JP2003021110A - Servo valve - Google Patents

Servo valve

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JP2003021110A
JP2003021110A JP2001208364A JP2001208364A JP2003021110A JP 2003021110 A JP2003021110 A JP 2003021110A JP 2001208364 A JP2001208364 A JP 2001208364A JP 2001208364 A JP2001208364 A JP 2001208364A JP 2003021110 A JP2003021110 A JP 2003021110A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To actuate a plurality of servo valves synchronously. SOLUTION: A valve part 18 is divided into one valve half part 19 and the other valve half part 25 to be one set of the valve, and two sets of the valve parts 18, 18 are provided in parallel. Synchronous plates 10, 11 are coupled to a supporting shaft 6 of a torque motor part 2. A plunger 23 of one valve half part 19 is made to normally about on the synchronous plate 10, and a plunger 29 of the other valve half plunger 25 is made to normally abut on the synchronous plate 11. When the torque motor part 2 is actuated, the supporting shaft 6 is rotated integrally with an armature 4, and the synchronous plates 10, 11 and a flapper 14 rock following rotations of the supporting shaft 6. The distance between the flapper 14 and a nozzle 15 is changed, and a difference is caused between the back pressures of both nozzles 15, 15, so that pistons 22, 28 are moved. The synchronous plates 10, 11 regularly about one the plungers 23, 29 of the valve half portions 19, 25, so that both valve portions 18, 18 are actuated while perfectly synchronizing.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、航空機、船舶、車
両、一般産業機械等に用いられるサーボバルブに関し、
特に、アクチュエータの作動油の流量制御等に有効なサ
ーボバルブに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servo valve used in aircrafts, ships, vehicles, general industrial machines, etc.
In particular, the present invention relates to a servo valve effective for controlling the flow rate of hydraulic oil of an actuator.

【0002】[0002]

【従来の技術】航空機、船舶、車両、一般産業機械等の
アクチュエータの作動油の流量制御等に用いられるサー
ボバルブには種々のタイプのものがあり、例えば図3に
示すようなノズルフラッパ方式のサーボバルブが一般に
知られている。
2. Description of the Related Art There are various types of servo valves used for controlling the flow rate of hydraulic oil in actuators of aircraft, ships, vehicles, general industrial machines, etc. For example, a nozzle flapper type servo as shown in FIG. Valves are commonly known.

【0003】すなわち、このサーボバルブ31は、入力
電流をアーマチュア34を介してフラッパ38の変位に
変換するトルクモータ部32と、フラッパ38の変位を
フラッパ38を挟んで対向して設けられる一対のノズル
39、39を介して油圧の圧力差に変換する油圧増幅部
36と、油圧増幅部36の圧力差をピストン45の変位
に変換して、作動油の流量を制御するバルブ部42と、
ピストン45の変位をフラッパ38にフィードバックす
るフィードバック部52とを具えている。
That is, the servo valve 31 includes a torque motor section 32 for converting an input current into a displacement of a flapper 38 via an armature 34, and a pair of nozzles provided so as to face the displacement of the flapper 38 with the flapper 38 interposed therebetween. 39 and 39, a hydraulic pressure amplification unit 36 that converts the pressure difference of hydraulic pressure, a valve unit 42 that controls the flow rate of hydraulic oil by converting the pressure difference of the hydraulic pressure amplification unit 36 into the displacement of the piston 45,
And a feedback unit 52 for feeding back the displacement of the piston 45 to the flapper 38.

