JP2002312912A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置及び評価方法 - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置及び評価方法Info
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- JP2002312912A JP2002312912A JP2001119678A JP2001119678A JP2002312912A JP 2002312912 A JP2002312912 A JP 2002312912A JP 2001119678 A JP2001119678 A JP 2001119678A JP 2001119678 A JP2001119678 A JP 2001119678A JP 2002312912 A JP2002312912 A JP 2002312912A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ヘッド表面に傷や汚染を発生させること
なく、磁気ヘッドを加熱及び／又は冷却して磁気ヘッド
の電磁変換特性の温度評価を行うこと。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッド１
に対して外部から磁界３を印加して磁気ヘッドの電磁変
換特性を評価する評価装置において、磁気ヘッド１に非
接触状態で磁気ヘッドを加熱及び／又は冷却して、電磁
変換特性の温度評価を行うこと。また、磁気ヘッドを高
温及び／又は低温に温度制御した恒温槽５内部に配し
て、電磁変換特性の温度評価を行うこと。また、磁気ヘ
ッドにレーザー光を照射して電磁変換特性の温度評価を
行うこと。
なく、磁気ヘッドを加熱及び／又は冷却して磁気ヘッド
の電磁変換特性の温度評価を行うこと。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッド１
に対して外部から磁界３を印加して磁気ヘッドの電磁変
換特性を評価する評価装置において、磁気ヘッド１に非
接触状態で磁気ヘッドを加熱及び／又は冷却して、電磁
変換特性の温度評価を行うこと。また、磁気ヘッドを高
温及び／又は低温に温度制御した恒温槽５内部に配し
て、電磁変換特性の温度評価を行うこと。また、磁気ヘ
ッドにレーザー光を照射して電磁変換特性の温度評価を
行うこと。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気抵抗効果素子を
用いた磁気ヘッドに関し、磁気抵抗効果素子の電磁変換
特性の評価装置及び評価方法に関する。
用いた磁気ヘッドに関し、磁気抵抗効果素子の電磁変換
特性の評価装置及び評価方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気抵抗効果素子の電磁変換特性の評価
方法には、特開平１１−３３９２３１号公報に示される
ように、磁気抵抗効果素子へセンス電流を流し所定の外
部磁界を印加したときに、磁気抵抗効果素子の両端に発
生する電圧変化を測定する方法が一般的に知られてい
る。
方法には、特開平１１−３３９２３１号公報に示される
ように、磁気抵抗効果素子へセンス電流を流し所定の外
部磁界を印加したときに、磁気抵抗効果素子の両端に発
生する電圧変化を測定する方法が一般的に知られてい
る。
【０００３】この方法は、磁気ディスクドライブ等へ搭
載される磁気ヘッドの電磁変換特性を評価する上で、記
録媒体上に磁気ヘッドを浮上させる必要のないことか
ら、磁気抵抗効果素子を用いた全ての生産ラインに適用
できる優れた評価方法である。この原理を用いて、外部
から印加する磁界の大きさに対応した再生電圧の大きさ
を測ることにより、磁気ヘッドの電磁変換特性の良否判
定を行うことが可能である。
載される磁気ヘッドの電磁変換特性を評価する上で、記
録媒体上に磁気ヘッドを浮上させる必要のないことか
ら、磁気抵抗効果素子を用いた全ての生産ラインに適用
できる優れた評価方法である。この原理を用いて、外部
から印加する磁界の大きさに対応した再生電圧の大きさ
を測ることにより、磁気ヘッドの電磁変換特性の良否判
定を行うことが可能である。
【０００４】近年、磁気記録再生装置を搭載した携帯用
端末機器等の需要が急激に増加しているため、使用環境
は室内だけでなくさまざまな室外環境で使用されること
が容易に予想される。このような使用温度環境を考えれ
ば、製品として供給する磁気ヘッドの評価は、その開発
段階において低温側から高温側まで幅広い温度環境を考
慮した試験評価をする必要がある。磁気抵抗効果素子の
温度特性の評価方法としては、従来、特開平１１−３３
９２３１号公報に示されるような加熱評価法、及び特開
平１１−３３９２３２号公報に示されるようなペルチェ
素子を用いた冷却評価法等が知られている。これらの従
来技術は、磁気抵抗効果素子に加熱、冷却素子を直接接
触させることにより高温、低温評価を行うことを特徴と
しており、磁気抵抗効果素子の温度を変化させることが
できる為、温度の変化による特性を評価するには効果的
な手法である。
端末機器等の需要が急激に増加しているため、使用環境
は室内だけでなくさまざまな室外環境で使用されること
が容易に予想される。このような使用温度環境を考えれ
ば、製品として供給する磁気ヘッドの評価は、その開発
段階において低温側から高温側まで幅広い温度環境を考
慮した試験評価をする必要がある。磁気抵抗効果素子の
温度特性の評価方法としては、従来、特開平１１−３３
９２３１号公報に示されるような加熱評価法、及び特開
平１１−３３９２３２号公報に示されるようなペルチェ
素子を用いた冷却評価法等が知られている。これらの従
来技術は、磁気抵抗効果素子に加熱、冷却素子を直接接
