JP2572436B2 - Fluid pressure servo valve - Google Patents

Fluid pressure servo valve

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JP2572436B2
JP2572436B2 JP63300373A JP30037388A JP2572436B2 JP 2572436 B2 JP2572436 B2 JP 2572436B2 JP 63300373 A JP63300373 A JP 63300373A JP 30037388 A JP30037388 A JP 30037388A JP 2572436 B2 JP2572436 B2 JP 2572436B2
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guide valve
port
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尚樹 袴田
順明 安藤
信男 平岩
隆之 勝田
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Toyota Motor Corp
Soken Inc
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Nippon Soken Inc
Toyota Motor Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、外部信号により流量制御を行なうことので
きるサーボ弁に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servo valve capable of controlling a flow rate by an external signal.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の流量を制御するサーボ弁においては、案内弁が
スプール状となっており、このスプール状の案内弁が流
体圧によって左右方向のみの直線往復運動を行なうこと
によって制御している。
In a conventional servo valve for controlling a flow rate, a guide valve is formed in a spool shape, and the spool-shaped guide valve performs control by performing a linear reciprocating motion only in the left and right directions by fluid pressure.

しかし、従来のサーボ弁においては、案内弁は上記の
ように左右方向のみの直線往復運動を行なっているた
め、自動車などの振動の大きいものに搭載した場合にこ
の振動が案内弁の運動方向に働くと、案内弁が勝手に移
動してしまうため、正確な流量制御ができなくなるとい
う問題が生じてしまう。
However, in the conventional servo valve, the guide valve performs a linear reciprocating motion only in the left-right direction as described above. Therefore, when the guide valve is mounted on a vehicle or the like having a large vibration, this vibration is generated in the motion direction of the guide valve. If it works, the guide valve will move on its own, causing a problem that accurate flow control cannot be performed.

また、実開昭62−126673号公報においては、弁をモー
タによって直接回転させることにより、流量制御を行な
っている。このようなモータバルブでは弁を介して流体
圧力をモータが直接受けることになり、弁の駆動時には
回転トルクを流体圧力以上にしなくてはならないため、
必要電流値が大きくなり、かつモータの体格も大きくな
ってしまう。さらに、応答性が非常に悪いという問題も
生じていた。
Further, in Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-126672, the flow rate is controlled by directly rotating a valve by a motor. In such a motor valve, the motor receives the fluid pressure directly through the valve, and when the valve is driven, the rotational torque must be higher than the fluid pressure.
The required current value increases and the size of the motor also increases. Further, there has been a problem that the response is very poor.

さらに、特公昭37−11321号公報には中筒と主ロータ
リー弁との間に画成された一対の圧力室間の圧力差を、
該ロータリー弁と同心円状に配置された補助ロータリー
弁により制御する二重回転型サーボバルブが記載されて
いる。
Further, Japanese Patent Publication No. 37-11321 discloses a pressure difference between a pair of pressure chambers defined between a middle cylinder and a main rotary valve.
A dual rotation type servo valve controlled by an auxiliary rotary valve arranged concentrically with the rotary valve is described.

この場合、主ロータリー弁が回転した位置において、
その位置を維持するため、補助ロータリー弁の回転力を
発生させる励磁コイルへの吸着力と、主ロータリー弁を
回転させるために発生した圧力差とが直接つりあうよう
に構成されているため、主ロータリー弁を回転させるだ
けの大きな圧力差と直接つりあうだけの大きな励磁力を
必要とし、駆動手段等が大型化していた。
In this case, at the position where the main rotary valve rotates,
In order to maintain the position, the suction force of the auxiliary rotary valve to the exciting coil, which generates the rotational force, and the pressure difference generated to rotate the main rotary valve are directly balanced. This required a large exciting force enough to directly balance the pressure difference required to rotate the valve, and the driving means and the like had been increased in size.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

そこで本発明では、振動を受けても流量制御を正確に
行なうことができかつ小型で応答性の良いサーボ弁を提
供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a small and highly responsive servo valve that can accurately control the flow rate even when receiving vibration.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

