JP2003017249A - Display device and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置及びOL
ED表示装置の製造方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a display device and an OL.
The present invention relates to a method for manufacturing an ED display device.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のOLED表示装置(OLEDは、
オーガニック・ライティング・エミッション・ダイオー
ドの略語である)の断面構成を、図9に示す。2. Description of the Related Art A conventional OLED display device (OLED is
FIG. 9 shows a cross-sectional structure of an abbreviation for Organic Lighting Emission Diode).
【0003】このOLED表示装置のOLED表示パネ
ル31cは、ガラス基板1上に信号線および走査線が共
に形成されるスイッチング能動素子2(以下「TFT」
と称する)とその上に平坦化膜3とを有し、TFT2と
画素電極4とは、平坦化膜3に電気的導通手段が施され
ている。The OLED display panel 31c of this OLED display device includes a switching active element 2 (hereinafter referred to as "TFT") in which both a signal line and a scanning line are formed on a glass substrate 1.
") And a flattening film 3 thereon. The TFT 2 and the pixel electrode 4 are electrically connected to the flattening film 3.
【0004】画素は、画素電極4上に正孔注入層5およ
び発光層7R、7G、7Bがそれぞれ形成され、素子分
離膜6により各色が分離された構成になっている。ま
た、発光層7上には対向電極10が形成されている。In the pixel, the hole injection layer 5 and the light emitting layers 7R, 7G, and 7B are formed on the pixel electrode 4, and the respective colors are separated by the element separation film 6. Further, a counter electrode 10 is formed on the light emitting layer 7.
【0005】さらに、ガラス基板1と対向ガラス基板1
0のパネル周辺部に封止材が形成され、両ガラス基板間
にパ−ジガス9を充填させることによりOLED表示パ
ネルは形成される。Further, the glass substrate 1 and the counter glass substrate 1
An encapsulant is formed around the panel No. 0, and a purge gas 9 is filled between both glass substrates to form an OLED display panel.
【0006】このような従来のOLED表示パネル31
cの画素部における発光層7の形成は、一般的にインク
ジェット方式が用いられている。すなわち、まず各画素
を分離する素子分離膜5を各画素の間隙に形成し、この
素子分離膜6により区切られた画素部に発光剤が含有さ
れた液滴を所望の画素部分に射出し、各色の発光層7
R、7G、7Bを正孔注入層6上に積層する。[0006] Such a conventional OLED display panel 31
An inkjet method is generally used to form the light emitting layer 7 in the pixel portion c. That is, first, an element isolation film 5 that separates each pixel is formed in a gap between the pixels, and a droplet containing a luminescent agent is ejected to a desired pixel portion in a pixel portion partitioned by the element isolation film 6. Light emitting layer 7 for each color
R, 7G, and 7B are laminated on the hole injection layer 6.
【0007】本来、半導体、液晶パネルのパタ−ン形成
の方式として、フォトリソ法が用いられるが、OLED
表示パネルに用いられる発光層7の材料は、一般的にフ
ォトリソ法に用いる現像液に含まれる水により劣化する
ため、同方式を用いることができない。このため、OL
ED表示パネルの発光層7の形成には、上記のような、
現像工程の不要なインクジェット方式が用いるのが一般
的である。Originally, a photolithography method is used as a pattern forming method for semiconductors and liquid crystal panels.
Since the material of the light emitting layer 7 used for the display panel is generally deteriorated by water contained in the developer used for the photolithography method, the same method cannot be used. Therefore, OL
In order to form the light emitting layer 7 of the ED display panel, as described above,
Generally, an inkjet method that does not require a developing step is used.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなイ
ンクジェット方式を用いた場合、基板上の画素内に射出
された発光剤の液滴が画素内全体に均一に広がらず、特
に画素周辺部に膜の薄い部分ができるため、画素内に発
光層7のムラが生じる場合がある。However, when such an ink jet method is used, the droplets of the luminescent agent ejected into the pixels on the substrate do not spread evenly in the entire pixels, especially in the peripheral area of the pixels. Since the thin portion of the film is formed, unevenness of the light emitting layer 7 may occur in the pixel.
【0009】すなわち、画素内の発光層7にムラがある
ため、パネル化後、電圧を印加させた場合に、画素内に
発光ムラを生じ、表示品位が低下する。That is, since the light emitting layer 7 in the pixel has unevenness, when a voltage is applied after the panel is formed, uneven light emission occurs in the pixel and the display quality is degraded.
【0010】また、インクの液滴を画素上に滴下させた
際、インクの液滴が、隣接する画素に越境するため、予
め画素間に素子分離膜を形成することが必須となってい
る。このため、素子分離膜を形成する工数が増えるとと
もに素子分離膜の材料費が上乗せされ、コストアップに
繋がる。Further, when an ink droplet is dropped on a pixel, the ink droplet crosses over the adjacent pixel, so that it is essential to form an element isolation film between the pixels in advance. Therefore, the number of steps for forming the element isolation film is increased and the material cost of the element isolation film is added, which leads to an increase in cost.
