JP2002359981A - フレックステンショナル・トランスデューサおよびその形成方法 - Google Patents

フレックステンショナル・トランスデューサおよびその形成方法

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JP2002359981A JP2002077505A JP2002077505A JP2002359981A JP 2002359981 A JP2002359981 A JP 2002359981A JP 2002077505 A JP2002077505 A JP 2002077505A JP 2002077505 A JP2002077505 A JP 2002077505A JP 2002359981 A JP2002359981 A JP 2002359981A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 個々のフレックステンショナル・トランスデ
ューサの構造、および複数のフレックステンショナル・
トランスデューサの配列の設計上の自由度を高めること
ができるフレックステンショナル・トランスデューサを
提供する。 【解決手段】 その中に流体キャビティ（２１、１２
１、２２１）を画定される支持体（２０、１２０、２２
０）と、前記支持体によって支持され、間隔を置いて配
置される一対の縁部（３３、３３’、１３３、２３３）
と、その中に画定され、前記流体キャビティと流通する
オリフィス（３１、１３１、２３１）とを有する可撓性
膜部（３０、１３０、２３０）と、前記可撓性膜部と関
連付けられるアクチュエータ（４０、１４０、２４０）
とを備え、該アクチュエータは、電気信号に応答して、
前記可撓性膜部を撓ませるように構成されるフレックス
テンショナル・トランスデューサ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は全般に液滴イジェク
タに関し、より詳細には流動性材料の液滴を吐出するた
めのフレックステンショナル・トランスデューサおよび
その形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】流動性材料の液滴を制御しながら吐出す
るために液滴イジェクタが開発されている。液滴イジェ
クタの一例には、フレックステンショナル・トランスデ
ューサが含まれる。図１５および図１６に示されるよう
に、従来のフレックステンショナル・トランスデューサ
９０は、円柱体９２と、オリフィス９６を画定する円形
の可撓性膜９４と、環状アクチュエータ９８とを含む。
円柱体は、流動性材料の供給源を保持するための収容部
を画定し、円形の可撓性膜は、円柱体に固定される外周
縁部を有する。環状アクチュエータは、電圧が印加され
る際に変形する圧電性材料を含む。その場合に、圧電性
材料が変形すると、円形の可撓性膜が撓み、ある量の流
動性材料が収容部からオリフィスを通して吐出されるよ
うになる。
【０００３】フレックステンショナル・トランスデュー
サの１つの応用形態は、インクジェットプリンティング
システムへの適用である。その場合に、インクジェット
プリンティングシステムは、印刷媒体上に画像を形成す
るために、オリフィスあるいはノズルを通してインク滴
を吐出する複数のフレックステンショナル・トランスデ
ューサを含む。画質を改善するための１つの方法は、画
像の解像度を高めることである。画像の解像度は、ドッ
ト／インチ（dots-per-inch）で測定される。それゆ
え、解像度を改善するためには、１インチ当たりのドッ
トの数を増加しなければならない。したがって、１イン
チ当たりのインク滴の数を増加しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】１インチ当たりのイン
ク滴の数を増加するための１つの方法は、プリントヘッ
ドの単位面積当たりのオリフィスあるいはノズルの数を
増加することである。それゆえ、インク滴を吐出するフ
レックステンショナル・トランスデューサの密度を高め
なければならない。それゆえ、固定されたインク滴サイ
ズの場合、フレックステンショナル・トランスデューサ
間の間隔、より具体的には、オリフィスあるいはノズル
間の間隔を減少しなければならない。従来のフレックス
テンショナル・トランスデューサは円柱形であるため、
フレックステンショナル・トランスデューサの配列、お
よび／またはその間の間隔は円柱形の形状によって制限
される。したがって、複数の従来のフレックステンショ
ナル・トランスデューサの密度を高めることは制限され
る。
【０００５】したがって、本発明の目的は、個々のフレ
ックステンショナル・トランスデューサの構造、および
複数のフレックステンショナル・トランスデューサの配
列の設計上の自由度を高めることができるフレックステ
ンショナル・トランスデューサを提供することである。
より詳細には、本発明の目的は、コンパクトなアレイを
可能にし、それゆえ、複数のフレックステンショナル・
トランスデューサのオリフィスの密度を高めることがで
きるフレックステンショナル・トランスデューサを提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の一態様はフレッ
クステンショナル・トランスデューサを提供する。フレ
ックステンショナル・トランスデューサは、その中に流
体キャビティを形成された支持体と、支持体によって支
持される可撓性膜部と、可撓性膜部に関連するアクチュ
エータとを備える。可撓性膜部は、間隔を置いて配置さ
れる一対の縁部と、その中に画定され、流体キャビティ
と流通するオリフィスとを有する。その場合に、アクチ
ュエータは、電気信号に応答して、可撓性膜部を撓ませ
るように構成される。
【０００７】一実施形態では、流体キャビティは、流体
が可撓性膜部のオリフィスと流通するように、その中に
流体の供給源を保持するように構成される。一実施形態
では、可撓性膜部のオリフィスは、可撓性膜部が撓むの
に応じて、ある量の流体を吐出するように構成されるノ
ズルを画定する。
【０００８】一実施形態では、可撓性膜部の間隔を置い
て配置される一対の縁部は概ね直線である。一実施形態
では、可撓性膜部の間隔を置いて配置される一対の縁部
は曲線をなす。
【０００９】一実施形態では、流体キャビティは相対す
る側面を有し、可撓性膜部の一対の離隔した縁部は、流
体キャビティの相対する側面に従う。一実施形態では、
支持体は、流体キャビティの相対する側面を画定する、
相対する側壁を備える。一実施形態では、支持体の側壁
は概ね直線である。一実施形態では、支持体の側壁は曲
線をなす。一実施形態では、可撓性膜部の間隔を置いて
配置される一対の縁部は、支持体の側壁内に配置され
る。
【００１０】一実施形態では、可撓性膜部の間隔を置い
て配置される一対の縁部は、可撓性膜部内の間隔を置い
て配置される一対のスリットによって形成される。一実
施形態では、間隔を置いて配置される一対のスリット
は、可撓性膜部を貫通する間隔を置いて配置される切込
みを含む。一実施形態では、間隔を置いて配置される一
対のスリットは、可撓性膜部内の間隔を置いて配置され
るチャネルを含む。
【００１１】一実施形態では、可撓性膜部は、間隔を置
いて配置される一対の縁部間に延在する縁部を有する。
一実施形態では、可撓性膜部の縁部は、間隔を置いて配
置される一対の縁部に概ね垂直に向けられる。一実施形
態では、可撓性膜部の縁部は、可撓性膜部内のスリット
によって形成される。
【００１２】一実施形態では、可撓性膜部は、流体キャ
ビティ上に片持ち支持される。一実施形態では、可撓性
膜部は、その中に複数のオリフィスを画定される。
【００１３】一実施形態では、アクチュエータが、可撓
性膜部の側面に設けられ、可撓性膜部のオリフィスと支
持された端部との間に配置される。一実施形態では、ア
クチュエータは、第１のアクチュエータと第２のアクチ
ュエータとを含み、オリフィスが第１のアクチュエータ
と第２のアクチュエータとの間に配置されるようにす
る。一実施形態では、アクチュエータは圧電性材料を含
む。
【００１４】本発明の別の実施形態は、フレックステン
ショナル・トランスデューサを形成する方法を提供す
る。その方法は、支持体内に流体キャビティを画定する
ステップと、支持体によって可撓性膜部を支持するステ
ップと、可撓性膜部の間隔を置いて配置される一対の縁
部を画定するステップと、可撓性膜部のオリフィスを流
体キャビティと流通させるステップと、アクチュエータ
を可撓性膜部と関連付けるステップとを含む。その場合
に、アクチュエータは、電気信号に応答して、可撓性膜
部を撓ませるように構成される。
【００１５】本発明の別の態様は、流体の液滴を吐出す
る方法を提供する。その方法は、流体キャビティに流体
を供給するステップと、間隔を置いて配置される一対の
縁部と、その中に画定されるオリフィスとを有する可撓
性膜部を、オリフィスが流体キャビティと流通するよう
に流体キャビティ上に延在させるステップと、可撓性膜
部が撓む際に、可撓性膜部のオリフィスを通ってある量
の流体を吐出するために、流体キャビティに対して可撓
性膜部を撓ませるステップとを含む。
【００１６】本発明の別の態様は、フレックステンショ
ナル・トランスデューサを提供する。フレックステンシ
ョナル・トランスデューサは、その中に流体キャビティ
を形成された支持体と、支持体によって支持され、その
中に流体キャビティと流通するオリフィスを画定される
可撓性膜部と、可撓性膜部に関連するアクチュエータ
と、アクチュエータに隣接するコンプライアント機構と
を備える。アクチュエータは、電気信号に応答して、可
撓性膜部を撓ませるように構成される。その場合に、コ
ンプライアント機構は、可撓性膜部を撓ませるのを容易
にする。
【００１７】本発明は、流体の液滴を制御しながら吐出
するように構成されるフレックステンショナル・トラン
スデューサを提供する。フレックステンショナル・トラ
ンスデューサは、電気信号に応答して可撓性膜部を撓ま
