JPS6224004A - Servo valve - Google Patents
Servo valveInfo
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- JPS6224004A JPS6224004A JP16492285A JP16492285A JPS6224004A JP S6224004 A JPS6224004 A JP S6224004A JP 16492285 A JP16492285 A JP 16492285A JP 16492285 A JP16492285 A JP 16492285A JP S6224004 A JPS6224004 A JP S6224004A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
この発明はサーボ弁に係り、詳しくはピエゾ効果を有す
る圧電素子を備えたり一−ボ弁に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention relates to a servo valve, and more particularly to a one-way valve including a piezoelectric element having a piezo effect.
（従来の技術）
［ナーボ弁は入）ｊとしての電気信号を油圧に変換する
弁であって、高速な応答を要求されるサーボ機構に適し
ている。(Prior Art) [A nervo valve is a valve that converts an electrical signal into hydraulic pressure, and is suitable for a servo mechanism that requires high-speed response.
例えばフィードバック方式のサーボ弁では第７図及び第
８図に示すようにトルクモータ３１にあるマグネットコ
イル３２に入力として電流が流れると、アーマデユア３
３に磁気的特性を与え１．同アーマチュア３３は上下磁
極との磁気的関係により入力電流の大ぎさと、極性に対
応して傾動する。For example, in a feedback type servo valve, as shown in FIGS. 7 and 8, when current flows as an input to the magnet coil 32 in the torque motor 31, the armadure 3
3 with magnetic properties and 1. The armature 33 tilts depending on the magnitude and polarity of the input current due to the magnetic relationship between the upper and lower magnetic poles.
このアーマチュア３３の傾動により、アーマチュア３３
の先端部に設けられたノズルフラッパ３７′Ｉが変位す
る。すると、ノズルフラッパ３４の両側に配置した左右
のノズル３５．３６に対するすき間が変化して両ノズル
３５．３６の背圧が変化するため、この結果、スプール
３７０両端面に作用する油圧が不平衡となりこの油圧の
差によりスプール３７を移動させる。This tilting of the armature 33 causes the armature 33 to
The nozzle flapper 37'I provided at the tip of the nozzle flapper 37'I is displaced. Then, the gap between the left and right nozzles 35, 36 arranged on both sides of the nozzle flapper 34 changes, and the back pressure of both nozzles 35, 36 changes. As a result, the hydraulic pressure acting on both end faces of the spool 370 becomes unbalanced. The spool 37 is moved by the difference in oil pressure.
このとき、ノズルフラッパ３４の先端部に設けられたフ
ィードバックスプリング３８は前記スプール３７の中央
部に係着されているため、前記アーマチュア３３の磁気
的トルクと正反対のｌ〜シルク発生させ、ノズルフラッ
パ３４を中立位置まで引き戻す。同ノズルフラッパ３４
が中立位置に戻ると、左右のノズル３５．３６の背圧は
等しくなりスプール３７はその位置で停止するようにな
っている。このようにサーボ弁のスプール３７は１ヘル
クモータ３１の入力電流の極性と大きさに比例した弁開
度を保つことができるようになっている。At this time, since the feedback spring 38 provided at the tip of the nozzle flapper 34 is engaged with the center of the spool 37, it generates l~silk, which is exactly opposite to the magnetic torque of the armature 33, and the nozzle flapper 34 is neutralized. Pull it back into position. Same nozzle flapper 34
When the nozzles 35 and 36 return to the neutral position, the back pressures of the left and right nozzles 35 and 36 become equal, and the spool 37 stops at that position. In this way, the spool 37 of the servo valve can maintain a valve opening proportional to the polarity and magnitude of the input current to the one-herc motor 31.
