JP2003047837A - Mixing device and mixing method for gas for inspection - Google Patents

Mixing device and mixing method for gas for inspection

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JP2003047837A
JP2003047837A JP2001237227A JP2001237227A JP2003047837A JP 2003047837 A JP2003047837 A JP 2003047837A JP 2001237227 A JP2001237227 A JP 2001237227A JP 2001237227 A JP2001237227 A JP 2001237227A JP 2003047837 A JP2003047837 A JP 2003047837A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mixing device and mixing method for gas for inspection which are capable of regulating the gas for inspection to a set concentration with good accuracy and are capable of maintaining this concentration at the set concentration or setting the concentration at the different set concentrations even in replenishing the gas for inspection. SOLUTION: A stop valve 12a of a gaseous helium delivery pipe 12 connected to a mixing tank 11, a stop valve 13a of a pneumatic delivery pipe 13, a pressure gage 14 connected to the mixing tank 11, a gaseous helium integrator 16a connected to the gaseous helium delivery pipe 12 and an air integrator 18a connected to the pneumatic delivery pipe 13 are connected to a sequencer 17. The amounts of the gaseous helium and air supplied from the gaseous helium delivery pipe 12 and the pneumatic delivery pipe 13 to the mixing tank 11 are controlled by the sequencer 17 according to the measurement of the pressure gage 4, the gaseous helium integrator 16a and the air integrator 18a.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、気体や液体を収容
したり移送したりする際に使用される容器や配管等のワ
ークの漏れ検査に使用される検査用ガスの混合装置およ
び混合方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection gas mixing apparatus and a mixing method used for inspecting a leak of a work such as a container or a pipe used to store or transfer gas or liquid. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、気体や液体を収容したり移送
したりする際に使用される容器や配管等の中には気密性
を要求されるものがあり、このような容器や配管に生じ
る漏れをチェックするためにトレースガス(検査用ガ
ス)を用いた漏れ検査が行われている。このようなトレ
ースガスとしては、種々のガスが使用可能であるが、無
害であることと、検出分解能が優れていることから、一
般的にはヘリウムガスが用いられている。そして、検査
の際には、このヘリウムガスを、空気や窒素ガスと混合
して希釈した検査用ガスが使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, some containers and pipes used for containing and transferring gas and liquid are required to be airtight, and such containers and pipes are generated. A leak test using a trace gas (inspection gas) is performed to check the leak. Although various gases can be used as such a trace gas, helium gas is generally used because it is harmless and has excellent detection resolution. Then, at the time of inspection, an inspection gas obtained by mixing this helium gas with air or nitrogen gas and diluting it is used.

【0003】この場合、検査用ガスは、図2に示すよう
な、混合タンク20内に収容されて、適宜、配送管21
を介して検査装置(図示せず)に供給される。また、混
合タンク20には、ヘリウムガスが供給される配送管2
2、空気が供給される配送管23および混合タンク20
内の圧力を測定する圧力計24が接続されている。配送
管22,23には、それぞれ開閉バルブ22a,23a
が設けられており、この開閉バルブ22a,23aを開
閉操作することにより、ヘリウムガスおよび空気を混合
タンク20に供給したり、その供給を停止したりするこ
とができる。
In this case, the inspection gas is contained in the mixing tank 20 as shown in FIG.
Is supplied to the inspection device (not shown) via the. Further, the delivery pipe 2 to which the helium gas is supplied to the mixing tank 20.
2. Delivery pipe 23 and mixing tank 20 to which air is supplied
A pressure gauge 24 for measuring the internal pressure is connected. The delivery pipes 22 and 23 have open / close valves 22a and 23a, respectively.
Is provided, and the helium gas and the air can be supplied to the mixing tank 20 or the supply thereof can be stopped by opening / closing the opening / closing valves 22a and 23a.

【0004】また、圧力計24はシーケンサ25に接続
され、シーケンサ25は配送管22の開閉バルブ22a
に接続されている。そして、検査用ガスが使用によって
減少し、圧力計24が測定する混合タンク20内の圧力
が低下すると、シーケンサ25の制御によって開閉バル
ブ22aが開けられ、混合タンク20内にヘリウムガス
が供給される。また、この際、開閉バルブ23aも開け
られて補充されたヘリウムガス量に応じた量の空気が供
給され、この空気とヘリウムガスは混合タンク20内で
混合して設定された濃度の検査用ガスになる。この場
合、検査用ガスは、一定の濃度になるように設定され、
供給されるヘリウムガスと空気は、一定の割合になるよ
う圧力計24の値によってコントロールされながら供給
される。
The pressure gauge 24 is connected to a sequencer 25, and the sequencer 25 opens / closes the opening / closing valve 22a of the delivery pipe 22.
It is connected to the. Then, when the inspection gas decreases due to use and the pressure in the mixing tank 20 measured by the pressure gauge 24 decreases, the opening / closing valve 22a is opened by the control of the sequencer 25, and helium gas is supplied into the mixing tank 20. . At this time, the opening / closing valve 23a is also opened to supply the amount of air according to the amount of the replenished helium gas, and the air and the helium gas are mixed in the mixing tank 20 and the inspection gas having the concentration set is set. become. In this case, the inspection gas is set to have a constant concentration,
The supplied helium gas and air are supplied while being controlled by the value of the pressure gauge 24 so as to have a constant ratio.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記装
置を用いた検査用ガスの混合方法では、ヘリウムガスお
よび空気の供給量を、混合タンク20の内圧で管理する
ようになっているため、例えば、空気との混合によるヘ
リウムガスの希釈度を大きくして、ヘリウムガスを低濃
度に設定する場合や、一回の検査での検査用ガスの使用
量が少ない場合等、混合タンク20に供給するヘリウム
量が微量の場合、供給量の制御が難しく、検査用ガスの
濃度が一定しないという問題がある。また、設定された
濃度にヘリウムガスを希釈する精度が圧力計24の分解
能や応答性によるところが大きく、一定の濃度の検査用
ガスを常時混合するという再現性に不確実さが生じると
いう問題もある。
However, in the method of mixing the inspection gas using the above apparatus, the supply amounts of the helium gas and the air are controlled by the internal pressure of the mixing tank 20. Helium gas supplied to the mixing tank 20 when the helium gas is diluted to a large degree by mixing with air to set the helium gas to a low concentration, or when the amount of the inspection gas used in one inspection is small. When the amount is very small, it is difficult to control the supply amount, and there is a problem that the concentration of the inspection gas is not constant. Further, the accuracy of diluting the helium gas to the set concentration largely depends on the resolution and responsiveness of the pressure gauge 24, and there is a problem in that the reproducibility of constantly mixing the inspection gas having a constant concentration causes uncertainty. .

