JP2003042973A - Image processing method in pattern inspection, and pattern inspection device - Google Patents

Image processing method in pattern inspection, and pattern inspection device

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JP2003042973A JP2001227914A JP2001227914A JP2003042973A JP 2003042973 A JP2003042973 A JP 2003042973A JP 2001227914 A JP2001227914 A JP 2001227914A JP 2001227914 A JP2001227914 A JP 2001227914A JP 2003042973 A JP2003042973 A JP 2003042973A
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sensor camera
inspected
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敏幸 岡田
Koichi Wakitani
康一 脇谷
Hiroki Fukumoto
弘紀 福元
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect a defect with high accuracy, by avoiding influence of wow and flutter caused by driving of an inspection camera, when detecting the defect caused by a continuous pattern, in a pattern inspection device used for electrode defect detection in a plasma display or the like. SOLUTION: A cycle of wow and flutter of a drive shaft is measured beforehand, and an inspection line of a line sensor camera is driven in the direction of the continuous pattern on a panel to be inspected 101. Image processing is conducted, by using a pattern detected at a position separated by a cycle unit of wow and flutter, relative to each individual processing object pattern constituting the taken continuous pattern 101a on the panel 101 to be inspected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶やPDP(プ
ラズマ・ディスプレイ・パネル)のパネル等、連続した
パターンを有する被検査物のパターン異常や異物を検出
するためのパターン検査における画像処理方法及びパタ
ーン検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image processing method in a pattern inspection for detecting a pattern abnormality or foreign matter of an inspected object having a continuous pattern such as a liquid crystal or PDP (plasma display panel) panel. The present invention relates to a pattern inspection device.

【0002】[0002]

【従来の技術】今日において、液晶、PDPといったデ
ィスプレイパネルの解像度が向上し、パネルを形成する
電極、その他のパターンの微細化が進んでいる。それに
伴い、製造工程でのパターン異常や異物の付着等により
パネルの歩留まりが低下し、これら不良によるロスコス
トがパネルのコストダウンを阻害している。
2. Description of the Related Art In recent years, the resolution of display panels such as liquid crystals and PDPs has been improved, and electrodes for forming the panels and other patterns have been miniaturized. Along with this, the yield of the panel is lowered due to pattern abnormalities and adhesion of foreign matter in the manufacturing process, and the loss cost due to these defects hinders the cost reduction of the panel.

【0003】そこで、近年、これら電極等のパターン欠
陥や異物を画像処理により検出するパターン検査装置を
導入し、検査において不良と判定したパネルを修正工程
に回し、手直しを加えることにより良品パネルに再生
し、ロスコストを削減する取り組みがなされている。
Therefore, in recent years, a pattern inspection apparatus for detecting pattern defects and foreign matters of these electrodes and the like by image processing has been introduced, and a panel judged to be defective in the inspection is sent to a repair process and reworked to be a good panel. However, efforts are being made to reduce loss costs.

【0004】図2は、このようなパターン検査装置の一
例として、PDPパネルの電極端子部分の欠陥検査に使
用されるパターン検査装置の構造例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an example of the structure of a pattern inspection apparatus used for defect inspection of an electrode terminal portion of a PDP panel, as an example of such a pattern inspection apparatus.

【0005】図2において、201は被検査パネル、2
02は被検査パネル201を保持するワークテーブル、
203は画像の取り込みを行う検査カメラ、204は画
像を連続的に取り込むために検査カメラ203を一定速
度でX軸方向に駆動するX駆動軸、205はY方向の位
置決めを行うY駆動軸、206は検査カメラ203と被
検査パネル201の距離を検査カメラ203の焦点深度
内で一定に保つように調整するオートフォーカス軸、2
07は被検査パネル201の任意位置を拡大表示させる
レビューカメラである。
In FIG. 2, 201 is a panel to be inspected, 2
02 is a work table holding the panel 201 to be inspected,
Reference numeral 203 denotes an inspection camera that captures images, 204 denotes an X drive axis that drives the inspection camera 203 in the X axis direction at a constant speed to continuously capture images, 205 denotes a Y drive axis that positions in the Y direction, 206 Is an autofocus axis for adjusting the distance between the inspection camera 203 and the panel 201 to be inspected to be constant within the depth of focus of the inspection camera 203.
Reference numeral 07 is a review camera for enlarging and displaying an arbitrary position of the panel 201 to be inspected.

【0006】検査カメラ(ラインセンサカメラ)203
はCCD素子が横方向に一列に配置されており、一定周
期でスキャンを行うことにより画像取り込みを行う。図
3は検査カメラ203による画像取り込みの原理を示す
図である。図3において、301はカメラ駆動方向と直
角方向に一列に並び、検査カメラのCCD素子により取
り込まれる個々の画素を示している。
Inspection camera (line sensor camera) 203
The CCD elements are arranged in a line in the lateral direction, and images are captured by scanning at constant intervals. FIG. 3 is a diagram showing the principle of image capturing by the inspection camera 203. In FIG. 3, reference numeral 301 denotes individual pixels arranged in a line in the direction perpendicular to the camera driving direction and taken in by the CCD element of the inspection camera.

【0007】ラインセンサの分解能が5μm×5μm、
画素数が6000画素とした場合、カメラの固定状態で
5μm×30mmの領域の画像取り込みが可能となる。
カメラのスキャン周期が20kHzであれば、スキャン
方向の6000画素については1/20,000秒で画
像取り込みが可能である。したがって、検査カメラ20
3をスキャン方向と直角方向(カメラ駆動方向)に連続
的に100mm/secで駆動すれば、駆動方向につい
ても1/20,000秒での移動量が5μmとなり、画
素の切れ間無く連続的に画像取り込みが可能になる。つ
まり、1秒間で30mm×100mmの画像を取り込む
ことができる。
The resolution of the line sensor is 5 μm × 5 μm,
When the number of pixels is 6000, it is possible to capture an image of a region of 5 μm × 30 mm with the camera fixed.
If the scan cycle of the camera is 20 kHz, an image can be captured in 120,000 seconds for 6000 pixels in the scan direction. Therefore, the inspection camera 20
If 3 is continuously driven at 100 mm / sec in the direction perpendicular to the scanning direction (camera driving direction), the amount of movement in the driving direction will be 5 μm at 120,000 seconds, and continuous image formation will be achieved without pixel breaks. It becomes possible to import. That is, an image of 30 mm × 100 mm can be captured in 1 second.

