JP2003025706A - Method and device for printing pattern - Google Patents

Method and device for printing pattern

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JP2003025706A
JP2003025706A JP2001213501A JP2001213501A JP2003025706A JP 2003025706 A JP2003025706 A JP 2003025706A JP 2001213501 A JP2001213501 A JP 2001213501A JP 2001213501 A JP2001213501 A JP 2001213501A JP 2003025706 A JP2003025706 A JP 2003025706A
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Japan
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ink
mask
pattern
workpiece
spraying
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Shinji Kanda
真治 神田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform a printing without bringing a printing plate into contact with a substrate for preventing the substrate from being stained through the contact with the printing plate at the printing of the pattern of an electronic part or the like with an ink on the substrate. SOLUTION: Printing with non-contact of the substrate with the printing plate can be realized by blasting the ink from an ink blasting mask against the substrate by a method wherein a high pressure gas is used after the charging of the ink in the ink blasting mask, on which a through pattern is formed or the pressure on the substrate side of the ink blasting mask is temporarily made lower as compared with the pressure on the opposite side of the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品等やディ
スプレイへの配線パターン形成やエッチング用レジスト
のパターン形成に使用される印刷方法に関し、詳細には
加工基板と印刷用版として使用するインク吹き付けマス
クと加工基板を接触させずに高圧ガスを使用してインク
吹き付けマスクからインクを吹き付けることによるパタ
ーン印刷方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printing method used for forming a wiring pattern on an electronic component or a display or a pattern of an etching resist, and more particularly to a working substrate and an ink spray used as a printing plate. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pattern printing method and apparatus by spraying ink from a mask using a high-pressure gas without bringing the mask into contact with a work substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来電子部品等やディスプレイへの配線
パターン形成やエッチング用レジストのパターン形成に
使用されるインクの印刷方法としては、スクリーン印刷
方法が一般的に行われており、パターン形成されたスク
リーン版にゴム製のスキージを使用し、基板に直接イン
クを印刷していた。
2. Description of the Related Art Conventionally, a screen printing method has been generally used as a printing method of ink used for forming a wiring pattern on an electronic part or the like or a display and a pattern forming of an etching resist, and thus a pattern is formed. A rubber squeegee was used for the screen plate, and the ink was printed directly on the substrate.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来行われてきたスク
リーン印刷法では、インクをスクリーン版を介してスキ
ージにて基板に接触させながら印刷するため、スクリー
ン版の基板側に異物等が付着していた場合、基板に付着
し基板を汚す問題があり、特にディスプレイや電子部品
の配線パターンに於いて基板を汚すことは、製品製造の
歩留まりを悪くする問題があった。
In the conventional screen printing method, the ink is printed while the ink is brought into contact with the substrate by the squeegee through the screen printing plate, so that foreign matter or the like adheres to the substrate side of the screen printing plate. In this case, there is a problem that it adheres to the substrate and contaminates the substrate, and in particular, contaminating the substrate in the wiring pattern of a display or an electronic component causes a problem that the yield of product manufacturing is deteriorated.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する方法
として、エッチング及び/又はフォトプロセス及び/又
はサンドブラスト加工及び/又はレーザー加工等により
貫通パターンをガラス又はセラミック又は金属又は樹脂
又はこれらの複合材の板材に形成するか、スクリーンメ
ッシュ上に感光性樹脂液を塗布することにより感光性樹
脂の皮膜を形成後、フォトプロセスによりスクリーンメ
ッシュ上に樹脂パターンを形成したインクを吹き付ける
ためのマスクを印刷用の版として使用し、このインクを
吹き付けるためのマスクの貫通したパターン部にインク
を充填後、インクを吹き付けるためのマスクと被加工物
を離した状態でガス圧が大気圧より高い高圧ガスを使用
するか、一時的にインク吹き付けマスクの基板側の圧力
を基板と反対側の圧力と比較し低くすることにより板状
又は円柱状の被加工物上にインク吹き付けマスク内のイ
ンクを被加工物に吹き付けることにより被加工物上にパ
ターン印刷を行った。
As a method for solving the above-mentioned problems, as a method of etching and / or photo-processing and / or sandblasting and / or laser processing, a through pattern is formed of glass, ceramic, metal, resin or a composite material thereof. For printing a mask for spraying ink with a resin pattern formed on the screen mesh by photo process after forming a film of the photosensitive resin by forming it on the plate material or by applying a photosensitive resin liquid on the screen mesh After filling the ink through the pattern part of the mask for spraying this ink, use a high pressure gas whose gas pressure is higher than atmospheric pressure with the mask for spraying ink and the work piece separated Or temporarily apply the pressure on the substrate side of the ink spray mask to the side opposite the substrate. A pattern was printed on a workpiece by spraying the ink in the ink spray mask onto a plate or cylindrical workpiece to the workpiece by lowering compared to the force.

