JP2002328005A - マルチビーム・レーザ干渉計及び積層型光学素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型で自由度の高いマルチビーム・レーザ干
渉計の実現。 【解決手段】 複数のレーザビームと、複数の平行透明
板を積層して接着した積層板を、レーザビームの入出射
面が積層面に対して斜めになるように加工し、任意の積
層面の任意の部分に、偏光ビームスプリッタ面48,49、
ビームスプリッタ面42又は反射面43-47、又はそれらの
組み合せを形成した積層型光学素子40を有し、複数のレ
ーザビームをそれぞれ測定ビームと参照ビームに分割
し、対象物に取り付けられた測定用反射器58,60で反射
されて戻った測定ビームと、参照反射器54,56で反射さ
れて戻った参照ビームをそれぞれ合成して複数の干渉ビ
ーム61,62を発生するレーザ干渉ユニットと、複数の干
渉ビームの各干渉縞の変化を検出する検出器とを備える
マルチビーム・レーザ干渉計であって、積層型光学素子
は、レーザビームの入出射面に接着された透明板50を備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ステージなどの移
動量を測定するのに広く使用されているレーザ干渉計及
びそこで使用される光学素子に関し、特に１個のレーザ
干渉計から複数のレーザビームが出射され、複数の部分
の移動量が同時に測定できるマルチビーム・レーザ干渉
計であって、複数の平行透明板を積層して接着した積層
板を、レーザビームの入出射面が積層面に対して斜めに
なるように加工し、任意の積層面の任意の部分に、偏光
ビームスプリッタ面、ビームスプリッタ面又は反射面、
又はそれらの組み合せを形成した積層型光学素子を有す
るマルチビーム・レーザ干渉計及び積層型光学素子に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ステージなどの移動量を測定するのに測
長用レーザ干渉計が広く使用されている。測長用レーザ
干渉計では、測定精度の向上や、移動物体の回転（ヨー
イング）なども測定可能にすることが求められており、
このような要求に答えるため、１個のレーザ干渉計から
複数の測定ビームが出射され、複数の部分の移動量を１
個のレーザ干渉計で測定できるマルチビーム・レーザ干
渉計が使用されている。マルチビーム・レーザ干渉計を
実現する場合、従来のレーザ干渉計を複数個組み合わせ
て装置を実現することが考えられるが、装置が大きくな
るだけでなく、コストが高くなるという問題がある。特
に、測定ビームの出射位置や干渉ビームの取り出し位置
が規定され、しかもそれらが近接している場合には、従
来のレーザ干渉計を組み合わせただけでは所望のビーム
位置を得ることが難しいという問題がある。更に、各レ
ーザ干渉計のビーム位置や方向は精密に合わせる必要が
あり、調整時間が長くなり、コスト増加の要因となると
いう問題もある。

【０００３】本出願人は、特願２０００−３７０５２５
号で、このような問題を解決できる積層型光学素子を有
するマルチビーム・レーザ干渉計を開示している。積層
型光学素子は、複数の平行透明板を積層して接着した積
層板を、レーザビームの入出射面が積層面に対して斜め
になるように加工し、任意の積層面の任意の部分に、偏
光ビームスプリッタ面、ビームスプリッタ面又は反射
面、又はそれらの組み合せを形成したものであり、この
ような積層型光学素子を使用することにより、レーザビ
ームの配置の自由度が高く且つ小型のマルチビーム・レ
ーザ干渉計を低コストで実現できる。

【０００４】図１は、特願２０００−３７０５２５号に
開示された積層型光学素子を有するダブルパス型のマル
チビーム・レーザ干渉計の例を示す図である。積層型光
学素子１３は、４層のガラス基板の所定位置に、偏光ビ
ームスプリッタ面１６，１７、ビームスプリッタ面１４
及び反射面１５に相当する膜を形成した後、光学的に接
着し、更に周囲を図示のような形状に加工して実現す
る。上記のような膜が形成されていない部分は、均一な
ガラス材と同じであり、レーザビームはそのまま通過す
る。

