that extends along the guideway (6) to each guide member or group of adjusting members (14) of each guide member. 1 of each of the space measuring devices (20) is assigned, and further for adjusting the comparator (23) and the adjusting member (14) according to the deviation from the reference value confirmed by the comparator (23). A linear guide device, characterized in that an adjusting device (23) is provided.
て直角に調節可能な別の調節部材(14)が設けられ、
該調節部材(14)の調節軸(32)が両方の第1の調
節部材(14)の調節軸(32)の1つに対して平行に
延びている、請求項1記載の直線案内装置。2. At least one further adjusting member (14), which is also adjustable at right angles to the guide axis, is provided,
2. The linear guide device according to claim 1, wherein the adjusting shaft (32) of the adjusting member (14) extends parallel to one of the adjusting shafts (32) of both first adjusting members (14).
されている、請求項1記載の直線案内装置。3. The linear guide device according to claim 1, wherein the reference surface is formed by a guide path (6, 31).
れ、案内ユニット(5,5a−5f)がエンドレスの列
を成して循環案内された、案内路(6)に沿って転動す
る転動体により構成された転動案内装置を成している、
請求項1記載の直線案内装置。4. A rolling element rolling along a guide path (6), wherein the guide member is configured as a guide unit, and the guide units (5, 5a-5f) are cyclically guided in endless rows. It is composed of rolling guide device,
The linear guide device according to claim 1.
構成されている、請求項4記載の直線案内装置。5. The linear guide device according to claim 4, wherein the rolling elements are configured as rollers, balls or needles.
り、緩衝部材が案内路(6)を少なくとも部分的に狭い
すき間をおいて取囲む緩衝往復台(33)として構成さ
れている、請求項1記載の直線案内装置。6. The guide member is embodied as a buffer member, the buffer member being embodied as a buffer carriage (33) which surrounds the guide channel (6) at least partially with a narrow gap. The linear guide device according to 1.
り、緩衝部材が案内路(6)の面の1つに対して狭いす
き間を形成する緩衝楔である、請求項1記載の直線案内
装置。7. A straight guide device according to claim 1, wherein the guide member is designed as a cushioning member, the cushioning member being a cushioning wedge forming a narrow gap with respect to one of the faces of the guideway (6). ..
トンシリンダユニットとして構成されている、請求項1
記載の直線案内装置。8. The adjusting member (14) is configured as a pressure-loadable piston-cylinder unit.
The linear guide device described.
あるか又はグリース圧で負荷可能である、請求項8記載
の直線案内装置。9. The linear guide device according to claim 8, wherein the adjusting member (14) is hydraulically loadable or grease pressure loadable.
ものとして構成されている、請求項1記載の直線案内装
置。10. The linear guide device according to claim 1, wherein the adjusting member (14) is designed to act piezoelectrically.
械式、電気式又は電子式の測定フィーラ又は圧電メータ
として構成されている、請求項1記載の直線案内装置。11. The linear guidance device according to claim 1, wherein the distance measuring device (20) is configured as a mechanical, electromechanical, electric or electronic measuring feeler or a piezoelectric meter.
ィーラとして構成されている場合に、この測定フィーラ
が誘導式又は容量式に働く接近センサとして構成されて
いる、請求項11記載の直線案内装置。12. A straight line according to claim 11, characterized in that, if the distance measuring device (20) is designed as an electrical measuring feeler, the measuring feeler is constructed as an inductive or capacitive proximity sensor. Guidance device.
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