【0005】これ以後、ここで印刷用の版として使用す
るインクを吹き付けるためのマスクをインク吹き付けマ
スクと呼ぶ。
Hereinafter, a mask for spraying ink used as a printing plate will be referred to as an ink spray mask hereinafter.

【0006】インク吹き付けマスクの貫通パターン形成
方法としては、インク吹き付けマスクの材料にフォトレ
ジスト等でパターンを形成後、ケミカルエッチングを行
う方法、サンドブラスト用フォトレジスト等を使用しサ
ンドブラストにより研磨材を使用し切削することにより
形成する方法、エキシマレーザーや炭酸ガスレーザーや
ヤグレーザー等のレーザーを使用して形成する方法、イ
ンク吹き付け材料として感光性を持った樹脂やガラスを
使用してフォトプロセスにより形成する方法がある。
As a method for forming a penetrating pattern of an ink spraying mask, a chemical etching is performed after a pattern is formed on the material of the ink spraying mask with a photoresist or the like, a photoresist for sandblasting or the like is used, and an abrasive is used by sandblasting. A method of forming by cutting, a method of using a laser such as an excimer laser, a carbon dioxide gas laser, or a yag laser, a method of forming by a photo process using a resin or glass having a photosensitivity as an ink spraying material. There is.

【0007】インク吹き付けマスクを板に貫通パターン
を形成した場合には、例えば二重丸等の島のあるパター
ンでは島の部分が落ちてしまい保持できないため貫通パ
ターンを形成した板の片側にメッシュを貼り付けたイン
ク吹き付けマスクを使用し、メッシュとしてはステンレ
ス、ニッケル等の金属又はテトロン、ナイロン等の樹脂
の線材を格子状に織って形成したものや金属等の板材を
格子状にパターンが残るようにしてをエッチング等で形
成したものを使用する。
When a penetrating pattern is formed on a plate using an ink spraying mask, for example, a pattern with islands such as double circles cannot be held because the part of the island drops and a mesh is formed on one side of the plate on which the penetrating pattern is formed. Use a pasted ink spray mask and use a mesh made of metal wire such as stainless steel or nickel or resin wire such as tetron or nylon woven in a grid pattern or a plate material such as metal so that the pattern remains in a grid pattern. The one formed by etching or the like is used.

【0008】その他のインク吹き付けマスクの形成方法
として、ステンレス、ニッケル等の金属又はテトロン、
ナイロン等の樹脂等の線材を格子状に織って形成したも
のや金属等の板材を格子状にパターンが残るようにして
をエッチング等で形成したスクリーンメッシュ上に感光
性樹脂液を塗布するか感光性フィルムを貼り付けること
により感光性樹脂の皮膜を形成後、フォトプロセスによ
りスクリーンメッシュ上に樹脂パターンを形成すること
によりインク吹き付けマスクを形成しても良い。
Other methods for forming an ink spray mask include metals such as stainless steel and nickel, or tetron,
Apply a photosensitive resin liquid to the screen mesh formed by weaving wire rods made of resin such as nylon or the like in a grid pattern or by etching a plate material such as metal so that the pattern remains in a grid pattern The ink spraying mask may be formed by forming a resin film on the screen mesh by a photo process after forming a film of a photosensitive resin by pasting a transparent film.