そこで本発明では、少なくともプレッシャポート、コ
ントロールポートおよびリターンポートが形成されたハ
ウジングと、このハウジング内に設けられ、回転駆動に
よって前記各ポート間の連通を制御する案内弁と、 前記ハウジングと前記案内弁とに囲まれ、かつ前記プ
レッシャポートと連通されており、前記プレッシャポー
トからの流体圧力によって前記案内弁を回転駆動させる
少なくとも一対の圧力室と、 前記リターンポートと前記一対の圧力室との連通を制
御するために、外部信号により駆動される駆動手段によ
って所定角度回転し、前記一対の圧力室の圧力を制御す
るパイロット弁とを備え、 前記案内弁は、前記パイロット弁により制御された前
記一対の圧力室の圧力差に応じて回転移動するととも
に、前記パイロット弁は、前記案内弁が所定の回転角度
位置で前記一対の圧力室の圧力がほぼ平衡することによ
り静止するよう前記一対の圧力室の圧力を制御するとい
う技術的手段を採用するものである。
Therefore, in the present invention, a housing provided with at least a pressure port, a control port, and a return port, a guide valve provided in the housing, and controlling the communication between the ports by rotational driving, the housing and the guide valve And is communicated with the pressure port, and at least one pair of pressure chambers that rotationally drives the guide valve by fluid pressure from the pressure port; and that communication between the return port and the pair of pressure chambers is performed. A pilot valve for controlling the pressure of the pair of pressure chambers by rotating a predetermined angle by a driving means driven by an external signal, and controlling the pressure of the pair of pressure chambers. While rotating according to the pressure difference of the pressure chamber, the pilot valve is Inner valve is one which employs a technical means of controlling the pressure of said pair of pressure chambers so as to rest by the pressure of the pair of pressure chambers at a predetermined rotational angular position is substantially balanced.

[作用] 上記技術的手段を採用することによって、所定の圧力
差によって案内弁が回転した後、案内弁が所定の回転角
度位置に位置決めされる際、一対の圧力室の圧力がほぼ
平衡となるようパイロット弁により圧力室への連通が制
御される。そのため、案内弁をある角度位置に維持する
ための回転力とパイロット弁の駆動力とは直接関りがな
く、駆動手段からはパイロット弁へは、圧力室への連通
を制御するのに必要なトルクだけが発生される。
[Operation] By adopting the above technical means, when the guide valve is rotated to a predetermined rotation angle position after the guide valve is rotated by a predetermined pressure difference, the pressures of the pair of pressure chambers are substantially balanced. The communication with the pressure chamber is controlled by the pilot valve. Therefore, there is no direct relationship between the rotational force for maintaining the guide valve at a certain angular position and the driving force of the pilot valve, and the driving means is required to control the communication with the pressure chamber from the pilot valve to the pressure chamber. Only torque is generated.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明のサーボ弁の断面図を示す。10はトル
クモータ部であり、この詳細な構造を第2図に第1図に
おけるA−A矢視図として示す。トルクモータ部10に
は、アーマチュア11が設けられており、このアーマチュ
ア11はアーマチュア11に対向する2個のコイル12,13の
内側円筒状中空部14をDを軸線として回転可能となって
いる。さらにコイル12,13の外周部はヨーク16に固定さ
れ、このヨーク16の上方には第1図に示す如く永久磁石
17が設けられている。
FIG. 1 shows a sectional view of a servo valve of the present invention. Reference numeral 10 denotes a torque motor unit, and its detailed structure is shown in FIG. 2 as viewed from the direction of arrows AA in FIG. The torque motor unit 10 is provided with an armature 11, and the armature 11 is rotatable about the inner cylindrical hollow portion 14 of the two coils 12, 13 facing the armature 11 with D as an axis. Further, the outer peripheral portions of the coils 12 and 13 are fixed to a yoke 16, and a permanent magnet is provided above the yoke 16 as shown in FIG.
17 are provided.

