JP2002361778A - Gas barrier film, its laminate and their manufacturing methods - Google Patents

Gas barrier film, its laminate and their manufacturing methods

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JP2002361778A
JP2002361778A JP2001340953A JP2001340953A JP2002361778A JP 2002361778 A JP2002361778 A JP 2002361778A JP 2001340953 A JP2001340953 A JP 2001340953A JP 2001340953 A JP2001340953 A JP 2001340953A JP 2002361778 A JP2002361778 A JP 2002361778A
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gas barrier
barrier film
film
silicon
aluminum
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JP2001340953A
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Masami Goto
優実 後藤
Akira Iwamori
暁 岩森
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Mitsui Chemicals Inc
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Mitsui Chemicals Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas barrier film having high gas barrier properties and excellent transparency and to provide its laminate. SOLUTION: The gas barrier film comprises a transparent thin film layer containing 2 to 64 atomic % of an oxygen, 0.5 to 56 atomic % of a nitrogen, 0.5 to 55 atomic % of a silicon and 5 to 80 atomic % of an aluminum and formed on at least one surface of a plastic film. Here, a total concentration of the oxygen, the nitrogen, the silicon and the aluminum is 30 to 100 atomic %. The film may be further converted into a laminate obtained by further coating a polyolefin film layer on the transparent thin film layer, and both are the most suitable for a packaging container material for containing a drug.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高いガスバリヤー
性を有する透明なフィルム、その積層体、およびそれら
の製造方法に関し、より詳しくは医薬品の収納保存に適
した透明なガスバリヤー性フィルム、その積層体および
それらの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transparent film having a high gas barrier property, a laminate thereof, and a method for producing the same. The present invention relates to laminates and methods for producing the same.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】医薬品、特に輸液は、その品質を
長期間保持するために、従来ガラス製の容器を用いて収
納保存されてきた。最近は、軽量化、コンパクト化、あ
るいは耐衝撃性の向上等の要請から、プラスチック製容
器の使用へと徐々に移行しつつある。しかし、プラスチ
ック製容器は、ガラス製容器に比べて一般に酸素等のガ
スや水蒸気の透過率が高いことから、より一層ガスバリ
ヤー性に優れたプラスチック製容器が求められている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Pharmaceuticals, especially infusions, have conventionally been stored and stored in glass containers in order to maintain their quality for a long period of time. Recently, there has been a gradual shift to the use of plastic containers due to demands for weight reduction, compactness, and improvement in impact resistance. However, plastic containers generally have a higher permeability of gas such as oxygen and water vapor than glass containers, and therefore a plastic container having more excellent gas barrier properties is required.

【0003】近年、プラスチック製品の酸素等のガスや
水蒸気の透過率を下げるために、例えば特開平5−83
18号公報には、真空蒸着法、スパッタリング法、ある
いは化学的気相蒸着法(CVD)を活用して、ポリエス
テルフィルム上にシリカ(SiO)やアルミナ(Al
)薄膜を形成した種々のフィルムが提案されてい
る。そのようなフィルムの中には良好な透明性を有する
ものがあることから、それらから内容液の保存状態の確
認に適した透明性を有する容器を成形できる可能性があ
る。しかし、厳しい品質保証が求められる医薬品用の容
器では、極めて高いガスバリヤー性が必要なために、よ
り一層酸素等のガスや水蒸気のバリヤー性能を高める改
良が求められている。
In recent years, in order to reduce the permeability of plastic products for gases such as oxygen and water vapor, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-83
No. 18 discloses that silica (SiO x ) or alumina (Al) is formed on a polyester film by utilizing a vacuum evaporation method, a sputtering method, or a chemical vapor deposition method (CVD).
Ox ) Various films formed with a thin film have been proposed. Since some of such films have good transparency, there is a possibility that a container having transparency suitable for confirming the storage state of the content liquid may be formed therefrom. However, containers for pharmaceuticals that require strict quality assurance require extremely high gas barrier properties, and thus are required to be further improved to further enhance the barrier performance of gases such as oxygen and water vapor.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、高い
ガスバリヤー性と優れた透明性とを有するガスバリヤー
性フィルムおよびその積層体の提供を目的にする。ま
た、本発明は、高度のガスバリヤー性を要求する輸液等
の医薬品の容器包装材に好適なガスバリヤー性フィルム
およびその積層体の提供を目的にする。さらに、本発明
は、そのようなガスバリヤー性フィルムおよび積層体の
製造方法を提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a gas barrier film having high gas barrier properties and excellent transparency, and a laminate thereof. Another object of the present invention is to provide a gas barrier film suitable for a container and packaging material for pharmaceuticals such as an infusion which requires a high gas barrier property, and a laminate thereof. Further, the present invention is to provide a method for producing such a gas barrier film and a laminate.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、プラ
スチックフィルムの少なくとも一方の面に、酸素濃度2
〜64原子%、窒素濃度0.5〜56原子%、珪素濃度
0.5〜55原子%、およびアルミニウム濃度5〜80
原子%からなる透明薄膜層が形成されており、ここで酸
素、窒素、珪素およびアルミニウムの合計濃度が30〜
100原子%であるガスバリヤー性フィルムに関する。
That is, according to the present invention, at least one surface of a plastic film has an oxygen concentration of 2 or less.
-64 atomic%, nitrogen concentration 0.5-56 atomic%, silicon concentration 0.5-55 atomic%, and aluminum concentration 5-80
A transparent thin film layer of atomic% is formed, wherein the total concentration of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum is 30 to
It relates to a gas barrier film which is 100 atomic%.

【0006】前記のプラスチックフィルムとしては、ポ
リエステル、ポリアミド、エチレン・ビニルアルコール
共重合体、ポリオレフィン、およびポリイミドからなる
群から選ばれる少なくとも1種の樹脂から形成されたフ
ィルムが好ましく、そのようなガスバリヤー性フィルム
は、医薬品を収納する包装容器材に好適である。
The plastic film is preferably a film formed of at least one resin selected from the group consisting of polyester, polyamide, ethylene / vinyl alcohol copolymer, polyolefin, and polyimide. The conductive film is suitable for a packaging container material for storing a medicine.

【0007】また本発明は、前記のガスバリヤー性フィ
ルムの透明薄膜層が、さらにポリオレフィンフィルム層
で被覆されているガスバリヤー性フィルム積層体に関
し、その透明薄膜層とポリオレフィンフィルム層とは、
アンカーコート剤層を介して積層されていることが望ま
しい。このような積層体もまた医薬品を収納する包装容
器材に好適である。
The present invention also relates to a gas barrier film laminate wherein the transparent thin film layer of the gas barrier film is further covered with a polyolefin film layer, wherein the transparent thin film layer and the polyolefin film layer are:
It is desirable that the layers are laminated via an anchor coat agent layer. Such a laminate is also suitable for a packaging container material for storing a medicine.