【0004】そして、上記のような構成のサーボバルブ
31のトルクモータ部32に電流を入力すると、入力電
流に応じたトルクがトルクモータ部32に発生してアー
マチュア34が回転し、アーマチュア34の回転に追従
してフラッパ38が揺動してノズル39の方向に変位
し、フラッパ38の変位に応じて両ノズル39、39の
背圧に差が生じる。ここで、両ノズル39、39の背圧
は、ピストン45の両端面に作用する圧力であるから、
両ノズル39、39の背圧の差に応じてピストン45が
移動し、変位する。そして、ピストン45が変位する
と、ピストン45の変位に追従してフィードバック部5
2のフィードバックワイヤ53が撓み、フィードバック
ワイヤ53が撓んだ状態から元の状態に復帰することに
よりフラッパ38が中央に押し戻され、両ノズル39、
39の背圧の差が0となり、ピストン45がその位置に
停止し、バルブ部42を介しての作動油の流量が決定さ
れる。
When a current is input to the torque motor unit 32 of the servo valve 31 having the above-described structure, a torque corresponding to the input current is generated in the torque motor unit 32, the armature 34 rotates, and the armature 34 rotates. Following this, the flapper 38 oscillates and is displaced in the direction of the nozzle 39, and a difference in back pressure between the nozzles 39, 39 is produced according to the displacement of the flapper 38. Here, since the back pressure of both nozzles 39, 39 is the pressure acting on both end surfaces of the piston 45,
The piston 45 moves and displaces according to the back pressure difference between the two nozzles 39, 39. When the piston 45 is displaced, the feedback unit 5 follows the displacement of the piston 45.
The second feedback wire 53 bends, and the feedback wire 53 returns from the bent state to the original state, whereby the flapper 38 is pushed back to the center, and both nozzles 39,
The back pressure difference of 39 becomes 0, the piston 45 stops at that position, and the flow rate of the hydraulic oil via the valve portion 42 is determined.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成のサーボバルブ31にあっては、大容量の作
動油の流量を制御する場合等に複数のサーボバルブ3
1、31を並列させて使用することがあるが、個々のサ
ーボバルブ31の特性に差があるために動作が不安定と
なり、複数のサーボバルブ31、31を完全に同期させ
ることができず、所望の流量制御を行うことができな
い。このような問題を解決するために、複数のサーボバ
ルブ31、31をメカニカルなリンク機構(図示せず)
によって連結して同期させる方法も提案されているが、
メカニカルなリンク機構は構造が複雑なため、サーボバ
ルブ全体としての構造が複雑化し、価格も高くなってし
まう。
However, in the servo valve 31 having the above-mentioned structure, a plurality of servo valves 3 are used when controlling the flow rate of a large amount of hydraulic oil.
1 and 31 may be used in parallel, but the operation becomes unstable due to the difference in the characteristics of the individual servo valves 31, and the plurality of servo valves 31, 31 cannot be perfectly synchronized, The desired flow rate control cannot be performed. In order to solve such a problem, a plurality of servo valves 31, 31 are mechanically linked (not shown).
Although a method of connecting and synchronizing by is proposed by,
Since the mechanical link mechanism has a complicated structure, the structure of the servo valve as a whole becomes complicated and the price becomes high.

【0006】本発明は、前記のような問題点を解決した
ものであって、複数のサーボバルブを並列させて使用す
る場合に、個々のサーボバルブの特性の差に影響される
ことなく複数のサーボバルブを完全に同期させることが
できるとともに、全体の構造を簡素化することができ、
しかも価格を安く抑えることができるサーボバルブを提
供することを目的とするものである。
The present invention has solved the above-mentioned problems, and when a plurality of servo valves are used in parallel, a plurality of servo valves can be used without being affected by the difference in characteristics of the individual servo valves. Servo valves can be perfectly synchronized and the overall structure can be simplified,
Moreover, it is an object of the present invention to provide a servo valve whose price can be kept low.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために本発明は、ボディに、入力電流をアーマチュアを
介してフラッパの変位に変換するトルクモータ部と、前
記フラッパの変位をフラッパを挟んで対向して設けられ
る一対のノズルを介して油圧の圧力差に変換する油圧増
幅部と、該油圧増幅部の圧力差をピストンの変位に変換
し、作動油の流量を制御するバルブ部と、前記ピストン
の変位を前記フラッパにフィードバックするフィードバ
ック部とを設けてなるサーボバルブにおいて、前記バル
ブ部を、前記一方のノズルに接続される一方のバルブ半
部と、前記他方のノズルに接続される他方のバルブ半部
との2つに分割して1組とし、これを少なくとも2組並
列に設け、各組みの一方のバルブ半部及び他方のバルブ
半部を前記アーマチュアと一体に変位する同期板に常時
当接させて同期させるように構成した手段を採用したも
のである。この場合、例えば、前記ボディに支持軸を軸
受を介して回転自在に取り付けるとともに、該支持軸の
一端部を前記アーマチュアに一体に連結し、他端部を前
記ボディに一体に連結し、かつ、該支持軸に前記同期板
及び前記フラッパを連結して支持軸の回転に追従させて
揺動させるようにするとよい。また、前記支持軸をトー
ションスプリングで構成して、前記フィードバック部と
兼用させてもよい。
In order to solve the above problems, the present invention provides a body with a torque motor unit for converting an input current into a displacement of a flapper via an armature and a flapper for displacement of the flapper. A hydraulic pressure amplifying section for converting the hydraulic pressure into a pressure difference via a pair of nozzles provided opposite to each other, and a valve section for converting the pressure difference in the hydraulic amplifying section into a displacement of a piston to control the flow rate of hydraulic oil. A servo valve provided with a feedback portion for feeding back the displacement of the piston to the flapper, the valve portion being connected to one valve half portion connected to the one nozzle and the other nozzle The other valve half is divided into two sets to form one set, and at least two sets are provided in parallel, and one valve half and the other valve half of each set are set to the armor. It is obtained by employing the means arranged to synchronize by contact at all times in the synchronization plate displaced Interview A integrally. In this case, for example, a support shaft is rotatably attached to the body via a bearing, one end of the support shaft is integrally connected to the armature, and the other end is integrally connected to the body, and The synchronizing plate and the flapper may be connected to the support shaft so as to follow the rotation of the support shaft and swing. Further, the support shaft may be composed of a torsion spring, and may also be used as the feedback unit.