せるアクチュエータを備える。可撓性膜部は、間隔を置
いて配置される縁部と、その中に画定され、可撓性膜部
を撓ませることにより、流体キャビティから流体を吐出
できるようにするオリフィスとを有する。さらに本発明
は、アレイに配列された複数のフレックステンショナル
・トランスデューサを含むフレックステンショナル・ト
ランスデューサアセンブリを提供する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に記載される好ましい実施形
態の詳細な説明において、好ましい実施形態の一部を構
成し、本発明が実施される場合がある特定の実施形態を
例示によって示す添付の図面が参照される。これに関し
て、「上部」、「底部」、「正面」、「背面」、「先
端」、「後端」などの方向に関する用語は、説明される
図面の向きに関連して用いられる。本発明の構成要素は
多数の異なる向きに配置されることができるため、方向
に関する用語は例示の目的で用いられ、限定するもので
はない。本発明の範囲から逸脱することなく、他の実施
形態が用いられる場合があり、構成的および論理的な変
更がなされる場合があることは理解されたい。それゆ
え、以下の詳細な説明は制限する意味に取られるべきで
はなく、本発明の範囲は添付の請求の範囲によって画定
される。
【００１９】図１〜図５はフレックステンショナル・ト
ランスデューサ１０の一実施形態を示す。フレックステ
ンショナル・トランスデューサ１０は、流動性材料の液
滴を吐出する液滴吐出装置である。フレックステンショ
ナル・トランスデューサ１０は、ドロップ・オン・デマ
ンド、および／または連続動作モードを含む場合があ
る。以下に記載されるように、一実施形態では、複数の
フレックステンショナル・トランスデューサ１０が、フ
レックステンショナル・トランスデューサのアレイを形
成するように配列される。理解しやすくするために、以
下の説明では、フレックステンショナル・トランスデュ
ーサ１０からの流体の吐出が参照される。ここで用いら
れる「流体」は、水、インク、血液あるいはフォトレジ
ストのような液体、あるいはタルカムパウダーのような
固体の流動性粒子を含む、任意の流動性材料を含むもの
と定義される。
【００２０】一実施形態では、フレックステンショナル
・トランスデューサ１０は、支持構造あるいは支持体２
０と、可撓性膜部３０と、アクチュエータ４０とを備え
る。支持体２０は、その中に形成され、フレックステン
ショナル・トランスデューサ１０のための流体の供給源
と流通する流体キャビティ２１を有する。支持体２０
は、流体キャビティ２１の相対する側面２３を画定す
る、相対する側壁２２を含む。一実施形態では、流体キ
ャビティ２１は概ね長方形である。その場合に、支持体
２０の相対する側壁２２は、概ね直線状の側壁である。
さらに、側壁２２は概ね平行であり、流体キャビティ２
１の概ね平行な、相対する側面を画定する。
【００２１】可撓性膜部３０は、流体キャビティ２１お
よび可撓性膜部３０が流体収容部２４を画定するよう
に、流体キャビティ２１上に延在する。その場合に、流
体収容部２４は、フレックステンショナル・トランスデ
ューサ１０のための流体を保持あるいは収容する。以下
に記載されるように、可撓性膜部３０が撓むことによ
り、流体収容部２４から流体を吐出することができる。
したがって、流体収容部２４は、フレックステンショナ
ル・トランスデューサ１０の動作によって加圧される必
要はない。さらに、フレックステンショナル・トランス
デューサ１０の動作のために、流体収容部２４を完全に
封止する必要もない。
【００２２】可撓性膜部３０は、その中に画定され、流
体キャビティ２１と流通するオリフィス３１を有する。
その場合に、流体キャビティ２１が流体を供給されると
き、流体がオリフィス３１と流通する。可撓性膜部３０
は、軸３２と、一対の間隔を置いて配置された縁部３３
とを含む。さらに、オリフィス３１は、可撓性膜部３０
の軸３２に概ね垂直に向けられた軸３４を有する。オリ
フィス３１は、以下に記載されるように、可撓性膜部３
０が撓むのに応じて、流体キャビティ２１からある量の
流体を吐出するためのノズルを画定する。
【００２３】可撓性膜部３０は、たとえば、可撓性を有
する薄いシリコンの層、あるいは可撓性の窒化シリコン
またはシリコンカーバイドの薄膜のような可撓性材料か
ら形成される。一実施形態では、支持体２０および可撓
性膜部３０は、たとえば、シリコンのような同種の材料
から形成される。その場合に、可撓性膜部３０は、流体
キャビティ２１にわたって延在する可撓性を有する薄い
シリコンの層によって形成される。
【００２４】図１に示されるように、一実施形態では、
可撓性膜部３０の間隔を置いて配置される縁部３３は概
ね直線をなす。より具体的には、間隔を置いて配置され
る縁部３３は概ね平行であり、軸３２に概ね平行に向け
られる。その場合に、可撓性膜部３０は概ね長方形であ
る。さらに、流体キャビティ２１の相対する側面２３は
概ね直線をなす。それゆえ、可撓性膜部３０の間隔を置
いて配置される縁部３３は、流体キャビティ２１の相対
する側面２３の外形に従う。その場合に、可撓性膜部３
０の間隔を置いて配置される縁部３３は、流体キャビテ
ィ２１の相対する側面２３に概ね平行に向けられ、平面
図においてその側面２３内に配置される。
【００２５】一実施形態では、可撓性膜部３０の間隔を
置いて配置される縁部３３は、可撓性膜部３０内の間隔
を置いて配置される一対のスリット３５によって形成さ
れる。一実施形態では、スリット３５は、可撓性膜部３
０の両側にある端部３６と３７との間に延在する、概ね
平行に間隔を置いて配置されるスリットである。スリッ
ト３５によって、可撓性膜部３０は、支持体２０に対し
て、それゆえ流体キャビティ２１に対して撓むことがで
きるようになる。
【００２６】図２に示されるように、一実施形態では、
スリット３５は、可撓性膜部３０を貫通する、間隔を置
いて配置される切込み３５ａによって形成されるスルー
スリット（through-slit）である。その場合に、切込み
３５ａは、流体キャビティ２１内の流体が切込み３５ａ
を通って流出するのを防ぐために、ポリマーのような可
撓性材料あるいは薄膜で封止される場合がある。しかし
ながら、切込み３５ａは、流体キャビティ２１内の流体
の表面張力あるいは粒子サイズに基づいて、流体が切込
み３５ａから流出するのを防ぐ幅で形成される場合もあ
る。切込み３５ａはたとえば、切込み３５ａがオリフィ
ス３１より、流動に対して大きな抵抗力を示すように、
オリフィス３１の直径より著しく狭くすることができ
る。
【００２７】図３に示されるように、別の実施形態で
は、スリット３５は、可撓性膜部３０内に間隔を置いて
配置される溝あるいはチャネル３５ｂによって形成され
る非スルースリットである。その場合に、チャネル３５
ｂは、可撓性膜部３０のより薄い材料からなる弱い領域
を形成する。チャネル３５ｂは、たとえば、エッチング
などによって、可撓性膜部３０の一部の厚みを低減する
ことにより形成される場合がある。支持体２０に対し
て、可撓性膜部３０を所望のように撓ませるために、チ
ャネル３５ｂは、チャネル３５ｂに沿ってさらに大きな
可撓性が達成されるように、切込み３５ａより幅広く形
成される場合がある。
【００２８】可撓性膜部３０の間隔を置いて配置される
縁部３３が可撓性膜部３０内のスリット３５によって形
成される場合、可撓性膜部３０は、間隔を置いて配置さ
れる縁部３３間に延在する部分と、間隔を置いて配置さ
れる縁部３３から横方向に設けられる部分とを含む。し
かしながら、スリット３５の外側縁部は、間隔を置いて
配置される縁部３３から横方向に設けられる可撓性膜部
３０の部分が最小になるように、流体キャビティ２１の
相対する側面２３と位置合わせされる場合がある。さら
に、スリット３５は、可撓性膜部３０の間隔を置いて配
置される縁部３３に沿って設けられる隙間によって形成
される場合もある。
【００２９】一実施形態では、可撓性膜部３０の両側に
ある端部３６および３７はいずれも支持体２０によって
支持される。より具体的には、端部３６および３７は、
支持体２０の側壁２２に取り付けられる。したがって、
可撓性膜部３０は、端部３６および３７において支持体
２０にクランプ、あるいは固定されるビームを形成す
る。それゆえ、端部３６および３７は、可撓性膜部３０
の支持および／または固定される端部を構成し、間隔を
置いて配置される縁部３３は、たとえばスリット３５に
よって形成されるような、可撓性膜部３０の支持されな
い縁部を構成する。したがって、間隔を置いて配置され
る縁部３３は支持体２０によって支持されない。それゆ
え、可撓性膜部３０は、全ての側面より少ない側面上に
支持される。その場合に、以下に記載されるように、ス
リット３５によって、支持体２０に対して可撓性膜部３
０を撓ませることができる。可撓性膜部３０の両端部３
６および３７が支持体２０によって支持される場合、可
撓性膜部３０の最大の撓みは、対称な撓みモード中にオ
リフィス３１において生じる。
【００３０】アクチュエータ４０は、可撓性膜部３０に
関連し、可撓性膜部３０を撓ませるようにする。一実施
形態では、アクチュエータ４０は、可撓性膜部３０の流
体キャビティ２１とは反対側に設けられる。より具体的
には、アクチュエータ４０は、可撓性膜部３０の流体キ
ャビティ２１とは反対側に取り付けられるか、あるいは
形成される。その場合に、アクチュエータ４０は、流体
キャビティ２１内に収容される流体と直には接触しな
い。したがって、腐食あるいは電気的短絡のような、流
体に接触することによりアクチュエータ４０が受ける任
意の潜在的な作用は回避される。アクチュエータ４０
は、可撓性膜部３０の流体キャビティ２１とは反対側に
設けられるように示されるが、アクチュエータ４０が可
撓性膜部３０の流体キャビティ２１に面する側に設けら
れる場合も、本発明の範囲内にある。
【００３１】一実施形態では、アクチュエータ４０は、
第１のアクチュエータ４１と、第２のアクチュエータ４