【0008】さらに本発明は、プラスチックフィルムの
少なくとも一方の面上に、アルミニウム、酸化アルミニ
ウム、および窒化アルミニウムからなる群から選ばれる
少なくとも1種の材料と、珪素、酸化珪素、および窒化
珪素からなる群から選ばれる少なくとも1種の材料との
組み合わせを蒸着材料にして真空蒸着し、その際必要に
応じて酸素および/または窒素の存在下で行い、それに
よって酸素濃度2〜64原子%、窒素濃度0.5〜56
原子%、珪素濃度0.5〜55原子%、およびアルミニ
ウム濃度5〜80原子%からなる透明薄膜層を形成し、
ここで酸素、窒素、珪素およびアルミニウムの合計濃度
が30〜100原子%になるガスバリヤー性フィルムの
製造方法に関する。
[0008] The present invention further provides a plastic film comprising at least one material selected from the group consisting of aluminum, aluminum oxide and aluminum nitride and a group consisting of silicon, silicon oxide and silicon nitride on at least one surface thereof. And a vacuum deposition of a combination with at least one material selected from the group consisting of oxygen and / or nitrogen, if necessary, whereby the oxygen concentration is 2 to 64 atomic% and the nitrogen concentration is 0. .5-56
Forming a transparent thin film layer consisting of at.%, A silicon concentration of 0.5 to 55 at.%, And an aluminum concentration of 5 to 80 at.
Here, the present invention relates to a method for producing a gas barrier film in which the total concentration of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum is 30 to 100 atomic%.

【0009】前記の蒸着材料としては、アルミニウムと
珪素との組み合わせ、窒化アルミニウムと珪素、酸化珪
素、および窒化珪素からなる群から選ばれる少なくとも
1種の材料との組み合わせ、またはアルミニウムまたは
酸化アルミニウムと窒化珪素との組み合わせが好まし
く、また、その真空蒸着は、系内に窒素ガスを導入して
プラズマが生起する条件下、あるいは系内に窒素ガスを
導入してプラスチックフィルムの表面付近に窒素イオン
が生起する条件下で行われることが望ましい。
[0009] The vapor deposition material may be a combination of aluminum and silicon, a combination of aluminum nitride and silicon, at least one material selected from the group consisting of silicon oxide and silicon nitride, or a combination of aluminum or aluminum oxide and nitride. The combination with silicon is preferable, and the vacuum deposition is performed under the condition that plasma is generated by introducing nitrogen gas into the system, or nitrogen ions are generated near the surface of the plastic film by introducing nitrogen gas into the system. It is desirable to be performed under the following conditions.

【0010】さらに本発明は、前記の方法でガスバリヤ
ー性フィルムを製造した後、その透明薄膜層上にアンカ
ーコート剤を介してポリオレフィンフィルムを接合する
ガスバリヤー性フィルム積層体の製造方法に関する。
Further, the present invention relates to a method for producing a gas barrier film laminate in which a gas barrier film is produced by the above-mentioned method, and then a polyolefin film is bonded to the transparent thin film layer via an anchor coat agent.

【0011】[0011]

【発明の具体的説明】次に、本発明に係わるガスバリヤ
ー性フィルムおよびその積層体の構成、およびそれらの
製造方法について具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Next, the structure of the gas barrier film and the laminate thereof according to the present invention and the method for producing them will be specifically described.

【0012】ガスバリヤー性フィルム 本発明のガスバリヤー性フィルムは、基板となるプラス
チックフィルムの少なくとも一方の面上に、主として酸
素、窒素、珪素、およびアルミニウムとから構成された
透明薄膜層をガスバリヤー層として形成したものであ
る。
Gas Barrier Film The gas barrier film of the present invention comprises a plastic thin film serving as a substrate and a transparent thin film layer mainly composed of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum on a gas barrier layer. It was formed as

【0013】基板としてのプラスチックフィルムは、高
い透明性を持ちかつ可撓性のあるフィルムが望ましい。
そのようなフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレ
ート(PET)やポリエチレンナフタレート等のポリエ
ステルのフィルム、ナイロン6やナイロン66等のポリ
アミドのフィルム、エチレン・ビニルアルコール共重合
体のフィルム、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリ
オレフィンのフィルム、あるいはポリイミドのフィルム
等が好ましい。
The plastic film as the substrate is preferably a film having high transparency and flexibility.
Examples of such a film include polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate, polyamide films such as nylon 6 and nylon 66, films of ethylene-vinyl alcohol copolymer, and polyolefin films such as polyethylene and polypropylene. A film or a polyimide film is preferred.

【0014】それらの中でも、ポリエチレンテレフタレ
ート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ナイロン
6、およびエチレン・ビニルアルコール共重合体(クラ
レ株式会社より商品名「エバール」として販売されてい
る)から製造されたフィルムは、透明性、ガスバリヤー
性、または機械的強度等の物性に優れていることからよ
り好ましい。それらのフィルムは、延伸フィルムであっ
てもよいし、あるいは未延伸フィルムであってもよく、
また、異なる2種のフィルムを複合した積層フィルムで
もよく、さらにそれらの樹脂を混合したブレンドフィル
ムであってもよい。フィルムの厚みは、通常5〜200
μm、好ましくは10〜50μmが望ましい。
Among them, films manufactured from polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, nylon 6, and ethylene / vinyl alcohol copolymer (sold by Kuraray Co., Ltd. under the trade name “EVAL”) It is more preferable because it has excellent physical properties such as transparency, gas barrier properties, and mechanical strength. These films may be stretched films, or may be unstretched films,
Further, a laminated film in which two different kinds of films are combined may be used, and a blended film in which those resins are mixed may be used. The thickness of the film is usually 5 to 200
μm, preferably 10 to 50 μm.

【0015】透明薄膜層は、その組成が、酸素濃度2〜
64原子%、好ましくは18〜40原子%、窒素濃度
0.5〜56原子%、好ましくは2〜20原子%、珪素
濃度0.5〜55原子%、好ましくは3〜32原子%、
およびアルミニウム濃度5〜80原子%、好ましくは5
〜45原子%とから構成されている。ここで、酸素、窒
素、珪素およびアルミニウムの合計の濃度が30〜10
0原子%、好ましくは36〜100原子%である。その
他の元素としては、主に炭素が挙げられる。なお、その
組成は、X線光電子分光法やオージェ電子分光法等の手
法を用いて分析することができる。
The composition of the transparent thin film layer has an oxygen concentration of 2 to 2.
64 at%, preferably 18 to 40 at%, nitrogen concentration 0.5 to 56 at%, preferably 2 to 20 at%, silicon concentration 0.5 to 55 at%, preferably 3 to 32 at%,
And an aluminum concentration of 5 to 80 atomic%, preferably 5
-45 atomic%. Here, the total concentration of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum is 30 to 10
0 atomic%, preferably 36 to 100 atomic%. Other elements mainly include carbon. Note that the composition can be analyzed using a technique such as X-ray photoelectron spectroscopy or Auger electron spectroscopy.