この永久磁石17はヨーク16の磁極片18のうち上方がN
(S),下方がS(N)となるように取り付けられてお
り、コイル12および13に通電することによってアーマチ
ュア11の左右端にN極,S極が発生し、上記磁極片18との
間に引力,斥力が発生するようになっている。
The upper part of the pole piece 18 of the yoke 16 is N
(S), S (N) is attached to the lower side, and N and S poles are generated at the left and right ends of the armature 11 when the coils 12 and 13 are energized. Attraction and repulsion are generated.

さらに、第1図に示す如くこのトルクモータ部10を囲
むカバー20の上方には回転角センサ21が取付けられ、そ
のシャフト部15はカバー20に設けた穴部を貫通し、バル
ブ部30のパイロット弁31のシャフト上部に固定されパイ
ロット弁31と一体で回転するようになっている。
Further, as shown in FIG. 1, a rotation angle sensor 21 is mounted above a cover 20 surrounding the torque motor section 10, and a shaft section 15 thereof passes through a hole provided in the cover 20, and a pilot section of the valve section 30 is provided. The pilot valve 31 is fixed to an upper portion of the shaft of the valve 31 and rotates integrally with the pilot valve 31.

第2図において、25は平衡スプリングで一端はアーマ
チュア11に、他端は調整ネジ26に接し、アーマチュア11
の回転トルクに対する反力を発生する。また調整ネジ26
を回転させることによってアーマチュア11の中立位置を
調整することができる。
In FIG. 2, reference numeral 25 denotes an equilibrium spring, one end of which is in contact with the armature 11 and the other end of which is in contact with the adjusting screw 26.
Generates a reaction force with respect to the rotational torque. Adjustment screw 26
By rotating, the neutral position of the armature 11 can be adjusted.

第3図は第1図におけるB−B矢視図であり、バルブ
部30の詳細な構造を示す。
FIG. 3 is a view taken in the direction of arrows BB in FIG. 1, and shows the detailed structure of the valve section 30.

バルブ部30の案内弁100は概略円板状をなし、Dを軸
線として回転往復運動をするロータリ式案内弁である。
そしてこのロータリ式のバルブ部30は流体通路であるプ
レッシャポート70a及び70bから供給される流体を管路32
a,32b,33a,33b、さらにオリフィス34a,34b,35a,35bを通
って管路36a,36b,37a,37bに導きノズル38a,38b,39a,39b
からリターン部である円筒状の穴40に流出させる流路を
有している。また管路36a,36b,37a,37bの一端は案内弁1
00とハウジング71とで構成する圧力室41a,41b,42a,42b
にそれぞれ開放されている。そして、ランド50a,50b,51
a,51b,52aおよび52bが形成されている。第4図は案内弁
100の第1図におけるC−C矢視図であり、これに示さ
れているように案内弁100には穴40からリターンポート6
0a,60bに流体を導く管路65が形成されている。ここでラ
ンド50aと50b,51a,51b,52aと52b,プレッシャポート70a,
70b,圧力室41aと41b,42aと42b,管路32aと32b,33aと33b,
36aと36b,37aと37b、及びこれら管路が有するオリフィ
ス34aと34b,35aと35b,ノズル38aと38b,39aと39bは点0
を中心とした点対称の位置にあり、それぞれは同じ大き
さ同じ形状をした1対のものである。さらにハウジング
71が有するコントロールポート72aと72b,リターンポー
ト60aと60bもプレッシャポート70a,70b同様点0を中心
とした点対称位置にあり、同じ大きさ同じ形状である。
パイロット弁31はロータリ式案内弁100にあけられた穴4
0の中に組み込まれていて、上端部がトルクモータ部10
のアーマチュア11に固定されているため、永久磁石17と
コイル12,13によりDを軸線としてアーマチュア11と一
体で微少往復回転をする。
The guide valve 100 of the valve section 30 is a rotary type guide valve that has a substantially disk shape and that rotates and reciprocates around D as an axis.
The rotary valve section 30 receives the fluid supplied from the pressure ports 70a and 70b, which are fluid passages, through a pipe 32.
a, 32b, 33a, 33b and further through orifices 34a, 34b, 35a, 35b to conduits 36a, 36b, 37a, 37b for nozzles 38a, 38b, 39a, 39b
And has a flow channel that flows out of the cylindrical hole 40 as a return portion. One end of each of the pipes 36a, 36b, 37a, 37b is a guide valve 1.
Pressure chamber 41a, 41b, 42a, 42b composed of 00 and housing 71
Is open to each. And lands 50a, 50b, 51
a, 51b, 52a and 52b are formed. Fig. 4 is a guide valve
FIG. 5 is a view taken along the line CC in FIG. 1 of FIG. 1, and as shown in FIG.
A conduit 65 for guiding the fluid to 0a and 60b is formed. Here lands 50a and 50b, 51a, 51b, 52a and 52b, pressure port 70a,
70b, pressure chambers 41a and 41b, 42a and 42b, pipelines 32a and 32b, 33a and 33b,
36a and 36b, 37a and 37b, and the orifices 34a and 34b, 35a and 35b, and nozzles 38a and 38b, 39a and 39b of these conduits have a point 0.
, And each is a pair of the same size and the same shape. Further housing
The control ports 72a and 72b and the return ports 60a and 60b of the 71 are also located at point-symmetrical positions about the point 0, and have the same size and the same shape as the pressure ports 70a and 70b.
Pilot valve 31 is a hole 4 drilled in rotary guide valve 100.
0, and the upper end is the torque motor 10
Is fixed to the armature 11 and a small reciprocating rotation is performed integrally with the armature 11 around the axis D by the permanent magnet 17 and the coils 12 and 13.

