JP2002343087A - 透明固体内部のボイドの移動方法 - Google Patents
透明固体内部のボイドの移動方法Info
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- JP2002343087A JP2002343087A JP2001145700A JP2001145700A JP2002343087A JP 2002343087 A JP2002343087 A JP 2002343087A JP 2001145700 A JP2001145700 A JP 2001145700A JP 2001145700 A JP2001145700 A JP 2001145700A JP 2002343087 A JP2002343087 A JP 2002343087A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フェムト秒レーザーパルスの照射に関して装
置を機械的に調整することなく、簡便に透明固体内部の
ボイドを移動させることができる透明固体内部のボイド
の移動方法を提供する。 【解決手段】 透明体４内部のボイドの移動方法におい
て、フェムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料のス
テージ３の調整を行うことなく、前記レーザーパルスを
試料としての透明固体４内部に連続照射することによ
り、この透明固体４内部のボイドをレーザーパルスの入
射方向に移動させる。
置を機械的に調整することなく、簡便に透明固体内部の
ボイドを移動させることができる透明固体内部のボイド
の移動方法を提供する。 【解決手段】 透明体４内部のボイドの移動方法におい
て、フェムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料のス
テージ３の調整を行うことなく、前記レーザーパルスを
試料としての透明固体４内部に連続照射することによ
り、この透明固体４内部のボイドをレーザーパルスの入
射方向に移動させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フェムト秒レーザ
ーパルスの照射による、透明固体内部のボイド（ｖｏｉ
ｄ）の移動方法に係り、特にレンズ系又は試料ステージ
の調整を行うことなく、簡便に透明固体内部のボイドを
移動させることができる透明固体内部のボイドの移動方
法に関するものである。
ーパルスの照射による、透明固体内部のボイド（ｖｏｉ
ｄ）の移動方法に係り、特にレンズ系又は試料ステージ
の調整を行うことなく、簡便に透明固体内部のボイドを
移動させることができる透明固体内部のボイドの移動方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、フェムト秒レーザーパルスと多種
多様な物質との間の相互作用が研究されている。フェム
ト秒レーザーパルスを透明物質のバルク内部に集光させ
ると、焦光点近傍の強度が高まり、永久的な構造変化が
生成される。この変化は、物質プロセスや微小機械加工
に応用できる。この変化の物理的メカニズムはいまだ研
究中であるが、この技術は、ガラス、結晶、プラスチッ
クを含む多種多様な透明物質の内部における、光データ
記憶装置、導波路、回折格子、結合器といった三次元の
光誘起構造を作成するために応用されている。
多様な物質との間の相互作用が研究されている。フェム
ト秒レーザーパルスを透明物質のバルク内部に集光させ
ると、焦光点近傍の強度が高まり、永久的な構造変化が
生成される。この変化は、物質プロセスや微小機械加工
に応用できる。この変化の物理的メカニズムはいまだ研
究中であるが、この技術は、ガラス、結晶、プラスチッ
クを含む多種多様な透明物質の内部における、光データ
記憶装置、導波路、回折格子、結合器といった三次元の
光誘起構造を作成するために応用されている。
【０００３】このように、強く集光させたフェムト秒レ
ーザーパルスを用いることにより、バルク透明物質にお
いてサブマイクロメーターの構造変化が生じるが、この
サブマイクロメーターの損傷は、緻密な物質に取り囲ま
れた空隙（ｃａｖｉｔｙ) またはボイドとなって表れ
る。
ーザーパルスを用いることにより、バルク透明物質にお
いてサブマイクロメーターの構造変化が生じるが、この
サブマイクロメーターの損傷は、緻密な物質に取り囲ま
れた空隙（ｃａｖｉｔｙ) またはボイドとなって表れ
る。
【０００４】本願発明者らは近年、フェムト秒レーザー
パルスを用いてフォーカスレンズの集光点を移動させる
