JP2003003987A - 分子ポンプ - Google Patents
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
- F04D29/324—Blades
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
- F04D29/544—Blade shapes
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
- F04D29/642—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps by adjusting the clearances between rotary and stationary parts
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2250/00—Geometry
- F05D2250/70—Shape
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 動翼列と静翼列とを交互に配して多段に形成
してなるターボ分子ポンプ部を有する分子ポンプにおい
て、運転の途中で排気量が増大しても真空度の低下を防
止できると共に、相前後する翼列の軸方向間隔を実現可
能な寸法として、実施が容易な分子ポンプを提供する。 【解決手段】 任意の段の翼列の相隣り合う２翼４ａ
１、４ａ１間の出口流路幅をｃとし、該翼４ａ１の後端
部４ａ１ｔから次段の翼列の翼５ｂ１の背面に引いた垂
線の長さをａとし、該翼５ｂ１の前端部５ｂ１ｔから前
記翼４ａ１の腹面に引いた垂線の長さをｂとしたとき、
ａとｂの和がｃの０．９倍よりも大で且つｃの１．４倍
より小となる範囲に各段の翼列を順次形成した。
してなるターボ分子ポンプ部を有する分子ポンプにおい
て、運転の途中で排気量が増大しても真空度の低下を防
止できると共に、相前後する翼列の軸方向間隔を実現可
能な寸法として、実施が容易な分子ポンプを提供する。 【解決手段】 任意の段の翼列の相隣り合う２翼４ａ
１、４ａ１間の出口流路幅をｃとし、該翼４ａ１の後端
部４ａ１ｔから次段の翼列の翼５ｂ１の背面に引いた垂
線の長さをａとし、該翼５ｂ１の前端部５ｂ１ｔから前
記翼４ａ１の腹面に引いた垂線の長さをｂとしたとき、
ａとｂの和がｃの０．９倍よりも大で且つｃの１．４倍
より小となる範囲に各段の翼列を順次形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
において真空装置として使用されるターボ分子ポンプや
複合分子ポンプ等の分子ポンプに関する。
において真空装置として使用されるターボ分子ポンプや
複合分子ポンプ等の分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】分子ポンプは主に分子流域で作動する高
真空ポンプで、その中のターボ分子ポンプは高速回転す
るロータの外周部に外方へ向かって放射状に多数の動翼
を突出させた動翼段と、円筒状のケーシング内に内方へ
向かって放射状に多数の静翼を突出させた静翼段とを交
互に配して多段に形成されている。
真空ポンプで、その中のターボ分子ポンプは高速回転す
るロータの外周部に外方へ向かって放射状に多数の動翼
を突出させた動翼段と、円筒状のケーシング内に内方へ
向かって放射状に多数の静翼を突出させた静翼段とを交
互に配して多段に形成されている。
【０００３】近年、半導体基板の大型化に伴い、半導体
製造装置の分子ポンプも、大流量・高背圧の排気が可能
なものが要求されるようになった。この要求に応えるも
のとして、定常運転時に従来よりも排気気体の流量が増
加しても、その増加を確保したまま真空度の低下を防止
できるターボ分子ポンプが知られている（特開平１１−
１０７９７９号公報）。
製造装置の分子ポンプも、大流量・高背圧の排気が可能
なものが要求されるようになった。この要求に応えるも
のとして、定常運転時に従来よりも排気気体の流量が増
加しても、その増加を確保したまま真空度の低下を防止
できるターボ分子ポンプが知られている（特開平１１−
１０７９７９号公報）。
【０００４】即ち該ターボ分子ポンプによれば、複数段
のロータ翼と、この複数段のロータ翼の間に配置された
複数段のステータ翼とを備え、前記ロータ翼と前記ステ
