JP2003021576A - 波長計測装置 - Google Patents
波長計測装置Info
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- JP2003021576A JP2003021576A JP2001209115A JP2001209115A JP2003021576A JP 2003021576 A JP2003021576 A JP 2003021576A JP 2001209115 A JP2001209115 A JP 2001209115A JP 2001209115 A JP2001209115 A JP 2001209115A JP 2003021576 A JP2003021576 A JP 2003021576A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＳＬＤ等の広帯域光源が持つスペクトラルリ
ップルを等価的になくして波長計測精度を高める。 【解決手段】 温度により発光スペクトラムが変化する
広帯域光源の温度を第１の設定温度に保つ手段と、第１
の設定温度のもとで光フィルタから出力される光信号を
受光素子により電気信号に変換してその信号を第１の電
気信号として記憶する手段と、広帯域光源の温度を第２
の設定温度に保つ手段と、第２の設定温度のもとで光フ
ィルタから出力される光信号を受光素子により電気信号
に変換してその信号を第２の電気信号として記憶する手
段と、第１及び第２の電気信号を加算して第３の電気信
号を求める手段と、第３の電気信号を用いてセンサの透
過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを演算処理
により求める手段と、を備える。
ップルを等価的になくして波長計測精度を高める。 【解決手段】 温度により発光スペクトラムが変化する
広帯域光源の温度を第１の設定温度に保つ手段と、第１
の設定温度のもとで光フィルタから出力される光信号を
受光素子により電気信号に変換してその信号を第１の電
気信号として記憶する手段と、広帯域光源の温度を第２
の設定温度に保つ手段と、第２の設定温度のもとで光フ
ィルタから出力される光信号を受光素子により電気信号
に変換してその信号を第２の電気信号として記憶する手
段と、第１及び第２の電気信号を加算して第３の電気信
号を求める手段と、第３の電気信号を用いてセンサの透
過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを演算処理
により求める手段と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スーパールミネッ
セントダイオード等の広帯域光源を用いた波長計測装置
に関する。
セントダイオード等の広帯域光源を用いた波長計測装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】光応用計測装置として、光量計測により
温度、歪み等の物理量を計測するのではなく、光ファイ
バブラッググレーティング（以下、ＦＢＧという）を用
いた波長計測型の物理量計測装置が報告されている（Y.
Sano, N. Hirayama, T. Yoshino, “Wavelength Inter
rogator Employing Arrayed Waveguide Grating for Di
stributed Fiber Bragg Grating Sensors”, 14th OFS,
pp788-791, 2000：参考文献１とする）。
温度、歪み等の物理量を計測するのではなく、光ファイ
バブラッググレーティング（以下、ＦＢＧという）を用
いた波長計測型の物理量計測装置が報告されている（Y.
Sano, N. Hirayama, T. Yoshino, “Wavelength Inter
rogator Employing Arrayed Waveguide Grating for Di
stributed Fiber Bragg Grating Sensors”, 14th OFS,
pp788-791, 2000：参考文献１とする）。
【０００３】上記のシステムは、光ファイバ伝送ライン
の光量損失や光源の光量変動の影響を直接受けるため高
精度計測には向いていない光量計測型のシステムではな
く、センサヘッドから発せられる波長そのものを計測す
るシステムであるため、高い計測精度が期待され、各研
究機関で研究が進められている。このシステムにおいて
は、多くの場合、光源として広帯域光源が用いられ、実
用的には安価なスーパールミネッセントダイオード（以
下、ＳＬＤという）がよく用いられている。
の光量損失や光源の光量変動の影響を直接受けるため高
精度計測には向いていない光量計測型のシステムではな
く、センサヘッドから発せられる波長そのものを計測す
るシステムであるため、高い計測精度が期待され、各研
究機関で研究が進められている。このシステムにおいて
は、多くの場合、光源として広帯域光源が用いられ、実
用的には安価なスーパールミネッセントダイオード（以
下、ＳＬＤという）がよく用いられている。
【０００４】図４は、この種の従来の波長計測装置の構
成を示している。図４において、広帯域光源２０のＳＬ
Ｄ２２から出射した光は、光カプラ／スプリッタ３０及
び光ファイバ４０を経由してＦＢＧ４１１，４１２，４
１３，……，４１ｎに達し、これらのＦＢＧが検出した
温度、歪み等の物理量に対応した反射波長を持った光と
して反射される。ここで、光ファイバ４０及びＦＢＧ４
１ １，４１２，４１３，……，４１ｎの全体を、光ファ
イバセンサと称することにする。
成を示している。図４において、広帯域光源２０のＳＬ
Ｄ２２から出射した光は、光カプラ／スプリッタ３０及
び光ファイバ４０を経由してＦＢＧ４１１，４１２，４
１３，……，４１ｎに達し、これらのＦＢＧが検出した
温度、歪み等の物理量に対応した反射波長を持った光と
して反射される。ここで、光ファイバ４０及びＦＢＧ４
１ １，４１２，４１３，……，４１ｎの全体を、光ファ
イバセンサと称することにする。
【０００５】ＦＢＧによる反射光は光カプラ／スプリッ
タ３０を経由して波長検出器５０に導入され、この検出
器５０により反射光の中心波長が検出される。ここで、
波長検出器５０は光フィルタ５１，フォトダイオード５
２及び信号処理部５３から構成されており、光フィルタ