【0006】[0006]

【発明の概要】本発明は、上記した問題に対処するため
になされたもので、その目的は、検査用ガスを精度よく
設定濃度にすることができ、また、その検査用ガスを補
充する際もその濃度を一定の濃度に維持したり、異なる
設定濃度にしたりすることのできる検査用ガスの混合装
置および混合方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to make it possible to accurately set the concentration of the inspection gas and to replenish the inspection gas. Another object of the present invention is to provide an inspection gas mixing apparatus and a mixing method capable of maintaining a constant concentration or setting different concentrations.

【0007】上記の目的を達成するため、本発明に係る
検査用ガスの混合装置の特徴は、検査用高濃度ガスと希
釈用ガスを混合してなる検査用ガスを収容するタンク
と、タンクに検査用高濃度ガスを供給する検査用高濃度
ガス供給手段と、タンクに希釈用ガスを供給する希釈用
ガス供給手段と、タンク内の圧力を測定する圧力計と、
検査用高濃度ガス供給手段、希釈用ガス供給手段および
前記圧力計に接続され、圧力計の測定結果に応じて、検
査用高濃度ガス供給手段および希釈用ガス供給手段から
タンクに供給される検査用高濃度ガスおよび希釈用ガス
の量を制御する制御手段とを備えた検査用ガスの混合装
置において、検査用高濃度ガス供給手段と制御手段に接
続され、検査用高濃度ガス供給手段からタンクに供給さ
れる検査用高濃度ガス量を測定し、その測定結果を前記
制御手段に送信する検査用高濃度ガス流量計を設けたこ
とにある。
In order to achieve the above object, the feature of the inspection gas mixing apparatus according to the present invention is that a tank for containing an inspection gas formed by mixing an inspection high-concentration gas and a dilution gas is provided. An inspection high-concentration gas supply means for supplying an inspection high-concentration gas, a dilution gas supply means for supplying a dilution gas to the tank, and a pressure gauge for measuring the pressure in the tank,
Inspection connected to inspection high-concentration gas supply means, dilution gas supply means, and the pressure gauge, and supplied to the tank from the inspection high-concentration gas supply means and dilution gas supply means according to the measurement result of the pressure gauge In a mixing device for an inspection gas provided with a control means for controlling the amounts of the high concentration gas for dilution and the diluting gas, the high concentration gas supply means for inspection and the control means are connected, and the tank is connected from the high concentration gas supply means for inspection. A high concentration gas flow meter for inspection which measures the amount of high concentration gas for inspection supplied to and is sent to the control means is provided.

【0008】前記のように構成した本発明の特徴によれ
ば、検査用高濃度ガス供給手段からタンクに供給される
検査用高濃度ガス量を測定する検査用高濃度ガス流量計
を、検査用高濃度ガス供給手段と制御手段に接続した状
態で設け、検査用高濃度ガス流量計が測定した測定結果
を制御手段に送信するようになっている。したがって、
実際に、タンクに供給される検査用高濃度ガスを、検査
用高濃度ガス流量計で測定しながら供給できるため、正
確な量の検査用高濃度ガスをタンクに供給できるように
なる。
According to the features of the present invention configured as described above, the inspection high-concentration gas flow meter for measuring the amount of the inspection high-concentration gas supplied from the inspection high-concentration gas supply means to the tank is provided. It is provided in a state of being connected to the high-concentration gas supply means and the control means, and the measurement result measured by the high-concentration gas flow meter for inspection is transmitted to the control means. Therefore,
Actually, since the high concentration gas for inspection supplied to the tank can be supplied while being measured by the high concentration gas flow meter for inspection, an accurate amount of high concentration gas for inspection can be supplied to the tank.

【0009】また、本発明に係る検査用ガスの混合装置
の他の特徴は、検査用高濃度ガスと希釈用ガスを混合し
てなる検査用ガスを収容するタンクと、タンクに検査用
高濃度ガスを供給する検査用高濃度ガス供給手段と、タ
ンクに希釈用ガスを供給する希釈用ガス供給手段と、タ
ンク内の圧力を測定する圧力計と、検査用高濃度ガス供
給手段からタンクに供給される検査用高濃度ガス量を測
定する検査用高濃度ガス流量計と、希釈用ガス供給手段
からタンクに供給される希釈用ガス量を測定する希釈用
ガス流量計と、検査用高濃度ガス供給手段、希釈用ガス
供給手段、圧力計、検査用高濃度ガス流量計および希釈
用ガス流量計に接続され、圧力計、検査用高濃度ガス流
量計および希釈用ガス流量計の測定結果に応じて、検査
用高濃度ガス供給手段および希釈用ガス供給手段からタ
ンクに供給される検査用高濃度ガスおよび希釈用ガスの
量を制御する制御手段とを備えたことにある。
Another feature of the inspection gas mixing apparatus according to the present invention is that a tank for holding an inspection gas prepared by mixing an inspection high concentration gas and a dilution gas is used, and the tank has a high inspection concentration. High concentration gas supply means for inspection that supplies gas, dilution gas supply means that supplies dilution gas to the tank, pressure gauge that measures the pressure in the tank, and supply gas from the high concentration gas supply means for inspection to the tank High-concentration gas flow meter for measuring the amount of high-concentration gas for inspection, diluting gas flow meter for measuring the amount of diluting gas supplied from the diluting gas supply means to the tank, and high-concentration gas for inspection Supply means, dilution gas supply means, pressure gauge, high concentration gas flow meter for inspection and dilution gas flow meter connected, depending on the measurement results of pressure gauge, high concentration gas flow meter for inspection and dilution gas flow meter Supply high concentration gas for inspection In that a control means for controlling the amount of high concentration gas and the diluent gas for inspection is supplied to the tank from the stage and the dilution gas supply means.

【0010】この場合、検査用高濃度ガス流量計が、検
査用高濃度ガス供給手段からタンクに供給される検査用
高濃度ガスの単位時間当たりの流量を検出する流量セン
サと、流量センサが検出した検査用高濃度ガスの流量を
積算する積算計とを備えていることが好ましい。
In this case, the inspection high-concentration gas flow meter detects the flow rate of the inspection high-concentration gas supplied from the inspection high-concentration gas supply means to the tank per unit time and the flow rate sensor. It is preferable to include an integrating meter for integrating the flow rate of the inspection high-concentration gas.