【0011】また、素子分離膜を形成することにより、
開口率が下がり、輝度の低いパネルとなってしまう。Further, by forming an element isolation film,
The aperture ratio decreases, resulting in a panel with low brightness.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、本発明は、発光層の形成する方法として、基板
上にベ−スフィルムに予め発光層を形成した発光層形成
フィルムを貼り付け、同フィルムのベ−スフィルム側か
ら選択的にレ−ザ照射を行い、所望のパタ−ンの発光層
を形成し、この後、ベ−スフィルムを剥がすことを特徴
とするレ−ザ熱転写方式による発光層の形成である。In order to solve such a problem, the present invention provides a method for forming a light emitting layer, in which a light emitting layer forming film in which a light emitting layer is previously formed on a base film is attached on a substrate. The laser is characterized by selectively irradiating a laser from the base film side of the film to form a light emitting layer having a desired pattern, and then peeling the base film. That is, the light emitting layer is formed by a thermal transfer method.
【0013】この方式により、インクジェット方式で課
題となった発光層の形成ムラは同方式では殆ど皆無とな
る。すなわち、同方式で用いる発光層形成フィルムは、
グラビアコ−タ、ダイコ−タ等でベ−スフィルム上に発
光層を形成するため、均一な膜厚で発光層を形成でき、
レ−ザ照射により、発光層がベ−ズフィルムに残らず全
転写するため、形成された発光層は、膜厚が均一にでき
る。With this method, the unevenness of the formation of the light emitting layer, which has been a problem in the ink jet method, is almost eliminated in the same method. That is, the light emitting layer forming film used in the same system,
Since the light emitting layer is formed on the base film with a gravure coater, a die coater, etc., the light emitting layer can be formed with a uniform film thickness.
By the laser irradiation, the light emitting layer is wholly transferred without remaining on the base film, so that the formed light emitting layer can have a uniform film thickness.
【0014】また、同方法を用いた場合、レ−ザ照射に
より選択的に発光層を形成することができるため、イン
クジェット方式では不可欠な素子分離膜を除くことがで
き、コスト低減に繋がるだけでなく、高開口で輝度の高
いパネルを実現できる。Further, when the same method is used, since the light emitting layer can be selectively formed by laser irradiation, the element isolation film, which is indispensable in the ink jet system, can be removed, which leads to cost reduction. In addition, a panel with a high aperture and high brightness can be realized.
【0015】また一方、場合によっては、発光層形成の
後、遮光性を有した素子分離膜を画素間に形成すること
により、高品位のOLED表示パネルを実現できる。On the other hand, in some cases, a high-quality OLED display panel can be realized by forming an element isolation film having a light shielding property between pixels after forming the light emitting layer.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】請求項1記載の本発明は、画素電
極とその画素電極を駆動するスイッチング能動素子を備
え、画素電極とその対向電極の間隙に発光層を形成する
表示装置の製造方法で、そのプロセスとして、(1)予
めベ−スフィルム上に発光層が形成された発光層形成フ
ィルムを画素電極が形成された基板上に発光層側から貼
付ける工程と、(2)発光層形成フィルムのベ−スフィ
ルム側からレ−ザ照射し選択的に画素電極に発光層を密
着させる工程と、(3)ベ−スフィルムを基板から剥離
する工程と、(4)対向電極を成膜する工程を経ること
により形成することを特徴とする表示装置の製造方法で
ある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention according to claim 1 is a method of manufacturing a display device, which comprises a pixel electrode and a switching active element for driving the pixel electrode, and a light emitting layer is formed in a gap between the pixel electrode and a counter electrode thereof. Then, as the process, (1) a step of pasting the light emitting layer forming film in which the light emitting layer is formed on the base film in advance from the light emitting layer side on the substrate on which the pixel electrode is formed, and (2) the light emitting layer The step of irradiating a laser from the base film side of the formed film to selectively bring the light emitting layer into close contact with the pixel electrode, (3) the step of peeling the base film from the substrate, and (4) the counter electrode are formed. It is a method of manufacturing a display device, which is characterized by being formed by going through a film forming step.
【0017】この製造方法により、均一な膜厚の発光層
が画素内およびパネル全域に渡って形成でき、ムラのな
い表示品位の良いパネルが実現できる。By this manufacturing method, a light emitting layer having a uniform film thickness can be formed in the pixel and over the entire panel, and a panel with good display quality without unevenness can be realized.
【0018】請求項2記載の本発明は、請求項1記載の
表示装置の製造方法、すなわち、画素電極とその画素電
極を駆動するスイッチング能動素子を備え、画素電極と
その対向電極の間隙に発光層を形成する表示装置の製造
方法で、素子分離膜を形成しないことを特徴とする表示
装置の製造方法である。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a display device according to the first aspect, that is, a pixel electrode and a switching active element for driving the pixel electrode are provided, and light is emitted in a gap between the pixel electrode and a counter electrode thereof. A method of manufacturing a display device in which a layer is formed, wherein the element isolation film is not formed.