また中立状態におけるパイロットバルブ31のエッジ部
75a,75b,76a,76bはノズル38a,38b,39a,39bそれぞれの軸
線に一致する位置にある。
Edge portion of pilot valve 31 in neutral state
75a, 75b, 76a, and 76b are located at positions corresponding to the respective axes of the nozzles 38a, 38b, 39a, and 39b.

80a,80bは入力信号のないときに案内弁100を中立状態
に保持するための中立用スプリングであり、案内弁100
とハウジング71との間に設けられ、図示しない固定用の
穴に挿入されている。85はフィルタ部である。
Reference numerals 80a and 80b denote neutral springs for holding the guide valve 100 in a neutral state when there is no input signal.
And a housing 71, and is inserted into a fixing hole (not shown). 85 is a filter unit.

以下にこのロータリ式サーボ弁の作用について3方弁
を例にとって述べる。
The operation of the rotary servo valve will be described below by taking a three-way valve as an example.

コイル12,13に入力電流を流すことによりアーマチュ
ア11に磁気的極性を与え、これと磁極片18との磁気的引
力・斥力によってこのアーマチュア11をDを軸線として
微少回転させる。このときの回転力は入力電流に比例
し、平衡スプリング25の復元力と釣り合った位置で静止
する。パイロット弁31の上端はこのアーマチュア11に固
定されているためアーマチュア11の回転角はパイロット
弁31の回転角と等しくなる。
A magnetic polarity is given to the armature 11 by passing an input current through the coils 12 and 13, and the armature 11 is minutely rotated about D by the magnetic attraction and repulsion between the armature 11 and the pole piece 18. The rotational force at this time is proportional to the input current, and stops at a position balanced with the restoring force of the balance spring 25. Since the upper end of pilot valve 31 is fixed to armature 11, the rotation angle of armature 11 is equal to the rotation angle of pilot valve 31.

