JP2002367930A - Dicing device provided with z correction - Google Patents

Dicing device provided with z correction

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JP2002367930A JP2001168213A JP2001168213A JP2002367930A JP 2002367930 A JP2002367930 A JP 2002367930A JP 2001168213 A JP2001168213 A JP 2001168213A JP 2001168213 A JP2001168213 A JP 2001168213A JP 2002367930 A JP2002367930 A JP 2002367930A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dicing device which can correct the position in Z direction of a blade with simple operation even when the suction board of a work table is exchanged. SOLUTION: The dicing device is provided with a map correction means 46 which corrects the error in straightness at the time of the blade 12 shifting in Y direction, and further is provided with an inclination correction means 48 which corrects the inclination of the suction board 24A of the work table 24.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置に係り、特に半導体ウェーハや電子材料(ワーク)等を碁盤目状に切断したり精密な溝入れ加工をしたりするダイシング装置に関する。 The present invention relates to relates to a dicing apparatus, and more particularly to a dicing apparatus or the precision grooving or cut in a grid pattern of a semiconductor wafer or electronic materials (work) or the like.

【0002】 [0002]

【従来の技術】ダイシング装置は、回転刃(ブレード) BACKGROUND OF THE INVENTION Dicing apparatus, the rotary blade (blade)
を高速回転させてワークと相対的に切削送り方向であるX方向、インデックス送り方向であるY方向及び切込み送り方向であるZ方向に移動させて該ワークを加工する装置である。 Which is a high-speed rotation is allowed by the X-direction is a relatively cutting feed direction as the workpiece is moved in the Z direction is a Y direction and the cut feed direction is the index feed direction for machining the workpiece device. ところでダイシング装置で加工するこれらのワークの中には、加工する溝の深さを極めて高精度に仕上げなければならないものもある。 However in these work to be processed by a dicing apparatus, some must finish the depth of the groove to be processed extremely high accuracy. この加工溝の深さは、ブレードのZ方向位置で決まるが、ブレードのZ方向位置を変化させてしまう要因としては、Z軸位置決め誤差、Y軸真直度誤差及びワークテーブル上面のY軸に対する傾き等がある。 The depth of the processed groove is determined by the Z direction position of the blade, as the factors that would alter the Z-direction position of the blade, the inclination with respect to the Z-axis positioning error, Y-axis straightness Y axis errors and the work table top and the like. これらの要因の内Z軸位置決め誤差については、Z軸にリニアスケールを用いて閉ループ制御を行うことで実用上は解決できる。 The inner Z-axis positioning error of these factors on the practical by performing a closed loop control using a linear scale in the Z-axis can be solved. またワークテーブル上面のY軸に対する傾きについては、ダイシング装置の製造過程でワークテーブルの脚部に設けられているネジ等の調整機構で機械的に調節することにより、問題の無い範囲に組立てられている。 With respect to the inclination relative to the Y-axis of the work table top, by adjusting mechanically the adjustment mechanism such as a screw which is provided on the legs of the work table in the process of manufacturing the dicing apparatus, assembled in no range problem there. 更に、Y軸真直度誤差については、できるだけ真直度のよいガイドを使用すると共にピッチングのすくない案内構造を用いるにしても、それだけでは解決できない。 Furthermore, for the Y-axis linearity errors, even in the use of fewer guide structures pitching while using as much as possible straightness good guide, it just can not be solved. そこで、Y軸の真直度精度を予め測定してそのデータを記憶させ、そのデータを基にブレードのZ方向位置を補正することが行われている。 Accordingly, by previously measuring the straightness accuracy of the Y-axis is stored the data, it has been made to correct the Z direction position of the blade on the basis of the data.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】ところでダイシング装置においては、ワークを載置するワークテーブルの上面にはワークを吸着固定する吸着盤が組み込まれている。 In [0005] Incidentally dicing machine, on the upper surface of the work table for placing a workpiece suction cup for attracting fixing the workpiece is incorporated.
この吸着盤はワークテーブル上面ベースに着脱可能に組み込まれており、加工するワークのサイズに応じて対応する吸着盤がその都度組替えられる。 The suction cups are integrated into the detachable work table top base, suction cups corresponding depending on the size of the workpiece to be machined is reclassified each time. また長期の使用により吸着盤に傷やその他の損傷が生じた場合には新しい吸着盤と交換される。 Also it is replaced with a new suction cups if scratches and other damage caused to the suction cups by the long-term use.