【0019】この製造方法により、素子分離膜の形成プ
ロセスを除くことができ低コスト化を図ることができ
る。By this manufacturing method, the process of forming the element isolation film can be eliminated and the cost can be reduced.
【0020】すなわち、同方法を用いた場合、レ−ザ照
射により選択的に発光層を形成することができるため、
インクジェット方式で形成する場合には不可欠であった
素子分離膜を除くことができる。That is, when the same method is used, since the light emitting layer can be selectively formed by laser irradiation,
The element isolation film, which is indispensable when the inkjet method is used, can be removed.
【0021】また、素子分離膜がないため、高開口の高
輝度のOLED表示パネルを実現できる。Further, since there is no element isolation film, it is possible to realize an OLED display panel with high aperture and high brightness.
【0022】請求項3記載の本発明は、請求項1記載の
表示装置の製造方法、すなわち、画素電極とその画素電
極を駆動するスイッチング能動素子を備え、画素電極と
その対向電極の間隙に発光層を形成する表示装置の製造
方法で、発光層を形成後に、所望のパタ−ン形状の素子
分離膜を形成することを特徴とする表示装置の製造方法
である。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a display device according to the first aspect, that is, a pixel electrode and a switching active element for driving the pixel electrode are provided, and light is emitted in a gap between the pixel electrode and a counter electrode thereof. A method of manufacturing a display device in which a layer is formed, and after forming a light emitting layer, an element isolation film having a desired pattern shape is formed.
【0023】この製造方法により、発光層を素子分離膜
により分割でき、各発光層に輪郭を鮮明にでき、表示特
性を向上できる。According to this manufacturing method, the light emitting layer can be divided by the element isolation film, the contour of each light emitting layer can be made clear, and the display characteristics can be improved.
【0024】素子分離膜を形成することにより、コスト
アップ、開口率は低下はするものの、表示特性の向上す
るOLED表示パネルを実現できる。By forming the element isolation film, it is possible to realize an OLED display panel having improved display characteristics, although the cost is increased and the aperture ratio is reduced.
【0025】請求項4記載の本発明は、請求項1記載の
表示装置の製造方法で形成された表示装置である。The present invention according to claim 4 is a display device formed by the method for manufacturing a display device according to claim 1.
【0026】従来のインクジェット方式で発光層を形成
する場合、画素内の発光層のムラが問題となっている
が、本発明により、画素内の発光層の膜厚分布が少な
く、発光ムラを皆無のためパネル表示品位が向上する表
示装置が形成できる。When the light emitting layer is formed by the conventional ink jet method, unevenness of the light emitting layer in the pixel poses a problem, but according to the present invention, the film thickness distribution of the light emitting layer in the pixel is small, and there is no uneven light emission. Therefore, a display device with improved panel display quality can be formed.
【0027】請求項5記載の本発明は、請求項2記載の
表示装置の製造方法で形成された表示装置である。The present invention according to claim 5 is a display device formed by the method for manufacturing a display device according to claim 2.
【0028】従来、発光層または正孔注入層の形成に一
般的用いられているインクジェット方式に代わって同方
式を用いることにより、素子分離膜の形成プロセスを除
くことができ低コスト化を図ることができる。By using this method instead of the ink jet method which is generally used for forming the light emitting layer or the hole injecting layer, it is possible to eliminate the process for forming the element isolation film and reduce the cost. You can
【0029】請求項6記載の本発明は、請求項3記載の
表示装置の製造方法で形成される表示装置である。The present invention according to claim 6 is a display device formed by the method for manufacturing a display device according to claim 3.
【0030】この構成により、発光層を素子分離膜によ
り分割でき、各発光層に輪郭を鮮明にでき、表示特性を
向上できる。With this structure, the light emitting layer can be divided by the element isolation film, the contour of each light emitting layer can be made clear, and the display characteristics can be improved.
【0031】素子分離膜を形成することにより、コスト
アップはするものの、表示特性を向上できる。By forming the element isolation film, the display characteristics can be improved although the cost is increased.
【0032】(実施の形態1)以下、本発明の実施の形
態にもとづく工程毎のOLED表示パネルの製造方法お
よび同パネルの断面構成を図1および図2を用いて説明
する。(Embodiment 1) Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display panel and a sectional structure of the panel according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
【0033】OLED表示パネルの形成に際して、ま
ず、図1(a)に示すように、ガラス基板1上に、スイ
ッチング能動素子2を、一般的な半導体薄膜成膜と、絶
縁膜成膜と、フォトリソ法によるエッチングとを繰り返
すことにより形成する。さらに、同図(b)に示すよう
に、能動素子2を形成するガラス基板1上に平坦化膜3
を塗布し、露光現像することにより所望の形状のコンタ
クトホ−ルを形成する平坦化膜をパタ−ニングする。こ
の平坦化膜3としては、アクリル系の感光性タイプの樹
脂が好適である。When forming an OLED display panel, first, as shown in FIG. 1A, a switching active element 2 is formed on a glass substrate 1 by general semiconductor thin film formation, insulation film formation, and photolithography. It is formed by repeating the etching by the method. Further, as shown in FIG. 3B, the flattening film 3 is formed on the glass substrate 1 forming the active element 2.