ータ翼の軸方向の間隔を、定常運転時の圧力が１０ｍTo
rr以上で気体が分子流として扱える値に設定することを
特徴としている。
のロータ翼と、この複数段のロータ翼の間に配置された
複数段のステータ翼とを備え、前記ロータ翼と前記ステ
ータ翼の軸方向の間隔を、定常運転時の圧力が１０ｍTo
rr以上で気体が分子流として扱える値に設定することを
特徴としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の条件を
満たす軸方向の間隔は非常に狭く、例えば前記吸気口の
圧力が０．１Torrの窒素ガスの場合を考えると、前記間
隔は僅か０．０５乃至０．１ミリ・メートルとする必要
がある。
満たす軸方向の間隔は非常に狭く、例えば前記吸気口の
圧力が０．１Torrの窒素ガスの場合を考えると、前記間
隔は僅か０．０５乃至０．１ミリ・メートルとする必要
がある。
【０００６】このように狭い軸方向の間隔は、ロータの
熱膨張や運転中の翼の変形などによる翼相互の接触の危
険を考慮すると、現実的ではない。
熱膨張や運転中の翼の変形などによる翼相互の接触の危
険を考慮すると、現実的ではない。
【０００７】本発明はこれらの問題点を解消し、途中で
排気量が増大しても真空度の低下を防止できて、しかも
実施が可能な分子ポンプを提供することを目的とする。
排気量が増大しても真空度の低下を防止できて、しかも
実施が可能な分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成すべく、動翼段と静翼段とを交互に配して多段に形成
したターボ分子ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、
該ターボ分子ポンプ部の任意の段の翼列の相隣り合う２
翼間の出口流路幅をｃとし、該翼列の翼の後端部から該
翼列の次段の翼列の翼の背面に引いた垂線の長さをａと
し、該次段の翼列の翼の前端部から前記任意の段の翼列
の翼の腹面に引いた垂線の長さをｂとしたとき、ａとｂ
の和がｃの０．９倍よりも大で且つｃの１．４倍より小
となる範囲に各段の翼列を順次形成したことを特徴とす
る。
成すべく、動翼段と静翼段とを交互に配して多段に形成
したターボ分子ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、
該ターボ分子ポンプ部の任意の段の翼列の相隣り合う２
翼間の出口流路幅をｃとし、該翼列の翼の後端部から該
翼列の次段の翼列の翼の背面に引いた垂線の長さをａと
し、該次段の翼列の翼の前端部から前記任意の段の翼列
の翼の腹面に引いた垂線の長さをｂとしたとき、ａとｂ
の和がｃの０．９倍よりも大で且つｃの１．４倍より小
となる範囲に各段の翼列を順次形成したことを特徴とす
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の１実施の形態について説
明する。
明する。
【００１０】図１は本発明を適用するターボ分子ポンプ
の一例の縦断面図を示し、１がケーシング、２が回転
軸、３がロータで、該ロータ３は回転軸２に締着されて
いて、ケーシング１内で高速回転をする。
の一例の縦断面図を示し、１がケーシング、２が回転
軸、３がロータで、該ロータ３は回転軸２に締着されて
いて、ケーシング１内で高速回転をする。
【００１１】ロータ３の外周部には多段の動翼段４ａ、
４ｂ、４ｃ、…が形成されており、これら動翼段４ａ、
４ｂ、４ｃ、…は、それぞれ複数の動翼４ａ１、又は４
ｂ１、又は４ｃ１、…が放射状に外方へ突出して円盤状
に形成されている。
４ｂ、４ｃ、…が形成されており、これら動翼段４ａ、
４ｂ、４ｃ、…は、それぞれ複数の動翼４ａ１、又は４
ｂ１、又は４ｃ１、…が放射状に外方へ突出して円盤状
に形成されている。
【００１２】又、これら各動翼段の間には各々静翼段が
あり、これら静翼段５ａ、５ｂ、５ｃ、…は、それぞれ
複数の静翼５ａ１、又は５ｂ１、又は５ｃ１、…が放射
状にケーシング１の内方へ向かって突出して円盤状に形
成されている。
あり、これら静翼段５ａ、５ｂ、５ｃ、…は、それぞれ
複数の静翼５ａ１、又は５ｂ１、又は５ｃ１、…が放射
状にケーシング１の内方へ向かって突出して円盤状に形
成されている。
【００１３】即ち、これら動翼段と静翼段は交互に配置
されていて、本実施の形態では第１段目は動翼段であ
り、最終段は静翼段となっている。
されていて、本実施の形態では第１段目は動翼段であ