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、前記のように従来はノズルフラッパ３４の駆
動にトルクモータ３１を用いているため、入力電流によ
り］イル３２が発熱して消費電力が人さくなる問題があ
り、又、トルクモータ３１て・発生させる１ヘルクを入
力電流に比例させることがむずかしいとともに、１ｌｆ
ｆｉ記アーマヂコア３３及びノズルフラッパ３４の調整
が回能で機差を生じる問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) However, as described above, since the torque motor 31 is conventionally used to drive the nozzle flapper 34, there is a problem that the input current generates heat in the coil 32, resulting in low power consumption. However, it is difficult to make the 1 herk generated by the torque motor 31 proportional to the input current, and 1lf
There was a problem in that the adjustment of the armature core 33 and the nozzle flapper 34 caused machine differences due to the number of turns.
この発明は前記問題点を解消するためになされたちので
あって、その目的は低消費電力でしかし高速応答ができ
るサーボ弁を提供することを目的としている。The present invention was made to solve the above problems, and its purpose is to provide a servo valve that consumes low power and can respond at high speed.
発明の構成
（問題点を解決するための手段）
この発明のサーボ弁はノズルフラッパを傾動ｆす能に配
置するとともに傾動方向に変位する圧電素子に対し連係
し、ノズルフラッパの両側方に一対のノズルを対応配置
し、ノズルフラッパの傾動により前記ノズルの背圧を変
化させてスプールを移動させるようにしたものである。Structure of the Invention (Means for Solving Problems) The servo valve of the present invention arranges a nozzle flapper so that it can be tilted, is linked to a piezoelectric element that is displaced in the tilting direction, and has a pair of nozzles on both sides of the nozzle flapper. The spool is moved by changing the back pressure of the nozzle by tilting the nozzle flapper.
（作用）
前記構成により、圧電素子がピエゾ効果により傾動方向
に変位すると、ノズルフラッパが同圧電素子により駆動
され傾動する。すると、ノズルフラッパの両側方に配置
されたノズルの背圧が変化してスプールが移動する。(Function) With the above configuration, when the piezoelectric element is displaced in the tilting direction due to the piezoelectric effect, the nozzle flapper is driven by the piezoelectric element and tilted. Then, the back pressure of the nozzles arranged on both sides of the nozzle flapper changes and the spool moves.
（実施例）
以下、この発明をフィードバック方式のサーボ弁に具体
化した？Ｊ１実施例を第１図〜第５図に従って説明する
。(Example) Hereinafter, this invention was embodied in a feedback type servo valve. The J1 embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
弁本体１の弁孔１ａには四方パイロット弁を構成するス
プール２が左右方向へ摺シ〕可能に配設され、同スプー
ル２が図面において弁孔１ａの左方側位置に１ひ置する
ときには同スプール２を介して供給ボート３ａからシリ
ンダ等に通ずる制御ボート４へ作動油が流れるとともに
、池の制御ボート５から戻りボート６ａへ作動油が流れ
るＪ、うになっている。又、前記スプール２が図面にお
いて弁孔１ａの右方側に位置するときにはスプール２を
介して他の供給ボート３ｂから制御ボート５へ作動油が
流れるどともに、制御ボート４から戻りボート６ｂへ作
動油が流れるようになっている。A spool 2 constituting a four-way pilot valve is slidably disposed in the valve hole 1a of the valve body 1 in the left-right direction, and when the spool 2 is placed on the left side of the valve hole 1a in the drawing, Hydraulic oil flows through the spool 2 from the supply boat 3a to the control boat 4 that communicates with cylinders, etc., and hydraulic oil flows from the pond control boat 5 to the return boat 6a. Further, when the spool 2 is located on the right side of the valve hole 1a in the drawing, the hydraulic oil flows from the other supply boat 3b to the control boat 5 via the spool 2, and the operating oil flows from the control boat 4 to the return boat 6b. Oil is now flowing.
前記弁本体１において前記スプール２の上方には一対の
ノズル７．８が互いに相対配置され、同ノズル７．８は
油路１７，１８を介して作動油が尊びかれるようになっ
ている。前記ノズル７．８の後部はパイロット通路９，
１０を介してそれぞれ弁孔１ａの左右両端部に連通され
、スプール２の両端部に前記ノズル７．８の背圧をかけ
る」−うになっている。In the valve body 1, above the spool 2, a pair of nozzles 7.8 are arranged relative to each other, and the nozzles 7.8 receive hydraulic oil through oil passages 17 and 18. At the rear of said nozzle 7.8 is a pilot passage 9,
10 to the left and right ends of the valve hole 1a, respectively, so that the back pressure of the nozzle 7.8 is applied to both ends of the spool 2.