Is applied and exposed and developed to pattern a flattening film forming a contact hole having a desired shape. As the flattening film 3, an acrylic photosensitive resin is suitable.
【0034】次に、同図(c)に示すように真空中で全
面に電極を成膜し、画素電極4をパタニングすることに
より、コンタクトホ−ルを介して能動素子2と電気的に
導通された画素電極4を形成することができる。Next, as shown in FIG. 3C, an electrode is formed on the entire surface in a vacuum, and the pixel electrode 4 is patterned to electrically connect with the active element 2 via the contact hole. The formed pixel electrode 4 can be formed.
【0035】次に、同図(d)に示すように、場合に応
じて、各画素間を分離するために、素子分離膜5を、樹
脂膜を塗布、露光、現像することにより所望の形状の素
子分離膜5をパタ−ニングする。この素子分離膜5は、
後工程で形成する発光層7を画素毎に分離する。Next, as shown in FIG. 3D, depending on the case, the element isolation film 5 is coated with a resin film, exposed, and developed in order to separate the pixels from each other. The element isolation film 5 is patterned. This element isolation film 5 is
The light emitting layer 7 formed in a later step is separated for each pixel.
【0036】ここで、本発明の発光層形成方法であるレ
−ザ熱転写方式について説明する。図7の(b)に同方
式に用いる発光層形成フィルム13の構成断面図を示
す。同フィルム13は、ポリエチレンテレフタレ−ト
(PET)フィルム13B上にグラビアコ−タやダイコ
−タ等により、光熱変換層13Cを所望の膜厚に塗布し
た後、この上に発光層13Dを光熱変換層13Cと同様
に、上記コ−タを用いて所望の膜厚に塗布する。この
際、膜厚は、パネル完成時の発光層7の膜厚より必要に
応じて塗布する。最後に、カバ−フィルム13Fを貼り
付けることにより、発光層形成フィルム13は形成され
る。Here, the laser thermal transfer method which is the method for forming the light emitting layer of the present invention will be described. FIG. 7B shows a sectional view of the structure of the light emitting layer forming film 13 used in the same system. The film 13 is formed by applying a photothermal conversion layer 13C to a desired film thickness on a polyethylene terephthalate (PET) film 13B with a gravure coater or a die coater, and then applying a light emitting layer 13D thereon. Similar to the conversion layer 13C, the above coater is used to apply a desired film thickness. At this time, the film thickness is applied as needed from the film thickness of the light emitting layer 7 when the panel is completed. Finally, the light emitting layer forming film 13 is formed by attaching the cover film 13F.
【0037】次に、図7(a)に同方式の基板へのフィ
ルム貼り合わせ方法について、構成断面図を用いて説明
する。Next, a method of laminating a film on a substrate of the same system will be described with reference to FIG.
【0038】ます、発光層形成フィルム13が巻取られ
たロ−ルをフィルム巻出部21に固定する。同部より巻
出された発光層形成フィルム13のうちカバ−フィルム
13Fのみを剥離し、カバ−フィルム巻取り部22で巻
取る。次に、このフィルムをガラス基板11とを弾性ロ
−ル23で挟み込むことによりガラス基板11上に発光
層形成フィルム13Aを固定し、フィルム切断部24に
よりフィルムを切断することにより、発光層形成フィル
ム13Aが固着されたガラス基板が形成される。First, the roll around which the light emitting layer forming film 13 is wound is fixed to the film unwinding portion 21. Of the light emitting layer forming film 13 unwound from the same portion, only the cover film 13F is peeled off and wound up by the cover film winding portion 22. Next, this film is sandwiched between the glass substrate 11 and the elastic roll 23 to fix the light emitting layer forming film 13A on the glass substrate 11, and the film cutting portion 24 cuts the film to form the light emitting layer forming film. A glass substrate to which 13A is fixed is formed.
【0039】次に、レ−ザ熱転写方式により発光層が基
板上に転写されるプロセスを図8の構成断面図を用いて
説明する。Next, the process of transferring the light emitting layer onto the substrate by the laser thermal transfer method will be described with reference to the sectional view of the structure of FIG.
