JP2002511641A - 始動困難な無電極ランプ用の電源装置 - Google Patents

始動困難な無電極ランプ用の電源装置

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JP2002511641A
JP2002511641A JP2000544162A JP2000544162A JP2002511641A JP 2002511641 A JP2002511641 A JP 2002511641A JP 2000544162 A JP2000544162 A JP 2000544162A JP 2000544162 A JP2000544162 A JP 2000544162A JP 2002511641 A JP2002511641 A JP 2002511641A
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JP2000544162A
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フランク、ジェローム、ディー
ペンゼンスタドラー、アーネスト、ジー
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フュージョン・ユーヴィー・システムズ・インコーポレイテッド
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05B41/14—Circuit arrangements
    • H05B41/24—Circuit arrangements in which the lamp is fed by high frequency ac, or with separate oscillator frequency
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 無電極ランプの毎回の確実な始動のために必要な電力出力を供給できる、無電極ランプ用の電源装置を提供する。 【解決手段】 無電極ランプ(R)用の電源装置においてランプが外部の始動電極(26)とランプ(2)へ結合された第１及び第２のマグネトロン(8,10)とを有しており、第１及び第２のマグネトロンへそれぞれ接続された第１及び第２の電源(12,14)と、第１の位置がランプの始動中に第２の電源を第２のマグネトロンから切り離しかつ第２の電源の出力を第１の電源の出力へ接続することによりそれらを互いに足し合せて第１のマグネトロンへ接続する位置であり、第２の位置がランプの始動後に第２の電源を第１のマグネトロンから切り離しかつ第２の電源を第２のマグネトロンへ接続する位置であるスイッチ(16)と、第１及び第２の電源並びに始動電極の始動を同期させることによりランプの始動中にそれらを同時にオンとするべく適応された制御装置(32)とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的には、高圧及び／又は電気陰性充填物を内包する無電極ラン
プに関し、特に始動困難な無電極ランプを始動させるに十分な出力を供給する電
源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本願は、係属中の米国特許出願No.08/696,706"Method and Apparatus for Sta
rting Difficult to Start Electrodeless Lamps"に関連し、ここに参照するこ
とによりその内容を含める。
【０００３】 １気圧を超える静止した充填物圧力及び／又は電気陰性充填物組成をもつ無電
極ランプは、通常、始動が困難である。高圧であることと電気陰性充填物添加物
があることの双方により、自由電子数の増加を抑制する機構をもたらす。これら
の自由電子の所与の局所的密度は、バルブの点灯事象の達成において重要である
。点灯抑制機構を克服するためには、通常、どのような励起モードを使用する場
合であってもその励起モードの振幅を増大させることが行われる。無電極ランプ
においては、バルブ充填物をイオン化するために必要な電界強度がバルブを取り
巻く空気及び構造のパッシェン・パラメータを超える場合にこの手法における危