弁本体１の上部には駆動部ケース１３が配置されており
、同駆動部ケース１３内には前記両ノズル７．８の中央
部上方に位置するノズルフラッパ１１が上端部にて傾動
可能に回動軸１１ａにて軸支され、同ノズルフラッパ１
１の下端部は常には前記相対する両ノズル７．８の中間
部に対応配置されている。さらに前記ノズルフラッパ１
１の下端部にはフィードバックスプリング１２が取着さ
れ、同フィードバックスプリング１２の下端部は前記ス
プール２の中央部に係着されている。A drive unit case 13 is disposed at the top of the valve body 1, and within the drive unit case 13, a nozzle flapper 11 located above the center of both nozzles 7.8 is tiltably rotated at its upper end. The nozzle flapper 1 is supported by a shaft 11a.
The lower end of the nozzle 7.1 is always located in the middle of the opposing nozzles 7.8. Further, the nozzle flapper 1
A feedback spring 12 is attached to the lower end of the spool 2, and the lower end of the feedback spring 12 is engaged with the center of the spool 2.
圧電素子１４．１５は電圧が印加されると、ピエゾ効果
により伸長し、逆電圧が印加されると収縮する素子であ
って、互いに相λ１する内端面がノズルフラッパ１１の
両側面にそれぞれ当接するように配置されている。この
圧電素子１４．１５はノズルフラッパ１１に必要な変位
に応じて取付けるものとし、てこの作用を利用するよう
に前記ノズルフラッパ１１の仝艮の１／３〜１１５の上
部側位置にて配置するのが望ましく、例えばノズルフラ
ッパに必要な変位量が０．２０ｍ１１１．圧電素子１４
．１５の変位量が５０μｍとすると、圧電素子１４．１
５をノズルフラッパ１１の回動軸１１ａからフラッパ１
１の全長の１／４の位置に配置する。The piezoelectric elements 14 and 15 are elements that expand due to the piezo effect when a voltage is applied, and contract when a reverse voltage is applied, and are arranged so that their inner end surfaces, which are opposite to each other by λ1, abut on both sides of the nozzle flapper 11, respectively. It is located in The piezoelectric elements 14 and 15 are attached to the nozzle flapper 11 according to the required displacement, and are preferably placed at positions above 1/3 to 115 of the nozzle flapper 11 to utilize the lever action. Desirably, for example, the amount of displacement required for the nozzle flapper is 0.20 m111. Piezoelectric element 14
．． If the displacement amount of piezoelectric element 14.1 is 50 μm, then piezoelectric element 14.1
5 from the rotation shaft 11a of the nozzle flapper 11 to the flapper 1.
Place it at 1/4 of the total length of 1.
なお、両圧電素子１４．１５は制御装置１６によって、
それぞれ互いに逆電圧が印加されるとともに、その動作
タイミングも制御されるようになっている。又、前記圧
電素子１４．１５の外端部には駆動部ケース１３に螺合
された調節ボルト１４ａ、１５ａが当接され、同調節ボ
ルト１４ａ。Note that both piezoelectric elements 14 and 15 are controlled by the control device 16.
Reverse voltages are applied to each of them, and their operation timings are also controlled. Further, adjustment bolts 14a and 15a screwed into the drive unit case 13 are abutted on the outer ends of the piezoelectric elements 14 and 15, and the adjustment bolts 14a.
１５ａを螺合調節することにより圧電素子１４゜１５の
位置の微調整が可能になっている。Fine adjustment of the positions of the piezoelectric elements 14 and 15 is possible by adjusting the screws 15a.
前記のように構成されたサーボ弁について説明する。The servo valve configured as described above will be explained.