【0016】組成が前記の範囲にあると、薄膜層は非晶
質であって、高いガスバリヤー性を示し、かつ優れた透
明性を有している。また、その薄膜層の厚さは、通常1
0〜500nm、好ましくは20〜150nmであっ
て、この範囲内にあると、薄膜層は、柔軟性を有してい
るので亀裂が入りにくく、高いガスバリヤー効果を保つ
ことができる。
When the composition is within the above range, the thin film layer is amorphous, exhibits high gas barrier properties, and has excellent transparency. The thickness of the thin film layer is usually 1
When the thickness is within the range of 0 to 500 nm, preferably 20 to 150 nm, the thin film layer has flexibility, so that it is difficult to crack and a high gas barrier effect can be maintained.

【0017】このような透明薄膜層は、基板となるプラ
スチックフィルムの片面に設けてもよいし、また両面に
設けてもよい。すなわち、プラスチックフィルム/透明
薄膜層なる2層構造体であってもよいし、あるいは透明
薄膜層/プラスチックフィルム/透明薄膜層なる3層構
造体であってもよい。両面に透明薄膜層を形成した場合
には、片面形成の場合よりもガスバリヤー性能をさらに
高めることがある。例えば、片面に厚い薄膜層を形成す
るよりも、その薄膜層の厚みを両面に分配して形成する
方が、高いガスバリヤー性が得られることがある。ま
た、両面に透明薄膜層を形成する場合には、各々の薄膜
層は、その種類および厚さを適宜変えることもできる。
Such a transparent thin film layer may be provided on one side or both sides of a plastic film as a substrate. That is, it may be a two-layer structure of plastic film / transparent thin film layer, or a three-layer structure of transparent thin film layer / plastic film / transparent thin film layer. When the transparent thin film layers are formed on both sides, the gas barrier performance may be further enhanced as compared with the case of forming one side. For example, higher gas barrier properties may be obtained by distributing the thickness of the thin film layer on both sides than by forming a thick thin film layer on one side. When a transparent thin film layer is formed on both surfaces, the type and thickness of each thin film layer can be appropriately changed.

【0018】このガスバリヤー性フィルムは、無色透明
であって、基板であるプラスチックフィルムの透明性お
よび色相とほとんど違いが見られない。PETフィルム
の表面にシリカ薄膜を形成した市販ガスバリヤー性フィ
ルムは、透明性を有しているものの黄色に着色してお
り、包装容器材として用いた場合内容物の保存状態を確
認することが難しい。
This gas barrier film is colorless and transparent, and hardly differs from the transparency and hue of the plastic film as the substrate. A commercially available gas barrier film having a silica thin film formed on the surface of a PET film has transparency but is colored yellow, making it difficult to confirm the storage state of the contents when used as a packaging container material. .

【0019】フィルムの透明性評価には、例えばJIS
R3106に規定されている可視光線透過率測定法が
適しており、また黄色みの評価は、短波長側の平行光線
透過率の測定で行うことができる。本発明で得られるガ
スバリヤー性フィルムの可視光線透過率は、PETフィ
ルムとほぼ同等であるが、シリカ薄膜形成フィルムの可
視光線透過率は、PETフィルムよりも3〜4%低い値
を示す。また、シリカ薄膜形成フィルムの平行光線透過
率を約380〜400nmの短波長側で測定すると、著
しく低い値を示す。このように本発明に係わるガスバリ
ヤー性フィルムは、無色透明であることから、内容物の
状況確認が必要な包装容器の形成材料として好適であ
る。
For evaluating the transparency of a film, for example, JIS
The visible light transmittance measurement method specified in R3106 is suitable, and the evaluation of yellowness can be performed by measuring the parallel light transmittance on the short wavelength side. The visible light transmittance of the gas barrier film obtained by the present invention is almost the same as that of the PET film, but the visible light transmittance of the silica thin film-forming film is 3 to 4% lower than that of the PET film. Further, when the parallel light transmittance of the silica thin film-formed film is measured on the short wavelength side of about 380 to 400 nm, it shows a remarkably low value. Since the gas barrier film according to the present invention is colorless and transparent as described above, it is suitable as a material for forming a packaging container for which the status of the contents needs to be confirmed.

【0020】ガスバリヤー性フィルム積層体 このようなガスバリヤー性フィルムは、そのままで使用
することができるが、その薄膜層を有機高分子フィルム
層で被覆して積層体へと変えてもよい。積層体にした場
合、その表面被覆層によって透明薄膜層を保護したり、
あるいはガスバリヤー性フィルムにヒートシール性等の
別の性能を付加したり、ガスバリヤー性能をさらに高め
る等の効果が期待できる。そのような表面被覆層として
は、前記した目的にあったフィルムで形成されていれば
特に限定されないが、ポリエチレンフィルムやポリプロ
ピレンフィルム等のポリオレフィンフィルムの層を設け
ることが好ましい。また、基板フィルムの薄膜層とは反
対側の面側に他の高分子フィルムや金属層を積層しても
よい。
Gas Barrier Film Laminate Such a gas barrier film can be used as it is, but its thin film layer may be coated with an organic polymer film layer to be converted into a laminate. In the case of a laminate, the surface coating layer protects the transparent thin film layer,
Alternatively, effects such as adding another property such as heat sealing property to the gas barrier film and further improving the gas barrier property can be expected. Such a surface coating layer is not particularly limited as long as it is formed of a film suitable for the above-mentioned purpose, but it is preferable to provide a layer of a polyolefin film such as a polyethylene film or a polypropylene film. Further, another polymer film or metal layer may be laminated on the surface of the substrate film opposite to the thin film layer.

【0021】薄膜層面側あるいはその反対側の基板フィ
ルム面側にポリオレフィンフィルム等を積層する場合、
その層間に接着剤層を設けることによって両層を強固に
接合することができる。接着剤としては、アンカーコー
ト剤やカルボン酸変性ポリオレフィン等を使用すること
ができ、ドライラミネーション法で用いられるウレタン
系やイソシアネート系のアンカーコート剤、押出しラミ
ネーション法で用いられるマレイン酸変性ポリオレフィ
ンが好ましく、特にアンカーコート剤の使用が望まし
い。
When laminating a polyolefin film or the like on the thin film layer surface side or the opposite substrate film surface side,
By providing an adhesive layer between the layers, both layers can be firmly joined. As the adhesive, an anchor coating agent or a carboxylic acid-modified polyolefin can be used, and a urethane-based or isocyanate-based anchor coating agent used in a dry lamination method, and a maleic acid-modified polyolefin used in an extrusion lamination method are preferable. In particular, use of an anchor coat agent is desirable.