【0009】インク吹き付けマスクの材料を、セラミッ
クやガラス等の硬質で変形しにくい脆性材料を使用した
ときは、インク吹き付けマスクにインクを充填後、被加
工物にインク吹き付けマスクを近接させインク吹き付け
マスクの貫通パターン部に充填されたインクを被加工物
にガス圧が大気圧より高い高圧ガスを使用し吹き付ける
か一時的にインク吹き付けマスクの基板側の圧力を基板
と反対側の圧力と比較し低くすることによりインク吹き
付けマスク内のインクを被加工物に吹き付けることによ
り被加工物上に印刷パターンを形成する。
When a brittle material such as ceramic or glass that is hard and is not easily deformed is used as the material of the ink spraying mask, the ink spraying mask is filled with ink, and then the ink spraying mask is brought close to the work piece. The ink filled in the through pattern part of is sprayed on the work piece using a high-pressure gas whose gas pressure is higher than atmospheric pressure, or the pressure on the substrate side of the ink spray mask is temporarily lower than that on the opposite side of the substrate. By doing so, the ink in the ink spraying mask is sprayed onto the workpiece to form a print pattern on the workpiece.

【0010】インク吹き付けマスクの材料を、金属や樹
脂等の可とう性のある材料を使用した場合はそのままイ
ンク吹き付けマスクを保持するのみではインク吹き付け
マスクと被加工物の距離を一定に保つことは困難となる
ためインク吹き付けマスクと被加工物の距離を一定に保
つため、枠にインク吹き付けマスクの材料を張った後、
貫通したパターンを形成しインク吹き付けマスクを被加
工物の方向にマスク押さえ部により押さえることにより
インク吹き付けマスクの張力によりインク吹き付けマス
クと被加工物の距離を一定に保ちインクを被加工物に吹
き付ける方法及び、インク吹き付けマスクの材料の一部
又は全面にフェライト、ステンレス、ニッケル、コバル
ト等の磁石に引き寄せられる磁性材料を使用するか、磁
性材料の粉末を樹脂バインダー等を使用してインク吹き
付けマスクに付着させるか、感光性樹脂等の樹脂の中に
磁性材料の粉末を混ぜることによりインク吹き付けマス
クに磁性を持たせ、磁石を使用しインク吹き付けマスク
を磁石に引き寄せながらインクを吹き付けることにより
インク吹き付けマスクと被加工物との距離を一定に保ち
ながら印刷を行う。
When a flexible material such as metal or resin is used as the material of the ink spraying mask, the distance between the ink spraying mask and the workpiece cannot be kept constant only by holding the ink spraying mask as it is. Since it becomes difficult to keep the distance between the ink spray mask and the workpiece constant, after applying the material of the ink spray mask to the frame,
A method of forming a penetrating pattern and pressing the ink spraying mask in the direction of the work piece by the mask pressing portion to keep the distance between the ink spraying mask and the work piece constant by the tension of the ink spraying mask and spray the ink on the work piece. Also, use a magnetic material such as ferrite, stainless steel, nickel, or cobalt that attracts magnets to part or all of the material of the ink spray mask, or attach magnetic material powder to the ink spray mask using a resin binder or the like. Or by mixing powder of magnetic material into resin such as photosensitive resin to give magnetism to the ink spray mask, and using a magnet to draw ink while attracting the ink spray mask to the magnet to create an ink spray mask. Printing while keeping a constant distance from the work piece

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明のインクを被加工物に吹き
付けることによるパターン印刷方法及び装置の実施の形
態について、以下に図を参照して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a pattern printing method and apparatus by spraying the ink of the present invention on a workpiece will be described below with reference to the drawings.

【0012】図1のインク吹き付けマスク1の貫通パタ
ーン部に(1−1)にてインク7をインク充填用ヘラ5
を使用してインク7を充填させる。
In the penetrating pattern portion of the ink spraying mask 1 of FIG. 1, the ink 7 is filled with the ink 7 at (1-1).
To fill the ink 7.

【0013】インク充填用ヘラ5としては樹脂、ゴム、
金属等どんな材質でも良く、インク吹き付けマスク1表
面のインクを欠き取り、貫通パターン部のみインク7を
充填できるものであれば良く、例えばスクリーン印刷に
使用するスキージを使用しても良い。
As the ink-filling spatula 5, resin, rubber,
Any material such as metal may be used as long as the ink on the surface of the ink spraying mask 1 can be cut off and the penetrating pattern portion can be filled with the ink 7. For example, a squeegee used for screen printing may be used.

