JP2002542020A - 電動液体分配装置及び粘性液体を分配する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 電動液体分配器（１０）は、プリント配線基板などの基板（１９）上にエポキシ樹脂（１８）などの粘性液体を選択的に分配する。分配器（１０）の本体（１２）は第１の内部部位と第２の内部部位（２２）とを備える。第１の内部部位（２０）は弁座（３２）を含み、放出口（３４）と連通する。電機子（６０）は第２の内部部位（２２）に内設され、第１の内部部位（２０）内には弁棒（２６）が装着されて開閉位置間を電機子（６０）と共に移動する。コイル（７０）は電機子（６０）に巻回されて選択的に電磁界を発生させるようにされ、電機子（６０）と弁棒（２６）とを開閉位置間で移動させる。液体注入通路（４６）は第１の内部部位（２０）と流体連通し、液体を第１の内部部位（２０）へ供給する液体の供給源（４７）に連結されるようにされる。第１の内部部位（２０）の液体が第２の内部部位（２２）へ漏入するのを防止するため、第１と第２の内部部位（２０、２２）間に封止部材（５２）が装着され、弁棒（２６）と封止契合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は液体を分配する装置、特に、熱溶解された接着剤やエポキシ樹脂など
の粘性液体を分配する電動装置に関する。

【０００２】 粘性液体の正確な位置取りが要求される分配用途に対しては、空気分配器と電
気分配器とが開発されている。これらの分配器に共通する１つの用途は、回路基
盤にその製造の途中はんだや融剤、エポキシ樹脂を堆積させることを含む。多く
の場合、電動分配器は空気分配器より好ましい。それは製造作業中電動分配器の
方がより正確に制御できるからである。一般に、電動分配器は電磁界を発生させ
る電磁コイルを含んでいる。電磁界は選択的に制御できて、電機子に能動的に関
連づけられたり電機子自体として作用する弁棒を開閉する。詳細には、電機子と
極との間の磁引力が弁棒を開及び／または閉位置に移動させる。液体は弁棒が開
位置にある際に弁座を通過する。このタイプの代表的な装置では、各種の液体は
約５００ｐｓｉ−１５００ｐｓｉの圧力でコイルを介して電機子に導入される。
これらの高い圧力レベルは多くの場合、電機子とコイル間の半径方向の隙間など
の小さな空間を通って、粘性液体を循環させるために必要とされる。ところが、
関連の高圧力成分はコストと分配系統の複雑さとを増大させる。

【０００３】 今日の電動分配器において、電機子は精確に構成されて粘性液体を放出口へ流
動させることができる。例えば、一般に円筒形の電機子は流路つまり溝を含んで
液体の流れを可能にする。これらの流路つまり溝は電機子の質量を減じるから、
電磁界における電機子の性能に不利に作用することもある。この点、より大きい
質量の電機子は開及び／または閉位置へより迅速に移動して電磁界で良好に作動
する。

【０００４】 他の、電機子を通過する粘性液体の流れを促進する方法には、電機子の直径を
減じて電機子と電磁コイル間に比較的大きな半径方向の隙間を与える方法がある
。電機子または弁棒の流路には同様の作用がある。これらの構成についての問題
は、電機子はコイル近傍に配設される際に最も有効に作動することである。した
がって、大きな半径方向の隙間つまり流路は大きな流れを促進するが、電気作動
の有効性を減じさせもする。

【０００５】 高い圧力の使用と電機子及びコイルの構成とに関する上述の問題に加えて、従
来の電気分配器は電機子を通過する粘性液体に望ましくない剪断力を発生させる
。電機子が開閉位置間を移動するにつれ電機子は隣接する液体通路の壁部を移動
するから、剪断力が液体に作用する。これらの剪断力は、例えば、液体に伝導さ
れる追加的熱を発生させることで粘性液体の物性と特性とに不利益な作用をもた
らすかもしれない。１応用例においては、触媒を含有するエポキシ樹脂を分配し
て回路基板に構成要素を接合する。過剰な剪断力と熱とが電気分配器に発生する
と、触媒が分解することもあり、これはエポキシ樹脂の硬化性に不利に作用する
。実際、エポキシ樹脂はまだ分配器の中にある時に硬化でき、この硬化されたつ
まり硬くなったエポキシ樹脂は完璧に分配器の動作を阻止する。