さて、ノズル７．８に通ずる油路１７．１８を介して導
びかれた作動油はノズル７．８を介してノズルフラッパ
１１に圧力をかける。前記ノズルフラッパ１１が中立の
位置にある場合にはノズル７．８の背圧が等しいため、
パイロット通路９゜１０内の圧力も互いに等しく保たれ
、スプール２は移動しない。The hydraulic oil conducted via the oil line 17.18 leading to the nozzle 7.8 now exerts pressure on the nozzle flapper 11 via the nozzle 7.8. When the nozzle flapper 11 is in the neutral position, the back pressures of the nozzles 7.8 are equal;
The pressures in the pilot passages 9 and 10 are also kept equal to each other and the spool 2 does not move.
今、制御装置１６が圧電素子１４に電圧を印加するとと
もに、圧電素子１５に前記圧電素子１４に印加した電圧
とは逆の電圧を印加する。すると、圧電素子１４が伸長
するとともに圧電素子１５は収縮する。Now, the control device 16 applies a voltage to the piezoelectric element 14, and also applies a voltage opposite to the voltage applied to the piezoelectric element 14 to the piezoelectric element 15. Then, the piezoelectric element 14 expands and the piezoelectric element 15 contracts.
すると、第２図に示すようにノズルフラッパ１１は前記
圧電素子１４．１５に駆動されて図面の右方に傾動し、
ノズルフラッパ１１の両側に配置した左右のノズル７．
８に対するすき間が変化して両ノズル７．８の背Ｊ工が
変化する。すなわちパイロット通路１０内の圧力がパイ
ロット通路９内の圧力よりも高くなる。その結果、スプ
ール２の両端面に作用する油圧が不平衡となりこの油圧
の差によりスプール２を左方へ移動させる。Then, as shown in FIG. 2, the nozzle flapper 11 is driven by the piezoelectric elements 14 and 15 and tilts to the right in the drawing.
Left and right nozzles 7 arranged on both sides of the nozzle flapper 11.
The gap between the two nozzles 7 and 8 changes, and the backs of the nozzles 7 and 8 change. That is, the pressure within the pilot passage 10 becomes higher than the pressure within the pilot passage 9. As a result, the oil pressures acting on both end faces of the spool 2 become unbalanced, and the difference in oil pressure causes the spool 2 to move to the left.
このどき、ノズルフラッパ１１の先端部に設けられたフ
ィードバックスプリング１２は前記両圧電素子１４．１
５の発生するトルクと正反対のトルクを発生させ、ノズ
ルフラッパ１１を中立位置まで引き戻す。同ノズルフラ
ッパ１１が中立位置に戻ると、左右のノズル７．８の背
圧は等しくなリスブール２はその位置で停止する。At this time, the feedback spring 12 provided at the tip of the nozzle flapper 11 is connected to both piezoelectric elements 14.1.
The nozzle flapper 11 is pulled back to the neutral position by generating a torque opposite to that generated by the nozzle flapper 11. When the nozzle flapper 11 returns to the neutral position, the Lisbourg 2, in which the back pressures of the left and right nozzles 7.8 are equal, stops at that position.
このスプール２の左方への移動により、第３図に示すよ
うに供給ボート３ａと制御ボート４、及び戻りポー１〜
６ａと制御ポー１〜５とが連通し、同スプール２を介し
て供給ボート３ａから制御ボート４へ作動油が流れると
ともに、制御ポー１へ５から戻りボート６ａへ作動油が
流れる。This movement of the spool 2 to the left causes the supply boat 3a, control boat 4, and return port 1 to
6a and the control ports 1 to 5 communicate with each other, and hydraulic oil flows from the supply boat 3a to the control boat 4 via the spool 2, while hydraulic oil flows from the control port 1 to the return boat 6a.