【0008】このようなパターン検査装置を用いて、プ
ラズマ・ディスプレイ・パネルの背面板における電極端
子部分の欠陥を検出する場合を例に挙げて説明する。図
4はプラズマ・ディスプレイ・パネルの背面板電極の概
略図で、図4(a)は背面板全体の電極構成図、図4
(b)は端子部を拡大した電極詳細図である。
An example of detecting a defect in the electrode terminal portion on the back plate of the plasma display panel using such a pattern inspection apparatus will be described. FIG. 4 is a schematic view of a back plate electrode of the plasma display panel, and FIG. 4 (a) is an electrode configuration diagram of the whole back plate, FIG.
(B) is an electrode detailed view showing an enlarged terminal portion.

【0009】欠陥部分の検出のために端子部分の画像を
取り込む必要があるが、端子部の幅は10mm程度であ
り、検査カメラ203のスキャン幅は、検出分解能にも
よるが、一般に30mm程度は可能であり、図4(b)
に示すカメラ送り方向に検査カメラ203を走査すれ
ば、一回の走査で片側の端子部すべての画像の取り込み
が可能である。
Although it is necessary to capture the image of the terminal portion to detect the defective portion, the width of the terminal portion is about 10 mm, and the scanning width of the inspection camera 203 is generally about 30 mm, although it depends on the detection resolution. Yes, and Fig. 4 (b)
If the inspection camera 203 is scanned in the camera feeding direction shown in (1), it is possible to capture images of all the terminal portions on one side by one scanning.

【0010】この検査カメラ203の走査はX駆動軸2
04の動作によって行う。したがって、100mm/s
ecの速度で等速に走査すれば、50型パネルを例に挙
げれば、基板サイズが1200mm×700mmである
ため、片側の端子部の画像取り込み時間は約12秒で完
了する。
The inspection camera 203 scans the X drive shaft 2
This is performed by the operation of 04. Therefore, 100 mm / s
If scanning is performed at a constant speed at a speed of ec, taking a 50-inch panel as an example, the substrate size is 1200 mm × 700 mm, and thus the image capturing time of the terminal portion on one side is completed in about 12 seconds.

【0011】画像取り込みを行った端子部の画像の一例
を図5(a)に示す。この例において、検査装置により
検出すべき欠陥は、アイランド、突起といった正規のパ
ターン以外の形状である。そこで、取り込んだ画像に前
処理を行い、正規のパターンを消した後、残った画像に
ついて欠陥検出を行う。
FIG. 5A shows an example of the image of the terminal portion in which the image is taken. In this example, the defect to be detected by the inspection device has a shape other than the regular pattern such as an island or a protrusion. Therefore, preprocessing is performed on the captured image to erase the regular pattern, and then defect detection is performed on the remaining image.

【0012】正規のパターンを消去する方法の一例とし
て、連続するパターンにおいて、隣接したパターンとの
画素の階調の差を求め、連続パターンのみを消去する方
法が用いられている。この方法によって連続パターンを
消去した例を、図5(b)に示す。このようにして連続
パターンを消去した画像を用いて欠陥検出を行う。
As an example of a method of erasing a regular pattern, there is used a method of deriving a difference in gradation of pixels between adjacent patterns in a continuous pattern and erasing only the continuous pattern. An example in which a continuous pattern is erased by this method is shown in FIG. In this way, defect detection is performed using the image in which the continuous pattern is erased.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上記のようなパターン
検査装置を用いてプラズマ・ディスプレイ・パネルの端
子部の欠陥検出を行う場合、検査カメラ203を等速で
駆動させる必要がある。ところが、X駆動軸204は、
厳密には、駆動軸の構成によって異なる周波数の速度ム
ラを持って駆動している。
When a defect of the terminal portion of the plasma display panel is detected using the pattern inspection apparatus as described above, it is necessary to drive the inspection camera 203 at a constant speed. However, the X drive shaft 204 is
Strictly speaking, the driving is performed with uneven speed at different frequencies depending on the configuration of the drive shaft.

【0014】一般的にその周波数を決定する要素として
は、駆動部分を構成するボールネジ、モータ、機械剛性
等があり、多くの場合、周波数は数10Hzで、速度ム
ラの振幅は駆動速度に対して±数%である。例えば、駆
動速度100mm/secで、速度ムラの振幅が±2
%、周波数が40Hzであれば、98〜102mm/s
ecの速度変動が、40Hz、すなわち、2.5mm周
期で発生することになる。
Generally, factors that determine the frequency include a ball screw, a motor, a mechanical rigidity, etc. that constitute a drive portion. In many cases, the frequency is several tens Hz and the amplitude of speed unevenness is relative to the drive speed. ± several percent. For example, when the driving speed is 100 mm / sec, the amplitude of the speed unevenness is ± 2
%, If the frequency is 40 Hz, 98-102 mm / s
The velocity fluctuation of ec will occur at 40 Hz, that is, at a cycle of 2.5 mm.

【0015】図6は、このような速度ムラの周期と端子
部の連続パターンの関係を示す図である。端子部分の幅
が250μm、端子ピッチが500μmとすると、検査
カメラ203の速度ムラの周期が端子ピッチの周期の5
倍となる。検査カメラ203は一定周波数(例えば20
kHz)で画像取り込みを行うため、速度ムラにより検
査カメラの正規取り込み位置と実取り込み位置に誤差が
生じると、取り込んだ画像に歪み(体積変化)が生じ
る。
FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the cycle of such speed unevenness and the continuous pattern of the terminal portion. When the width of the terminal portion is 250 μm and the terminal pitch is 500 μm, the cycle of speed unevenness of the inspection camera 203 is 5 times the cycle of the terminal pitch.
Doubled. The inspection camera 203 has a fixed frequency (for example, 20
Since the image is captured at (kHz), if an error occurs between the regular capture position and the actual capture position of the inspection camera due to speed unevenness, the captured image is distorted (volume change).