【０００５】図１に示すように、レーザ光源から光源用
光ファイバ１に入射されて伝送されたレーザビームは、
光源用光ファイバ１の出力端から出射され、レンズ１２
により平行ビームにされる。この平行ビームは、ビーム
スプリッタ面１４で２つのレーザビームに分割される。
一方のレーザビームは、偏光ビームスプリッタ１６に入
力し、偏光ビームスプリッタ１６により測定ビームと参
照ビームに分割される。偏光ビームスプリッタ１６を通
過した測定ビームは、１／４波長板１８Ａを通過し、測
定対象物に設けられた平面反射ミラー１９Ａで逆方向に
反射され、再び１／４波長板１８Ａを通過し、偏波面が
１８０度回転したビームとして再び偏光ビームスプリッ
タ１６に入射する。このビームは、偏光ビームスプリッ
タ面１６で反射され、コーナーキューブ２２Ａで逆方向
に反射され、更に偏光ビームスプリッタ面１６で反射さ
れる。このビームは、平面反射ミラー１９Ａで逆方向に
反射され、再び偏光ビームスプリッタ１６に入射する
が、この間に１／４波長板１８Ａを２回通過するので、
偏光ビームスプリッタ面を通過する。

【０００６】一方、偏光ビームスプリッタ１６で反射さ
れた参照ビームは、１／４波長板２０Ａを通過し、平面
反射ミラー２１Ａ６で逆方向に反射され、再び１／４波
長板２０Ａを通過し、偏波面が１８０度回転したビーム
として再び偏光ビームスプリッタ１６に入射するので、
偏光ビームスプリッタ面を通過する。このビームは、コ
ーナーキューブ２２Ａで逆方向に反射され、更に偏光ビ
ームスプリッタ面１６を通過して１／４波長板２０Ａを
通過し、平面反射ミラー２１Ａで逆方向に反射され、再
び１／４波長板２０Ａを通過する。この間に１／４波長
板２０Ａを２回通過するので、偏光ビームスプリッタ面
１６で反射される。

【０００７】上記の偏光ビームスプリッタ面１６を通過
した測定ビームと、偏光ビームスプリッタ面１６で反射
された参照ビームは合成されて干渉ビームになる。干渉
ビームは偏光板（図示せず）を通過して干渉縞を生じ
る。干渉の状態は、測定ビームと参照ビームの光路差に
より決定され、測定対象物が移動して平面反射ミラー１
９Ａの位置が変化するとそれに応じて干渉縞が変化する
ので、干渉縞の変化を検出すれば平面反射ミラー１９Ａ
の移動量、すなわち、測定対象物の移動量が検出でき
る。偏光板を通過した干渉ビームは、レンズ２３Ａで光
ファイバ２４Ａの入力端に収束され、光ファイバ２４Ａ
により光検出器に入射し、電気信号に変換される。干渉
縞が変化すると電気信号も変化する。電気信号は増幅器
で増幅された後、比較器で２値化され、カウンタで２値
信号の変化数が計数されて、移動量が算出される。

【０００８】ビームスプリッタ面１４で分割された他方
のレーザビームは、反射面１５、偏光ビームスプリッタ
面１７、１／４波長板１８Ｂ，２０Ｂ、平面反射ミラー
１９Ｂ，２１Ｂ及びコーナーキューブ２２Ｂなどと同様
の干渉光学系を形成する。以上のように、積層型光学素
子１３を使用することにより、独立した２つの平面反射
ミラーの移動量が独立に測定できる小型のマルチビーム
・レーザ干渉計が簡単な構成で実現できる。しかも積層
板の構成や偏光ビームスプリッタ面、反射面、ビームス
プリッタ面を形成する部分を選択することにより、レー
ザビームの出射位置を任意に設定できる。なお、図１に
は、ダブルパス型の例を示したが、シングルパス型でも
積層型光学素子を使用することにより同様な利点が得ら
れる。

【０００９】上記のような積層型光学素子を製作する場
合、複数枚のガラス基板をそれぞれ所定の厚さの平行な
平板（オプティカルフラット）に加工する。そして、そ
れぞれの所定位置に、偏光ビームスプリッタ面、ビーム
スプリッタ面及び反射面などに相当する膜を形成した
後、光学的に接着し、更に周囲を図示のような形状に切
断した後表面を研磨する。研磨は、少なくともレーザビ
ームが通過する表面について行い、通過するレーザビー
ムが乱されないように光学的に平面にすると共に、各表
面が正確に所定の角度（例えば,９０度（直角）、１８
０度（平行））を成すために行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】図１に示すように、積
層型光学素子１３は平行なガラス基板を貼り合せたもの
を、表面が貼り合せ面に対して所定の角度（図では４５
度）になるように加工したものであり、表面にはガラス
基板と接着材の層が露出する。図２は、この様子を詳細
に示した図である。図２に示すように、積層型光学素子
１３の表面には、ガラス基板２１及び２２と接着材層２
３が露出している。

