JP2002329960A - Wiring board - Google Patents

Wiring board

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JP2002329960A
JP2002329960A JP2001132728A JP2001132728A JP2002329960A JP 2002329960 A JP2002329960 A JP 2002329960A JP 2001132728 A JP2001132728 A JP 2001132728A JP 2001132728 A JP2001132728 A JP 2001132728A JP 2002329960 A JP2002329960 A JP 2002329960A
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JP
Japan
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porous metal
substrate
wiring board
thick film
buffer layer
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Pending
Application number
JP2001132728A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiko Shigeta
泰彦 重田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
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Publication of JP2002329960A publication Critical patent/JP2002329960A/en
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    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04GELECTRONIC TIME-PIECES
    • G04G19/00Electric power supply circuits specially adapted for use in electronic time-pieces
    • G04G19/02Conversion or regulation of current or voltage

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring board excellent in productivity, which can effectively prevent a thick wiring layer from peeling off from a foundation or the foundation of the thick wiring layer from breaking. SOLUTION: In the wiring board where a plurality of thick wiring layers 3 formed of conductive materials are arranged on a substrate 1, a buffer layer 2 formed of porous metal 2a which has pores inside and a resin material 2b of 20-150 in Shore hardness being arranged on the porous metal and partially permeated in the porous metal 2a is interposed between the substrate 1 and the thick wiring layer. The porosity of the porous metal 2a is set to 90-98%.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、LEDアレイヘッ
ドのヘッド基板等を構成するのに使用される配線基板に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring substrate used for forming a head substrate or the like of an LED array head.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、LEDアレイヘッドのヘッド
基板を構成するのに配線基板が用いられている。
2. Description of the Related Art Hitherto, a wiring substrate has been used to constitute a head substrate of an LED array head.

【0003】かかる従来の配線基板は、例えば図3に示
す如く、ガラスやセラミック等から成る基板11の上面
に、複数個の厚膜配線層12を所定パターンに被着させ
た構造を有している。
As shown in FIG. 3, for example, such a conventional wiring board has a structure in which a plurality of thick film wiring layers 12 are adhered in a predetermined pattern on an upper surface of a substrate 11 made of glass, ceramic, or the like. I have.

【0004】前記厚膜配線層12の材質としては銀(A
g)やアルミニウム(Al)等の金属を含む導電材料が
使用され、かかる厚膜配線層12は例えば銀粉末、ガラ
スフリット、有機溶剤等を混合して得た所定の導電ペー
ストを従来周知のスクリーン印刷等によって基板11の
上面に所定パターンに印刷・塗布し、これを350℃〜
800℃の温度で焼き付けることにより形成される。
The material of the thick film wiring layer 12 is silver (A).
g) or a conductive material containing a metal such as aluminum (Al) is used. Such a thick film wiring layer 12 is made of a predetermined conductive paste obtained by mixing, for example, silver powder, glass frit, an organic solvent or the like with a conventionally known screen. A predetermined pattern is printed and applied on the upper surface of the substrate 11 by printing or the like.
It is formed by baking at a temperature of 800 ° C.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の配線基板においては、基板11の上面が極めて
平滑に形成されていることから、厚膜配線層12を導電
ペーストの焼き付けによって形成した際、これらの熱収
縮に伴い厚膜配線層12−基板11間に印加される熱応
力によって厚膜配線層12が基板11より剥離してしま
うことがあり、このことが配線基板の生産性を著しく低
下させていた。
However, in the above-described conventional wiring board, since the upper surface of the substrate 11 is formed extremely smooth, when the thick film wiring layer 12 is formed by baking a conductive paste, The thick film wiring layer 12 may be separated from the substrate 11 due to thermal stress applied between the thick film wiring layer 12 and the substrate 11 due to the heat shrinkage, which significantly reduces the productivity of the wiring substrate. I was letting it.

【0006】そこで上記欠点を解消するために、基板1
1と厚膜配線層12との間にビスマス系ほう珪酸ガラス
等から成るバッファ層を介在させ、このバッファ層に対
し厚膜配線層12を強固に密着させておくことによって
厚膜配線層12の剥離を防止することが提案されてい
る。
Therefore, in order to solve the above-mentioned drawback, the substrate 1
A buffer layer made of bismuth-based borosilicate glass or the like is interposed between the thick film wiring layer 12 and the thick film wiring layer 12, and the thick film wiring layer 12 is firmly adhered to the buffer layer. It has been proposed to prevent delamination.