【0016】端子ピッチの周期に比べ速度ムラの周期が
同等以上であれば、速度ムラによる取り込み位置のズレ
はほとんど影響しないが、速度ムラの周期が大きくなる
と、端子間での速度ムラによる位置ズレが発生し、画像
に歪み(体積変化)が生じる。このように歪みが生じた
画像に対して隣接する端子でパターン消去を行うと、体
積変化分のパターン消去が正確に行えず、この部分が欠
陥として誤検出される要因となる。
If the period of the speed unevenness is equal to or more than the period of the terminal pitch, the deviation of the capturing position due to the speed unevenness has almost no effect, but if the period of the speed unevenness becomes large, the position shift due to the speed unevenness between the terminals will occur. Occurs, causing distortion (volume change) in the image. When pattern erasing is performed on an image with distortion as described above at an adjacent terminal, the pattern erasing corresponding to the volume change cannot be accurately performed, and this portion becomes a factor of being erroneously detected as a defect.

【0017】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、プラズマ・ディスプレイ等の電極欠陥検出に用いら
れるパターン検査装置において、連続パターンに付随す
る欠陥を検出するうえで、検査カメラの駆動に付随する
速度ムラの影響を回避し、高精度に欠陥検出を行うこと
ができるパターン検査における画像処理方法及びパター
ン検査装置を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and in a pattern inspection apparatus used for detecting electrode defects in a plasma display or the like, it is necessary to drive an inspection camera when detecting defects associated with a continuous pattern. An object of the present invention is to provide an image processing method and a pattern inspection apparatus in a pattern inspection which can avoid the influence of accompanying speed unevenness and detect defects with high accuracy.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
のパターン検査における画像処理方法は、被検査物の上
部または下部のラインセンサカメラまたは被検査物を載
置するワークテーブルを相対的に移動させる駆動軸を駆
動して被検査物の連続するパターンを取り込み、取り込
んだパターンの異常や異物を検出するパターン検査にお
ける画像処理方法において、あらかじめ前記駆動軸の速
度ムラの周期を測定し、前記駆動軸を前記被検査物の連
続するパターンの方向に駆動し、前記駆動軸の方向と直
交する方向に前記ラインセンサカメラの検出ラインを相
対的に移動し、前記ラインセンサカメラで取り込んだ前
記被検査物の連続するパターンを構成する各個別の処理
対象パターンに対して、前記速度ムラの周期単位分離れ
た位置で検出したパターンを用いて画像処理を行うこと
を特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an image processing method in a pattern inspection, wherein a line sensor camera above or below an object to be inspected or a work table on which an object to be inspected is placed. In the image processing method in the pattern inspection to detect the abnormal pattern and the foreign matter of the captured pattern by driving the drive shaft to be moved to, the continuous pattern of the inspected object, the period of speed unevenness of the drive shaft is measured in advance, The drive shaft is driven in the direction of a continuous pattern of the object to be inspected, the detection line of the line sensor camera is relatively moved in a direction orthogonal to the direction of the drive shaft, and the line sensor camera captures the line. For each individual processing target pattern that constitutes a continuous pattern of the inspection object, it was detected at positions separated by the cycle unit of the speed unevenness. And performing image processing using the turn.

【0019】請求項4に記載のパターン検査装置は、被
検査物を載置するワークテーブルと、被検査物の上部ま
たは下部のラインセンサカメラと、前記ラインセンサカ
メラまたはワークテーブルを相対的に移動させる少なく
とも1軸の駆動軸と、前記駆動軸を前記被検査物の連続
するパターンの方向に駆動し、前記駆動軸の方向と直交
する方向に前記ラインセンサカメラの検出ラインを相対
的に移動させることにより前記ラインセンサカメラで取
り込んだ前記被検査物の連続するパターンを構成する各
個別の処理対象パターンに対し、予め測定した前記駆動
軸の速度ムラの周期単位分離れた位置で検出したパター
ンを用いて画像処理を行うパターン検査部と、を備えた
ことを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a pattern inspection apparatus in which a work table on which an object to be inspected is placed, a line sensor camera above or below the object to be inspected, and the line sensor camera or work table are relatively moved. At least one drive shaft and the drive shaft are driven in a continuous pattern direction of the object to be inspected, and a detection line of the line sensor camera is relatively moved in a direction orthogonal to the drive shaft direction. By doing so, for each individual processing target pattern forming a continuous pattern of the inspected object captured by the line sensor camera, a pattern detected at a position separated by a cycle unit of the speed unevenness of the drive shaft measured in advance, And a pattern inspection unit that performs image processing using the pattern inspection unit.

【0020】請求項1及び4に係る発明によれば、あら
かじめ駆動軸の速度ムラの周期を測定しておき、各個別
の処理対象パターンに対して、この速度ムラの周期単位
分離れた位置で検出したパターンを用いてパターン消去
等の画像処理を行うことにより、ラインセンサカメラの
駆動における速度ムラの影響が相殺され、高精度に欠陥
検出を行うことができる。
According to the first and fourth aspects of the invention, the cycle of the speed unevenness of the drive shaft is measured in advance, and the speed unevenness is separated by the cycle unit for each individual processing target pattern. By performing image processing such as pattern erasing using the detected pattern, the influence of speed unevenness in driving the line sensor camera is offset, and defect detection can be performed with high accuracy.

【0021】本発明の請求項2に記載のパターン検査に
おける画像処理方法は、被検査物の上部または下部のラ
インセンサカメラまたは被検査物を載置するワークテー
ブルを相対的に移動させる駆動軸を駆動して被検査物の
連続するパターンを取り込み、取り込んだパターンの異
常や異物を検出するパターン検査における画像処理方法
において、前記駆動軸を前記被検査物の連続するパター
ンの方向に駆動し、前記被検査物の連続するパターンに
対して、前記駆動軸の方向と平行な方向に前記ラインセ
ンサカメラの検出ラインを相対的に移動して前記ライン
センサカメラで取り込んだパターンを用いて画像処理を
行うことを特徴とする。
In the image processing method in the pattern inspection according to the second aspect of the present invention, the line sensor camera above or below the inspected object or the drive shaft for relatively moving the work table on which the inspected object is placed. In an image processing method in a pattern inspection for driving to capture a continuous pattern of an object to be inspected and detecting abnormalities in the captured pattern and foreign matter, driving the drive shaft in the direction of the continuous pattern of the object to be inspected, Image processing is performed using a pattern captured by the line sensor camera by relatively moving a detection line of the line sensor camera in a direction parallel to the drive axis with respect to a continuous pattern of the inspection object. It is characterized by

【0022】請求項5に記載のパターン検査装置は、被
検査物を載置するワークテーブルと、被検査物の上部ま
たは下部のラインセンサカメラと、前記ラインセンサカ
メラまたはワークテーブルを相対的に移動させる少なく
とも1軸の駆動軸と、前記駆動軸を前記被検査物の連続
するパターンの方向に駆動することにより前記ラインセ
ンサカメラで取り込んだ前記被検査物の連続するパター
ンに対して、前記駆動軸の方向と平行な方向に前記ライ
ンセンサカメラの検出ラインを相対的に移動させて前記
ラインセンサカメラで取り込んだパターンを用いて画像
処理を行うパターン検査部と、を備えたことを特徴とす
る。
According to a fifth aspect of the pattern inspection apparatus, a work table on which an object to be inspected is placed, a line sensor camera above or below the object to be inspected, and the line sensor camera or work table are relatively moved. At least one drive shaft and the drive shaft with respect to the continuous pattern of the inspection object captured by the line sensor camera by driving the drive shaft in the direction of the continuous pattern of the inspection object And a pattern inspection unit that performs image processing using the pattern captured by the line sensor camera by relatively moving the detection line of the line sensor camera in a direction parallel to the direction.

