JP2002329474A - 四重極質量分析装置 - Google Patents
四重極質量分析装置Info
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 分析感度を改善する。
【解決手段】 四重極質量フィルタを通過したイオンを
収束するバイポーラ型のイオン収束レンズの二枚目のレ
ンズ電極に、イオンの収束効率を最大とするような電圧
よりも更に高い電圧を印加する。このような電圧ではイ
オンの収束効率は若干劣化するものの、不所望のエネル
ギ粒子の検出器への飛び込みに起因するノイズがより大
きく減少するので、総合的にＳ／Ｎ比の改善が期待で
き、高感度な分析に有利である。
収束するバイポーラ型のイオン収束レンズの二枚目のレ
ンズ電極に、イオンの収束効率を最大とするような電圧
よりも更に高い電圧を印加する。このような電圧ではイ
オンの収束効率は若干劣化するものの、不所望のエネル
ギ粒子の検出器への飛び込みに起因するノイズがより大
きく減少するので、総合的にＳ／Ｎ比の改善が期待で
き、高感度な分析に有利である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は四重極質量分析装置
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】四重極質量分析装置では、イオン源で発
生した各種の質量数を有するイオンを四重極質量フィル
タに導入し、目的とする特定の質量数を有するイオンの
みを通過させ、そのイオンを検出器により検出してイオ
ン数に応じた検出信号を得る。目的イオン以外のイオン
の多くは四重極質量フィルタで発散してしまうが、四重
極質量フィルタによる電場の影響を受けない中性子等の
非荷電粒子や、途中の電場によっても発散されずに通過
してしまう目的イオン以外の一部の荷電粒子などのエネ
ルギ粒子は検出器に到達し得る。このようなエネルギ粒
子は分析に於いてはノイズ成分の一つであるから、分析
感度を高めるには、このような不所望のエネルギ粒子が
検出器に導入されないようにすることが望ましい。
生した各種の質量数を有するイオンを四重極質量フィル
タに導入し、目的とする特定の質量数を有するイオンの
みを通過させ、そのイオンを検出器により検出してイオ
ン数に応じた検出信号を得る。目的イオン以外のイオン
の多くは四重極質量フィルタで発散してしまうが、四重
極質量フィルタによる電場の影響を受けない中性子等の
非荷電粒子や、途中の電場によっても発散されずに通過
してしまう目的イオン以外の一部の荷電粒子などのエネ
ルギ粒子は検出器に到達し得る。このようなエネルギ粒
子は分析に於いてはノイズ成分の一つであるから、分析
感度を高めるには、このような不所望のエネルギ粒子が
検出器に導入されないようにすることが望ましい。
【０００３】従来の四重極質量分析装置に於いては、主
として四重極質量フィルタを通過する非荷電粒子を排除
するため、イオンの光軸上から検出器をずらして配置す
る、いわゆるオフアクシス（Off-Axis）構造が知られて
いる。更には、こうしたオフアクシスの効果を増大させ
るために、四重極質量フィルタの出口にイオンを収束す
るためのいわゆるイオン収束レンズを配置し、そのイオ
ン収束レンズのイオン通過開口径を絞るとともに、目的
イオンの収束効率が最大となるように、つまり検出器へ
のイオンの導入効率が最良となる収束電圧をイオン収束
レンズに印加することにより、目的イオンの検出効率を
向上させることも試みられている。
として四重極質量フィルタを通過する非荷電粒子を排除
するため、イオンの光軸上から検出器をずらして配置す
る、いわゆるオフアクシス（Off-Axis）構造が知られて
いる。更には、こうしたオフアクシスの効果を増大させ
るために、四重極質量フィルタの出口にイオンを収束す
るためのいわゆるイオン収束レンズを配置し、そのイオ
ン収束レンズのイオン通過開口径を絞るとともに、目的
イオンの収束効率が最大となるように、つまり検出器へ
のイオンの導入効率が最良となる収束電圧をイオン収束
レンズに印加することにより、目的イオンの検出効率を
向上させることも試みられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、たとえ
