JP2007054953A - Positioning device - Google Patents

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JP2007054953A JP2006313823A JP2006313823A JP2007054953A JP 2007054953 A JP2007054953 A JP 2007054953A JP 2006313823 A JP2006313823 A JP 2006313823A JP 2006313823 A JP2006313823 A JP 2006313823A JP 2007054953 A JP2007054953 A JP 2007054953A
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Toshinori Sato
俊徳 佐藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positioning device which makes accurate positioning and is made compact. <P>SOLUTION: The positioning device is equipped with: a bearing 3 secured to the undersurface of a table 2 and supporting the table 2 floating from a base 1; a first straight guiding bearing 5 installed on one side face 2a extending in the X-direction of the table 2 and guiding the table 2 movably in the X-direction; a first actuator 6 to advance and retreat the bearing 5 in the Y-direction; a first energizing means 10 installed on the opposite side face 2b, admitting movement of the table 2 in the X-direction, and energizing the table 2 toward the bearing 5; a second straight guiding bearing 7 installed on side face 2c extending in the Y-direction of the table 2 and guiding the table 2 movably in the Y-direction; a second actuator 8 to advance and retreat the bearing 7 in the X-direction; and a second energizing means 20 installed on the side face 2d on opposite side, admitting movement of the table 2 in the Y-direction, and energizing the table 2 toward the bearing 7. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、テーブルを平面上で移動して任意な位置に位置決めを行う位置決め装置に関するものである。   The present invention relates to a positioning device that moves a table on a plane and positions the table at an arbitrary position.

従来のこの種の位置決め装置は、二つの一軸テーブルを直交させた状態で積み重ねた構造が一般的である。
即ち、従来の位置決め装置は、図6及び図7に示すように、X方向にのみ移動可能に規制されたXテーブル50の上に、Y方向(上記X方向と同一平面で直交する方向)にのみ移動可能に規制されたYテーブル51が配設されており、Yテーブル51の上面が位置決めすべき位置決め面とされている。そして、互いに直交するXテーブル50及びYテーブル51を個々に進退させることで、Yテーブル51上面の位置決め面が、任意な2次元方向に移動して所定位置に位置決めされる。
A conventional positioning device of this type generally has a structure in which two uniaxial tables are stacked in an orthogonal state.
That is, as shown in FIGS. 6 and 7, the conventional positioning device is arranged in the Y direction (in the same plane as the X direction) on the X table 50 restricted to be movable only in the X direction. Only the Y table 51 restricted so as to be movable is disposed, and the upper surface of the Y table 51 is a positioning surface to be positioned. Then, the X table 50 and the Y table 51 that are orthogonal to each other are individually advanced and retracted, whereby the positioning surface on the upper surface of the Y table 51 moves in an arbitrary two-dimensional direction and is positioned at a predetermined position.

Xテーブル50は基台53に固定されたX軸用ガイドレール52に支持されており、該X軸用ガイドレール52は軸心をX方向に向けて配設されてXテーブル50のX方向以外の移動を規制する。また、Xテーブル50にはボールネジのネジ棒54aが固定されており、該ネジ棒54aは軸心をX方向に向けて配置されている。ネジ棒54aに螺合するナット部材をX軸用ガイドレール52に固定したモータ55により回転駆動させることによって、Xテーブル50がX方向に進退する。ここで、ボールネジ及びモータ55により、Xテーブル50を駆動するアクチュエータが構成される。   The X table 50 is supported by an X-axis guide rail 52 fixed to the base 53, and the X-axis guide rail 52 is disposed with its axis oriented in the X direction, and other than the X direction of the X table 50. Regulate the movement of A ball screw screw rod 54a is fixed to the X table 50, and the screw rod 54a is arranged with its axis oriented in the X direction. The X table 50 advances and retreats in the X direction by rotationally driving a nut member screwed to the screw rod 54 a by a motor 55 fixed to the X-axis guide rail 52. Here, the ball screw and the motor 55 constitute an actuator that drives the X table 50.

また、Xテーブル50の上面にはY軸用ガイドレール56が軸心をY方向に向けて固定されており、該Y軸用ガイドレール56上にはYテーブル51が配設されている。したがって、Yテーブル51はY方向以外の移動をY軸用ガイドレール56によって規制される。Yテーブル51も、Xテーブル50用のアクチュエータと同様な、即ち、Yテーブル51に固定されたボールネジのネジ棒57に螺合するナット部材を回転駆動するモータ58を有するアクチュエータにより、Y方向に向けて進退する。ボールネジとY軸用ガイドレール56に固定したモータ58とによりYテーブル51を駆動するアクチュエータが構成される。   A Y-axis guide rail 56 is fixed on the upper surface of the X table 50 with its axis oriented in the Y direction, and a Y table 51 is disposed on the Y-axis guide rail 56. Therefore, the Y table 51 is restricted from moving in the direction other than the Y direction by the Y-axis guide rail 56. The Y table 51 is also the same as the actuator for the X table 50, that is, the Y table 51 is directed in the Y direction by an actuator having a motor 58 that rotationally drives a nut member screwed into a screw rod 57 of a ball screw fixed to the Y table 51 To advance and retreat. The ball screw and the motor 58 fixed to the Y-axis guide rail 56 constitute an actuator that drives the Y table 51.

また、上記Xテーブル50のX方向に延在する一方の側面には、X方向に沿ってスケール59が取り付けられ、該スケール59とY方向で水平に対向して基台53にはX軸用の位置検出器60が配設される。そして、この位置検出器60によって、Xテーブル50のX方向の位置を検出し、その検出結果がX軸用のアクチュエータのコントローラにフィードバックされる。   Further, a scale 59 is attached to one side surface of the X table 50 extending in the X direction along the X direction. The scale 53 is horizontally opposed to the scale 59 in the Y direction, and the base 53 is for the X axis. The position detector 60 is arranged. The position detector 60 detects the position of the X table 50 in the X direction, and the detection result is fed back to the controller of the X-axis actuator.

同様に、Yテーブル51のY方向に延在する一方の側面には、Y方向に沿ってスケール61が設けられ、該スケール61とX方向で水平に対向してXテーブル50にはY軸用の位置検出器62が配設される。そして、この位置検出器62によって、Yテーブル51のY方向の位置を検出し、その検出結果がY軸用のアクチュエータのコントローラにフィードバックされる。   Similarly, on one side surface of the Y table 51 extending in the Y direction, a scale 61 is provided along the Y direction. The scale 61 is horizontally opposed to the scale 61 in the X direction, and the X table 50 is for the Y axis. The position detector 62 is disposed. The position detector 62 detects the position of the Y table 51 in the Y direction, and the detection result is fed back to the controller of the Y-axis actuator.