【0023】請求項2及び5に係る発明によれば、各個
別の処理対象パターンに対して、駆動方向と平行な方向
にラインセンサカメラを移動して再度取り込んだパター
ンを用いてパターン消去等の画像処理を行うことによ
り、ラインセンサカメラの駆動軸の周期的な速度ムラの
影響を排除することができる。
According to the second and fifth aspects of the invention, for each individual pattern to be processed, the line sensor camera is moved in the direction parallel to the driving direction and the pattern taken in again is used to erase the pattern. By performing image processing, it is possible to eliminate the influence of periodic speed unevenness of the drive axis of the line sensor camera.

【0024】本発明の請求項3に記載のパターン検査に
おける画像処理方法は、被検査物の上部または下部のラ
インセンサカメラまたは被検査物を載置するワークテー
ブルを相対的に移動させる駆動軸を駆動して被検査物の
連続するパターンを取り込み、取り込んだパターンの異
常や異物を検出するパターン検査における画像処理方法
において、前記駆動軸を前記連続するパターンの方向と
直交する方向に駆動し、前記被検査物の連続するパター
ンに対して、前記駆動軸の方向と直交する方向に前記ラ
インセンサカメラの検出ラインを相対的に移動した後に
取り込んだパターンを用いて画像処理を行うことを特徴
とする。
In the image processing method in the pattern inspection according to the third aspect of the present invention, the line sensor camera above or below the inspected object or the drive shaft for relatively moving the work table on which the inspected object is placed. In an image processing method in a pattern inspection for driving to capture a continuous pattern of an object to be inspected and detecting an abnormality or foreign matter in the captured pattern, driving the drive shaft in a direction orthogonal to the direction of the continuous pattern, Image processing is performed using a pattern captured after a detection line of the line sensor camera is relatively moved with respect to a continuous pattern of the inspection object in a direction orthogonal to the direction of the drive axis. .

【0025】請求項6に記載のパターン検査装置は、被
検査物を載置するワークテーブルと、被検査物の上部ま
たは下部のラインセンサカメラと、前記ラインセンサカ
メラまたはワークテーブルを相対的に移動させる少なく
とも1軸の駆動軸と、前記駆動軸を前記被検査物の連続
するパターンの方向と直交する方向に駆動することによ
り前記ラインセンサカメラで取り込んだ前記被検査物の
連続するパターンに対して、前記駆動軸の方向と直交す
る方向に前記ラインセンサカメラの検出ラインを相対的
に移動した後に取り込んだパターンを用いて画像処理を
行うパターン検査部と、を備えたことを特徴とする。
According to a sixth aspect of the pattern inspection apparatus, a work table on which an object to be inspected is placed, a line sensor camera above or below the object to be inspected, and the line sensor camera or work table are relatively moved. At least one drive shaft and a continuous pattern of the inspected object captured by the line sensor camera by driving the drive shaft in a direction orthogonal to the direction of the continuous pattern of the inspected object A pattern inspection unit that performs image processing using a pattern captured after the detection line of the line sensor camera is relatively moved in a direction orthogonal to the drive axis direction.

【0026】請求項3及び6に係る発明によれば、各個
別の処理対象パターンに対して、被検査物の連続するパ
ターンの方向と直交する方向にラインセンサカメラの検
出ラインを相対的に駆動してパターンを取り込むことに
より、取り込むパターンに対するラインセンサカメラの
駆動軸の周期的な速度ムラの影響を排除することがで
き、駆動方向と直交する方向にラインセンサカメラの位
置を移動することで、再度取り込んだパターンを用いて
パターン消去等の画像処理を行うことができ、高精度に
欠陥検出を行うことができる。
According to the third and sixth aspects of the invention, the detection line of the line sensor camera is relatively driven with respect to each individual pattern to be processed in the direction orthogonal to the direction of the continuous pattern of the inspection object. By capturing the pattern with, it is possible to eliminate the influence of the periodic speed unevenness of the drive axis of the line sensor camera with respect to the captured pattern, by moving the position of the line sensor camera in the direction orthogonal to the driving direction, Image processing such as pattern erasing can be performed using the pattern captured again, and defect detection can be performed with high accuracy.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形
態に係るパターン検査装置における画像処理方法を示す
図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an image processing method in a pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【0028】図1において、101は被検査パネル、1
01aは被検査パネル101の検査対象となる連続パタ
ーン、102は被検査パネル101を保持するワークテ
ーブル、103は画像の取り込みを行う検査カメラ(ラ
インセンサカメラ)、104は被検査パネルの検査箇所
の画像を連続的に取り込むために検査カメラ103を一
定速度でX軸方向に駆動するX駆動軸、105はX駆動
軸104に平行に取り付けられた位置測定センサであ
る。
In FIG. 1, 101 is a panel to be inspected, 1
01a is a continuous pattern to be inspected by the inspected panel 101, 102 is a work table holding the inspected panel 101, 103 is an inspection camera (line sensor camera) for capturing an image, and 104 is an inspection position of the inspected panel. An X drive shaft that drives the inspection camera 103 in the X axis direction at a constant speed to continuously capture images, and 105 is a position measurement sensor attached in parallel to the X drive shaft 104.