【００１１】上記のようなガラス基板と接着材が混在す
る表面を一緒に研磨する場合、ガラス基板などの硬い表
面は研磨されにくく、接着材などの比較的軟らかい表面
は固い表面に比べて研磨され易く、図２に示すように、
接着材層２３の表面２５は、ガラス基板２１及び２２の
表面２４より余計に研磨された状態、すなわち、接着材
層２３の表面２５が若干ではあるが凹んだ状態になる。
このような部分を平行なレーザビームが通過すると、平
行ビームでなくなると共に、レーザビームの方向が変化
し、レーザ干渉計の性能を低下させるという問題を生じ
る。

【００１２】このような問題を回避するためには、レー
ザビームがガラス基板の表面のみを通過して、接着材層
の表面は通過しないようにすることが考えられるが、そ
れではレーザビームの光路のレイアウトが制約されると
いった設計上の自由度が低下するといった問題を生じ
る。本発明は、このような問題を解決するためになされ
たものであり、積層型光学素子を使用したマルチビーム
・レーザ干渉計において、レイアウト上の制約を低減し
て、小型化、組み立て調整の容易さ、製造コストなどを
考慮した設計の自由度を増すことを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】図３は、本発明のマルチ
ビーム・レーザ干渉計及び積層型光学素子の原理を説明
する図である。上記目的を実現するため、本発明のマル
チビーム・レーザ干渉計では、図３に示すように、積層
型光学素子のレーザビームの入出射面に透明板３５を接
着する。

【００１４】本発明のマルチビーム・レーザ干渉計及び
積層型光学素子によれば、透明平板（ガラス基板）３１
及び３２と接着材層３３が露出した表面であっても、そ
こに接着材層３４を介して透明板（ガラス基板）３５が
接着されるので、たとえ透明平板３１及び３２と接着材
層３３の表面に凹凸があっても通過するレーザビームが
乱されることはなくなる。

【００１５】透明板３５は、積層板の入出射面の接着部
分がある部分で且つレーザビームが通過する部分に設け
るが、例えば入出射面の全面に１枚の透明板を設けるな
どして２つ以上のレーザビームが１枚の透明板を通過す
るようにしても、１つの入出射面に複数枚の透明板を設
けて各レーザビームがそれぞれ異なる透明板を通過する
ようにしてもよい。

【００１６】各レーザビーム毎に透明板を設ける場合に
は、その厚さを、その透明板を通過するレーザビームと
それが干渉するレーザビームがそれぞれ通過する積層板
と透明板中の距離の合計が等しくなるように設定するこ
とにより、２つの干渉するレーザビームのガラス媒体中
の距離を等しくして空気中の距離のみが異なるようにし
て、温度変化などに対する補正を容易にできる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図４は、本発明の第１実施例のマ
ルチビーム・レーザ干渉計の干渉ユニットの部分の構成
を示す図である。第１実施例のマルチビーム・レーザ干
渉計は、シングルパス型のレーザ干渉計であり、干渉ユ
ニットは積層型光学素子４０で構成されている。

【００１８】入射レーザビーム４１は、ビームスプリッ
タ面４２で２つのビームに分割され、一方は反射面４３
と４４で反射され、偏光ビームスプリッタ面４８で測定
ビームと参照ビームに分割され、測定ビームは反射面４
５で反射して透明板５０を通過し、測定対象の移動体に
設けられた１／４波長板５７とコーナーキューブ５８に
向けて出射され、参照ビームは透明板５０を通過して固
定の１／４波長板５３とコーナーキューブ５４に向けて
出射される。コーナーキューブ５８と５４でそれぞれ反
射された測定ビームと参照ビームは逆の経路を通って偏
光ビームスプリッタ面４８で合成され、干渉ビーム６２
として出射される。同様に、ビームスプリッタ面４２で
分割された他方のビームは、反射面４６で反射され、偏
光ビームスプリッタ面４９で測定ビームと参照ビームに
分割され、測定ビームは反射面４７で反射して透明板５
０を通過し、測定対象の移動体に設けられた１／４波長
板５９とコーナーキューブ６０に向けて出射され、参照
ビームは透明板５０を通過して固定の１／４波長板５５
とコーナーキューブ５６に向けて出射される。コーナー
キューブ６０と５６でそれぞれ反射された測定ビームと
参照ビームは逆の経路を通って偏光ビームスプリッタ面
４９で合成され、干渉ビーム６１として出射される。こ
のように、第１実施例では２本のレーザビームにより測
定対象の２つの移動体の移動量が測定される。