ことによるボイドの光学的移動や、光軸上の２つのボイ
ドを合体させることを含む実験を発表した。
パルスを用いてフォーカスレンズの集光点を移動させる
ことによるボイドの光学的移動や、光軸上の２つのボイ
ドを合体させることを含む実験を発表した。
【０００５】更に、（１）本願発明者によって提案され
た特願２０００−１４５９２２号があり、（２）本願発
明者によって提案された上記（１）の発明に関連した以
下の発表文献が存在している。
た特願２０００−１４５９２２号があり、（２）本願発
明者によって提案された上記（１）の発明に関連した以
下の発表文献が存在している。
【０００６】Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ ｏｆ ＳＰＩＥ
ｖｏｌ．４０８８，ｐｐ４４−４５，２０００ ＳＰ
ＩＥと日本光学会の共催のレーザ加工シンポジウム（２
０００．６）ＳＰＩＥ：Ｔｈｅ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ ｏｆ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒ Ｏｐｔｉｃａ
ｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ 第６１回応用物理学会 ２０００．９ Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒ ｖｏｌ．２５，Ｎｏ．
２２，ｐｐ１６６９−１６７１（２０００．１１）
ｖｏｌ．４０８８，ｐｐ４４−４５，２０００ ＳＰ
ＩＥと日本光学会の共催のレーザ加工シンポジウム（２
０００．６）ＳＰＩＥ：Ｔｈｅ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ ｏｆ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒ Ｏｐｔｉｃａ
ｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ 第６１回応用物理学会 ２０００．９ Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒ ｖｏｌ．２５，Ｎｏ．
２２，ｐｐ１６６９−１６７１（２０００．１１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たメモリー素子の書き換え方法においては、書き換え時
のレーザー光の集光点は、ビット位置よりレーザー光の
伝搬方向とは逆の方向に所定距離ずらした点に集光す
る。このために、試料のステージの移動、またはレンズ
の焦点距離の変化等、何らかの機械的な走査が必要にな
るといった煩わしさがあった。
たメモリー素子の書き換え方法においては、書き換え時
のレーザー光の集光点は、ビット位置よりレーザー光の
伝搬方向とは逆の方向に所定距離ずらした点に集光す
る。このために、試料のステージの移動、またはレンズ
の焦点距離の変化等、何らかの機械的な走査が必要にな
るといった煩わしさがあった。
【０００８】本発明は、上記問題点を除去し、フェムト
秒レーザーパルスの照射に関して、装置を機械的に調整
することなく、簡便に透明固体内部のボイドを移動させ
ることができる透明固体内部のボイドの移動方法を提供
することを目的とする。
秒レーザーパルスの照射に関して、装置を機械的に調整
することなく、簡便に透明固体内部のボイドを移動させ
ることができる透明固体内部のボイドの移動方法を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕透明固体内部のボイドの移動方法において、フェ
ムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料ステージの調
整を行うことなく、前記レーザーパルスを試料としての
透明固体内部に連続照射することにより、この透明固体
内部のボイドをレーザーパルスの入射方向に移動させる
ことを特徴とする。
成するために、 〔１〕透明固体内部のボイドの移動方法において、フェ
ムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料ステージの調
整を行うことなく、前記レーザーパルスを試料としての
透明固体内部に連続照射することにより、この透明固体
内部のボイドをレーザーパルスの入射方向に移動させる
ことを特徴とする。
【００１０】〔２〕上記〔１〕記載の透明固体内部のボ