【0029】図1には図示しないが、図1のパターン検
査装置は、図2と同様に、Y方向の位置決めを行うY駆
動軸、検査カメラ103と被検査パネル101の距離を
検査カメラ103の焦点深度内で一定に保つように調整
するオートフォーカス軸、被検査パネル101の任意位
置を拡大表示させるレビューカメラ等も備えている。
Although not shown in FIG. 1, in the pattern inspection apparatus of FIG. 1, the distance between the inspection camera 103 and the inspection camera 103 and the Y drive axis for positioning in the Y direction is set in the inspection camera 103 as in FIG. It also has an autofocus axis for adjusting so as to keep it constant within the depth of focus, a review camera for enlarging and displaying an arbitrary position of the panel 101 to be inspected, and the like.

【0030】検査カメラ(ラインセンサカメラ)103
はCCD素子が横方向に一列に配置されており、一定周
期でスキャンを行うことにより画像取り込みを行う。検
査カメラ103による画像取り込みの原理は、従来例と
同様に、図3により示される。すなわち、カメラ駆動方
向と直角方向に一列に並ぶ個々の画素が、検査カメラ1
03のCCD素子により取り込まれる。
Inspection camera (line sensor camera) 103
The CCD elements are arranged in a line in the lateral direction, and images are captured by scanning at constant intervals. The principle of image capturing by the inspection camera 103 is shown in FIG. 3 as in the conventional example. That is, the individual pixels arranged in a line in the direction perpendicular to the camera driving direction are
03 CCD device.

【0031】ラインセンサの分解能が5μm×5μm、
画素数が6000画素とした場合、カメラの固定状態で
5μm×30mmの領域の画像取り込みが可能となる。
カメラのスキャン周期が20kHzであれば、スキャン
方向の6000画素については1/20,000秒で画
像取り込みが可能である。したがって、検査カメラ10
3をスキャン方向と直角方向(カメラ駆動方向)に連続
的に100mm/secで駆動すれば、駆動方向につい
ても1/20,000秒での移動量が5μmとなり、画
素の切れ間無く連続的に画像取り込みが可能になる。つ
まり、1秒間で30mm×100mmの画像を取り込む
ことができる。
The resolution of the line sensor is 5 μm × 5 μm,
When the number of pixels is 6000, it is possible to capture an image of a region of 5 μm × 30 mm with the camera fixed.
If the scan cycle of the camera is 20 kHz, an image can be captured in 120,000 seconds for 6000 pixels in the scan direction. Therefore, the inspection camera 10
If 3 is continuously driven at 100 mm / sec in the direction perpendicular to the scanning direction (camera driving direction), the amount of movement in the driving direction will be 5 μm at 120,000 seconds, and continuous image formation will be achieved without pixel breaks. It becomes possible to import. That is, an image of 30 mm × 100 mm can be captured in 1 second.

【0032】この画像取り込みを行うために、検査カメ
ラ103をX駆動軸104により駆動するが、従来例に
おいて説明したように、X駆動軸104は、厳密には等
速では駆動されず、駆動軸の構成によって異なる周波数
の速度ムラを持って駆動している。
In order to capture the image, the inspection camera 103 is driven by the X drive shaft 104. However, as described in the conventional example, the X drive shaft 104 is not strictly driven at a constant speed and the drive shaft is not driven. Depending on the configuration, the driving is performed with uneven speed at different frequencies.

【0033】一般的にその周波数を決定する要素として
は、駆動部分を構成するボールネジ、モータ、機械剛性
等があり、多くの場合、周波数は数10Hzで、速度ム
ラの振幅は駆動速度に対して±数%である。例えば、駆
動速度100mm/secで、速度ムラの振幅が±2
%、周波数が40Hzであれば、98〜102mm/s
ecの速度変動が、40Hz、すなわち、2.5mm周
期で発生することになる。
Generally, factors that determine the frequency include a ball screw, a motor, a mechanical rigidity, etc., which constitute a driving portion. In many cases, the frequency is several tens Hz and the amplitude of speed unevenness is relative to the driving speed. ± several percent. For example, when the driving speed is 100 mm / sec, the amplitude of the speed unevenness is ± 2
%, If the frequency is 40 Hz, 98-102 mm / s
The velocity fluctuation of ec will occur at 40 Hz, that is, at a cycle of 2.5 mm.

【0034】このX駆動軸の速度ムラの周期を、X駆動
軸104に平行に取り付けられた位置測定センサ105
を用いてあらかじめ測定する。すなわち、X駆動軸を駆
動し、各時刻に対して位置測定センサ105から検査カ
メラ103の位置情報を得ることにより、X駆動軸の速
度ムラの周期情報が得られる。図6(b)は、このよう
にして得られた、駆動速度100mm/sec、周波数
が40Hz、すなわち周期2.5mmの速度ムラの測定
結果を示している。
The position measurement sensor 105 mounted parallel to the X drive shaft 104 measures the cycle of the speed unevenness of the X drive shaft.
To be measured in advance. That is, by driving the X drive axis and obtaining the position information of the inspection camera 103 from the position measurement sensor 105 at each time, the period information of the speed unevenness of the X drive axis can be obtained. FIG. 6B shows the measurement results of the speed unevenness thus obtained, which has a driving speed of 100 mm / sec and a frequency of 40 Hz, that is, a cycle of 2.5 mm.

【0035】速度ムラの周期の測定は、パターン検査装
置の電源投入時や検査機能の切り換え時、あるいは一定
時間ごとに実施し、パターンの欠陥検出の前処理に用い
るデータとして、あらかじめ用意しておく。
The period of speed unevenness is measured when the pattern inspection apparatus is turned on, when the inspection function is switched, or at regular intervals, and is prepared in advance as data used for preprocessing for pattern defect detection. .

【0036】次に、このようなパターン検査装置を用い
て、プラズマ・ディスプレイ・パネルの背面板における
電極端子部分の画像取り込みを行った結果の一例が図5
(a)に示す端子部の画像例である。この例において、
検査装置により検出すべき欠陥は、アイランド、突起と
いった正規のパターン以外の形状である。そこで、パタ
ーン検査装置のパターン検査部で、取り込んだ画像に前
処理を行い、正規のパターンを消した後、残った画像に
ついて欠陥検出を行う。
FIG. 5 shows an example of the result of capturing an image of the electrode terminal portion on the back plate of the plasma display panel using such a pattern inspection apparatus.
It is an example of an image of the terminal portion shown in (a). In this example,
The defect to be detected by the inspection device has a shape other than the regular pattern such as an island or a protrusion. Therefore, the pattern inspection unit of the pattern inspection apparatus performs preprocessing on the captured image, erases the regular pattern, and then detects defects in the remaining image.

