JP2002321967A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001126307A JP2002321967A (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 低熱膨張セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001126307A JP2002321967A (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 低熱膨張セラミックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002321967A JP2002321967A (ja) | 2002-11-08 |
| JP2002321967A5 true JP2002321967A5 (OSRAM) | 2008-06-19 |
Family
ID=18975367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001126307A Pending JP2002321967A (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 低熱膨張セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002321967A (OSRAM) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4489344B2 (ja) * | 2002-11-27 | 2010-06-23 | 太平洋セメント株式会社 | ステージ部材 |
| JP4753805B2 (ja) * | 2006-06-28 | 2011-08-24 | 京セラ株式会社 | 給油用ローラ及びこれを用いた紡糸引取り装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000247732A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-12 | Kyocera Corp | 低抵抗セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材 |
| JP3469513B2 (ja) * | 1999-08-24 | 2003-11-25 | 太平洋セメント株式会社 | 露光装置およびそれに用いられる支持部材 |
| JP4719965B2 (ja) * | 1999-10-08 | 2011-07-06 | 東レ株式会社 | セラミックス |
-
2001
- 2001-04-24 JP JP2001126307A patent/JP2002321967A/ja active Pending
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