【0007】しかしながら、基板11と厚膜配線層12
との間にビスマス系ほう珪酸ガラス等から成るバッファ
層を介在させた場合、基板11−厚膜配線層12間の熱
応力はバッファ層内で吸収されるため、上述した厚膜配
線層12の剥離は防止されるものの、熱応力を吸収した
バッファ層そのものに割れ等の不具合を生じることがあ
り、配線基板の生産性を十分に向上させるには至ってい
ない。
However, the substrate 11 and the thick wiring layer 12
When a buffer layer made of bismuth-based borosilicate glass or the like is interposed between the thick film wiring layer 12 and the substrate 11, the thermal stress between the substrate 11 and the thick film wiring layer 12 is absorbed in the buffer layer. Although peeling is prevented, the buffer layer itself that has absorbed the thermal stress may cause a problem such as cracking, and the productivity of the wiring board has not been sufficiently improved.

【0008】本発明は上記欠点に鑑み案出されたもの
で、その目的は、厚膜配線層が下地より剥離したり、厚
膜配線層の下地が破損したりするのを有効に防止するこ
とが可能な、生産性に優れた配線基板を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to effectively prevent peeling of a thick wiring layer from a base and breakage of the base of the thick wiring layer. It is an object of the present invention to provide a wiring board which is excellent in productivity.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の配線基板は、基
板上に導電材料から成る複数個の厚膜配線層を配設して
なる配線基板であって、前記基板−厚膜配線層間に、内
部に気孔を有する多孔質金属と、該多孔質金属上に配さ
れ、一部が前記多孔質金属中に含浸されたショア硬さ2
0〜150の樹脂材とから成るバッファ層を介在させた
ことを特徴とするものである。
A wiring board according to the present invention is a wiring board having a plurality of thick film wiring layers made of a conductive material disposed on a substrate, wherein the wiring board is provided between the substrate and the thick film wiring layer. A porous metal having pores therein, and a Shore hardness of 2 disposed on the porous metal and partially impregnated in the porous metal.
A buffer layer made of a resin material of 0 to 150 is interposed.

【0010】また本発明の配線基板は、前記多孔質金属
の気孔率が、90%〜98%であることを特徴とするも
のである。
[0010] In the wiring board according to the present invention, the porosity of the porous metal is 90% to 98%.

【0011】更に本発明の配線基板は、前記多孔質金属
が、ニッケル、鉄、銅、クロムのうちいずれか一種から
成ることを特徴とするものである。
Further, the wiring board according to the present invention is characterized in that the porous metal is made of any one of nickel, iron, copper and chromium.

【0012】また更に本発明の配線基板は、前記多孔質
金属が、三次元網状骨格を成していることを特徴とする
ものである。
Further, in the wiring board according to the present invention, the porous metal has a three-dimensional network skeleton.

【0013】更にまた本発明の配線基板は、前記多孔質
金属が、前記厚膜配線層の少なくとも1個に対して、前
記樹脂材中のビアホールを介して電気的に接続されてい
ることを特徴とするものである。
Still further, in the wiring board according to the present invention, the porous metal is electrically connected to at least one of the thick film wiring layers via a via hole in the resin material. It is assumed that.

【0014】本発明の配線基板によれば、基板−厚膜配
線層間に、内部に気孔を有する多孔質金属と、該多孔質
金属上に配され、少なくとも一部が前記多孔質金属中に
含浸された樹脂材とから成るバッファ層を介在させるよ
うにしたことから、前記厚膜配線層を導電ペーストの焼
き付けによって形成する際、導電ペーストと基板もしく
はバッファ層との間にこれらの熱収縮に伴う大きな熱応
力が印加されても、該熱応力をバッファ層を構成してい
る多孔質金属や樹脂材の変形によって良好に吸収・緩和
することができ、厚膜配線層が下地より剥離したり、或
いは、バッファ層等に割れを発生したりするのが有効に
防止される。これにより、配線基板の生産性が飛躍的に
向上される。
According to the wiring board of the present invention, a porous metal having pores therein between the substrate and the thick-film wiring layer, and at least a part of the porous metal is impregnated in the porous metal. When the thick film wiring layer is formed by baking of a conductive paste, the heat shrinkage between the conductive paste and the substrate or the buffer layer is caused by interposing the buffer layer made of the resin material. Even when a large thermal stress is applied, the thermal stress can be favorably absorbed and relaxed by deformation of the porous metal or resin material constituting the buffer layer, and the thick film wiring layer peels off from the base, Alternatively, generation of cracks in the buffer layer or the like is effectively prevented. Thereby, the productivity of the wiring board is dramatically improved.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に基づい
て詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態に係る配
線基板の断面図であり、図中の1は基板、2はバッファ
層、2aは多孔質金属、2bは樹脂材、3は厚膜配線層
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a wiring board according to an embodiment of the present invention, in which 1 is a substrate, 2 is a buffer layer, 2a is a porous metal, 2b is a resin material, and 3 is a thick film wiring layer. .