【００１９】ここで、特願２０００−３７０５２５号に
開示された構成と異なるのは、測定ビーム及び参照ビー
ムが出射される積層型光学素子４０の表面に透明板５０
が接着されている点である。積層型光学素子は、表面が
研磨された後、透明板５０が接着される。図４に示すよ
うに、２つの参照ビームは、積層型光学素子の表面の接
着面５１と５２が露出した部分を通過するが、そのよう
な部分は、図２に示すように、研磨により軟らかい接着
材の部分が凹む。しかし、本実施例では、この表面には
透明板５０が接着されるので、接着材の屈折率が積層基
板や透明板の屈折率と同じであれば光学的に一様であ
り、通過するレーザビームを乱すことがない。

【００２０】なお、上記のように、透明板５０が接着さ
れると接着面は光学的には一様になるので、透明板５０
の表面の平面度が良好であれば、積層型光学素子の透明
板５０が接着される表面は、透明板５０が接着されない
場合に比べて平面度は低くても問題を生じない。図５
は、本発明の第２実施例のマルチビーム・レーザ干渉計
の干渉ユニットの部分の構成を示す図である。第２実施
例のマルチビーム・レーザ干渉計も、第１実施例と同様
に、シングルパス型のレーザ干渉計であり、干渉ユニッ
トは積層型光学素子で構成されており、第１実施例と異
なるのは、透明板７１及び７２が積層板の表面の参照ビ
ームが通過する部分にのみ設けられている点である。

【００２１】上記のように、積層型光学素子の接着材層
が露出した部分が研磨により凹んでも、その部分をレー
ザビームが通過しなければ特に問題を生じない。すなわ
ち、そのような凹みが問題になるのはレーザビームが通
過する部分のみであり、第２実施例ではその部分にのみ
透明板７１及び７２を設けた。第２実施例では、積層型
光学素子の透明板７１及び７２が接着される以外の部
分、具体的には測定ビームが通過する部分は、平面度が
良好であることが要求されるので、透明板７１及び７２
を接着する前に積層型光学素子の表面を高精度に研磨す
る必要がある。

【００２２】図６は、本発明の第３実施例のマルチビー
ム・レーザ干渉計の干渉ユニットの部分の構成を示す図
である。第３実施例の干渉ユニットは、積層型光学素子
の接着材層が露出していない部分であってもレーザビー
ムが通過する部分には、透明板６３及び６４を接着した
点が第２実施例と異なる。第３実施例では、透明板６
３，６４，７１及び７２の表面の平面度が良好であれ
ば、積層型光学素子の透明板が接着される表面は、透明
板が接着されない場合に比べて平面度は低くても問題を
生じない。一般に小さな透明板を高精度の平面度で加工
することは容易であるが、積層型光学素子のような大き
な平面を高精度の平面度で加工することは難しい。従っ
て、第３実施例であれば、たとえ透明板を接着しても低
コストで製作できる。また、透明板の表面には反射防止
コーティングが施されるが、積層型光学素子の透明板が
接着される表面には反射防止コーティングを施す必要が
なく、この点からもコストが低減される。なお、第３実
施例の変形例として、積層型光学素子の入射ビーム４
１、干渉ビーム６１及び６２の通過する部分にそれぞれ
透明板を接着してもよい。

【００２３】積層型光学素子から出射される２本の測定
ビーム又は測定ビームと参照ビームは、相互に正確に平
行であることや、積層型光学素子の表面から正確に垂直
に出射されることが要求される場合がある。積層型光学
素子は、平行な透明板を積層して接着しており、その接
着面に偏光ビームスプリッタ面、ビームスプリッタ面及
び反射面などに相当する膜を形成しており、出射される
レーザビームは、相互に正確に平行であるはずである。
しかし、実際には接着材層の厚さが正確には一様でない
などの理由により、微小量ではあるが平行からずれる場
合がある。第２及び第３実施例では、各レーザビームの
経路にそれぞれ透明板が接着されるのでの、その傾きを
調整することにより積層型光学素子から出射されるレー
ザビームの方向を調整できる。