【０００６】 当業におけるこれらの及びその他の問題に鑑み、粘性液体を電機子との接触の
ない低い圧力で維持し、かつ電機子をコイルとの高い有効動作で構成する電動粘
性液体分配器を提供すれば望ましかろう。

【０００７】 本発明による電動液体分配器は、第１の内部部位と第２の内部部位とを備えた
分配器本体を含む。第１の内部部位は液体を放出する放出口と連通する。電機子
を第２の内部部位に内設し、弁座を典型的には放出口に隣接して配置する。さら
に、弁棒を第１の内部部位の中に装着し、弁棒が弁座と契合して放出口からの液
体の流れを阻止する閉位置と、弁棒が弁座から後退して放出口から液体の流れを
可能にする開位置との間を電機子と共に移動するように連結する。分配器はさら
に電機子に巻着されたコイルを含む。コイルは電磁界を選択的に生成するように
なっており、電機子と弁棒とを開閉位置間で移動させる。液体の注入通路は第１
の内部部位と流体連通し、第１の内部部位に液体を供給する液体供給源に連結す
るようにされる。封止部材は第１と第２の内部部位間に装着されかつ弁棒と密封
契合して、第１の内部部位の液体が第２の内部部位に漏入するのを防止する。

【０００８】 詳細には、弁棒は、分配器本体の第１と第２の両内部部位の中を伸長する一体
の軸であってもよい。電機子は弁棒と同軸に整列しかつこれに直接連結されるの
が好ましい。電機子の大きさと形状は、軸及び第２の内部部位の内側表面との間
の全体の空間が電機子でほぼ満たされるようにする。これに伴い、電機子は、液
体のバイパスの溝つまり流路を有する同様形状の電機子と比べて質量が大きくな
る。したがって、コイルの電磁界はより強力な作用を電機子に与える。

【０００９】 本発明はまた、電動分配器により各種の液体を分配する方法も意図している。
一般に、粘性液体は液体注入通路から第１の内部部位へ供給される。好ましくは
、粘性液体を約１０から約１５ｐｓｉまでの範囲の圧力で第１の内部部位へ供給
する。より一般的には、圧力は約１００ｐｓｉ以下で最低３ｐｓｉであればよい
。したがって、高圧力の構成要素は従来のようには必要ではない。弁棒を第１と
第２の内部部位間で動的に封止することにより、液体の、第２の内部部位への進
入及び電機子との接触が防止される。次に、コイルを付勢して弁棒を開閉位置間
で移動させる。典型的には、付勢により弁棒は開位置へ移動して液体が第１の内
部部位から放出口を通って流れるようにする。コイルは次に非勢され、弁棒はば
ねの力で閉位置へ戻る。好ましくは、本発明の方法により意図される高粘度の液
体は単成分熱硬化面堆積エポキシ樹脂である。本発明によれば、粘性液体の最低
粘度は約１００センチポアズであるが、本発明は約１、５００センチポアズより
高い粘性を持つ液体に対して、さらに約１０、０００センチポアズより高い粘性
を持つ液体に対しても、特に好都合である。

【００１０】 本発明の様々な追加的利点、目的及び特徴は、添付図面と併せこれらの好まし
い実施形態についての以下の詳細な記述を考察すれば当業者にはより容易に明ら
かとなろう。