２とを備える。第１のアクチュエータ４１および第２の
アクチュエータ４２はいずれも、可撓性膜部３０の流体
キャビティ２１とは反対側に取り付けられるか、あるい
は形成される。さらに、オリフィス３１は、第１のアク
チュエータ４１と第２のアクチュエータ４２との間に配
置される。その場合に、第１のアクチュエータ４１およ
び第２のアクチュエータ４２は、オリフィス３１の両側
に配置される。より具体的には、第１のアクチュエータ
４１および第２のアクチュエータ４２は、軸３２に沿っ
て、可撓性膜部３０の端部３６とオリフィス３１との
間、およびオリフィス３１と端部３７との間にそれぞれ
配置される。
【００３２】一実施形態では、アクチュエータ４０は、
電気信号に応答して、形状が変化する、たとえば伸長お
よび／または収縮する圧電性材料を含む。アクチュエー
タ４０は、可撓性膜部３０の軸３２に沿った方向に伸長
および／または収縮することが好ましい。したがって、
電気信号に応答して、アクチュエータ４０は、可撓性膜
部３０に力を加え、可撓性膜部３０が撓むことができる
ようにする。その場合に、オリフィス３１は、可撓性膜
部３０が撓む際に最大の撓みを達成する可撓性膜部３０
の領域に配置される。圧電性材料の例には、酸化亜鉛、
あるいはチタン酸バリウム、ジルコン酸チタン酸鉛（Ｐ
ＺＴ）、またはジルコン酸チタン酸鉛ランタン（ＰＬＺ
Ｔ）のような圧電セラミック材料がある。アクチュエー
タ４０は、可撓性膜部３０が動くか、あるいは撓むよう
にできる、静電、静磁および／または熱膨張アクチュエ
ータを含む任意のタイプの素子を含む場合があることは
理解されよう。
【００３３】フレックステンショナル・トランスデュー
サ１０のコンプライアント(compliant)機構は、支持体
２０に対して可撓性膜部３０を撓ませるのを容易にす
る。可撓性膜部３０の間隔を置いて配置される縁部３
３、および可撓性膜部３０内に間隔を置いて配置される
スリット３５は、フレックステンショナル・トランスデ
ューサ１０のコンプライアント機構の例を構成する。一
実施形態では、フレックステンショナル・トランスデュ
ーサ１０のコンプライアント機構により、アクチュエー
タ４０によって加えられた力に応じて、可撓性膜部３０
が撓むようになる。したがって、フレックステンショナ
ル・トランスデューサ１０のコンプライアント機構は、
アクチュエータ４０に隣接して設けられる。
【００３４】フレックステンショナル・トランスデュー
サ１０のコンプライアント機構は、可撓性膜部３０の縁
部３３に沿って設けられる隙間、および／またはアクチ
ュエータ４０によって加えられる力に応じて、撓むか、
あるいは曲がる可撓性膜部３０の領域を含む場合があ
る。それゆえ、フレックステンショナル・トランスデュ
ーサ１０のコンプライアント機構は、可撓性膜部３０の
縁部３３に沿って隙間を形成する、可撓性膜部３０を貫
通する切込み３５ａと、可撓性膜部３０の弾性あるいは
柔軟性領域を形成する、可撓性膜部３０内のチャネル３
５ｂとを含む。
【００３５】図５に示されるように、可撓性膜部３０が
撓むとき、流体の液滴１２が形成され、フレックステン
ショナル・トランスデューサ１０のオリフィス３１から
吐出される。可撓性膜部３０は全ての側面より少ない側
面上で支持あるいは固定されるため、アクチュエータ４
０によって加えられる力により、可撓性膜部３０は、図
１５および図１６に示されるような、全ての側面におい
て支持あるいは固定される従来のフレックステンショナ
ル・トランスデューサ９０の相当する領域の円形可撓性
膜９４よりも大きく変位することができる。したがっ
て、可撓性膜部３０がより大きく変位する結果として、
オリフィス３１を通過する液滴の吐出速度が速くなる。
図５に示される可撓性膜部３０が撓む範囲は、本発明を
理解しやすくするために誇張して表現されていることは
理解されよう。
【００３６】アクチュエータ４０に周期的に電気信号を
加えることにより、可撓性膜部３０は振動するようにな
る。可撓性膜部３０は、ある共振周波数を有し、その場
合に、種々の共振振動モードで振動することができる。
可撓性膜部３０は、最も低い次数、すなわちオリフィス
３１において最大の撓みが生じる対称な共振振動モード
で振動することが好ましい。それゆえ、フレックステン
ショナル・トランスデューサ１０は、所定の速度および
／または所定の間隔で流体の液滴１２を吐出する。
【００３７】可撓性膜部３０が振動する周波数は、可撓
性膜部３０の材料およびサイズに依存する。たとえば図
１〜図５に示されるような、可撓性膜部３０が両側にあ
る端部３６および３７において支持される、１つの例示
的な実施形態では、最も低い次数、すなわち対称な共振
振動モードにおける可撓性膜部３０の振動周波数（ｆ）
と、可撓性膜部３０の厚さ（ｔ）と、可撓性膜部３０の
長さ（ｌ）との間の関係は、以下の式によって表され
る。 ｆ＝（７．６＊１０＾３）ｔ／ｌ＾２ （ｆ：Ｈｚ、
ｔ：μｍ、ｌ：ｍｍ）
【００３８】可撓性膜部３０の厚さ（ｔ）は可撓性膜部
３０の表面に垂直な方向で測定され、可撓性膜部３０の
長さ（ｌ）は可撓性膜部３０の軸３２に沿って測定され
る。その場合に、その例示的な実施形態では、可撓性膜
部３０の共振周波数（ｆ）は、可撓性膜部３０の幅とは
無関係である。可撓性膜部３０の厚さ（ｔ）は可撓性膜
部３０の剛性を高め、それゆえ可撓性膜部３０の変位を
変更するように厚くされる場合があることは理解されよ
う。したがって、たとえば所望のオリフィスサイズおよ
び／または液滴速度に合致するように、種々の変位を設
計することができる。
【００３９】図６はフレックステンショナル・トランス
デューサ１０の別の実施形態を示す。フレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１０’はフレックステンショ
ナル・トランスデューサ１０と類似であるが、フレック
ステンショナル・トランスデューサ１０’の可撓性膜部
３０が、曲げられるか、あるいは曲線をなす、間隔を置
いて配置される縁部３３’を含む点が異なる。より具体
的には、間隔を置いて配置される縁部３３’は、可撓性
膜部３０の端部３６および３７において収束し、軸３２
および軸３４に対して概ね対称になる。その場合に、可
撓性膜部３０は概ね楕円形になる。
【００４０】さらに、フレックステンショナル・トラン
スデューサ１０’の流体キャビティ２１の相対する側面
２３は曲げられるか、あるいは曲面をなす。それゆえ、
可撓性膜部３０の間隔を置いて配置される縁部３３’
は、流体キャビティ２１の相対する側面２３に従う。そ
の場合に、可撓性膜部３０の間隔を置いて配置される縁
部３３’は、平面図において、流体キャビティ２１の相
対する側面２３内に配置される。離間して配置される縁
部３３’は、上記と同様に、間隔を置いて配置されるス
リット３５’によって形成される。
【００４１】図７はフレックステンショナル・トランス
デューサ１０の別の実施形態を示す。フレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１０’’はフレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１０と類似であるが、フレッ
クステンショナル・トランスデューサ１０’’の可撓性
膜部３０は、その中に複数のオリフィス３１を形成され
る点が異なる。したがって、アクチュエータ４０によっ
て可撓性膜部３０を撓ませることにより、複数の液滴が
同時に生成される。オリフィス３１は、フレックステン
ショナル・トランスデューサ１０’’の軸３４および／
または軸３２に沿って、および／またはその周囲に、１
つあるいは複数の行をなして配列されることが好まし
い。その場合に、オリフィス３１は、最大の撓みを達成
する可撓性膜部３０の領域に配置される。可撓性膜部３
０内に形成されるオリフィス３１の数、および／または
オリフィス３１の行の数は変更される場合があることは
理解されよう。
【００４２】図８は、フレックステンショナル・トラン
スデューサアセンブリ１４の一部の一実施形態を示す。
フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ
１４は液滴吐出装置を形成し、流動性材料の液滴を吐出
する複数のフレックステンショナル・トランスデューサ
１０を備える。その場合に、フレックステンショナル・
トランスデューサアセンブリ１４は、フレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１０のアレイを含む。したが
って、一実施形態では、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサアセンブリ１４は、その中に複数の流体キ
ャビティ２１を画定する支持体２０と、支持体２０によ
ってそれぞれ支持される複数の可撓性膜部３０と、複数
のアクチュエータ４０とを備える。各アクチュエータ４
０は、上記のように、可撓性膜部３０を撓ませ、流体の
液滴を吐出するように、１つの可撓性膜部３０と関連す
る。
【００４３】フレックステンショナル・トランスデュー
サ１０のアレイを形成するために、個々のフレックステ
ンショナル・トランスデューサ１０が互いに集団を形成
する場合も本発明の範囲内にある。その場合に、フレッ
クステンショナル・トランスデューサ１０は、共通の支
持体２０を共有しない。フレックステンショナル・トラ
ンスデューサ１０のみがアレイとして配列されるように
示されるが、フレックステンショナル・トランスデュー
サアセンブリ１４はフレックステンショナル・トランス
デューサ１０’あるいは１０’’のアレイを含む場合が
あることは理解されよう。
【００４４】一実施形態では、フレックステンショナル
・トランスデューサアセンブリ１４のフレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１０は、直線状のアレイに配
列される。その場合に、１つのフレックステンショナル
・トランスデューサ１０のオリフィス３１は、別のフレ
ックステンショナル・トランスデューサ、より具体的に
