JP2002535752A - 集積回路のレイアウトをコンピュータによって検証する方法および装置ならびに該方法の、集積回路を製造するための使用 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 集積回路のレイアウトをコンピュータによって検証するために、レイアウト内に含まれている単数または複数の選択的な配線網（２１）に対して、レイアウト内に含まれている別の配線網に関する容量が、選択的な配線網（２１）の形状に相当するフィルタポリゴン（２２）を規定し、この場合、フィルタポリゴン（２２）の寸法が、選択的な配線網（２１）の寸法に比べて、設定可能な幅だけ増加されており、フィルタポリゴン（２２）とオーバラップする別の配線網の部分（２４）を規定し、選択的な配線網（２１）と、フィルタポリゴン（２２）とオーバラップする別の配線網の部分（２４）との間の容量を規定することによって算出される。この場合、大きなデータ量を処理するために、フィルタポリゴン（２２）を、設定された最大寸法の区分けセル（２３）に分割し、その後、この区分けセル（２３）に対して、選択的な配線網（２１）と、各区分けセル（２３）とオーバラップする別の配線網の部分（２４）との間の容量が算出されると有利である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 大規模集積回路の実現においては通常まず回路デザインが作成される。この回
路デザインには、どのような構成素子が設けられているのか、また、どのような
切換特性を集積回路が有するべきであるかということが特徴付けられている。こ
の回路デザインから出発してレイアウトが作成される。このレイアウトは、回路
装置の全ての構成要素の幾何学的な形状および配置を説明している。構成要素に
は特に、ドーピングされた領域、絶縁性の構造体、導電性の構造体、金属化平面
、コンタクト等が所属している。一般的に、レイアウトはコンピュータによって
作成され、ファイルともプランとも呼ぶことができる。レイアウトは、マスクセ
ットを作成するための基礎を成している。このマスクセットは、あとで集積回路
の科学技術的な製造時に使用される。

【０００２】 レイアウトの作成時の不正確さとデザイン誤差と、たとえば最小寸法における
妥協とによって、１つのレイアウトに相応して製造された回路が、回路デザイン
において要求された特性と異なる特性を有しているということが考えられ得る。
念のため、製造された回路が可能な限り正確に回路デザインに相応して機能する
ように、検証されたレイアウトから出発してマスクセットが製造される前に、レ
イアウトに何回も検証法が施される。検証時には、集積回路の、レイアウトに相
応して設けられている構造体が、回路デザインにおいて特徴付けられている電気
的な特性を実際に有しているかどうかが検査される。

【０００３】 集積回路の切換速度は、回路内で得られる配線容量に敏感に関連しているので
、検証時には容量算出が実施される。このためには、しばしば回路網とも呼ばれ
る配線網が考慮される。配線網として、大規模集積回路の内部の導電性の経路、
つまり導体路が理解される。この導体路は分岐されていてよく、集積回路の全て
の面にわたって延在することができる。種々異なる配線網は互いに絶縁されてい
る。容量算出時には、これらの回路網の間の容量が規定されなければならない。
この容量は、高精度の算出のためにディープサブミクロン領域ではまだプログラ
ム、いわゆる「フィールドソルバ」によってしか実施され得ない。このフィール
ドソルバにおいて、３次元のラプラス方程式が数値的に解かれる。しかし、数ｃ
ｍ^２のチップ面を備えた大きな集積回路では、このラプラス方程式は、複雑性の
理由に基づき、今日使用可能なコンピュータによって完全に処理することができ
ない。したがって、通常は容量算出時に区分けセルが規定される。この区分けセ
ルのために、３次元のラプラス方程式を数値的に解くことが可能である。