険性が顕在化する。この場合、マイクロウェーブすなわちＲＦ(高周波)エネルギ
ーがアークへ供給され、バルブが点灯するのを妨げランプを損傷させることもあ
る。
【０００４】 米国特許No.5,571,439は、加熱用途に用いられるマグネトロン用の種々の電源
装置を開示する。その電源装置は、三相交流主電源ラインからの供給を受ける２
個の同一の電源ユニットを具備する。各電源ユニットはマグネトロンへ接続され
、マグネトロンのマイクロウェーブ出力は、中に紫外線ランプが固定されたマイ
クロウェーブ・キャビティへ接続された導波管を通して紫外線ランプへ結合され
る。このランプは、印刷用途等のにおいて硬化目的で使用される。無電極ランプ
においては、マイクロウェーブが、エンベロープの内側に設置された放電発生充
填物へ結合される。エンベロープは、そのエンベロープの内壁の所定領域上に設
置された電場又は二次電子放出物質を内包する。外部の高電圧電極が動かされて
、始動物質を含む所定領域近傍にてエンベロープに接触させられる。電源及び電
極は、ランプを始動するために作動させられる。始動後、電極はエンベロープか
ら離され後退させられる。
【０００５】 出願人は、従来の電源装置を用いて始動困難なランプを始動させることに、確
実性がないことを認知した。ときには、ランプは最初の試みで始動する。別のと
きには、ランプが始動する前に何回か試みることが必要である。出願人は、電場
又は二次電子放出物質へ印加される高電圧インパルスが、マグネトロン電流のピ
ーク近傍で確実に印加されなければならないことを見出した。さらに、自由電子
数が点灯に必要な局所的密度を達成するために十分な時間の高電場が発生される
ように双方のマグネトロンが調整されなければならない。現状の技術では、電源
装置はこれらの要求を満足せず、結果的にランプ始動は信頼性のないものとなっ
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、無電極ランプの毎回の確実な始動のために必要な電力出力を
供給できる、無電極ランプ用の電源装置を提供することである。
【０００７】 本発明の更なる目的は、ランプを始動するために必要な電力レベルを与えるべ
く利用可能な電源を同期させる、無電極ランプ用の電源装置を提供することであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
概説すると、本発明は、無電極ランプ用のマルチチャネル電源を提供する。こ
のランプは、第１及び第２のマグネトロンを有し、各々が独立した電源チャネル
により電力供給され、そしてバルブの設置された共通のマイクロウェーブ・キャ
ビティへ結合される。またランプは、第１及び第２の位置をもつスイッチを有し
、第１の位置は、ランプ始動中に第２の電源の出力を第２のマグネトロンから切
り離しかつ第２の電源を第１の電源と並列にする位置である。第２の位置は、ラ
ンプの始動後に第２の電源を第１のマグネトロンから切り離しかつ第２の電源を
第２のマグネトロンへ接続する位置である。そしてランプは、第１及び第２の電
源の始動と、始動電極用電源の始動とを同期させるべく適応された制御装置を有
し、それによりそれらはランプ始動の際に同時にオンとなる。
【０００９】 本発明はさらに、マイクロウェーブにより電力供給される無電極ランプを始動
させる方法を提供する。この方法は、高電圧電源へ接続された容量結合始動電極
を設けるステップと、第１及び第２のマイクロウェーブ源へそれぞれ接続された
第１及び第２の電源を設けるステップと、第１及び第２の電源を第１のマイクロ
ウェーブ源へ接続しかつ第２の電源を第２のマイクロウェーブ源から切り離すこ
とにより第１及び第２の電源の出力を組み合わせるステップと、第１及び第２の
電源並びに高電圧電源を同時に起動させるステップと、始動電極への高電圧電源
をオフにするステップと、電極をエンベロープから後退させるステップと、第１
及び第２の電源を互いに切り離しかつ第２の電源を第２のマイクロウェーブ源へ
接続するステップとを有する。 これらの及び他の本発明の目的は、以下の詳細な説明から明らかとされよう。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明により作製された無電極ランプＲを概略的に開示する。ランプ
は、プラズマ充填物４を具備するエンベロープ２を有する。エンベロープ２はマ