は、隣接するフレックステンショナル・トランスデュー
サ１０のオリフィス３１と位置合わせされる。さらに具
体的には、１つのオリフィス３１の軸３４が、隣接する
オリフィス３１の軸３４と位置合わせされる。したがっ
て、隣接するフレックステンショナル・トランスデュー
サ１０のオリフィス３１は、オリフィスの行１６を形成
する。フレックステンショナル・トランスデューサアセ
ンブリ１４のフレックステンショナル・トランスデュー
サ１０は、直線状のアレイに配列されるように示される
が、以下に記載されるもののように、フレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１０が他のアレイに配列され
る場合も本発明の範囲内にある。
【００４５】図９は、フレックステンショナル・トラン
スデューサアセンブリ１４の別の実施形態を示す。フレ
ックステンショナル・アセンブリ１１４は複数のフレッ
クステンショナル・トランスデューサ１１０を含む。フ
レックステンショナル・トランスデューサ１１０は、支
持体１２０と、可撓性膜部１３０と、アクチュエータ１
４０とを備える。支持体１２０はフレックステンショナ
ル・トランスデューサ１０の支持体２０と類似である。
その場合に、支持体１２０は、フレックステンショナル
・トランスデューサ１０に関して上記したものと類似の
複数の流体キャビティ１２１を含む。
【００４６】可撓性膜部１３０は、可撓性膜部３０のオ
リフィス３１に類似のオリフィス１３１を含む。その場
合に、オリフィス１３１は、フレックステンショナル・
トランスデューサ１０に関して上記したものと同じよう
に、可撓性膜部１３０が撓むのに応じて流体キャビティ
１２１からある量の流体を吐出するためのノズルを形成
する。さらに、可撓性膜部１３０は、可撓性膜部３０の
間隔を置いて配置される縁部３３に類似の間隔を置いて
配置される一対の縁部１３３も含む。その場合に、一実
施形態では、間隔を置いて配置される縁部１３３は、ス
リット３５に関して先に記載されたとの同じように、間
隔を置いて配置されるスリット１３５によって形成され
る。
【００４７】しかしながら、可撓性膜部１３０は、間隔
を置いて配置される縁部１３３間に延在する縁部１３８
も有する。一実施形態では、縁部１３８は、可撓性膜部
１３０内に間隔を置いて配置されるスリット１３５の端
部間に延在するスリット１３９によって形成される。し
たがって、フレックステンショナル・トランスデューサ
１０の可撓性膜部３０が両端部３６および３７において
支持されるのに対して、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサ１１０の可撓性膜部１３０は一方の端部１
３６でのみ支持される。その場合に、フレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１１０の可撓性膜部１３０
は、流体キャビティ１２１にわたって広がる、あるいは
延在するように、流体キャビティ１２１の一端部から片
持ち支持される。それゆえ、端部１３６は、可撓性膜部
１３０の支持端を構成し、端部１３７は、可撓性膜部１
３０の遊端を構成する。
【００４８】アクチュエータ１４０は、可撓性膜部１３
０に関連し、可撓性膜部１３０を撓ませる。一実施形態
では、アクチュエータ１４０は、可撓性膜部１３０の流
体キャビティ１２１とは反対側に設けられ、より具体的
には、そこに取り付けられるか、あるいは形成される。
さらに、オリフィス１３１は、可撓性膜部１３０の遊端
１３７に隣接して設けられる。その場合に、アクチュエ
ータ１４０は、可撓性膜部１３０のオリフィス１３１
と、支持端１３６との間に配置される。
【００４９】アクチュエータ１４０に電気信号が加えら
れるとき、アクチュエータ１４０は、その電気信号に応
答して、可撓性膜部１３０に力を加える。その場合に、
可撓性膜部１３０は、端部１３７において最大の撓みが
生じるように撓む。それゆえ、オリフィス１３１は、最
大の撓みを達成する可撓性膜部１３０の領域に配置され
る。したがって、アクチュエータ１４０に周期的に電気
信号を加えることにより、可撓性膜部１３０は、好まし
くは共振状態まで振動し、オリフィス１３１から流体の
液滴を吐出する。
【００５０】一実施形態では、フレックステンショナル
・トランスデューサアセンブリ１１４のフレックステン
ショナル・トランスデューサ１１０は直線状のアレイに
配列される。その場合に、１つのフレックステンショナ
ル・トランスデューサ１１０のオリフィス１３１は、別
のフレックステンショナル・トランスデューサ１１０、
より具体的には、隣接するフレックステンショナル・ト
ランスデューサ１１０のオリフィス１３１と位置合わせ
される。さらに具体的には、１つのオリフィス１３１の
軸１３４は隣接するオリフィス１３１の軸１３４と位置
合わせされる。したがって、隣接するフレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１１０のオリフィス１３１
は、オリフィスの行１１６を形成する。
【００５１】図１０は、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサアセンブリ１１４の別の実施形態を示す。
フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ
１１４’はフレックステンショナル・トランスデューサ
アセンブリ１１４に類似であるが、フレックステンショ
ナル・トランスデューサ１１０は互い違いの直線状のア
レイに配列される点が異なる。その場合に、１つのフレ
ックステンショナル・トランスデューサ１１０のオリフ
ィス１３１は、別のフレックステンショナル・トランス
デューサ１１０、より具体的には、隣接するフレックス
テンショナル・トランスデューサ１１０のオリフィス１
３１に対してオフセットされる。より具体的には、１つ
のオリフィス１３１の軸１３４は、隣接するオリフィス
１３１の軸１３４に対してオフセットされる。一実施形
態では、互い違いのフレックステンショナル・トランス
デューサ１１０のオリフィス１３１は、オリフィス１１
６’の行を形成する。
【００５２】図１１は、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサアセンブリ１１４の別の実施形態を示す。
フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ
１１４’’はフレックステンショナル・トランスデュー
サアセンブリ１１４と類似であるが、フレックステンシ
ョナル・トランスデューサ１１０が少なくとも２つのオ
フセットされた直線状のアレイに配列される点が異な
る。その場合に、１つのフレックステンショナル・トラ
ンスデューサ１１０のオリフィス１３１は、別のフレッ
クステンショナル・トランスデューサ１１０のオリフィ
ス１３１に対してオフセットされる。より具体的には、
１つの直線状アレイの１つのフレックステンショナル・
トランスデューサ１１０の軸１３２は、別の直線状アレ
イの別のフレックステンショナル・トランスデューサ１
１０の軸１３２に対してオフセットされる。しかしなが
ら、１つのオリフィス１３１の軸１３４は、隣接するオ
リフィス１３１の軸１３４と位置合わせされる。一実施
形態では、隣接するフレックステンショナル・トランス
デューサ１１０のオリフィス１３１はオリフィスの第１
の行１１６を形成し、オフセットされたフレックステン
ショナル・トランスデューサ１１０のオリフィス１３１
はオリフィスの第２の行１１６’’を形成する。
【００５３】フレックステンショナル・トランスデュー
サ１１０の２つの直線状アレイは同じ方向に向けられる
ように示されるが、フレックステンショナル・トランス
デューサ１１０が、他の形状に配列される場合も本発明
の範囲内にある。たとえば、オリフィスの行１１６’’
を形成するフレックステンショナル・トランスデューサ
１１０が、１８０°だけ回転される場合がある。こうし
て、フレックステンショナル・トランスデューサ１１０
は２つの反対側にある、オフセットされた直線状アレイ
を形成する。さらに、２つの直線状アレイが示される
が、フレックステンショナル・トランスデューサ１１０
によって形成される直線状アレイの数は変更される場合
がある。
【００５４】図１２は、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサアセンブリ１１４の別の実施形態を示す。
フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ
１１４’’’はフレックステンショナル・トランスデュ
ーサ１１４に類似であるが、フレックステンショナル・
トランスデューサ１１０が放射状のアレイに配列される
点が異なる。その場合に、１つのフレックステンショナ
ル・トランスデューサ１１０のオリフィス１３１は、別
のフレックステンショナル・トランスデューサ１１０の
オリフィス１３１からオフセットされる。より具体的に
は、別のフレックステンショナル・トランスデューサ１
１０のオリフィス１３１から放射状にオフセットされ
る。したがって、１つのフレックステンショナル・トラ
ンスデューサ１１０の軸１３２は、別のフレックステン
ショナル・トランスデューサ１１０の軸１３２と収束す
る。
【００５５】一実施形態では、フレックステンショナル
・トランスデューサ１１０は、オリフィス１３１がフレ
ックステンショナル・トランスデューサアセンブリ１１
４’’’の共通の点から所定の距離だけ放射線状に間隔
を置いて配置されるように放射線状に対称である。さら
に、フレックステンショナル・トランスデューサアセン
ブリ１１４’’’の可撓性膜部１３０の遊端１３７は、
支持端１３６の内側に向かって放射状に配置される。オ
リフィス１３１は１つの放射状アレイに配列されるよう
に示されるが、オリフィス１３１が、多数の行、互い違
いの行および／またはオフセットされた行を含む他の形