【0040】図8(a)に示すように、発光層形成フィ
ルム13Aが固定された基板11のフィルム上から選択
的にレ−ザ12を照射する。この時、レ−ザ照射により
カ−ボン層13Cが発熱され、この熱により発光層7が
カ−ボン層13Cから剥離し、基板11上に固着され
る。また、図8(b)に示すように、レ−ザ光12を選
択的に基板11上をスキャンさせることにより、基板全
域に渡り、所望のパタ−ンの発光層7を形成できる。ま
た、用いるレ−ザは、YAGレ−ザが好適であり、パタ
−ニングの幅は、レ−ザの照射幅を制御することにより
変更可能である。As shown in FIG. 8A, the laser 12 is selectively irradiated from the film on the substrate 11 to which the light emitting layer forming film 13A is fixed. At this time, the laser irradiation causes the carbon layer 13C to generate heat, and this heat causes the light emitting layer 7 to peel off from the carbon layer 13C and adhere onto the substrate 11. Further, as shown in FIG. 8B, by selectively scanning the laser light 12 on the substrate 11, the light emitting layer 7 having a desired pattern can be formed over the entire substrate. The laser used is preferably a YAG laser, and the patterning width can be changed by controlling the irradiation width of the laser.
【0041】この後、ベ−スフィルムを剥離することに
より、発光層7が形成された基板ができあがる。After that, the base film is peeled off to complete the substrate on which the light emitting layer 7 is formed.
【0042】ここで、図1(e)に示すように、で素子
分離膜5が形成された基板11a上に正孔輸送層6を形
成した上に、上記で説明したレ−ザ熱転写方式を用い
て、発光層7を選択的に形成する。これを3回繰り返す
ことにより、図1(f)に示すように、RGBそれぞれ
の発光層7R、7G、7Bが形成される。Here, as shown in FIG. 1E, the hole transport layer 6 is formed on the substrate 11a on which the device isolation film 5 is formed, and the laser thermal transfer method described above is applied. The light emitting layer 7 is selectively formed by using this. By repeating this three times, the light emitting layers 7R, 7G, and 7B for each of RGB are formed as shown in FIG.
【0043】尚、上記では、発光層7の形成をレ−ザ熱
転写方式を用いる場合を説明したが、場合によっては、
正孔輸送層6の形成もレ−ザ熱転写方式を用いてもかま
わない。In the above description, the case where the laser thermal transfer system is used to form the light emitting layer 7 has been described, but in some cases,
The hole transport layer 6 may be formed by using the laser thermal transfer method.
【0044】次に、図1(g)に示すように、スパッタ
によりITO膜8を形成する。Next, as shown in FIG. 1G, the ITO film 8 is formed by sputtering.
【0045】最後に、図1(h)に示すように、対向ガ
ラス基板10との間隙にパ−ジガス9を封入し、パネル
周辺部を固着することにより、図2にその構成断面を示
したようなOLED表示パネル31aが形成される。Finally, as shown in FIG. 1 (h), a purge gas 9 is sealed in the gap with the counter glass substrate 10 and the peripheral portion of the panel is fixed, so that a cross-section is shown in FIG. Such an OLED display panel 31a is formed.
【0046】(実施の形態2)以下、本発明の実施の形
態にもとづく以下、本発明の実施の形態にもとづく工程
毎のOLED表示パネルの製造方法および同パネルの断
面構成を図3および図4を用いて説明する。(Embodiment 2) Hereinafter, based on the embodiments of the present invention, the manufacturing method of the OLED display panel and the cross-sectional structure of the panel according to the embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. Will be explained.
【0047】OLED表示パネルの形成に際して、図3
(a)から(c)の画素電極4を形成するプロセスまで
は、実施の形態1と同様であるので省略する。When forming the OLED display panel, as shown in FIG.
Since the processes from (a) to (c) for forming the pixel electrode 4 are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted.
【0048】次に、図3(d)に示すように、正孔輸送
層6を形成した上に、図1(e)に示すように、レ−ザ
熱転写方式を用いて発光層7Rを形成し、これを3回繰
り返すことにより、各発光層7R、7G、7Bが形成さ
れる。Next, as shown in FIG. 3D, the hole transport layer 6 is formed, and then, as shown in FIG. 1E, the light emitting layer 7R is formed by using the laser thermal transfer method. Then, the light emitting layers 7R, 7G, and 7B are formed by repeating this three times.
【0049】尚、上記では、発光層7の形成をレ−ザ熱
転写方式を用いる場合を説明したが、場合によっては、
正孔輸送層6の形成もレ−ザ熱転写方式を用いてもかま
わない。In the above description, the case where the laser thermal transfer system is used to form the light emitting layer 7 has been described.
The hole transport layer 6 may be formed by using the laser thermal transfer method.
【0050】次に、図3(g)に示すように、スパッタ
によりITO膜8を形成する。Next, as shown in FIG. 3G, the ITO film 8 is formed by sputtering.