【0011】前記のように構成した本発明の特徴によれ
ば、圧力計によるタンク内の圧力の測定結果によって補
充する検査用ガスの量を求め、その量から一定の検査用
高濃度ガスおよび希釈用ガスの供給量を決定するのでな
く、実際に、タンクに供給される検査用高濃度ガスおよ
び希釈用ガスを、検査用高濃度ガス流量計および希釈用
ガス流量計で測定しながら供給するため、タンク内の検
査用ガスの濃度を把握でき、かつ、正確な量のガスをタ
ンクに供給できるとともに、その濃度も適宜変更するこ
とができる。
According to the features of the present invention configured as described above, the amount of the inspection gas to be replenished is obtained from the measurement result of the pressure in the tank by the pressure gauge, and a constant high concentration gas for inspection and dilution are obtained from the amount. To supply the inspection high-concentration gas and the dilution gas that are actually supplied to the tank while measuring the inspection high-concentration gas flow meter and the dilution gas flow meter, rather than determining the supply amount of the inspection gas As a result, the concentration of the inspection gas in the tank can be grasped, an accurate amount of gas can be supplied to the tank, and the concentration can be changed appropriately.

【0012】また、制御手段によって、使用する検査用
ガスの濃度を所望の値に設定できるようにしておき、そ
の濃度を適宜変更しながら検査を行う場合でも、タンク
内の検査用ガスの濃度が設定濃度になるように、検査用
高濃度ガスおよび希釈用ガスをタンクに供給できるた
め、1個のタンクの使用で異なる濃度の検査用ガスを用
いた検査が可能になる。すなわち、濃度の異なる検査用
ガスが収容された複数のタンクを用意して、検査用ガス
の設定濃度に合わせてタンクを使い分けるといったこと
をする必要がなくなる。
Further, even if the control means allows the concentration of the inspection gas to be used to be set to a desired value and the inspection is performed while appropriately changing the concentration, the concentration of the inspection gas in the tank is Since the high-concentration gas for inspection and the diluting gas can be supplied to the tank so that the concentration becomes the set concentration, it is possible to perform inspection using different concentrations of the inspection gas by using one tank. That is, it is not necessary to prepare a plurality of tanks containing the inspection gas having different concentrations and use the tanks properly according to the set concentration of the inspection gas.

【0013】また、検査用高濃度ガス流量計を、検査用
高濃度ガスを検出する流量センサと、検査用高濃度ガス
の流量を積算する積算計とを備えた構成にすることによ
り、より精度のよい検査用高濃度ガスの供給ができると
ともに、タンクに供給した検査用高濃度ガスの量を正確
に把握できるようになる。
Further, the inspection high-concentration gas flow meter is provided with a flow sensor for detecting the inspection high-concentration gas and an integrating meter for integrating the flow rate of the inspection high-concentration gas, whereby the accuracy is improved. The high-concentration gas for inspection can be supplied with good quality, and the amount of high-concentration gas for inspection supplied to the tank can be accurately grasped.

【0014】さらに、例えば、希釈用ガス流量計を、希
釈用ガス供給手段からタンクに供給される希釈用ガスを
検出する流量センサと、流量センサが検出した希釈用ガ
スの流量を積算する積算計とで構成することもでき、こ
のように構成することにより、希釈用ガスも精度よく供
給できるとともに、タンク内に供給した希釈用ガスの量
を正確に把握できるようになる。
Further, for example, a diluting gas flow meter is a flow sensor for detecting the diluting gas supplied from the diluting gas supply means to the tank, and an integrator for integrating the flow rate of the diluting gas detected by the flow sensor. It is also possible to supply the diluent gas with high accuracy and to accurately grasp the amount of the diluent gas supplied into the tank.

【0015】また、本発明に係る検査用ガスの混合方法
の特徴は、検査用高濃度ガスと希釈用ガスを混合してな
る検査用ガスを収容するタンク内の圧力を測定し検査用
ガスの残存量を算出する工程と、タンクに供給された検
査用高濃度ガスおよび希釈用ガスの流量を積算し、積算
された検査用高濃度ガスの積算値と希釈用ガスの積算値
からタンク内の検査用ガスの濃度を算出する工程と、前
記両工程から算出した結果と、設定濃度による検査用高
濃度ガスと希釈用ガスの量とを演算し、供給すべき検査
用高濃度ガスと希釈用ガスの量を算出する工程と、算出
された量の検査用高濃度ガスを前記タンクに供給する工
程と、算出された量の希釈用ガスをタンクに供給する工
程とからなることにある。
The feature of the inspection gas mixing method according to the present invention is that the pressure of the inspection gas is measured by measuring the pressure in the tank containing the inspection gas prepared by mixing the inspection high-concentration gas and the dilution gas. The process of calculating the remaining amount and the flow rates of the high concentration gas for inspection and the dilution gas supplied to the tank are integrated, and the accumulated value of the high concentration gas for inspection and the integrated value of the diluted gas The process of calculating the concentration of the inspection gas, the results calculated from both of the above processes, and the amount of the inspection high-concentration gas and the dilution gas depending on the set concentration are calculated, and the inspection high-concentration gas and the dilution gas to be supplied It consists of the step of calculating the amount of gas, the step of supplying the calculated amount of high-concentration gas for inspection to the tank, and the step of supplying the calculated amount of dilution gas to the tank.