【０００４】 この問題を処理するために「定義域分解（Ｄｏｍａｉｎ−Ｄｅｃｏｍｐｏｓｉ
ｔｉｏｎ）」を実施することが提案されている（たとえば「Ｚ．Ｚｈｕ他著、｛
ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ ｏｎ Ｍｉｒｃｏｗａｖｅ Ｔｈｅｏｒｙ
ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ｝、第４５巻、Ｎｏ．８、１９９７年８月、第
１１７９〜１１８４頁」および「Ｚ．Ｚｈｕ他著、第４６巻、Ｎｏ．８、１９９
８年８月、第１０３７〜１０４４頁」および「Ｅ．Ａ．Ｄｅｎｇｉ他著、｛ｉｎ
ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ ｏｆ ＤＡＣ １９９７｝、第１〜６頁」および「Ａ
．Ｈ．Ｚｅｍａｎｉａｎ他著、｛ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ ｏｎ Ｃ
ｏｍｐｕｔｅｒ−Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ｝、第８巻、Ｎｏ．１２、１９８９
年１２月、第１３１９〜１３２６頁」参照）。この定義域分解では、全ての配線
網の静電的な周辺条件が規定される。しかし、この手段は、従来は前記文献中で
比較的小さな大規模集積回路についてのみ説明された。この場合、チップ面は最
大２００μｍ^２に制限されていた。なぜならば、全ての配線網の静電的な周辺条
件の規定には手間がかかるからである。

【０００５】 さらに、ラプラス方程式を推計学的に解くことが提案されている（たとえば「
Ｙ．Ｌ．Ｌｅ Ｃｏｚ他著、｛Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ
ｓ｝、第３５巻、Ｎｏ．７、第１００５〜１０１２頁、１９９２年」参照）。し
かし、この場合、統計学的な誤差が生ぜしめられる。さらに、種々異なる配線網
の間の接続部分の算出と、運転時間とが不正確にしか可能とならない。最終的に
、この方法は、４５゜および９０゜の角度を備えた構造体に制限されている。

【０００６】 本発明の問題は、集積回路のレイアウトをコンピュータによって検証する方法
および装置を改善して、当該方法が大規模集積回路の製造に適していて、数ｃｍ
２のチップ面を備えた集積回路でも許容可能な演算手間で実施可能となるように
することである。

【０００７】 この問題は、請求項１記載の方法ならびに請求項１３記載の装置によって解決
される。本発明の変化形は従属請求項から明らかである。

【０００８】 レイアウトを検証するために、レイアウト内に含まれている配線網が選択され
る。この配線網は、ドーピングされた半導体領域、ドーピングされた多結晶半導
体層、金属層およびこれに類するもののような導電性のエレメントから成る互い
に関連する構造体である。これらのエレメントは、種々異なる平面に配置するこ
とができ、互いに接触するかまたはオーバラップする。配線網は、構成素子の導
電性の部分を有していてもよい。したがって、配線網は、互いに関連する導電性
の接続部を集積回路内に提供している。選択的な配線網に対して、レイアウト内
に含まれている別の配線網に関する容量は、選択的な配線網の形状に相当する形
状を備えたフィルタポリゴンが規定されることによって算出される。この場合、
フィルタポリゴンの寸法は、選択的な配線網の寸法に比べて、設定可能な幅の分
だけ増大されている。したがって、フィルタポリゴンは幾何学的な面を有してい
る。この面は、選択的な配線網の幾何学的な面を、設定可能な幅だけ増大するこ
とによって形成される。

【０００９】 引き続き、フィルタポリゴンとオーバラップする全ての別の配線網の部分が規
定される。この部分は、フィルタポリゴンの領域で、選択的な配線網と同じ平面
だけでなく、その平面の上方にまたは下方に位置する平面にも配置することがで
きる。選択的な配線網と、フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部
分との間の容量が算出される。フィルタポリゴンの外部に配置された別の配線網
の部分は容量算出時には考慮されない。この方法では、容量への寄与が、導電性
の構造体の間の間隔によって減少するという事実が利用される。この方法では、
どのような寄与が容量算出時にさらに考慮されるべきであるのかが、設定可能な
幅によって制御される。

【００１０】 この方法では、選択的な配線網しか考慮されず、しかも、選択的な配線網と、
フィルタポリゴンの領域に配置された別の配線網の部分しか算出されないので、
演算手間が著しく減少する。

【００１１】 極めて大きな集積回路のレイアウトを検証するために、フィルタポリゴンを、
最大寸法を上回らない寸法を備えた区分けセルに分割することが有利である。こ
のためには、フィルタポリゴンの寸法が、設定された最大寸法と比較され、フィ
ルタポリゴンの寸法が最大寸法を上回った場合には、フィルタポリゴンがより小
さな区分けセルに分割される。その後、区分けセルにつき、選択的な配線網と、
各区分けセルとオーバラップする別の配線網の部分との間の容量が算出される。
区分けセルの大きさによって、解きたい３次元のラプラス方程式の複雑性が減少
される。さらに、種々異なる区分けセルを並行して処理することができるので、
結果はより短い時間で検出することができる。区分けは、複数のプロセッサを使
用して行うことができる。