【0014】インク吹き付けマスク1の貫通パターン形
成方法としては、材質がセラミックの場合は、表面にレ
ジストにてパターン形成後サンドブラストにて形成させ
る方法、ヤグレーザーや炭酸ガスレーザー等のレーザー
を使用して形成させる方法、ドリルにより穴を開けて形
成させる方法、超音波加工により研磨材を使用し貫通パ
ターンを形成する方法がある。
As a method of forming the penetrating pattern of the ink spray mask 1, when the material is ceramic, a method of forming a pattern on the surface with a resist and then sandblasting it, or using a laser such as a yag laser or a carbon dioxide gas laser is used. There are a method of forming, a method of forming a hole by drilling, and a method of forming a penetrating pattern using an abrasive by ultrasonic processing.

【0015】材質がガラスの場合はセラミックと同じ方
法の他に感光性ガラスを使用してフォトプロセスにより
形成する方法がある。
When the material is glass, in addition to the same method as for ceramics, there is a method for forming by a photo process using photosensitive glass.

【0016】材質が金属の場合は、ウェットエッチング
により形成する方法、レーザーにて形成する方法があ
り、樹脂の場合は感光性樹脂を使用してフォトプロセス
によりパターンを形成する方法がある。
When the material is metal, there are a method of forming by wet etching and a method of forming by laser, and in the case of resin, there is a method of forming a pattern by a photo process using a photosensitive resin.

【0017】インクを充填する方向としては図1の(1
−1)のように上部からインク重点用ヘラを使用し充填
するか、図2の(2−1)のように下部から充填する。
The direction of filling ink is (1) in FIG.
As shown in -1), a spatula for ink emphasis is used to fill from the top, or from the bottom as shown in (2-1) of FIG.

【0018】印刷するパターンが図9のようにパターン
の中に島パターンがある場合は、島部分を保持する必要
があり、図3のようにスクリーンメッシュ11をインク
吹き付けマスク1の片側に設けパターンが落ちないよう
にする。
When the pattern to be printed is an island pattern in the pattern as shown in FIG. 9, it is necessary to hold the island portion, and the screen mesh 11 is provided on one side of the ink spray mask 1 as shown in FIG. Do not fall.

【0019】スクリーンメッシュ11を使用する場合
は、インク吹き付けマスク1の高圧ガス吹き付けノズル
8側にスクリーンメッシュ11を設けることが望まし
い。
When the screen mesh 11 is used, it is desirable to provide the screen mesh 11 on the high pressure gas spray nozzle 8 side of the ink spray mask 1.

【0020】図1の(1−2)及び図2の(2−2)及
び図3の(2−3)のようにインク7をインク吹き付け
マスク1に充填後、大気圧以上の窒素ガスや高圧エアー
等の高圧ガス23を使用して、インク7を被加工物3上
に吹き付けることにより印刷を行う。
As shown in (1-2) of FIG. 1, (2-2) of FIG. 2 and (2-3) of FIG. Printing is performed by spraying the ink 7 onto the work piece 3 using a high pressure gas 23 such as high pressure air.

【0021】高圧ガス噴射ノズル8からの吹き付け圧力
は望ましくは0.01MPa以上であり、0.2MPa
以下の圧力に設定する。
The blowing pressure from the high pressure gas injection nozzle 8 is preferably 0.01 MPa or more, and 0.2 MPa.
Set to the following pressure.

【0022】他にインク7をインク吹き付けマスク1か
ら被加工物3に吹き付ける方法としては、図7のように
インクをインク吹き付けマスク1に充填後、インク吹き
付けマスク1と被加工物3との間を一時的に大気圧より
低くし、大気圧から大気を導入することによりインク吹
き付けマスク1内のインクを被加工物に吹き付ける方法
及び、図8のようにインク吹き付けマスクの被加工物側
と反対の面を大気圧と比較し、一時的に高圧にすること
によりインク吹き付けマスク内のインクを被加工物に吹
き付ける方法がある。
As another method of spraying the ink 7 from the ink spraying mask 1 onto the workpiece 3, as shown in FIG. 7, after filling the ink spraying mask 1 with the ink, the space between the ink spraying mask 1 and the workpiece 3 is filled. Is temporarily lower than the atmospheric pressure and the atmosphere is introduced from the atmospheric pressure to spray the ink in the ink spray mask 1 onto the workpiece, and as shown in FIG. 8, the ink spray mask is opposite to the workpiece side. There is a method in which the ink in the ink spraying mask is sprayed on the workpiece by temporarily increasing the surface pressure of the surface to the atmospheric pressure.