【００２４】図７は、透明板により積層型光学素子から
出射されるレーザビームの方向を調整する原理を説明す
る図である。図示のように、レーザビームが透明板７７
の外側の表面に内部から入射する場合、入射角をθ１、
出射角をθ２とすると、屈折の法則からｎＳｉｎθ１＝
Ｓｉｎθ２（ｎは透明板などの屈折率）の関係が成り立
つ。レーザビームの内部からの出射方向が積層型光学素
子の表面に対して垂直からθ３ずれている場合、透明板
７７を積層型光学素子の表面に対してθ２だけ傾けるこ
とにより、θ１＋θ３＝θ２を満たす場合が存在する。
この場合、レーザビームの透明板７７からの出射方向
は、積層型光学素子の表面に対して垂直になる。このよ
うに、透明板７７の傾きを調整することによりレーザビ
ームの出射方向を調整できる。

【００２５】図８は、本発明の第４実施例のマルチビー
ム・レーザ干渉計の干渉ユニットの部分の構成を示す図
である。第４実施例のマルチビーム・レーザ干渉計は、
積層型光学素子から平行な２つの測定ビームを出射して
同一の移動体に設けられた２つのコーナーキューブ８８
と９７との距離変化を検出し、移動体の傾き（ヨーイン
グ）を検出するもので、高精度の測定を行うためには２
つのコーナーキューブ８８と９７はできるだけ離れてい
ることが望ましく、２つの測定ビームの間隔も離れてい
ることが要求される。図示のように、積層型光学素子を
使用することにより、薄い積層型光学素子で干渉ユニッ
トを実現でき、積層型光学素子を使用する利点が大き
い。図８の干渉ユニットでは、偏光ビームスプリッタ８
４で分割された参照ビームは積層型光学素子の表面の接
着材層が露出する部分を通過するので、１／４波長板８
５を表面に接着している。同様に、偏光ビームスプリッ
タ９１で分割された参照ビームは積層型光学素子の表面
の接着材層が露出する部分を通過するので、１／４波長
板９３を表面に接着している。

【００２６】高精度のレーザ干渉計では、温度などによ
る媒体の屈折率の変化の影響を補正する必要がある。そ
の場合、干渉する２つのレーザビームについて積層型光
学素子などのガラス中の光路長と空気中の光路長につい
てそれぞれ補正するが、ガラス中の光路長が同じであれ
ば補正が容易で高精度に補正が行える。図示のように、
偏光ビームスプリッタ８４で分割された測定ビームと参
照ビームは積層型光学素子内の光路長は同じである。一
方、偏光ビームスプリッタ９１で分割された測定ビーム
と参照ビームは、そのままでは参照ビームの方が積層型
光学素子内の光路長が長くなるので、測定ビームの通過
する部分に透明板９５を接着して測定ビームと参照ビー
ムのガラス媒体内の光路長を同じにしている。

【００２７】以上、本発明の実施例を説明したが、各種
の変形例が可能である。例えば、実施例では測定ビーム
は２本の例を示したが、３本以上でもよく、多いほど積
層型光学素子を使用する利点が大きい。また、実施例で
はシングルパス型の干渉計の例を示したが、図１に示し
たようなマルチパス型にも適用できる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型で自由度の高いマルチビーム・レーザ干渉計が実現
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】特願２０００−３７０５２５号に開示された積
層型光学素子を有するレーザ干渉ユニットの例を示す図
である。

【図２】研磨により積層型光学素子を製作した場合の問
題点を説明する図である。

【図３】本発明の原理を説明する図である。

【図４】本発明の第１実施例のレーザ干渉計のレーザ干
渉ユニットの構成を示す図である。

【図５】本発明の第２実施例のレーザ干渉計のレーザ干
渉ユニットの構成を示す図である。

【図６】本発明の第３実施例のレーザ干渉計のレーザ干
渉ユニットの構成を示す図である。

【図７】接着する透明板によるレーザビームの方向調整
を説明する図である。

【図８】本発明の第４実施例のレーザ干渉計のレーザ干
渉ユニットの構成を示す図である。

【符号の説明】

４０…積層型光学素子 ４１…入射ビーム ４２…ビームスプリッタ ４３〜４７…反射面 ４８，４９…偏光ビームスプリッタ ５０、６３，６４，７１，７２，７７…透明板 ５３，５５、５７，５９…１／４波長板 ５４，５６、５８，６０…コーナーキューブ