５１としては、例えばアレー導波路格子（以下、ＡＷＧ
という）やファブリペローフィルタ（ファブリペロー干
渉計）が使用されている。信号処理部５３から出力され
る計測波長を前記物理量に変換することにより、温度、
歪み等の物理量検出センサを実現することができる。
タ３０を経由して波長検出器５０に導入され、この検出
器５０により反射光の中心波長が検出される。ここで、
波長検出器５０は光フィルタ５１，フォトダイオード５
２及び信号処理部５３から構成されており、光フィルタ
５１としては、例えばアレー導波路格子（以下、ＡＷＧ
という）やファブリペローフィルタ（ファブリペロー干
渉計）が使用されている。信号処理部５３から出力され
る計測波長を前記物理量に変換することにより、温度、
歪み等の物理量検出センサを実現することができる。
【０００６】ここで、光フィルタ５１としてＡＷＧを用
いた波長検出器は、例えば前記参考文献１や特開２００
０−２８３８４４号公報等に記載されており、また、フ
ァブリペローフィルタを用いた波長検出器は、A. D. Ke
rsey, T. A. Berkoff, and W. W. Morey,“Multiplexed
fiber Bragg grating strain sensor system with afi
ber Fabry-Perot wavelength filter”, OPTICS LETTER
S, vol.18, No.16, 1993（参考文献２とする）に記載さ
れている。ＡＷＧを用いた波長検出原理は、前記特開２
０００−２８３８４４号公報にも記載されているよう
に、例えばＡＷＧの隣接する二つの出力チャンネルの受
光素子による光電流Ｉ１，Ｉ２から、 λ＝ａ０ｌｏｇ（Ｉ１／Ｉ２）＋ａ１ （λ：波長、 ａ０，ａ１：定数［ｎｍ］）という演算
を行う。
いた波長検出器は、例えば前記参考文献１や特開２００
０−２８３８４４号公報等に記載されており、また、フ
ァブリペローフィルタを用いた波長検出器は、A. D. Ke
rsey, T. A. Berkoff, and W. W. Morey,“Multiplexed
fiber Bragg grating strain sensor system with afi
ber Fabry-Perot wavelength filter”, OPTICS LETTER
S, vol.18, No.16, 1993（参考文献２とする）に記載さ
れている。ＡＷＧを用いた波長検出原理は、前記特開２
０００−２８３８４４号公報にも記載されているよう
に、例えばＡＷＧの隣接する二つの出力チャンネルの受
光素子による光電流Ｉ１，Ｉ２から、 λ＝ａ０ｌｏｇ（Ｉ１／Ｉ２）＋ａ１ （λ：波長、 ａ０，ａ１：定数［ｎｍ］）という演算
を行う。
【０００７】なお、図４において、光源の発光スペクト
ラムを安定させ計測精度を上げるために、ＳＬＤ２２に
は温度センサ２１及びペルチェ素子２３が取り付けられ
ており、温度コントローラ１０によるフィードバック制
御によってＳＬＤ２２の温度を一定値に保っている。
ラムを安定させ計測精度を上げるために、ＳＬＤ２２に
は温度センサ２１及びペルチェ素子２３が取り付けられ
ており、温度コントローラ１０によるフィードバック制
御によってＳＬＤ２２の温度を一定値に保っている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示した
波長計測装置においては、広帯域光源２０として使用さ
れるＳＬＤ２２のス発光ペクトラムがスムーズでなく局
所的に変動する成分（リップル）を含むので、波長計測
精度に大きな影響を与えることが知られている（T. A.
Berkoff, M. A. Davis, and A. D. Kersey, ”Source s
tructure InducedMeasurement Errors in Fiber Bragg
Grating Sensors Arrays”, SPIE, vol.2294, 1994 ：
参考文献３を参照）。
波長計測装置においては、広帯域光源２０として使用さ
れるＳＬＤ２２のス発光ペクトラムがスムーズでなく局
所的に変動する成分（リップル）を含むので、波長計測
精度に大きな影響を与えることが知られている（T. A.
Berkoff, M. A. Davis, and A. D. Kersey, ”Source s
tructure InducedMeasurement Errors in Fiber Bragg
Grating Sensors Arrays”, SPIE, vol.2294, 1994 ：
参考文献３を参照）。
【０００９】すなわち図４に示したような構成で波長を
計測した場合、広帯域光源２０としてのＳＬＤ２２の光
スペクトラル変調の影響により、図５に示す如く波長検
出器５０のフォトダイオード５２に入射する各ＦＢＧか
らの反射スペクトラムはリップルを含んだものとなり、
物理量に対応したＦＢＧの反射中心波長を正確に測定す
ることが困難であるという問題があった。なお、図５
（ａ）は光スペクトラル変調（光スペクトラルリップ
ル）がない場合、（ｂ）は光スペクトラル変調がある場
合の、ＦＢＧの反射スペクトラム、光源の発光スペクト
ラムをそれぞれ示している。
計測した場合、広帯域光源２０としてのＳＬＤ２２の光
スペクトラル変調の影響により、図５に示す如く波長検
出器５０のフォトダイオード５２に入射する各ＦＢＧか
らの反射スペクトラムはリップルを含んだものとなり、
物理量に対応したＦＢＧの反射中心波長を正確に測定す
ることが困難であるという問題があった。なお、図５
（ａ）は光スペクトラル変調（光スペクトラルリップ
ル）がない場合、（ｂ）は光スペクトラル変調がある場
合の、ＦＢＧの反射スペクトラム、光源の発光スペクト
ラムをそれぞれ示している。
【００１０】そこで本発明は、広帯域光源としてＳＬＤ
等を使用した場合においても、光スペクトラル変調のな
い光を等価的に作り出してセンサからの反射光や透過光
の光スペクトラムリップルをなくし、高精度な波長計測
を可能にした波長計測装置を提供しようとするものであ
る。
等を使用した場合においても、光スペクトラル変調のな
い光を等価的に作り出してセンサからの反射光や透過光
の光スペクトラムリップルをなくし、高精度な波長計測
を可能にした波長計測装置を提供しようとするものであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】まず、本発明では、広帯