【0023】インク吹き付けマスク1と被加工物3との
距離は近すぎると吹き付けたインクがインク吹き付けマ
スク1に付着してしまい、きれいな印刷ができなくな
り、遠すぎると印刷パターンが広がってしまい精度の高
い印刷ができないため、インク吹き付けマスク1と被加
工物3との距離は0.01ミリ以上3ミリ以下に設定す
る。
If the distance between the ink spraying mask 1 and the work piece 3 is too short, the sprayed ink adheres to the ink spraying mask 1 and clean printing cannot be performed. Since high printing cannot be performed, the distance between the ink spray mask 1 and the workpiece 3 is set to 0.01 mm or more and 3 mm or less.

【0024】インク吹き付けマスク1として、図4及び
図5及び図6のようにスクリーン印刷にて使用するスク
リーン版を使用しても良い。
As the ink spraying mask 1, a screen plate used in screen printing as shown in FIGS. 4, 5 and 6 may be used.

【0025】インク吹き付けマスク1と被加工物3との
距離を一定にする方法として、図4のようにマスク押さ
え部6又は高圧ガス吹き付けノズル8を使用し、インク
吹き付けマスク1を被加工物側に押さえ、インク吹き付
けマスクの張力によりインク吹き付けマスクと被加工物
との距離を一定に保つようにするか、もしくは図5のよ
うにインク吹き付けマスクの一部又は全面に磁性を持つ
材料を使用して、磁石28を使用してインク吹き付けマ
スクを一定高さに保持することによりインク吹き付けマ
スクと被加工物との距離を一定に保つようにする。
As a method of keeping the distance between the ink spraying mask 1 and the work piece 3 constant, the mask holding part 6 or the high pressure gas spraying nozzle 8 is used as shown in FIG. And keep the distance between the ink spray mask and the work piece constant by the tension of the ink spray mask, or use a magnetic material for a part or the entire surface of the ink spray mask as shown in FIG. Then, the magnet 28 is used to hold the ink spraying mask at a constant height to keep the distance between the ink spraying mask and the workpiece constant.

【0026】スクリーン印刷用のスクリーン版を使用す
る場合、スクリーン製版に使用する感光性樹脂(感光性
乳剤)にニッケルやフェライト等の磁性体粉末を混合す
ることによりスクリーン版を磁性体にすることができ
る。
When a screen printing plate for screen printing is used, the screen printing plate can be made into a magnetic material by mixing a magnetic resin powder such as nickel or ferrite with a photosensitive resin (photosensitive emulsion) used for screen printing. it can.

【0027】被加工物の形状が板ではなく図6のように
円柱の場合は、高圧ガス吹き付けノズル8を固定し、被
加工物3を回転させ回転方向にインク吹き付けマスク1
を移動させることにより円柱の円周に被加工物とインク
吹き付けマスクを接触させないで印刷することが可能と
なる。
When the workpiece is not a plate but a cylinder as shown in FIG. 6, the high pressure gas spray nozzle 8 is fixed, and the workpiece 3 is rotated to rotate the ink spray mask 1
By moving the, it becomes possible to perform printing without bringing the workpiece and the ink spray mask into contact with the circumference of the cylinder.

【0028】[実施例1]インク吹き付けマスクとして
0.5ミリのアルミナ基板にヤグレーザーを使用し、
0.5ミリの貫通穴を形成した。
Example 1 A YAG laser was used on a 0.5 mm alumina substrate as an ink spray mask.
A 0.5 mm through hole was formed.

【0029】サンドブラストにてガラス基板に0.5ミ
リの貫通穴を形成した後、インク吹き付けマスクとガラ
ス基板の距離を0.1ミリ離し、インク吹き付けマスク
の貫通穴部にスクリーン印刷のスキージを使用し銀ペー
ストを充填後、0.03MPaの圧力にてインク吹き付け
マスク内の銀ペーストを高圧ガスを使用し吹き付け、ガ
ラス基板に形成した貫通穴に銀ペーストを塗布し、ガラ
ス基板上面と下面の導通を行った。
After forming a 0.5 mm through hole in the glass substrate by sandblasting, the distance between the ink spray mask and the glass substrate is separated by 0.1 mm, and a screen printing squeegee is used in the through hole of the ink spray mask. After filling with silver paste, the silver paste in the ink spray mask is sprayed with high pressure gas at a pressure of 0.03 MPa, the silver paste is applied to the through holes formed in the glass substrate, and the top and bottom surfaces of the glass substrate are electrically connected. I went.