第5図はパイロット弁31が反時計まわりにθだけ回転
した場合を示す断面図であり、パイロット弁31のエッジ
部75aと75bはノズル38aと38bの開口部面積それぞれを減
少させ、反対にエッジ部76aと76bはノズル39aと39bそれ
ぞれの開口部面積を増大させる。この結果圧力室41aと4
1bの圧力は増加し、圧力室42aと42bの圧力は減少する。
このため圧力室41a,41bと42a,42bとの間に圧力差が生
じ、この圧力差がロータリ式案内弁100を反時計まわり
に回転させる。この案内弁100の回転によってノズル38a
と38bの開口部面積は増大しはじめ、ノズル39a,39bの開
口部面積は減少しはじめる。そしてついにノズル38a,38
b,39aと39bの開口部面積が等しくなると圧力差41a,41b,
42a,42bの圧力が等しくなり、この位置にて案内弁100は
静止する。その状態を第6図に示す。パイロット弁31が
回転した角度θだけ回転している。ただし、ここでは中
立用スプリング80a,80bの反力、あるいは案内弁100に作
用する流体反力等は無視して説明している。案内弁100
がθだけ回転したことにより、コントロールポート72a
及び72bがθに応じた開度をもち、その開度に応じた流
量がプレッシャポート70a及び70bからコントロールポー
ト72a及び72bにそれぞれ流れ込む。この時ランド50aと5
0b,51aと51b,52aと52b,オリフィス34aと34b,35aと35b,
ノズル38aと38b,39aと39bは点0を中心とした点対称位
置にそれぞれあるため流体圧力の非対称性のために案内
弁100の半径方向に荷重がかかるということはない。こ
こで入力電流の方向を切替えて、すなわちアーマチュア
11の磁気的特性を反対にしてパイロット弁31を時計まわ
りに回転させれば、これに追従して案内弁100も時計ま
わりに回転し、この回転角度に応じた流量がコントロー
ルポート72a,72bからリターンポート60a,60bにそれぞれ
流れ込む。もし入力電流を0とすれば、平衡スプリング
25及び中立用スプリング80a,80bによりパイロット弁31,
案内弁100ともに中立点にもどる。ここで案内弁回転角
に比例した流量がプレッシャポート70a,70bからコント
ロールポート72a,72bに、あるいはコントロールポート7
2a,72bからリターンポート60a,60bに流れ込むようにポ
ート形状を決定すれば、アーマチュア11の回転角は入力
電流に比例させることができるため、結局入力電流に比
例した案内弁100の回転角が得られ、さらにこの回転角
に比例した出力流量が得られることになる。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a case where the pilot valve 31 is rotated counterclockwise by θ. The edge portions 75a and 75b of the pilot valve 31 reduce the opening areas of the nozzles 38a and 38b, respectively. Portions 76a and 76b increase the opening area of nozzles 39a and 39b, respectively. As a result, the pressure chambers 41a and 4
The pressure in 1b increases and the pressure in pressure chambers 42a and 42b decreases.
For this reason, a pressure difference is generated between the pressure chambers 41a, 41b and 42a, 42b, and this pressure difference causes the rotary guide valve 100 to rotate counterclockwise. The rotation of the guide valve 100 causes the nozzle 38a to rotate.
The opening area of the nozzles 39a and 39b starts to increase, and the opening area of the nozzles 39a and 39b starts to decrease. And finally the nozzles 38a, 38
When the opening areas of b, 39a and 39b become equal, the pressure difference 41a, 41b,
The pressures at 42a and 42b become equal, and the guide valve 100 stops at this position. The state is shown in FIG. The pilot valve 31 is rotated by the rotation angle θ. However, here, the reaction force of the neutral springs 80a and 80b, the fluid reaction force acting on the guide valve 100, and the like are ignored. Guide valve 100
Is rotated by θ, the control port 72a
And 72b have openings corresponding to θ, and flow rates corresponding to the openings flow from the pressure ports 70a and 70b into the control ports 72a and 72b, respectively. At this time lands 50a and 5
0b, 51a and 51b, 52a and 52b, orifices 34a and 34b, 35a and 35b,
Since the nozzles 38a and 38b and the nozzles 39a and 39b are located at point symmetric positions with respect to the point 0, no load is applied in the radial direction of the guide valve 100 due to the asymmetry of the fluid pressure. Here, the direction of the input current is switched,
If the pilot valve 31 is rotated clockwise by reversing the magnetic properties of 11, the guide valve 100 is also rotated clockwise following this, and the flow rate according to this rotation angle is transmitted from the control ports 72a, 72b. It flows into the return ports 60a and 60b, respectively. If the input current is set to 0, the balance spring
25 and neutral springs 80a, 80b, pilot valve 31,
The guide valve 100 returns to the neutral point. Here, the flow rate proportional to the rotation angle of the guide valve is transferred from the pressure ports 70a, 70b to the control ports 72a, 72b or the control port 7a.
If the shape of the port is determined so that it flows from 2a, 72b to the return ports 60a, 60b, the rotation angle of the armature 11 can be made proportional to the input current, so that the rotation angle of the guide valve 100 proportional to the input current is eventually obtained. Thus, an output flow rate proportional to the rotation angle can be obtained.