さらに、精密な位置決めを行うため、各ガイドレール52,56の案内面側には、各テーブル50,51の進退方向に沿って静圧気体軸受が設けられ、その静圧気体軸受によって、Xテーブル50及びYテーブル51はそれぞれ各ガイドレール50,51の案内面と非接触状態で支承され、その状態で該案内面に沿って移動可能となっている。   Furthermore, in order to perform precise positioning, a static pressure gas bearing is provided on the guide surface side of each guide rail 52, 56 along the advancing / retreating direction of each table 50, 51. 50 and Y table 51 are supported in a non-contact state with the guide surfaces of the guide rails 50 and 51, respectively, and can move along the guide surfaces in that state.

しかしながら、かかる従来の位置決め装置においては、次に示すような問題点がある。
即ち、Xテーブル50上にYテーブル51が積み重ねられて支持される構造であるので、基台53から見たYテーブル51の剛性は、Xテーブル50を支承するXテーブル50とX軸用ガイドレール52との間の軸受の剛性KXと、Yテーブル51を支承するYテーブル51とY軸用ガイドレール56との間の軸受の剛性KYとが直列ばねとなって影響する。この結果、上記位置決め面を構成するYテーブル51の軸受の剛性KZは、次式で表されるような低いものとなる。
However, such a conventional positioning device has the following problems.
That is, since the Y table 51 is stacked and supported on the X table 50, the rigidity of the Y table 51 viewed from the base 53 is such that the X table 50 that supports the X table 50 and the X-axis guide rail. The bearing stiffness KX between the Y table 51 and the bearing stiffness KY between the Y table 51 supporting the Y table 51 and the Y-axis guide rail 56 acts as a series spring. As a result, the bearing stiffness KZ of the Y table 51 that constitutes the positioning surface is low as represented by the following equation.

KZ=1/{(1/KX)+(1/KY)}
特に、位置決め精度を向上させるために、各テーブル50,51を支承する軸受として静圧気体軸受を採用する場合には上記影響はさらに大きくなる。即ち、外部からの振動が直列状に増幅されて上記位置決め面に伝達されることで、位置決め精度の悪化に繋がる。
また、Yテーブル51がその移動方向(Y方向)のストローク端に位置する場合とストローク中央に位置する場合とでは、Xテーブル50を支承する軸受に対する荷重負担が変化する。即ち、Xテーブル50はYテーブル51の荷重を受けているので、Yテーブル51がストローク中央に位置する場合には、Xテーブル50用の軸受には左右均等に荷重が分散されて負担されるが、Yテーブル51がストローク端に位置する場合には、Xテーブル50用の軸受にはYテーブル51が位置する側に荷重が集中して負担される。特に、Yテーブル51上に重量物が搭載された場合には、変化する負担荷重とXテーブル50を支承する軸受剛性との兼ね合いで、Y軸方向の上下方向の真直度が悪化する。このため、移動するYテーブル51に所定以上の上下変位が生じてしまうおそれがある。
KZ = 1 / {(1 / KX) + (1 / KY)}
In particular, when a static pressure gas bearing is employed as a bearing for supporting the tables 50 and 51 in order to improve positioning accuracy, the above-described influence is further increased. That is, vibration from the outside is amplified in series and transmitted to the positioning surface, which leads to deterioration of positioning accuracy.
Moreover, the load burden with respect to the bearing which supports X table 50 changes with the case where Y table 51 is located in the stroke end of the moving direction (Y direction), and the case where it is located in the stroke center. That is, since the X table 50 receives the load of the Y table 51, when the Y table 51 is located at the center of the stroke, the load is evenly distributed to the bearing for the X table 50 on the left and right. When the Y table 51 is located at the stroke end, a load is concentrated on the bearing for the X table 50 on the side where the Y table 51 is located. In particular, when a heavy object is mounted on the Y table 51, the straightness in the vertical direction in the Y-axis direction is deteriorated due to the balance between the changing load load and the bearing rigidity for supporting the X table 50. For this reason, the moving Y table 51 may be displaced more than a predetermined amount.

更に、X方向の位置を検出するためのスケールはXテーブル50に取り付けられるので、位置決めすべきYテーブル51の上面とX軸用の位置検出器60との上下方向の距離pが離れてしまう。このため、アッベの誤差が生じ、その分だけ位置決め精度が悪化する。この誤差は、Yテーブル51の上下変位によっても発生する。
更に、Yテーブル51を駆動するアクチュエータのモータはYテーブル51の重量に応じた荷重を負担するのに対して、X軸を駆動するアクチュエータのモータはXテーブル50、Y軸用ガイドレール56、Yテーブル51の全重量に応じた荷重を負担するために慣性が大きくなる。この結果、X軸方向の制御性が低下し、X方向の位置決め時間が長くなる。また、上記のように各モータが負担する荷重が異なるために、X軸用のアクチュエータを駆動する制御とY軸用のアクチュエータを駆動する制御とのゲイン調整が異なり、2種類の異なったゲイン調整作業が要求される。
Furthermore, since the scale for detecting the position in the X direction is attached to the X table 50, the vertical distance p between the upper surface of the Y table 51 to be positioned and the X axis position detector 60 is separated. For this reason, Abbe's error occurs, and the positioning accuracy deteriorates accordingly. This error also occurs due to the vertical displacement of the Y table 51.
Furthermore, the motor of the actuator that drives the Y table 51 bears a load corresponding to the weight of the Y table 51, whereas the motor of the actuator that drives the X axis is the X table 50, the Y axis guide rail 56, and the Y axis. Inertia increases because a load corresponding to the total weight of the table 51 is borne. As a result, the controllability in the X-axis direction is lowered and the positioning time in the X direction is lengthened. In addition, because the load applied to each motor is different as described above, the gain adjustment between the control for driving the X-axis actuator and the control for driving the Y-axis actuator is different, and two different gain adjustments are made. Work is required.

更に、X方向に移動するXテーブル50の上にYテーブル51を積み重ねた構造であるために装置を薄くするのが困難で小形化に限度がある。
本発明はかかる不都合を解消するためになされたものであり、高精度の位置決めが可能で且つ小型化が可能な位置決め装置を提供することを目的とする。
Furthermore, since the Y table 51 is stacked on the X table 50 that moves in the X direction, it is difficult to make the apparatus thin, and there is a limit to downsizing.
The present invention has been made to eliminate such inconveniences, and an object of the present invention is to provide a positioning device capable of highly accurate positioning and miniaturization.