【0008】本発明は、前記のような手段を採用したこ
とにより、トルクモータ部に電流が入力すると、その入
力電流に応じたトルクが発生してアーマチュアが変位
し、アーマチュアの変位と一体にフラッパ及び同期板が
変位し、フラッパと両ノズルとの距離が変化し、両ノズ
ルの背圧に差が生じ、この背圧の差により各組の一方の
バルブ半部のピストン又は他方のバルブ半部のピストン
が移動して変位し、作動油の流量が制御されることにな
る。この場合、各組の一方のバルブ半部及び他方のバル
ブ半部は同期板に常時当接しているので、同期して作動
する。さらに、支持軸をトーションスプリングで構成し
てフィードバック部と兼用した場合には、支持軸がアー
マチュアと一体に回転したときに支持軸に捩れが発生
し、支持軸が捩れた状態から元の状態に復帰することに
よりフラッパが中立位置に押し戻され、各バルブ半部の
ピストンの変位がフラッパにフィードバックされる。
According to the present invention, by adopting the above means, when a current is input to the torque motor unit, a torque corresponding to the input current is generated to displace the armature, and the flapper is integrated with the displacement of the armature. And the synchronizing plate is displaced, the distance between the flapper and both nozzles changes, and the back pressure of both nozzles is different. Due to this back pressure difference, the piston of one valve half of each set or the other valve half The piston moves and is displaced, and the flow rate of hydraulic oil is controlled. In this case, one valve half portion and the other valve half portion of each set are always in contact with the synchronizing plate, so that they operate in synchronization. Further, when the support shaft is composed of a torsion spring and also serves as the feedback part, when the support shaft rotates integrally with the armature, the support shaft is twisted, and the support shaft is returned from the twisted state to the original state. By returning, the flapper is pushed back to the neutral position, and the displacement of the piston in each valve half is fed back to the flapper.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、図面に示す本発明の実施の
形態について説明する。図1には、本発明によるサーボ
バルブの一実施の形態が示されていて、このサーボバル
ブ1は、ボディ9に設けられるトルクモータ部2と油圧
増幅部12とバルブ部18とフィードバック部31とを
具えている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention shown in the drawings will be described below. FIG. 1 shows an embodiment of a servo valve according to the present invention. The servo valve 1 includes a torque motor unit 2, a hydraulic pressure amplifying unit 12, a valve unit 18, a feedback unit 31 provided on a body 9. It is equipped with

【0010】トルクモータ部2は、入力電流をフラッパ
14の変位に変換するものであって、先端部に対向する
磁極を有する永久磁石3と、永久磁3石の両磁極間に回
転自在に設けられるアーマチュア4と、アーマチュア4
の周囲に巻回されるコイル5と、アーマチュア4に一端
が連結されるとともに、他端がボディ9側に固定される
支持軸6と、支持軸6をボディ9に回転自在に支持する
ラジアル軸受等の軸受7と、支持軸6とボディ9との間
をシールするOリング等のシール部材8とから構成され
ている。
The torque motor unit 2 is for converting an input current into a displacement of the flapper 14, and is rotatably provided between the permanent magnet 3 having a magnetic pole facing the tip and both magnetic poles of three permanent magnets. Armature 4 and Armature 4
5, a coil 5 wound around the armature 4, a support shaft 6 having one end connected to the armature 4 and the other end fixed to the body 9 side, and a radial bearing rotatably supporting the support shaft 6 on the body 9. Etc., and a seal member 8 such as an O-ring for sealing between the support shaft 6 and the body 9.