【００１２】 全ての区分けセルは、選択的な配線網の増大に基づく形状を備えたフィルタポ
リゴンを形成しているので、たいていの事例では、この区分けによって、均質な
静電的な周辺条件が存在する領域の内部でしか選択的な回路網の分離は実施され
ない。

【００１３】 区分けセルへのフィルタポリゴンの分割は、互いに異なる形式で行うことがで
きる。フィルタポリゴンの分割が、垂直なかつ水平なカットラインをフィルタポ
リゴンの平面で使用することによって行われると有利である。この場合、カット
ラインは、それぞれフィルタポリゴンの輪郭における不連続点と交差している。
こうして得られた部分ポリゴンはその寸法に関連して検査され、その寸法が最大
寸法を上回っている限りにおいてはさらに分割される。この手段は、いわゆる「
走査線アルゴリズム」によるものである。

【００１４】 最大寸法のサイズは、一方では容量算出のための所要な演算時間に影響を与え
、他方では容量演算時に獲得可能な精度に影響を与える。所要な演算時間に関し
ては、小さな最大寸法が目標とされ得るのに対して、演算精度に関しては、限界
値を上回らない最大寸法が目標とされ得る。最大寸法が、０．３５μｍテクノロ
ジにおいて２５μｍ〜５０μｍであると有利である。最小の構造サイズＦによる
テクノロジの事例では、最大寸法は７０Ｆ〜１４０Ｆの間に位置している。

【００１５】 区分けにおいて、設定された最小寸法よりも小さく寸法設定されている寸法を
備えた個々の区分けセルが得られる場合には、この小さな区分けセルを、隣り合
って位置する区分けセルと接合することが演算手間に関して有利となる。これに
よって、区分けセルの寸法が極めて小さい場合に不十分である演算精度も向上す
る。最小寸法が、０．３５μｍテクノロジにおいて１５μｍ〜２５μｍの間に位
置していると有利である。最小の構造サイズＦによるテクノロジの事例では、最
小寸法が４０Ｆ〜７０Ｆの間に位置していると有利である。

【００１６】 本発明の枠内では、配線網の座標が、データベースとしてコンピュータにメモ
リされている。各区分けセルのためにファイルが形成される。このファイルは、
各区分けセルの幾何学的形状に関する情報と、別の配線網とのオーバラップに関
する情報とを有している。

【００１７】 集積回路を製造するために、回路デザインから出発してコンピュータによって
レイアウトが作成される。このレイアウトは配線網を有している。次いで、レイ
アウトを検証するために、コンピュータによって配線網が選択される。この配線
網のために、上述した方法に基づき、フィルタポリゴンの領域における別の配線
網に関する容量が算出される。その後、算出された容量が回路デザインと比較さ
れる。性能損失においては、レイアウトが、たとえば導電性の構造体の幅の適合
によって最適化される。検証されたレイアウトから出発してマスクセットが製造
される。このマスクセットは、集積回路を製造するために使用される。検証法に
基づき所望の電気的な特性を有しているかまたはずれに基づき最適化されたレイ
アウトは検証済みレイアウトと呼ばれる。

【００１８】 本発明の枠内では、複数の配線網が選択される。これらの配線網のために、そ
れぞれ１つのフィルタポリゴンが規定され、別の配線網に関する容量が規定され
る。この場合、種々異なる選択的な配線網の寄与分は並行して、特に複数のプロ
セッサを使用して算出することができる。

【００１９】 以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。

【００２０】 線状の配線網１１は、０．６μｍの幅ｂと１３０μｍの長さＬとを有している
。配線網１１にはフィルタポリゴン（Ｆｉｌｔｅｒｐｏｌｙｇｏｎ）１２が対応
配置されている。このフィルタポリゴン１２は、配線網１１の輪郭を両辺でそれ
ぞれｗ＝５μｍだけ増加させることによって配線網１１から得られる。したがっ
て、フィルタポリゴン１２は、ｂ＋２ｗの幅とＬ＋２ｗの長さとを有している。
フィルタポリゴン１２は区分けセル１３に分割される。この区分けセル１３は、
配線網１１の長さＬに対して平行にｌ＝２５μｍの長さを有している。このため
には、フィルタポリゴン１２が一方の辺を起点として長さｌの長方形に分割され
る（図１参照）。この場合、フィルタポリゴン１２の長さが長さｌの整数倍でな
い場合には、最後の区分けセルは、長さｌとは異なる長さを有している。