【0016】また、例えば、算出された量の検査用高濃
度ガスをタンクに供給する工程を、流量を読み取りなが
ら検査用高濃度ガスをタンクに供給する工程と、前記流
量を積算し、積算流量が供給すべき検査用高濃度ガス量
に達すると供給を停止させる工程とで構成することがで
き、さらに、算出された量の希釈用ガスをタンクに供給
する工程を、流量を読み取りながら希釈用ガスをタンク
に供給する工程と、前記流量を積算し、積算流量が供給
すべき希釈用ガス量に達すると供給を停止させる工程と
で構成することもできる。これによっても、精度のよい
検査用高濃度ガスや希釈用ガスの供給ができ、その結
果、漏れ検査装置での検査が精度よく行える。
In addition, for example, the step of supplying the calculated high-concentration gas for inspection to the tank, the step of supplying the high-concentration gas for inspection to the tank while reading the flow rate, and the step of integrating the flow rates Can be configured to stop the supply when the amount of high-concentration gas for inspection to be supplied is reached, and further, the step of supplying the calculated amount of dilution gas to the tank can be performed while reading the flow rate. It can also be configured by a step of supplying gas to the tank and a step of integrating the flow rates and stopping the supply when the integrated flow rate reaches the amount of dilution gas to be supplied. This also makes it possible to supply the high-concentration gas for inspection and the diluting gas with high accuracy, and as a result, the inspection by the leak inspection device can be performed with high accuracy.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を用いて説明する。図1は同実施形態に係る検査用ガス
の混合装置10を示している。この混合装置10は、検
査用ガスを収容する混合タンク11を備えており、この
混合タンク11には、ヘリウムガス配送管12、空気配
送管13、圧力計14および検査用ガス配送管15が接
続されている。ヘリウムガス配送管12は高濃度の検査
用ガスであるヘリウムガスを混合タンク11に供給し、
空気配送管13はヘリウムガスを希釈する希釈用ガスで
ある空気を混合タンクに供給する。また、圧力計14は
混合タンク11内の圧力を測定し、検査用ガス配送管1
5は、漏れ検査装置(図示せず)に接続されており、混
合タンク11内の検査用ガスをその漏れ検査装置に供給
する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an inspection gas mixing apparatus 10 according to the same embodiment. This mixing device 10 is provided with a mixing tank 11 for containing an inspection gas, and a helium gas delivery pipe 12, an air delivery pipe 13, a pressure gauge 14 and an inspection gas delivery pipe 15 are connected to the mixing tank 11. Has been done. The helium gas delivery pipe 12 supplies helium gas, which is a high concentration inspection gas, to the mixing tank 11,
The air delivery pipe 13 supplies air, which is a diluting gas for diluting the helium gas, to the mixing tank. In addition, the pressure gauge 14 measures the pressure in the mixing tank 11, and the inspection gas delivery pipe 1
Reference numeral 5 is connected to a leak inspection device (not shown) and supplies the inspection gas in the mixing tank 11 to the leak inspection device.

【0018】そして、ヘリウムガス配送管12には、開
閉バルブ12a、ヘリウムガス流量調整弁12b、ヘリ
ウムガス流量センサ16および減圧弁12cが設けられ
ており、減圧弁12cは、ヘリウムガス配送管12を介
して混合タンク11にヘリウムガスを供給するヘリウム
ガス供給装置12dに接続されている。したがって、ヘ
リウムガス供給装置12dからヘリウムガス配送管12
に送り出されたヘリウムガスは、減圧弁12cおよびヘ
リウムガス流量調整弁12bの調節によって圧力や流量
をコントロールされながら、開閉バルブ12aの開成に
よって混合タンク11に供給され、開閉バルブ12aを
閉じることによってその供給を停止される。このヘリウ
ムガス配送管12、開閉バルブ12a、ヘリウムガス流
量調整弁12b、減圧弁12cおよびヘリウムガス供給
装置12dで、本発明の検査用高濃度ガス供給手段が構
成される。
The helium gas delivery pipe 12 is provided with an opening / closing valve 12a, a helium gas flow rate adjusting valve 12b, a helium gas flow rate sensor 16 and a pressure reducing valve 12c. The pressure reducing valve 12c connects the helium gas delivery pipe 12 to the helium gas delivery pipe 12. It is connected to a helium gas supply device 12d that supplies helium gas to the mixing tank 11 via. Therefore, from the helium gas supply device 12d to the helium gas delivery pipe 12
The helium gas delivered to the mixing tank 11 is supplied to the mixing tank 11 by opening the open / close valve 12a while controlling the pressure and flow rate by adjusting the pressure reducing valve 12c and the helium gas flow rate adjusting valve 12b, and closing the open / close valve 12a. Supply is stopped. The helium gas delivery pipe 12, the opening / closing valve 12a, the helium gas flow rate adjusting valve 12b, the pressure reducing valve 12c, and the helium gas supply device 12d constitute the inspection high-concentration gas supply means of the present invention.

【0019】また、ヘリウムガス流量センサ16には、
ヘリウムガス積算計16aが接続されている。ヘリウム
ガス流量センサ16は、ヘリウムガス配送管12を通過
するヘリウムガスを検知するとともにその瞬時流量を算
出し、ヘリウムガス積算計16aは、ヘリウムガス流量
センサ16からの信号を受けて、ヘリウムガス配送管1
2を通過する単位時間当たりのヘリウムガスの流量を積
算してヘリウムガスの積算流量を表示する。そして、ヘ
リウムガス積算計16aは、制御手段であるシーケンサ
17に接続され、シーケンサ17は、圧力計14および
開閉バルブ12aに接続されている。
Further, the helium gas flow sensor 16 includes
A helium gas integrator 16a is connected. The helium gas flow sensor 16 detects the helium gas passing through the helium gas delivery pipe 12 and calculates the instantaneous flow rate thereof. The helium gas integrator 16a receives a signal from the helium gas flow sensor 16 and delivers the helium gas. Tube 1
The flow rate of helium gas per unit time passing through 2 is integrated and the integrated flow rate of helium gas is displayed. The helium gas integrator 16a is connected to the sequencer 17, which is a control means, and the sequencer 17 is connected to the pressure gauge 14 and the opening / closing valve 12a.

【0020】シーケンサ17は、CPU,ROM,RA
M等を備えており、各種のプログラムやデータを記憶す
るとともにそのプログラムやデータを基に演算処理等を
実行する基本部と、入力部および出力部を備えている。
また、基本部には、ユーザが設定した混合タンク11の
状態に関するデータ、例えば、混合タンク11内の圧
力、検査用ガスの濃度、ヘリウムガス量等の各種データ
も記憶されている。
The sequencer 17 includes a CPU, ROM, RA
M and the like are provided, and a basic unit that stores various programs and data and executes arithmetic processing based on the programs and data, an input unit, and an output unit are provided.
In addition, the basic unit also stores data regarding the state of the mixing tank 11 set by the user, for example, various data such as the pressure inside the mixing tank 11, the concentration of the inspection gas, and the helium gas amount.

【0021】そして、入力部で、圧力計14が測定する
混合タンク11内の圧力の測定結果を信号として受信す
るとともに、ヘリウムガス積算計16aが積算するヘリ
ウムガス供給量の積算値を信号として受信する。そし
て、圧力計14の測定結果から混合タンク11内の残留
検査用ガスの量を算出し、その残留検査用ガスの量の算
出値と、予め設定された検査用ガスの量およびその検査
用ガスの中のヘリウムガスと空気の割合(ヘリウムガス
の濃度)を比較して、混合タンク11に供給すべき必要
なヘリウムガスの量を算出する。
Then, the input unit receives the measurement result of the pressure in the mixing tank 11 measured by the pressure gauge 14 as a signal and the integrated value of the helium gas supply amount integrated by the helium gas integrator 16a as a signal. To do. Then, the amount of the residual inspection gas in the mixing tank 11 is calculated from the measurement result of the pressure gauge 14, and the calculated value of the amount of the residual inspection gas and the preset amount of the inspection gas and the inspection gas are set. The amount of helium gas required to be supplied to the mixing tank 11 is calculated by comparing the ratios of helium gas and air (concentration of helium gas).