第7図に本発明のロータリ式油圧サーボ弁(3方弁)
を用いた制御回路例を示す。本実施例ではアクチュエー
タ(油圧ピストンシリンダ)200で負荷300の位置決めを
行っているものである。今、制御信号発生部210から位
置設計信号が制御系の入力端220に加えられると、ここ
で負荷の現在位置を検出器230にて検出し、これをフィ
ードバック信号として前記位置設定信号と比較し誤差信
号を生ずる。この誤差信号は増幅器240により増幅され
電気油圧サーボ弁250の図示しないトルクモータのコイ
ルに誤差電流を流す。これにより電気油圧サーボ弁250
が作動しタンク261,ポンプ262よりなる油圧供給源260か
らアクチュエータ(油圧ピストンシリンダ)200にポン
プ262によって誤差電流に比例した油圧を供給する。こ
れによって油圧ピストンシリンダ200は制御駆動されそ
のピストン軸に連結された負荷300を目標位置まで動か
す。
FIG. 7 shows a rotary hydraulic servo valve (three-way valve) of the present invention.
An example of a control circuit using the above will be described. In this embodiment, the position of the load 300 is determined by the actuator (hydraulic piston cylinder) 200. Now, when a position design signal is applied from the control signal generator 210 to the input terminal 220 of the control system, the current position of the load is detected by the detector 230, and this is compared with the position setting signal as a feedback signal. This produces an error signal. The error signal is amplified by the amplifier 240 and an error current flows through a coil of a torque motor (not shown) of the electrohydraulic servo valve 250. This allows the electrohydraulic servo valve 250
Operates to supply a hydraulic pressure proportional to the error current by the pump 262 to the actuator (hydraulic piston cylinder) 200 from a hydraulic supply source 260 composed of a tank 261 and a pump 262. Thus, the hydraulic piston cylinder 200 is controlled and driven to move the load 300 connected to the piston shaft to a target position.