【００２１】 選択的な配線網２１は、ほぼＴ字形の横断面を有している（図２参照）。選択
的な配線網２１にはフィルタポリゴン２２が対応配置されている。このフィルタ
ポリゴン２２は同じくＴ字形の横断面を有しているが、選択的な配線網２１の寸
法に比べて両側でそれぞれ幅ｗ＝５μｍだけ増加されている。フィルタポリゴン
２２は区分けセル２３に分割されている。この区分けセル２３の寸法は、２５μ
ｍの最大寸法よりも小さく寸法設定されている。フィルタポリゴン２２は別の配
線網の部分２４にオーバラップしている。選択的な配線網２１と別の配線網の部
分２４とは同一のレイアウト内に含まれている。

【００２２】 選択的な配線網２１と別の配線網の部分２４とを有するレイアウトを検証する
ために、選択的な配線網２１と別の配線網の部分２４との間の容量が、それぞれ
区分けセル２３につき算出される。

【００２３】 フィルタポリゴンの区分けもしくは分割が、いわゆる「走査線アルゴリズム（
Ｓｃａｎｌｉｎｅ−Ａｌｇｏｒｉｔｈｍｕｓ）」に基づき行われると有利である
。この走査線アルゴリズムでは、フィルタポリゴン３１が、ｙ軸線ｙに対して平
行に延びるカットライン３２とオーバラップされる。このカットライン３２は、
それぞれフィルタポリゴン３１の輪郭における不連続部を通って延びるように位
置している（図３参照）。この場合、互いに隣り合って位置する２つのカットラ
イン３２と、フィルタポリゴン３１の輪郭の、ｘ軸線ｘに対して平行な部分とに
よって仕切られた長方形が規定される。類似のアルゴリズムは、回路網の抵抗分
割と相俟って「Ｍ．Ｈｏｒｏｗｉｔｚ他著、（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏ
ｎ ｏｎ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）、第ＣＡＤ−２巻、
Ｎｏ．３、１９９３年７月、第１４５頁」において説明されている。そこでは、
このアルゴリズムによって、算出したい抵抗を備えた導体路の形状が区分けセル
に分割される。

【００２４】 以下に、フィルタポリゴン４１のステップ形式の区分けを図４〜図７につき詳
しく説明する。

【００２５】 フィルタポリゴン４１において、ｙ軸線ｙに対して平行に延びるカットライン
との重畳によって、第１の区分けセル４２が規定される。この第１の区分けセル
４２はｘ軸線ｘに対して平行に、ｙ軸線ｙに対して平行な延在長さよりも大きな
延在長さを有している。第１の区分けセル４２は、フィルタポリゴン４１の輪郭
の部分によってｘ軸線ｘに対して平行に仕切られている。

【００２６】 次のステップでは、第１の区分けセル４２がファイルにメモリされ、フィルタ
ポリゴン４１の残留ポリゴンが互いに融着される。このことは、第１の区分けセ
ル４２のフィルタリングによる取出しを意味している。

【００２７】 次いで、フィルタポリゴン４１が時計回り方向で９０゜だけ回動させられる。
ｙ軸線ｙに対して平行に延びるカットラインとの重畳によって第２の区分けセル
４３が形成される。この第２の区分けセル４３は、回動させられたｘ軸線ｘ′に
対して平行に、回動させられたｙ軸線ｙ′に対して平行であるよりも大きく寸法
設定されている。回動させられたｘ軸線ｘ′は、図４に示したｘ軸線ｘから９０
゜だけ回動させられているので、第１の区分けセル４２は第２の区分けセル４３
に対して垂直に配置されている（図５参照）。

【００２８】 第２の区分けセル４３はフィルタリングによって取り出され、メモリされる。

【００２９】 引き続き、第１の区分けセル４２と第２の区分けセル４３とが接触している限
りにおいて、第１の区分けセル４２が第２の区分けセル４３を通ってさらに分割
される。この場合、第３の区分けセル４４が形成される。この第３の区分けセル
４４は、隣り合って位置する第１の区分けセル４２だけでなく、隣り合って位置
する第２の区分けセル４３にも隣接している（図６参照）。