【0011】油圧増幅部12は、トルクモータ部2のア
ーマチュア4の変位をフラッパ14を介して油圧の圧力
差に変換するものであって、トルクモータ部2の支持軸
6に軸線と直交するように連結されて支持軸6に追従し
て揺動するフラッパ14と、フラッパ14を挟んで対向
して設けられる一対のノズル15、15とからなるノズ
ルフラッパ機構13を具えている。
The hydraulic pressure amplification unit 12 converts the displacement of the armature 4 of the torque motor unit 2 into a hydraulic pressure difference via the flapper 14, and is arranged so that the support shaft 6 of the torque motor unit 2 is orthogonal to the axis. The nozzle flapper mechanism 13 is composed of a flapper 14 connected to the support shaft 6 and swinging following the support shaft 6, and a pair of nozzles 15 and 15 provided to face each other with the flapper 14 interposed therebetween.

【0012】トルクモータ部2の支持軸6には支持軸6
の軸線と直交するように2つの同期板10、11が十字
状に連結され、支持軸6の回転に追従して揺動するよう
になっている。一方の同期板10には後述するバルブ部
18の一方のバルブ半部19が常時当接し、他方の同期
板11には他方のバルブ半部25が常時当接するように
なっている。
The support shaft 6 of the torque motor unit 2 is attached to the support shaft 6.
The two synchronizing plates 10 and 11 are connected in a cross shape so as to be orthogonal to the axis line of, and are adapted to swing following the rotation of the support shaft 6. One valve half portion 19 of a valve portion 18 described later is always in contact with one synchronizing plate 10, and the other valve half portion 25 is always in contact with the other synchronizing plate 11.

【0013】各ノズル15の内部にはメインフィルタ1
7及びオリフィス16を介して作動油が導かれるように
なっている。一方のノズル15は後述するバルブ部18
の一方のバルブ半部19のシリンダ室21の後端部に連
通され、他方のノズル15は他方のバルブ半部25のシ
リンダ室27の後端部に連通されるようになっている。
したがって、各ノズル15に作用する背圧は各バルブ半
部19、25のシリンダ室21、27の後端部、すなわ
ち各ピストン22、28の後端面に導かれるようになっ
ている。
The main filter 1 is provided inside each nozzle 15.
The hydraulic oil is introduced through the nozzle 7 and the orifice 16. One of the nozzles 15 has a valve portion 18 which will be described later.
One of the valve half portions 19 is communicated with the rear end portion of the cylinder chamber 21, and the other nozzle 15 is communicated with the rear end portion of the cylinder chamber 27 of the other valve half portion 25.
Therefore, the back pressure acting on each nozzle 15 is guided to the rear end portion of the cylinder chamber 21, 27 of each valve half portion 19, 25, that is, the rear end surface of each piston 22, 28.

【0014】そして、トルクモータ部2への入力電流が
0の場合には、フラッパ14は両ノズル15、15から
等距離に位置し、両ノズル15、15から同量・同圧の
作動油が噴出し、両ノズル15、15の背圧はバランス
がとられた状態となる。一方、トルクモータ部2に電流
が入力されてアーマチュア4が回転すると、アーマチュ
ア4と一体に支持軸6が回転するとともに、支持軸6の
回転に追従してフラッパ14及び同期板10、11が揺
動し、フラッパ14がノズル15の方向に変位する。フ
ラッパ14がノズル15の方向に変位すると、フラッパ
14と両ノズル15、15との距離が変化し、両ノズル
15、15の背圧のバランスが崩れ、両ノズル15、1
5の背圧が変化し、両ノズル15、15からピストン2
2、28の後端面に導かれる作動油の圧力に差が生じ、
その圧力差に応じてピストン22、28が移動し、変位
することになる。
When the input current to the torque motor unit 2 is 0, the flapper 14 is located equidistant from both nozzles 15 and 15, and the same amount and pressure of hydraulic oil is supplied from both nozzles 15 and 15. The jetting and the back pressure of both nozzles 15, 15 are in a balanced state. On the other hand, when current is input to the torque motor unit 2 and the armature 4 rotates, the support shaft 6 rotates integrally with the armature 4, and the flapper 14 and the synchronizing plates 10 and 11 oscillate following the rotation of the support shaft 6. The flapper 14 is moved and displaced in the direction of the nozzle 15. When the flapper 14 is displaced in the direction of the nozzle 15, the distance between the flapper 14 and the nozzles 15 and 15 changes, and the balance of the back pressure of the nozzles 15 and 15 is disturbed.
The back pressure of No. 5 changes, and both nozzles 15, 15 make piston 2
2, the pressure difference of the hydraulic oil introduced to the rear end surface,
The pistons 22 and 28 move and are displaced according to the pressure difference.