【0004】しかし、この従来のダイシング装置では、 [0004] However, in this conventional dicing machine,
吸着盤を交換する度に吸着盤上面のY軸に対する傾きが変わってしまうため、その都度ワークテーブルの脚部に設けられているネジ等の調整機構で機械的に調節し直さねばならなかった。 Since thus the inclination is changed with respect to the Y-axis of the suction cup top whenever exchanging suction cups, had to re-adjust mechanically the adjustment mechanism such as a screw which is provided on the legs of each case worktable. しかもこの調整作業はダイシング装置のオペレータでは困難であり、メンテナンス技術者であってもなおかつ手を焼く作業であった。 Moreover, this adjustment is difficult in the operator of the dicing apparatus, was the work of burning yet hand even a maintenance engineer.

【0005】本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、吸着盤を交換した場合でも簡単な操作でブレードのZ方向位置を補正できるダイシング装置を提供することを目的とする。 [0005] The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a dicing apparatus capable of correcting the Z-direction position of the blade by a simple operation even when replacing the suction cup.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達成するために、請求項1の発明は、先端にワークを加工する回転刃を備えたスピンドルと、前記ワークを載置するワークテーブルとを有し、前記回転刃と前記ワークテーブルとは切削送り方向であるX方向、インデックス送り方向であるY方向及び切込み送り方向であるZ方向に夫々相対移動して前記ワークを加工するダイシング装置において、予め前記回転刃が前記ワークテーブルに対してY方向に相対移動する時の真直度データと前記ワークテーブル上面の傾斜データとが入力されている記憶部と、前記記憶部で記憶されている該真直度データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ方向変位の補正データを作成するマップ補正手段と、前記記憶部に記憶されている該ワー SUMMARY OF THE INVENTION The present invention, in order to achieve the above object, the invention of claim 1, a spindle having a rotary blade for machining the workpiece on the tip, a work table for mounting the workpiece has the door, said rotary blade and said work table is a cutting feed direction X direction, the dicing apparatus to each relative movement in the Z direction is a Y direction and the cut feed direction is the index feed direction to machine the workpiece in, are stored a storage unit that is inputted with inclination data of straightness data and the work table top when the previously said rotary blade moves relative to the Y direction with respect to the workpiece table, in the storage unit and map correcting means of generating correction data Z direction displacement in the Y direction each position of the rotary blade based on said vacuum Jikado data, the word stored in the storage unit テーブル上面の傾斜データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ方向位置の補正データを作成する傾斜補正手段と、前記マップ補正手段と前記傾斜補正手段との各補正データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ方向位置を制御するZ The rotation based on the correction data and the tilt correcting means for generating correction data Z direction position in the Y direction each position of the rotary blade based on the gradient data of table top, and the map correction means and the inclination correction means Z for controlling the Z direction position in the Y direction each position of the blade
制御手段とを有していることを特徴としている。 It is characterized in that a control means.

【0007】請求項1の発明によれば、回転刃のY軸真直度誤差によるZ方向変位の補正データを作成するするマップ補正手段を有すると共に、ワークテーブル上面の傾斜補正データを作成する傾斜補正手段を有し、各補正データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ According to the invention of claim 1, which has a map correction means for creating the correction data in the Z-direction displacement by the Y-axis linearity errors of the rotary blade, tilting correction to create a slope correction data in the work table top and means, Z in the Y direction each position of the rotary blade based on the correction data
方向位置を制御しているので、ワークテーブル上面の傾きにより生じるZ方向の誤差を機械的調整によらず補正できる。 Since the control direction position can be corrected irrespective of the Z direction of the error caused by the inclination of the work table top to mechanical adjustment.

【0008】請求項2の発明は、前記記憶部で予め記憶される傾斜データは、前記回転刃と前記ワークテーブルの上面との接触を検出して行うカッターセットのデータを用いて求められることを特徴としている。 [0008] The invention according to claim 2, gradient data previously stored in the storage unit, that is determined using the data of the cutter set performed by detecting the contact between the upper surface of the said rotary blade work table It is characterized.