【００３０】 残留ポリゴンのために、この残留ポリゴンをほぼ長方形に分割することができ
るかが検査される。この長方形は第４の区分けセル４５としてメモリされ、フィ
ルタリングによって取り出される（図６参照）。

【００３１】 残りのポリゴンは、カットラインとの重畳によって、ポリゴンの輪郭の不連続
部でさらに分割される。この場合、メモリされる第５の区分けセル４６が形成さ
れる（図７参照）。

【００３２】 引き続き、最大寸法ｌ＝２５μｍを上回る寸法を備えた区分けセルが存在する
かどうかが検査される。この最大寸法を上回る区分けセルは、ｎ＝Ｌ／ｌで長方
形または台形に分割される。この場合、Ｌは本来の区分けセルの長さである。こ
れによって、ｌ以下の長さを備えた長方形または台形しか残らなくなる。

【００３３】 たとえば１５μｍの最小寸法よりも小さい長さを備えた区分けセルが、隣り合
って位置する区分けセルに融着される。得られた区分けセルの寸法が最大寸法よ
り大きかったとしても、この区分けセルは、ほぼ同じ大きさの区分けセルに分割
される。

【００３４】 集積回路を製造するために、回路デザインＳＥから出発してコンピュータによ
ってレイアウトＬＯが作成される（図８参照）。回路網抽出ＮＥのための制御が
提供される抽出プログラムＥＰによって、レイアウトＬＯから配線網の座標が抽
出され、データベースＤＢにメモリされる。フィルタポリゴンを作成しかつ区分
けするためのプログラムＰＦＰによって、選択的な配線網のためにフィルタポリ
ゴンが規定される。さらに、フィルタポリゴンを規定しかつ区分けするためのプ
ログラムＰＦＰによって、区分けセルへのフィルタポリゴンの分割が実施される
。配線網を選択するための情報と、フィルタポリゴンを規定するための情報と、
区分けするための情報とがパラメータファイルＰＤから取り出される。このパラ
メータファイルＰＤは特に、フィルタポリゴンを選択的な配線網の輪郭に対して
増加させる設定可能な幅ｗと、最大寸法ｌと、区分けセルのための最小寸法とを
有している。

【００３５】 さらなるプログラム実行が、区分けセルＰＺｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）に対し
て並行して行われる。各区分けセルＰＺｉのために、別の配線網のどの部分が区
分けセルとオーバラップするのかということが規定される。３次元モデリング３
ＤＭと呼ばれるこのステップはデータベースＤＢを基礎として行われる。引き続
き、各区分けセルＰＺｉのために、区分けセルＰＺｉにオーバラップする別の配
線網の部分に対する選択的な配線網の容量が算出される。この算出は、フィール
ドソルバ（Ｆｉｅｌｄｓｏｌｖｅｒ）ＦＳと呼ばれるプログラムによって行われ
る。

【００３６】 区分けセルＰＺｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）のための容量算出の結果は容量リス
トＫＬとして出力される。この容量リストＫＬは、アナログ式の回路シミュレー
タによって処理することができるフォーマット内に出力され得る。このようなフ
ォーマットはＳＰＩＣＥ回路網リストという名で慣用されている。

【００３７】 引き続き、容量リストＫＬの、算出された容量が、比較ステップＶＳにおいて
回路デザインＳＥの容量と比較される。この比較は、たとえば、回路デザインＳ
Ｅにおいて要求された、信号の時間特性につき比較される。検査ステップＰでは
、容量リストＫＬの、算出された容量と、回路デザインＳＥの容量との間の合致
が存在しているかが検査される。両容量が合致していない場合には、最適化ステ
ップＯにおいてレイアウトＬＯが変更される。変更されたレイアウトＬＯから出
発して、引き続き、検証するための方法が新たに実施される。両容量が合致して
いる場合には、検証されたレイアウトＬＯから出発してマスク製造ＭＨが実施さ
れる。この場合、集積回路を科学技術的に実現するために必要となる全てのマス
クセットが形成される。こうして製造されたマスクを使用して、集積回路の製造
ＨＩＳが行われる。