【0015】バルブ部18は、一方のバルブ半部19と
他方のバルブ半部25とからなるものであって、この2
つバルブ半部19、25からなるものを1組として、こ
れを2組並列にボディ9に設けて構成したものである。
The valve portion 18 is composed of one valve half portion 19 and the other valve half portion 25.
Two valve halves 19 and 25 are set as one set, and two sets are provided in parallel on the body 9.

【0016】一方のバルブ半部19は、内部にシリンダ
室21が設けられるとともに、シリンダ室21と連通す
る供給ポート(図示せず)、戻りポート(図示せず)及
び制御ポート(図示せず)が設けられるボディ20と、
ボディ20のシリンダ室21内に移動自在に設けられる
ピストン22と、シリンダ室21の後端面とピストン2
2の後端面との間に設けられるスプリング24と、ピス
トン22の先端部に一体に設けられてシリンダ室21か
ら突出するプランジャ23とから構成されている。
A cylinder chamber 21 is provided inside one valve half portion 19, and a supply port (not shown), a return port (not shown) and a control port (not shown) which communicate with the cylinder chamber 21. Body 20 provided with
The piston 22 movably provided in the cylinder chamber 21 of the body 20, the rear end surface of the cylinder chamber 21, and the piston 2
2 includes a spring 24 provided between the rear end surface and the rear end surface of the piston 22, and a plunger 23 integrally provided at the tip of the piston 22 and protruding from the cylinder chamber 21.

【0017】他方のバルブ半部25は、内部にシリンダ
室27が設けられるとともに、シリンダ室27と連通す
る供給ポート(図示せず)、戻りポート(図示せず)及
び制御ポート(図示せず)が設けられるボディ26と、
ボディ26のシリンダ室27内に移動自在に設けられる
ピストン28と、シリンダ室27の後端面とピストン2
8の後端面との間に設けられるスプリング30と、ピス
トン28の先端部に一体に設けられてシリンダ室27か
ら突出するプランジャ29とから構成されている。
The other valve half 25 has a cylinder chamber 27 provided therein, and a supply port (not shown), a return port (not shown) and a control port (not shown) which communicate with the cylinder chamber 27. A body 26 provided with
The piston 28 movably provided in the cylinder chamber 27 of the body 26, the rear end surface of the cylinder chamber 27, and the piston 2
8 and a rear end surface of the piston 28, and a plunger 29 integrally provided at the tip of the piston 28 and protruding from the cylinder chamber 27.

【0018】各バルブ部18の一方のバルブ半部19の
シリンダ室21の後端部には油圧増幅部12の一方のノ
ズル15の背圧が導かれ、他方のバルブ半部25のシリ
ンダ室27の後端部には油圧増幅部12の他方のノズル
15の背圧が導かれ、両ノズル15、15の背圧の差に
応じて一方のバルブ半部19のピストン22又は他方の
バルブ半部25のピストン28がシリンダ室21、27
内を移動し、変位する。そして、ピストン22、28の
変位に応じて各ポートが開閉され又は各ポートの開閉度
が調整され、各ポートを介しての作動油の流量が制御さ
れるものである。
The back pressure of one nozzle 15 of the hydraulic amplifier 12 is introduced to the rear end of the cylinder chamber 21 of one valve half 19 of each valve 18, and the cylinder chamber 27 of the other valve half 25 is introduced. The back pressure of the other nozzle 15 of the hydraulic amplification unit 12 is introduced to the rear end portion, and the piston 22 of one valve half portion 19 or the other valve half portion of the other valve half portion 19 is responsive to the back pressure difference between the two nozzles 15, 15. 25 of the piston 28 is the cylinder chamber 21, 27
Move inside and displace. Each port is opened / closed or the degree of opening / closing of each port is adjusted according to the displacement of the pistons 22 and 28, and the flow rate of the hydraulic oil via each port is controlled.