【0009】請求項2の発明によれば、回転刃のZ方向位置の基準を設定するために従来より行われていたカッターセットの動作をモデファイして傾斜データを求めているので、ダイシング装置のオペレータでも十分に傾斜補正データを更新することができる。 According to the invention of claim 2, since the operation of the cutter set which has been conventionally performed in order to set the criteria for the Z direction position of the rotary blade and Modefai seeking gradient data, the dicing device can be updated sufficiently inclined correction data in the operator.

【0010】請求項3の発明は、前記傾斜補正手段の補正データは、前記ワークテーブルの基準位置及び基準位置から90度回転した位置の双方に作成されていることを特徴としている。 [0010] The invention of claim 3, the correction data of the tilt correction means is characterized in that it is created in both the rotated 90 degrees from the reference position and the reference position of the work table position.

【0011】この請求項3の発明によれば、ワークテーブルの基準位置(CH1位置)及び基準位置から90度回転した位置(CH2位置)の双方にワークテーブル上面の傾斜を補正するデータが作成されているので、各C According to the invention of claim 3, the data for correcting the inclination of the work table top in both positions rotated 90 degrees from the reference position (CH1 position) and the reference position of the work table (CH2 position) is created because in that, each C
H位置で正確な傾斜補正ができる。 It can correct the inclination correction with H position.

【0012】 [0012]

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係るZ補正付ダイシング装置について詳説する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION will be described in detail Z correction with a dicing apparatus according to the present invention with reference to the accompanying drawings. 尚、各図において同一部材には同一の番号を付している。 Note that the same reference numerals are given to the same members in each figure.

【0013】図1は、本発明の実施の形態に係るZ補正付ダイシング装置10の構造を示す斜視図である。 [0013] Figure 1 is a perspective view showing a structure of Z correction with a dicing apparatus 10 according to the embodiment of the present invention. 図1 Figure 1
に示すように、Z補正付ダイシング装置10は、先端にブレード(回転刃)12を設けたスピンドル14が保持ブロック22を介してZテーブル16に吊下げ保持されている。 As shown in, Z correction with the dicing apparatus 10 includes a spindle 14 provided with a blade (rotary blade) 12 is hanging held on the Z table 16 through a holding block 22 at the tip. Zテーブル16は、Yテーブル18に設けられたZガイド16A、16Aに案内されて図示しないボールスクリューとステッピングモータによって切込み送り方向であるZ方向に駆動される。 Z table 16, Z guide 16A provided on the Y table 18 is driven in the Z direction is cut feeding direction by a ball screw and a stepping motor (not shown) is guided to 16A. またYテーブル18はYベース20に設けられたYガイド18A、18Aに案内されて同じく図示しないボールスクリューとステッピングモータによってインデックス送り方向であるY方向に駆動される。 The Y table 18 is driven in the Y direction, which is the index feed direction by a ball screw and a stepping motor which is not also shown being guided Y base 20 provided the Y guides 18A, the 18A. このZ方向及びY方向の駆動では、どちらも図示しないリニアスケールからの位置信号によるフィードバック制御を行っており、夫々精密に駆動される。 In the Z direction and the Y direction of the drive, both are subjected to feedback control by the position signal from the linear scale (not shown), driven respectively precisely. 一方切削送り方向であるX方向には、図示しないX On the other hand, the X-direction is the cutting feed direction, not shown X
ガイドとリニアモータによって駆動されるXテーブル2 X table 2 driven by the guide and the linear motor
6があり、上部にワークを載置するワークテーブル24 6 has a work table 24 for placing the workpiece on the upper
が組み込まれている。 It is incorporated. ワークテーブル24のワークテーブル上面ベース24Bにはワークを吸着載置する吸着盤24Aが着脱可能に取付けられている。 The work table top base 24B of the work table 24 suction cups 24A to adsorb placing the workpiece is detachably attached. ワークテーブル24はまた、図示しない駆動機構によりθ方向に回転駆動されるようになっていて、基準位置(CH1位置)と90度回転した位置(CH2位置)とに位置付けられる。 Work table 24 also have adapted to be rotated in the θ direction by a driving mechanism (not shown), the reference position (CH1 position) and rotated 90 degrees position (CH2 position) and to be positioned. このような機構によって、ブレード12はZ方向の切込み送りとY方向のインデックス送りとがなされ、ワークはX方向の切削送りとθ方向の回転送りとがなされる。 Such mechanism, blade 12 is made and the index feed of cut feed and Y direction in the Z-direction, the workpiece and the rotary feed of the cutting feed and θ direction in the X direction are made.