域光源であるＳＬＤ等の発光スペクトラムが温度によっ
て変化することを利用する。ここで、λをＳＬＤの発光
波長、ＴをＳＬＤの活性層の温度、ｇをＳＬＤのスペク
トラム成分のうちリップル以外のスムーズな発光スペク
トラム成分、ｍをスペクトラム変調度、ｑを変調周期、
θを初期位相とすると、ＳＬＤの発光スペクトラムＳ
(λ，Ｔ)は、近似的に数式１によって示される。
域光源であるＳＬＤ等の発光スペクトラムが温度によっ
て変化することを利用する。ここで、λをＳＬＤの発光
波長、ＴをＳＬＤの活性層の温度、ｇをＳＬＤのスペク
トラム成分のうちリップル以外のスムーズな発光スペク
トラム成分、ｍをスペクトラム変調度、ｑを変調周期、
θを初期位相とすると、ＳＬＤの発光スペクトラムＳ
(λ，Ｔ)は、近似的に数式１によって示される。
【００１２】
【数１】
【００１３】数式１におけるｑ及びθは、数式２、数式
３によって示される。
３によって示される。
【００１４】
【数２】
【００１５】
【数３】
【００１６】数式２、数式３において、λＳは発光中心
波長、ｎはＳＬＤの活性層の屈折率、Ｌは活性層の長
さ、αはｎの温度係数、βはＬの線膨張係数である。数
式２、数式３を数式１に代入して、活性層の温度Ｔまで
含めた形でＳ(λ，Ｔ)を示すと、通常のＳＬＤの場合、
Ｌ≫λを考慮すれば、近似的に数式４を得る。
波長、ｎはＳＬＤの活性層の屈折率、Ｌは活性層の長
さ、αはｎの温度係数、βはＬの線膨張係数である。数
式２、数式３を数式１に代入して、活性層の温度Ｔまで
含めた形でＳ(λ，Ｔ)を示すと、通常のＳＬＤの場合、
Ｌ≫λを考慮すれば、近似的に数式４を得る。
【００１７】
【数４】
【００１８】ここで、温度を時間で変調する。すなわ
ち、まず最初にｒ１を自然数として、数式５とおき、こ
れを変形して数式６を得る。
ち、まず最初にｒ１を自然数として、数式５とおき、こ
れを変形して数式６を得る。
【００１９】
【数５】
【００２０】
【数６】
【００２１】次に、ｒ２を自然数として、数式７とお
き、これを変形して数式８を得る。
き、これを変形して数式８を得る。
【００２２】
【数７】
【００２３】
【数８】
【００２４】一方、一般的に、光電変換によりフォトダ
イオード等の受光素子に流れる電流Ｉ(Ｔ)は、ＳＬＤの
温度増加に対して、光学利得係数やキャリア寿命等の温
度依存性により減少する。数式４、数式６、数式８か
ら、数式９、数式１０を得る。
イオード等の受光素子に流れる電流Ｉ(Ｔ)は、ＳＬＤの
温度増加に対して、光学利得係数やキャリア寿命等の温
度依存性により減少する。数式４、数式６、数式８か
ら、数式９、数式１０を得る。
【００２５】
【数９】
【００２６】
【数１０】
【００２７】いま、ＳＬＤから光ファイバ、ＦＢＧ、波
長検出器の光学系（光フィルタ）を経由して受光素子に
至る経路の伝達関数（スペクトラルレスポンス）をＧ
（λ）とすると、受光素子に入射するスペクトラムＰ１
（λ）は、温度Ｔ＝Ｔ１のとき数式１１により表され、
温度Ｔ＝Ｔ２のとき数式１２により表される。
長検出器の光学系（光フィルタ）を経由して受光素子に
至る経路の伝達関数（スペクトラルレスポンス）をＧ
（λ）とすると、受光素子に入射するスペクトラムＰ１
（λ）は、温度Ｔ＝Ｔ１のとき数式１１により表され、
温度Ｔ＝Ｔ２のとき数式１２により表される。
【００２８】
【数１１】
【００２９】
【数１２】
【００３０】ここで、次の数式１３、数式１４のよう
に、前述の数式９，数式１１により表されるＰ１（λ，
Ｔ１）と、前述の数式１０，数式１２により表されるＰ
２（λ，Ｔ２）を、受光素子の出力側に接続される積分
時間可変、増幅度可変の積分器（マイコン等）を使って
時間ｔ１，ｔ２にわたり積分する。
に、前述の数式９，数式１１により表されるＰ１（λ，
Ｔ１）と、前述の数式１０，数式１２により表されるＰ
２（λ，Ｔ２）を、受光素子の出力側に接続される積分
時間可変、増幅度可変の積分器（マイコン等）を使って
時間ｔ１，ｔ２にわたり積分する。
【００３１】
【数１３】
【００３２】
【数１４】
【００３３】数式１３、数式１４において、η，Ｉ０は
それぞれ受光素子の光電変換効率及びＳ(λ，Ｔ)のピー
クを１として規格化したときの光源の単位波長当たりの
エネルギー密度、Ｍ１，Ｍ２はそれぞれ積分時間ｔ１，
ｔ２における積分器の増幅度（増幅度１を含む）であ
る。なお、増幅ではなく任意の減衰率で減衰させる場合
も本発明の技術的範囲に包含されるものである。更に、
数式１３と数式１４とを加算することとし、その際に数
式１５が成立するように各パラメータｔ１，ｔ２、
Ｍ１，Ｍ２、ｍ(λ，Ｔ１)，ｍ(λ，Ｔ２)を選ぶと、数
式１３と数式１４との加算結果Ａは数式１６のようにな
る。
それぞれ受光素子の光電変換効率及びＳ(λ，Ｔ)のピー
クを１として規格化したときの光源の単位波長当たりの
エネルギー密度、Ｍ１，Ｍ２はそれぞれ積分時間ｔ１，
ｔ２における積分器の増幅度（増幅度１を含む）であ
る。なお、増幅ではなく任意の減衰率で減衰させる場合
も本発明の技術的範囲に包含されるものである。更に、
数式１３と数式１４とを加算することとし、その際に数
式１５が成立するように各パラメータｔ１，ｔ２、
Ｍ１，Ｍ２、ｍ(λ，Ｔ１)，ｍ(λ，Ｔ２)を選ぶと、数
式１３と数式１４との加算結果Ａは数式１６のようにな
る。
【００３４】
【数１５】
【００３５】
【数１６】
【００３６】すなわち、数式６、数式８に従ってＳＬＤ
の温度（活性層の温度）ＴをＴ１からＴ２に変化させる
と、数式９、数式１０によりＳＬＤの発光スペクトラム
の変調位相をπ［rad］（１８０度）変化させることが
できる。そして、数式１３、数式１４による温度Ｔ１，
Ｔ２の受光素子入射スペクトラムＰ１(λ，Ｔ１)，Ｐ２
(λ，Ｔ２)の時間積分値を加算し、数式１６を得るよう
に各パラメータを選択すれば、位相を変化させないもと
の発光スペクトラムと位相をπ［rad］変化させた発光
スペクトラムとを合成した状態を実現でき、もとの発光
スペクトラムに光スペクトラル変調があったとしてもリ
ップルをキャンセルさせた発光スペクトラムを等価的に
得ることができる。言い換えれば、数式１６は、光スペ
クトラルリップルのない安定した光源の発光スペクトラ
ムをスペクトラルレスポンスＧ（λ）にインプットでき
ることを示している。
の温度（活性層の温度）ＴをＴ１からＴ２に変化させる
と、数式９、数式１０によりＳＬＤの発光スペクトラム