【００３８】 図９では、算出された容量Ｃと、区分けセルの長さｌとの関係を知ることがで
きる。区分けなしでは、すなわち無限の大きさのｌのためには、１０．３ｆＦの
容量が得られる。図９では、区分けセルの、２５μｍよりも大きな長さのために
は、容量の不連続部が最大で５％であるということを知ることができる。フィル
タポリゴンを選択的な配線網に対して両辺で増大させる幅ｗは５μｍである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 所属のフィルタポリゴンを備えた線状の配線網を示す図である。

【図２】 所属のフィルタポリゴンと、このフィルタポリゴンにオーバラップする別の配
線網の部分とを備えた複雑な配線網を示す図である。

【図３】 フィルタポリゴンを、区分けのためのカットラインと共に示す図である。

【図４】 第１の区分けセルを確定した後のフィルタポリゴンを示す図である。

【図５】 第２の区分けセルを確定した後のフィルタポリゴンを示す図である。

【図６】 第３の区分けセルと第４の区分けセルとを確定した後のフィルタポリゴンを示
す図である。

【図７】 第５の区分けセルを確定した後のフィルタポリゴンを示す図である。

【図８】 集積回路を製造するための実行チャートを示す図である。

【図９】 線状の配線網の容量を、１つの区分けセルの長さの関数として示す図である。

【符号の説明】

１１ 配線網、 １２ フィルタポリゴン、 １３ 区分けセル、 ２１ 配
線網、 ２２ フィルタポリゴン、 ２３ 区分けセル、 ２４ 部分、 ３１
フィルタポリゴン、 ３２ カットライン、 ４１ フィルタポリゴン、 ４
２ 区分けセル、 ４３ 区分けセル、 ４４ 区分けセル、 ４５ 区分けセ
ル、 ４６ 区分けセル、 ｂ 幅、 Ｌ 長さ、 ｌ 長さ、 ｗ 幅、 ｘ
，ｘ′ ｘ軸線、 ｙ，ｙ′ ｙ軸線