【0051】最後に、図3(h)に示すように、対向ガ
ラス基板10との間隙にパ−ジガス9を封入し、パネル
周辺部を固着することにより、図4にその構成断面を示
すようなOLED表示パネルが形成される。Finally, as shown in FIG. 3 (h), a purge gas 9 is filled in the gap with the counter glass substrate 10 and the peripheral portion of the panel is fixed, so that the cross section of the structure is shown in FIG. OLED display panel is formed.
【0052】この構成により、素子分離膜5が形成しな
い分、材料削減、工数低減、生産数アップによりコスト
ダウンが実現できる。また、素子分離膜が形成されてい
ないため、開口率を広げることができ、高輝度のOLE
D表示パネル31bが実現できる。With this structure, since the element isolation film 5 is not formed, the material can be reduced, the man-hours can be reduced, and the production can be increased, so that the cost can be reduced. In addition, since the element isolation film is not formed, the aperture ratio can be widened and the high brightness OLE can be obtained.
The D display panel 31b can be realized.
【0053】(実施の形態3)以下、本発明の実施の形
態にもとづく以下、本発明の実施の形態にもとづく工程
毎のOLED表示パネルの製造方法および同パネルの断
面構成を図5および図6を用いて説明する。(Embodiment 3) Hereinafter, based on the embodiment of the present invention, the manufacturing method of the OLED display panel and the cross-sectional structure of the panel will be described with reference to FIGS. Will be explained.
【0054】OLED表示パネルの形成に際して、図5
(a)から(c)の画素電極4を形成するプロセスまで
は、実施の形態1と同様であるので省略する。When forming the OLED display panel, as shown in FIG.
Since the processes from (a) to (c) for forming the pixel electrode 4 are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted.
【0055】次に、図5(d)に示すように、正孔輸送
層6を形成した上に、図5(e)に示すように、レ−ザ
熱転写方式を用いて発光層7Rを形成し、これを3回繰
り返すことにより、各発光層7R、7G、7Bが形成さ
れる。Next, as shown in FIG. 5 (d), the hole transport layer 6 is formed, and then, as shown in FIG. 5 (e), the light emitting layer 7R is formed by using the laser thermal transfer method. Then, the light emitting layers 7R, 7G, and 7B are formed by repeating this three times.
【0056】尚、上記では、発光層7の形成をレ−ザ熱
転写方式を用いる場合を説明したが、場合によっては、
正孔輸送層6の形成もレ−ザ熱転写方式を用いてもかま
わない。この後、図5(f)に示すように、レ−ザ熱転
写方式を用いて、遮光性を有する素子分離膜5を所望の
パタ−ン形状に形成する。素子分離膜5として、有機顔
料主材とする遮光性の色材が好適である。In the above, the case where the laser thermal transfer system is used for forming the light emitting layer 7 has been described, but in some cases,
The hole transport layer 6 may be formed by using the laser thermal transfer method. Thereafter, as shown in FIG. 5F, the element isolation film 5 having a light shielding property is formed in a desired pattern shape by using the laser thermal transfer method. As the element separation film 5, a light-shielding color material containing an organic pigment as a main material is suitable.
【0057】次に、図5(g)に示すように、スパッタ
によりITO膜8を形成する。Next, as shown in FIG. 5G, the ITO film 8 is formed by sputtering.
【0058】最後に、図5(h)に示すように、対向ガ
ラス基板10との間隙にパ−ジガス9を封入し、パネル
周辺部を固着することにより、図6にその構成断面を示
すようなOLED表示パネルが形成される。Finally, as shown in FIG. 5 (h), a purge gas 9 is filled in the gap with the counter glass substrate 10 and the peripheral portion of the panel is fixed, so that a cross section of the structure is shown in FIG. OLED display panel is formed.
【0059】この構成により、発光層を素子分離膜によ
り分割でき、各発光層に輪郭を鮮明にでき、表示特性を
向上できる。With this structure, the light emitting layer can be divided by the element isolation film, the contour of each light emitting layer can be made clear, and the display characteristics can be improved.
【0060】素子分離膜を形成することにより、コスト
アップ、開口率が低下するものの、表示特性の向上させ
たOLED表示パネル31cを実現できる。By forming the element isolation film, it is possible to realize the OLED display panel 31c having improved display characteristics, although the cost is increased and the aperture ratio is reduced.
【0061】なお、画素の配列は、マトリクス型の配列
又はデルタ型の配列である。図2(b)の斜視図に、画
素の配列を示す。The pixel array is a matrix type array or a delta type array. The pixel array is shown in the perspective view of FIG.
【0062】[0062]
【発明の効果】以上のように、本発明によると、OLE
D表示パネルの発光層の形成をレ−ザ熱転写方式を用い
ることにより、インクジェット方式で課題となった発光
層の形成ムラは同方式では殆ど皆無となる。As described above, according to the present invention, OLE
By using the laser thermal transfer method for forming the light emitting layer of the D display panel, the unevenness in the formation of the light emitting layer, which has been a problem in the ink jet method, is almost eliminated in the same method.