の変調位相をπ［rad］（１８０度）変化させることが
できる。そして、数式１３、数式１４による温度Ｔ１，
Ｔ２の受光素子入射スペクトラムＰ１(λ，Ｔ１)，Ｐ２
(λ，Ｔ２)の時間積分値を加算し、数式１６を得るよう
に各パラメータを選択すれば、位相を変化させないもと
の発光スペクトラムと位相をπ［rad］変化させた発光
スペクトラムとを合成した状態を実現でき、もとの発光
スペクトラムに光スペクトラル変調があったとしてもリ
ップルをキャンセルさせた発光スペクトラムを等価的に
得ることができる。言い換えれば、数式１６は、光スペ
クトラルリップルのない安定した光源の発光スペクトラ
ムをスペクトラルレスポンスＧ（λ）にインプットでき
ることを示している。
【００３７】すなわち、請求項１に記載した発明は、広
帯域光源の光をセンサに入射し、その透過光スペクトラ
ムまたは反射光スペクトラムを光フィルタ及び受光素子
を介し検出して透過光または反射光の波長を計測する波
長計測装置において、温度により発光スペクトラムが変
化する前記広帯域光源の温度を第１の設定温度に保つ手
段と、第１の設定温度のもとで前記光フィルタから出力
される光信号を前記受光素子により電気信号に変換して
その信号を第１の電気信号として記憶する手段と、前記
広帯域光源の温度を第２の設定温度に保つ手段と、第２
の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される光信
号を前記受光素子により電気信号に変換してその信号を
第２の電気信号として記憶する手段と、第１の電気信号
と第２の電気信号とを加算して第３の電気信号を求める
手段と、第３の電気信号を用いて前記センサの透過光ス
ペクトラムまたは反射光スペクトラムを演算処理により
求める手段と、を備えたものである。
帯域光源の光をセンサに入射し、その透過光スペクトラ
ムまたは反射光スペクトラムを光フィルタ及び受光素子
を介し検出して透過光または反射光の波長を計測する波
長計測装置において、温度により発光スペクトラムが変
化する前記広帯域光源の温度を第１の設定温度に保つ手
段と、第１の設定温度のもとで前記光フィルタから出力
される光信号を前記受光素子により電気信号に変換して
その信号を第１の電気信号として記憶する手段と、前記
広帯域光源の温度を第２の設定温度に保つ手段と、第２
の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される光信
号を前記受光素子により電気信号に変換してその信号を
第２の電気信号として記憶する手段と、第１の電気信号
と第２の電気信号とを加算して第３の電気信号を求める
手段と、第３の電気信号を用いて前記センサの透過光ス
ペクトラムまたは反射光スペクトラムを演算処理により
求める手段と、を備えたものである。
【００３８】請求項２に記載した発明は、広帯域光源の
光をセンサに入射し、その透過光スペクトラムまたは反
射光スペクトラムを光フィルタ及び受光素子を介し検出
して透過光または反射光の波長を計測する波長計測装置
において、温度により発光スペクトラムが変化する前記
広帯域光源の温度を第１の設定温度に保つ手段と、第１
の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される光信
号を前記受光素子により電気信号に変換してその信号を
任意の時間積分すると共に任意の増幅度または減衰率に
より増幅しまたは減衰させて第１の電気信号として記憶
する手段と、前記広帯域光源の温度を第２の設定温度に
保つ手段と、第２の設定温度のもとで前記光フィルタか
ら出力される光信号を前記受光素子により電気信号に変
換してその信号を任意の時間積分すると共に任意の増幅
度または減衰率により増幅しまたは減衰させて第２の電
気信号として記憶する手段と、第１の電気信号と第２の
電気信号とを加算して第３の電気信号を求める手段と、
第３の電気信号を用いて前記センサの透過光スペクトラ
ムまたは反射光スペクトラムを演算処理により求める手
段と、を備えたものである。
光をセンサに入射し、その透過光スペクトラムまたは反
射光スペクトラムを光フィルタ及び受光素子を介し検出
して透過光または反射光の波長を計測する波長計測装置
において、温度により発光スペクトラムが変化する前記
広帯域光源の温度を第１の設定温度に保つ手段と、第１
の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される光信
号を前記受光素子により電気信号に変換してその信号を
任意の時間積分すると共に任意の増幅度または減衰率に
より増幅しまたは減衰させて第１の電気信号として記憶
する手段と、前記広帯域光源の温度を第２の設定温度に
保つ手段と、第２の設定温度のもとで前記光フィルタか
ら出力される光信号を前記受光素子により電気信号に変
換してその信号を任意の時間積分すると共に任意の増幅
度または減衰率により増幅しまたは減衰させて第２の電
気信号として記憶する手段と、第１の電気信号と第２の
電気信号とを加算して第３の電気信号を求める手段と、
第３の電気信号を用いて前記センサの透過光スペクトラ
ムまたは反射光スペクトラムを演算処理により求める手
段と、を備えたものである。
【００３９】請求項３に記載した発明は、請求項１また
は請求項２の全体に記載した波長計測装置において、光
フィルタとしてアレー導波路格子を用いたものであり、
請求項４に記載した発明は、光フィルタとしてファブリ
ペローフィルタを用いたものである。
は請求項２の全体に記載した波長計測装置において、光
フィルタとしてアレー導波路格子を用いたものであり、
請求項４に記載した発明は、光フィルタとしてファブリ
ペローフィルタを用いたものである。
【００４０】請求項５に記載した発明は、請求項１，
２，３または４の何れか１項の全体に記載した波長計測
装置において、センサが光ファイバを用いたセンサであ
ることを特徴とし、請求項６に記載した発明は、センサ
が光ファイバブラッググレーティングを用いた光ファイ
バセンサであることを特徴とし、更に請求項７に記載し
た発明は、センサが光導波路にブラッググレーティング
を書き込んだセンサであることを特徴とする。
２，３または４の何れか１項の全体に記載した波長計測
装置において、センサが光ファイバを用いたセンサであ
ることを特徴とし、請求項６に記載した発明は、センサ
が光ファイバブラッググレーティングを用いた光ファイ