イクロウェーブ・キャビティ６の内部に設置されている。第１及び第２のマイク
ロウェーブ源すなわちマグネトロン８及び１０は、導波管を介してマイクロウェ
ーブ・キャビティの対向する両端のそれぞれに動作可能に結合されることにより
、充填物４からの放電を維持する。第１及び第２の可変電源１２及び１４は直流
電力を発生し、それぞれマグネトロン８及び１０へ動作可能に接続される。各電
源は、マグネトロンに必要な高電圧出力、通常４．８ｋＶ、８８０ｍＡを付与す
るべくステップアップ変圧器を具備する。電源１２及び１４は、米国特許No.5,5
71,439に開示されている。始動位置１８にある高電圧単極二切換（ＳＰＤＴ）リ
レー１６は、ランプの始動時に電源１４の出力をマグネトロン８へ切り換えるこ
とにより、マグネトロン８に対して電源１２及び１４の組み合わされた出力を供
給する。ランプが無事始動した後は、リレー１６はその稼動位置２０へ切り替わ
ることにより電源１４をマグネトロン１０へ再接続する。タイマ２２は予め設定
された時間約１２８０ｍｓを規定し、その間リレー１６は始動位置に保持される
。キャパシタ２４がリレー１６を跨いで接続されることにより、リレーの切換中
に電源１２及び１４の変圧器に蓄積されるエネルギーを吸収する利点がある。電
源１２及び１４は、好適には４８０ＶＡＣの三相電源へ接続される。
【００１１】 高電圧始動電極２６は、マグネトロン８へ接続されるエンベロープの一端近傍
に設置される。マグネトロン８は、始動中に電源１２及び１４の組み合わされた
出力を受ける。ランプが始動するとき、電極２６はマイクロウェーブ・キャビテ
ィ６中へ動かされてエンベロープ壁と接触させられ、３００ｍｓの間電圧を印加
され、その後エンベロープ２から離されマイクロウェーブ・キャビティ６の外側
へ後退させられる。無事に始動した後ランプが動作している間、電極２６は、マ
イクロウェーブ・キャビティの外側に留まる。高電圧源２８は、始動電極２６へ
動作可能に接続される。係属中の米国特許出願No.08/696,706は、さらに詳細に
始動電極１８を開示しており、ここに参照することによりその内容を含める。
【００１２】 図２Ａ及び図２Ｃは、電源１２及び１４の出力の電流波形をそれぞれ示す。こ
れらの出力は、標準的な位相制御ＳＣＲを用いて全波整流される。これらの波形
は位相が１２０度シフトしている。これは、ライン電源が標準の商用６０若しく
は５０Ｈｚ三相交流だからである。
【００１３】 図２Ｂは、電極電源２８へのライン入力を示す。
【００１４】 フォトセル３０は、始動から約１２８０ｍｓ後にエンベロープ２内部から伝わ
る光の存在を監視する。ランプが無事に始動しなかったならば、光は存在しない
ためフォトセル３０は制御装置３２に対して電源１２及び１４をオフにするため
の信号を発生する。ランプが無事始動したならば、フォトセル３２はエンベロー
プ２から伝わる光の存在を監視し続け、バルブが点灯しているという信号を与え
る。バルブが消灯したならば、フォトセルは制御装置に対して電源１２及び１４
をオフにするための信号を送る。光ファイバ・ケーブル３４は、エンベロープの
端部からフォトセル３２まで光を伝送する。1997年4月25日出願の係属中の米国
特許出願No.08/840,709は、フォトセル構成を開示しており、ここに参照するこ
とによりその内容を含める。
【００１５】 高電圧電源２８は、図３にさらに詳細に開示される。変圧器３６は、キャパシ
タ３８を充電するために供給電圧を約１０ｋＶへ昇圧する。スパーク間隙スイッ
チ４０は、サイン波入力の正及び負のピーク近傍の所定の電圧で閉じることによ
り、キャパシタ３８を自動変圧器４２へ放電させる。自動変圧器４２は始動電極
２６へ接続される。自動変圧器は、１２０Ｈｚ周期で約１μｓ(マイクロ秒)持続
する約８０ｋＶのインパルス出力を発生するべく２ＭＨｚ程度で共振する。
【００１６】 制御装置３２は、電源１２及び１４、並びにフォトセル３２へ動作可能に接続
される。制御装置３２が電源１２及び１４の同期的始動を実行することにより、
それぞれが１２０度位相シフトした状態で同時に起動することになる。図４Ａ及
び図４Ｂに最もよく示されている。制御装置はさらに、電源１２及び１４の始動
と同時に電源２８を電極２６へ接続する。これにより電極２６は、電源１２及び