【００１１】 図１について説明すれば、好ましい実施形態の電動分配器１０は分配器本体１
２と、液体を分配するノズル本体１４と、電磁作動のための電流を供給するリー
ド線１６とを含む。分配器１０は正確に単成分熱硬化面堆積接着剤またはエポキ
シ樹脂などの高粘性の液体を分配するようにされているが、他の液体分配器も同
様に本発明から利益を得ることができる。そのような他の液体には、はんだ付け
の融剤、サーマルグリース、熱転移化合物、そしてはんだペーストがある。さら
に、分配器１０は液体を、分離した量、好ましくは液滴つまり点状として分配す
るようにされているが、連続的な雫としても分配できる。図１に示すように、液
体を分配するノズル本体１４と結合して使用される分配器本体１２は、プリント
配線基板などの基板１９上に熱硬化エポキシ樹脂の液滴１８を分配するよう特別
に構成されている。本発明は約１５００センチポアズを超える粘性を持つ液体及
びエポキシ樹脂、あるいは触媒や分配動作中熱と剪断とにより不利に作用される
他の成分を用いたその他の液体とに対して最も好都合である。

【００１２】 分配器本体１２は第１のつまり下方の内部部位２０と、第２のつまり上方の内
部部位２２とを有する。これらの部位２０、２２は互いに同軸に整列する。本発
明の原理によれば、下方の内部部位２０と上方の内部部位２２は互いとは流体連
通しない。弁棒２６は下方の内部部位２０内に装着され、かつ下方内部部位２０
の中を上方内部部位２２へと伸長する軸２８を有する。ボール３０は図１に示す
軸２８の下端部２８ａに取り付けられ、ノズル本体１４に配設された弁座３２と
封止契合する。ボール３０が弁座３２と封止契合することにより、エポキシ樹脂
などの高い粘性の液体は弁座３２の放出口３４を流動することはできない。ノズ
ル本体１４はまたオリフィス３８を備えるノズル先端部３６を有する。オリフィ
ス３８は放出口３４と整列し、かつねじ込み保持ナット４０により弁座３２に水
平に装着される。ノズル先端部３６は別のノズルチップと容易に交換され、異な
るサイズの、場合によっては異なる形状の液滴を作りだすことができる。

【００１３】 液体の注入通路４６は下方内部部位２０に連結され、エポキシ樹脂などの加圧
液体の供給源４７に連結されるようになっている。この供給源４７は米国特許第
５，７４７，１０２号に開示された注射器型の供給装置であってもよい。同特許
の開示は本明細書に引用して援用する。封止部材４８は液体の注入通路４６への
入口のところに配設され、液体注入通路４６を加圧液体の供給源４７へ連結する
液体供給ライン（図示せず）と封止契合するようにされる。一般に、供給源４７
から来る液体は約３ｐｓｉと約１００ｐｓｉの間で加圧される。より好ましくは
、液体は約１０−１５ｐｓｉに加圧されるようにする。矢印５０は液体注入通路
４６と下方内部部位２０とを通って進入する液体の流路を示している。動的封止
部材５２は、両内部部位２０、２２間において弁棒２６の軸２８と封止契合して
保持される。動的封止部材５２は座金５４とねじクリップ５６とに挟持される。
図１に明瞭に示すように、液体注入通路は動的封止部材５２の下を下方内部部位
２０に進入する。動的封止部材５２は、液体注入通路４６を通って進入しかつ下
方内部部位２０に収容された液体が上方内部部位２２に漏入するのを防止する。
動的封止部材５２は、弁棒２６の静止時ばかりでなく弁棒２６の動作中の進退作
動時にも液体が上方内部部位２２に漏入するのを防止する。