【0022】ガスバリヤー性フィルムあるいは前記した
積層体は、それを順次積層して4層体、6層体、7層体
等々として使用することもできる。また、そのガスバリ
ヤー性フィルムどうしを接合した構造の積層体にしても
よい。その際の接合面は、基材フィルムどうし、透明薄
膜どうし、基材フィルムと透明薄膜、のいずれでもよ
い。そのような積層体の内、プラスチックフィルム層/
透明薄膜層/アンカーコート剤層/ポリオレフィンフィ
ルム層なる4層構成の積層体、また、ポリオレフィンフ
ィルム層/アンカーコート剤層/透明薄膜層/プラスチ
ックフィルム層/透明薄膜層/アンカーコート剤層/ポ
リオレフィンフィルム層なる7層構成の積層体は、構造
が簡単であって、しかもガスバリヤー性能が高いので好
ましい。
The gas barrier film or the above-mentioned laminate can be used as a four-layered body, a six-layered body, a seven-layered body, etc. by sequentially laminating them. Further, a laminate having a structure in which the gas barrier films are joined together may be used. The bonding surface at that time may be any of the base film, the transparent thin film, the base film and the transparent thin film. Among such laminates, the plastic film layer /
A laminate having a four-layer structure of a transparent thin film layer / anchor coating agent layer / polyolefin film layer, and a polyolefin film layer / anchor coating agent layer / transparent thin film layer / plastic film layer / transparent thin film layer / anchor coating agent layer / polyolefin film The seven-layered laminated body is preferable because of its simple structure and high gas barrier performance.

【0023】これまでに説明してきたガスバリヤー性フ
ィルムおよびその積層体の酸素透過率は、後述する実施
例にその一例を示したように、ガスバリヤー性フィルム
は0.1〜2.5(cc/m・day・atm)、ま
たその積層体は0.5(cc/m・day・atm)
以下と小さく、きわめて高いガスバリヤー性を有してい
ることがわかる。さらに、優れた透明性をも有している
ことから、それを用いて各種物品の密封包装に利用する
ことができる。
The oxygen permeability of the gas barrier film and the laminate thereof described above may be 0.1 to 2.5 (cc) as shown in the examples described later. / M 2 · day · atm) and the laminate is 0.5 (cc / m 2 · day · atm)
It can be seen that it has a very high gas barrier property as shown below. Furthermore, since it also has excellent transparency, it can be used for hermetic packaging of various articles using the same.

【0024】例えば、プラスチックフィルム層/透明薄
膜層/アンカーコート剤層/ポリオレフィンフィルム層
なる構成の積層体1枚ないし2枚を、ポリオレフィンフ
ィルム層が互いに内側に向かい合うように重ねて置き、
容器形状になるように周囲をヒートシールすると、液体
の保存容器として好適に利用することができる。
For example, one or two laminates having the structure of plastic film layer / transparent thin film layer / anchor coating agent layer / polyolefin film layer are placed on top of each other so that the polyolefin film layers face each other inward.
When the periphery is heat-sealed to have a container shape, it can be suitably used as a liquid storage container.

【0025】ガスバリヤー性フィルムの製造方法 本発明に係わるガスバリヤー性フィルムの製造方法は、
真空容器系内で、基板であるプラスチックフィルム上
に、主として酸素、窒素、珪素、およびアルミニウムか
らなる透明薄膜層を形成するドライプロセスである。具
体的には、真空蒸着法、スパッタリング法、化学的気相
蒸着法(CVD)等の手法を適用することによって、薄
膜層形成材料から容易にプラスチックフィルムの少なく
とも一方の面に透明薄膜層を形成することができる。そ
れらの中でも真空蒸着法は、成膜速度が速く、生産性が
高いので好ましい方法である。
Method for Producing Gas Barrier Film The method for producing a gas barrier film according to the present invention comprises:
This is a dry process of forming a transparent thin film layer mainly composed of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum on a plastic film as a substrate in a vacuum vessel system. Specifically, a transparent thin film layer is easily formed on at least one surface of a plastic film from a thin film layer forming material by applying a method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, and a chemical vapor deposition method (CVD). can do. Among them, the vacuum deposition method is a preferable method because the film formation rate is high and the productivity is high.

【0026】蒸着材料としては、アルミニウム、酸化ア
ルミニウム、および窒化アルミニウムからなる群から選
ばれる少なくとも1種の材料、および珪素、酸化珪素、
および窒化珪素からなる群から選ばれる少なくとも1種
の材料との組み合わせが用いられる。
As the vapor deposition material, at least one material selected from the group consisting of aluminum, aluminum oxide, and aluminum nitride, and silicon, silicon oxide,
And a combination with at least one material selected from the group consisting of silicon nitride.

【0027】好ましい材料の組み合わせ例を次に挙げ
る。 (1)窒化アルミニウムと珪素または酸化珪素との組み
合わせ (2)アルミニウムまたは酸化アルミニウムと窒化珪素
との組み合わせ (3)窒化アルミニウムと窒化珪素との組み合わせ (4)アルミニウムと珪素との組み合わせ
Examples of preferable material combinations are as follows. (1) Combination of aluminum nitride and silicon or silicon oxide (2) Combination of aluminum or aluminum oxide and silicon nitride (3) Combination of aluminum nitride and silicon nitride (4) Combination of aluminum and silicon

【0028】これらの中でも、特に、アルミニウムと珪
素との組み合わせ、窒化アルミニウムと珪素との組み合
わせ、アルミニウムと窒化珪素、および窒化アルミニウ
ムと窒化珪素との組み合わせが好ましい。
Of these, a combination of aluminum and silicon, a combination of aluminum nitride and silicon, a combination of aluminum and silicon nitride, and a combination of aluminum nitride and silicon nitride are particularly preferred.