イドの移動方法において、前記透明固体内部のボイドが
三次元光メモリー素子のデータであることを特徴とす
る。
イドの移動方法において、前記透明固体内部のボイドが
三次元光メモリー素子のデータであることを特徴とす
る。
【００１１】〔３〕上記〔１〕記載の透明固体内部のボ
イドの移動方法において、前記透明固体はフッ化カルシ
ウムであることを特徴とする。
イドの移動方法において、前記透明固体はフッ化カルシ
ウムであることを特徴とする。
【００１２】〔４〕上記〔３〕記載の透明固体内部のボ
イドの移動方法において、前記レーザーのエネルギーが
５５０乃至５７０ｎＪ／パルスであることを特徴とす
る。
イドの移動方法において、前記レーザーのエネルギーが
５５０乃至５７０ｎＪ／パルスであることを特徴とす
る。
【００１３】〔５〕上記〔１〕記載の透明固体内部のボ
イドの移動方法において、前記透明固体はシリカガラス
であることを特徴とする。
イドの移動方法において、前記透明固体はシリカガラス
であることを特徴とする。
【００１４】〔６〕上記〔５〕記載の透明固体内部のボ
イドの移動方法において、前記レーザーのエネルギーが
１１０乃至１３０ｎＪ／パルスであることを特徴とす
る。
イドの移動方法において、前記レーザーのエネルギーが
１１０乃至１３０ｎＪ／パルスであることを特徴とす
る。
【００１５】〔７〕上記〔３〕又は〔５〕記載の透明固
体内部のボイドの移動方法において、前記レーザーの連
続照射数が１０乃至６０回であることを特徴とする。
体内部のボイドの移動方法において、前記レーザーの連
続照射数が１０乃至６０回であることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１７】図１は本発明の実施例を示す透明固体内部
のボイドの移動のための装置の模式図である。
のボイドの移動のための装置の模式図である。
【００１８】この図において、１は再生増幅したチタン
サファイアレーザー、２，６は対物レンズ、３は固定さ
れたステージ、４はそのステージ３上にセットされる試
料（透明固体）、５はハロゲンランプ、７はＣＣＤカメ
ラ、８はモニター装置である。
サファイアレーザー、２，６は対物レンズ、３は固定さ
れたステージ、４はそのステージ３上にセットされる試
料（透明固体）、５はハロゲンランプ、７はＣＣＤカメ
ラ、８はモニター装置である。
【００１９】ここでは、再生増幅したチタンサファイア
レーザー１からの１３０フェムト秒、波長８００ナノメ
ートルのパルスを用いた。このレーザーパルスは、光軸
（＋Ｚ方向）に沿って伝搬した。室温で試料（透明固
体）４として３ミリメートル厚さのフッ化カルシウムの
スライドを用いたところ、シリカガラスの場合と同様の
結果が観察された。
レーザー１からの１３０フェムト秒、波長８００ナノメ
ートルのパルスを用いた。このレーザーパルスは、光軸
（＋Ｚ方向）に沿って伝搬した。室温で試料（透明固
体）４として３ミリメートル厚さのフッ化カルシウムの
スライドを用いたところ、シリカガラスの場合と同様の
結果が観察された。
【００２０】バルク変形の側面からの光学顕微鏡の画像
を得るために、試料４の側面を光学的に研磨した。そし
て、高い開口数を有する顕微鏡の対物レンズ２を用い
て、直線偏光させたレーザーパルスを試料４内部に強く
集光させ、局所的な構造変化または光学的損傷を生起さ
せた。実験では開口数０．５５の対物レンズ２を用い
た。
を得るために、試料４の側面を光学的に研磨した。そし
て、高い開口数を有する顕微鏡の対物レンズ２を用い
て、直線偏光させたレーザーパルスを試料４内部に強く
集光させ、局所的な構造変化または光学的損傷を生起さ
せた。実験では開口数０．５５の対物レンズ２を用い
た。
【００２１】また、光学システムでの分散を補償するた
めに、再生増幅したチタンサファイアレーザー１の増幅
器（図示なし）に回折格子対を用いた。さらに、構造変
化を見るために、ｙ−ｚ平面における損傷またはボイド
の光学的画像を、透過照明による光学顕微鏡を用いて、
光軸に対して垂直方向から観察した。チタンサファイア
レーザー１は、繰り返し率１Ｈｚで操作した。
めに、再生増幅したチタンサファイアレーザー１の増幅
器（図示なし）に回折格子対を用いた。さらに、構造変
化を見るために、ｙ−ｚ平面における損傷またはボイド
の光学的画像を、透過照明による光学顕微鏡を用いて、
光軸に対して垂直方向から観察した。チタンサファイア
レーザー１は、繰り返し率１Ｈｚで操作した。
【００２２】上記の装置を用いて固定したパルスエネル
ギーにおいて、レーザーショットの数に伴うボイドの動
きを調べ、バルクのフッ化カルシウムの表面から６００