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１３年１月１２日（２００１．１．１２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集積回路のレイアウトをコンピュータによって検証する方法
   において、 −レイアウト内に含まれている選択的な配線網に対して、レイアウト内に含まれ
   ている別の配線網に関する容量を、 −選択的な配線網の形状に相当するフィルタポリゴンを規定し、この場合、フィ
   ルタポリゴンの寸法が、選択的な配線網の寸法に比べて、設定可能な幅だけ増加
   されており、 −フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分を規定し、 −選択的な配線網と、フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分と
   の間の容量を規定する ことによって算出することを特徴とする、集積回路のレイアウトをコンピュータ
   によって検証する方法。
2. 【請求項２】 −フィルタポリゴンの寸法を、設定した最大寸法と比較し、 −フィルタポリゴンの寸法が、設定した最大寸法よりも大きく寸法設定されてい
   る場合に、フィルタポリゴンを、最大寸法を上回らない寸法を備えた区分けセル
   に分割し、 −区分けセルにつき、選択的な配線網と、各区分けセルとオーバラップする別の
   配線網の部分との間の容量を算出する、請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】 フィルタポリゴンの分割を、それぞれフィルタポリゴンの輪
   郭における不連続点と交差する垂直なかつ水平なカットラインを使用して行う、
   請求項２記載の方法。
4. 【請求項４】 設定した最小寸法よりも小さく寸法設定されている寸法を備
   えた区分けセルの１つを、隣り合って位置する区分けセルと接合する、請求項３
   記載の方法。
5. 【請求項５】 −配線網の座標が、回路網リストとしてコンピュータにメモ
   リされており、 −各区分けセルのために、各区分けセルの幾何学的形状に関する情報と、別の配
   線網とのオーバラップに関する情報とを有するファイルを形成する、請求項２か
   ら４までのいずれか１項記載の方法。
6. 【請求項６】 −レイアウト内に含まれている複数の選択的な配線網に対し
   て、レイアウト内に含まれている全ての別の配線網に関する容量を、 −選択的な各配線網の形状に相当するフィルタポリゴンをそれぞれ規定し、この
   場合、フィルタポリゴンの寸法が、選択的な配線網の寸法に比べて、設定可能な
   幅だけ増加されており、 −各フィルタポリゴンとオーバラップする全ての別の配線網の部分をそれぞれ規
   定し、 −選択的な配線網と、各フィルタポリゴンとオーバラップする全ての別の配線網
   の部分との間の容量をそれぞれ規定する ことによって算出する、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
7. 【請求項７】 集積回路を製造する方法において、 −回路デザインから出発して、コンピュータによって、配線網を有するレイアウ
   トを作成し、 −レイアウトをコンピュータによって検証するために、選択的な配線網に対して
   、別の配線網に関する容量を、 選択的な配線網の形状に相当するフィルタポリゴンを規定し、この場合、フィ
   ルタポリゴンの寸法が、選択的な配線網の寸法に比べて、設定可能な幅だけ増加
   されており、 フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分を規定し、 選択的な配線網と、フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分と
   の間の容量を規定する ことによって算出し、 −該容量を回路デザインと比較し、ずれが生じた場合にレイアウトを最適化し、 −検証したレイアウトから出発してマスクセットを製造し、該マスクセットを、
   集積回路を製造するために使用する ことを特徴とする、集積回路を製造する方法。
8. 【請求項８】 −フィルタポリゴンの寸法を、設定した最大寸法と比較し、 −フィルタポリゴンの寸法が、設定した最大寸法よりも大きく寸法設定されてい
   る場合に、フィルタポリゴンを、最大寸法を上回らない寸法を備えた区分けセル
   に分割し、 −区分けセルにつき、選択的な配線網と、各区分けセルとオーバラップする別の
   配線網の部分との間の容量を算出する、請求項７記載の方法。
9. 【請求項９】 フィルタポリゴンの分割を、それぞれフィルタポリゴンの輪
   郭における不連続点と交差する垂直なかつ水平なカットラインを使用して行う、
   請求項８記載の方法。
10. 【請求項１０】 設定した最小寸法よりも小さく寸法設定されている寸法を
    備えた区分けセルの１つを、隣り合って位置する区分けセルと接合する、請求項
    ９記載の方法。
11. 【請求項１１】 −配線網の座標が、回路網リストとしてコンピュータにメ
    モリされており、 −各区分けセルのために、各区分けセルの幾何学的形状に関する情報と、別の配
    線網とのオーバラップに関する情報とを有するファイルを形成する、請求項８か
    ら１０までのいずれか１項記載の方法。
12. 【請求項１２】 −レイアウト内に含まれている複数の選択的な配線網に対
    して、レイアウト内に含まれている全ての別の配線網に関する容量を、 −選択的な各配線網の形状に相当するフィルタポリゴンをそれぞれ規定し、この
    場合、フィルタポリゴンの寸法が、選択的な配線網の寸法に比べて、設定可能な
    幅だけ増加されており、 −各フィルタポリゴンとオーバラップする全ての別の配線網の部分をそれぞれ規
    定し、 −選択的な配線網と、各フィルタポリゴンとオーバラップする全ての別の配線網
    の部分との間の容量をそれぞれ規定する ことによって算出する、請求項７から１１までのいずれか１項記載の方法。
13. 【請求項１３】 集積回路のレイアウトをコンピュータによって検証するた
    めの装置において、 −１つのプロセッサユニットが設けられており、該プロセッサユニットにおいて
    、レイアウト内に含まれている選択的な配線網に対して、レイアウト内に含まれ
    ている別の配線網に関する容量が、 −選択的な配線網の形状に相当するフィルタポリゴンが規定されるようになって
    おり、フィルタポリゴンの寸法が、選択的な配線網の寸法に比べて、設定可能な
    幅だけ増加されており、 −フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分が規定されるようにな
    っており、 −選択的な配線網と、フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分と
    の間の容量が規定されるようになっている ことによって算出可能であることを特徴とする、集積回路のレイアウトをコンピ
    ュータによって検証するための装置。
14. 【請求項１４】 −複数のプロセッサユニットが設けられており、該プロセ
    ッサユニットにおいて、レイアウト内に含まれている複数の選択的な配線網のそ
    れぞれ１つに対して、レイアウト内に含まれている全ての別の配線網に関する容
    量が、 −選択的な各配線網の形状に相当するフィルタポリゴンがそれぞれ規定されるよ
    うになっており、フィルタポリゴンの寸法が、選択的な配線網の寸法に比べて、
    設定可能な幅だけ増加されており、 −各フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部分が規定されるように
    なっており、 −選択的な各配線網と、各フィルタポリゴンとオーバラップする別の配線網の部
    分との間の容量が規定されるようになっている ことによって算出可能である、請求項１３記載の装置。