かかる目的を達成するために、本発明に係る位置決め装置は、テーブルを基台に対してX方向に進退させると共に該X方向と同一平面上で直交するY方向に進退させて、該テーブルを任意の位置に位置決めする位置決め装置において、前記テーブルと前記基台との間に配置され、該テーブルを基台に対して浮上支持するテーブル支持軸受と、前記テーブルのX方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをX方向に移動可能に案内する第1の直線案内軸受と、該第1の直線案内軸受をY方向に進退駆動させる第1のアクチュエータと、前記テーブルのX方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのX方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第1の直線案内軸受側に付勢する第1の付勢手段と、前記テーブルのY方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをY方向に移動可能に案内する第2の直線案内軸受と、該第2の直線案内軸受をX方向に進退駆動させる第2のアクチュエータと、前記テーブルのY方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのY方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第2の直線案内軸受側に付勢する第2の付勢手段とを備えたことを特徴とする。   In order to achieve such an object, the positioning apparatus according to the present invention moves the table forward and backward in the X direction with respect to the base and advances and retracts the table in the Y direction orthogonal to the X direction. A table support bearing disposed between the table and the base and supporting the table in a floating manner, and one side extending in the X direction of the table A first linear guide bearing disposed on the side of the table for guiding the table so as to be movable in the X direction, a first actuator for driving the first linear guide bearing forward and backward in the Y direction, and the X direction of the table A first urging means disposed on the other side portion extending to the X side to allow the table to move in the X direction, and to urge the table toward the first linear guide bearing; Y of table A second linear guide bearing disposed on one side extending in the direction to guide the table so as to be movable in the Y direction; and a second linear guide bearing that drives the second linear guide bearing to advance and retract in the X direction. The actuator is disposed on the other side portion extending in the Y direction of the table to allow the table to move in the Y direction, and to urge the table toward the second linear guide bearing side. 2 urging means.

本発明の位置決め装置では、位置決めするテーブルを浮上支持するテーブル支持軸受が、従来のように上下に直列に配置されずに、テーブルと基台との間に配置されているため、テーブル支持軸受による位置決めすべきテーブルの支持剛性が従来よりも高くなる。従って、従来よりも外部からの振動に強くなるという効果がある。
また、テーブルの位置変化時にテーブル支持軸受が負担する荷重変動を従来よりも小さく抑えることが可能となり、真直度が向上するという効果がある。即ち、テーブル支持軸受の支持剛性の向上と共に、移動中のテーブルの不要な変動を小さく抑えることが可能となる。
In the positioning device of the present invention, the table support bearings that float and support the table to be positioned are arranged between the table and the base instead of being arranged in series vertically as in the prior art. The support rigidity of the table to be positioned is higher than before. Therefore, there is an effect that it is more resistant to external vibrations than in the past.
In addition, it is possible to suppress the load variation that the table support bearing bears when the position of the table changes, so that the straightness is improved. That is, it is possible to suppress unnecessary fluctuation of the moving table as well as improving the support rigidity of the table support bearing.

更に、一つのテーブルをX方向及びY方向に移動させる構成であるので、位置検出器と位置決めすべきテーブルの高さをほぼ同じ高さに設定することが可能となって、アッベの誤差を従来よりも小さく抑えることが可能となる。
更に、一つのテーブルを支持すればよいため、装置を従来よりも薄く且つ小型化することが可能となる。さらに、テーブルを浮上支持する軸受等、所定の精度が要求される部品数が削減可能となると共に、組立も容易になるという効果がある。
Furthermore, since the configuration is such that one table is moved in the X direction and the Y direction, the height of the position detector and the table to be positioned can be set to substantially the same height, and Abbe's error has been reduced. It becomes possible to keep it smaller.
Furthermore, since only one table needs to be supported, the apparatus can be made thinner and smaller than before. Furthermore, the number of parts that require a predetermined accuracy, such as a bearing that floats and supports the table, can be reduced, and the assembly can be facilitated.

更に、テーブルをX方向及びY方向に移動させる各アクチュエータへの負荷がほぼ同一となるため、各アクチュエータの制御系のゲインをほぼ同一に設定可能となる。従って、同種類の調整によって、第1及び第2アクチュエータの調整が可能となり、装置の調整が容易となると共に安定した品質を得ることができるという効果がある。   Furthermore, since the loads on the actuators that move the table in the X direction and the Y direction are substantially the same, the gains of the control systems of the actuators can be set to be substantially the same. Therefore, the same type of adjustment makes it possible to adjust the first and second actuators, thereby making it easy to adjust the apparatus and obtaining stable quality.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の実施の形態の一例である位置決め装置を説明するための説明的平面図、図2は図1のII−II線矢視図、図3は図2のA部詳細図、図4は図2のB部詳細図、図5は図2のC部詳細図である。
図1及び図2に示すように、基台1の平面状の上面と平行にテーブル2が配置され、該テーブル2の底部にはテーブル支持軸受3としての複数の円板状の静圧気体軸受が固定されて基台1に対向している。なお、図1では、テーブル2の4隅にそれぞれテーブル支持軸受3を配設した例を示しているが、設定個数や位置はこれに限定されるものではない。また、円板状の静圧気体軸受3に代えて、角形状の静圧気体軸受としてもよい。各静圧気体軸受3は、軸受内部に設けられた例えば図3に示すように多孔質の絞りを介して下面の平面状の軸受面から下方向、即ち基台1上面に向けて圧縮空気を噴出可能となっていて、テーブル2の重量と静圧気体軸受3の浮上力とでバランスされる重量バランス形のテーブル支持軸受を構成する。なお、テーブル2と基台1との間に磁気吸引力や真空吸引力を作用させるようにし、これらの力にテーブル2の重量が加わった力と静圧気体軸受3の浮上力とがバランスされるようにしても良い。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is an explanatory plan view for explaining a positioning device as an example of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view taken along the line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a detailed view of a part A in FIG. 4 is a detailed view of part B in FIG. 2, and FIG. 5 is a detailed view of part C in FIG.
As shown in FIGS. 1 and 2, a table 2 is arranged in parallel with the planar upper surface of the base 1, and a plurality of disc-shaped static pressure gas bearings as table support bearings 3 are provided at the bottom of the table 2. Is fixed and faces the base 1. Although FIG. 1 shows an example in which table support bearings 3 are arranged at the four corners of the table 2, the set number and position are not limited thereto. Further, instead of the disk-shaped static pressure gas bearing 3, a square-shaped static pressure gas bearing may be used. Each of the static pressure gas bearings 3 supplies compressed air downward from the flat bearing surface of the lower surface, that is, toward the upper surface of the base 1 through a porous restriction provided inside the bearing, for example, as shown in FIG. The table support bearing of a weight balance type which can be ejected and is balanced by the weight of the table 2 and the levitation force of the static pressure gas bearing 3 is configured. A magnetic attraction force or a vacuum attraction force is applied between the table 2 and the base 1, and the force obtained by adding the weight of the table 2 to these forces and the floating force of the static pressure gas bearing 3 are balanced. You may make it.