【0016】前記基板1は、アルミナセラミックス、ム
ライト、窒化アルミニウム、ガラスセラミックス、石
英、アルカリガラス、無アルカリガラス等の電気絶縁性
材料から成り、その上面にはバッファ層2、複数個の厚
膜配線層3が順次被着・形成され、これらを支持する支
持母材として機能する。
The substrate 1 is made of an electrically insulating material such as alumina ceramics, mullite, aluminum nitride, glass ceramics, quartz, alkali glass, non-alkali glass, etc., and has a buffer layer 2 and a plurality of thick film wirings on its upper surface. The layers 3 are sequentially deposited and formed, and function as a supporting base material for supporting them.

【0017】尚、前記基板1は、例えばアルミナセラミ
ックスから成る場合、アルミナ、シリカ、マグネシア等
のセラミックス原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加
・混合して泥漿状になすとともに、これを従来周知のド
クターブレード法やカレンダーロール法等を採用するこ
とによってセラミックグリーンシート(セラミック生シ
ート)を形成し、しかる後、得られたグリーンシートを
所定形状に打ち抜いた上、高温(約1600℃)で焼成
することにより製作される。
When the substrate 1 is made of, for example, alumina ceramics, an appropriate organic solvent and a solvent are added to and mixed with a ceramic raw material powder of alumina, silica, magnesia or the like to form a slurry. A ceramic green sheet (ceramic green sheet) is formed by employing the doctor blade method, the calender roll method, and the like, and thereafter, the obtained green sheet is punched into a predetermined shape and fired at a high temperature (about 1600 ° C.). It is produced by doing.

【0018】また前記基板1の上面には、バッファ層2
及び複数個の厚膜配線層3が順次、被着されており、基
板1−厚膜配線層3間にバッファ層2が介在された形と
なっている。
A buffer layer 2 is provided on the upper surface of the substrate 1.
And a plurality of thick film wiring layers 3 are sequentially applied, and the buffer layer 2 is interposed between the substrate 1 and the thick film wiring layer 3.

【0019】前記バッファ層2は、基板1の上面全域に
わたって設けられており、内部に気孔を有する多孔質金
属2aと、該多孔質金属2a上に配され、少なくとも一
部が多孔質金属2a中に含浸されたショア硬さ20〜1
50の樹脂材2bとで構成されている。
The buffer layer 2 is provided over the entire upper surface of the substrate 1, and has a porous metal 2a having pores therein, and is disposed on the porous metal 2a. Shore hardness 20-1 impregnated
And 50 resin materials 2b.

【0020】このバッファ層2内の多孔質金属2aは、
ニッケル、鉄、銅、クロム等の金属により形成され、気
孔率が例えば90%〜98%と高い値に設定されている
ため、その大部分を気孔が占める形となっており、後述
する厚膜配線層3を導電ペーストの焼き付け等によって
形成する際、導電ペーストと基板1もしくはバッファ層
2との間にこれらの熱収縮に伴う大きな熱応力が印加さ
れても、該熱応力をバッファ層2を構成する多孔質金属
2aやその内部に含浸される軟質の樹脂材2aを変形さ
せることによって良好に吸収・緩和することができる。
The porous metal 2a in the buffer layer 2
Since it is formed of a metal such as nickel, iron, copper, and chromium and has a high porosity of, for example, 90% to 98%, most of the porosity is occupied by pores. When the wiring layer 3 is formed by baking a conductive paste or the like, even if a large thermal stress due to thermal contraction is applied between the conductive paste and the substrate 1 or the buffer layer 2, the thermal stress is applied to the buffer layer 2. By deforming the constituent porous metal 2a and the soft resin material 2a impregnated therein, the absorption and relaxation can be favorably achieved.