【0022】そして、出力部から信号を発信して、開閉
バルブ12aを開け、ヘリウムガス供給装置12dから
ヘリウムガス配送管12を介して混合タンク11にヘリ
ウムガスを送る。その際、ヘリウムガス流量センサ16
およびヘリウムガス積算計16aによって、混合タンク
11内に供給されるヘリウムガスが検出されるとともに
その供給量も算出されデータとしてシーケンサ17に送
られる。したがって、必要なヘリウムガスが混合タンク
11に供給されたときに、シーケンサ17の制御によっ
て、開閉バルブ12aが閉じられてヘリウムガスの混合
タンク11への供給が終了する。
Then, a signal is transmitted from the output section to open the on-off valve 12a and send the helium gas from the helium gas supply device 12d to the mixing tank 11 via the helium gas delivery pipe 12. At that time, the helium gas flow rate sensor 16
The helium gas supplied to the mixing tank 11 is detected by the helium gas integrator 16a, and the supply amount thereof is calculated and sent to the sequencer 17 as data. Therefore, when the necessary helium gas is supplied to the mixing tank 11, the opening / closing valve 12a is closed and the supply of the helium gas to the mixing tank 11 is completed under the control of the sequencer 17.

【0023】また、空気配送管13には、開閉バルブ1
3a、空気流量調整弁13b、空気流量センサ18およ
び減圧弁13cが設けられており、減圧弁13cは、空
気配送管13を介して混合タンク11に空気を供給する
空気供給装置13dに接続されている。したがって、空
気供給装置13dから送り出される空気は、減圧弁13
cおよび空気流量調整弁13bの調節によって圧力や流
量をコントロールされながら、開閉バルブ13aの開成
によって混合タンク11に供給され、開閉バルブ13a
を閉じることによってその供給を停止される。空気配送
管13、開閉バルブ13a、空気流量調整弁13b、減
圧弁13cおよび空気供給装置13dで本発明の希釈用
ガス供給手段が構成される。
Further, the air delivery pipe 13 has an opening / closing valve 1
3a, an air flow rate adjusting valve 13b, an air flow rate sensor 18, and a pressure reducing valve 13c are provided, and the pressure reducing valve 13c is connected to an air supply device 13d that supplies air to the mixing tank 11 via an air delivery pipe 13. There is. Therefore, the air sent out from the air supply device 13d is
c and the air flow rate adjusting valve 13b are controlled to control the pressure and the flow rate, and the open / close valve 13a is opened to supply the mixed tank 11 with the open / close valve 13a.
The supply is stopped by closing the. The air delivery pipe 13, the opening / closing valve 13a, the air flow rate adjusting valve 13b, the pressure reducing valve 13c, and the air supply device 13d constitute the dilution gas supply means of the present invention.

【0024】また、空気流量センサ18には、空気積算
計18aが接続されている。空気流量センサ18は、空
気配送管13を通過する空気を検知するとともにその瞬
時流量を算出し、空気積算計18aは、空気流量センサ
18からの信号を受けて、空気配送管13を通過する単
位時間当たりの空気の流量を積算して空気の積算流量を
表示する。そして、空気積算計18aは、シーケンサ1
7に接続され、シーケンサ17は、開閉バルブ13aに
接続されている。
An air integrator 18a is connected to the air flow rate sensor 18. The air flow rate sensor 18 detects the air passing through the air delivery pipe 13 and calculates the instantaneous flow rate thereof, and the air integrator 18a receives the signal from the air flow rate sensor 18 and passes through the air delivery pipe 13 by a unit. Display the cumulative flow rate of air by integrating the flow rate of air per hour. The air integrator 18a is the sequencer 1
7, and the sequencer 17 is connected to the opening / closing valve 13a.

【0025】シーケンサ17は、圧力計14が混合タン
ク11内の圧力を測定した際のその測定結果およびユー
ザによって予め設定される混合タンク11内の圧力、検
査用ガスの濃度等から算出される混合タンク11に供給
すべき必要な量の空気を開閉バルブ13aを開けること
によって混合タンク11に供給する。また、空気流量セ
ンサ18および空気積算計18aによって、混合タンク
11内に供給された空気が必要な空気量に達したと判定
されたときに、開閉バルブ13aが閉じられて空気の供
給が終了する。供給された空気は、混合タンク11内で
ヘリウムガスと混合されて設定濃度の検査用ガスにな
る。
The sequencer 17 is a mixture calculated from the measurement result when the pressure gauge 14 measures the pressure in the mixing tank 11, the pressure in the mixing tank 11 preset by the user, the concentration of the inspection gas, and the like. The required amount of air to be supplied to the tank 11 is supplied to the mixing tank 11 by opening the opening / closing valve 13a. Further, when the air flow rate sensor 18 and the air integrator 18a determine that the air supplied into the mixing tank 11 has reached the required air amount, the opening / closing valve 13a is closed and the air supply is terminated. . The supplied air is mixed with helium gas in the mixing tank 11 to become a test gas having a set concentration.

【0026】そして、検査用ガスは、検査用ガス配送管
15を介して漏れ検査装置に供給され検査に使用され
る。なお、検査用ガス配送管15には、開閉バルブ15
aが取り付けられており、この開閉バルブ15aを開閉
することによって、検査用ガスを漏れ検査装置に供給し
たり、その供給を停止したりすることができる。
The inspection gas is supplied to the leak inspection device through the inspection gas delivery pipe 15 and used for inspection. The inspection gas delivery pipe 15 has an opening / closing valve 15
a is attached, and by opening and closing the opening / closing valve 15a, it is possible to supply the inspection gas to the leak inspection device or to stop the supply thereof.