これにより、テーブル2は、基台1から浮上支持され該基台1上面に沿って移動可能になっている。この場合、基台1上面は、テーブル2の移動時の上下方向の案内面も兼ねるので、平面精度が良好なものを使用する。
テーブル2は、平面視して正方形状の平板部材であって、各辺がそれぞれX方向又はX方向に直交するY方向を向くように配置される。テーブル2のX方向に延びる一方の側面はテーブル2のX方向への直線移動を案内する案内面2aを兼ねており、該案内面2aには第1の直線案内軸受5が対向配置されている。ここで、この実施の形態では、第1の直線案内軸受5として静圧気体軸受を用い、その軸受面5aを前記案内面2aに軸受すき間を存して対向させている(図4参照)。このように、第1の直線案内軸受5として静圧気体軸受を用いることで、第1の直線案内軸受5をテーブル2に対して非接触状態にして、テーブル2と第1の直線案内軸受5との間に生じるX方向への相対移動時の抵抗を小さく抑えている。
As a result, the table 2 is levitated and supported from the base 1 and is movable along the upper surface of the base 1. In this case, the upper surface of the base 1 also serves as a guide surface in the vertical direction when the table 2 is moved.
The table 2 is a flat plate member having a square shape in plan view, and is arranged so that each side faces the X direction or the Y direction orthogonal to the X direction. One side surface extending in the X direction of the table 2 also serves as a guide surface 2a for guiding the linear movement of the table 2 in the X direction, and a first linear guide bearing 5 is disposed opposite to the guide surface 2a. . In this embodiment, a static pressure gas bearing is used as the first linear guide bearing 5, and the bearing surface 5a is opposed to the guide surface 2a with a bearing gap (see FIG. 4). Thus, by using a static pressure gas bearing as the first linear guide bearing 5, the first linear guide bearing 5 is brought into a non-contact state with respect to the table 2, and the table 2 and the first linear guide bearing 5. The resistance at the time of relative movement in the X direction generated between the two is kept small.

第1の直線案内軸受5には、第1のアクチュエータ6の出力軸部材6aの先端部が連結されており、該第1のアクチュエータ6は基台1に固定されている。出力軸部材6aはY方向に軸心を向けて配設されており、Y方向にのみ進退可能になっている。
テーブル2のX方向に延びる他方の側面2b側には、テーブル2を第1の直線案内軸受5側に付勢して該テーブル2をY方向に拘束するための第1の付勢手段10としての第1の予圧用エアシリンダ装置が配置されている。図5に示すように、第1の予圧用エアシリンダ装置10は、基台1に固定されたハウジング11にシリンダロッド12が直線案内軸受13を介して軸方向に直線移動可能に支持されている。シリンダロッド12は、その軸心をY方向に向けて配設されており、したがって、Y方向にのみ進退可能になっている。ハウジング11の後端部には、テーブル2を第1の直線案内軸受5側に付勢する力の動力源である圧縮空気をハウジング11内の空間11aに供給するための給気口14が形成されている。この付勢力は、シリンダロッド12の後端面の面積と圧縮空気の供給圧力により決定される。また、シリンダロッド12の先端部には、Y方向に予圧をかけるための予圧軸受15がテーブル2のX方向に延びる他方の側面に対向して設けられている。
The front end portion of the output shaft member 6 a of the first actuator 6 is connected to the first linear guide bearing 5, and the first actuator 6 is fixed to the base 1. The output shaft member 6a is disposed with its axis centered in the Y direction, and can advance and retreat only in the Y direction.
As the first urging means 10 for urging the table 2 to the first linear guide bearing 5 side and restraining the table 2 in the Y direction on the other side surface 2b side of the table 2 extending in the X direction. The first preload air cylinder device is arranged. As shown in FIG. 5, in the first preload air cylinder device 10, a cylinder rod 12 is supported by a housing 11 fixed to a base 1 through a linear guide bearing 13 so as to be linearly movable in an axial direction. . The cylinder rod 12 is disposed with its axis oriented in the Y direction, and therefore can advance and retreat only in the Y direction. An air supply port 14 is formed at the rear end of the housing 11 for supplying compressed air, which is a power source for urging the table 2 toward the first linear guide bearing 5, to the space 11 a in the housing 11. Has been. This urging force is determined by the area of the rear end face of the cylinder rod 12 and the supply pressure of the compressed air. Further, a preload bearing 15 for applying a preload in the Y direction is provided at the tip of the cylinder rod 12 so as to face the other side surface of the table 2 extending in the X direction.

ここで、この実施の形態では、直線案内軸受13としてハウジング11の内周面に装着された円筒状の静圧空気軸受を用い、該静圧空気軸受にシリンダロッド12を軸受すき間を存して挿入している。このように、直線案内軸受13として静圧気体軸受を用いることで、シリンダロッド12と軸受との間に生じる軸方向への移動時の抵抗を小さく抑えている。因みに、シリンダロッド12の長さは、少なくともテーブル2の可動ストロークに軸受13の有効面積分の長さを加えた寸法を必要とする。   Here, in this embodiment, a cylindrical static pressure air bearing mounted on the inner peripheral surface of the housing 11 is used as the linear guide bearing 13, and the cylinder rod 12 is provided with a clearance in the static pressure air bearing. Inserting. In this way, by using a static pressure gas bearing as the linear guide bearing 13, the resistance during movement in the axial direction generated between the cylinder rod 12 and the bearing is kept small. Incidentally, the length of the cylinder rod 12 requires at least a dimension obtained by adding a length corresponding to the effective area of the bearing 13 to the movable stroke of the table 2.

また、この実施の形態では、予圧軸受15として静圧気体軸受を用い、その軸受面15aを前記側面2bに軸受すき間を存して対向させている。このように、予圧軸受15として静圧気体軸受を用いることで、予圧軸受15をテーブル2に対して非接触状態にし、これにより、テーブル2のX方向の移動を許容すると共に該テーブル2と予圧軸受15との間に生じるX方向への相対移動時の抵抗を小さく抑えている。予圧軸受15への圧縮空気の供給は、シリンダロッド12に軸方向に沿って貫通孔12aを形成し、ハウジング11の後端部に形成された給気口14からハウジング11内に供給された圧縮空気を該貫通孔12aを介して静圧気体軸受15に導いてエアシリンダ装置10の動力源である圧縮空気を兼用するようにしているが、必ずしもこのようにする必要はなく、予圧軸受15の専用の給気口を個別に設けてもよい。   In this embodiment, a static pressure gas bearing is used as the preload bearing 15, and the bearing surface 15a is opposed to the side surface 2b with a bearing gap. Thus, by using a static pressure gas bearing as the preload bearing 15, the preload bearing 15 is brought into a non-contact state with respect to the table 2, thereby allowing the table 2 to move in the X direction and the table 2 and the preload. The resistance at the time of relative movement in the X direction generated between the bearing 15 and the bearing 15 is kept small. The compressed air supplied to the preload bearing 15 is formed by forming a through hole 12a along the axial direction in the cylinder rod 12 and supplying the compressed air supplied into the housing 11 from an air supply port 14 formed in the rear end portion of the housing 11. Although air is guided to the static pressure gas bearing 15 through the through-hole 12a so as to be used also as compressed air as a power source of the air cylinder device 10, it is not always necessary to do so. A dedicated air supply port may be provided individually.