【００１４】 次に図１及び２について説明すると、電機子６０は上方内部部位２２に内設さ
れて軸２８と整列し、好ましくは軸２８と一体形成される。動的封止部材５２が
液体の上方内部部位２２への漏入を防止するため、電機子６０は液体の中ではな
く空気中で作動する。他の電動分配器と違って、下方内部部位２０に進入する液
体は電機子６０を通って流れたりその周囲を流れたりはしない。したがって、電
機子６０は長手方向や円周方向の液体バイパス流路を必要とせずに、液体をして
電機子６０を通過させる。このため、電機子６０は一般に、従来の分配器の電機
子に頻繁に見られる液体バイパス流路のない円形断面を持つ固い金属片である。
さらに、電機子６０は、それが軸２８と上方内部部位２２の内側表面６２との間
の全体の空間をほぼ満たすような大きさにする。このため、電機子６０の外側表
面６４と上方内部部位２２の内側表面６２との間に、狭い半径方向の隙間「ｔ」
が形成される。隙間「ｔ」は約０．２５４ｍｍ（約０．０１０インチ）より狭い
のが好ましく、より好ましくは約０．０７６２ｍｍ（約０．００３インチ）から
約０．１２７ｍｍ（約０．００５インチ）までの範囲である。

【００１５】 電磁コイル７０は電機子６０に巻回される。任意適当な電磁コイルが使用可能
であるが、意図する電磁コイル７０はドーナツ型である。コイル７０はハウジン
グ７２に収容され通常のリード線１６により電源（図示せず）に接続される。こ
のようにして、必要な電流が供給されると、後述するようにコイル７０は弁棒２
６を開位置へ作動させる磁界を発生させる。

【００１６】 孔８０は電機子６０の中を伸長し戻りばね８２を収容する。戻りばね８２は弁
棒２６を、具体的にはボール３０を偏向させ、閉位置で弁座３２と封止契合させ
る。ばね８２は詳細には、電磁極８４との係合により孔８０の中に圧縮配置され
た圧縮ばねである。開位置を達成するために、電磁コイル７０は電機子６０と極
８０間を通う十分な電磁界を生成し、電機子６０と極８０とを互いに引き付ける
必要がある。極８４は移動できないから、電機子６０がばね８２の力に抗して移
動し極８４に衝突する。打撃の長さは図１に示すように電機子６０と極８４と間
の間隔である。ねじ山８６にねじ込まれた調節ナット８５は打撃の長さを最初に
設定する手段を与える。詳細には、ろう付け部（brazing）８８で極８４を管状
部材９０に連結する。管状部材９０の下方のねじ込み部位９２を初めにねじ込ま
れた下方ハウジング部位９４の中に収容する。スクリュードライバなどの工具を
使って極８４を回転させることができるため、管状部材９２はオーリング９６と
して下方ハウジング部位９４の内側表面を摺動する。この調節は極８４の下端部
と電機子６０の上端部の間の間隔を変更させる、つまり弁棒２６の衝突の長さを
変更させる。管状部材９０の周りに下方の環状部９８が配設され、下方ハウジン
グ部位９４の上側に支えられる。上方の環状部１００はナット８５と止め座金１
０２とによりコイルハウジング７２に対して保持される。

【００１７】 １適当応用例において、分配器１０は熱硬化エポキシ樹脂の液滴１８をプリン
ト配線基板１９などの基板に分配するよう構成される。これに応じてエポキシ樹
脂を基板に分配する１つの適切な方法を本明細書に記述する。先ず、分配器１０
を回路基盤の所望の位置に位置決めする。この初期条件においては、電磁コイル
７０を付勢せず、弁棒２６を閉位置におく。つまりボール３０は弁座３２と封止
契合している。さらに、熱硬化エポキシ樹脂は下方内部部位２０と、加圧エポキ
シ樹脂の供給源４７に同様に連結された液体注入通路４６とに収容され、これら
を満たしている。上述したように、分配器１０の全体の動作を通じて、動的封止
部材５２は熱硬化エポキシ樹脂などの液体が下方内部部位２０から漏出して上方
内部部位２２に漏入するのを防止する。

【００１８】 次に、電磁コイル７０を付勢し、電機子６０と極８４とを通過する電磁界を発
生させて、弁棒３２をその初期の閉位置から開位置へ移動させる。同時に下方内
部部位２０のエポキシ樹脂は放出口３４から流動する。所定の時間量、つまりエ
ポキシ樹脂の所定の流量の後、電磁コイル７０は非勢され、戻りばね８２が弁棒
２６をその開位置から閉位置へ移動させる。この動きはエポキシ樹脂の液滴を放
出口３４から放出させる。