【0037】ここで正規のパターンを消去するために、
処理対象パターンに対してパターン同士の演算処理を行
うための正規の演算パターンを選択する。図5(a)に
示す端子部の画像例において、処理対象パターンに対す
るこの演算パターンの選択は次のように行う。
Here, in order to erase the regular pattern,
A regular calculation pattern for performing calculation processing between patterns on a pattern to be processed is selected. In the example of the image of the terminal portion shown in FIG. 5A, the calculation pattern for the processing target pattern is selected as follows.

【0038】検査カメラの送り速度をv、あらかじめX
駆動軸の速度ムラの周期測定で得られた周波数をf、連
続する正規パターンのピッチをpとしたときに、正整数
をiとして、i×pが速度ムラの周期v/fに最も近く
なるようにiを決定し、処理対象パターンに対して、こ
れからi番目に位置するパターンを演算パターンとして
選択する。
The feeding speed of the inspection camera is v, and X is previously set.
When the frequency obtained by the period measurement of the speed unevenness of the drive shaft is f and the pitch of the continuous regular pattern is p, i × p is closest to the speed unevenness period v / f, where i is a positive integer. Thus, i is determined, and the pattern located at the i-th position from the pattern to be processed is selected as the calculation pattern.

【0039】処理対象パターンと上記選択された演算パ
ターンとの画素の階調差を求めることにより、速度ムラ
の周期単位分離れた位置の正規パターン同志で連続パタ
ーンの消去を行うことができ、パターンの位置ズレを相
殺することができるため、不正確なパターン消去による
欠陥の誤検出を防ぐことができる。
By obtaining the gradation difference of the pixel between the pattern to be processed and the selected calculation pattern, the continuous patterns can be erased by the regular patterns at the positions separated by the cycle unit of the speed unevenness. Since it is possible to cancel out the positional deviation of, it is possible to prevent erroneous detection of defects due to inaccurate pattern erasure.

【0040】速度ムラの周期v/fが連続する正規パタ
ーンのピッチpの整数倍にならない場合であっても、そ
れにより生じるパターンのブレBに対する欠陥パターン
の大きさAの比A/Bが十分大きければ、欠陥の誤検出
を招く恐れは少なく、この方法は被検査物のパターンの
欠陥検出に十分有用である。
Even when the period v / f of the speed unevenness is not an integral multiple of the pitch p of the continuous regular pattern, the ratio A / B of the size A of the defective pattern to the blur B of the resulting pattern is sufficient. If it is large, there is little risk of erroneous detection of defects, and this method is sufficiently useful for detecting defects in the pattern of the inspection object.

【0041】図6に示す例においては、駆動速度100
mm/secに対して、周波数が40Hz、すなわち速
度ムラの周期が2.5mmであり、連続パターンのピッ
チが0.5mmであることから、i=2.5/0.5=
5となるので、5ピッチ分離れた端子同士でパターン消
去を行う。なお、速度ムラの周期を基準に1周期分離れ
た端子同士でパターン消去を行う他、2周期、3周期分
離れた端子同士でパターン消去を行ってもよく、さら
に、0.5周期、1.5周期分離れた端子同士でパター
ン消去を行ってもよい。
In the example shown in FIG. 6, a driving speed of 100
With respect to mm / sec, the frequency is 40 Hz, that is, the period of speed unevenness is 2.5 mm, and the pitch of the continuous pattern is 0.5 mm. Therefore, i = 2.5 / 0.5 =
Therefore, the pattern is erased between the terminals separated by 5 pitches. It should be noted that, in addition to erasing the pattern between the terminals separated by one cycle based on the cycle of speed unevenness, the pattern may be erased by the terminals separated by two cycles or three cycles. The pattern may be erased between terminals separated by 5 cycles.

【0042】この方法により、速度ムラによる位置ズレ
が相殺され、精密なパターン消去が可能になる。このよ
うにして、連続パターンを消去した結果の図5(b)に
残る正規のパターン以外の形状を有する画像により、被
検査物のパターンの欠陥検出を行う。
By this method, the positional deviation due to the speed unevenness is canceled out, and precise pattern erasing becomes possible. In this way, the defect of the pattern of the inspection object is detected by the image having a shape other than the regular pattern remaining in FIG. 5B as a result of erasing the continuous pattern.

【0043】以上説明したようにあらかじめ駆動軸の速
度ムラの周期を測定し、この情報を利用して被検査パタ
ーンの画像処理を行う代わりに、検査カメラの駆動方向
と平行な方向から得られるパターンを用いて画像処理を
行うことにより、駆動軸の周期的な速度ムラの影響を除
去して欠陥検出を行うことも可能である。
As described above, instead of measuring the period of speed unevenness of the drive shaft in advance and using this information to perform image processing of the pattern to be inspected, the pattern obtained from the direction parallel to the driving direction of the inspection camera. It is also possible to detect the defect by removing the influence of the periodic speed unevenness of the drive shaft by performing the image processing using.

【0044】そのような方法として、図2に示す従来の
パターン検査装置を用いて被検査物の画像を取り込んだ
後に、検査カメラを検査カメラの駆動方向と平行な方向
に移動させ(図7中a方向)、あるいは被検査物を検査
カメラの駆動方向と平行な方向に移動させ、再度被検査
物の画像を取り込み、これらの画像間の差分を取り、さ
らに必要な画像処理を適切に施すことにより、駆動軸の
周期的な速度ムラの影響を除去して欠陥検出を行うこと
ができる。
As such a method, after the image of the inspection object is captured by using the conventional pattern inspection apparatus shown in FIG. 2, the inspection camera is moved in the direction parallel to the driving direction of the inspection camera (see FIG. 7). (a direction) or move the inspection object in a direction parallel to the driving direction of the inspection camera, capture the images of the inspection object again, calculate the difference between these images, and perform the necessary image processing appropriately. Thus, it is possible to detect the defect by removing the influence of the periodic speed unevenness of the drive shaft.