バセンサであることを特徴とし、更に請求項７に記載し
た発明は、センサが光導波路にブラッググレーティング
を書き込んだセンサであることを特徴とする。
【００４１】また、請求項８に記載した発明は、上記請
求項１〜７の何れか１項の全体に記載した波長計測装置
において、第１の設定温度及び第２の設定温度は、光源
の発光スペクトラムに観測される光スペクトラル変調の
位相に１８０度の位相差を発生させる温度であることを
特徴とする。
求項１〜７の何れか１項の全体に記載した波長計測装置
において、第１の設定温度及び第２の設定温度は、光源
の発光スペクトラムに観測される光スペクトラル変調の
位相に１８０度の位相差を発生させる温度であることを
特徴とする。
【００４２】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の第１実
施形態を説明する。図１は、センサとしてＦＢＧを用い
た波長計測装置の構成を示しており、図４と同一の構成
要素には同一の番号を付してある。
施形態を説明する。図１は、センサとしてＦＢＧを用い
た波長計測装置の構成を示しており、図４と同一の構成
要素には同一の番号を付してある。
【００４３】図１において、前記同様に広帯域光源２０
のＳＬＤ２２からの出射光は、光カプラ／スプリッタ３
０及び光ファイバ４０を経由してＦＢＧ４１１，４
１２，４１３，……，４１ｎ（以下、一括して指す場合
には番号４１とする）に達し、これらのＦＢＧ４１が検
出した温度、歪み等の物理量に対応する反射波長を持っ
た光として反射される。ＦＢＧ４１による反射光の中心
波長は、光カプラ／スプリッタ３０を経由して波長検出
器６０内のＡＷＧ６１に入射する。
のＳＬＤ２２からの出射光は、光カプラ／スプリッタ３
０及び光ファイバ４０を経由してＦＢＧ４１１，４
１２，４１３，……，４１ｎ（以下、一括して指す場合
には番号４１とする）に達し、これらのＦＢＧ４１が検
出した温度、歪み等の物理量に対応する反射波長を持っ
た光として反射される。ＦＢＧ４１による反射光の中心
波長は、光カプラ／スプリッタ３０を経由して波長検出
器６０内のＡＷＧ６１に入射する。
【００４４】ここで、ＡＷＧは、周知のように多入力多
出力の波長選択フィルタデバイスであって、所定の曲率
半径のアレイ導波路と、その入力側、出力側にそれぞれ
形成されたスラブ導波路と、これらのスラブ導波路にそ
れぞれ連続する複数チャンネルの入力導波路及び出力導
波路を備え、波長多重化された入力光を例えば１［ｎ
ｍ］以下の分解能で波長弁別可能な素子である。
出力の波長選択フィルタデバイスであって、所定の曲率
半径のアレイ導波路と、その入力側、出力側にそれぞれ
形成されたスラブ導波路と、これらのスラブ導波路にそ
れぞれ連続する複数チャンネルの入力導波路及び出力導
波路を備え、波長多重化された入力光を例えば１［ｎ
ｍ］以下の分解能で波長弁別可能な素子である。
【００４５】前記ＡＷＧ６１の出力端には受光素子とし
てのフォトダイオード６２が複数設けられ、これらのフ
ォトダイオード６２による検出電流が電流電圧変換器６
３により電圧信号に変換され、ＡＤ（アナログ／ディジ
タル）変換器６４によりディジタル信号に変換されてマ
イコン６５に入力されている。このマイコン６５では、
ＦＢＧ４１１，４１２，４１３，……，４１ｎによる反
射光の中心波長をそれぞれ演算して出力することによ
り、各ＦＢＧの位置に対応する温度、歪み等の物理量が
検出される。
てのフォトダイオード６２が複数設けられ、これらのフ
ォトダイオード６２による検出電流が電流電圧変換器６
３により電圧信号に変換され、ＡＤ（アナログ／ディジ
タル）変換器６４によりディジタル信号に変換されてマ
イコン６５に入力されている。このマイコン６５では、
ＦＢＧ４１１，４１２，４１３，……，４１ｎによる反
射光の中心波長をそれぞれ演算して出力することによ
り、各ＦＢＧの位置に対応する温度、歪み等の物理量が
検出される。
【００４６】また、マイコン６５にはＳＬＤ２２に取り
付けられた温度センサ２１による温度検出信号が入力さ
れており、ＳＬＤ２２の温度を周期的に変化させるため
にペルチェ素子駆動信号が生成され、この駆動信号はペ
ルチェ素子２３に加えられている。なお、ＳＬＤ２２の
温度検出手段及び加熱冷却手段は、上記の構成に何ら限
定されるものではない。
付けられた温度センサ２１による温度検出信号が入力さ
れており、ＳＬＤ２２の温度を周期的に変化させるため
にペルチェ素子駆動信号が生成され、この駆動信号はペ
ルチェ素子２３に加えられている。なお、ＳＬＤ２２の
温度検出手段及び加熱冷却手段は、上記の構成に何ら限
定されるものではない。
【００４７】以下、本実施形態の動作を、図３のタイミ
ングチャートに基づいて説明する。まず、この実施形態
では、図３におけるタイミングＰ１からシーケンス動作
を開始する。ＳＬＤ２２の温度を温度センサ２１により
検出し、その検出温度が目標の第１の設定温度Ｔ１にな
るようにマイコン６５がペルチェ素子駆動信号を生成し
てペルチェ素子２３に印加する。これにより、ＳＬＤ２
２の温度はその後、Ｔ１に達する。
ングチャートに基づいて説明する。まず、この実施形態
では、図３におけるタイミングＰ１からシーケンス動作
を開始する。ＳＬＤ２２の温度を温度センサ２１により
検出し、その検出温度が目標の第１の設定温度Ｔ１にな
るようにマイコン６５がペルチェ素子駆動信号を生成し
てペルチェ素子２３に印加する。これにより、ＳＬＤ２
２の温度はその後、Ｔ１に達する。
【００４８】タイミングＰ２では、ＳＬＤの温度は第１
の設定温度Ｔ１に達している。このタイミングＰ２か
ら、ＦＢＧ４１の反射光はＡＷＧ６１により分波され、
フォトダイオード６２の出力信号が電流電圧変換器６
３、ＡＤ変換器６４を経由してマイコン６５に入力さ
れ、積分が開始される。この積分はＰ３まで実行される
（図３における積分制御信号）。このＰ２からＰ３まで
の積分は前述した数式１３に相当し、Ｐ２からＰ３まで
の時間は数式１３のｔ１に相当する。
の設定温度Ｔ１に達している。このタイミングＰ２か
ら、ＦＢＧ４１の反射光はＡＷＧ６１により分波され、
フォトダイオード６２の出力信号が電流電圧変換器６
３、ＡＤ変換器６４を経由してマイコン６５に入力さ
れ、積分が開始される。この積分はＰ３まで実行される
（図３における積分制御信号）。このＰ２からＰ３まで
の積分は前述した数式１３に相当し、Ｐ２からＰ３まで
の時間は数式１３のｔ１に相当する。