１４からの出力電力があるときに電力供給される。これは図４Ｃに最もよく示さ
れる。従って、電源１２及び１４並びに始動電極２６は、ランプの始動中に同期
されるという利点があり、これにより、発生するプラズマを維持するためのマグ
ネトロンへの電力があるときのみに電極へ電力が供給されることを確保する。ラ
ンプを始動させるために同期は重要であり、これについては後述する。システム
の回路構造により課されるいかなる遅延もこれにより排除される。
【００１７】 動作において、リレー１６はその始動位置１８に切り替わり、電源１４の出力
をマグネトロン８へ接続する。電源１２及び１４はその後制御装置を通して起動
されることにより、双方の電源の出力が１２０度移送シフトし同期してライン上
に現れる。これは図４Ａ及び図４Ｂに示される。いずれの電源も、それぞれがそ
の始動信号を受信するまでは始動しない。１つの電源出力が他方の電源出力より
先にライン上に現れる原因となる回路構造によって生じるランダムな遅延は、取
り除かれる。双方の電源出力は、一緒にライン上に現れ、ただ１２０度のライン
移送シフトによってのみ区別される。このようにして電源１２及び１４の出力は
足し合わされ、マグネトロン８へ接続される。マグネトロン８は始動電極２６に
近い方にある。図４Ａ及び図４Ｂを組み合わせた出力は、図４Ｄに示される。高
電圧始動電極２６が動かされ、エンベロープ２と接触させられると、高電圧電源
２８が、電源１２及び１４と同時にオンとされる。これは図４Ｃに最もよく示さ
れる。電極２６は約３００ｍｓの間電力供給され、高電圧電場を電場放射源４４
に対して及ぼす。電場放射源４４は、例えばセシウム、カリウム、ルビジウム、
及びナトリウム含有化合物である。これは、上記の米国特許出願No.08/696,706
に開示されている。電源１２及び１４の組合せ出力の各周期の最初すなわち前端
（フロント・エッジ）における高電圧サイン波入力の正及び負のほぼピークにお
いて、スパーク間隙４０が短絡するとき、電極２６は、１２０Ｈｚでエネルギー
を供給される。これにより組合せ出力のエネルギーを最大限に活用することとな
る。図４Ｃ及び図４Ｄを参照すると、図４Ｃの波形における不連続は、組合せ出
力波形の負のピークの前端で放電するスパーク間隙スイッチ４０により生じる。
ライン４５は、組合せ出力に関する半周期毎のスパーク間隙の放電のタイミング
を示す。ここで、一般的に４７で示される各放電は、組合せ出力の前端で起きる
ことを注記する。マイクロウェーブ場と連携して電極２６により与えられる高電
場は、電場及び／又は二次電子放出物質から電子を放射させる。これらの電子は
、マイクロウェーブ場により加速されさらにイオン化事象を発生させ、ついには
バルブ充填物４が通常動作に必要なイオン化レベルに到達する。組合せ出力の広
い負のピーク４６は、マグネトロン８に対してより長い「オン」時間を与えるこ
とにより、エンベロープ内の電子数を増大させる。それにより、各サイクル毎に
電力出力が零になるときでもプラズマは消失しない。
【００１８】 約３００ｍｓ後、電極電源２８への入力は落とされ、電極２６はエンベロープ
から離されマイクロウェーブ・キャビティ６の外側へ後退させられる。始動電極
が後退させられて約１秒後、リレー１６は、電源１４をマグネトロン８から切り
離し、電源１４をマグネトロン１０へ接続するべく操作される。その後、フォト
セル３０は、エンベロープ２内部から来る光の監視を開始する。フォトセル３０
が光を検出すると直ちに制御装置３２は、電源１２及び１４の電力出力を、予め
設定された１００％までの動作レベルへ変更する。光が検出されない場合は、電
源１２及び１４はシャットダウンされる。
【００１９】 電源１２及び１４の出力を互いに接続して足し合わせた出力をマグネトロン８
へ供給することにより、マグネトロン８はエンベロープの高電圧始動電極２６に
近い方の端部に結合されているので、その端部において確実にプラズマが発生し
、そしてエンベロープ２の他方の端部へと進行していく。
【００２０】 制御装置３２の同期機能は、図５に示される。始動ボタン４８は、ランプを始
動させるために押される。始動信号は、電源１２、１４及び２８のそれぞれの制
御装置５０、５２及び５４へ送られる。それぞれのＡＮＤゲート５６、５８及び
６０は、それぞれの電源スイッチ６２、６４及び６６を同時にオンとするために