り、最終段は静翼段となっている。
【００１４】尚、ガスは矢印Ｘの方より吸気されて、矢
印Ｙの方に排気される。
印Ｙの方に排気される。
【００１５】図２は、動翼段４ａと、静翼段５ａを、あ
る同一半径において切断して展開し、静翼４ａ１と静翼
５ａ１の関係位置を示した翼列展開図である。
る同一半径において切断して展開し、静翼４ａ１と静翼
５ａ１の関係位置を示した翼列展開図である。
【００１６】動翼４ａ１及び静翼５ａ１は共に板状の直
線翼からなり、互いに異なる傾斜角で逆向きに形成され
ている。
線翼からなり、互いに異なる傾斜角で逆向きに形成され
ている。
【００１７】ここで相隣り合う２枚の動翼４ａ１、４ａ
１の間の出口流路幅をｃとし、動翼４ａ１の後端部４ａ
１ｔから次段の静翼列の静翼５ａ１の背面に引いた垂線
の長さをａとし、該静翼５ａ１の前端部５ａ１ｔから前
段の動翼列の動翼４ａ１の腹面に引いた垂線の長さをｂ
としたとき、ａとｂの和がｃの０．９倍よりも大で且つ
ｃの１．４倍より小となる範囲に形成されている。
１の間の出口流路幅をｃとし、動翼４ａ１の後端部４ａ
１ｔから次段の静翼列の静翼５ａ１の背面に引いた垂線
の長さをａとし、該静翼５ａ１の前端部５ａ１ｔから前
段の動翼列の動翼４ａ１の腹面に引いた垂線の長さをｂ
としたとき、ａとｂの和がｃの０．９倍よりも大で且つ
ｃの１．４倍より小となる範囲に形成されている。
【００１８】又、これらａ、ｂ、ｃ間の関係は後段の翼
列にも順次適用していき、例えば前記第２段目の静翼段
５と、第３段目の動翼段４ｂとの場合には、静翼段５ａ
の相隣り合う２枚の静翼５ａ１、５ａ１の出口流路幅を
ｃとし、静翼５ａ１の後端部から動翼段４ｂの動翼４ｂ
１の背面への垂線の長さをａとし、該動翼４ｂ１の前端
部から前段の静翼５ａ１の腹面への垂線の長さをｂとし
て、これらａ、ｂ、ｃが前記関係を満足するようにして
いる。
列にも順次適用していき、例えば前記第２段目の静翼段
５と、第３段目の動翼段４ｂとの場合には、静翼段５ａ
の相隣り合う２枚の静翼５ａ１、５ａ１の出口流路幅を
ｃとし、静翼５ａ１の後端部から動翼段４ｂの動翼４ｂ
１の背面への垂線の長さをａとし、該動翼４ｂ１の前端
部から前段の静翼５ａ１の腹面への垂線の長さをｂとし
て、これらａ、ｂ、ｃが前記関係を満足するようにして
いる。
【００１９】尚、図２において、ｈは翼の弦長を、ｐは
前記半径における翼のピッチを、又、ｇは相前後する２
つの翼列間の軸方向間隔をそれぞれ示す。
前記半径における翼のピッチを、又、ｇは相前後する２
つの翼列間の軸方向間隔をそれぞれ示す。
【００２０】次に本発明の理論的説明、及びその作用・
効果についての説明を行なう。
効果についての説明を行なう。
【００２１】粘性流領域でのターボ分子ポンプの翼の作
用は、動翼と静翼の相対速度によるせん断力が傾斜した
翼面に作用して起きる排気作用と、動翼段又は静翼段の
翼列の上下面間の圧力差（排気側つまり下面が高く、吸
気側つまり上面が低い圧力となる）による逆流作用との
作用量の差によって特徴づけられる。
用は、動翼と静翼の相対速度によるせん断力が傾斜した
翼面に作用して起きる排気作用と、動翼段又は静翼段の
翼列の上下面間の圧力差（排気側つまり下面が高く、吸
気側つまり上面が低い圧力となる）による逆流作用との
作用量の差によって特徴づけられる。
【００２２】図３は前記相対速度による排気作用におけ
る２翼間のガスの運動方向をコンピュータ解析により求
めたものであり、又、図４は前記逆流作用による２翼間
のガスの運動方向をコンピュータ解析により求めたもの
である。
る２翼間のガスの運動方向をコンピュータ解析により求
めたものであり、又、図４は前記逆流作用による２翼間
のガスの運動方向をコンピュータ解析により求めたもの
である。
【００２３】翼の間を通過するガスの流量は前記排気作
用と前記逆流作用との差により決まり、排気作用が大き
いほど、また逆流量が少ないほど良い性能が得られる。
用と前記逆流作用との差により決まり、排気作用が大き
いほど、また逆流量が少ないほど良い性能が得られる。
【００２４】図３に示す如く、排気作用による流れは一
様であるため翼列同士の干渉による影響はほとんどな
く、翼列間の軸方向間隔ｇによって流れが変化すること
はない。
様であるため翼列同士の干渉による影響はほとんどな
く、翼列間の軸方向間隔ｇによって流れが変化すること
はない。
【００２５】一方、前記図４は隣接する前後の翼列から