【0029】蒸着材料は、複数の種類を混合した後に加
熱してもよいし、あるいは各々の材料を同じ系内で別々
に加熱してもよい。例えば、融点の近い材料を組み合わ
せて用いる場合には前者を利用することができ、融点に
差がある場合には後者によって、各々目的とする透明薄
膜層を形成することができる。蒸着材料の加熱方法とし
ては、抵抗加熱法や電子ビーム法等が使用でき、材料の
種類に応じて好適な加熱方法を選択すればよく、同じ系
内で同じ方法を採用してもよいし、異なった方法を使用
してもよい。
The evaporation material may be heated after mixing a plurality of types, or each material may be heated separately in the same system. For example, when materials having similar melting points are used in combination, the former can be used, and when there is a difference in melting points, the respective transparent thin film layers can be formed by the latter. As a heating method of the evaporation material, a resistance heating method, an electron beam method, or the like can be used, and a suitable heating method may be selected depending on the type of the material, and the same method may be employed in the same system, Different methods may be used.

【0030】酸素は、必要量を系内に供給してもよい
し、また成膜反応容器(真空チャンバー)もしくはプラ
スチック基板に残存している酸素を利用したり、あるい
は水蒸気等から取り込んで利用してもよい。また、反応
性ガスとして窒素を系内に導入して、反応性蒸着を行っ
てもよい。蒸着材料として窒化物を使用しない場合に
は、反応性ガスとしての窒素が必要である。窒素プラズ
マが生起する条件や、窒素イオンをプラスチック基板表
面付近に照射する条件を採用すると、より効果的に透明
薄膜層中に窒素が導入されやすくなる。窒素プラズマや
窒素イオンを照射する場合、プラスチック基板側に負の
バイアスをかけると更に効果的に窒素が導入されやすく
なる。
A required amount of oxygen may be supplied into the system, or oxygen remaining in a film forming reaction vessel (vacuum chamber) or a plastic substrate may be used, or may be taken from water vapor or the like. You may. Alternatively, reactive vapor deposition may be performed by introducing nitrogen as a reactive gas into the system. When a nitride is not used as a deposition material, nitrogen is required as a reactive gas. When conditions for generating nitrogen plasma or conditions for irradiating the vicinity of the surface of the plastic substrate with nitrogen ions are employed, it becomes easier to more effectively introduce nitrogen into the transparent thin film layer. When irradiating with nitrogen plasma or nitrogen ions, applying a negative bias to the plastic substrate makes it easier to introduce nitrogen more effectively.

【0031】透明薄膜層の形成に先行して、プラスチッ
クフィルム面をコロナ放電処理、グロー放電処理、その
他の表面処理を施しておいてもよく、それによってプラ
スチックフィルム面上に薄膜層が強固に接合するし、ま
た均一厚さの薄膜を形成することができる。
Prior to the formation of the transparent thin film layer, the surface of the plastic film may be subjected to corona discharge treatment, glow discharge treatment, or other surface treatment, whereby the thin film layer is firmly joined to the plastic film surface. In addition, a thin film having a uniform thickness can be formed.

【0032】このような方法によって、プラスチックフ
ィルムの少なくとも一方の面に、酸素濃度2〜64原子
%、窒素濃度0.5〜56原子%、珪素濃度0.5〜5
5原子%、およびアルミニウム濃度5〜80原子%から
なる無色透明な薄膜層を容易に形成することができる。
ここで、酸素、窒素、珪素およびアルミニウムの合計濃
度が30〜100原子%、好ましくは36〜100原子
%になる。
According to such a method, at least one surface of the plastic film has an oxygen concentration of 2 to 64 at%, a nitrogen concentration of 0.5 to 56 at%, and a silicon concentration of 0.5 to 5 at%.
A colorless and transparent thin film layer of 5 atomic% and an aluminum concentration of 5 to 80 atomic% can be easily formed.
Here, the total concentration of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum is 30 to 100 atomic%, preferably 36 to 100 atomic%.

【0033】積層体の製造方法 このようにして製造されたガスバリヤー性フィルムは、
その透明薄膜層の表面に高分子フィルム、例えばポリオ
レフィンフィルムを被覆接合して、積層体を製造するこ
とができる。透明薄膜層と高分子フィルムとを直接接合
できる場合には、ガスバリヤー性フィルム上に被覆材料
を直接押出しラミネートすればよく、両者を直接接合す
ることが難しい場合には、ガスバリヤー性フィルムと高
分子フィルムとの間に接着性樹脂、例えばカルボン酸変
性ポリオレフィン樹脂を押出しラミネートすればよい。
The method of manufacturing the laminate The gas barrier film thus manufactured is
A laminate can be manufactured by coating and bonding a polymer film, for example, a polyolefin film on the surface of the transparent thin film layer. When the transparent thin film layer and the polymer film can be directly bonded, the coating material may be directly extruded and laminated on the gas barrier film. An adhesive resin, for example, a carboxylic acid-modified polyolefin resin may be extruded and laminated with the molecular film.

【0034】より好ましい方法はドライラミネーション
と呼ばれる方法で、被覆層となる高分子フィルム上にグ
ラビアコーター等を用いてアンカーコート剤、例えばウ
レタン系やイソシアネート系接着剤を塗布してアンカー
コート剤層を形成し、その層上にガスバリヤー性フィル
ムの透明薄膜層を重ねて押圧することによって、両者を
強固に接合することができる。このドライラミネーショ
ン法は、ガスバリヤー性フィルムの透明薄膜層側とは反
対の面側に別のフィルムを貼り合わせたり、ガスバリヤ
ー性フィルムないしその積層体どうしを貼り合わせる場
合にも同様に適用することができる。
A more preferred method is a method called dry lamination, in which an anchor coating agent, for example, a urethane-based or isocyanate-based adhesive is applied on a polymer film to be a coating layer using a gravure coater or the like to form an anchor coating agent layer. By forming and pressing a transparent thin film layer of a gas barrier film on the layer, the two can be firmly joined. This dry lamination method is similarly applied to the case where another film is bonded to the surface of the gas barrier film opposite to the transparent thin film layer side, or the gas barrier film or a laminate thereof is bonded to each other. Can be.

【0035】[0035]

【実施例】次に、実施例を通して本発明を説明するが、
本発明はそれら実施例によって何ら限定されるものでは
ない。
Next, the present invention will be described through examples.
The present invention is not limited by these examples.

【0036】(実施例1)純度99.999%のシリコ
ンおよび純度99.9%の窒化アルミニウムを蒸着材料
とし、真空蒸着法によって厚さが12μmのPETフィ
ルム上に厚さ50nmの透明薄膜層を形成した。加熱方
法は、シリコンは抵抗加熱法、窒化アルミニウムは電子
ビーム加熱法を用いた。蒸着中は窒素ガスを流通させ
て、13.56MHzの高周波電源(電力300W)に
よってプラズマを生起させ、透明なガスバリヤー性フィ
ルムを得た。
Example 1 A transparent thin film layer having a thickness of 50 nm was formed on a PET film having a thickness of 12 μm by vacuum evaporation using silicon having a purity of 99.999% and aluminum nitride having a purity of 99.9%. Formed. As a heating method, a resistance heating method was used for silicon, and an electron beam heating method was used for aluminum nitride. During the vapor deposition, a nitrogen gas was circulated to generate plasma by a 13.56 MHz high frequency power supply (power 300 W) to obtain a transparent gas barrier film.