状に配列される場合も本発明の範囲内にある。その場合
に、オリフィス１３１は、オリフィスの「シャワー噴水
口」状のアレイを形成する場合もある。
【００５６】一実施形態では、フレックステンショナル
・トランスデューサアセンブリ１１４’’’のフレック
ステンショナル・トランスデューサ１１０の可撓性膜部
１３０は、遊端１３７が支持端１３６より狭くなるよう
に先細にされる。したがって、可撓性膜部１３０の間隔
を置いて配置される縁部１３３、それゆえ間隔を置いて
配置されるスリット１３５は、フレックステンショナル
・トランスデューサアセンブリ１１４’’’の共通の点
に向けて収束する。さらに、流体キャビティ１２１の相
対する側面１２３が先細にされる。それゆえ、可撓性膜
部１３０の間隔を置いて配置される縁部１３３は、流体
キャビティ１２１の相対する側面１２３に従う。
【００５７】図１３は、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサ１１０の別の実施形態を示す。フレックス
テンショナル・トランスデューサ２１０は、支持体２２
０と、可撓性膜部２３０と、アクチュエータ２４０とを
備える。支持体２２０、可撓性膜部２３０およびアクチ
ュエータ２４０は、フレックステンショナル・トランス
デューサ１１０の支持体１２０、可撓性膜部１３０およ
びアクチュエータ１４０とそれぞれ類似であるが、可撓
性膜部２３０は、その中に複数のオリフィス２３１を形
成される点が異なる。したがって、アクチュエータ２４
０によって可撓性膜部２３０を撓ませることにより、複
数の液滴が同時に生成される。
【００５８】一実施形態では、オリフィス２３１は、可
撓性膜部２３０の間隔を置いて配置される縁部２３３に
概ね垂直に向けられる軸２３４に沿って位置合わせされ
る。その場合に、オリフィス２３１は、最大の撓みを達
成する可撓性膜部２３０の領域に配置されるオリフィス
の行２１６を形成する。オリフィス２３１は軸２３４に
沿って位置合わせされるように示されるが、オリフィス
２３１が多数の行、互い違いの行および／またはオフセ
ットされた行を含む他の形状に配列される場合も本発明
の範囲内にある。さらに、可撓性膜部２３０内に形成さ
れるオリフィス２３１の数は変更される場合があること
は理解されよう。
【００５９】図１４は、本発明によるインクジェットプ
リンティングシステム５０の一実施形態を示す。インク
ジェットプリンティングシステム５０は、インクジェッ
トプリントヘッドアセンブリ５２と、インク供給アセン
ブリ５４と、取付けアセンブリ５６と、媒体移送アセン
ブリ５８と、電子コントローラ６０とを備える。インク
ジェットプリントヘッドアセンブリ５２は、インク滴を
印刷媒体５９上に吐出する複数のフレックステンショナ
ル・トランスデューサ１０、１１０あるいは２１０をそ
れぞれ含む、１つあるいは複数のプリントヘッドを備え
る。印刷媒体５９は、紙、カード印刷用厚紙、透明紙等
のような任意のタイプの適当なシート材料である。
【００６０】典型的には、フレックステンショナル・ト
ランスデューサ１０、１１０あるいは２１０は、１つあ
るいは複数の列あるいはアレイに配列される。その場合
に、フレックステンショナル・トランスデューサ１０、
１１０あるいは２１０から適当に順次インクを吐出する
ことにより、インクジェットプリントヘッドアセンブリ
５２および印刷媒体５９が互いに対して移動する際に、
印刷媒体５９上に文字、記号および／または他のグラフ
ィクスあるいは画像が印刷されるようになる。一実施形
態では、種々の色のインクのような種々の特性を有する
流体を吐出するために、個別のフレックステンショナル
・トランスデューサ１０、１１０あるいは２１０が設け
られる場合がある。
【００６１】インク供給アセンブリ５４は、インクジェ
ットプリントヘッドアセンブリ５２にインクを供給し、
インクを収容するための収容部５５を備える。その場合
に、インクは収容部５５からインクジェットプリントヘ
ッドアセンブリ５２に、より具体的には、フレックステ
ンショナル・トランスデューサ１０、１１０あるいは２
１０の流体収容部２４に流れる。一実施形態では、イン
クジェットプリントヘッドアセンブリ５２およびインク
供給アセンブリ５４は、インクジェットカートリッジあ
るいはペン内に一緒に収容される。別の実施形態では、
インクジェット供給アセンブリ５４は、インクジェット
プリントヘッドアセンブリ５２から間隔を置いており、
供給管のような境界接続部を通して、インクをインクジ
ェットプリントヘッドアセンブリ５２に供給する。いず
れの実施形態でも、インク供給アセンブリ５４の収容部
５５は、取り外され、交換され、かつ／または詰め替え
られる場合がある。
【００６２】インクジェットプリントヘッドアセンブリ
５２およびインク供給アセンブリ５４がインクジェット
カートリッジ内に一緒に収容される一実施形態では、収
容部５５は、カートリッジ内に配置される内部収容部
と、カートリッジから間隔を置いて配置される、より大
きな収容部とを備える。その場合に、個別の、より大き
な収容部は内部収容部を詰め替えるための役割を果た
す。したがって、個別の、より大きな収容部および／ま
たは内部収容部が、取り外され、交換され、かつ／また
は詰め替えられる場合がある。
【００６３】取付けアセンブリ５６は、媒体移送アセン
ブリ５８に対してインクジェットプリントヘッドアセン
ブリ５２を位置決めし、媒体移送アセンブリ５８は、イ
ンクジェットプリントヘッドアセンブリ５２に対して印
刷媒体５９を位置決めする。一実施形態では、インクジ
ェットプリントヘッドアセンブリ５２は、走査型プリン
トヘッドアセンブリである。その場合に、取付けアセン
ブリ５６は、印刷媒体５９を走査するために、媒体移送
アセンブリ５８に対してインクジェットプリントヘッド
アセンブリ５２を移動させるためのキャリッジを備え
る。別の実施形態では、インクジェットプリントヘッド
アセンブリ５２は、非走査型のプリントヘッドアセンブ
リである。その場合に、取付けアセンブリ５６は、媒体
移送アセンブリ５８に対して所定の位置にインクジェッ
トプリントヘッドアセンブリ５２を固定する。したがっ
て、媒体移送アセンブリ５８は、インクジェットプリン
トヘッドアセンブリ５２に対して印刷媒体５９を位置決
めする。
【００６４】電子コントローラ６０は、インクジェット
プリントヘッドアセンブリ５２と、取付けアセンブリ５
６と、媒体移送アセンブリ５８と通信を行う。電子コン
トローラ６０は、コンピュータのようなホストシステム
からデータ６１を受信し、データ６１を一時的に格納す
るためのメモリを備える。典型的には、データ６１は、
電子、赤外線、光あるいは他の情報転送経路に沿ってイ
ンクジェットプリンティングシステム５０に送信され
る。データ６１はたとえば、印刷されるドキュメントお
よび／またはファイルを表す。その場合に、データ６１
は、インクジェットプリンティングシステム５０のため
の印刷ジョブを形成し、１つあるいは複数の印刷ジョブ
コマンドおよび／またはコマンドパラメータを含む。
【００６５】一実施形態では、電子コントローラ６０
は、フレックステンショナル・トランスデューサ１０、
１１０あるいは２１０からインク滴を吐出するためのタ
イミング制御を含む、インクジェットプリントヘッドア
センブリ５２の制御を行う。その場合に、電子コントロ
ーラ６０は、印刷媒体５９上に文字、記号および／また
は他のグラフィックスあるいは画像を形成する、吐出さ
れるインク滴のパターンを画定する。タイミング制御、
それゆえ、吐出されるインク滴のパターンは、印刷ジョ
ブコマンドおよび／またはコマンドパラメータによって
決定される。
【００６６】上記の説明は、インクジェットプリンティ
ングシステム５０においてフレックステンショナル・ト
ランスデューサ１０を含む場合を参照しているが、フレ
ックステンショナル・トランスデューサ１０を、医療用
噴霧器のような印刷以外のアプリケーションあるいはシ
ステムを含む他の流体吐出システムに組み込むことがで
きることは理解されよう。さらに、上記の説明は、フレ
ックステンショナル・トランスデューサ１０から流体あ
るいはインクを吐出することを参照しているが、フォト
レジストのような液体、あるいはタルカムパウダーのよ
うな流動性粒子を含む、任意の流動性材料がフレックス
テンショナル・トランスデューサ１０から吐出される場
合があることは理解されよう。
【００６７】間隔を置いて配置される縁部３３を有する
フレックステンショナル・トランスデューサ１０の可撓
性膜部３０を形成することにより、フレックステンショ
ナル・トランスデューサ１０は、コンパクトなアレイに
配列することができる。より具体的には、フレックステ
ンショナル・トランスデューサ１０、それゆえ、オリフ
ィス３１は、従来のフレックステンショナル・トランス
デューサ９０より近接して配列することができる。した
がって、複数のフレックステンショナル・トランスデュ
ーサ１０のオリフィス３１の密度は、同じ液滴体積およ
び液滴速度を保持しながら高めることができる。その場
合に、フレックステンショナル・トランスデューサアセ
ンブリ１４を用いて、吐出される流体の全体積を増加さ
せることができる。
【００６８】さらに、フレックステンショナル・トラン
スデューサ１０の可撓性膜部３０内に間隔を置いて配置
されるスリット３５を設けることにより、可撓性膜部３
０は、全ての側面より少ない側面上で支持あるいは固定
される。その場合に、可撓性膜部３０は、従来のフレッ
クステンショナル・トランスデューサ９０の円形の可撓
性膜９４より撓みやすくなる。したがって、支持体２０
に対する可撓性膜部３０の変位をより大きく、それゆ
え、可撓性膜部３０のオリフィス３１を通る液滴の吐出
速度をより速くすることができる。一方、同じ液滴体
積、液滴速度で、かつアクチュエータ４０によって加え
られる力の総和が同じである場合、可撓性膜部３０は、
従来のフレックステンショナル・トランスデューサ９０
の円形の可撓性膜９４より小さく形成することができ
る。したがって、フレックステンショナル・トランスデ