検出器への目的イオンの導入効率が改善されても、ノイ
ズの低減効果という点では必ずしも満足がいくものでは
なく、近年の分析感度の向上の要求に対しては、上記の
ような従来の改善方策では限界があった。
検出器への目的イオンの導入効率が改善されても、ノイ
ズの低減効果という点では必ずしも満足がいくものでは
なく、近年の分析感度の向上の要求に対しては、上記の
ような従来の改善方策では限界があった。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
のであって、その目的とするところは、従来よりも更な
るノイズの低減を図ることによって分析感度を改善する
ことができる四重極質量分析装置を提供することにあ
る。
のであって、その目的とするところは、従来よりも更な
るノイズの低減を図ることによって分析感度を改善する
ことができる四重極質量分析装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本願発明者は、上述した如く四重極質量フィルタの
出口にイオン収束レンズを設け、該レンズで収束した目
的イオンを検出器に導入する構成に於いて、イオン収束
レンズに印加する収束電圧と、検出器で検出されるイオ
ン強度、及び、検出器におけるノイズ強度との関係を実
験に基づいて詳細に検討した。その結果、イオンの収束
効率は或る収束電圧に於いて最良となり、それより電圧
（絶対値）を大きくしてゆくと徐々に収束効率が低下し
てゆくものの、ノイズ強度はその収束効率の低下を上回
る割合で低下してゆくことを見い出した。すなわち、総
合的なＳ／Ｎ比として評価した場合、目的イオンの収束
効率が最良となるような収束電圧よりも大きな所定の収
束電圧をイオン収束レンズに印加したときに最良の状態
が得られる、という結論に至った。
に、本願発明者は、上述した如く四重極質量フィルタの
出口にイオン収束レンズを設け、該レンズで収束した目
的イオンを検出器に導入する構成に於いて、イオン収束
レンズに印加する収束電圧と、検出器で検出されるイオ
ン強度、及び、検出器におけるノイズ強度との関係を実
験に基づいて詳細に検討した。その結果、イオンの収束
効率は或る収束電圧に於いて最良となり、それより電圧
（絶対値）を大きくしてゆくと徐々に収束効率が低下し
てゆくものの、ノイズ強度はその収束効率の低下を上回
る割合で低下してゆくことを見い出した。すなわち、総
合的なＳ／Ｎ比として評価した場合、目的イオンの収束
効率が最良となるような収束電圧よりも大きな所定の収
束電圧をイオン収束レンズに印加したときに最良の状態
が得られる、という結論に至った。
【０００７】このような実証に基づいて成された本発明
は、上記課題を解決するために、イオン源と、該イオン
源で発生したイオンのうち、特定の質量数を有するイオ
ンを選別する四重極質量フィルタと、その選別されたイ
オンを検出する検出器とを具備する四重極質量分析装置
に於いて、 a)前記四重極質量フィルタと検出器との間に配設された
イオン収束手段と、 b)該イオン収束手段に、目的イオンの帯電電荷と逆極性
であって、且つ該目的イオンの収束効率が最大となる収
束電圧のよりもその絶対値が大きな所定電圧を印加する
電圧印加手段と、を備えることを特徴としている。
は、上記課題を解決するために、イオン源と、該イオン
源で発生したイオンのうち、特定の質量数を有するイオ
ンを選別する四重極質量フィルタと、その選別されたイ
オンを検出する検出器とを具備する四重極質量分析装置
に於いて、 a)前記四重極質量フィルタと検出器との間に配設された
イオン収束手段と、 b)該イオン収束手段に、目的イオンの帯電電荷と逆極性
であって、且つ該目的イオンの収束効率が最大となる収
束電圧のよりもその絶対値が大きな所定電圧を印加する
電圧印加手段と、を備えることを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
四重極質量分析装置を図面を参照して説明する。図１は
この四重極質量分析装置の要部の構成図である。真空状
態に維持される図示しない分析室内部には、イオン源
１、前段のイオン収束レンズ２、四重極質量フィルタ
３、及び、上記イオン収束手段である後段のイオン収束
レンズ４が、イオン光軸Ｃに沿って略一直線上に配設さ