【0014】図2は、本発明の実施の形態に係るZ補正付ダイシング装置10の構成を示すブロック図である。 [0014] Figure 2 is a block diagram showing the configuration of a Z correction with a dicing apparatus 10 according to the embodiment of the present invention.
Z補正付ダイシング装置10は、前述のX、Y、Z、θ Z correction with the dicing apparatus 10, the aforementioned X, Y, Z, theta
の各機構部を制御するダイサーコントローラ30を有している。 And a dicer controller 30 for controlling each mechanism of the. ダイサーコントローラ30は、スピンドル14 Dicer controller 30, spindle 14
の回転を制御するスピンドル制御手段34、スピンドル14のY方向駆動を制御するY制御手段38、同じくスピンドル14のZ方向駆動を制御するZ制御手段40、 Spindle control means 34 for controlling the rotation, Y controller 38 which controls the Y-direction drive of the spindle 14, also Z control means 40 for controlling the Z-direction drive of the spindle 14,
Xテーブル26のX方向駆動を制御するX制御手段3 X control means 3 for controlling the X-direction driving of the X table 26
6、ワークテーブル24のθ方向駆動を制御するθ制御手段42、更に各種信号をインプットするデータ入力部44、インプットされたデータを記憶する記憶部45、 6, theta control means 42 for controlling the theta direction driving of the work table 24, the data input unit 44 for further input various signals, a storage unit 45 for storing the input data,
総合的な演算、指令をつかさどるCPU32等から構成されている。 Overall operation, and a CPU32 like responsible for command. Z制御手段40は、マップ補正手段46及び傾斜補正手段48によって作成されたブレード12のY方向位置に応じたZ方向補正値を基にスピンドル14 Z control means 40, the spindle 14 based on the Z-direction correction value corresponding to the Y direction position of the blade 12 that is created by the map correction means 46 and the tilt correcting means 48
をZ方向に駆動する。 The driving in the Z direction. このマップ補正手段46は、スピンドル14がY方向に移動する時の真直度誤差によるブレード12の先端の変位の補正データを作成するものであり、傾斜補正手段48はワークテーブル24の上面に取付けられた吸着盤24Aの上面がY軸に対して傾斜していることによるZ方向の変位補正データを作成するものである。 The map correction means 46, which spindle 14 creates the correction data of straightness error due to the blade tip 12 displacement when moving in the Y direction, the inclination correction means 48 is attached to the upper surface of the work table 24 upper surface of the suction cups 24A is intended to create a displacement correction data in the Z direction due to be inclined with respect to the Y axis. 図3にこのマップ補正と傾斜補正の一例を示す。 Figure 3 shows an example of the map correction and tilt correction. 図3のグラフにおいて、曲線はブレード12がY軸上YAからYBまで移動した時のZ方向の真直度カーブを示している。 In the graph of FIG. 3, the curve indicates the Z direction of the straightness curve when the blade 12 moves from Y on the axis YA to YB. また右上がりの直線はワークテーブル2 The upward-sloping straight line work table 2
4の吸着盤上面のY軸に対する傾きを表しており、YA It represents an inclination relative to the Y-axis of the suction disc top surface of the 4, YA
位置におけるZの値ZA=0としてYB位置におけるZ Z in YB position as the value ZA = 0 for Z at position
の値がZBであり、傾き角をdθで表している。 Of value is ZB, which represents the inclination angle dθ. 従って、Z補正は図3のグラフの真直度曲線上の各点を傾き直線上に移行するように補正すればよい。 Thus, Z correction may be corrected so as to shift to straight line inclination of each point on the straightness curve in the graph of FIG. 即ちY軸上の各位置におけるZ補正値dz1、dz2、…、dz10 Z correction value dz1, dz2 i.e. at each position on the Y-axis, ..., DZ10
はグラフ上の各矢印で示す方向及び値となる。 Is the direction and value indicated by the arrows on the graph.