μｍの深さに永久的構造変化を作製した。視覚でとらえ
ることのできる永久的構造変化に対するエネルギー閾値
は、１ショットで５７０ｎＪ／パルスであった。
ギーにおいて、レーザーショットの数に伴うボイドの動
きを調べ、バルクのフッ化カルシウムの表面から６００
μｍの深さに永久的構造変化を作製した。視覚でとらえ
ることのできる永久的構造変化に対するエネルギー閾値
は、１ショットで５７０ｎＪ／パルスであった。
【００２３】図２は本発明の実施例の固定したパルスエ
ネルギーにおいてレーザーショットの数に伴うボイドの
動きを示す図である。
ネルギーにおいてレーザーショットの数に伴うボイドの
動きを示す図である。
【００２４】この図には、偏光していないハロゲンラン
プ５から光を照射して、ｙ−ｚ平面で観察したボイドの
光学画像が示されている。フェムト秒レーザーパルスの
ビーム伝搬方向（＋ｚ方向）は、画像平面上において左
から右とした。また、対物レンズ２に投射するエネルギ
ーを、１ショットで生じる永久的構造変化に対する閾値
よりも小さく設定した。
プ５から光を照射して、ｙ−ｚ平面で観察したボイドの
光学画像が示されている。フェムト秒レーザーパルスの
ビーム伝搬方向（＋ｚ方向）は、画像平面上において左
から右とした。また、対物レンズ２に投射するエネルギ
ーを、１ショットで生じる永久的構造変化に対する閾値
よりも小さく設定した。
【００２５】このエネルギーを、視覚的にとらえること
のできる損傷（ダメージ）の閾値より低い、５５０ｎＪ
／パルスに設定したところ、１ショットでは損傷は発見
されず、構造変化が見られたのは５ショットの後だっ
た。レーザーショットの数は、５ショットから２０ショ
ットまで変化させた。１０ショットの後のボイドの光学
像は暗くなり、ボイドは円形で、２μｍ径であった。レ
ーザーショットの数が増えるにつれて、ボイドは−ｚ方
向に向かって移動した。図２はボイドがｚ方向に５μｍ
移動したことを示している。さらに、ボイドが移動した
後の軌跡を見ると、構造変化であることを示唆してい
る。
のできる損傷（ダメージ）の閾値より低い、５５０ｎＪ
／パルスに設定したところ、１ショットでは損傷は発見
されず、構造変化が見られたのは５ショットの後だっ
た。レーザーショットの数は、５ショットから２０ショ
ットまで変化させた。１０ショットの後のボイドの光学
像は暗くなり、ボイドは円形で、２μｍ径であった。レ
ーザーショットの数が増えるにつれて、ボイドは−ｚ方
向に向かって移動した。図２はボイドがｚ方向に５μｍ
移動したことを示している。さらに、ボイドが移動した
後の軌跡を見ると、構造変化であることを示唆してい
る。
【００２６】そこで、構造変化が生じる個所が、ショッ
ト数に依存することを証明するために、ショット数を増
やしてみた。
ト数に依存することを証明するために、ショット数を増
やしてみた。
【００２７】図３は本発明にかかる構造変化が生じる領
域が、パルスエネルギーが一定であるという条件で、レ
ーザーショットの数に依存することを示す図である。
域が、パルスエネルギーが一定であるという条件で、レ
ーザーショットの数に依存することを示す図である。
【００２８】ここで、ショット数は１０ショットから６
０ショットまで変化させた。露光時間が長くなるにつれ
て、ボイドが−ｚ方向に向かって動き、最初のボイドが
もともと存在していた場所の近傍に別のボイドが見られ
た。また、６０ショットの後、最初のボイドの近傍に別
のボイドが生成された。
０ショットまで変化させた。露光時間が長くなるにつれ
て、ボイドが−ｚ方向に向かって動き、最初のボイドが
もともと存在していた場所の近傍に別のボイドが見られ
た。また、６０ショットの後、最初のボイドの近傍に別
のボイドが生成された。
【００２９】さらに、構造変化が生じる領域は、−ｚ方
向に伸長した。ここでも、ボイドが移動した後の軌跡を
見ると、構造変化であることを示唆している。こうした
移動の方向は、本願発明者によって提案された特願２０
００−１４５９２２号によるものとボイドの書き換えの
方向（−ｚ方向）と一致しており、ボイドを＋ｚ方向に
書き換えることはできなかった。
向に伸長した。ここでも、ボイドが移動した後の軌跡を
見ると、構造変化であることを示唆している。こうした
移動の方向は、本願発明者によって提案された特願２０
００−１４５９２２号によるものとボイドの書き換えの
方向（−ｚ方向）と一致しており、ボイドを＋ｚ方向に
書き換えることはできなかった。
【００３０】１Ｈｚの繰り返し率において、連続するパ
ルス間の時間間隔は、熱拡散の時間スケールよりずっと
長い。熱により残留温度が上昇するというのは的外れで