【0037】次に、厚さ60μmの低密度リニアポリエ
チレンフィルム上にグラビアコーターを用いて、ウレタ
ン系アンカーコート剤(武田製薬製、商品名タケラック
A−606(接着剤)およびタケネートA−10(硬化
剤))を66(cc/m)になるように塗布した。そ
の後、80℃のドライヤーを用いて塗布面を乾燥し、そ
のアンカーコート剤層を先に得たガスバリヤー性フィル
ムの透明薄膜層面側に貼り合わせ、透明なガスバリヤー
性フィルム積層体を作成した。
Next, a urethane anchor coating agent (Takelac A-606 (adhesive), trade name, Takeda Pharmaceutical Co., Ltd.) and Takenate A-10 (cured) were coated on a low-density linear polyethylene film having a thickness of 60 μm using a gravure coater. Agent)) was applied so as to be 66 (cc / m 2 ). Thereafter, the coated surface was dried using a dryer at 80 ° C., and the anchor coating agent layer was adhered to the transparent thin film layer side of the gas barrier film obtained earlier to prepare a transparent gas barrier film laminate.

【0038】(実施例2)厚さが12μmのPETフィ
ルム上に、純度99.5%の窒化珪素および純度99.
999%のアルミニウムを蒸着材料として真空蒸着を行
い、厚さ80nmの透明薄膜層を形成した。加熱方法
は、アルミニウムは抵抗加熱法、窒化珪素は電子ビーム
加熱法を用いた。蒸着中は窒素ガスをイオン化して、基
板であるPETフィルム表面付近に照射した。次に、こ
のようにして得た透明なガスバリヤー性フィルムに実施
例1と同様にしてアンカーコート剤を介して低密度リニ
アポリエチレンフィルムをドライラミネーションし、ガ
スバリヤー性フィルム積層体を作成した。
(Example 2) Silicon nitride having a purity of 99.5% and a purity of 99.5% were formed on a PET film having a thickness of 12 µm.
Vacuum deposition was performed using 999% aluminum as a deposition material to form a transparent thin film layer having a thickness of 80 nm. As a heating method, a resistance heating method was used for aluminum, and an electron beam heating method was used for silicon nitride. During vapor deposition, nitrogen gas was ionized and irradiated near the surface of the PET film as a substrate. Next, the transparent gas barrier film thus obtained was dry-laminated with a low-density linear polyethylene film via an anchor coat agent in the same manner as in Example 1 to prepare a gas barrier film laminate.

【0039】(実施例3)厚さが12μmのPETフィ
ルム上に、純度99.999%のシリコンおよび純度9
9.999%のアルミニウムを蒸着材料として真空蒸着
を行い、厚さ50nmの透明薄膜層を形成した。加熱方
法は、アルミニウムは抵抗加熱法、シリコンは電子ビー
ム加熱法を用いた。蒸着中は窒素ガスを流通して、1
3.56MHzの高周波電源(電力300W)によって
プラズマを生起させた。このようにして得た透明なガス
バリヤー性フィルムに、実施例1と同様にして、アンカ
ーコート剤を介して低密度リニアポリエチレンフィルム
をドライラミネーションし、ガスバリヤー性フィルム積
層体を作成した。
Example 3 On a PET film having a thickness of 12 μm, silicon having a purity of 99.999% and a purity of 9
Vacuum evaporation was performed using 9.999% aluminum as an evaporation material to form a transparent thin film layer having a thickness of 50 nm. As a heating method, a resistance heating method was used for aluminum, and an electron beam heating method was used for silicon. During deposition, nitrogen gas is passed
Plasma was generated by a 3.56 MHz high frequency power supply (power 300 W). A low-density linear polyethylene film was dry-laminated with the transparent gas barrier film thus obtained via an anchor coat agent in the same manner as in Example 1 to prepare a gas barrier film laminate.

【0040】(実施例4)厚さが12μmのPETフィ
ルム上に、純度99.5%の窒化珪素および純度99.
9%の窒化アルミニウムを蒸着材料として真空蒸着を行
い、厚さ60nmの透明薄膜層を形成した。加熱方法
は、窒化珪素と窒化アルミニウムとを重量比で1:1の
割合でタングステン製ハースに入れ、電子ビーム加熱法
を用いた。蒸着中は窒素ガスを流通して、13.56M
Hzの高周波電源(電力400W)によってプラズマを
生起させた。このようにして得た透明なガスバリヤー性
フィルムに、実施例1と同様にして、アンカーコート剤
を介して低密度リニアポリエチレンフィルムをドライラ
ミネーションし、ガスバリヤー性フィルム積層体を作成
した。
(Example 4) Silicon nitride having a purity of 99.5% and a purity of 99.5% were formed on a PET film having a thickness of 12 µm.
Vacuum evaporation was performed using 9% aluminum nitride as an evaporation material to form a transparent thin film layer having a thickness of 60 nm. As a heating method, silicon nitride and aluminum nitride were put into a tungsten hearth at a weight ratio of 1: 1 and an electron beam heating method was used. During deposition, a nitrogen gas was circulated and 13.56 M
The plasma was generated by a high frequency power supply of 400 Hz (power 400 W). A low-density linear polyethylene film was dry-laminated with the transparent gas barrier film thus obtained via an anchor coat agent in the same manner as in Example 1 to prepare a gas barrier film laminate.

【0041】(比較例1)厚さが12μmのPETフィ
ルム上に、純度99.9%のSiOおよび純度99.
99%のα−Alを蒸着材料として真空蒸着を行
い、厚さ50nmの透明薄膜層を形成した。加熱方法
は、酸化珪素は抵抗加熱法、酸化アルミニウムは電子ビ
ーム加熱法を用いた。このようにして得たガスバリヤー
性フィルムに、実施例1と同様にして、アンカーコート
剤を介して低密度リニアポリエチレンフィルムをドライ
ラミネーションし、ガスバリヤー性フィルム積層体を作
成した。
(Comparative Example 1) 99.9% pure SiO 2 and 99.9% pure PET were formed on a PET film having a thickness of 12 μm.
Vacuum deposition was performed using 99% α-Al 2 O 3 as a deposition material to form a transparent thin film layer having a thickness of 50 nm. As a heating method, a resistance heating method was used for silicon oxide, and an electron beam heating method was used for aluminum oxide. A low-density linear polyethylene film was dry-laminated on the thus obtained gas barrier film via an anchor coat agent in the same manner as in Example 1 to prepare a gas barrier film laminate.