れている。また、イオン収束レンズ４の後段には上記検
出器として、イオン光軸Ｃを挟んで、コンバージョンダ
イノード５と、入口にシールド電極６を備えた二次電子
増倍管７とが配設されている。
四重極質量分析装置を図面を参照して説明する。図１は
この四重極質量分析装置の要部の構成図である。真空状
態に維持される図示しない分析室内部には、イオン源
１、前段のイオン収束レンズ２、四重極質量フィルタ
３、及び、上記イオン収束手段である後段のイオン収束
レンズ４が、イオン光軸Ｃに沿って略一直線上に配設さ
れている。また、イオン収束レンズ４の後段には上記検
出器として、イオン光軸Ｃを挟んで、コンバージョンダ
イノード５と、入口にシールド電極６を備えた二次電子
増倍管７とが配設されている。
【０００９】ここでは、イオン収束レンズ４は、第１、
第２なる２枚のレンズ電極４１、４２から成るいわゆる
バイポーラ型のレンズ構成であって、第１レンズ電極４
１は目的イオンを効率良く取り込むために、四重極質量
フィルタ３の四本のロッド状電極の内接円の直径とほぼ
同一の内径の開口を有する。また、第２レンズ電極４２
はノイズの原因となるエネルギ粒子を遮断するために、
第１レンズ電極４１よりも小さな径の開口を有する。
第２なる２枚のレンズ電極４１、４２から成るいわゆる
バイポーラ型のレンズ構成であって、第１レンズ電極４
１は目的イオンを効率良く取り込むために、四重極質量
フィルタ３の四本のロッド状電極の内接円の直径とほぼ
同一の内径の開口を有する。また、第２レンズ電極４２
はノイズの原因となるエネルギ粒子を遮断するために、
第１レンズ電極４１よりも小さな径の開口を有する。
【００１０】上記構成の四重極質量分析装置に於いて、
イオン源１では、前段の例えばガスクロマトグラフのカ
ラムから溶出した試料分子又は原子を、電子衝撃法等の
イオン化法によってイオン化する。なお、この例では、
イオン源１は電子衝撃法を利用したものであるが、他の
例えば化学イオン化法によるものでもよい。発生した各
種イオンは、イオン源１から引き出され、イオン収束レ
ンズ２で収束及び加速されて四重極質量フィルタ３の長
軸方向の空間に導入される。四重極質量フィルタは四本
のロッド状電極（図１中では二本のみを記載している）
を有し、隣接する二本の電極には、互いに位相が１８０
°シフトした電圧±（Ｕ＋Ｖ・ｃｏｓωｔ）が電圧印加
部８より印加される。
イオン源１では、前段の例えばガスクロマトグラフのカ
ラムから溶出した試料分子又は原子を、電子衝撃法等の
イオン化法によってイオン化する。なお、この例では、
イオン源１は電子衝撃法を利用したものであるが、他の
例えば化学イオン化法によるものでもよい。発生した各
種イオンは、イオン源１から引き出され、イオン収束レ
ンズ２で収束及び加速されて四重極質量フィルタ３の長
軸方向の空間に導入される。四重極質量フィルタは四本
のロッド状電極（図１中では二本のみを記載している）
を有し、隣接する二本の電極には、互いに位相が１８０
°シフトした電圧±（Ｕ＋Ｖ・ｃｏｓωｔ）が電圧印加
部８より印加される。
【００１１】四重極質量フィルタ３に導入された各種イ
オンはロッド状電極に印加された電圧により発生する電
場によって振動し、電圧Ｕ、Ｖに応じた質量数を有する
イオンのみがその長軸方向の空間を通り抜け、それ以外
の質量数を有するイオンは途中でイオン光軸Ｃを大きく
逸れて発散してしまう。このようにして四重極質量フィ
ルタ３を通り抜けたイオンのみが後段のイオン収束レン
ズ４の第１レンズ電極４１の開口を通り、第２レンズ電
極４２の開口に収束される。
オンはロッド状電極に印加された電圧により発生する電
場によって振動し、電圧Ｕ、Ｖに応じた質量数を有する
イオンのみがその長軸方向の空間を通り抜け、それ以外
の質量数を有するイオンは途中でイオン光軸Ｃを大きく
逸れて発散してしまう。このようにして四重極質量フィ
ルタ３を通り抜けたイオンのみが後段のイオン収束レン
ズ４の第１レンズ電極４１の開口を通り、第２レンズ電
極４２の開口に収束される。
【００１２】このようにイオンを適宜に収束させるため
に、第１、第２レンズ電極４１、４２に印加される電圧
については後述する。コンバージョンダイノード５に
は、正イオンを検出するときは負極性の、負イオンを検
出するときには正極性の高電圧が印加される。