【0063】また、同方法を用いる場合、レ−ザ照射に
より選択的に発光層を形成することができるため、イン
クジェット方式では不可欠な素子分離膜を除くことがで
き、コスト低減に繋がるだけだなく、高開口で輝度の高
いパネルを実現できる。When the same method is used, since the light emitting layer can be selectively formed by laser irradiation, the element isolation film which is indispensable in the ink jet system can be removed, which not only leads to cost reduction. A panel with high aperture and high brightness can be realized.
【0064】また、発光層形成の後、遮光性を有する素
子分離膜を画素間に形成することにより、高品位のOL
ED表示パネルを実現できる。Further, after forming the light emitting layer, an element isolation film having a light shielding property is formed between the pixels, so that a high quality OL can be obtained.
An ED display panel can be realized.
【図1】(a)から(h)は、レ−ザ熱転写方式を用い
る本発明の実施の形態を示すOLED表示パネルの製造
方法の工程毎の断面図1A to 1H are cross-sectional views of respective steps of a method of manufacturing an OLED display panel showing an embodiment of the present invention using a laser thermal transfer system.
【図2】レ−ザ熱転写方式を用いる本発明の実施の形態
を示すOLED表示パネルの断面図FIG. 2 is a sectional view of an OLED display panel showing an embodiment of the present invention using a laser thermal transfer system.
【図3】(a)から(g)は、レ−ザ熱転写方式を用い
る本発明の第2の実施の形態を示すOLED表示パネル
の製造方法の工程毎の断面図3A to 3G are cross-sectional views of respective steps of a method of manufacturing an OLED display panel showing a second embodiment of the present invention using a laser thermal transfer system.
【図4】レ−ザ熱転写方式を用いる本発明の第2の実施
の形態を示すOLED表示パネルの断面図FIG. 4 is a sectional view of an OLED display panel showing a second embodiment of the present invention using a laser thermal transfer system.
【図5】(a)から(h)は、レ−ザ熱転写方式を用い
る本発明の第3の実施の形態を示すOLED表示パネル
の製造方法の工程毎の断面図5 (a) to 5 (h) are cross-sectional views of respective steps of a method of manufacturing an OLED display panel showing a third embodiment of the present invention using a laser thermal transfer system.
【図6】レ−ザ熱転写方式を用いる本発明の第3の実施
の形態を示すOLED表示パネルの断面図FIG. 6 is a sectional view of an OLED display panel showing a third embodiment of the present invention using a laser thermal transfer system.
【図7】(a)は、レ−ザ熱転写方式のフィルム固定方
法を示す図
(b)は、同方式で用いるフィルムの構成を示す断面図7A is a view showing a film fixing method of a laser thermal transfer system, and FIG. 7B is a sectional view showing a structure of a film used in the same system.
【図8】(a)は、レ−ザ熱転写方式のレ−ザ照射工程
を示す断面図
(b)は、その斜視図8A is a sectional view showing a laser irradiation step of a laser thermal transfer system, and FIG. 8B is a perspective view thereof.
【図9】従来の一実施例を示すOLED表示パネルの断
面図FIG. 9 is a sectional view of an OLED display panel showing a conventional example.
1 ガラス基板 2 TFT 3 平坦化膜 4 画素電極 5 素子分離膜 6 正孔輸送層 7 発光層 8 対向電極 9 パ−ジガス 10 対向ガラス基板 11 アレイ基板 12 レ−ザ光 13 発光層形成フィルム 21 フィルム巻出部 22 カバ−フィルム巻取部 23 弾性ロ−ル 24 フィルム切断部 31 OLED表示パネル 1 glass substrate 2 TFT 3 Flattening film 4 pixel electrodes 5 element isolation film 6 Hole transport layer 7 Light-emitting layer 8 Counter electrode 9 page gas 10 Opposite glass substrate 11 Array substrate 12 laser light 13 Light emitting layer forming film 21 Film unwinding section 22 Cover film winding section 23 Elastic Roll 24 Film cutting section 31 OLED display panel
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05B 33/14 H05B 33/14 B 33/22 33/22 Z Fターム(参考) 3K007 AB04 AB17 AB18 BA06 BB01 BB04 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 5C094 AA03 AA08 AA10 AA43 AA46 AA48 BA03 BA12 BA27 CA19 CA20 CA24 DA13 DB01 DB04 EA04 EA05 EA07 EB02 FA01 FA02 FB01 FB20 GB10 5G435 AA03 AA04 AA17 BB05 CC09 CC12 KK05 KK10 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H05B 33/14 H05B 33/14 B 33/22 33/22 ZF term (reference) 3K007 AB04 AB17 AB18 BA06 BB01 BB04 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 5C094 AA03 AA08 AA10 AA43 AA46 AA48 BA03 BA12 BA27 CA19 CA20 CA24 DA13 DB01 DB04 EA04 EA05 EA07 EB02 FA01 FA02 FB01 FB20 GB10 5G435 AA03 AA04 AA17 BB05 CC09KK
Claims (9)
スイッチング能動素子を備え、前記画素電極と対向電極
の間隙に発光層を形成する表示装置の製造方法であっ
て、(1)予めベ−スフィルム上に発光層が形成される
発光層形成フィルムを前記画素電極が形成される基板上
に発光層側から貼付ける工程と、(2)前記発光層形成
フィルムのベ−スフィルム側からレ−ザ照射し選択的に
前記画素電極に発光層を密着させる工程と、(3)ベ−
スフィルムを基板から剥離する工程と、(4)対向電極
を成膜する工程を経ることにより形成することを特徴と
する表示装置の製造方法。1. A method of manufacturing a display device comprising a pixel electrode and a switching active element for driving the pixel electrode, wherein a light emitting layer is formed in a gap between the pixel electrode and a counter electrode. A step of attaching a light emitting layer forming film having a light emitting layer formed on the film from the light emitting layer side to a substrate having the pixel electrode formed thereon, and (2) a base film side of the light emitting layer forming film The step of irradiating and selectively adhering the light emitting layer to the pixel electrode;
A method for manufacturing a display device, comprising: forming a film on a substrate, and removing the film from the substrate, and (4) forming a counter electrode.