【0042】(比較例2)厚さが12μmのPETフィ
ルム上に、純度99.9%の窒化アルミニウムを蒸着材
料として電子ビーム加熱法にて真空蒸着を行い、厚さ1
30nmの透明薄膜層を形成した。蒸着中は窒素ガスを
流して、13.56MHzの高周波電源(電力300
W)にてプラズマを生起させた。このようにして得たガ
スバリヤー性フィルムに、実施例1と同様にして、アン
カーコート剤を介して低密度リニアポリエチレンフィル
ムをドライラミネーションし、ガスバリヤー性フィルム
積層体を作成した。
(Comparative Example 2) Vapor deposition was performed on a PET film having a thickness of 12 μm by electron beam heating using aluminum nitride having a purity of 99.9% as a deposition material.
A 30 nm transparent thin film layer was formed. During vapor deposition, a nitrogen gas was flowed, and a 13.56 MHz high frequency power supply (power 300
In W), a plasma was generated. A low-density linear polyethylene film was dry-laminated on the thus obtained gas barrier film via an anchor coat agent in the same manner as in Example 1 to prepare a gas barrier film laminate.

【0043】(比較例3)厚さが12μmのPETフィ
ルム上に、純度99.9%のSiOを蒸着材料として
真空蒸着を行い、厚さ64nmの透明薄膜層を形成し
た。加熱方法は電子ビーム加熱法を用いた。このように
して得たガスバリヤー性フィルムに、実施例1と同様に
して、アンカーコート剤を介して低密度リニアポリエチ
レンフィルムをドライラミネーションし、ガスバリヤー
性フィルム積層体を作成した。
Comparative Example 3 A transparent thin film layer having a thickness of 64 nm was formed on a PET film having a thickness of 12 μm by using SiO 2 having a purity of 99.9% as a deposition material. As the heating method, an electron beam heating method was used. A low-density linear polyethylene film was dry-laminated on the thus obtained gas barrier film via an anchor coat agent in the same manner as in Example 1 to prepare a gas barrier film laminate.

【0044】各実施例および比較例で形成した透明薄膜
の組成を測定し、またガスバリヤー性フィルムおよびガ
スバリヤー性フィルム積層体の酸素透過率を測定し、そ
の結果を表1に併せて示した。ここで、透明薄膜の組成
は、X線光電子分光法(XPS)により測定した。さら
に、酸素透過率は、MOCON社製のガス透過率測定装
置を用いて、40℃、0%RHの条件で測定した。
The compositions of the transparent thin films formed in Examples and Comparative Examples were measured, and the oxygen permeability of the gas barrier film and the gas barrier film laminate was measured. The results are shown in Table 1. . Here, the composition of the transparent thin film was measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Further, the oxygen permeability was measured at 40 ° C. and 0% RH using a gas permeability measuring device manufactured by MOCON.

【0045】[0045]

【表1】 [Table 1]

【0046】(実施例5)実施例1で得たガスバリヤー
性フィルムについて、透明性を評価するための可視光線
透過率測定、および黄色みを評価するための波長390
nmにおける平行光線透過率測定を行い、その結果を表
2に示した。なお、測定装置として、日立製作所製分光
光度計U−3400を用い、光入射面は透明薄膜層側と
した。
Example 5 The gas barrier film obtained in Example 1 was measured for visible light transmittance for evaluating transparency, and wavelength 390 for evaluating yellowness.
The parallel light transmittance measurement in nm was performed, and the results are shown in Table 2. Note that a spectrophotometer U-3400 manufactured by Hitachi, Ltd. was used as a measuring device, and the light incident surface was on the transparent thin film layer side.

【0047】(比較例4)ガスバリヤー性フィルムとし
て、シリカ薄膜が形成されたフィルム(三菱興人パック
ス(株)製品、商品名テックバリア)を用い、実施例5
と同様にして可視光線透過率および平行光線透過率の測
定を行い、その結果を表2に併せて示した。
Comparative Example 4 A film on which a silica thin film was formed (a product of Mitsubishi Kojin Pax Co., Ltd., trade name: Tech Barrier) was used as a gas barrier film.
The visible light transmittance and the parallel light transmittance were measured in the same manner as described above, and the results are shown in Table 2.

【0048】(比較例5)厚さ12μmのPETフィル
ムについて、実施例5と同様にして可視光線透過率およ
び平行光線透過率の測定を行い、その結果を表2に併せ
て示した。
(Comparative Example 5) The visible light transmittance and the parallel light transmittance of a PET film having a thickness of 12 μm were measured in the same manner as in Example 5, and the results are shown in Table 2.

【0049】[0049]

【表2】 [Table 2]

【0050】表2の結果から、実施例5で用いたフィル
ムは、透明性が高く、かつ比較例4で用いたフィルムよ
りも黄色みが少ないことがわかる。
From the results shown in Table 2, it can be seen that the film used in Example 5 has high transparency and is less yellowish than the film used in Comparative Example 4.

【0051】[0051]

【発明の効果】本発明に係わるガスバリヤー性フィルム
およびその積層体は、高いガスバリヤー性と優れた透明
性とを有しており、貯蔵時に特に高いガスバリヤー性が
求められる医薬品の収納容器用材料として好適である。
また、それらの製造方法によれば、高いガスバリヤー性
と優れた透明性とを有するガスバリヤー性フィルムおよ
びその積層体を容易に製造することができる。
Industrial Applicability The gas barrier film and the laminate thereof according to the present invention have high gas barrier properties and excellent transparency, and are used for storage containers of pharmaceuticals that require particularly high gas barrier properties during storage. It is suitable as a material.
Further, according to those production methods, a gas barrier film having high gas barrier properties and excellent transparency and a laminate thereof can be easily produced.