【0019】フィードバック部31は、トーションスプ
リングからなる支持軸6に兼用させたものであって、支
持軸6がアーマチュア4の回転と一体に回転したときに
支持軸6には捩れが発生し、支持軸6が捩れた状態から
元の状態に復帰することによりフラッパ14が中立位置
に押し戻され、ピストン22、28をその位置に停止さ
せ、ピストン22、28を介しての作動油の流量を決定
する。すなわち、支持軸6は、ピストン22、28の変
位をフラッパ14にフィードバックさせる機能を有する
ものである。
The feedback portion 31 is also used as the support shaft 6 made of a torsion spring, and when the support shaft 6 rotates integrally with the rotation of the armature 4, the support shaft 6 is twisted and is supported. When the shaft 6 returns from the twisted state to the original state, the flapper 14 is pushed back to the neutral position, the pistons 22 and 28 are stopped at that position, and the flow rate of the hydraulic oil through the pistons 22 and 28 is determined. . That is, the support shaft 6 has a function of feeding back the displacement of the pistons 22 and 28 to the flapper 14.

【0020】そして、上記のように構成したサーボバル
ブ1のトルクモータ部2に電流を入力すると、その入力
電流に比例したトルクがトルクモータ部2に発生し、そ
のトルクに応じてアーマチュア4が回転する。
When a current is input to the torque motor unit 2 of the servo valve 1 constructed as described above, a torque proportional to the input current is generated in the torque motor unit 2, and the armature 4 rotates according to the torque. To do.

【0021】そして、アーマチュア4が回転すると、ア
ーマチュア4の回転と一体に支持軸6が回転し、支持軸
6に捩れが発生し、支持軸6の回転に追従してフラッパ
14及び同期板10、11が揺動し、フラッパ14がノ
ズル15の方向に変位し、両ノズル15、15から等距
離に位置していたフラッパ14と両ノズル15、15と
の距離が変化し、バランスが保たれていた両ノズル1
5、15の背圧に差が生じる。この背圧は、ピストン2
2、28の後端面に作用する圧力であるから、圧力の低
い方にピストン22、28が移動し始める。この場合、
各バルブ部18の一方のバルブ半部19のプランジャ2
3には一方の同期板10が常時当接し、他方のバルブ半
部25のプランジャ29には他方の同期板11が常時当
接しているので、両バルブ部18、18の一方のバルブ
半部19及び他方のバルブ半部25は同期して作動する
ことになる。
When the armature 4 rotates, the support shaft 6 rotates together with the rotation of the armature 4, and the support shaft 6 is twisted. Following the rotation of the support shaft 6, the flapper 14 and the synchronizing plate 10, 11 swings, the flapper 14 is displaced in the direction of the nozzle 15, and the distance between the flapper 14 and the nozzles 15 and 15 which are located equidistant from the nozzles 15 and 15 is changed to maintain the balance. Both nozzles 1
There is a difference in back pressure between 5 and 15. This back pressure is the piston 2
Since the pressure acts on the rear end surfaces of the pistons 2 and 28, the pistons 22 and 28 start to move to the lower pressure side. in this case,
Plunger 2 of one valve half 19 of each valve portion 18
3, the one synchronizing plate 10 is always in contact with the other valve half 25 and the plunger 29 of the other valve half 25 is always in contact with the other synchronizing plate 11, so that one valve half 19 of both valve parts 18, 18 is in contact. And the other valve half 25 will operate synchronously.

【0022】そして、支持軸6が捩れた状態から元の状
態に復帰することによりフラッパ14が中立位置に押し
戻され、両ノズル15、15の背圧の差が0となり、ピ
ストン22、28がその位置に停止し、バルブ部18を
介しての作動油の流量が決定されることになる。
When the support shaft 6 returns from the twisted state to the original state, the flapper 14 is pushed back to the neutral position, the back pressure difference between the two nozzles 15 and 15 becomes zero, and the pistons 22 and 28 move. After stopping at the position, the flow rate of the hydraulic oil through the valve portion 18 is determined.