【0045】また、同様の原理を適用する方法として、
被検査物の連続するパターンと直交する方向に検査カメ
ラを駆動して被検査物の画像を取り込み、検査カメラを
検査カメラの駆動方向と直交する方向に移動させ(図7
中b方向)、あるいは被検査物を検査カメラの駆動方向
と直交する方向に移動させ、必要な回数だけ被検査物の
画像を取り込み、これらの画像間の差分を取り、さらに
必要な画像処理を適切に施すことにより、駆動軸の周期
的な速度ムラの影響を除去して欠陥検出を行うことがで
きる。
As a method of applying the same principle,
The inspection camera is driven in the direction orthogonal to the continuous pattern of the inspection object to capture the image of the inspection object, and the inspection camera is moved in the direction orthogonal to the driving direction of the inspection camera (see FIG. 7).
(B direction), or moving the inspected object in a direction orthogonal to the driving direction of the inspection camera, capturing images of the inspected object as many times as necessary, taking the difference between these images, and performing the necessary image processing. By appropriately performing the defect detection, it is possible to eliminate the influence of the periodic speed unevenness of the drive shaft.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
隣接するパターン同士でパターン消去を行うのではな
く、あらかじめ駆動軸の速度ムラの周期を測定し、速度
ムラの周期単位分離れた位置で検出したパターンを用い
てパターン消去を行うことにより、正規のパターンの消
去処理における速度ムラによる位置ズレが相殺され、精
密なパターン消去が可能になる。
As described above, according to the present invention,
Rather than erasing the pattern between adjacent patterns, by measuring the cycle of speed unevenness of the drive axis in advance and erasing the pattern using the pattern detected at the position separated by the cycle unit of speed unevenness Positional deviation due to uneven speed in the pattern erasing process is canceled out, and precise pattern erasing becomes possible.

【0047】さらに、本発明によれば、検査カメラの駆
動方向と直交する方向から得られるパターンを用いて連
続パターンのパターン消去を行うことにより、駆動軸の
周期的な速度ムラの影響を排除して欠陥検出を行うこと
が可能になる。
Further, according to the present invention, the pattern erasing of the continuous pattern is performed by using the pattern obtained from the direction orthogonal to the driving direction of the inspection camera, thereby eliminating the influence of the periodic speed unevenness of the driving shaft. Therefore, it becomes possible to detect defects.

【0048】以上のように、本発明によれば、検査カメ
ラの駆動軸の速度ムラの影響を排除することができ、液
晶やプラズマ・ディスプレイ・パネルの電極パターン等
の繰り返しパターンのパターン不良を高精度に検出でき
るパターン検査における画像処理方法が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to eliminate the influence of the speed unevenness of the drive shaft of the inspection camera, and to increase the pattern defects of the repetitive patterns such as the electrode pattern of the liquid crystal or plasma display panel. An image processing method in pattern inspection that can be accurately detected is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態に係るパターン検査にお
ける画像処理方法を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an image processing method in a pattern inspection according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のパターン検査装置の構造例を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a structural example of a conventional pattern inspection apparatus.

【図3】ラインセンサカメラによる画像取り込みの原理
を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a principle of image capturing by a line sensor camera.

【図4】プラズマ・ディスプレイ・パネルの背面板電極
の概略図である。
FIG. 4 is a schematic view of a back plate electrode of a plasma display panel.

【図5】電極のパターン消去の原理を示す模式図であ
る。
FIG. 5 is a schematic view showing the principle of pattern erasing of electrodes.

【図6】電極パターンと速度ムラの周期を示す模式図で
ある。
FIG. 6 is a schematic diagram showing an electrode pattern and a period of speed unevenness.

【図7】電極パターンとラインセンサカメラの関係を示
す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a relationship between an electrode pattern and a line sensor camera.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101、201 被検査パネル 101a 検査対象となる連続パターン 102、202 ワークテーブル 103、203 検査カメラ(ラインセンサカメラ) 104、204 X駆動軸 105 位置測定センサ 205 Y駆動軸 206 オートフォーカス軸 207 レビューカメラ 301 画素 101,201 Panel to be inspected 101a Continuous pattern to be inspected 102, 202 Work table 103, 203 Inspection camera (line sensor camera) 104, 204 X drive axis 105 Position measuring sensor 205 Y drive axis 206 auto focus axis 207 Review camera 301 pixels