【0015】次に、図4のフローチャートでZ補正の補正値を作成する手順を説明する。 Next, a procedure for creating a correction value of the Z correction in the flowchart of FIG. 図4に示すように、補正値作成手順は先ずスピンドル14をY方向に移動した時のブレード12の下端における真直度測定(ステップ60)から始まる。 As shown in FIG. 4, the correction value creation process begins first spindle 14 a straightness measurement at the lower end of the blade 12 when moved in the Y direction (step 60). このステップ60はダイシング装置の製造時点で行われが、ここでは図5に示すように、前もってワークテーブル24の上部にあるワークテーブル上面ベース24BがY軸と平行になるように、ワークテーブル脚部24Cに設けられている調整ネジ24Dを調整してある。 This step 60 is carried out at the time of manufacture of the dicing apparatus, but here, as shown in FIG. 5, as the work table top base 24B in advance in the top of the work table 24 is parallel to the Y axis, work table legs We are adjusting the adjusting screw 24D provided in 24C. 真直度測定では、図5に示すように、ワークテーブル24の吸着盤24Aを取外した状態でワークテーブル上面ベース24B上に真直度の基準片であるストレッチ50を載置する。 The straightness measurement, as shown in FIG. 5, is placed the stretch 50 is a reference piece of straightness on the work table top base 24B in a state of removing the suction cups 24A of the work table 24. 一方スピンドル14の先端には、変位検出器52がブレード下端位置に相当する位置を測定できるように、ホルダー54を介して取付けられている。 On the other hand the tip of the spindle 14, so that the displacement detector 52 can measure the position corresponding to the blade lower end position, is attached via the holder 54. この状態でスピンドル14をY方向に移動して変位検出器52でストレッチ50の上面をトレースする(ステップ60)。 The spindle 14 in this state to trace the top surface of the stretch 50 by the displacement detector 52 to move in the Y direction (step 60). このY軸座標値に対応して得られる真直度の測定データを手動又は自動でダイサーコントローラ30に入力する(ステップ62)。 The measurement data straightness obtained in correspondence with the Y-axis coordinate values ​​entered manually or automatically Dicer controller 30 (step 62). ダイサーコントローラ30ではマップ補正手段46が入力されたデータを基に、Y軸座標値と関連付けたマップ補正データーテーブルを作成し記憶する(ステップ64)。 Based on Dicer controller 30 in the map correction means 46 is input data, creates and stores a map correction data table associated with the Y axis coordinate value (step 64). 一方ダイシング装置ではワークテーブル24が回転方向における基準位置(CH1位置)にあるかあるいは90度回転した位置(CH2位置)にあるかを判断し(ステップ6 Meanwhile dicing apparatus determines whether the work table 24 in the reference position (CH1 position) position rotated or 90 degrees in the rotational direction (CH2 position) (Step 6
6)、CH1位置にない場合はワークテーブル24を9 6), the work table 24 is not in the CH1 position 9
0度回転させてCH1位置に位置付ける(ステップ6 0 degree rotated by positioning the CH1 position (Step 6
8)。 8). 次に、図2に示すようにワークテーブル24のワークテーブル上面ベース24Bに吸着盤24Aを取付け、吸着盤24Aの手前側(図2上左側)と奥側(図2 Then, attach the suction cup 24A on the work table top base 24B of the work table 24 as shown in FIG. 2, the front side (FIG. 2 upper left) and the rear side of the suction cups 24A (FIG. 2
上右側)において、回転するブレード12を上方から徐々に下降させてブレード12が吸着盤24Aに接触する瞬間を電気的導通によって検出し、その時のZ位置を読取る、いわゆるカッターセット動作を行わせる(ステップ70)。 In the above right), the blade 12 to rotate gradually lowered from above the blade 12 is detected by electrical conduction moments in contact with the suction cup 24A, read the Z position at that time to perform a so-called cutter set operation ( step 70). このときのデータは自動的に前記ダイサーコントローラ30に取り込まれ記憶される(ステップ7 Data at this time is stored automatically incorporated into the dicer controller 30 (Step 7
2)。 2). ダイサーコントローラ30では傾斜補正手段48 In Dicer controller 30 tilt correcting means 48
が、この手前側と奥側の2点のデータからCH1におけるワークテーブル24の吸着盤24Aの上面の傾斜角を算出し、CH1における傾斜補正データーテーブルを作成して記憶する(ステップ74)。 But this calculates the inclination angle of the upper surface of the suction cups 24A of the work table 24 from the front side and the rear side of the two points data in CH1, and stores the created tilt correction data table in CH1 (step 74). 次にダイシング装置はワークテーブルを90度回転してCH2位置に位置付ける(ステップ76)。 Then dicing machine position by rotating the work table 90 degrees CH2 position (step 76). ここでも吸着盤24Aの手前側と奥側の2点において、前記カッターセット動作を行わせる(ステップ78)。 Even at two points of the front and rear of the suction cups 24A Here, to perform the cutting setting operation (step 78). このデータも又自動的に前記ダイサーコントローラ30に取り込まれて記憶され(ステップ80)、ダイサーコントローラ30では傾斜補正手段48が、このデータからCH2におけるワークテーブル24の吸着盤24Aの上面の傾斜角を算出し、CH2 The data also automatically the dicer controller 30 to be stored captured (step 80), the inclination correction means 48 the dicer controller 30, the inclination angle of the upper surface of the suction cups 24A of the work table 24 in the CH2 from the data calculated, CH2
における傾斜補正データーテーブルを作成して記憶する(ステップ82)。 Creating and storing the tilt correction data table in (step 82). 更にダイサーコントローラ30では、前記マップ補正データーテーブルと前記CH1における傾斜補正データーテーブルとからCH1における総合補正データーテーブルを作成して記憶すると共に(ステップ84)、前記マップ補正データーテーブルと前記CH2における傾斜補正データーテーブルとからCH2 In addition Dicer controller 30, the map correction data table and from said inclination correction data table in the CH1 and stores to create a comprehensive correction data table in CH1 (step 84), the map correction data table and tilting correction in the CH2 from the data table CH2
における総合補正データーテーブルを作成して記憶する(ステップ86)。 And stores to create a comprehensive correction data table in (step 86).