【0021】従って、厚膜配線層3の下地となるバッフ
ァ層2等に割れを発生したり、厚膜配線層3がバッファ
層2等から剥離するといった不具合を生じることは殆ど
なく、これによって配線基板の生産性が飛躍的に向上さ
れる。
Therefore, there is almost no problem that cracks occur in the buffer layer 2 or the like which is the base of the thick film wiring layer 3 or the thick film wiring layer 3 is separated from the buffer layer 2 or the like. Substrate productivity is dramatically improved.

【0022】尚、前記バッファ層2中の多孔質金属2a
は、銅等の金属粉末にペンタンやネオペンタン、ヘキサ
ン、イソヘキサン、イソヘプタン、ベンゼン、オクタ
ン、トルエン等の発泡剤とメチルセルロース、ポリビニ
ルアルコール、カルボキシメチルセルロースアンモニウ
ム等の水溶性樹脂結合材と水とを添加・混合して得た所
定の発泡性スラリーを従来周知のドクターブレード法等
を採用することによって所定厚みのグリーンシートと成
し、該グリーンシート中の発泡剤を高湿の条件下で発泡
させた後、グリーンシートを高温で焼結させることによ
って金属の三次元網状骨格を成すように製作され、得ら
れた多孔質金属2aをエポキシ樹脂等の接着剤を介して
基板1の上面に載置させ、該接着剤を硬化させることに
よって多孔質金属2aが基板1上に固定される。
The porous metal 2a in the buffer layer 2
Adds and mixes foaming agents such as pentane, neopentane, hexane, isohexane, isoheptane, benzene, octane, and toluene, water-soluble resin binders such as methylcellulose, polyvinyl alcohol, carboxymethylcellulose ammonium, and water to metal powders such as copper. The predetermined foaming slurry obtained as described above is formed into a green sheet of a predetermined thickness by employing a conventionally known doctor blade method or the like, and after the foaming agent in the green sheet is foamed under high-humidity conditions, The green sheet is manufactured at a high temperature by sintering to form a three-dimensional network skeleton of the metal, and the obtained porous metal 2a is placed on the upper surface of the substrate 1 via an adhesive such as epoxy resin. The porous metal 2a is fixed on the substrate 1 by curing the adhesive.

【0023】また前記多孔質金属2a上の樹脂材2b
は、例えばポリイミド樹脂やシリコーン樹脂,液晶ポリ
マー等の有機高分子重合体から成り、その原料を従来周
知のスクリーン印刷等により多孔質金属2a上に印刷・
塗布して、一部を多孔質金属2aの上部領域(例えば多
孔質金属2aの上面より深さ1%〜40%までの領域)
に含浸させた後、これを加熱・重合させることによって
樹脂材2bが形成され、これによって多孔質金属2aと
樹脂材2bとから成る膜厚50μm〜5000μm程度
のバッファ層2が完成する。
The resin material 2b on the porous metal 2a
Is made of, for example, an organic high molecular polymer such as a polyimide resin, a silicone resin, or a liquid crystal polymer, and its raw material is printed on the porous metal 2a by a conventionally known screen printing or the like.
Apply and partially cover the upper region of the porous metal 2a (for example, a region having a depth of 1% to 40% from the upper surface of the porous metal 2a).
After that, the resin material 2b is formed by heating and polymerizing the resin material, thereby completing the buffer layer 2 having a thickness of about 50 μm to 5000 μm including the porous metal 2a and the resin material 2b.

【0024】尚、前記樹脂材2bのショア硬さが20よ
りも小さくなると、樹脂材2bが柔らか過ぎて、その形
状を良好に保持することが難しくなる不都合があり、ま
た樹脂材2bのショア硬さが150よりも大きくなる
と、樹脂材2bが変形しにくくなるので、厚膜配線層3
の形成時に印加される熱応力を良好に吸収・緩和するこ
とが困難になる恐れがある。
If the shore hardness of the resin material 2b is smaller than 20, the resin material 2b is too soft, and it is difficult to maintain its shape well. When the thickness is larger than 150, the resin material 2b is hardly deformed.
There is a possibility that it may be difficult to favorably absorb and relax the thermal stress applied at the time of formation.

【0025】従って、前記樹脂材2bのショア硬さは2
0〜150の範囲内に設定しておくことが重要である。
Therefore, the resin material 2b has a Shore hardness of 2
It is important to set it in the range of 0 to 150.

【0026】一方、前記バッファ層2上に被着される厚
膜配線層3は、電源電力や電気信号を供給するための電
極配線として機能するものであり、銀やアルミニウム、
或いはこれらの金属の合金を85wt%以上含有する導
電材料によって所定パターンをなすように形成される。
On the other hand, the thick-film wiring layer 3 deposited on the buffer layer 2 functions as an electrode wiring for supplying a power supply or an electric signal.
Alternatively, a predetermined pattern is formed by a conductive material containing an alloy of these metals in an amount of 85 wt% or more.