に、第１、第２レンズ電極４１、４２に印加される電圧
については後述する。コンバージョンダイノード５に
は、正イオンを検出するときは負極性の、負イオンを検
出するときには正極性の高電圧が印加される。
【００１３】例えば正イオンを検出するときの概略動作
は次の通りである。四重極質量フィルタ３を通過したイ
オンは、第１、第２レンズ電極４１、４２により収束さ
れてその開口を通り抜けた後、コンバージョンダイノー
ド５に印加されている電圧に誘引されて図１に示すよう
に軌道を曲げて衝突する。すると、コンバージョンダイ
ノード５から二次電子（図１中のｅ−）が放出され、二
次電子は下方向に進み二次電子増倍管７に到達する。そ
して、二次電子増倍管７の内部で増幅されて、始めに飛
び込んだ二次電子の数に応じた、つまりはコンバージョ
ンダイノード５に到達したイオンの数に応じた検出信号
が取り出される。
は次の通りである。四重極質量フィルタ３を通過したイ
オンは、第１、第２レンズ電極４１、４２により収束さ
れてその開口を通り抜けた後、コンバージョンダイノー
ド５に印加されている電圧に誘引されて図１に示すよう
に軌道を曲げて衝突する。すると、コンバージョンダイ
ノード５から二次電子（図１中のｅ−）が放出され、二
次電子は下方向に進み二次電子増倍管７に到達する。そ
して、二次電子増倍管７の内部で増幅されて、始めに飛
び込んだ二次電子の数に応じた、つまりはコンバージョ
ンダイノード５に到達したイオンの数に応じた検出信号
が取り出される。
【００１４】従来の四重極質量分析装置では、通常、イ
オン収束レンズ４への印加電圧は、イオンの収束効率が
最大となるような条件、すなわち、二次電子増倍管７で
の検出信号が最大になるような条件に設定されている。
それに対し、本装置では、次のようにしてイオン収束レ
ンズ４への印加電圧が決められている。
オン収束レンズ４への印加電圧は、イオンの収束効率が
最大となるような条件、すなわち、二次電子増倍管７で
の検出信号が最大になるような条件に設定されている。
それに対し、本装置では、次のようにしてイオン収束レ
ンズ４への印加電圧が決められている。
【００１５】図２は本願発明者が行った実験の結果を示
すグラフであり、第１レンズ電極４１への印加電圧を四
重極質量フィルタ３への中心電位にほぼ等しい電圧とし
たときの、第２レンズ電極４２への印加電圧（この場合
には正イオンを検出するので印加電圧の極性は負であ
る）とイオン検出信号レベル及びノイズレベルとの関係
を測定したものである。図２に明らかなように、約−２
８０Ｖの印加電圧に於いてイオンの収束効率が最大にな
ることによってイオン検出信号は最大となり、印加電圧
の絶対値をそれ以上に増加させてゆくと徐々に低下して
ゆく。これに対しノイズのレベルは、最大のイオン収束
効率（つまりイオン検出信号）を与える印加電圧に於い
て最小になるのではなく、そこから印加電圧の絶対値を
増加させてゆくと上述した検出信号の低下の度合を上回
る割合で更に減少してゆく、という現象が現れている。
すグラフであり、第１レンズ電極４１への印加電圧を四
重極質量フィルタ３への中心電位にほぼ等しい電圧とし
たときの、第２レンズ電極４２への印加電圧（この場合
には正イオンを検出するので印加電圧の極性は負であ
る）とイオン検出信号レベル及びノイズレベルとの関係
を測定したものである。図２に明らかなように、約−２
８０Ｖの印加電圧に於いてイオンの収束効率が最大にな
ることによってイオン検出信号は最大となり、印加電圧
の絶対値をそれ以上に増加させてゆくと徐々に低下して
ゆく。これに対しノイズのレベルは、最大のイオン収束
効率（つまりイオン検出信号）を与える印加電圧に於い
て最小になるのではなく、そこから印加電圧の絶対値を
増加させてゆくと上述した検出信号の低下の度合を上回
る割合で更に減少してゆく、という現象が現れている。
【００１６】すなわち、イオンの収束効率を最良にする
ように印加電圧を設定するという従来の方法は、イオン
の検出信号を最大にするという点では意味があるもの
の、Ｓ／Ｎ比を最大にするという観点では不充分であ
り、印加電圧の絶対値を更に大きくしたところに最大の
Ｓ／Ｎ比を与える点があることをこの度新たに見い出す
に至った。図２に示す結果では、−７５０Ｖ付近に於い
てＳ／Ｎ比は最大になるから、図１の構成では、電圧印