【0016】Z補正データの作成手順は以上であるが、 [0016] The procedure of creating Z correction data is equal to or greater than,
Z制御手段40では前記の補正データーテーブルを基にY軸の各座標位置におけるZ軸位置を補正してスピンドル14の切込み送りを制御する。 Based on the correction data table of the the Z control unit 40 corrects the Z-axis position at each coordinate position in the Y-axis to control the cut feed of the spindle 14.

【0017】前述の傾斜補正データを作成するために行ったカッターセット動作は、ブレードのZ方向の原点位置を設定するために行っている動作であって、新規ブレードに交換した時や、長時間の使用によって生ずるブレード12の摩耗による切込み深さを補正するために、オペレータが日常的に行っている動作である。 [0017] The foregoing tilt correction data cutter set operation performed to create, a behavior that performed for setting the origin position in the Z direction of the blade, and when replaced to new blade, long in order to correct the cutting depth due to wear of the blade 12 caused by the use of an operation by the operator is performed routinely. 本願発明の傾斜補正手段はこの日常的に行なわれているカッターセット動作によって傾斜補正のデータを取得しているので、ワークサイズに合わせてワークテーブル24の吸着盤24Aを交換した場合でも、また吸着盤24Aに傷がついて新しい吸着盤24Aに取り替える場合でも、オペレータサイドで容易に吸着盤24Aの傾斜補正を行わせることができる。 Since the present inclination correcting means of the present invention is to obtain data on the inclination correction by the cutter set operation that the routinely performed, even when replacing the suction cups 24A of the work table 24 in accordance with the workpiece size and adsorption even when replaced is scratched board 24A to a new suction cup 24A, it can be carried out easily tilt correction sucker 24A on the operator side.

【0018】しかし、この傾斜データの取得は前記カッターセットによらないで、スピンドル14の先端に変位検出器52を取付けて行う等、他の方法で取得してもよいことは言うまでも無い。 [0018] However, without depending on the said cutter set acquisition of gradient data, such as performed by attaching the displacement detector 52 to the tip of the spindle 14, needless to say that may be acquired by other methods.