【0027】つぎに、混合タンク11内の検査用ガスが
減少し、上記のように構成された検査用ガスの混合装置
10を用いて、高濃度のヘリウムガスと希釈用の空気の
供給を行う場合について説明する。まず、混合タンク1
1内の検査用ガスが使用によって減少すると、圧力計1
4の測定によって、混合タンク11内の圧力が低下して
いることが示される。ついで、シーケンサ17によっ
て、混合タンク11内の検査用ガス量が算出され、この
算出結果から、供給されるべきヘリウムガスと空気の量
が算出される。
Next, the inspection gas in the mixing tank 11 is reduced, and the high-concentration helium gas and the diluting air are supplied by using the inspection gas mixing apparatus 10 configured as described above. The case will be described. First, mixing tank 1
When the inspection gas in 1 decreases due to use, pressure gauge 1
The measurement of 4 shows that the pressure in the mixing tank 11 is decreasing. Next, the sequencer 17 calculates the inspection gas amount in the mixing tank 11, and the amount of helium gas and air to be supplied is calculated from the calculation result.

【0028】この場合、混合タンク11内の残存検査用
ガスの濃度と同じ濃度の検査用ガスを補充するときに
は、それと同じ割合でヘリウムガスと空気の供給量を算
出する。また、残存検査用ガスの濃度と異なる濃度の検
査用ガスになるような補充をするときには、残存検査用
ガスと補充する検査用ガスとの混合ガスが設定した濃度
になるようにヘリウムガスと空気の供給量を算出する。
この算出は、ヘリウムガス積算計16aと空気積算計1
8aによって積算されたすでに供給されたヘリウムガス
と空気の供給量の値から、混合タンク11内の残存検査
用ガスの濃度を算出し、新たに補充するヘリウムガスと
空気の量をどの程度にすれば、全体の濃度が設定値にな
るかを算出することにより行う。
In this case, when the test gas having the same concentration as the residual test gas in the mixing tank 11 is replenished, the supply amounts of helium gas and air are calculated at the same ratio. Also, when replenishing so that the concentration of the remaining inspection gas becomes different from that of the inspection gas, the helium gas and the air should be mixed so that the mixed gas of the remaining inspection gas and the inspection gas to be supplemented has the set concentration. Calculate the supply amount of.
This calculation is based on the helium gas integrator 16a and the air integrator 1
8a, the concentration of the residual inspection gas in the mixing tank 11 is calculated from the values of the supply amounts of the helium gas and the air that have already been supplied, and what is the amount of the helium gas and the air to be newly replenished? For example, it is performed by calculating whether the total density reaches the set value.

【0029】つぎに、シーケンサ17の制御によって、
開閉バルブ12a,13aが開けられ、ヘリウムガス供
給装置12dからは、ヘリウムガス配送管12を介して
混合タンク11にヘリウムガスが供給され、空気供給装
置13dからは、空気配送管13を介して混合タンク1
1に空気が供給される。そして、ヘリウムガス積算計1
6aに表示されるヘリウムガスの積算流量が算出値に達
したところで、シーケンサ17の制御によって開閉バル
ブ12aが閉じられてヘリウムガスの供給が停止され
る。また、空気積算計18aに表示される空気の積算流
量が算出値に達したところで、シーケンサ17の制御に
よって開閉バルブ13aが閉じられて空気の供給が停止
される。
Next, under the control of the sequencer 17,
The open / close valves 12a and 13a are opened, helium gas is supplied from the helium gas supply device 12d to the mixing tank 11 via the helium gas delivery pipe 12, and mixed from the air supply device 13d via the air delivery pipe 13. Tank 1
1 is supplied with air. And helium gas integrator 1
When the integrated flow rate of helium gas displayed on 6a reaches the calculated value, the opening / closing valve 12a is closed by the control of the sequencer 17 and the supply of helium gas is stopped. Further, when the integrated flow rate of air displayed on the air integrator 18a reaches the calculated value, the opening / closing valve 13a is closed by the control of the sequencer 17 and the air supply is stopped.

【0030】この結果、混合タンク11内の残留検査用
ガスと、新たに補充されたヘリウムガスおよび空気が混
合されて、混合タンク11内は、設定濃度の検査用ガス
が設定量充填された状態になる。なお、ヘリウムガスと
空気を混合タンク11内に供給する際、前記のように、
ヘリウムガスと空気を同時に供給してもよいし、ヘリウ
ムガスを供給したのち空気を供給したり、空気を供給し
たのちヘリウムガスを供給したりしてもよい。また、検
査用高濃度ガスとして、ヘリウムガスに代えて他のガス
を用いることもでき、希釈用ガスとして、空気に代えて
窒素ガス等を用いることもできる。
As a result, the residual inspection gas in the mixing tank 11 is mixed with the newly supplemented helium gas and air, and the mixing tank 11 is filled with the inspection gas of the set concentration in the set amount. become. When supplying the helium gas and the air into the mixing tank 11, as described above,
Helium gas and air may be supplied at the same time, helium gas may be supplied first and then air may be supplied, or air may be supplied and then helium gas may be supplied. Further, other gas may be used as the inspection high-concentration gas instead of helium gas, and nitrogen gas or the like may be used instead of air as the dilution gas.

【0031】さらに、本実施形態では、混合タンク11
に対して、ヘリウムガスと空気を、ヘリウムガス配送管
12および空気配送管13を用いて別々に供給するよう
にし、それぞれの配送管12,13に、ヘリウムガス流
量センサ16、ヘリウムガス積算計16aおよび空気流
量センサ18、空気積算計18aを設けている。しかし
ながら、ヘリウムガス配送管12と空気配送管13を、
途中から合流させて1個の配送管として混合タンク11
に連結し、ヘリウムガスと空気を同じ配送管で供給する
こともできる。
Further, in this embodiment, the mixing tank 11
On the other hand, the helium gas and the air are separately supplied using the helium gas delivery pipe 12 and the air delivery pipe 13, and the helium gas flow rate sensor 16 and the helium gas integrator 16a are supplied to the delivery pipes 12 and 13, respectively. Also, an air flow rate sensor 18 and an air integrator 18a are provided. However, the helium gas delivery pipe 12 and the air delivery pipe 13 are
Mixing tank 11 that joins from the middle to form one delivery pipe
The helium gas and the air can be supplied by the same delivery pipe.

【0032】この場合、ヘリウムガス配送管12と空気
配送管13にシーケンサ17によって開閉制御される開
閉バルブを設け、この両開閉バルブの下流側におけるヘ
リウムガス配送管12と空気配送管13の部分を合流さ
せる。そして、配送管の合流した部分にそれぞれ1個の
流量センサおよび積算計を設けることにより、装置の簡
略化が図れる。
In this case, the helium gas delivery pipe 12 and the air delivery pipe 13 are provided with opening / closing valves which are controlled to be opened / closed by the sequencer 17, and the portions of the helium gas delivery pipe 12 and the air delivery pipe 13 on the downstream side of the both opening / closing valves are connected. Join. The device can be simplified by providing one flow rate sensor and one integrator at each of the converging portions of the delivery pipe.