の干渉がない場合の逆流を示しているが、圧力差による
逆流は一様な流れではなく、翼列同士の干渉を考慮する
と、流れは図２におけるａとｂの狭まり部を通過せざる
を得ないから、逆流量は狭まり部の抵抗と翼列のピッチ
ｐ、弦長ｈ及び出口流路幅ｃで決まる抵抗との合成抵抗
によって制限される。
の干渉がない場合の逆流を示しているが、圧力差による
逆流は一様な流れではなく、翼列同士の干渉を考慮する
と、流れは図２におけるａとｂの狭まり部を通過せざる
を得ないから、逆流量は狭まり部の抵抗と翼列のピッチ
ｐ、弦長ｈ及び出口流路幅ｃで決まる抵抗との合成抵抗
によって制限される。
【００２６】図５は翼列同士の干渉効果について理論的
解析した結果を示すグラフで、（ａ＋ｂ）／ｃを横軸に
取り、（ΔＰmax−ΔＰmax[g=inf]）／（ΔＰmax[g=0]
−ΔＰmax[g=inf]）を縦軸に取っている。
解析した結果を示すグラフで、（ａ＋ｂ）／ｃを横軸に
取り、（ΔＰmax−ΔＰmax[g=inf]）／（ΔＰmax[g=0]
−ΔＰmax[g=inf]）を縦軸に取っている。
【００２７】ここでΔＰmaxは翼の排気作用によって生
じる最大の差圧で流量が０の時に相当し、ΔＰmax[g=0]
は相前後する２つの翼列間の軸方向の間隔ｇがゼロの時
のΔＰmaxであり、又、ΔＰmax[g=inf]はｇが無限大即
ち単段翼のときのΔＰmaxを示す。
じる最大の差圧で流量が０の時に相当し、ΔＰmax[g=0]
は相前後する２つの翼列間の軸方向の間隔ｇがゼロの時
のΔＰmaxであり、又、ΔＰmax[g=inf]はｇが無限大即
ち単段翼のときのΔＰmaxを示す。
【００２８】結局、縦軸は横軸（ａ＋ｂ）／ｃがある値
の時の翼列同士の干渉効果をその最大値で比較したもの
となり、その結果は図５に示す右肩下りの曲線のグラフ
となった。
の時の翼列同士の干渉効果をその最大値で比較したもの
となり、その結果は図５に示す右肩下りの曲線のグラフ
となった。
【００２９】このグラフにおいて；
（i）（ａ＋ｂ）／ｃの値が０．９よりも小さいと、相
前後する２つの翼列間の軸方向の間隔ｇが小さくなり過
ぎて相互に接触の危険を生じる。（危険を伴なう領域） （ii）（ａ＋ｂ）／ｃの値が１．４よりも大きいと、翼
列同士の干渉効果が小さくなって、前記逆流作用を阻止
する能力が低下する。これはターボ分子ポンプ部の性能
低下につながる。（効果が小さい領域） （iii）（ａ＋ｂ）／ｃの値が０．９から１．４の間に
あるときには、翼列同士の干渉効果が充分得られ、しか
も翼列間の接触事故を起す危険を生じない。（最適な領
域）
前後する２つの翼列間の軸方向の間隔ｇが小さくなり過
ぎて相互に接触の危険を生じる。（危険を伴なう領域） （ii）（ａ＋ｂ）／ｃの値が１．４よりも大きいと、翼
列同士の干渉効果が小さくなって、前記逆流作用を阻止
する能力が低下する。これはターボ分子ポンプ部の性能
低下につながる。（効果が小さい領域） （iii）（ａ＋ｂ）／ｃの値が０．９から１．４の間に
あるときには、翼列同士の干渉効果が充分得られ、しか
も翼列間の接触事故を起す危険を生じない。（最適な領
域）
【００３０】このような理論的解析の結果から、前記ａ
とｂの和をｃの０．９倍乃至１．４倍の間の値とすれ
ば、逆流量が低減され、ターボ分子ポンプ部の背圧特性
の改善が得られると共に翼列同士が接触事故を起さない
ことが判った。
とｂの和をｃの０．９倍乃至１．４倍の間の値とすれ
ば、逆流量が低減され、ターボ分子ポンプ部の背圧特性
の改善が得られると共に翼列同士が接触事故を起さない
ことが判った。
【００３１】本発明のターボ分子ポンプの設計寸法によ
れば、前記翼列間の軸方向間隔ｇを実施が可能な値、例
えば２ミリ・メートル以上としても前記ａ、ｂ、ｃ間の
関係条件を満たすことにより、運転中の状態変動に強い
ターボ分子ポンプとすることができる。
れば、前記翼列間の軸方向間隔ｇを実施が可能な値、例
えば２ミリ・メートル以上としても前記ａ、ｂ、ｃ間の
関係条件を満たすことにより、運転中の状態変動に強い
ターボ分子ポンプとすることができる。
【００３２】即ち、排気ガスに対する背圧が急に上昇し
ても低い吸気圧を維持することができるので、ターボ分
子ポンプの後段に設置する補助真空ポンプの能力を小さ
なものとすることができ、この補助真空ポンプ系の簡素
化によって真空ポンプ系全体のコストの低減が可能とな
る。
ても低い吸気圧を維持することができるので、ターボ分