テーブル2のY方向に延びる一方の側面はテーブル2のY方向への直線移動を案内する案内面2cを兼ねており、該案内面2cには第2の直線案内軸受7が対向配置されている。ここで、この実施の形態では、第2の直線案内軸受7として静圧気体軸受を用い、その軸受面7aを前記案内面2cに軸受すき間を存して対向させている(図4参照)。このように、第2の直線案内軸受7として静圧気体軸受を用いることで、第2の直線案内軸受7をテーブル2に対して非接触状態にして、テーブル2と第2の直線案内軸受7との間に生じるY方向への相対移動時の抵抗を小さく抑えている。   One side surface extending in the Y direction of the table 2 also serves as a guide surface 2c for guiding the linear movement of the table 2 in the Y direction, and a second linear guide bearing 7 is disposed opposite to the guide surface 2c. . In this embodiment, a static pressure gas bearing is used as the second linear guide bearing 7, and the bearing surface 7a is opposed to the guide surface 2c with a bearing gap (see FIG. 4). Thus, by using a static pressure gas bearing as the second linear guide bearing 7, the second linear guide bearing 7 is brought into a non-contact state with respect to the table 2, and the table 2 and the second linear guide bearing 7. The resistance at the time of relative movement in the Y direction generated between the two is kept small.

第2の直線案内軸受7には、第2のアクチュエータ8の出力軸部材8aの先端部が連結されており、該第2のアクチュエータ8は基台1に固定されている。出力軸部材8aはX方向に軸心を向けて配設されており、X方向にのみ進退可能になっている。
テーブル2のY方向に延びる他方の側面2d側には、テーブル2を第2の直線案内軸受7側に付勢して該テーブル2をX方向に拘束するための第2の付勢手段20としての第2の予圧用エアシリンダ装置が配置されている。なお、第2の予圧用エアシリンダ装置20は、その構成が上述した第1の予圧用エアシリンダ装置10と同一であるので、図5を参照して説明すると、基台1に固定されたハウジング21にシリンダロッド22が直線案内軸受23を介して軸方向に直線移動可能に支持されている。シリンダロッド22は、その軸心をX方向に向けて配設されており、したがって、X方向にのみ進退可能になっている。ハウジング21の後端部には、テーブル2を第2の直線案内軸受7側に付勢する力の動力源である圧縮空気をハウジング21内の空間21aに供給するための給気口24が形成されている。この付勢力は、シリンダロッド22の後端面の面積と圧縮空気の供給圧力により決定される。また、シリンダロッド22の先端部には、X方向に予圧をかけるための予圧軸受25がテーブル2のY方向に延びる他方の側面2dに対向して設けられている。
The distal end portion of the output shaft member 8 a of the second actuator 8 is connected to the second linear guide bearing 7, and the second actuator 8 is fixed to the base 1. The output shaft member 8a is disposed with the axis centered in the X direction, and can advance and retreat only in the X direction.
As the second urging means 20 for urging the table 2 to the second linear guide bearing 7 side and restraining the table 2 in the X direction on the other side surface 2d side of the table 2 extending in the Y direction. The second preload air cylinder device is arranged. Since the second preload air cylinder device 20 has the same configuration as the first preload air cylinder device 10 described above, a housing fixed to the base 1 will be described with reference to FIG. A cylinder rod 22 is supported by 21 through a linear guide bearing 23 so as to be linearly movable in the axial direction. The cylinder rod 22 is disposed with its axis oriented in the X direction, and therefore can advance and retreat only in the X direction. An air supply port 24 for supplying compressed air, which is a power source for urging the table 2 toward the second linear guide bearing 7, to the space 21 a in the housing 21 is formed at the rear end of the housing 21. Has been. This urging force is determined by the area of the rear end face of the cylinder rod 22 and the supply pressure of the compressed air. Further, a preload bearing 25 for applying a preload in the X direction is provided at the tip of the cylinder rod 22 so as to face the other side surface 2d of the table 2 extending in the Y direction.

ここで、この実施の形態では、直線案内軸受23としてハウジング21の内周面に装着された円筒状の静圧空気軸受を用い、該静圧空気軸受にシリンダロッド22を軸受すき間を存して挿入している。このように、直線案内軸受23として静圧気体軸受を用いることで、シリンダロッド22と軸受との間に生じる軸方向への移動時の抵抗を小さく抑えている。因みに、シリンダロッド22の長さは、少なくともテーブル2の可動ストロークに軸受23の有効面積分の長さを加えた寸法を必要とする。   Here, in this embodiment, a cylindrical static pressure air bearing mounted on the inner peripheral surface of the housing 21 is used as the linear guide bearing 23, and there is a gap between the cylinder rod 22 and the static pressure air bearing. Inserting. In this way, by using a static pressure gas bearing as the linear guide bearing 23, the resistance during movement in the axial direction generated between the cylinder rod 22 and the bearing is kept small. Incidentally, the length of the cylinder rod 22 requires at least the dimension obtained by adding the length corresponding to the effective area of the bearing 23 to the movable stroke of the table 2.

また、この実施の形態では、予圧軸受25として静圧気体軸受を用い、その軸受面25aを前記側面2dに軸受すき間を存して対向させている。このように、予圧軸受25として静圧気体軸受を用いることで、予圧軸受25をテーブル2に対して非接触状態にし、これにより、テーブル2のY方向の移動を許容すると共に該テーブル2と予圧軸受25との間に生じるY方向への相対移動時の抵抗を小さく抑えている。予圧軸受25への圧縮空気の供給は、シリンダロッド22に軸方向に沿って貫通孔22aを形成し、ハウジング21の後端部に形成された給気口24からハウジング21内に供給された圧縮空気を該貫通孔22aを介して静圧気体軸受25に導いてエアシリンダ装置20の動力源である圧縮空気を兼用するようにしているが、必ずしもこのようにする必要はなく、予圧軸受25の専用の給気口を個別に設けてもよい。   In this embodiment, a static pressure gas bearing is used as the preload bearing 25, and the bearing surface 25a is opposed to the side surface 2d with a bearing gap. In this way, by using a static pressure gas bearing as the preload bearing 25, the preload bearing 25 is brought into a non-contact state with respect to the table 2, thereby allowing the table 2 to move in the Y direction and the table 2 and the preload. Resistance during relative movement in the Y direction generated between the bearing 25 and the bearing 25 is kept small. The compressed air supplied to the preload bearing 25 is compressed by being supplied into the housing 21 from an air supply port 24 formed in the rear end portion of the housing 21 by forming a through hole 22a along the axial direction in the cylinder rod 22. The air is guided to the static pressure gas bearing 25 through the through hole 22a so as to be used also as the compressed air that is the power source of the air cylinder device 20, but it is not always necessary to do so. A dedicated air supply port may be provided individually.