ューサ１０、それゆえ、フレックステンショナル・トラ
ンスデューサアセンブリ１４より小さく形成することが
できる。それゆえ、フレックステンショナル・トランス
デューサアセンブリ１４の単位面積当たりに、より多く
のノズル３１を設けることができる。
【００６９】従来のフレックステンショナル・トランス
デューサ９０の円形の可撓性膜９４によって必要とされ
るように、全外周縁部に沿ってではなく、端部３６およ
び／または３７においてのみ可撓性膜部３０を支持ある
いは固定することにより、フレックステンショナル・ト
ランスデューサ１０はより大きな設計の柔軟性を提供す
る。たとえば、フレックステンショナル・トランスデュ
ーサ１０は、より大きな自由度を提供する。より具体的
には、円形の可撓性膜９４が径方向のみに自由度を有す
るのに対して、可撓性膜部３０は、ｘおよびｙ方向に自
由度を有する。その場合に、フレックステンショナル・
トランスデューサ１０によって被ることになる設計上の
制約は小さくなる。したがって、フレックステンショナ
ル・トランスデューサ１０は、直線あるいは領域の密
度、周波数、液滴サイズ、液滴速度等のような設計基準
をより管理しやすくする。
【００７０】好ましい実施形態を説明するために、本明
細書において特定の実施形態が図示および記載されてき
たが、本発明の範囲から逸脱することなく同じ目的を達
成することを意図した多種多様な代替および／または等
価な実施形態が、図示および記載された特定の実施形態
の代わりに用いられる場合があることは当業者には理解
されよう。化学、機械、電気機械、電気およびコンピュ
ータ技術の専門家には、本発明が多種多様な実施形態に
おいて実施される場合があることは容易に理解されよ
う。本特許出願は、本明細書で説明された好ましい実施
形態の任意の適用形態および変更形態を網羅することを
意図している。それゆえ、本発明は、特許請求の範囲お
よびその等価物によって制限されることを明らかに意図
している。
【００７１】本発明のフレックステンショナル・トラン
スデューサは、 （１） フレックステンショナル・トランスデューサ
（１０、１０’、１０’’、１１０、２１０）であっ
て、その中に流体キャビティ（２１、１２１、２２１）
を画定される支持体（２０、１２０、２２０）と、前記
支持体によって支持され、間隔を置いて配置される一対
の縁部（３３、３３’、１３３、２３３）と、その中に
画定され、前記流体キャビティと流通するオリフィス
（３１、１３１、２３１）とを有する可撓性膜部（３
０、１３０、２３０）と、前記可撓性膜部と関連付けら
れるアクチュエータ（４０、１４０、２４０）とを備
え、該アクチュエータは、電気信号に応答して、前記可
撓性膜部を撓ませるように構成されるフレックステンシ
ョナル・トランスデューサ。 （２） 前記流体キャビティは、その中に流体の供給源
を保持するように構成され、前記流体は、前記可撓性膜
部の前記オリフィスと流通する（１）に記載のフレック
ステンショナル・トランスデューサ。 （３） 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置される
一対の縁部は概ね直線である（１）に記載のフレックス
テンショナル・トランスデューサ。 （４） 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置される
一対の縁部は曲線をなす（１）に記載のフレックステン
ショナル・トランスデューサ。 （５） 前記流体キャビティは、相対する側面（２３、
１２３）を有し、前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配
置される一対の縁部は、前記流体キャビティの前記相対
する側面に従う（１）に記載のフレックステンショナル
・トランスデューサ。 （６） 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置される
一対の縁部は、前記可撓性膜部内の間隔を置いて配置さ
れる一対のスリット（３５、３５’、１３５）によって
形成される（１）に記載のフレックステンショナル・ト
ランスデューサ。 （７） 前記間隔を置いて配置される一対のスリット
は、前記可撓性膜部を貫通する間隔を置いて配置される
切込み（３５ａ）を含む（６）に記載のフレックステン
ショナル・トランスデューサ。 （８） 前記間隔を置いて配置される一対のスリット
は、前記可撓性膜部内の間隔を置いて配置されるチャネ
ル（３５ｂ）を含む（６）に記載のフレックステンショ
ナル・トランスデューサ。 （９） 前記可撓性膜部は、その前記間隔を置いて配置
される一対の縁部間に延在する縁部（１３８）を有する
（１）に記載のフレックステンショナル・トランスデュ
ーサ。 （１０） 前記可撓性膜部は、前記流体キャビティ上に
片持ち支持される（１）に記載のフレックステンショナ
ル・トランスデューサ。 （１１） 前記可撓性膜部は、その中に複数のオリフィ
スを画定される（１）に記載のフレックステンショナル
・トランスデューサ。 （１２） 前記アクチュエータは圧電性材料を含む
（１）に記載のフレックステンショナル・トランスデュ
ーサ。本発明のフレックステンショナル・トランスデュ
ーサの形成方法は、 （１３） フレックステンショナル・トランスデューサ
（１０、１０’、１０’’、１１０、２１０）を形成す
る方法であって、支持体（２０、１２０、２２０）内に
流体キャビティ（２１、１２１、２２１）を画定するス
テップと、前記支持体によって可撓性膜部（３０、１３
０、２３０）を支持するステップと、前記可撓性膜部の
間隔を置いて配置される一対の縁部（３３、３３’、１
３３、２３３）を画定するステップと、前記可撓性膜部
のオリフィス（３１、１３１、２３１）を前記流体キャ
ビティと流通させるステップと、アクチュエータ（４
０、１４０、２４０）を前記可撓性膜部と関連付けるス
テップとを有し、前記アクチュエータは、電気信号に応
答して、前記可撓性膜部を撓ませるように構成される方
法。 （１４） 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置され
る一対の縁部を画定する前記ステップは、前記流体キャ
ビティの側壁（２２）内に、前記可撓性膜部の前記間隔
を置いて配置される一対の縁部を配置するステップを含
む（１３）に記載の方法。 （１５） 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置され
る一対の縁部を画定する前記ステップは、前記可撓性膜
部内に間隔を置いて配置される一対のスリット（３５、
３５’、１３５）を形成するステップを含む（１３）に
記載の方法。本発明のフレックステンショナル・トラン
スデューサは、 （１６） フレックステンショナル・トランスデューサ
（１０、１０’、１０’’、１１０、２１０）であっ
て、その中に流体キャビティ（２１、１２１、２２１）
を画定される支持体（２０、１２０、２２０）と、前記
支持体によって支持され、その中に画定され、前記流体
キャビティと流通するオリフィス（３１、１３１、２３
１）とを有する可撓性膜部（３０、１３０、２３０）
と、前記可撓性膜部と関連付けられるアクチュエータ
（４０、１４０、２４０）であって、該アクチュエータ
は、電気信号に応答して、前記可撓性膜部を撓ませるよ
うに構成される、該アクチュエータと、該アクチュエー
タに隣接して配置されるコンプライアント機構（３３、
３３’、１３３、２３３；３５、３５’、１３５；１３
８；１３９）であって、前記コンプライアント機構は前
記可撓性膜部が撓むのを容易にする、該コンプライアン
ト機構とを備えるフレックステンショナル・トランスデ
ューサ。
【００７２】
【発明の効果】上記のように、本発明によれば、個々の
フレックステンショナル・トランスデューサの構造、お
よび複数のフレックステンショナル・トランスデューサ
の配列の設計上の自由度を高めることができるフレック
ステンショナル・トランスデューサを、具体的には、コ
ンパクトなアレイを構成できるようにし、それゆえ、複
数のフレックステンショナル・トランスデューサのオリ
フィスの密度を高めることができるフレックステンショ
ナル・トランスデューサを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフレックステンショナル・トラン
スデューサの一部の一実施形態の斜視図である。
【図２】フレックステンショナル・トランスデューサの
一実施形態を示す、図１の線３−３に沿って見た断面図
である。
【図３】フレックステンショナル・トランスデューサの
別の実施形態を示す、図２に類似の断面図である。
【図４】フレックステンショナル・トランスデューサの
一実施形態を示す、図２の線４−４に沿って見た断面図
である。
【図５】フレックステンショナル・トランスデューサか
らの流体の吐出を示す、図４に類似の断面図である。
【図６】図２のフレックステンショナル・トランスデュ
ーサの別の実施形態を示す斜視図である。
【図７】図２のフレックステンショナル・トランスデュ
ーサの別の実施形態を示す斜視図である。
【図８】フレックステンショナル・トランスデューサの
アレイを含む、本発明によるフレックステンショナル・
トランスデューサアセンブリの一部の一実施形態の斜視
図である。
【図９】フレックステンショナル・トランスデューサの
アレイを含む、本発明によるフレックステンショナル・
トランスデューサアセンブリの一部の別の実施形態の斜
視図である。
【図１０】図９のフレックステンショナル・トランスデ
ューサアセンブリの別の実施形態の斜視図である。
【図１１】図９のフレックステンショナル・トランスデ
ューサアセンブリの別の実施形態の斜視図である。
【図１２】図９のフレックステンショナル・トランスデ
ューサアセンブリの別の実施形態の斜視図である。
【図１３】本発明によるフレックステンショナル・トラ
ンスデューサアセンブリの一部の別の実施形態の斜視図
である。
【図１４】本発明による複数のフレックステンショナル