【0030】[実施例2]ステンレス200メッシュの
スクリーンメッシュを使用し、製版したスクリーン印刷
用の版をインク吹き付けマスクとして使用し、スクリー
ン印刷用のスキージを使用し、スクリーンメッシュに銀
ペーストを充填後、マスク押さえ部にてインク吹き付け
マスクをセラミック基材側に押しつけ、インク吹き付け
マスクとセラミック基板を100μmの距離に設定し、
高圧ガス吹き付けノズルより0.05MPaの高圧エア
ーを吹き付けセラミック基板上に銀ペーストによる配線
パターンを形成した。
Example 2 A screen mesh of stainless 200 mesh was used, a plate for screen printing was used as an ink spraying mask, a squeegee for screen printing was used, and the screen mesh was filled with silver paste. , The ink pressing mask is pressed against the ceramic base material side by the mask pressing part, and the distance between the ink spraying mask and the ceramic substrate is set to 100 μm,
High-pressure air of 0.05 MPa was blown from a high-pressure gas blowing nozzle to form a wiring pattern of silver paste on the ceramic substrate.

【0031】[0031]

【発明の効果】電子部品等に配線パターン等の印刷を行
うパターン印刷において、印刷用の版として使用するイ
ンク吹き付けマスクと被加工物を非接触で印刷すること
により、被加工物を汚すことなくパターン印刷を行うこ
とを可能とした。
EFFECTS OF THE INVENTION In pattern printing for printing a wiring pattern or the like on electronic parts or the like, by printing the ink spray mask used as a printing plate and the work piece in a non-contact manner, the work piece can be kept clean. It is possible to print patterns.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】インク吹き付けマスク上部よりインクを充填
し、インクを吹き付ける方法の工程図。
FIG. 1 is a process diagram of a method of filling ink from above an ink spray mask and spraying the ink.

【図2】インク吹き付けマスク下部よりインクを充填
し、インクを吹き付ける方法の工程図。
FIG. 2 is a process diagram of a method of filling ink from below the ink spray mask and spraying the ink.

【図3】片側にスクリーンメッシュを持つインク吹き付
けマスクを使用した工程図
FIG. 3 is a process diagram using an ink spray mask having a screen mesh on one side.

【図4】スクリーンメッシュを使用したインク吹き付け
マスクを使用し、マスク押さえ部によりマスクを押さえ
ながらインクを吹き付ける方法の工程図。
FIG. 4 is a process diagram of a method of spraying ink while using an ink spraying mask that uses a screen mesh and holding the mask by a mask pressing portion.

【図5】磁石を使用してインク吹き付けマスクを保持し
ながらインクを吹き付ける方法の工程図
FIG. 5 is a process diagram of a method of spraying ink while holding an ink spray mask using a magnet.

【図6】円柱の被加工物を加工する工程図。FIG. 6 is a process diagram of processing a cylindrical workpiece.

【図7】インク吹き付けマスクと被加工物の間を大気圧
以下の負圧にすることによりインクを吹き付ける方法の
工程図。
FIG. 7 is a process diagram of a method of spraying ink by setting a negative pressure below atmospheric pressure between the ink spray mask and the workpiece.

【図8】インク吹き付けマスクの被加工物と反対側の面
を大気圧以上の圧力にすることによりインクを吹き付け
る方法の工程図。
FIG. 8 is a process diagram of a method of ejecting ink by setting the surface of the ink ejection mask opposite to the workpiece to a pressure of atmospheric pressure or higher.