って、素子分離膜を形成しないことを特徴とする表示装
置の製造方法。2. The method of manufacturing a display device according to claim 1, wherein the element isolation film is not formed.
って、発光層形成後に所望のパタ−ン形状の素子分離膜
を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。3. The method for manufacturing a display device according to claim 1, wherein the device isolation film having a desired pattern shape is formed after forming the light emitting layer.
いて形成される表示装置。4. A display device formed by using the method for manufacturing a display device according to claim 1.
いて形成される表示装置であって、素子分離膜が形成さ
れていないことを特徴とする表示装置。5. A display device formed by using the method for manufacturing a display device according to claim 2, wherein an element isolation film is not formed.
いて形成されることを特徴とする表示装置。6. A display device formed by using the method for manufacturing a display device according to claim 3.
の表示装置が、OLED表示装置であることを特徴とす
るOLED表示装置の製造方法。7. A method of manufacturing an OLED display device, wherein the display device according to any one of claims 1 to 5 is an OLED display device.
造方法を用いて形成されることを特徴とするOLED表
示装置。8. An OLED display device formed by using the method for manufacturing an OLED display device according to claim 7.
素の配列が、マトリクス型の配列又は、デルタ型の配列
であることを特徴とするOLED表示装置。9. The OLED display device according to claim 8, wherein the pixel array of the OLED display device is a matrix type array or a delta type array.
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004075607A1 (en) * | 2003-02-20 | 2004-09-02 | Fujitsu Limited | Organic el element and production method therefor |
JP2005011572A (en) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Seiko Epson Corp | Organic electroluminescent device, its manufacturing method, and electronic apparatus |
JP2011192408A (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | Method for manufacturing organic electroluminescence display device |
JPWO2012160926A1 (en) * | 2011-05-20 | 2014-07-31 | パナソニック株式会社 | Organic electroluminescence device |
JPWO2012160925A1 (en) * | 2011-05-20 | 2014-07-31 | パナソニック株式会社 | Organic electroluminescence device |
WO2022238803A1 (en) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Display device, display module, electronic device, and method for producing display device |
-
2001
- 2001-06-27 JP JP2001194086A patent/JP2003017249A/en not_active Withdrawn
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004075607A1 (en) * | 2003-02-20 | 2004-09-02 | Fujitsu Limited | Organic el element and production method therefor |
US7129637B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-10-31 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Organic EL device including UV shielding layer and its manufacturing method |
US8011987B2 (en) | 2003-02-20 | 2011-09-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Organic EL device and its manufacture method |
JP2005011572A (en) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Seiko Epson Corp | Organic electroluminescent device, its manufacturing method, and electronic apparatus |
JP2011192408A (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | Method for manufacturing organic electroluminescence display device |
JPWO2012160926A1 (en) * | 2011-05-20 | 2014-07-31 | パナソニック株式会社 | Organic electroluminescence device |
JPWO2012160925A1 (en) * | 2011-05-20 | 2014-07-31 | パナソニック株式会社 | Organic electroluminescence device |
US8975623B2 (en) | 2011-05-20 | 2015-03-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Organic electroluminescence element |
US9024306B2 (en) | 2011-05-20 | 2015-05-05 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Organic electroluminescence element |
JP5991626B2 (en) * | 2011-05-20 | 2016-09-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Organic electroluminescence device |
JP5991627B2 (en) * | 2011-05-20 | 2016-09-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Organic electroluminescence device |
WO2022238803A1 (en) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Display device, display module, electronic device, and method for producing display device |
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