【0023】上記のように構成した本実施の形態による
サーボバルブ1にあっては、支持軸6に設けた同期板1
0、11によって両バルブ部18、18の一方のバルブ
半部19及び他方のバルブ半部25を同期させて作動さ
せることができるので、個々のバルブ半部19、25に
特性の差があっても動作が不安定になるようなことはな
く、両バルブ部18、18は制御流量の誤差の範囲で完
全に同期することになる。したがって、両バルブ部1
8、18をアクチュエータ(図示せず)に接続した場合
に、メカニカルなリンク機構を必要とすることなく、力
学的に完全に同期させて作動させることができる。ま
た、両バルブ部18、18の極性を変えてそれぞれアク
チュエータに接続した場合には、速度の位相を完全に1
80°ずらすことができるので、往復運動を回転運動等
に変える用途に有効となる。
In the servo valve 1 according to this embodiment configured as described above, the synchronizing plate 1 provided on the support shaft 6 is provided.
Since the valve half portions 19 of both valve portions 18 and 18 and the other valve half portion 25 of both valve portions 18 and 18 can be operated in synchronism with 0 and 11, there is a difference in characteristics between the individual valve half portions 19 and 25. However, the operation does not become unstable, and both valve parts 18 and 18 are completely synchronized within the error range of the control flow rate. Therefore, both valve parts 1
When 8 and 18 are connected to an actuator (not shown), they can be operated mechanically in perfect synchronization without the need for a mechanical link mechanism. Further, when the polarities of both valve parts 18 and 18 are changed and connected to the respective actuators, the phase of the speed is completely 1
Since it can be shifted by 80 °, it is effective for the purpose of converting reciprocating motion into rotary motion or the like.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明は、バルブ部を、一方のノズルに
接続される一方のバルブ半部と、他方のノズルに接続さ
れる他方のバルブ半部との2つに分割して1組とし、こ
れを少なくとも2組並列に設け、各組みの一方のバルブ
半部及び他方のバルブ半部をアーマチュアと一体に変位
する同期板に常時当接させたことにより、個々のバルブ
半部の特性に差があっても動作が不安定になるようなこ
とはなく、複数のバルブ部を完全に同期させて作動させ
ることができる。つまり、複数のバルブ部を例えばアク
チュエータに接続した場合等にも、バルブ部を力学的に
完全に同期して作動させることができる。したがって、
構造が複雑で高価なメカニカルなリンク機構が不要とな
り、サーボバルブ全体としての構造を簡素化でき、価格
も低減させることができる。さらに、複数のバルブ部の
極性を変えて各々アクチュエータに接続した場合等に、
速度の位相を180°ずらすことも容易にできるので、
往復運動を回転運動等に変える用途に有効となる。ま
た、ボディに支持軸を軸受を介して回転自在に取り付け
るとともに、支持軸とボディとの間をシール部材でシー
ルしたことにより、軸受に市販品の安価なラジアル軸受
等を用いることができるとともに、シール部材に市販品
の安価なOリング等を用いることができる。したがっ
て、全体としての価格を安く抑えることができ、安価な
サーボバルブを提供できる。また、支持軸をトーション
スプリングで構成して、フィードバック部と兼用させた
ことにより、安価なトーションスプリングからなる支持
軸によってピストンの変位をフラッパにフィードバック
させるフィードバック部を構成できるので、これによっ
ても全体としての価格を安く抑えることができる。
According to the present invention, the valve part is divided into two parts, one valve half part connected to one nozzle and the other valve half part connected to the other nozzle to form one set. , At least two sets of these are provided in parallel, and one valve half of each set and the other valve half are constantly brought into contact with the synchronizing plate that is integrally displaced with the armature, so that the characteristics of each valve half can be improved. Even if there is a difference, the operation does not become unstable, and the plurality of valve parts can be operated in perfect synchronization. That is, even when a plurality of valve parts are connected to an actuator, for example, the valve parts can be mechanically operated in perfect synchronization. Therefore,
A complicated and expensive mechanical link mechanism is not required, the structure of the servo valve as a whole can be simplified, and the cost can be reduced. Furthermore, when changing the polarity of multiple valve parts and connecting to each actuator,
Since it is easy to shift the velocity phase by 180 °,
It is effective for the purpose of converting reciprocating motion into rotary motion. Further, since the support shaft is rotatably attached to the body through the bearing and the support shaft and the body are sealed by the seal member, a commercially available inexpensive radial bearing or the like can be used for the bearing, A commercially available inexpensive O-ring or the like can be used for the seal member. Therefore, the price as a whole can be kept low and an inexpensive servo valve can be provided. In addition, since the support shaft is composed of a torsion spring and is also used as the feedback part, a feedback part for feeding back the displacement of the piston to the flapper can be configured by the support shaft composed of an inexpensive torsion spring, so that also as a whole. The price can be kept low.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明によるサーボバルブの一実施の形態を
示した概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a servo valve according to the present invention.