【0033】以上のように、本実施形態による混合装置
10では、ヘリウムガスの混合タンク11への供給量
を、圧力計14の測定値だけを用いて制御するのでな
く、ヘリウムガス流量センサ16およびヘリウムガス積
算計16aからなる検査用高濃度ガス流量計によって、
実際に混合タンク11に供給されたヘリウムガスの量を
測定し、その量が設定値に達したところで供給を停止す
るようになっている。このため、ヘリウムガスの供給量
を精度よく制御することができる。
As described above, in the mixing apparatus 10 according to the present embodiment, the supply amount of helium gas to the mixing tank 11 is controlled not only by using the measurement value of the pressure gauge 14, but also by the helium gas flow sensor 16 and With a high-concentration gas flow meter for inspection consisting of a helium gas integrator 16a,
The amount of helium gas actually supplied to the mixing tank 11 is measured, and when the amount reaches the set value, the supply is stopped. Therefore, the supply amount of helium gas can be accurately controlled.

【0034】また、同様に、空気の混合タンク11への
供給も、空気流量センサ18および空気積算計18aか
らなる希釈用ガス流量計によって、実際に混合タンク1
1に供給された空気の量を測定し、その量が設定値に達
したところで供給を停止するようになっている。このた
め、空気の供給量も精度よく制御することができ、その
結果、混合タンク11に供給されたヘリウムガスと空気
の混合ガスは、設定された濃度の検査用ガスになる。
Similarly, the air is supplied to the mixing tank 11 by the dilution gas flow meter including the air flow sensor 18 and the air integrator 18a.
The amount of air supplied to No. 1 is measured, and when the amount reaches a set value, the supply is stopped. Therefore, the supply amount of air can also be accurately controlled, and as a result, the mixed gas of helium gas and air supplied to the mixing tank 11 becomes the inspection gas having the set concentration.

【0035】また、この混合装置10によれば、検査用
ガスの濃度を一定値にするだけでなく、適宜、設定を行
うことによって濃度を変更しながら検査用ガスの混合を
行うことができる。したがって、設定濃度の異なる検査
用ガスが収容された混合タンクを複数個揃えて、そのタ
ンクを使用目的に応じて使い分けるといったことをする
必要はなく、1個の混合タンク11で異なる濃度の検査
用ガスの使用ができる使い勝手のよい装置が得られる。
すなわち、ヘリウムガス積算計16aと空気積算計18
aを用いることによって、すでに、混合タンク11内に
供給された検査用ガスの濃度が算出できるようになり、
これに、補充するヘリウムガスおよび空気の量を適宜変
更することによって、濃度の異なる検査用ガスを自在に
混合することができる。
Further, according to the mixing apparatus 10, not only the concentration of the inspection gas is kept constant, but also the concentration of the inspection gas can be changed by appropriately setting the concentration of the inspection gas. Therefore, it is not necessary to prepare a plurality of mixing tanks containing inspection gases having different set concentrations and use the tanks properly according to the purpose of use. A user-friendly device that can use gas can be obtained.
That is, the helium gas integrator 16a and the air integrator 18
By using a, the concentration of the inspection gas already supplied into the mixing tank 11 can be calculated,
By appropriately changing the amounts of helium gas and air to be replenished, it is possible to freely mix test gases having different concentrations.

【0036】さらに、ヘリウムガス配送管12には、ヘ
リウムガス流量調整弁12bおよび減圧弁12cを設け
て、混合タンク11に供給されるヘリウムガスの圧力や
流量をコントロールできるようにしているため、ヘリウ
ムガスの供給量を微量な範囲で制御できる。また、同様
に、空気配送管13には、空気流量調整弁13bおよび
減圧弁13cを設けて、混合タンク11に供給される空
気を微量な範囲で制御できる。したがって、低濃度に設
定された検査用ガスや使用量の少ない検査用ガスの場合
であっても、濃度が安定するようになる。
Further, the helium gas delivery pipe 12 is provided with a helium gas flow rate adjusting valve 12b and a pressure reducing valve 12c so that the pressure and flow rate of the helium gas supplied to the mixing tank 11 can be controlled. The amount of gas supplied can be controlled within a minute range. Similarly, the air delivery pipe 13 is provided with an air flow rate adjusting valve 13b and a pressure reducing valve 13c so that the air supplied to the mixing tank 11 can be controlled within a very small range. Therefore, even if the inspection gas is set to a low concentration or the inspection gas is used in a small amount, the concentration becomes stable.

【0037】また、混合装置10によれば、開閉バルブ
12,13aを同時に開いて、ヘリウムガスと空気を同
時に供給することができるため、混合タンク11へのヘ
リウムガスと空気の供給を短時間で行え、作業効率が大
幅に向上される。
Further, according to the mixing apparatus 10, since the opening / closing valves 12 and 13a can be simultaneously opened to supply the helium gas and the air at the same time, the helium gas and the air can be supplied to the mixing tank 11 in a short time. This can be done and work efficiency is greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施形態に係る検査用ガスの混合
装置の概略図である。
FIG. 1 is a schematic view of an inspection gas mixing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】 従来例による検査用ガスの混合装置の概略図
である。
FIG. 2 is a schematic view of an inspection gas mixing device according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…混合装置、11…混合タンク、12…ヘリウムガ
ス配送管、12a,13a…開閉バルブ、13…空気配
送管、14…圧力計、16…ヘリウムガス流量センサ、
16a…ヘリウムガス積算計、17…シーケンサ、18
…空気流量センサ、18a…空気積算計。
10 ... Mixing device, 11 ... Mixing tank, 12 ... Helium gas delivery pipe, 12a, 13a ... Open / close valve, 13 ... Air delivery pipe, 14 ... Pressure gauge, 16 ... Helium gas flow sensor,
16a ... Helium gas integrator, 17 ... Sequencer, 18
... air flow rate sensor, 18a ... air integrator.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 清矢 静岡県浜松市青屋町283番地 ヤマハファ インテック株式会社内 Fターム(参考) 2G067 CC04 CC11 CC13 DD02 DD04 4G035 AB01 AE02 AE13 AE19 4G037 BA02 BB06 BC04 BD01 BD04   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Seiya Nishimura             Yamafa, 283 Aoyamachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture             Inside Intec Co., Ltd. F term (reference) 2G067 CC04 CC11 CC13 DD02 DD04                 4G035 AB01 AE02 AE13 AE19                 4G037 BA02 BB06 BC04 BD01 BD04