フロントページの続き Fターム(参考) 3E086 BA04 BA13 BA15 BB01 CA28 4F100 AA12B AA13B AA19B AA20B AB10B AB11B AK01A AK03A AK03C AK41A AK42 AK45A AK49A AK51G AK63 AK69A AL01A BA02 BA03 BA04 BA07 BA10A BA10C CA02 EH66B EJ65D GB16 GB66 JD02B JL11D JN01B YY00BContinued on the front page F-term (reference) 3E086 BA04 BA13 BA15 BB01 CA28 4F100 AA12B AA13B AA19B AA20B AB10B AB11B AK01A AK03A AK03C AK41A AK42 AK45A AK49A AK51G AK63 AK69A02 BA01 BA02 BA03 BA02 BA03 BA02 BA03

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】プラスチックフィルムの少なくとも一方の
面に、酸素濃度2〜64原子%、窒素濃度0.5〜56
原子%、珪素濃度0.5〜55原子%、およびアルミニ
ウム濃度5〜80原子%からなる透明薄膜層が形成され
ており、ここで酸素、窒素、珪素およびアルミニウムの
合計濃度が30〜100原子%であることを特徴とする
ガスバリヤー性フィルム。
An oxygen concentration of 2 to 64 at.% And a nitrogen concentration of 0.5 to 56 on at least one surface of a plastic film.
A transparent thin film layer having an atomic%, a silicon concentration of 0.5 to 55 atomic%, and an aluminum concentration of 5 to 80 atomic% is formed, wherein the total concentration of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum is 30 to 100 atomic%. A gas barrier film characterized by the following.
【請求項2】前記のプラスチックフィルムが、ポリエス
テル、ポリアミド、エチレン・ビニルアルコール共重合
体、ポリオレフィン、およびポリイミドからなる群から
選ばれる少なくとも1種の樹脂から形成されたフィルム
であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリヤー
性フィルム。
2. The method according to claim 1, wherein the plastic film is a film formed from at least one resin selected from the group consisting of polyester, polyamide, ethylene / vinyl alcohol copolymer, polyolefin, and polyimide. The gas barrier film according to claim 1.
【請求項3】前記のガスバリヤー性フィルムが、医薬品
を収納する包装容器材であることを特徴とする請求項1
または2に記載のガスバリヤー性フィルム。
3. The gas barrier film according to claim 1, wherein the gas barrier film is a packaging container for storing a medicine.
Or the gas barrier film according to 2.
【請求項4】請求項1または2に記載のガスバリヤー性
フィルムは、その透明薄膜層がさらにポリオレフィンフ
ィルム層で被覆されていることを特徴とするガスバリヤ
ー性フィルム積層体。
4. The gas barrier film laminate according to claim 1, wherein the transparent thin film layer of the gas barrier film according to claim 1 is further covered with a polyolefin film layer.
【請求項5】前記の透明薄膜層は、それとポリオレフィ
ンフィルム層とがアンカーコート剤層を介して積層され
ていることを特徴とする請求項4に記載のガスバリヤー
性フィルム積層体。
5. The gas barrier film laminate according to claim 4, wherein the transparent thin film layer and the polyolefin film layer are laminated via an anchor coat agent layer.
【請求項6】前記のガスバリヤー性フィルム積層体が、
医薬品を収納する包装容器材であることを特徴とする請
求項4または5に記載のガスバリヤー性フィルム積層
体。
6. The gas barrier film laminate according to claim 1, wherein
The gas barrier film laminate according to claim 4, wherein the laminate is a packaging container material for storing a medicine.
【請求項7】プラスチックフィルムの少なくとも一方の
面上に、アルミニウム、酸化アルミニウム、および窒化
アルミニウムからなる群から選ばれる少なくとも1種の
材料と、珪素、酸化珪素、および窒化珪素からなる群か
ら選ばれる少なくとも1種の材料との組み合わせを蒸着
材料にして真空蒸着し、その際必要に応じて酸素および
/または窒素の存在下で行い、それによって酸素濃度2
〜64原子%、窒素濃度0.5〜56原子%、珪素濃度
0.5〜55原子%、およびアルミニウム濃度5〜80
原子%からなる透明薄膜層を形成し、ここで酸素、窒
素、珪素およびアルミニウムの合計濃度が30〜100
原子%になることを特徴とするガスバリヤー性フィルム
の製造方法。
7. At least one material selected from the group consisting of aluminum, aluminum oxide and aluminum nitride and at least one material selected from the group consisting of silicon, silicon oxide and silicon nitride on at least one surface of the plastic film The combination with at least one material is used as a deposition material and vacuum-deposited, optionally in the presence of oxygen and / or nitrogen, whereby an oxygen concentration of 2
-64 atomic%, nitrogen concentration 0.5-56 atomic%, silicon concentration 0.5-55 atomic%, and aluminum concentration 5-80
A transparent thin film layer consisting of at.% Is formed, wherein the total concentration of oxygen, nitrogen, silicon and aluminum is 30 to 100.
A method for producing a gas barrier film, characterized in that the content is at least atomic%.
【請求項8】前記の蒸着材料が、アルミニウムと珪素と
の組み合わせであることを特徴とする請求項7に記載の
ガスバリヤー性フィルムの製造方法。
8. The method according to claim 7, wherein the vapor deposition material is a combination of aluminum and silicon.
【請求項9】前記の蒸着材料が、窒化アルミニウムと、
珪素、酸化珪素、および窒化珪素からなる群から選ばれ
る少なくとも1種の材料との組み合わせであることを特
徴とする請求項7に記載のガスバリヤー性フィルムの製
造方法。
9. The method according to claim 1, wherein the deposition material comprises aluminum nitride,
The method for producing a gas barrier film according to claim 7, wherein the method is a combination with at least one material selected from the group consisting of silicon, silicon oxide, and silicon nitride.
【請求項10】前記の蒸着材料が、アルミニウムまたは
酸化アルミニウムと窒化珪素との組み合わせであること
を特徴とする請求項7に記載のガスバリヤー性フィルム
の製造方法。
10. The method for producing a gas barrier film according to claim 7, wherein said vapor deposition material is a combination of aluminum or aluminum oxide and silicon nitride.
【請求項11】前記の真空蒸着は、系内に窒素ガスを導
入してプラズマが生起する条件下で行われることを特徴
とする請求項7〜10のいずれかに記載のガスバリヤー
性フィルムの製造方法。
11. The gas barrier film according to claim 7, wherein the vacuum deposition is performed under a condition in which a plasma is generated by introducing a nitrogen gas into the system. Production method.
【請求項12】前記の真空蒸着は、系内に窒素ガスを導
入してプラスチックフィルムの表面付近に窒素イオンが
生起する条件下で行われることを特徴とする請求項7〜
10のいずれかに記載のガスバリヤー性フィルムの製造
方法。
12. The vacuum deposition method according to claim 7, wherein the vacuum deposition is performed under a condition in which nitrogen gas is introduced into the system and nitrogen ions are generated near the surface of the plastic film.
11. The method for producing a gas barrier film according to any one of items 10.
【請求項13】請求項7〜12のいずれかに記載の方法
でガスバリヤー性フィルムを製造した後、その透明薄膜
層上にアンカーコート剤を介してポリオレフィンフィル
ムを接合することを特徴とするガスバリヤー性フィルム
積層体の製造方法。
13. A gas comprising the steps of: producing a gas barrier film by the method according to claim 7; and bonding a polyolefin film on the transparent thin film layer via an anchor coat agent. A method for producing a barrier film laminate.
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