【図9】加工パターン図[Figure 9] Processing pattern diagram

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インク吹き付けマスク 3 被加工物 5 インク充填用ヘラ 6 マスク押さえ部 7 インク 8 高圧ガス吹き付けノズル 11 スクリーンメッシュ 15 枠 17 負圧保持部 20 耐圧管 21 耐圧ホース 22 大気圧以下の負圧 23 高圧ガス 25 高圧保持部 28 磁石 30 印刷台 1 ink spray mask 3 Workpiece 5 Spatula for ink filling 6 Mask holding part 7 ink 8 High-pressure gas spray nozzle 11 screen mesh 15 frames 17 Negative pressure holding unit 20 pressure tube 21 Pressure-resistant hose 22 Negative pressure below atmospheric pressure 23 High pressure gas 25 High pressure holding unit 28 magnets 30 printing table

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】貫通パターンを形成したインク吹き付けマ
スクの貫通したパターン部にインクを充填後、インク吹
き付けマスクから離れた位置にある被加工物上にインク
吹き付けマスク内のインクを吹き付けることにより被加
工物上にパターン印刷を行うことを特徴とする被加工物
上へのパターン印刷方法。
1. A process is performed by filling ink into a penetrating pattern portion of an ink spraying mask having a penetrating pattern and then spraying the ink in the ink spraying mask onto a workpiece located at a position away from the ink spraying mask. A method for printing a pattern on a workpiece, which comprises performing pattern printing on the workpiece.
【請求項2】貫通パターンを形成した板の片側にメッシ
ュを貼り付けたインク吹き付けマスクの貫通したパター
ン部及び/又はメッシュ部にインクを充填後、インク吹
き付けマスクから離れた位置にある被加工物上にインク
吹き付けマスク内のインクを吹き付けることにより被加
工物上にパターン印刷を行うことを特徴とするパターン
基板上へのパターン印刷方法。
2. A workpiece which is located away from the ink spray mask after ink has been filled into the penetrated pattern portion and / or mesh portion of an ink spray mask having a mesh attached to one side of a plate having a through pattern formed thereon. A pattern printing method on a pattern substrate, characterized in that pattern printing is performed on a work by spraying ink in an ink spray mask onto the pattern.
【請求項3】スクリーンメッシュ上に感光性樹脂液を塗
布することにより感光性樹脂の皮膜を形成後、フォトプ
ロセスによりスクリーンメッシュ上に樹脂パターンを形
成したインク吹き付けマスクの樹脂部及び/又はメッシ
ュ部にインクを充填後、被加工物上にインク吹き付けマ
スク内のインクを吹き付けることにより被加工物上にパ
ターン印刷を行うことを特徴とするパターン印刷方法
3. A resin portion and / or mesh portion of an ink spray mask in which a photosensitive resin film is formed by applying a photosensitive resin liquid on the screen mesh and then a resin pattern is formed on the screen mesh by a photo process. Pattern filling method of performing pattern printing on a workpiece by filling the ink in the mask and then spraying the ink in the ink spraying mask on the workpiece.
【請求項4】請求項1から3のインク吹き付けマスク内
のインクを被加工物に吹き付ける方法として、大気圧よ
り高い高圧ガスを使用してインク吹き付けマスクに高圧
ガスを吹き付け、インク吹き付けマスク内のインクを被
加工物に吹き付けることにより被加工物上にパターン印
刷を行うことを特徴とする被加工物上へのパターン印刷
方法。
4. A method for spraying the ink in the ink spray mask according to claim 1 onto a workpiece, wherein high pressure gas higher than atmospheric pressure is used to spray the high pressure gas onto the ink spray mask, A method of pattern printing on a workpiece, which comprises performing pattern printing on the workpiece by spraying ink onto the workpiece.
【請求項5】請求項1から3のインク吹き付けマスク内
のインクを被加工物に吹き付ける方法として、インク吹
き付けマスクの基板側の圧力を基板と反対側の圧力と比
較し低くすることにより、インク吹き付けマスク内のイ
ンクを吹き付けることにより被加工物上にパターン印刷
を行うことを特徴とする被加工物上へのパターン印刷方
法。
5. A method for spraying the ink in the ink spray mask according to claim 1 onto a workpiece, by lowering the pressure on the substrate side of the ink spray mask as compared with the pressure on the side opposite to the substrate. A method for printing a pattern on a workpiece, which comprises performing pattern printing on the workpiece by spraying ink in a spray mask.
【請求項6】請求項1及び2の貫通パターンの形成方法
において、エッチング及び/又はフォトプロセス及び/
又はサンドブラスト加工及び/又はレーザー加工等によ
り形成することを特徴とするパターン印刷方法。
6. The method of forming a through pattern according to claim 1, wherein the etching and / or photo process and / or