加部８により第２レンズ電極４２にこのような電圧を印
加すれば、二次電子増倍管７で得られる検出信号のＳ／
Ｎ比はほぼ最良になる。また、それよりも印加電圧を増
加させてゆくとＳ／Ｎ比は減少してゆき、やがてコンバ
ージョンダイノード５との電位差が不充分になり、イオ
ンが適切に曲がるような所望の軌道が得られなくなっ
て、その結果、イオンの検出効率が極端に低下するよう
になる。したがって、この例での、好ましい印加電圧の
絶対値の下限は２８０Ｖ程度であり、一方、上限はコン
バージョンダイノード印加電圧又はその電圧との関係で
決まる値となる。
ように印加電圧を設定するという従来の方法は、イオン
の検出信号を最大にするという点では意味があるもの
の、Ｓ／Ｎ比を最大にするという観点では不充分であ
り、印加電圧の絶対値を更に大きくしたところに最大の
Ｓ／Ｎ比を与える点があることをこの度新たに見い出す
に至った。図２に示す結果では、−７５０Ｖ付近に於い
てＳ／Ｎ比は最大になるから、図１の構成では、電圧印
加部８により第２レンズ電極４２にこのような電圧を印
加すれば、二次電子増倍管７で得られる検出信号のＳ／
Ｎ比はほぼ最良になる。また、それよりも印加電圧を増
加させてゆくとＳ／Ｎ比は減少してゆき、やがてコンバ
ージョンダイノード５との電位差が不充分になり、イオ
ンが適切に曲がるような所望の軌道が得られなくなっ
て、その結果、イオンの検出効率が極端に低下するよう
になる。したがって、この例での、好ましい印加電圧の
絶対値の下限は２８０Ｖ程度であり、一方、上限はコン
バージョンダイノード印加電圧又はその電圧との関係で
決まる値となる。
【００１７】このようにイオン収束レンズ４への印加電
圧をイオン収束効率が最大になる条件よりも大きくする
ことによってノイズが低下する、という現象の明確なメ
カニズムは未だ解明されていないが、推測し得る一つの
理由は次のようなものである。
圧をイオン収束効率が最大になる条件よりも大きくする
ことによってノイズが低下する、という現象の明確なメ
カニズムは未だ解明されていないが、推測し得る一つの
理由は次のようなものである。
【００１８】四重極質量フィルタ３を通過してイオン収
束レンズ４に入る段階で電荷を有していない非荷電粒子
は、イオン収束レンズ４やコンバージョンダイノード５
による電場の影響を受けないため、イオン収束レンズ４
への印加電圧を変化させてもそれによるノイズの増減へ
の影響は殆どないものと思われる。それに対し、目的イ
オン以外の不所望の荷電粒子はイオン収束レンズ４を通
過した時点で運動エネルギが小さいと、コンバージョン
ダイノード５による電場の影響で軌道を曲げ易く、結果
的にノイズの要因となり易い。上述したようにイオン収
束レンズ４への印加電圧を大きくすると、こうした荷電
粒子を一段と加速してコンバージョンダイノード５と二
次電子増倍管７との間の空間へと送り出すことになり、
結果的に、それらの電場の影響を受けにくくなってコン
バージョンダイノード５や二次電子増倍管７に到達せ
ず、ノイズを減少させることができるのではないかと考
えられる。
束レンズ４に入る段階で電荷を有していない非荷電粒子
は、イオン収束レンズ４やコンバージョンダイノード５
による電場の影響を受けないため、イオン収束レンズ４
への印加電圧を変化させてもそれによるノイズの増減へ
の影響は殆どないものと思われる。それに対し、目的イ
オン以外の不所望の荷電粒子はイオン収束レンズ４を通
過した時点で運動エネルギが小さいと、コンバージョン
ダイノード５による電場の影響で軌道を曲げ易く、結果
的にノイズの要因となり易い。上述したようにイオン収
束レンズ４への印加電圧を大きくすると、こうした荷電
粒子を一段と加速してコンバージョンダイノード５と二
次電子増倍管７との間の空間へと送り出すことになり、
結果的に、それらの電場の影響を受けにくくなってコン
バージョンダイノード５や二次電子増倍管７に到達せ
ず、ノイズを減少させることができるのではないかと考
えられる。
【００１９】以上述べたように、本四重極質量分析装置
によれば、検出信号のＳ／Ｎ比を改善し、これまでより
も一段と分析感度を向上させることができる。
によれば、検出信号のＳ／Ｎ比を改善し、これまでより
も一段と分析感度を向上させることができる。
【００２０】なお、上記図２に示した印加電圧の条件は