【００１９】 エポキシ樹脂は供給源４７から下方内部部位２０へ約１０−１５ｐｓｉの比較
的低い圧力で供給される。この圧力は、約１０，０００センチポアズを超える粘
性を有する液体に対して５００−１５００ｐｓｉの液体圧力で作動する他の電動
分配器に用いられる圧力より低い。したがって、弁棒が開位置にある際、圧力だ
けによるエポキシ樹脂の流れは液体注入通路４６と下方内部部位２０とを比較的
緩やかに通る。このため、エポキシ樹脂の分配液滴は主として、ボール３０の下
のエポキシ樹脂に圧力を及ぼすボール３０の戻り作用により引き起こされる。つ
まり、開いた弁棒２６が戻りばね８２により閉位置に戻されるにつれて、ボール
３０は十分な圧力をボール３０の下のエポキシ樹脂に及ぼし、十分な力でエポキ
シ樹脂の一部分に放出口３４とオリフィス３８とを通過させ、はっきりとした輪
郭のエポキシ樹脂の液滴を作りだして回路基盤に堆積させる。

【００２０】 本発明を様々な好ましい実施形態を記述することで説明し、これらの実施形態
を相当詳細に記述して本発明を実行する最良の方法を記述したが、そのような詳
細に対する添付クレームの範囲を限定したり制約することは出願人の意図ではな
い。本発明の精神及びその範囲内での追加的利点と変形は当業者にとって容易に
明らかとなろう。本発明自身は特許請求がなされている添付クレームによりもっ
ぱら定義されるべきである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明により構成された電動液体分配器の軸方向断面図である。

【図２】 図１の液体分配器の、線２−２での断面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ， ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，Ｋ Ｐ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ， ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，Ｓ Ｇ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 3H106 DA07 DA13 DA23 DB02 DB12 DB23 DB32 DC04 DC17 DD03 DD09 EE04 GB06 HH02 KK25 KK33 4D075 AC07 AC95 AC96 DA06 DC19 DC21 EA07 EA14 EA19 EA35 EB33 EB52 4F041 AA01 AA05 AA06 AB01 BA05 BA12 BA34 4F042 AA02 AA06 AA07 AB01 BA07 BA11 BA15 CA05 CA09 CB03 CB08 CB10 CB11 CB24 5E319 AA03 CC61 CD15 CD27 GG15