【００４９】次に、マイコン６５は、温度センサ２１及
びペルチェ素子２３を用いて、第１の設定温度Ｔ１の場
合と同様に、ＳＬＤ２２の温度を第２の設定温度Ｔ２に
一致させるように制御動作を行う。タイミングＰ５にお
いて、ＳＬＤ２２の温度はＴ２に達する。その間、タイ
ミングＰ４では前述のＰ２〜Ｐ３の時間積分値をメモリ
に記憶（ストア）する。
びペルチェ素子２３を用いて、第１の設定温度Ｔ１の場
合と同様に、ＳＬＤ２２の温度を第２の設定温度Ｔ２に
一致させるように制御動作を行う。タイミングＰ５にお
いて、ＳＬＤ２２の温度はＴ２に達する。その間、タイ
ミングＰ４では前述のＰ２〜Ｐ３の時間積分値をメモリ
に記憶（ストア）する。
【００５０】タイミングＰ５では、ＳＬＤ２２の温度は
第２の設定温度Ｔ２に完全に到達している。このタイミ
ングＰ５から、ＦＢＧ４１の反射光は再びＡＷＧ６１に
より分波され、フォトダイオード６２の出力信号が電流
電圧変換器６３、ＡＤ変換器６４を経由してマイコン６
５に入力され、積分が開始される。この積分はＰ６まで
実行される（図３における積分制御信号）。このＰ５か
らＰ６までの積分は前述した数式１４に相当し、Ｐ５か
らＰ６までの時間は数式１４のｔ２に相当する。その
後、タイミングＰ７においてＰ５〜Ｐ６の時間積分値が
メモリにストアされる。
第２の設定温度Ｔ２に完全に到達している。このタイミ
ングＰ５から、ＦＢＧ４１の反射光は再びＡＷＧ６１に
より分波され、フォトダイオード６２の出力信号が電流
電圧変換器６３、ＡＤ変換器６４を経由してマイコン６
５に入力され、積分が開始される。この積分はＰ６まで
実行される（図３における積分制御信号）。このＰ５か
らＰ６までの積分は前述した数式１４に相当し、Ｐ５か
らＰ６までの時間は数式１４のｔ２に相当する。その
後、タイミングＰ７においてＰ５〜Ｐ６の時間積分値が
メモリにストアされる。
【００５１】ここで、前述した数式１３〜１６における
増幅度Ｍ１，Ｍ２は、マイコン６５が実行するソフトウ
ェアによって任意に設定されるものである。次に、タイ
ミングＰ８において、前記２つのメモリにストアされた
時間積分値が加算される。この加算は、前述した数式１
６に相当する。その際、数式１５が成立するように時間
ｔ１，ｔ２、増幅度Ｍ１，Ｍ２、スペクトル変調度ｍ
(λ，Ｔ１)，ｍ(λ，Ｔ２)を選ぶことにより、時間積分
値の加算結果は数式１６に示したようになり、ＳＬＤ２
２の発光スペクトラムに光スペクトラル変調があったと
しても、変調位相を変化させないもとの発光スペクトラ
ムと位相をπ［rad］変化させた発光スペクトラムとを
合成した状態を実現でき、スペクトラルリップルをキャ
ンセルさせた発光スペクトラムを等価的に得ることがで
きる。
増幅度Ｍ１，Ｍ２は、マイコン６５が実行するソフトウ
ェアによって任意に設定されるものである。次に、タイ
ミングＰ８において、前記２つのメモリにストアされた
時間積分値が加算される。この加算は、前述した数式１
６に相当する。その際、数式１５が成立するように時間
ｔ１，ｔ２、増幅度Ｍ１，Ｍ２、スペクトル変調度ｍ
(λ，Ｔ１)，ｍ(λ，Ｔ２)を選ぶことにより、時間積分
値の加算結果は数式１６に示したようになり、ＳＬＤ２
２の発光スペクトラムに光スペクトラル変調があったと
しても、変調位相を変化させないもとの発光スペクトラ
ムと位相をπ［rad］変化させた発光スペクトラムとを
合成した状態を実現でき、スペクトラルリップルをキャ
ンセルさせた発光スペクトラムを等価的に得ることがで
きる。
【００５２】また、タイミングＰ８からＰ９までの間
に、波長計測のための演算が行なわれる。前述した参考
文献１や特開２０００−２８３８４４号公報等に示され
るようなＡＷＧを用いた波長検出器の場合、タイミング
Ｐ８からＰ９までの間に行う波長計測演算は、一つのＦ
ＢＧに対してＡＷＧ６１の隣接する２つの出力チャンネ
ルに接続された２つのフォトダイオード６２の出力信号
に対して上述した数式１３，１４，１６の積分及び加算
を実行し、その演算結果の比の対数を求めて所定の定数
を乗算及び加算することに相当する。
に、波長計測のための演算が行なわれる。前述した参考
文献１や特開２０００−２８３８４４号公報等に示され
るようなＡＷＧを用いた波長検出器の場合、タイミング
Ｐ８からＰ９までの間に行う波長計測演算は、一つのＦ
ＢＧに対してＡＷＧ６１の隣接する２つの出力チャンネ
ルに接続された２つのフォトダイオード６２の出力信号
に対して上述した数式１３，１４，１６の積分及び加算
を実行し、その演算結果の比の対数を求めて所定の定数
を乗算及び加算することに相当する。
【００５３】次に、本発明の第２実施形態を図２を参照
しつつ説明する。この実施形態が第１実施形態と異なる
のは、波長検出器６０’内において、フォトダイオード
６２が1個であることと、光カプラ／スプリッタ３０と
フォトダイオード６２との間に、光フィルタとしてＡＷ
Ｇの代りに可変ファブリペローフィルタ６６が配置され
ていることである。ここで、ファブリペローフィルタ
は、周知のように、対向する平行な反射板（エタロン）
の間隔を変化させることにより、一方の反射板に入射し
た波長多重光のうち任意の波長範囲の光を他方の反射板
から出射させる波長選択性を持った光フィルタである。
しつつ説明する。この実施形態が第１実施形態と異なる
のは、波長検出器６０’内において、フォトダイオード
６２が1個であることと、光カプラ／スプリッタ３０と
フォトダイオード６２との間に、光フィルタとしてＡＷ
Ｇの代りに可変ファブリペローフィルタ６６が配置され
ていることである。ここで、ファブリペローフィルタ
は、周知のように、対向する平行な反射板（エタロン）
の間隔を変化させることにより、一方の反射板に入射し
た波長多重光のうち任意の波長範囲の光を他方の反射板
から出射させる波長選択性を持った光フィルタである。
【００５４】本実施形態では、図３におけるタイミング
Ｐ２，Ｐ３の間に可変ファブリペローフィルタ６６がマ
イコン６５からの可変ファブリペローフィルター駆動信
号により駆動され、同フィルタ６６のバンドパスフィル
タとしての中心波長が掃引され、各中心波長におけるフ
ォトダイオード６２の受光パワー（光電流）が記憶され
る。これが何度も繰り返され、各中心波長におけるパワ
ーが積分される。図３におけるタイミングＰ５，Ｐ６の
間にも、同様なシーケンスが繰り返される。その後、タ
イミングＰ２，Ｐ３の間の時間積分値とタイミングＰ