Alternatively, a pattern printing method characterized by forming by sandblasting and / or laser processing.
【請求項7】請求項1から5のマスクの材質において、
ガラス又はセラミック又は金属又は樹脂又はこれらの複
合材であることを特徴とするパターン印刷方法。
7. The mask material according to claim 1, wherein:
A pattern printing method comprising glass, ceramic, metal, resin, or a composite material thereof.
【請求項8】請求項1から7のパターン印刷方法におい
て、インク吹き付けマスクと被加工物との距離を0.0
1ミリ以上2ミリ以下とすることを特徴とするパターン
印刷装置。
8. The pattern printing method according to claim 1, wherein the distance between the ink spraying mask and the workpiece is 0.0.
A pattern printing device having a size of 1 mm or more and 2 mm or less.
【請求項9】請求項1から7のパターン印刷方法におい
て、インク吹き付けマスクをマスク押さえ部又は/及び
高圧ガスノズルにより被加工物側に押さえ、インク吹き
付けマスクの張力により被加工物とインク吹き付けマス
クの距離を一定に保持することを特徴とするパターン印
刷装置
9. The pattern printing method according to any one of claims 1 to 7, wherein the ink spraying mask is pressed toward the work piece by a mask pressing portion or / and a high-pressure gas nozzle, and the work piece and the ink spraying mask are tensioned by the ink spraying mask. A pattern printing device characterized by holding a constant distance
【請求項10】請求項1から7のパターン印刷方法にお
いて、インク吹き付けマスクの一部又は全面に磁性体材
料を使用し、マグネットを使用してインク吹き付けマス
クを被加工物と反対側に引き寄せることにより被加工物
とインク吹き付けマスクの距離を一定に保持することを
特徴とするパターン印刷装置。
10. The pattern printing method according to any one of claims 1 to 7, wherein a magnetic material is used for a part or the whole surface of the ink spray mask, and the magnet is used to draw the ink spray mask to the side opposite to the workpiece. The pattern printing device is characterized in that the distance between the workpiece and the ink spraying mask is kept constant.
【請求項11】請求項5のパターン印刷方法において、
インク吹き付けマスクの基板側の圧力を基板と反対側の
圧力と比較し低くするために、インク吹き付けマスクと
被加工物との間を一時的に大気圧に比較し低くすること
を特徴とするパターン印刷装置。
11. The pattern printing method according to claim 5,
A pattern characterized by temporarily lowering the pressure between the ink spray mask and the workpiece compared to atmospheric pressure in order to lower the pressure on the substrate side of the ink spray mask compared to the pressure on the side opposite to the substrate. Printing device.
【請求項12】請求項5のパターン印刷方法において、
インク吹き付けマスクの基板側の圧力を基板と反対側の
圧力と比較し低くするために、インク吹き付けマスクの
被加工物との反対側の面を一時的に大気圧に比較し高く
することを特徴とするパターン印刷装置。
12. The pattern printing method according to claim 5,
In order to lower the pressure on the substrate side of the ink spray mask compared to the pressure on the opposite side of the substrate, the surface of the ink spray mask on the side opposite to the workpiece is temporarily increased to atmospheric pressure. Pattern printing device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP2669738A1 (en) 2012-05-28 2013-12-04 Hitachi High-Technologies Corporation Method and apparatus for forming pattern
CN111916551A (en) * 2020-06-24 2020-11-10 深圳市聚飞光电股份有限公司 LED luminous piece manufacturing method, LED luminous piece and luminous device
JP7491554B2 (en) 2020-06-11 2024-05-28 株式会社コーセン社 Printing method and printing device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2669738A1 (en) 2012-05-28 2013-12-04 Hitachi High-Technologies Corporation Method and apparatus for forming pattern
US8846439B2 (en) 2012-05-28 2014-09-30 Hitachi High-Technologies Corporation Method and apparatus for forming pattern
US9223228B2 (en) 2012-05-28 2015-12-29 Hitachi High-Technologies Corporation Method and apparatus for forming pattern
JP7491554B2 (en) 2020-06-11 2024-05-28 株式会社コーセン社 Printing method and printing device
CN111916551A (en) * 2020-06-24 2020-11-10 深圳市聚飞光电股份有限公司 LED luminous piece manufacturing method, LED luminous piece and luminous device

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