ここで、第1のアクチュエータ6及び第2のアクチュエータ8の構成例を説明すると、例えば、ロータリエンコーダでフィードバック制御されるACサーボモータを用い、該モータの回転駆動を直線駆動に変換する機構として、ボールネジを用いる。即ち、前記モータによってナット部材を回転させることにより該ナット部材に螺合するネジ棒を直線移動させ、該ネジ棒を出力軸部材6a,8aとして各直線案内軸受5,7に連結する。   Here, a configuration example of the first actuator 6 and the second actuator 8 will be described. For example, an AC servomotor that is feedback-controlled by a rotary encoder is used as a mechanism for converting the rotational drive of the motor into a linear drive. Use a ball screw. That is, when the nut member is rotated by the motor, the screw rod screwed to the nut member is linearly moved, and the screw rod is connected to the linear guide bearings 5 and 7 as output shaft members 6a and 8a.

勿論、第1のアクチュエータ6及び第2のアクチュエータ8の構成は、上記構成に限定されるものではなく、各直線案内軸受5,7をX,Y方向に進退可能であれば、リニアモータ等を駆動源にするなど、他の周知のリニアアクチュエータを採用してもよい。
テーブル2のX方向に延在する他方の側面2bには、位置決め用のバーミラー(反射鏡)30が取り付けられ、該バーミラー30に対向する位置にはX方向用の位置検出器(レーザ測長器)31が配設されて基台1に固定されている。位置検出器31からの信号によってテーブル2のX方向の位置が検出され、該検出信号は第2のアクチュエータ8の駆動を制御する図示しないコントローラに出力される。
Of course, the configuration of the first actuator 6 and the second actuator 8 is not limited to the above configuration, and a linear motor or the like can be used as long as the linear guide bearings 5 and 7 can be advanced and retracted in the X and Y directions. Other known linear actuators such as a drive source may be employed.
A positioning bar mirror (reflecting mirror) 30 is attached to the other side surface 2 b extending in the X direction of the table 2, and a position detector (laser length measuring device) for the X direction is located at a position facing the bar mirror 30. ) 31 is disposed and fixed to the base 1. The position in the X direction of the table 2 is detected by a signal from the position detector 31, and the detection signal is output to a controller (not shown) that controls driving of the second actuator 8.

テーブル2のY方向に延在する他方の側面2dには、位置決め用のバーミラー(反射鏡)32が取り付けられ、該バーミラー32に対向する位置にはY方向用の位置検出器(レーザ測長器)33が配設されて基台1に固定されている。位置検出器33からの信号によってテーブル2のY方向の位置が検出され、該検出信号は第1のアクチュエータ6の駆動を制御する図示しないコントローラに供給される。   A positioning bar mirror (reflecting mirror) 32 is attached to the other side surface 2d of the table 2 extending in the Y direction, and a position detector for the Y direction (laser length measuring device) is positioned opposite the bar mirror 32. ) 33 is disposed and fixed to the base 1. The position of the table 2 in the Y direction is detected by a signal from the position detector 33, and the detection signal is supplied to a controller (not shown) that controls driving of the first actuator 6.

次に、かかる位置決め装置の作動を説明する。
テーブル2をY方向に進退させるときには、第1のアクチュエータ6の出力軸部材6aを目的の長さだけ進退させる。第1のアクチュエータ6の出力軸部材6aの伸長時には、該出力軸部材6aは第1の予圧用エアシリンダ装置10のピストンロッド12の付勢力に抗して伸長し、これによりテーブル2が該出力軸部材6aの先端部に設けられた第1の直線案内軸受5によって第1の予圧用エアシリンダ装置10側に押し出され、出力軸部材6aの伸長量と同量だけY方向に前進する。第1のアクチュエータ6の出力軸部材6aの収縮時には、第1の予圧用エアシリンダ装置10のピストンロッド12の付勢力によってテーブル2が該ピストンロッド12の先端部に設けられた予圧軸受15を介して第1のアクチュエータ6側に押し出され、出力軸部材6aの収縮量と同量だけY方向に後退する。
Next, the operation of the positioning device will be described.
When the table 2 is advanced and retracted in the Y direction, the output shaft member 6a of the first actuator 6 is advanced and retracted by a desired length. When the output shaft member 6a of the first actuator 6 extends, the output shaft member 6a extends against the urging force of the piston rod 12 of the first preload air cylinder device 10, thereby causing the table 2 to output the output shaft member 6a. The first linear guide bearing 5 provided at the tip of the shaft member 6a is pushed out toward the first preload air cylinder device 10 and advances in the Y direction by the same amount as the extension amount of the output shaft member 6a. When the output shaft member 6a of the first actuator 6 is contracted, the table 2 passes through the preload bearing 15 provided at the tip of the piston rod 12 by the biasing force of the piston rod 12 of the first preload air cylinder device 10. The first actuator 6 is pushed out and retracted in the Y direction by the same amount as the contraction amount of the output shaft member 6a.

そして、テーブル2のY方向への進退移動時には、該テーブル2のY方向に延在する一方の側面2cは第2の直線案内軸受7によってY方向に案内され、テーブル2のY方向に延在する他方の側面2dは第2の予圧用エアシリンダ装置20のピストンロッド22の先端部に設けられた予圧軸受25によって第2の直線案内軸受7側に付勢され、これによりテーブル2がX方向に拘束される。   When the table 2 moves forward and backward in the Y direction, one side surface 2c extending in the Y direction of the table 2 is guided in the Y direction by the second linear guide bearing 7, and extends in the Y direction of the table 2. The other side surface 2d is urged toward the second linear guide bearing 7 by a preload bearing 25 provided at the tip of the piston rod 22 of the second preload air cylinder device 20, whereby the table 2 is moved in the X direction. Restrained by

ここで、この実施の形態では、第1の直線案内軸受5及び予圧軸受15はいずれも静圧気体軸受で構成されているので、第1の直線案内軸受5からテーブル2への駆動力の伝達及び予圧軸受15からテーブル2への駆動力の伝達は非接触状態で行われ、ガタツキ感が低減されるようになっている。また、テーブル2のY方向に延在する両側面2c,2dに配置された第2の直線案内軸受7及び予圧軸受25もいずれも静圧気体軸受で構成されているので、テーブル2がY方向に移動する際に、該テーブル2に第2の直線案内軸受7及び予圧軸受25から無理な荷重が負荷されることが回避される。   Here, in this embodiment, since both the first linear guide bearing 5 and the preload bearing 15 are composed of static pressure gas bearings, transmission of driving force from the first linear guide bearing 5 to the table 2 is performed. In addition, transmission of the driving force from the preload bearing 15 to the table 2 is performed in a non-contact state, and a feeling of rattling is reduced. In addition, since the second linear guide bearing 7 and the preload bearing 25 arranged on both side surfaces 2c and 2d extending in the Y direction of the table 2 are both constituted by static pressure gas bearings, the table 2 is in the Y direction. Therefore, it is possible to avoid an excessive load from being applied to the table 2 from the second linear guide bearing 7 and the preload bearing 25.