５，Ｐ６の間の時間積分値とが加算され、タイミングＰ
８から各中心波長ごとのパワーが比較されて、最もパワ
ーの大きな波長がＦＢＧ４１からの反射波長として計測
される。なお、以上の第１，第２実施形態において、光
カプラ／スプリッタ３０の代わりに光カプラ／スプリッ
タよりも光損失の少ない光サーキュレータを用いても良
いのは明らかである。
Ｐ２，Ｐ３の間に可変ファブリペローフィルタ６６がマ
イコン６５からの可変ファブリペローフィルター駆動信
号により駆動され、同フィルタ６６のバンドパスフィル
タとしての中心波長が掃引され、各中心波長におけるフ
ォトダイオード６２の受光パワー（光電流）が記憶され
る。これが何度も繰り返され、各中心波長におけるパワ
ーが積分される。図３におけるタイミングＰ５，Ｐ６の
間にも、同様なシーケンスが繰り返される。その後、タ
イミングＰ２，Ｐ３の間の時間積分値とタイミングＰ
５，Ｐ６の間の時間積分値とが加算され、タイミングＰ
８から各中心波長ごとのパワーが比較されて、最もパワ
ーの大きな波長がＦＢＧ４１からの反射波長として計測
される。なお、以上の第１，第２実施形態において、光
カプラ／スプリッタ３０の代わりに光カプラ／スプリッ
タよりも光損失の少ない光サーキュレータを用いても良
いのは明らかである。
【００５５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来のよ
うにＳＬＤ等の広帯域光源の発光スペクトラムがスペク
トラル変調（リップル）を有している場合でも、光源の
温度を変えてスペクトラムの変調位相をπ［rad］変化
させ、変調位相を変化させていないもとのスペクトラム
との加算を電子回路的に行うことで、スペクトラル変調
のない光源を等価的に作り出すことができる。これによ
り、図５（ｂ）に示したようなリップルの多い反射スペ
クトラムでも、等価的に同図（ａ）のようにリップルの
ない反射スペクトラムを得ることができるので、精度の
良い波長計測が可能となる。図４に示したような従来の
波長計測装置は、光源の温度を一定に保つだけであり、
光源の温度を周期的に変化させる温度変調は行なってい
ない。
うにＳＬＤ等の広帯域光源の発光スペクトラムがスペク
トラル変調（リップル）を有している場合でも、光源の
温度を変えてスペクトラムの変調位相をπ［rad］変化
させ、変調位相を変化させていないもとのスペクトラム
との加算を電子回路的に行うことで、スペクトラル変調
のない光源を等価的に作り出すことができる。これによ
り、図５（ｂ）に示したようなリップルの多い反射スペ
クトラムでも、等価的に同図（ａ）のようにリップルの
ない反射スペクトラムを得ることができるので、精度の
良い波長計測が可能となる。図４に示したような従来の
波長計測装置は、光源の温度を一定に保つだけであり、
光源の温度を周期的に変化させる温度変調は行なってい
ない。
【００５６】なお、本発明は、センサからの反射光スペ
クトラムだけでなく透過光スペクトラムを対象として波
長計測を行う場合にも適用可能である。また、本発明
は、前述した実施形態以外にも、例えば低コヒーレンス
光源を用いたファイバセンシングの分野（芳野俊彦、
「低コヒーレンス光源を用いたファイバセンシング」、
精密工学会誌、vol．64，No.9,1269−1273ページ、1998
等を参照）にも適用可能である。
クトラムだけでなく透過光スペクトラムを対象として波
長計測を行う場合にも適用可能である。また、本発明
は、前述した実施形態以外にも、例えば低コヒーレンス
光源を用いたファイバセンシングの分野（芳野俊彦、
「低コヒーレンス光源を用いたファイバセンシング」、
精密工学会誌、vol．64，No.9,1269−1273ページ、1998
等を参照）にも適用可能である。
【図１】本発明の第１実施形態を示す構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態を示す構成図である。
【図３】本発明の各実施形態の動作を示すタイミングチ
ャートである。
ャートである。
【図４】従来技術を示す波長計測装置の構成図である。
【図５】光源の発光パワースペクトラム及びＦＢＧの反
射スペクトラム（フォトダイオードへの入射スペクトラ
ム）を示す図である。
射スペクトラム（フォトダイオードへの入射スペクトラ
ム）を示す図である。
２０ 広帯域光源
２１ 温度センサ
２２ ＳＬＤ（スーパールミネッセンスダイオード）
２３ ペルチェ素子
３０ 光カプラ／スプリッタ
４０ 光ファイバ
４１，４１１，４１２，４１３，……，４１ｎ ＦＢＧ
（光ファイバブラッググレーティング） ６０，６０’ 波長検出器 ６１ ＡＷＧ（アレー導波路格子） ６２ フォトダイオード ６３ 電流電圧変換器 ６４ ＡＤ変換器 ６５ マイコン ６６ 可変ファブリペローフィルタ
（光ファイバブラッググレーティング） ６０，６０’ 波長検出器 ６１ ＡＷＧ（アレー導波路格子） ６２ フォトダイオード ６３ 電流電圧変換器 ６４ ＡＤ変換器 ６５ マイコン ６６ 可変ファブリペローフィルタ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 佐野 安一
神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号
富士電機株式会社内
Ｆターム(参考） 2G020 BA20 CB23 CC06 CD12 CD13
CD24 CD34
2G086 DD04 DD05
Claims (8)
- 【請求項１】 広帯域光源の光をセンサに入射し、その
透過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを光フィ
ルタ及び受光素子を介し検出して透過光または反射光の
波長を計測する波長計測装置において、 温度により発光スペクトラムが変化する前記広帯域光源
の温度を第１の設定温度に保つ手段と、 第１の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される
光信号を前記受光素子により電気信号に変換してその信
号を第１の電気信号として記憶する手段と、 前記広帯域光源の温度を第２の設定温度に保つ手段と、 第２の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される
光信号を前記受光素子により電気信号に変換してその信
号を第２の電気信号として記憶する手段と、 第１の電気信号と第２の電気信号とを加算して第３の電