次に、制御装置１６が圧電素子１４．１５への電圧の印
加を解除すると、フィードバックスプリング１２により
ノズルフラッパ１１は左方へ傾動する。この結果、パイ
ロット通路９の内の圧力（ノズル７の背圧）はパイロツ
［−通路１０の圧力（ノズル８の背圧）よりも高くなり
、スプール２は右方へのツノを受ける。この圧力差によ
りスプール２が右方へ移動を始めると、フィードバック
スプリング１２により発生するトルクは小さくなり、ス
プール２が中立の位置で１〜ルクはＯとなる。これによ
り第１図に示すようにノズルフラッパ１１も中立の位置
で止まるとともに、パイロブ１〜通路９．１０の圧力ｂ
Ｔｉいに等しくなり、スプール２は元の中立の位置に止
まる。Next, when the control device 16 releases the voltage application to the piezoelectric element 14.15, the feedback spring 12 causes the nozzle flapper 11 to tilt to the left. As a result, the pressure in the pilot passage 9 (back pressure of the nozzle 7) becomes higher than the pressure in the pilot passage 10 (back pressure of the nozzle 8), and the spool 2 receives the horn to the right. When the spool 2 begins to move to the right due to this pressure difference, the torque generated by the feedback spring 12 becomes smaller, and the torque becomes 1 to 0 when the spool 2 is in the neutral position. As a result, the nozzle flapper 11 also stops at the neutral position as shown in FIG.
Ti is equal to Ti, and the spool 2 remains in its original neutral position.
反対に制御装置１６が前記とは逆の電１■を／Ｉ電素子
１４．１５に対しそれぞれ印加すると、圧電素子１４は
収縮するとともに圧電素子１５は伸長する。すると、第
４図に示すにうに前記とは逆の方向（左方）にノズルフ
ラッパ１１が傾動し、ノズルフラッパ１１の両側に配置
した左右のノズル７．８に対するすき間が変化して両ノ
ズル７．８の背圧が変化するため、すなわちパイロット
通路９内の圧力がパイロット通路１０内の圧力よりも高
くなる。その結果、スプール３７の両端面に作用する油
圧が不平衡となりこの油圧の差にＪ、リスブール２を右
方へ移動させる。On the other hand, when the control device 16 applies a voltage 1/2 opposite to the above to each of the /I electric elements 14 and 15, the piezoelectric element 14 contracts and the piezoelectric element 15 expands. Then, as shown in FIG. 4, the nozzle flapper 11 tilts in the opposite direction (to the left), and the gap between the left and right nozzles 7.8 arranged on both sides of the nozzle flapper 11 changes, so that both nozzles 7.8 , the pressure in the pilot passage 9 becomes higher than the pressure in the pilot passage 10. As a result, the oil pressures acting on both end faces of the spool 37 become unbalanced, and this oil pressure difference causes the Lisbourg 2 to move to the right.
このとき、ノズルフラッパ１１の先端部に設けられたフ
ィードバックスプリング１２は前記両圧電素子１４．１
５の発生するトルクと正反対のトルクを発生させ、ノズ
ルフラッパ１１を中立（σ霞まで引き戻す。同ノズルフ
ラッパ１１が中立位置に戻ると、左Ｇのノズル７．８の
背圧は等しくなりスプール２はその位置で停止づる。At this time, the feedback spring 12 provided at the tip of the nozzle flapper 11 is connected to both piezoelectric elements 14.1.
5 is generated, and the nozzle flapper 11 is pulled back to neutral (σ haze). When the nozzle flapper 11 returns to the neutral position, the back pressure of the left G nozzle 7.8 becomes equal, and the spool 2 The crane stops at the position.
このスプール２の右方への移動により、第５図に示すよ
うに供給ボート３ｂと制御ボー１−５、及び戻りボート
６ｂと制御ボー１へ４とが連通し、同スプール２を介し
て供給ボート３ｂから制御ボート５へ作動油が流れると
ともに、制御ボート４から戻りボート６ｂへ作動油が流
れる。This movement of the spool 2 to the right causes the supply boat 3b and the control boat 1-5 to communicate with each other, and the return boat 6b and the control boat 1 to 4 to communicate with each other, as shown in FIG. Hydraulic oil flows from the boat 3b to the control boat 5, and from the control boat 4 to the return boat 6b.