一方、テーブル2をX方向に進退させるときには、第2のアクチュエータ8の出力軸部材8aを目的の長さだけ進退させる。第2のアクチュエータ8の出力軸部材8aの伸長時には、該出力軸部材8aは第2の予圧用エアシリンダ装置20のピストンロッド22の付勢力に抗して伸長し、これによりテーブル2が該出力軸部材8aの先端部に設けられた第2の直線案内軸受7によって第2の予圧用エアシリンダ装置20側に押し出され、出力軸部材8aの伸長量と同量だけX方向に前進する。第2のアクチュエータ8の出力軸部材8aの収縮時には、第2の予圧用エアシリンダ装置20のピストンロッド22の付勢力によってテーブル2が該ピストンロッド22の先端部に設けられた予圧軸受25を介して第2のアクチュエータ8側に押し出され、出力軸部材8aの収縮量と同量だけX方向に後退する。   On the other hand, when the table 2 is advanced and retracted in the X direction, the output shaft member 8a of the second actuator 8 is advanced and retracted by a desired length. When the output shaft member 8a of the second actuator 8 is extended, the output shaft member 8a is extended against the urging force of the piston rod 22 of the second preload air cylinder device 20, whereby the table 2 is output. The second linear guide bearing 7 provided at the distal end of the shaft member 8a is pushed out toward the second preload air cylinder device 20 and advances in the X direction by the same amount as the extension amount of the output shaft member 8a. When the output shaft member 8 a of the second actuator 8 is contracted, the table 2 is moved via the preload bearing 25 provided at the tip of the piston rod 22 by the biasing force of the piston rod 22 of the second preload air cylinder device 20. The second actuator 8 is pushed out and retracted in the X direction by the same amount as the contraction amount of the output shaft member 8a.

そして、テーブル2のX方向への進退移動時には、該テーブル2のX方向に延在する一方の側面2aは第1の直線案内軸受5によってX方向に案内され、テーブル2のX方向に延在する他方の側面2bは第1の予圧用エアシリンダ装置10のピストンロッド12の先端部に設けられた予圧軸受15によって第1の直線案内軸受5側に付勢され、これによりテーブル2がY方向に拘束される。   When the table 2 moves forward and backward in the X direction, one side surface 2a extending in the X direction of the table 2 is guided in the X direction by the first linear guide bearing 5, and extends in the X direction of the table 2. The other side surface 2b is urged toward the first linear guide bearing 5 by a preload bearing 15 provided at the tip of the piston rod 12 of the first preload air cylinder device 10, whereby the table 2 is moved in the Y direction. Restrained by

ここで、この実施の形態では、第2の直線案内軸受7及び予圧軸受25はいずれも静圧気体軸受で構成されているので、第2の直線案内軸受7からテーブル2への駆動力の伝達及び予圧軸受25からテーブル2への駆動力の伝達は非接触状態で行われ、ガタツキ感が低減されるようになっている。また、テーブル2のX方向に延在する両側面に配置された第1の直線案内軸受5及び予圧軸受15もいずれも静圧空気軸受で構成されているので、テーブル2がX方向に移動する際に、該テーブル2に第1の直線案内軸受5及び予圧軸受15から無理な荷重が負荷されることは回避される。   Here, in this embodiment, since both the second linear guide bearing 7 and the preload bearing 25 are composed of static pressure gas bearings, the driving force is transmitted from the second linear guide bearing 7 to the table 2. In addition, transmission of the driving force from the preload bearing 25 to the table 2 is performed in a non-contact state, so that a feeling of rattling is reduced. In addition, since both the first linear guide bearing 5 and the preload bearing 15 arranged on both side surfaces extending in the X direction of the table 2 are composed of static pressure air bearings, the table 2 moves in the X direction. At this time, it is avoided that an excessive load is applied to the table 2 from the first linear guide bearing 5 and the preload bearing 15.

上述のように、第1及び第2アクチュエータ6,8は、相互に干渉することなくテーブル2を同時に駆動可能であるので、テーブル2はX方向及びY方向へ同時に移動させることが可能となっている。
このように、この実施の形態では、従来のように二つの一軸テーブルを直交させた状態で積み重ねて個々に移動させる構造ではなく、一つのテーブル2を単独で移動させる構造であるので、従来よりも装置を薄型にすることができる。
As described above, since the first and second actuators 6 and 8 can drive the table 2 at the same time without interfering with each other, the table 2 can be moved simultaneously in the X direction and the Y direction. Yes.
Thus, in this embodiment, since it is not a structure in which two uniaxial tables are stacked and moved individually in a state of being orthogonal as in the prior art, it is a structure in which one table 2 is moved independently, However, the device can be made thin.

また、テーブル2を浮上支持するテーブル支持軸受3がテーブル2の下面に固定されているので、テーブル2が任意の位置に移動してもテーブル2と軸受3との相対的位置関係は変更されることはなく、したがって、軸受3が負担する荷重は常にほぼ一定に維持されて安定したテーブル2の支持が可能となる。この結果、真直度が従来よりも向上して、テーブル2が移動する際に生じる該テーブル2の上下方向の不要な変動を小さくすることができる。   In addition, since the table support bearing 3 for floatingly supporting the table 2 is fixed to the lower surface of the table 2, the relative positional relationship between the table 2 and the bearing 3 is changed even if the table 2 moves to an arbitrary position. Therefore, the load borne by the bearing 3 is always kept substantially constant, and the table 2 can be supported stably. As a result, the straightness is improved as compared with the prior art, and unnecessary fluctuations in the vertical direction of the table 2 that occur when the table 2 moves can be reduced.