ある。この現象は、レーザーパルスを連続照射すること
で、局所的な溶解が繰り返されることによるものと考え
られる。
ルス間の時間間隔は、熱拡散の時間スケールよりずっと
長い。熱により残留温度が上昇するというのは的外れで
ある。この現象は、レーザーパルスを連続照射すること
で、局所的な溶解が繰り返されることによるものと考え
られる。
【００３１】変形領域の移動は、超短レーザーパルスの
自己束縛と密接に関係している。現在のフォーカスレン
ズの開口数（ＮＡ）では、自己集束が重要な役割を担っ
ている。なぜならば、高いピークパワーが必要であり、
そのためレーザーパルスにより強い自己集束が生じるか
らである。超短レーザーパルスをバルク体の表面上に収
束させた場合、変形が入射表面から離れた端部で始ま
り、レーザーショットの数が増えるのにともないこの表
面方向へ成長したという報告がある。シリカガラスにお
いて、フィラメントおよび屈折率変化の領域が、フェム
ト秒レーザーパルスによる露光時間が長くなるにつれて
レーザーパルスの入射方向に移動することも観察されて
いる。
自己束縛と密接に関係している。現在のフォーカスレン
ズの開口数（ＮＡ）では、自己集束が重要な役割を担っ
ている。なぜならば、高いピークパワーが必要であり、
そのためレーザーパルスにより強い自己集束が生じるか
らである。超短レーザーパルスをバルク体の表面上に収
束させた場合、変形が入射表面から離れた端部で始ま
り、レーザーショットの数が増えるのにともないこの表
面方向へ成長したという報告がある。シリカガラスにお
いて、フィラメントおよび屈折率変化の領域が、フェム
ト秒レーザーパルスによる露光時間が長くなるにつれて
レーザーパルスの入射方向に移動することも観察されて
いる。
【００３２】本発明によれば、上記のように、フェムト
秒レーザーパルスの照射に関して装置を機械的に移動さ
せずに、フェムト秒レーザーパルスを連続照射すること
により、ボイドをレーザーパルスの入射方向に５ミクロ
ンの距離で移動させることができた。すなわち、ボイド
を、フェムト秒レーザーパルスで制御することができ
た。
秒レーザーパルスの照射に関して装置を機械的に移動さ
せずに、フェムト秒レーザーパルスを連続照射すること
により、ボイドをレーザーパルスの入射方向に５ミクロ
ンの距離で移動させることができた。すなわち、ボイド
を、フェムト秒レーザーパルスで制御することができ
た。
【００３３】上記したように、レーザーショットの数が
５ショットでは書き込みが出来ないが、１０ショットで
書き込みが出来る。そして、５０ショットまでビットが
移動する。その場合、５μｍの移動が出来た。ボイド径
は２μｍ径である。また、６０ショットでは次のビット
が形成される。
５ショットでは書き込みが出来ないが、１０ショットで
書き込みが出来る。そして、５０ショットまでビットが
移動する。その場合、５μｍの移動が出来た。ボイド径
は２μｍ径である。また、６０ショットでは次のビット
が形成される。
【００３４】つまり、レーザ光強度に依存するが、１０
ショットで書き込み、さらに追加の１０乃至３０ショッ
トで移動を行う。
ショットで書き込み、さらに追加の１０乃至３０ショッ
トで移動を行う。
【００３５】図４は本発明の他の実施例を示す試料とし
てのシリカガラス内部でのボイドの移動態様を示す図で
ある。
てのシリカガラス内部でのボイドの移動態様を示す図で
ある。
【００３６】ここでは、対物レンズの開口数（ＮＡ）は
０．５５、深さ５００μｍ、書き込みエネルギー１１０
ｎＪ／パルスであり、フッ化カルシウム内部でのボイド
の移動のためのエネルギー５５０ｎＪ／パルスに比べる
と低い値となる点を除くと、その他の点はフッ化カルシ
ウム内部でのボイドの移動態様と同様である。
０．５５、深さ５００μｍ、書き込みエネルギー１１０
ｎＪ／パルスであり、フッ化カルシウム内部でのボイド
の移動のためのエネルギー５５０ｎＪ／パルスに比べる
と低い値となる点を除くと、その他の点はフッ化カルシ
ウム内部でのボイドの移動態様と同様である。
【００３７】なお、上記実施例では、数ショットで移動
を行った例について説明したが、レンズ系又は試料ステ
ージの調整を行うことなく、書き込み後、連続した１シ
ョットで移動させることも可能である。
を行った例について説明したが、レンズ系又は試料ステ
ージの調整を行うことなく、書き込み後、連続した１シ
ョットで移動させることも可能である。
【００３８】本発明は、書き換え可能な三次元光記憶装
置、透明物質内部のナノ−マイクロ構造というような光
学的情報処理装置や通信装置に好適である。