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // G01M 11/00 G01M 11/00 T 5C012 (72)発明者 福元 弘紀 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2F065 AA49 AA56 BB02 CC21 EE08 FF04 FF61 FF64 FF67 JJ02 JJ25 MM03 PP02 QQ24 QQ25 QQ31 RR08 RR09 2G051 AA65 AA90 AB11 AC15 CA03 CD04 DA06 EA23 ED04 2G086 EE10 EE12 5B047 AA11 BB02 CB07 5B057 AA01 BA02 CA12 CA16 CB12 CB16 CD12 DA03 DB02 5C012 AA09 BE03 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) // G01M 11/00 G01M 11/00 T 5C012 (72) Inventor Hiroki Fukumoto 1006 Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric industrial Co., Ltd. in the F-term (reference) 2F065 AA49 AA56 BB02 CC21 EE08 FF04 FF61 FF64 FF67 JJ02 JJ25 MM03 PP02 QQ24 QQ25 QQ31 RR08 RR09 2G051 AA65 AA90 AB11 AC15 CA03 CD04 DA06 EA23 ED04 2G086 EE10 EE12 5B047 AA11 BB02 CB07 5B057 AA01 BA02 CA12 CA16 CB12 CB16 CD12 DA03 DB02 5C012 AA09 BE03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検査物の上部または下部のラインセン
サカメラまたは被検査物を載置するワークテーブルを相
対的に移動させる駆動軸を駆動して被検査物の連続する
パターンを取り込み、取り込んだパターンの異常や異物
を検出するパターン検査における画像処理方法におい
て、 あらかじめ前記駆動軸の速度ムラの周期を測定し、 前記駆動軸を前記被検査物の連続するパターンの方向に
駆動し、 前記駆動軸の方向と直交する方向に前記ラインセンサカ
メラの検出ラインを相対的に移動し、 前記ラインセンサカメラで取り込んだ前記被検査物の連
続するパターンを構成する各個別の処理対象パターンに
対して、前記速度ムラの周期単位分離れた位置で検出し
たパターンを用いて画像処理を行う、ことを特徴とする
パターン検査における画像処理方法。
1. A continuous pattern of an object to be inspected is taken in by driving a line sensor camera above or below the object to be inspected or a drive shaft for relatively moving a work table on which the object to be inspected is mounted. In an image processing method in a pattern inspection for detecting a pattern abnormality or foreign matter, a period of speed unevenness of the drive shaft is measured in advance, and the drive shaft is driven in a continuous pattern direction of the inspection object, Relative movement of the detection line of the line sensor camera in a direction orthogonal to the direction, for each individual processing target pattern constituting a continuous pattern of the inspection object captured by the line sensor camera, An image in a pattern inspection characterized by performing image processing using a pattern detected at positions separated by a cycle unit of speed unevenness Management method.
【請求項2】 被検査物の上部または下部のラインセン
サカメラまたは被検査物を載置するワークテーブルを相
対的に移動させる駆動軸を駆動して被検査物の連続する
パターンを取り込み、取り込んだパターンの異常や異物
を検出するパターン検査における画像処理方法におい
て、 前記駆動軸を前記被検査物の連続するパターンの方向に
駆動し、 前記被検査物の連続するパターンに対して、前記駆動軸
の方向と平行な方向に前記ラインセンサカメラの検出ラ
インを相対的に移動して前記ラインセンサカメラで取り
込んだパターンを用いて画像処理を行う、ことを特徴と
するパターン検査における画像処理方法。
2. A line sensor camera above or below an object to be inspected or a drive shaft for relatively moving a work table on which the object to be inspected is driven to capture and capture a continuous pattern of the object to be inspected. In an image processing method in a pattern inspection for detecting a pattern abnormality or foreign matter, the drive shaft is driven in the direction of a continuous pattern of the inspection object, and the drive shaft of the drive shaft is moved with respect to a continuous pattern of the inspection object. An image processing method in a pattern inspection, characterized in that a detection line of the line sensor camera is relatively moved in a direction parallel to the direction and image processing is performed using a pattern captured by the line sensor camera.
【請求項3】 被検査物の上部または下部のラインセン
サカメラまたは被検査物を載置するワークテーブルを相
対的に移動させる駆動軸を駆動して被検査物の連続する
パターンを取り込み、取り込んだパターンの異常や異物
を検出するパターン検査における画像処理方法におい
て、 前記駆動軸を前記連続するパターンの方向と直交する方
向に駆動し、 前記被検査物の連続するパターンに対して、前記駆動軸
の方向と直交する方向に前記ラインセンサカメラの検出
ラインを相対的に移動した後に取り込んだパターンを用
いて画像処理を行う、ことを特徴とするパターン検査に
おける画像処理方法。
3. A continuous pattern of the inspected object is taken in by driving a line sensor camera above or below the inspected object or a drive shaft for relatively moving a work table on which the inspected object is placed. In an image processing method in a pattern inspection for detecting a pattern abnormality or foreign matter, the drive shaft is driven in a direction orthogonal to the direction of the continuous pattern, and a continuous pattern of the drive shaft is provided for a continuous pattern of the inspection object. An image processing method in a pattern inspection, wherein image processing is performed using a pattern captured after moving a detection line of the line sensor camera relatively in a direction orthogonal to the direction.
【請求項4】 被検査物を載置するワークテーブルと、
被検査物の上部または下部のラインセンサカメラと、前
記ラインセンサカメラまたはワークテーブルを相対的に
移動させる少なくとも1軸の駆動軸と、前記駆動軸を前
記被検査物の連続するパターンの方向に駆動し、前記駆
動軸の方向と直交する方向に前記ラインセンサカメラの
検出ラインを相対的に移動させることにより前記ライン
センサカメラで取り込んだ前記被検査物の連続するパタ
ーンを構成する各個別の処理対象パターンに対し、予め
測定した前記駆動軸の速度ムラの周期単位分離れた位置
で検出したパターンを用いて画像処理を行うパターン検
査部と、を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
4. A work table on which an object to be inspected is placed,
A line sensor camera above or below the inspection object, at least one drive shaft for relatively moving the line sensor camera or the work table, and driving the drive shaft in a continuous pattern direction of the inspection object. Then, each individual processing target that forms a continuous pattern of the inspection object captured by the line sensor camera by relatively moving the detection line of the line sensor camera in a direction orthogonal to the direction of the drive axis A pattern inspection device comprising: a pattern inspection unit that performs image processing using a pattern detected at a position separated by a cycle unit of the speed unevenness of the drive shaft, which is measured in advance, with respect to the pattern.
【請求項5】 被検査物を載置するワークテーブルと、
被検査物の上部または下部のラインセンサカメラと、前
記ラインセンサカメラまたはワークテーブルを相対的に
移動させる少なくとも1軸の駆動軸と、前記駆動軸を前
記被検査物の連続するパターンの方向に駆動することに
より前記ラインセンサカメラで取り込んだ前記被検査物
の連続するパターンに対して、前記駆動軸の方向と平行
な方向に前記ラインセンサカメラの検出ラインを相対的
に移動させて前記ラインセンサカメラで取り込んだパタ
ーンを用いて画像処理を行うパターン検査部と、を備え
たことを特徴とするパターン検査装置。
5. A work table on which an object to be inspected is placed,
A line sensor camera above or below the inspection object, at least one drive shaft for relatively moving the line sensor camera or the work table, and driving the drive shaft in a continuous pattern direction of the inspection object. By doing so, the detection line of the line sensor camera is relatively moved in the direction parallel to the direction of the drive axis with respect to the continuous pattern of the inspection object captured by the line sensor camera. A pattern inspecting device comprising: a pattern inspecting unit that performs image processing using the pattern captured in.
【請求項6】 被検査物を載置するワークテーブルと、
被検査物の上部または下部のラインセンサカメラと、前
記ラインセンサカメラまたはワークテーブルを相対的に
移動させる少なくとも1軸の駆動軸と、前記駆動軸を前
記被検査物の連続するパターンの方向と直交する方向に
駆動することにより前記ラインセンサカメラで取り込ん
だ前記被検査物の連続するパターンに対して、前記駆動
軸の方向と直交する方向に前記ラインセンサカメラの検
出ラインを相対的に移動した後に取り込んだパターンを
用いて画像処理を行うパターン検査部と、を備えたこと
を特徴とするパターン検査装置。
6. A work table on which an object to be inspected is placed,
A line sensor camera above or below the object to be inspected, at least one drive shaft for relatively moving the line sensor camera or the work table, and the drive axis orthogonal to the direction of a continuous pattern of the object to be inspected. After moving the detection line of the line sensor camera in a direction orthogonal to the direction of the drive axis with respect to the continuous pattern of the inspection object captured by the line sensor camera by driving in the direction A pattern inspection apparatus comprising: a pattern inspection unit that performs image processing using a captured pattern.
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