子ポンプの後段に設置する補助真空ポンプの能力を小さ
なものとすることができ、この補助真空ポンプ系の簡素
化によって真空ポンプ系全体のコストの低減が可能とな
る。
【００３３】尚、本実施の形態では第１段目を動翼段と
し、最終段を静翼段としたが、これは第１段目を静翼段
としてもよく、又、最終段を動翼段としてもよい。
し、最終段を静翼段としたが、これは第１段目を静翼段
としてもよく、又、最終段を動翼段としてもよい。
【００３４】更に、本実施の形態は、ターボ分子ポンプ
の場合であるが、ターボ分子ポンプ部を有する複合分子
ポンプの場合も同様である。
の場合であるが、ターボ分子ポンプ部を有する複合分子
ポンプの場合も同様である。
【００３５】
【発明の効果】このように本発明によれば、運転の途中
で排気量が増大しても真空度の低下を防止できて、しか
も相前後する翼列の軸方向間隔を実施可能な寸法とした
分子ポンプを提供することができる。
で排気量が増大しても真空度の低下を防止できて、しか
も相前後する翼列の軸方向間隔を実施可能な寸法とした
分子ポンプを提供することができる。
【図１】ターボ分子ポンプの一例の縦断面図である。
【図２】動翼と静翼の関係位置を示した翼列展開図であ
る。
る。
【図３】相対速度による排気作用における２翼間のガス
分子の運転方向のコンピュータ解析結果の説明図であ
る。
分子の運転方向のコンピュータ解析結果の説明図であ
る。
【図４】逆流作用による２翼間のガス分子の運転方向の
コンピュータ解析結果の説明図である。
コンピュータ解析結果の説明図である。
【図５】翼列同士の干渉効果を示すグラフである。
４ａ、４ｂ、４ｃ 動翼段
４ａ１、４ｂ１、４ｃ１ 動翼
４ａ１ｔ 動翼の後端部
５ａ、５ｂ、５ｃ 静翼段
５ａ１、５ｂ１、５ｃ１ 静翼
５ａ１ｔ 静翼の前端部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 渡辺 光徳
大阪府大阪市中央区北浜３丁目５番29号
株式会社大阪真空機器製作所内
Ｆターム(参考） 3H031 DA02 EA00 FA01 FA02
3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08
BB11 BB16 CC01 CC03 DD01
DD05 DD07 DD30 EE18
Claims (3)
- 【請求項１】 動翼段と静翼段とを交互に配して多段に
形成したターボ分子ポンプ部を有する分子ポンプにおい
て、該ターボ分子ポンプ部の任意の段の翼列の相隣り合
う２翼間の出口流路幅をｃとし、該翼列の翼の後端部か
ら該翼列の次段の翼列の翼の背面に引いた垂線の長さを
ａとし、該次段の翼列の翼の前端部から前記任意の段の
翼列の翼の腹面に引いた垂線の長さをｂとしたとき、ａ
とｂの和がｃの０．９倍よりも大で且つｃの１．４倍よ
り小となる範囲に各段の翼列を順次形成したことを特徴
とする分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記ターボ分子ポンプ部の第１段目に動
翼段を配置したことを特徴とする請求項１に記載の分子
ポンプ。 - 【請求項３】 前記ターボ分子ポンプ部の第１段目に静
翼段を配置したことを特徴とする請求項１に記載の分子
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189068A JP2003003987A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189068A JP2003003987A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003003987A true JP2003003987A (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=19028050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001189068A Pending JP2003003987A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003003987A (ja) |
Cited By (4)
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