【0027】前記厚膜配線層3は、従来周知の厚膜手
法、具体的には、例えば銀粉末、ガラスフリット、有機
溶剤等を混合して得た所定の導電ペーストを従来周知の
スクリーン印刷等によってバッファ層2の上面に所定厚
み(例えば3μm〜20μm)、所定パターンに印刷・
塗布し、これを350℃〜450℃の温度で焼き付ける
ことにより形成される。
The thick film wiring layer 3 is formed by a conventionally known thick film method, for example, a predetermined conductive paste obtained by mixing silver powder, glass frit, an organic solvent, etc., by a conventionally known screen printing or the like. A predetermined thickness (for example, 3 μm to 20 μm) and a predetermined pattern on the upper surface of
It is formed by applying and baking this at a temperature of 350 ° C. to 450 ° C.

【0028】このとき、厚膜配線層3、バッファ層2、
基板1等の熱収縮に伴って厚膜配線層3−バッファ層2
間や厚膜配線層3−基板1間に印加される熱応力は、先
に述べた如く、バッファ層2を構成している多孔質金属
2aや樹脂材2bの変形によって良好に緩和・吸収され
るため、厚膜配線層3の下地となるバッファ層2等に割
れ等の不具合を生じることは無い。
At this time, the thick film wiring layer 3, the buffer layer 2,
Thick film wiring layer 3 -buffer layer 2 with heat shrinkage of substrate 1 etc.
As described above, the thermal stress applied between the thick film wiring layer 3 and the substrate 1 is favorably alleviated and absorbed by the deformation of the porous metal 2a and the resin material 2b constituting the buffer layer 2 as described above. Therefore, a problem such as a crack does not occur in the buffer layer 2 or the like which is a base of the thick film wiring layer 3.

【0029】尚、本発明は上述の実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
種々の変更、改良等が可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be made without departing from the gist of the present invention.

【0030】例えば上述の実施形態において、厚膜配線
層3の上面全体もしくは上面の一部に金やニッケル等か
ら成るメッキ層を被着させたり、厚膜配線層3をガラス
やエポキシ樹脂等から成る保護膜で被覆するようにして
も良い。
For example, in the above-described embodiment, a plating layer made of gold, nickel, or the like is applied to the entire upper surface or a part of the upper surface of the thick film wiring layer 3, or the thick film wiring layer 3 is made of glass or epoxy resin. May be covered with a protective film.

【0031】また上述の実施形態において、図2に示す
如く、厚膜配線層3の一つもしくは複数を多孔質金属2
bに接続し、これを接地電位GND等に保持するように
しても良い。この場合、厚膜配線層3と多孔質金属2a
とは、バッファ層2の樹脂材2bに設けたスルーホール
の内部に接続導体を充填して成るビアホール2cを介し
て電気的に接続されることとなる。
In the above embodiment, as shown in FIG. 2, one or more of the thick film wiring layers 3 are
b, and may be maintained at the ground potential GND or the like. In this case, the thick film wiring layer 3 and the porous metal 2a
Is electrically connected via a via hole 2c formed by filling a connection conductor into a through hole provided in the resin material 2b of the buffer layer 2.

【0032】更に上述の実施形態においては、多孔質金
属2aを三次元網状骨格に成し、多孔質金属2a内の気
泡を一体化させるようにしたが、これに代えて、平均気
孔径5μm〜1000μmの多数の気泡を金属板の内部
に分散させて多孔質金属2aを形成するようにしても構
わない。
Further, in the above-described embodiment, the porous metal 2a is formed into a three-dimensional network skeleton to integrate the bubbles in the porous metal 2a. Instead, the average pore diameter is 5 μm to 5 μm. A large number of air bubbles of 1000 μm may be dispersed inside the metal plate to form the porous metal 2a.

【0033】また更に上述の実施形態において、厚膜配
線層3上に、バッファ層2と同じ構成のバッファ層を積
層し、その上に厚膜配線層を更に積層することで多層配
線基板を構成するようにしても構わない。
Further, in the above-described embodiment, a buffer layer having the same structure as the buffer layer 2 is laminated on the thick film wiring layer 3, and a thick film wiring layer is further laminated thereon to form a multilayer wiring board. You may do it.