気信号を求める手段と、 第３の電気信号を用いて前記センサの透過光スペクトラ
ムまたは反射光スペクトラムを演算処理により求める手
段と、 を備えたことを特徴とする波長計測装置。 - 【請求項２】 広帯域光源の光をセンサに入射し、その
透過光スペクトラムまたは反射光スペクトラムを光フィ
ルタ及び受光素子を介し検出して透過光または反射光の
波長を計測する波長計測装置において、 温度により発光スペクトラムが変化する前記広帯域光源
の温度を第１の設定温度に保つ手段と、 第１の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される
光信号を前記受光素子により電気信号に変換してその信
号を任意の時間積分すると共に任意の増幅度または減衰
率により増幅しまたは減衰させて第１の電気信号として
記憶する手段と、 前記広帯域光源の温度を第２の設定温度に保つ手段と、 第２の設定温度のもとで前記光フィルタから出力される
光信号を前記受光素子により電気信号に変換してその信
号を任意の時間積分すると共に任意の増幅度または減衰
率により増幅しまたは減衰させて第２の電気信号として
記憶する手段と、 第１の電気信号と第２の電気信号とを加算して第３の電
気信号を求める手段と、 第３の電気信号を用いて前記センサの透過光スペクトラ
ムまたは反射光スペクトラムを演算処理により求める手
段と、 を備えたことを特徴とする波長計測装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２の全体に記載し
た波長計測装置において、 光フィルタとしてアレー導波路格子を用いたことを特徴
とする波長計測装置。 - 【請求項４】 請求項１または請求項２の全体に記載し
た波長計測装置において、 光フィルタとしてファブリペローフィルタを用いたこと
を特徴とする波長計測装置。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４の何れか１項
の全体に記載した波長計測装置において、 センサが光ファイバを用いたセンサであることを特徴と
する波長計測装置。 - 【請求項６】 請求項５の全体に記載した波長計測装置
において、 センサが光ファイバブラッググレーティングを用いた光
ファイバセンサであることを特徴とする波長計測装置。 - 【請求項７】 請求項６の全体に記載した波長計測装置
において、 センサが光導波路にブラッググレーティングを書き込ん
だセンサであることを特徴とする波長計測装置。 - 【請求項８】 請求項１，２，３，４，５，６または７
の何れか１項の全体に記載した波長計測装置において、 第１の設定温度及び第２の設定温度は、光源の発光スペ
クトラムに観測される光スペクトラル変調の位相に１８
０度の位相差を発生させる温度であることを特徴とする
波長計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001209115A JP2003021576A (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 波長計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001209115A JP2003021576A (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 波長計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003021576A true JP2003021576A (ja) | 2003-01-24 |
Family
ID=19044817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001209115A Withdrawn JP2003021576A (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 波長計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003021576A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7366366B2 (en) | 2003-09-17 | 2008-04-29 | Kyocera Corporation | FBG sensing system |
| JP2009122994A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | 異常検知システム |
| JP2012523104A (ja) * | 2009-04-03 | 2012-09-27 | エグザロス・アクチェンゲゼルシャフト | 光源および光干渉断層モジュール |
-
2001
- 2001-07-10 JP JP2001209115A patent/JP2003021576A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7366366B2 (en) | 2003-09-17 | 2008-04-29 | Kyocera Corporation | FBG sensing system |
| JP2009122994A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | 異常検知システム |
| JP2012523104A (ja) * | 2009-04-03 | 2012-09-27 | エグザロス・アクチェンゲゼルシャフト | 光源および光干渉断層モジュール |
| US8625650B2 (en) | 2009-04-03 | 2014-01-07 | Exalos Ag | Light source, and optical coherence tomography module |
| US8971360B2 (en) | 2009-04-03 | 2015-03-03 | Exalos Ag | Light source, and optical coherence tomography module |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081007 |