【0019】 [0019]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るZ補正付ダイシング装置によれば、Y軸の真直度補正データと共に、ワークテーブル上面の傾斜補正データを作成する補正手段を有し、この両者の補正データを基にZ位置が制御されているので、ワークテーブルの吸着盤を交換した場合でも、難しい機械式調節を行うことなく、2箇所におけるカッターセット動作によるデータによって容易に補正データを更新し、傾斜補正をすることができる。 According to Z correction with a dicing apparatus according to the present invention, as described above, according to the present invention, the straightness correction data of the Y-axis, has a correction means for creating a tilt correction data in the work table top, the two since the correction data Z position based on is controlled, even when replacing the suction cups of the work table, without a difficult mechanical regulation updated easily corrected data by the data by the cutter set operation in two places and, it is possible to tilt correction.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の実施の形態に係るZ補正付ダイシング装置の構造を説明する斜視図 Perspective view illustrating the structure of the Z correction with a dicing apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG

【図2】本発明の実施の形態に係るZ補正付ダイシング装置の構成を説明するブロック図 Block diagram illustrating the configuration of the Z correction with a dicing apparatus according to the embodiment of the present invention; FIG

【図3】真直度データ、傾斜データ及び補正量を表すグラフ [Figure 3] straightness data, graph representing the gradient data and the correction amount

【図4】本発明の実施の形態に係るZ補正付ダイシング装置の補正データ作成手順を示すフローチャート Flowchart showing a correction data generation procedure of Z correction with a dicing apparatus according to the embodiment of the present invention; FIG

【図5】真直度測定の方法を説明する側面図 Figure 5 is a side view illustrating a method for straightness measurements

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10…Z補正付ダイシング装置、12…ブレード(回転刃)、14…スピンドル、24…ワークテーブル、24 10 ... Z correction with a dicing apparatus, 12 ... blade (rotary blade), 14 ... spindle, 24 ... work table, 24
A…吸着盤、46…マップ補正手段、48…傾斜補正手段 A ... suction cups, 46 ... map correcting unit, 48 ... inclined correcting means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 貴幸 東京都三鷹市下連雀9丁目7番1号 株式 会社東京精密内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Tokyo Takayuki Kaneko Mitaka City Shimorenjaku 9-chome No. 7 No. 1 stock company Tokyo Seimitsu in

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】先端にワークを加工する回転刃を備えたスピンドルと、前記ワークを載置するワークテーブルとを有し、前記回転刃と前記ワークテーブルとは切削送り方向であるX方向、インデックス送り方向であるY方向及び切込み送り方向であるZ方向に夫々相対移動して前記ワークを加工するダイシング装置において、予め前記回転刃が前記ワークテーブルに対してY方向に相対移動する時の真直度データと前記ワークテーブル上面の傾斜データとが入力されている記憶部と、前記記憶部で記憶されている該真直度データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ方向変位の補正データを作成するマップ補正手段と、前記記憶部に記憶されている該ワークテーブル上面の傾斜データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ 1. A spindle having a rotary blade for machining the workpiece on the tip, and a work table for placing the workpiece, X-direction wherein the rotary blade and the work table is a cutting feed direction, the index in the dicing apparatus in the Z direction is a Y direction and the cut feed direction is the feeding direction and respectively relative movement to process the workpiece, straightness when previously said rotary blade is moved relative to the Y direction with respect to the work table a storage unit for the gradient data of the data and the work table top is inputted, the correction data Z direction displacement in the Y direction each position of the rotary blade based on said vacuum Jikado data stored in the storage unit Z in the Y direction each position of the rotary blade and the map correction means for creating, based on the inclination data of the work table top which is stored in the storage unit 向位置の補正データを作成する傾斜補正手段と、前記マップ補正手段と前記傾斜補正手段との各補正データに基づいて前記回転刃のY方向各位置におけるZ方向位置を制御するZ制御手段とを有していることを特徴とするダイシング装置。 A tilt correcting means for generating correction data countercurrent position, and Z control means for controlling the Z direction position in the Y direction each position of the rotary blade based on the correction data and the tilt correcting means and said map correction means dicing apparatus characterized in that it has.
  2. 【請求項2】前記記憶部で予め記憶される傾斜データは、前記回転刃と前記ワークテーブルの上面との接触を検出して行うカッターセットのデータを用いて求められることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 Tilt data wherein previously stored in the storage unit, claims, characterized in that obtained by using the data of the cutter set performed by detecting the contact between the upper surface of the said rotary blade work table dicing apparatus according to 1.
  3. 【請求項3】前記傾斜補正手段の補正データは、前記ワークテーブルの基準位置及び基準位置から90度回転した位置の双方に作成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のダイシング装置。 Correction data wherein the tilt correction means, according to claim 1 or claim 2, characterized in that it is created in both the rotated 90 degrees from the reference position and the reference position of the work table position of the dicing machine.
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