次に、制御装置１６が圧電素子１４．１５への電圧の印
加を解除すると、フィードバックスプリング１２により
ノズルフラッパ１１はも方へ傾動する。この結果、パイ
ロット通路１０の内の圧力（ノズル８の背圧）はパイロ
ット通路９の圧力くノズル７の背圧）Ｊ：りも高くなり
、スプール２は左方への力を受りる。この圧力差により
スプール２が左方へ移動を始めると、フィードバックス
プリング１２により発生する１ヘルクは小さくなり、ス
プール２が中立の位置でトルクはＯとなる。これにより
第１図に示すようにノズルフラッパ１１も中Ｘ″ｌの位
置で止まるとともに、パイ（コツト通路９．１０の圧力
もｎいに等しくなり、スプール２（よ元の中立の位置に
止まる。Next, when the control device 16 releases the voltage application to the piezoelectric element 14.15, the feedback spring 12 causes the nozzle flapper 11 to tilt toward the rear. As a result, the pressure in the pilot passage 10 (the back pressure of the nozzle 8) becomes higher than the pressure in the pilot passage 9 (the back pressure of the nozzle 7), and the spool 2 receives a force to the left. When the spool 2 begins to move to the left due to this pressure difference, one herk generated by the feedback spring 12 becomes smaller, and the torque becomes O when the spool 2 is in the neutral position. As a result, as shown in FIG. 1, the nozzle flapper 11 also stops at the middle position X''1, and the pressures in the pi and spool passages 9 and 10 also become equal to n, and the spool 2 stops at its original neutral position.
この実施例では調節ポル１〜１４ａ、１５ａが設けられ
ているため、その螺合間を調節するこ、と（こより機差
の調整を容易に行うことができろ。In this embodiment, since the adjustment ports 1 to 14a and 15a are provided, it is possible to easily adjust the distance between the screws and the machine difference.
次に第２実施例を第６図に従って説明づる。Next, a second embodiment will be explained with reference to FIG.
この実施例では前記第１実施例の構成中、ノズルフラッ
パ１１の両側に配置される一方の）「電素子１４を省略
し、その代わりに一端が駆動部ケース１３に取着される
コイルスプリング２０のｆｌ！！ Ｑ”Ａをノズルフラ
ッパ１１に取着し、同コイルスプリング２０にて圧電素
子１５の伸長方向とは反対方向に常時付勢するようにな
っているところのみが異なっている。In this embodiment, one of the electronic elements 14 disposed on both sides of the nozzle flapper 11 in the configuration of the first embodiment is omitted, and instead, a coil spring 20 whose one end is attached to the drive unit case 13 is used. fl!! The only difference is that Q"A is attached to the nozzle flapper 11 and is always biased by the coil spring 20 in the opposite direction to the direction in which the piezoelectric element 15 extends.
従って、この実施例では圧電索子１５の伸長収縮のみで
ノズルフラッパ１１を駆動する。その能の作用は前記実
施例と同様である。Therefore, in this embodiment, the nozzle flapper 11 is driven only by the expansion and contraction of the piezoelectric cord 15. The effect of this function is the same as in the previous embodiment.
なお、この発明は前記実施例に限定されるものではなく
、他のサーボ弁例えばスプール２の両端部に一対のバネ
を配置したスプリングバランスタイプのものに具体化し
たり、油圧平衡タイプのものに具体化したりする等この
発明の趣旨から逸脱しない範囲で任意に変更することも
可能である。Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and may be embodied in other servo valves, such as a spring balance type in which a pair of springs are arranged at both ends of the spool 2, or a hydraulic balance type. It is also possible to make arbitrary changes without departing from the spirit of the invention, such as changing
発明の効果
以上、詳述したようにこの発明はノズルフラッパの駆動
に圧電素子を匝用することから低消費型ツノですみ、発
熱ｍは従来と異なり少なくなる。又、高速応答となり、
トルクモータを使用しなくてもよいため高Ｎ度及び高信
頼性を期待することができる効果を奏し、産業利用上滑
れた発明である。Effects of the Invention As detailed above, since this invention uses a piezoelectric element to drive the nozzle flapper, a low-consumption type horn is required, and heat generation m is reduced compared to the conventional method. In addition, it has a fast response,
Since there is no need to use a torque motor, it is possible to expect a high N degree and high reliability, and this invention is suitable for industrial use.