・トランスデューサを含むインクジェットプリンティン
グシステムの一実施形態を示すブロック図である。
【図１５】従来技術のフレックステンショナル・トラン
スデューサの斜視図である。
【図１６】図１５の線１−１に沿って見た断面図であ
る。
【符号の説明】
１０、１０’、１０’’、１１０、２１０ フレックス
テンショナル・トランスデューサ ２０、１２０、２２０ 支持体 ２１、１２１、２２１ 流体キャビティ ２２ 側壁 ２３、１２３ 相対する側面 ３０、１３０、２３０ 可撓性膜部 ３１、１３１、２３１ オリフィス ３３、３３’、１３３、２３３ 間隔を置いて配置され
る縁部 ３５、３５’、１３５ 間隔を置いて配置されるスリッ
ト ３５ａ 間隔を置いて配置される切込み ３５ｂ 間隔を置いて配置されるチャネル ４０、１４０、２４０ アクチュエータ １３８ 縁部 １３９ スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C057 AG12 AG18 AG44 AG52 AG53 AG55 AQ02 BA05 BA14

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 フレックステンショナル・トランスデュ
    ーサであって、 その中に流体キャビティを画定される支持体と、 前記支持体によって支持され、間隔を置いて配置される
    一対の縁部と、その中に画定され、前記流体キャビティ
    と流通するオリフィスとを有する可撓性膜部と、 前記可撓性膜部と関連付けられるアクチュエータとを備
    え、該アクチュエータは、電気信号に応答して、前記可
    撓性膜部を撓ませるように構成されるフレックステンシ
    ョナル・トランスデューサ。
  2. 【請求項２】 前記流体キャビティは、その中に流体の
    供給源を保持するように構成され、前記流体は、前記可
    撓性膜部の前記オリフィスと流通する請求項１に記載の
    フレックステンショナル・トランスデューサ。
  3. 【請求項３】 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置
    される一対の縁部は概ね直線である請求項１に記載のフ
    レックステンショナル・トランスデューサ。
  4. 【請求項４】 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置
    される一対の縁部は曲線をなす請求項１に記載のフレッ
    クステンショナル・トランスデューサ。
  5. 【請求項５】 前記流体キャビティは、相対する側面を
    有し、前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置される一
    対の縁部は、前記流体キャビティの前記相対する側面に
    従う請求項１に記載のフレックステンショナル・トラン
    スデューサ。
  6. 【請求項６】 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配置
    される一対の縁部は、前記可撓性膜部内の間隔を置いて
    配置される一対のスリットによって形成される請求項１
    に記載のフレックステンショナル・トランスデューサ。
  7. 【請求項７】 前記間隔を置いて配置される一対のスリ
    ットは、前記可撓性膜部を貫通する間隔を置いて配置さ
    れる切込みを含む請求項６に記載のフレックステンショ
    ナル・トランスデューサ。
  8. 【請求項８】 前記間隔を置いて配置される一対のスリ
    ットは、前記可撓性膜部内の間隔を置いて配置されるチ
    ャネルを含む請求項６に記載のフレックステンショナル
    ・トランスデューサ。
  9. 【請求項９】 前記可撓性膜部は、その前記間隔を置い
    て配置される一対の縁部間に延在する縁部を有する請求
    項１に記載のフレックステンショナル・トランスデュー
    サ。
  10. 【請求項１０】 前記可撓性膜部は、前記流体キャビテ
    ィ上に片持ち支持される請求項１に記載のフレックステ
    ンショナル・トランスデューサ。
  11. 【請求項１１】 前記可撓性膜部は、その中に複数のオ
    リフィスを画定される請求項１に記載のフレックステン
    ショナル・トランスデューサ。
  12. 【請求項１２】 前記アクチュエータは圧電性材料を含
    む請求項１に記載のフレックステンショナル・トランス
    デューサ。
  13. 【請求項１３】 フレックステンショナル・トランスデ
    ューサを形成する方法であって、 支持体内に流体キャビティを画定するステップと、 前記支持体によって可撓性膜部を支持するステップと、 前記可撓性膜部の間隔を置いて配置される一対の縁部を
    画定するステップと、 前記可撓性膜部のオリフィスを前記流体キャビティと流
    通させるステップと、 アクチュエータを前記可撓性膜部と関連付けるステップ
    とを有し、前記アクチュエータは、電気信号に応答し
    て、前記可撓性膜部を撓ませるように構成される方法。
  14. 【請求項１４】 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配
    置される一対の縁部を画定する前記ステップは、前記流
    体キャビティの側壁内に、前記可撓性膜部の前記間隔を
    置いて配置される一対の縁部を配置するステップを含む
    請求項１３に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 前記可撓性膜部の前記間隔を置いて配
    置される一対の縁部を画定する前記ステップは、前記可
    撓性膜部内に間隔を置いて配置される一対のスリットを
    形成するステップを含む請求項１３に記載の方法。
  16. 【請求項１６】 フレックステンショナル・トランスデ
    ューサであって、 その中に流体キャビティを画定される支持体と、 前記支持体によって支持され、その中に画定され、前記
    流体キャビティと流通するオリフィスとを有する可撓性
    膜部と、 前記可撓性膜部と関連付けられるアクチュエータであっ
    て、該アクチュエータは、電気信号に応答して、前記可
    撓性膜部を撓ませるように構成される、該アクチュエー
    タと、 該アクチュエータに隣接して配置されるコンプライアン
    ト機構であって、前記コンプライアント機構は前記可撓
    性膜部が撓むのを容易にする、該コンプライアント機構
    とを備えるフレックステンショナル・トランスデュー
    サ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009507684A (ja) * 2005-09-14 2009-02-26 ソシエテ ビック マルチノズル液滴噴出ヘッド、該ヘッドを有する筆記具、および前記ヘッドから液滴を噴出する方法
JP2009095228A (ja) * 2007-10-10 2009-04-30 Microflow Engineering Sa 適応型圧電アクチュエータ制御システム
US7905573B2 (en) 2007-06-19 2011-03-15 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejection head with nozzle plate deformed by heat and image forming apparatus including the liquid election head
JP2014046621A (ja) * 2012-08-31 2014-03-17 Toshiba Tec Corp インクジェットヘッドおよび画像形成装置
US9340018B2 (en) 2013-08-30 2016-05-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Inkjet head including nozzle plate provided with piezoelectric element

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6540339B2 (en) * 2001-03-21 2003-04-01 Hewlett-Packard Company Flextensional transducer assembly including array of flextensional transducers
TW548198B (en) * 2001-03-30 2003-08-21 Philoph Morris Products Inc Piezoelectrically driven printhead array
JP4247554B2 (ja) * 2003-07-30 2009-04-02 独立行政法人理化学研究所 メカノケミカル式センサー
TWI258392B (en) * 2005-11-30 2006-07-21 Benq Corp Droplet generators
GB0620214D0 (en) * 2006-10-12 2006-11-22 The Technology Partnership Plc Liquid projection apparatus
US8042916B2 (en) * 2007-03-31 2011-10-25 Micropoint Biosciences, Inc. Micromachined fluid ejector array
US8226213B2 (en) * 2008-05-05 2012-07-24 Zamtec Limited Short pulsewidth actuation of thermal bend actuator