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】検査用高濃度ガスと希釈用ガスを混合して
なる検査用ガスを収容するタンクと、 前記タンクに検査用高濃度ガスを供給する検査用高濃度
ガス供給手段と、 前記タンクに希釈用ガスを供給する希釈用ガス供給手段
と、 前記タンク内の圧力を測定する圧力計と、 前記検査用高濃度ガス供給手段、前記希釈用ガス供給手
段および前記圧力計に接続され、前記圧力計の測定結果
に応じて、前記検査用高濃度ガス供給手段および前記希
釈用ガス供給手段から前記タンクに供給される検査用高
濃度ガスおよび希釈用ガスの量を制御する制御手段と、
を備えた検査用ガスの混合装置において、 前記検査用高濃度ガス供給手段と前記制御手段に接続さ
れ、前記検査用高濃度ガス供給手段から前記タンクに供
給される検査用高濃度ガス量を測定し、その測定結果を
前記制御手段に送信する検査用高濃度ガス流量計を設け
たことを特徴とする検査用ガスの混合装置、
1. A tank for containing an inspection gas formed by mixing an inspection high-concentration gas and a dilution gas, an inspection high-concentration gas supply means for supplying the inspection high-concentration gas to the tank, and the tank. Dilution gas supply means for supplying a dilution gas to, a pressure gauge for measuring the pressure in the tank, connected to the inspection high-concentration gas supply means, the dilution gas supply means and the pressure gauge, Depending on the measurement result of the pressure gauge, control means for controlling the amounts of the high concentration gas for inspection and the dilution gas supplied from the high concentration gas for inspection gas supply means and the dilution gas supply means to the tank,
In an inspection gas mixing device, the device is connected to the inspection high-concentration gas supply means and the control means, and measures the inspection high-concentration gas amount supplied from the inspection high-concentration gas supply means to the tank. And an inspection gas mixing device, characterized in that an inspection high-concentration gas flow meter for transmitting the measurement result to the control means is provided.
【請求項2】検査用高濃度ガスと希釈用ガスを混合して
なる検査用ガスを収容するタンクと、 前記タンクに検査用高濃度ガスを供給する検査用高濃度
ガス供給手段と、 前記タンクに希釈用ガスを供給する希釈用ガス供給手段
と、 前記タンク内の圧力を測定する圧力計と、 前記検査用高濃度ガス供給手段から前記タンクに供給さ
れる検査用高濃度ガス量を測定する検査用高濃度ガス流
量計と、 前記希釈用ガス供給手段から前記タンクに供給される希
釈用ガス量を測定する希釈用ガス流量計と、 前記検査用高濃度ガス供給手段、希釈用ガス供給手段、
圧力計、検査用高濃度ガス流量計および希釈用ガス流量
計に接続され、前記圧力計、検査用高濃度ガス流量計お
よび希釈用ガス流量計の測定結果に応じて、前記検査用
高濃度ガス供給手段および希釈用ガス供給手段から前記
タンクに供給される検査用高濃度ガスおよび希釈用ガス
の量を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする
検査用ガスの混合装置。
2. A tank for containing an inspection gas, which is a mixture of an inspection high-concentration gas and a dilution gas, an inspection high-concentration gas supply means for supplying the inspection high-concentration gas to the tank, and the tank. A dilution gas supply means for supplying a dilution gas to the tank, a pressure gauge for measuring the pressure in the tank, and an amount of the inspection high-concentration gas supplied from the inspection high-concentration gas supply means to the tank. Inspection high-concentration gas flow meter, dilution gas flow meter for measuring the amount of dilution gas supplied from the dilution gas supply means to the tank, inspection high-concentration gas supply means, dilution gas supply means ,
Connected to a pressure gauge, a high concentration gas flow meter for inspection and a dilution gas flow meter, and according to the measurement results of the pressure gauge, a high concentration gas flow meter for inspection and a dilution gas flow meter, the high concentration gas for inspection And a control unit for controlling the amounts of the high concentration gas for inspection and the dilution gas supplied from the supply unit and the dilution gas supply unit to the tank.
【請求項3】前記検査用高濃度ガス流量計が、前記検査
用高濃度ガス供給手段から前記タンクに供給される検査
用高濃度ガスの単位時間当たりの流量を検出する流量セ
ンサと、前記流量センサが検出した検査用高濃度ガスの
流量を積算する積算計とを備えている請求項1または2
に記載の検査用ガスの混合装置。
3. A flow sensor, wherein the inspection high-concentration gas flow meter detects a flow rate of the inspection high-concentration gas supplied from the inspection high-concentration gas supply means to the tank per unit time, and the flow rate. 3. An integrator for integrating the flow rate of the high-concentration gas for inspection detected by the sensor.
The inspection gas mixing device described in 1.
【請求項4】検査用高濃度ガスと希釈用ガスを混合して
なる検査用ガスを収容するタンク内の圧力を測定し検査
用ガスの残存量を算出する工程と、 前記タンクに供給された検査用高濃度ガスおよび希釈用
ガスの流量を積算し、積算された検査用高濃度ガスの積
算値と希釈用ガスの積算値から前記タンク内の検査用ガ
スの濃度を算出する工程と、 前記両工程から算出した結果と、設定濃度による検査用
高濃度ガスと希釈用ガスの量とを演算し、供給すべき検
査用高濃度ガスと希釈用ガスの量を算出する工程と、 算出された量の検査用高濃度ガスを前記タンクに供給す
る工程と算出された量の希釈用ガスを前記タンクに供給
する工程とからなることを特徴とする検査用ガスの混合
方法。
4. A step of measuring the pressure in a tank containing an inspection gas containing a mixture of an inspection high-concentration gas and a dilution gas to calculate the remaining amount of the inspection gas, and the step of supplying the inspection gas to the tank. Integrating the flow rates of the inspection high-concentration gas and the dilution gas, and calculating the concentration of the inspection gas in the tank from the integrated value of the integrated inspection high-concentration gas and the integrated value of the dilution gas, and A step of calculating the results calculated from both steps and the amounts of the high concentration gas for inspection and the dilution gas depending on the set concentration, and calculating the amounts of the high concentration gas for inspection and the dilution gas to be supplied, A method of mixing an inspection gas, comprising: a step of supplying an amount of high concentration gas for inspection to the tank; and a step of supplying a calculated amount of dilution gas to the tank.
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