JP2002372974A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001182197A JP4441843B2 (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 薄膜音響共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001182197A JP4441843B2 (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 薄膜音響共振器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002372974A JP2002372974A (ja) | 2002-12-26 |
JP2002372974A5 true JP2002372974A5 (ja) | 2006-05-18 |
JP4441843B2 JP4441843B2 (ja) | 2010-03-31 |
Family
ID=19022345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001182197A Expired - Fee Related JP4441843B2 (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 薄膜音響共振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4441843B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005033379A (ja) | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Tdk Corp | 薄膜バルク波振動子およびその製造方法 |
JP4657660B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2011-03-23 | パナソニック株式会社 | 薄膜バルク音響共振器、その製造方法、フィルタ、複合電子部品および通信機器 |
US7212082B2 (en) | 2003-12-19 | 2007-05-01 | Ube Industries, Ltd. | Method of manufacturing piezoelectric thin film device and piezoelectric thin film device |
US7323805B2 (en) | 2004-01-28 | 2008-01-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Piezoelectric thin film device and method for manufacturing the same |
JP2005244184A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-09-08 | Toshiba Corp | 薄膜圧電素子及び薄膜圧電素子の製造方法 |
JP4535841B2 (ja) | 2004-10-28 | 2010-09-01 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタ |
JP2006166419A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 |
WO2006067949A1 (ja) * | 2004-12-24 | 2006-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電薄膜共振子およびその製造方法 |
JP4691163B2 (ja) * | 2006-08-03 | 2011-06-01 | パナソニック株式会社 | 周波数可変音響薄膜共振器、フィルタ、及びそれを用いた通信装置 |
JP4730383B2 (ja) * | 2008-01-21 | 2011-07-20 | 宇部興産株式会社 | 薄膜音響共振器及びその製造方法 |
JP5257580B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-08-07 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 |
JP5598948B2 (ja) | 2009-07-01 | 2014-10-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 圧電体薄膜の製造方法および当該製造方法により製造される圧電体薄膜 |
JP5905677B2 (ja) | 2011-08-02 | 2016-04-20 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JP6567955B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2019-08-28 | 京セラ株式会社 | 圧電素子およびこれを備えた音響発生器、音響発生装置、電子機器 |
EP3723285A4 (en) | 2018-01-19 | 2020-12-30 | Wuhan Yanxi Micro Components Co., Ltd. | VOLUME FILM ACOUSTIC RESONATOR |
CN108134589B (zh) * | 2018-02-05 | 2020-02-18 | 武汉衍熙微器件有限公司 | 一种薄膜体声波谐振器 |
CN110868177B (zh) * | 2019-04-23 | 2023-08-15 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 谐振器和滤波器 |
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2001
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