置、透明物質内部のナノ−マイクロ構造というような光
学的情報処理装置や通信装置に好適である。
【００３９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００４０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００４１】（Ａ）フェムト秒レーザーパルスの照射に
関して装置を機械的に調整することなく、簡便にガラス
内部のボイドを移動させることができる。
関して装置を機械的に調整することなく、簡便にガラス
内部のボイドを移動させることができる。
【００４２】（Ｂ）書き換え可能な三次元光メモリー素
子を製造することができる。微細ガラス加工分野で屈折
率分布の形成と修正に応用が期待できる。
子を製造することができる。微細ガラス加工分野で屈折
率分布の形成と修正に応用が期待できる。
【図１】本発明の実施例を示す透明固体内部のボイドの
移動のための装置の模式図である。
移動のための装置の模式図である。
【図２】本発明の実施例の固定したパルスエネルギーに
おいてレーザーショットの数に伴うボイドの動きを示す
図である。
おいてレーザーショットの数に伴うボイドの動きを示す
図である。
【図３】本発明にかかる構造変化が生じる領域が、パル
スエネルギーが一定であるという条件で、レーザーショ
ットの数に依存することを示す図である。
スエネルギーが一定であるという条件で、レーザーショ
ットの数に依存することを示す図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す試料としてのシリカ
ガラス内部でのボイドの移動態様を示す図である。
ガラス内部でのボイドの移動態様を示す図である。
１ 再生増幅したチタンサファイアレーザー ２，６ 対物レンズ ３ 固定されたステージ ４ 試料（透明固体） ５ ハロゲンランプ ７ ＣＣＤカメラ ８ モニター装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 歴 京都府京都市西京区樫原佃２−22 Ｆターム(参考） 4E068 CA02 CA03 DA00 DB12 DB13 5B003 AA09 AC01 AD01 AD03
Claims (7)
- 【請求項１】 フェムト秒レーザーパルスのレンズ系又
は試料ステージの調整を行うことなく、前記レーザーパ
ルスを試料としての透明固体内部に連続照射することに
より、該透明固体内部のボイドをレーザーパルスの入射
方向に移動させることを特徴とする透明固体内部のボイ
ドの移動方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の透明固体内部のボイドの
移動方法において、前記透明固体内部のボイドが三次元
光メモリー素子のデータであることを特徴とする透明固
体内部のボイドの移動方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の透明固体内部のボイドの
移動方法において、前記透明固体はフッ化カルシウムで
あることを特徴とする透明固体内部のボイドの移動方
法。 - 【請求項４】 請求項３記載の透明固体内部のボイドの
移動方法において、前記レーザーのエネルギーが５５０
乃至５７０ｎＪ／パルスであることを特徴とする透明固
体内部のボイドの移動方法。 - 【請求項５】 請求項１記載の透明固体内部のボイドの
移動方法において、前記透明固体はシリカガラスである
ことを特徴とする透明固体内部のボイドの移動方法。 - 【請求項６】 請求項５記載の透明固体内部のボイドの
移動方法において、前記レーザーのエネルギーが１１０
乃至１３０ｎＪ／パルスであることを特徴とする透明固
体内部のボイドの移動方法。 - 【請求項７】 請求項３又は５記載の透明固体内部のボ
イドの移動方法において、前記レーザーの連続照射数が
１０乃至６０回であることを特徴とする透明固体内のボ
イドの移動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001145700A JP3967090B2 (ja) | 2001-05-16 | 2001-05-16 | 透明固体内部のボイドの移動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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2001
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