用いられる。
【００２１】 本発明は、好適例について説明されたが、本発明の原理に一般的に従って更な
る変更、用途及び又は適応が可能であり、本発明に関連する技術における公知の
若しくは通常の実施の範囲内で行われ又は上述の本質的特徴に当てはまる本発明
の開示からの発展を含み、本発明の範囲に含まれることは明らかである。 （図面の簡単な説明） 図１は、本発明により作製された電源を用いた無電極ランプの概略構成図であ
る。 図２Ａ及び図２Ｃは、各々マグネトロンへ接続された一対の電源の電流出力プ
ロットである。 図２Ｂは、始動電極用電源に接続されたライン電源の電力入力プロットである
。 図３は、本発明に用いられる始動電極用の高電圧電源の概略構成図である。 図４Ａ及び図４Ｂは、ランプ始動中の一対の電源の電流出力プロットである。 図４Ｃは、ランプ始動中のスパーク間隙スイッチの点火により生ずる歪みを示
す図２Ｂのプロットである。 図４Ｄは、ランプの始動中に用いられる図４Ａ及び図４Ｂの組み合わされた波
形のプロットである。 図５は、数個の電源の始動を同期させるための制御方式の概略図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ) ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ， ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，Ｄ Ｋ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＵ ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ， ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，Ｍ Ｄ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ， ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，Ｖ Ｎ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 ペンゼンスタドラー、アーネスト、ジー アメリカ合衆国 20878−1357 メリーラ ンド州、ガイザースバーグ、クロッパー・ ロード 910 Ｆターム(参考） 3K072 AA17 BA01 CB10 DA00 DD04 DD06 DE03 DE06

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 無電極ランプ用の電源装置においてランプが外部の始動電極
    と該ランプへ結合された第１及び第２のマグネトロンとを有しており、前記電源
    装置が、 ａ）第１及び第２のマグネトロンへそれぞれ接続された第１及び第２の電源と
    、 ｂ）第１及び第２の位置をもつスイッチであって、前記第１の位置が前記ラン
    プの始動中に前記第２の電源を前記第２のマグネトロンから切り離しかつ前記第
    ２の電源の出力を前記第１の電源の出力へ接続することによりそれらを互いに足
    し合せて前記第１のマグネトロンへ接続する位置であり、前記第２の位置が前記
    ランプの始動後に前記第２の電源を前記第１のマグネトロンから切り離しかつ前
    記第２の電源を前記第２のマグネトロンへ接続する位置である、その第１及び第
    ２の位置をもつスイッチと、 ｃ）前記第１及び第２の電源並びに前記始動電極の始動を同期させることによ
    り前記ランプの始動中にそれらを同時にオンとするべく適応された制御装置とを
    有する 電源装置。
  2. 【請求項２】 ａ）前記第１及び第２の電源の出力の間に接続されたキャパ
    シタをさらに有する請求項１に記載の電源装置。
  3. 【請求項３】 ａ）前記スイッチと動作可能に連携するタイマをさらに有し
    、 ｂ）前記タイマが予め設定された時間の後、前記スイッチを前記第２の位置と
    するべく動作するよう適応されている 請求項１に記載の電源装置。
  4. 【請求項４】 無電極ランプにおいて、 ａ）充填物を内包するエンベロープと、 ｂ）前記ランプが始動するとき前記エンベロープの所定領域の近傍に設置され