【図2】 従来のサーボバルブの一例を示した概略図で
ある。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of a conventional servo valve.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…サーボバルブ 2…トルクモータ部 3…永久磁石 4…アーマチュア 5…コイル 6…支持軸 7…軸受 8…シール部材 9…ボディ 10、11…同期板 12…油圧増幅部 13…ノズルフラッパ機構 14…フラッパ 15…ノズル 16…オリフィス 18…バルブ部 19…一方のバルブ半部 20、26…ボディ 21、27…シリンダ室 22、28…ピストン 23、29…プランジャ 24、30…スプリング 25…他方のバルブ半部 31…フィードバック部 1 ... Servo valve 2 ... Torque motor section 3 ... Permanent magnet 4 ... Armature 5 ... coil 6 ... Support shaft 7 ... Bearing 8 ... Seal member 9 ... Body 10, 11 ... Synchronous plate 12 ... Hydraulic pressure amplifier 13 ... Nozzle flapper mechanism 14 ... Flapper 15 ... Nozzle 16 ... Orifice 18 ... Valve part 19 ... One valve half 20, 26 ... Body 21, 27 ... Cylinder chamber 22, 28 ... Piston 23, 29 ... Plunger 24, 30 ... Spring 25 ... Half of the other valve 31 ... Feedback section

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ボディに、入力電流をアーマチュアを介
してフラッパの変位に変換するトルクモータ部と、前記
フラッパの変位をフラッパを挟んで対向して設けられる
一対のノズルを介して油圧の圧力差に変換する油圧増幅
部と、該油圧増幅部の圧力差をピストンの変位に変換
し、作動油の流量を制御するバルブ部と、前記ピストン
の変位を前記フラッパにフィードバックするフィードバ
ック部とを設けてなるサーボバルブにおいて、 前記バルブ部を、前記一方のノズルに接続される一方の
バルブ半部と、前記他方のノズルに接続される他方のバ
ルブ半部との2つに分割して1組とし、これを少なくと
も2組並列に設け、 各組みの一方のバルブ半部及び他方のバルブ半部を前記
アーマチュアと一体に変位する同期板に常時当接させて
同期させるように構成したことを特徴とするサーボバル
ブ。
1. A hydraulic pressure difference between a torque motor unit for converting an input current into a displacement of a flapper through an armature, and a pair of nozzles provided to face the displacement of the flapper with the flapper sandwiched in the body. And a valve unit for converting the pressure difference of the hydraulic pressure amplification unit into a displacement of the piston to control the flow rate of the working oil, and a feedback unit for feeding back the displacement of the piston to the flapper. In the servo valve, the valve part is divided into two parts, one valve half part connected to the one nozzle and the other valve half part connected to the other nozzle to form one set, At least two sets of these are provided in parallel, and one valve half part and the other valve half part of each set are always brought into contact with a synchronizing plate that is integrally displaced with the armature to synchronize them. Servovalve, characterized by being configured so.
【請求項2】 前記ボディに支持軸を軸受を介して回転
自在に取り付けるとともに、該支持軸の一端部を前記ア
ーマチュアに一体に連結し、他端部を前記ボディに一体
に連結し、かつ、該支持軸に前記同期板及び前記フラッ
パを連結して支持軸の回転に追従させて揺動させるよう
に構成したことを特徴とする請求項1に記載のサーボバ
ルブ。
2. A support shaft is rotatably attached to the body via a bearing, one end of the support shaft is integrally connected to the armature, and the other end is integrally connected to the body, and 2. The servo valve according to claim 1, wherein the synchronization plate and the flapper are connected to the support shaft so as to follow the rotation of the support shaft and swing.
【請求項3】 前記支持軸をトーションスプリングで構
成して、前記フィードバック部と兼用させたことを特徴
とする請求項2に記載のサーボバルブ。
3. The servo valve according to claim 2, wherein the support shaft is composed of a torsion spring and is also used as the feedback portion.
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