フロントページの続き (72)発明者 水野 純ホジェリオ 神奈川県横浜市青葉区寺家町167番地 株 式会社川口光学産業内 Ｆターム(参考） 2F064 AA15 FF01 GG13 GG16 GG22 GG23 GG38 GG63 2H049 BA05 BA07 BB03 BB63 BC23

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のレーザビームと、 複数の平行透明板を積層して接着した積層板を、レーザ
   ビームの入出射面が積層面に対して斜めになるように加
   工し、任意の積層面の任意の部分に、偏光ビームスプリ
   ッタ面、ビームスプリッタ面又は反射面、又はそれらの
   組み合せを形成した積層型光学素子を有し、前記複数の
   レーザビームをそれぞれ測定ビームと参照ビームに分割
   し、対象物に取り付けられた測定用反射器で反射されて
   戻った前記測定ビームと、参照反射器で反射されて戻っ
   た前記参照ビームをそれぞれ合成し、複数の干渉ビーム
   を発生するレーザ干渉ユニットと、 前記複数の干渉ビームの各干渉縞の変化を検出し、前記
   測定ビームと前記参照ビームの光路差の変化をそれぞれ
   検出する検出器とを備え、複数の測定用反射器が取り付
   けられた部分の移動量を検出するマルチビーム・レーザ
   干渉計であって、 前記積層型光学素子は、前記レーザビームの入出射面に
   接着された透明板を備えることを特徴とするマルチビー
   ム・レーザ干渉計。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のマルチビーム・レーザ
   干渉計であって、 前記レーザビームの入出射面に接着される前記透明板
   は、前記積層板の接着部分があり且つ前記入出射面の前
   記レーザビームが通過する部分に設けられるマルチビー
   ム・レーザ干渉計。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のマルチビーム・
   レーザ干渉計であって、 少なくとも２つの前記レーザビームが、前記レーザビー
   ムの入出射面に接着された１枚の前記透明板を通過する
   マルチビーム・レーザ干渉計。
4. 【請求項４】 請求項１又は２に記載のマルチビーム・
   レーザ干渉計であって、 前記レーザビームの入出射面には、複数の前記透明板
   が、その面を通過する各レーザビーム毎に設けられてい
   るマルチビーム・レーザ干渉計。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のマルチビーム・レーザ
   干渉計であって、 前記レーザビームの入出射面に接着される前記透明板の
   厚さは、干渉する２つのレーザビームが通過する前記積
   層板と前記透明板中の距離の合計が等しくなるように設
   定されているマルチビーム・レーザ干渉計。
6. 【請求項６】 複数の平行透明板を積層して接着した積
   層板を、レーザビームの入出射面が積層面に対して斜め
   になるように加工し、任意の積層面の任意の部分に、偏
   光ビームスプリッタ面、ビームスプリッタ面又は反射
   面、又はそれらの組み合せを形成した積層型光学素子で
   あって、 前記レーザビームの入出射面に接着された透明板を備え
   ることを特徴とする積層型光学素子。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の積層型光学素子であっ
   て、 前記レーザビームの入出射面に接着される前記透明板
   は、前記積層板の接着部分があり且つ前記入出射面の前
   記レーザビームが通過する部分に設けられる積層型光学
   素子。
8. 【請求項８】 請求項６又は７に記載の積層型光学素子
   であって、 前記レーザビームの入出射面に接着される１枚の前記透
   明板は、少なくとも２つの前記レーザビームが通過する
   大きさである積層型光学素子。
9. 【請求項９】 請求項６又は７に記載の積層型光学素子
   であって、 前記レーザビームの入出射面には、複数の前記透明板
   が、その面を通過する各レーザビーム毎に設けられてい
   る積層型光学素子。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の積層型光学素子であ
    って、 前記レーザビームの入出射面に接着される前記透明板の
    厚さは、干渉する２つのレーザビームが通過する前記積
    層板と前記透明板中の距離の合計が等しくなるように設
    定されている積層型光学素子。