第１図はこの発明の第１実施例を示すサーボ弁の断面図
、第２図は第１図の状態からスプールが左方へ移動して
いる状態の断面図、第３図は同じく第２図の状態からス
プールが弁開度を保持している状態の断面図、第４図は
第１図の状態からスプールが右方へ移動している状態の
断面図、第５図は同じく第４図の状態からスプールが弁
開度を保持している状態の断面図、第６図は第２實施例
の断面図、第７図は従来のｔナーボ弁の断面図、第８図
は同じく第７図の状態からスプールが弁開度を保持して
いる状態の断面図である。
１は弁本体、２はスプール、７，８はノズル、９．１０
はパイ［１ツ１〜通路、１１はノズルフラッパ、１２は
フィードバックスプリング、１４．１５は圧電素子、１
Ｇは制御装置である。
特許出願人 株式会社豊田自動織機製作所代 理
人 弁理士 恩１） １ｔＶ ｔ’ｊ：第１図
第６１FIG. 1 is a cross-sectional view of a servo valve showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the spool moving leftward from the state shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a sectional view of the state in which the spool is moving to the right from the state shown in FIG. 1, and FIG. 6 is a sectional view of the second actual embodiment, FIG. 7 is a sectional view of a conventional t-nervo valve, and FIG. 8 is a sectional view of the conventional t-nervo valve. 7 is a sectional view of the state in which the spool maintains the valve opening degree from the state shown in FIG. 7. FIG. 1 is the valve body, 2 is the spool, 7 and 8 are the nozzles, 9.10
is a pie [1 piece 1 ~ passage, 11 is a nozzle flapper, 12 is a feedback spring, 14.15 is a piezoelectric element, 1
G is a control device. Patent Applicant Toyota Industries Corporation Representative
Person Patent Attorney On1) 1tV t'j: Figure 1 Figure 61
Claims (4)
パの両側方に一対のノズルを対応配置し、ノズルフラッ
パの傾動により前記ノズルの背圧を変化させ、両ノズル
の背圧の差を利用してスプールを移動させるようにした
サーボ弁において、前記ノズルフラッパに対し傾動方向
に変位する圧電素子を連係したサーボ弁。1. A nozzle flapper is arranged so as to be tiltable, a pair of nozzles are arranged correspondingly on both sides of the nozzle flapper, the back pressure of the nozzle is changed by tilting the nozzle flapper, and the spool is moved using the difference in the back pressure of both nozzles. In the servo valve according to the present invention, a piezoelectric element that is displaced in a tilting direction with respect to the nozzle flapper is linked.
ある特許請求の範囲第１項に記載のサーボ弁。2. The servo valve according to claim 1, wherein the piezoelectric elements are arranged on both sides of the nozzle flapper.
ある特許請求の範囲第１項に記載のサーボ弁。3. The servo valve according to claim 1, wherein the piezoelectric element is arranged on one side of the nozzle flapper.
ラッパの側部に当接配置したものである特許請求の範囲
第２項又は第３項のうちいずれか１項に記載のサーボ弁
。4. The servo valve according to any one of claims 2 and 3, wherein the piezoelectric element is disposed in contact with the side of the nozzle flapper so as to utilize a lever action.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16492285A JPS6224004A (en) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | Servo valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16492285A JPS6224004A (en) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | Servo valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224004A true JPS6224004A (en) | 1987-02-02 |
Family
ID=15802393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16492285A Pending JPS6224004A (en) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | Servo valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6224004A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1985
- 1985-07-25 JP JP16492285A patent/JPS6224004A/en active Pending
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