更に、テーブル2は、従来のように上下方向に直列状に配置された二つの軸受によって支持される構造ではなく、テーブル2の下面に基台1に対向して固定されたテーブル支持軸受3によって支持される構造であるので、軸受による支持剛性が従来に比べて高くなり、この結果、外部からの振動等に対する振動発生が低減して耐振動性の向上を図ることができる。   Further, the table 2 is not structured to be supported by two bearings arranged in series in the vertical direction as in the prior art, but by a table support bearing 3 fixed to the lower surface of the table 2 so as to face the base 1. Since the structure is supported, the support rigidity by the bearing is higher than the conventional structure. As a result, the generation of vibrations from external vibrations is reduced, and the vibration resistance can be improved.

更に、各アクチュエータ6,8の各出力軸部材6a,8aの軸心がいずれも位置決めすべきテーブル2の高さ方向中央位置に配置されるので、各アクチュエータ6,8の駆動力をテーブル2に確実に伝達することができ、しかも、テーブル2のX方向及びY方向の位置検出にしてもX方向及びY方向ともに位置検出器30,31が位置決めすべきテーブル2の側面の高さ方向の中央に配置されるので、位置検出位置と位置決めすべきテーブル2の上面との上下方向の距離を小さくすることが可能となる。この結果、アッベの誤差を従来よりも小さく抑えることが可能となり、位置決め精度の向上を図ることができる。   Further, since the shaft centers of the output shaft members 6a, 8a of the actuators 6, 8 are all arranged at the center position in the height direction of the table 2 to be positioned, the driving force of the actuators 6, 8 is applied to the table 2. The center in the height direction of the side surface of the table 2 to which the position detectors 30 and 31 should be positioned in both the X direction and the Y direction even if the position of the table 2 in the X direction and the Y direction is detected. Therefore, the distance in the vertical direction between the position detection position and the upper surface of the table 2 to be positioned can be reduced. As a result, it is possible to suppress Abbe's error to be smaller than in the prior art, and improve positioning accuracy.

更に、X方向及びY方向への駆動のためのガイド機構やアクチュエータを同一レベルに設置することができるので、第1のアクチュエータ6への負荷と第2アクチュエータ8への負荷との差を少なくすることができる。この結果、各アクチュエータ6,8の制御系のゲインが互いに略同一となり、同種類の調整によって各アクチュエータ6,8のゲイン調整作業が可能となる。従って、調整が容易となり、安定した品質を得ることが可能となる。   Further, since the guide mechanism and the actuator for driving in the X direction and the Y direction can be installed at the same level, the difference between the load on the first actuator 6 and the load on the second actuator 8 is reduced. be able to. As a result, the gains of the control systems of the actuators 6 and 8 are substantially the same, and the gain adjustment work of the actuators 6 and 8 can be performed by the same type of adjustment. Therefore, adjustment becomes easy and stable quality can be obtained.

更に、X方向及びY方向ともアクチュエータ6,8で負担する荷重はテーブル2の重量に応じた荷重となり、従来のように、一方のアクチュエータが負担する荷重が大きいために一方の軸方向の制御性が低下して位置決め時間が長くなることが回避され、X方向及びY方向とも同一の短い時間で位置決めが可能となり、装置全体の制御性やバランス性等が向上する。   Furthermore, the load borne by the actuators 6 and 8 in both the X direction and the Y direction is a load corresponding to the weight of the table 2, and the load borne by one of the actuators is large as in the conventional case. Is reduced and positioning time is lengthened, positioning is possible in the same short time in both the X and Y directions, and the controllability and balance of the entire apparatus are improved.

更に、使用するテーブル2が一つで足りたり、テーブル2を支持する軸受3も一つのテーブルを支持する軸受で良いなど、所定の精度が要求される部品数が従来に比べて大幅に削減できる。このことは、組立を容易にすると共に、装置の小型化に繋がる。   Furthermore, the number of parts requiring a predetermined accuracy can be greatly reduced compared to the prior art. For example, only one table 2 is used or the bearing 3 supporting the table 2 may be a bearing supporting one table. . This facilitates assembly and leads to downsizing of the apparatus.

本発明の実施の形態の一例である位置決め装置を説明するための説明的平面図である。It is an explanatory top view for demonstrating the positioning device which is an example of embodiment of this invention. 図1のII−II線矢視図である。It is the II-II arrow directional view of FIG. 図2のA部詳細図である。FIG. 3 is a detailed view of part A in FIG. 2. 図2のB部詳細図である。FIG. 3 is a detailed view of part B in FIG. 2. 図2のC部詳細図である。FIG. 3 is a detailed view of part C in FIG. 2. 従来の位置決め装置を説明するための説明的平面図である。It is explanatory plan view for demonstrating the conventional positioning device. 図6の正面図である。FIG. 7 is a front view of FIG. 6.

符号の説明Explanation of symbols

1 基台
2 テーブル
3 テーブル支持軸受
5 第1の直線案内軸受
6 第1のアクチュエータ
7 第2の直線案内軸受
8 第2のアクチュエータ
10 第1の付勢手段
20 第2の付勢手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Table 3 Table support bearing 5 1st linear guide bearing 6 1st actuator 7 2nd linear guide bearing 8 2nd actuator 10 1st biasing means 20 2nd biasing means

Claims (1)

テーブルを基台に対してX方向に進退させると共に該X方向と同一平面上で直交するY方向に進退させて、該テーブルを任意の位置に位置決めする位置決め装置において、前記テーブルと前記基台との間に配置され、該テーブルを基台に対して浮上支持するテーブル支持軸受と、前記テーブルのX方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをX方向に移動可能に案内する第1の直線案内軸受と、該第1の直線案内軸受をY方向に進退駆動させる第1のアクチュエータと、前記テーブルのX方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのX方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第1の直線案内軸受側に付勢する第1の付勢手段と、前記テーブルのY方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをY方向に移動可能に案内する第2の直線案内軸受と、該第2の直線案内軸受をX方向に進退駆動させる第2のアクチュエータと、前記テーブルのY方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのY方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第2の直線案内軸受側に付勢する第2の付勢手段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。   In the positioning apparatus for positioning the table at an arbitrary position by moving the table forward and backward in the X direction and in the Y direction orthogonal to the X direction on the same plane, the table and the base And a table support bearing that floats and supports the table with respect to the base, and is arranged on one side of the table extending in the X direction so that the table can be moved in the X direction. A first linear guide bearing, a first actuator for driving the first linear guide bearing forward and backward in the Y direction, and the other side of the table extending in the X direction. A first urging means for allowing movement in the X direction and urging the table toward the first linear guide bearing, and one side portion extending in the Y direction of the table are arranged. The table in the Y direction A second linear guide bearing for movably guiding; a second actuator for driving the second linear guide bearing to advance and retreat in the X direction; and the other side portion extending in the Y direction of the table. And a second urging means for allowing the table to move in the Y direction and urging the table toward the second linear guide bearing.
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