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電動液体分配器において、 第１と第２の内部部位を有する分配器本体と、 前記第１の内部部位に配設された弁座と、 前記第２の内部部位に内設された電機子と、 前記第１の内部部位に内設された弁棒と、 前記電機子に巻回されたコイルと、 前記第１の内部部位と流体連通する液体注入通路と、 前記第１と第２の内部部位間に配設されて、前記第１の内部部位の液体が前記
   第２の内部部位へ漏入するのを防止する封止部材と、を備え、 前記第１の内部部位は放出口と連通し、 前記弁棒は、前記弁棒が前記弁座と契合して前記放出口からの液体の流れを防
   止する閉位置と、前記弁棒が前記弁座から後退して前記放出口から液体の流れを
   可能にする開位置との間を前記電機子と共に移動するよう連結され、 前記コイルは選択的に電磁界を発生させるようにされて前記電機子と前記弁棒
   とを前記開閉位置間で移動させ、 前記液体注入通路は、前記液体を前記第１の内部部位へ供給する液体の供給源
   に連結するようにされることを特徴とする電動液体分配器。
2. 【請求項２】請求項１に記載の分配器において、前記弁棒はさらに前記第１と
   第２の内部部位内を伸長する軸を備え、前記電機子は前記軸と同軸に整列しかつ
   前記軸と前記第２の内部部位の内側表面との間の全体の空間をほぼ満たして、前
   記内側表面と前記電機子との間に狭い半径方向の隙間を残すことを特徴とする分
   配器。
3. 【請求項３】請求項２に記載の分配器において、前記狭い半径方向の隙間は約
   ０．２５４ｍｍ（約０．０１０インチ）より狭いことを特徴とする分配器。
4. 【請求項４】前記液体注入通路に能動的に連結されて約１００ｐｓｉ以下の圧
   力で加圧液体を前記第１の内部部位へ供給する加圧液体の供給源をさらに備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の分配器。
5. 【請求項５】請求項４に記載の分配器において、液体の前記供給源からの液体
   は、約１５ｐｓｉ以下の圧力で前記第１の内部部位へ供給されることを特徴とす
   る分配器。
6. 【請求項６】粘性液体を分配する電動液体分配器において、分配器は 第１と第２の内部部位を有する分配器本体と、 前記第１の内部部位に配設された弁座と、 前記第２の内部部位に内設された電機子と、 前記第１の内部部位に内設された弁棒と、 前記電機子に巻回されたコイルと、 前記第１の内部部位と流体連通する液体注入通路と、 前記液体注入通路に能動的に連結されかつ加圧液体を約１００ｐｓｉ以下の圧
   力で前記第１の内部部位に供給する、約１，５００センチポアズを超える粘性を
   有する加圧液体の供給源と、 前記第１と第２の内部部位間に配設されて、前記第１の内部部位の液体が前記
   第２の内部部位へ漏入するのを防止する封止部材と、を備え、 前記第１の内部部位は放出口と連通し、 前記弁棒は、前記弁棒が前記弁座と契合して前記放出口からの液体の流れを防
   止する閉位置と、前記弁棒が前記弁座から後退して前記放出口から液体の流れを
   可能にする開位置との間を前記電機子と共に移動するために連結され、 前記コイルは選択的に電磁界を発生させるようにされて前記電機子と前記弁棒
   とを前記開閉位置間で移動させることを特徴とする電動液体分配器。
7. 【請求項７】請求項６に記載の分配器において、前記弁棒はさらに、前記電機
   子を貫通しかつ前記第１と第２の内部部位内を伸長する軸を備え、前記電機子は
   前記軸と前記第２の内部部位の内側表面との間の全体の空間をほぼ満たして、前
   記内側表面と前記電機子との間に約０．２５４ｍｍ（約０．０１０インチ）より
   狭い半径方向の隙間を残すことを特徴とする分配器。
8. 【請求項８】請求項６に記載の分配器において、液体の前記供給源からの液体
   は、約１５ｐｓｉ以下の圧力で前記第１の内部部位へ供給されることを特徴とす
   る分配器。
9. 【請求項９】請求項６に記載の分配器において、加圧液体は約１０，０００セ
   ンチポアズを超える粘性を有することを特徴とする分配器。
10. 【請求項１０】第１と第２の内部部位を有するハウジングと、前記第１の内部
    部位にある弁座と、前記第２の内部部位に内設された電機子と、前記電機子に巻
    回されたコイルと、前記第１の内部部位内に装着されかつ、前記弁座に対して開
    閉位置間を前記電機子と共に移動するため連結された弁棒とを備える電動液体分
    配器を用いて粘性液体を基板に分配する方法において、 液体を約１００ｐｓｉ以下の圧力で前記第１の内部部位に供給することと、 前記第１と第２の内部部位間で前記弁棒を動的に封止することにより、前記液
    体の、前記第２の内部部位への進入及び前記電機子との接触を防止することと、 前記コイルを付勢して前記弁棒を前記開閉位置間で移動させること、とを含む
    方法。
11. 【請求項１１】液体を約１５ｐｓｉ以下の圧力で第１の内部部位へ供給するこ
    とをさらに含む請求項１０に記載の方法。
12. 【請求項１２】液体を約１，５００センチポアズを超える粘性で第１の内部部
    位へ供給することをさらに含む請求項１０に記載の方法。
13. 【請求項１３】液体を約１０，０００センチポアズを超える粘性で第１の内部
    部位へ供給することをさらに含む請求項１０に記載の方法。