【0034】更にまた上述の実施形態においては、樹脂
材2bを多孔質金属2aの上部領域にのみ含浸させるよ
うにしたが、これに代えて、樹脂材2bを多孔質金属2
a全体に含浸させたり、更には含浸させた樹脂材2bの
一部を多孔質金属2aと基板1とを接着するための接着
剤として用いるようにしても良く、このような場合も上
述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
Further, in the above-described embodiment, the resin material 2b is impregnated only in the upper region of the porous metal 2a. However, the resin material 2b may be impregnated with the porous metal 2a instead.
a, or a part of the impregnated resin material 2b may be used as an adhesive for adhering the porous metal 2a and the substrate 1; The same effect as in the embodiment can be obtained.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明の配線基板によれば、基板−厚膜
配線層間に、内部に気孔を有する多孔質金属と、該多孔
質金属上に配され、一部が前記多孔質金属中に含浸され
たショア硬さ20〜150の樹脂材とから成るバッファ
層を介在させるようにしたことから、前記厚膜配線層を
導電ペーストの焼き付けによって形成する際、導電ペー
ストと基板もしくはバッファ層との間にこれらの熱収縮
に伴う大きな熱応力が印加されても、該熱応力をバッフ
ァ層を構成している多孔質金属や樹脂材の変形によって
良好に吸収・緩和することができ、厚膜配線層が下地よ
り剥離したり、或いは、バッファ層等に割れを発生した
りするのが有効に防止される。これにより、配線基板の
生産性が飛躍的に向上される。
According to the wiring board of the present invention, a porous metal having pores therein between the substrate and the thick film wiring layer, and a part disposed on the porous metal, and a part thereof is contained in the porous metal. Since the buffer layer made of the impregnated resin material having a Shore hardness of 20 to 150 is interposed, when the thick film wiring layer is formed by baking a conductive paste, the conductive paste and the substrate or the buffer layer are not bonded to each other. Even if a large thermal stress due to these thermal contractions is applied during this time, the thermal stress can be favorably absorbed and moderated by deformation of the porous metal or resin material constituting the buffer layer, and the thick film wiring It is possible to effectively prevent the layer from peeling off from the underlayer or to cause cracks in the buffer layer or the like. Thereby, the productivity of the wiring board is dramatically improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る配線基板の断面図で
ある。
FIG. 1 is a sectional view of a wiring board according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施形態に係る配線基板の断面図
である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a wiring board according to another embodiment of the present invention.

【図3】従来の配線基板の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・基板、2・・・バッファ層、2a・・・多孔質
金属、2b・・・樹脂材、3・・・厚膜配線層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate, 2 ... Buffer layer, 2a ... Porous metal, 2b ... Resin material, 3 ... Thick film wiring layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に導電材料から成る複数個の厚膜配
線層を配設してなる配線基板であって、 前記基板−厚膜配線層間に、内部に気孔を有する多孔質
金属と、該多孔質金属上に配され、少なくとも一部が前
記多孔質金属中に含浸されたショア硬さ20〜150の
樹脂材とから成るバッファ層を介在させたことを特徴と
する配線基板。
1. A wiring board comprising a substrate and a plurality of thick film wiring layers made of a conductive material disposed thereon, wherein a porous metal having pores therein is provided between the substrate and the thick film wiring layer; A wiring board, comprising a buffer layer disposed on the porous metal and at least partially comprised of a resin material having a Shore hardness of 20 to 150 impregnated in the porous metal.
【請求項2】前記多孔質金属の気孔率が、90%〜98
%であることを特徴とする請求項1に記載の配線基板。
2. The porous metal has a porosity of 90% to 98%.
%. The wiring board according to claim 1, wherein
【請求項3】前記多孔質金属が、ニッケル、鉄、銅、ク
ロムのうちいずれか一種から成ることを特徴とする請求
項1または請求項2に記載の配線基板。
3. The wiring board according to claim 1, wherein the porous metal is made of any one of nickel, iron, copper, and chromium.
【請求項4】前記多孔質金属が、三次元網状骨格を成し
ていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれ
かに記載の配線基板。
4. The wiring board according to claim 1, wherein the porous metal has a three-dimensional network skeleton.
【請求項5】前記多孔質金属が、前記厚膜配線層の少な
くとも1個に対して、前記樹脂材中のビアホールを介し
て電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に
記載の配線基板。
5. The method according to claim 1, wherein the porous metal is electrically connected to at least one of the thick film wiring layers via a via hole in the resin material. Wiring board.
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