    た始動電極と、 ｃ）放電を維持すべく前記充填物へ結合された第１及び第２の励起源へそれぞ
    れ接続された第１及び第２の電源と、 ｄ）第１及び第２の位置をもつスイッチであって、前記第１の位置が前記ラン
    プの始動中に前記第２の電源を前記第２の励起源から切り離しかつ前記第２の電
    源の出力を前記第１の電源の出力へ接続することによりそれらを互いに足し合わ
    せて前記第１の励起源へ結合させる位置であり、前記第２の位置が前記ランプの
    始動後に前記第２の電源を前記第１の励起源から切り離しかつ前記第２の電源を
    前記第２の励起源へ接続する位置である、その第１及び第２の位置をもつスイッ
    チと、 ｅ）前記ランプの始動中に前記電極へ動作可能に接続される高電圧電源と、 ｆ）前記第１及び第２の電源並びに前記高電圧電源を同期させることにより前
    記ランプの始動中にそれらを同時にオンとするべく適応された制御装置とを有す
    る 無電極ランプ。
  5. 【請求項５】 ａ）前記第１及び第２の電源の出力の間に接続されたキャパ
    シタをさらに有する請求項４に記載の無電極ランプ。
  6. 【請求項６】 ａ）前記スイッチと動作可能に連携するタイマをさらに有し
    、 ｂ）前記タイマが予め設定された時間の後、前記スイッチを前記第２の位置と
    するべく動作するよう適応されている 請求項１に記載の無電極ランプ。
  7. 【請求項７】 ａ）前記高圧電源がスパーク間隙スイッチを有する請求項４
    に記載の無電極ランプ。
  8. 【請求項８】 ａ）前記高圧電源が前記スパーク間隙スイッチの出力へ接続
    された自動変圧器を有する請求項７に記載の無電極ランプ。
  9. 【請求項９】 ａ）前記第１及び第２の励起源がマイクロウェーブ源を含む
    請求項４に記載の無電極ランプ。
  10. 【請求項１０】 マイクロウェーブにより電力供給される無電極ランプを始
    動させる方法において、 ａ）高電圧電源へ接続された始動電極を設けるステップと、 ｂ）第１及び第２のマイクロウェーブ源へそれぞれ接続された第１及び第２の
    電源を設けるステップと、 ｃ）前記第１及び第２の電源を前記第１のマイクロウェーブ源へ接続しかつ前
    記第２の電源を前記第２のマイクロウェーブ源から切り離すことにより前記第１
    及び第２の電源の出力を組み合わせるステップと、 ｄ）前記第１及び第２の電源並びに前記高電圧電源を同時に起動させるステッ
    プと、 ｅ）前記始動電極への前記高電圧電源をオフとするステップと、 ｆ）前記電極をエンベロープから離して後退させるステップと、 ｇ）前記第１及び第２の電源を互いに切り離しかつ前記第２の電源を前記第２
    のマイクロウェーブ源へ接続するステップとを有する 無電極ランプの始動方法。
  11. 【請求項１１】 予め設定された時間後に前記ランプから来る光を検出する
    ステップをさらに含む請求項１０に記載の方法。
  12. 【請求項１２】 前記予め設定された時間が約１秒である請求項１０に記載
    の方法。
  13. 【請求項１３】 前記ランプからの光が検出されない場合、前記第１及び第
    ２の電源をオフとするステップをさらに含む請求項１０に記載の方法。
  14. 【請求項１４】 前記ランプからの光が検出された場合、前記第１及び第２
    の電源の出力レベルを予め設定されたレベルに上げるステップを含む請求項１０
    に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 前記第１及び第２の電源が、ステップｄ）において１００
    ％未満の出力レベルで電力供給される請求項１０に記載の方法。
  16. 【請求項１６】 前記電極が約３００ｍｓの間電力供給される請求項１０に
    記載の方法。
  17. 【請求項１７】 前記第１及び第２の電源が互いに約１秒の間接続される請
    求項１０に記載の方法。
  18. 【請求項１８】 前記電極が、前記第１及び第２の電源の組み合わされた出
    力の各周期のほぼ前端において周期的に電力供給される請求項１０に記載の方法
    。
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