第8図に本発明の第2実施例を示す。第8図に示すよ
うに201a,201bにプレッシャポート、202a,202bに第1コ
ントロールポート、203a,203bに第2コントロールポー
ト、204a,204bにリターンポート、205a,205bに管路を配
置させることにより4方弁のロータリ式サーボ弁とな
る。作動原理は第1実施例である3方弁と同様である。
FIG. 8 shows a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 8, pressure ports 201a and 201b, first control ports 202a and 202b, second control ports 203a and 203b, return ports 204a and 204b, and conduits 205a and 205b are provided. This is a four-way rotary servo valve. The operation principle is the same as that of the three-way valve of the first embodiment.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明を採用することにより、所定の圧力差によって
案内弁が回転した後、案内弁が所定の回転角度位置に位
置決めされる際、圧力室の圧力がほぼ平衡となるようパ
イロット弁により圧力室への連通が制御される。そのた
め、案内弁をある角度位置に維持するための回転力は従
来よりも軽減され、駆動手段はパイロット弁へは圧力室
への連通を制御するのに必要なトルクだけを発生すれば
よく、全体が小型化できるとともに、応答性の向上が図
られる。
By adopting the present invention, after the guide valve is rotated by the predetermined pressure difference, when the guide valve is positioned at the predetermined rotation angle position, the pilot valve is moved to the pressure chamber so that the pressure in the pressure chamber is substantially balanced. Is controlled. Therefore, the rotational force for maintaining the guide valve at a certain angular position is reduced as compared with the conventional case, and the driving means only needs to generate the torque necessary for controlling the communication with the pressure chamber to the pilot valve. Can be reduced in size and the responsiveness can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の第1実施例を示す断面図、第2図は第
1図におけるA−A矢視図、第3図は第1図におけるB
−B矢視図、第4図は第1図におけるC−C矢視図の1
部、第5図および第6図は本発明の第1実施例の作用を
示す断面図、第7図は本発明を用いた油圧回路図、第8
図は本発明の第2実施例を示す断面図である。 10……トルクモータ部(回転駆動手段),31……パイロ
ット弁,41,42……圧力室,71……ハウジング,100……案
内弁。
FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is B in FIG.
FIG. 4 is a view taken in the direction of the arrows CC in FIG.
5 and 6 are sectional views showing the operation of the first embodiment of the present invention, FIG. 7 is a hydraulic circuit diagram using the present invention, and FIG.
FIG. 5 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention. 10 Torque motor section (rotation drive means), 31 Pilot valve, 41, 42 Pressure chamber, 71 Housing, 100 Guide valve.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平岩 信男 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自 動車株式会社内 (72)発明者 勝田 隆之 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自 動車株式会社内 (56)参考文献 実開 昭62−126673(JP,U) 特公 昭37−11321(JP,B1) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Nobuo Hiraiwa, 1st Toyota Town, Toyota City, Aichi Prefecture Inside Toyota Motor Corporation (72) Inventor Takayuki Katsuta 1st Toyota Town, Toyota City, Aichi Prefecture Inside Toyota Motor Corporation ( 56) References: Japanese Utility Model Showa Sho 62-126673 (JP, U) Japanese Patent Publication No. 37-11321 (JP, B1)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくともプレッシャポート、コントロー
ルポートおよびリターンポートが形成されたハウジング
と、 このハウジング内に設けられ、回転駆動によって前記各
ポート間の連通を制御する案内弁と、 前記ハウジングと前記案内弁とに囲まれ、かつ前記プレ
ッシャポートと連通されており、前記プレッシャポート
からの流体圧力によって前記案内弁を回転駆動させる少
なくとも一対の圧力室と、 前記リターンポートと前記一対の圧力室との連通を制御
するために、外部信号により駆動される駆動手段によっ
て所定角度回転し、前記一対の圧力室の圧力を制御する
パイロット弁とを備え、 前記案内弁は、前記パイロット弁により制御された前記
一対の圧力室の圧力差に応じて回転移動するとともに、
前記パイロット弁は、前記案内弁が所定の回転角度位置
で前記一対の圧力室の圧力がほぼ平衡することにより静
止するよう前記一対の圧力室の圧力を制御することを特
徴とする流体圧サーボ弁。
A housing provided with at least a pressure port, a control port, and a return port; a guide valve provided in the housing, for controlling communication between the ports by rotational driving; and the housing and the guide valve. And is communicated with the pressure port, and at least one pair of pressure chambers that rotationally drives the guide valve by fluid pressure from the pressure port; and that communication between the return port and the pair of pressure chambers is performed. A pilot valve for controlling the pressure of the pair of pressure chambers by rotating a predetermined angle by a driving means driven by an external signal, and controlling the pressure of the pair of pressure chambers. While rotating and moving according to the pressure difference of the pressure chamber,
The fluid pressure servo valve, wherein the pilot valve controls the pressure in the pair of pressure chambers so that the guide valve is stationary when the pressures in the pair of pressure chambers are substantially balanced at a predetermined rotation angle position. .
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