US7946687B2 (en) * 2008-05-05 2011-05-24 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal bend actuator comprising bent active beam having resistive heating bars
GB201004960D0 (en) 2010-03-25 2010-05-12 The Technology Partnership Plc Liquid projection apparatus
US8759990B2 (en) 2011-04-19 2014-06-24 Eastman Kodak Company Energy harvesting device including MEMS composite transducer
US8680695B2 (en) 2011-04-19 2014-03-25 Eastman Kodak Company Energy harvesting using MEMS composite transducer
US8667846B2 (en) 2011-04-19 2014-03-11 Eastman Kodak Company Method of operating an ultrasonic transmitter and receiver
US8864287B2 (en) 2011-04-19 2014-10-21 Eastman Kodak Company Fluid ejection using MEMS composite transducer
US8434855B2 (en) 2011-04-19 2013-05-07 Eastman Kodak Company Fluid ejector including MEMS composite transducer
US8517516B2 (en) 2011-04-19 2013-08-27 Eastman Kodak Company Flow-through liquid ejection using compliant membrane transducer
US8523328B2 (en) 2011-04-19 2013-09-03 Eastman Kodak Company Flow-through liquid ejection using compliant membrane transducer
US8770030B2 (en) 2011-04-19 2014-07-08 Eastman Kodak Company Ultrasonic transmitter and receiver with compliant membrane
US8398210B2 (en) 2011-04-19 2013-03-19 Eastman Kodak Company Continuous ejection system including compliant membrane transducer
US8409900B2 (en) 2011-04-19 2013-04-02 Eastman Kodak Company Fabricating MEMS composite transducer including compliant membrane
US8529021B2 (en) * 2011-04-19 2013-09-10 Eastman Kodak Company Continuous liquid ejection using compliant membrane transducer
US8506039B2 (en) 2011-04-19 2013-08-13 Eastman Kodak Company Flow-through ejection system including compliant membrane transducer
US8602531B2 (en) 2011-04-19 2013-12-10 Eastman Kodak Company Flow-through ejection system including compliant membrane transducer
US8631711B2 (en) 2011-04-19 2014-01-21 Eastman Kodak Company MEMS composite transducer including compliant membrane
GB201214270D0 (en) * 2012-08-09 2012-09-26 Wilson Stephen A A piezo-electric actuator and applications thereof
GB201518337D0 (en) 2015-10-16 2015-12-02 The Technology Partnership Plc Linear device
GB2575693A (en) * 2018-07-20 2020-01-22 Univ Warwick Flexural ultrasonic transducer
DE102018120024A1 (de) * 2018-08-16 2020-02-20 Herma Gmbh Aktivierungsvorrichtung mit einem Vernebler

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU553251B2 (en) 1981-10-15 1986-07-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Arrangement for ejecting liquid
CA1206996A (en) 1982-01-18 1986-07-02 Naoyoshi Maehara Ultrasonic liquid ejecting apparatus
US5255016A (en) 1989-09-05 1993-10-19 Seiko Epson Corporation Ink jet printer recording head
US5152456A (en) 1989-12-12 1992-10-06 Bespak, Plc Dispensing apparatus having a perforate outlet member and a vibrating device
JP3041952B2 (ja) 1990-02-23 2000-05-15 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド、圧電振動体、及びこれらの製造方法
WO1993001404A1 (en) 1991-07-08 1993-01-21 Yehuda Ivri Ultrasonic fluid ejector
JP2849647B2 (ja) 1991-12-04 1999-01-20 ザ テクノロジー パートナーシップ ピーエルシー 流体の小水滴製造装置及びその方法
US5828394A (en) 1995-09-20 1998-10-27 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Fluid drop ejector and method
US6474786B2 (en) 2000-02-24 2002-11-05 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Micromachined two-dimensional array droplet ejectors

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009507684A (ja) * 2005-09-14 2009-02-26 ソシエテ ビック マルチノズル液滴噴出ヘッド、該ヘッドを有する筆記具、および前記ヘッドから液滴を噴出する方法
JP4772125B2 (ja) * 2005-09-14 2011-09-14 ソシエテ ビック マルチノズル液滴噴出ヘッド、該ヘッドを有する筆記具、および前記ヘッドから液滴を噴出する方法
US7905573B2 (en) 2007-06-19 2011-03-15 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejection head with nozzle plate deformed by heat and image forming apparatus including the liquid election head
JP2009095228A (ja) * 2007-10-10 2009-04-30 Microflow Engineering Sa 適応型圧電アクチュエータ制御システム
JP2014046621A (ja) * 2012-08-31 2014-03-17 Toshiba Tec Corp インクジェットヘッドおよび画像形成装置
US8967775B2 (en) 2012-08-31 2015-03-03 Toshiba Tec Kabushiki Kaisha Ink jet head and image forming apparatus
US9340018B2 (en) 2013-08-30 2016-05-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Inkjet head including nozzle plate provided with piezoelectric element

Also Published As

Publication number Publication date
US6474787B2 (en) 2002-11-05
EP1243417A2 (en) 2002-09-25
US20020135639A1 (en) 2002-09-26

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