その装置の構成に依存するものであるから、実際にその
装置でＳ／Ｎ比が最大となるような印加電圧の値を探
し、その値の近辺になるように電圧印加部８を調整する
ことが好ましい。
その装置の構成に依存するものであるから、実際にその
装置でＳ／Ｎ比が最大となるような印加電圧の値を探
し、その値の近辺になるように電圧印加部８を調整する
ことが好ましい。
【００２１】また、上記実施例は正イオンを検出するも
のであるが、負イオンを検出する場合でも印加電圧の極
性を反転させれば同様の方法を用いることができる。ま
た、イオン収束レンズ４の構成は上記構成に限るもので
はなく、三枚又はそれ以上の枚数のレンズ電極を用いた
いわゆるユニポーラ型の構成やそのほかの構成であって
も、電圧を印加してイオン収束を行うものであれば適用
が可能である。また、イオンの検出器はコンバージョン
ダイノードを用いたものでなくともよく、また二次電子
増倍管の代わりにシンチレータと光検出器との組み合わ
せなどの他の検出器を用いた構成でもよい。
のであるが、負イオンを検出する場合でも印加電圧の極
性を反転させれば同様の方法を用いることができる。ま
た、イオン収束レンズ４の構成は上記構成に限るもので
はなく、三枚又はそれ以上の枚数のレンズ電極を用いた
いわゆるユニポーラ型の構成やそのほかの構成であって
も、電圧を印加してイオン収束を行うものであれば適用
が可能である。また、イオンの検出器はコンバージョン
ダイノードを用いたものでなくともよく、また二次電子
増倍管の代わりにシンチレータと光検出器との組み合わ
せなどの他の検出器を用いた構成でもよい。
【００２２】更に、イオン収束レンズに電圧を印加する
手段としては、当然、イオン収束レンズのみに独立して
電圧を印加するものでもよいが、構成をより簡単にする
という点から言えば、コンバージョンダイノードや二次
電子増倍管に印加する高電圧を適宜に分圧して供給する
構成としてもよいし、更にまた前段のイオン収束レンズ
２などへの電圧と共用化してもよい。
手段としては、当然、イオン収束レンズのみに独立して
電圧を印加するものでもよいが、構成をより簡単にする
という点から言えば、コンバージョンダイノードや二次
電子増倍管に印加する高電圧を適宜に分圧して供給する
構成としてもよいし、更にまた前段のイオン収束レンズ
２などへの電圧と共用化してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の四重極質
量分析装置によれば、検出器における検出信号の強度は
必ずしも最大ではないものの、検出信号のＳ／Ｎ比は最
大かほぼそれに近い状態になる。したがって、従来の装
置よりも検出限界が下がり、高感度の分析が可能とな
る。
量分析装置によれば、検出器における検出信号の強度は
必ずしも最大ではないものの、検出信号のＳ／Ｎ比は最
大かほぼそれに近い状態になる。したがって、従来の装
置よりも検出限界が下がり、高感度の分析が可能とな
る。
【図１】 本発明の一実施形態による四重極質量分析装
置の要部の構成図。
置の要部の構成図。
【図２】 本実施形態の四重極質量分析装置における第
２レンズ電極への印加電圧とイオン検出信号レベル及び
ノイズレベルとの関係を測定した結果を示すグラフ。
２レンズ電極への印加電圧とイオン検出信号レベル及び
ノイズレベルとの関係を測定した結果を示すグラフ。
１…イオン源 ２…イオン収束レンズ ３…四重極質量フィルタ ４…イオン収束レンズ ４１…第１レンズ電極 ４２…第２レンズ電極 ５…コンバージョンダイノード ６…シールド電極 ７…二次電子増倍管 ８…電圧印加部
Claims (1)
- 【請求項１】 イオン源と、該イオン源で発生したイオ
ンのうち、特定の質量数を有するイオンを選別する四重
極質量フィルタと、その選別されたイオンを検出する検
出器とを具備する四重極質量分析装置に於いて、 a)前記四重極質量フィルタと検出器との間に配設された
イオン収束手段と、 b)該イオン収束手段に、目的イオンの帯電電荷と逆極性
であって、且つ該目的イオンの収束効率が最大となる収
束電圧のよりもその絶対値が大きな所定電圧を印加する
電圧印加手段と、 を備えることを特徴とする四重極質量分析装置。
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