触させることにより高温、低温評価を行うことを特徴と
しており、磁気抵抗効果素子の温度を変化させることが
できる為、温度の変化による特性を評価するには効果的
な手法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置へ搭
載される磁気ヘッドは、記録媒体であるディスク上に数
１０ｎｍと極低浮上させることが重要であり、その浮上
量は常に安定していることが望ましい。磁気ヘッドはこ
のような極低浮上を実現するために機械加工によりその
表面を非常に精密に平坦研磨しており、その後の工程で
は磁気ヘッド表面に異物等の汚染や傷の発生を防止する
必要がある。表面の汚染や傷はヘッドとディスク間の浮
上安定性能を大きく低下させる。
載される磁気ヘッドは、記録媒体であるディスク上に数
１０ｎｍと極低浮上させることが重要であり、その浮上
量は常に安定していることが望ましい。磁気ヘッドはこ
のような極低浮上を実現するために機械加工によりその
表面を非常に精密に平坦研磨しており、その後の工程で
は磁気ヘッド表面に異物等の汚染や傷の発生を防止する
必要がある。表面の汚染や傷はヘッドとディスク間の浮
上安定性能を大きく低下させる。
【０００６】磁気ヘッドの電磁変換特性の環境温度評価
を行う場合、上記理由によりヘッド表面に傷や汚れを発
生させない方法を用いるべきである。しかし従来の加
熱、冷却方法では磁気ヘッドへの機械的な接触を伴うた
め、ヘッド表面の汚染や傷の発生は避け難い。電磁変換
特性の温度評価を行う目的は達成できるが、汚れ、傷に
より磁気ヘッドとしての性能を低下させてしまうので、
機械的接触を回避した手法が必要である。
を行う場合、上記理由によりヘッド表面に傷や汚れを発
生させない方法を用いるべきである。しかし従来の加
熱、冷却方法では磁気ヘッドへの機械的な接触を伴うた
め、ヘッド表面の汚染や傷の発生は避け難い。電磁変換
特性の温度評価を行う目的は達成できるが、汚れ、傷に
より磁気ヘッドとしての性能を低下させてしまうので、
機械的接触を回避した手法が必要である。
【０００７】本発明の目的は、磁気ヘッド表面に傷や汚
染を発生させることなく、磁気ヘッドを加熱及び／又は
冷却して磁気ヘッドの電磁変換特性の温度評価を行うこ
とにある。
染を発生させることなく、磁気ヘッドを加熱及び／又は
冷却して磁気ヘッドの電磁変換特性の温度評価を行うこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は主として次のような構成を採用する。
に、本発明は主として次のような構成を採用する。
【０００９】磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに対
して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電磁変換
特性を評価する評価装置において、前記磁気ヘッドに非
接触状態で前記磁気ヘッドを加熱及び／又は冷却して、
前記電磁変換特性の温度評価を行う磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの評価装置。
して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電磁変換
特性を評価する評価装置において、前記磁気ヘッドに非
接触状態で前記磁気ヘッドを加熱及び／又は冷却して、
前記電磁変換特性の温度評価を行う磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの評価装置。
【００１０】また、磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッ
ドに対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電
磁変換特性を評価する評価装置において、前記磁気ヘッ
ドを高温及び／又は低温に温度制御した恒温槽内部に配
して、前記電磁変換特性の温度評価を行う磁気抵抗効果
型磁気ヘッドの評価装置。
ドに対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電
磁変換特性を評価する評価装置において、前記磁気ヘッ
ドを高温及び／又は低温に温度制御した恒温槽内部に配
して、前記電磁変換特性の温度評価を行う磁気抵抗効果
型磁気ヘッドの評価装置。
【００１１】また、磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッ
ドに対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電
磁変換特性を評価する評価装置において、前記磁気ヘッ
ドにレーザー光を照射して、前記電磁変換特性の温度評
価を行う磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置。
ドに対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電
磁変換特性を評価する評価装置において、前記磁気ヘッ
ドにレーザー光を照射して、前記電磁変換特性の温度評
価を行う磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態に係る磁気抵抗
効果型磁気ヘッドの評価装置について図１及び図２を用
いて以下説明する。図１は磁気抵抗効果型磁気ヘッドを
恒温槽で加熱及び冷却して評価する装置及び方法を示
し、図２は磁気抵抗効果型磁気ヘッドをレーザー光で加
熱して評価する装置及び方法を示す。
効果型磁気ヘッドの評価装置について図１及び図２を用
いて以下説明する。図１は磁気抵抗効果型磁気ヘッドを
恒温槽で加熱及び冷却して評価する装置及び方法を示
し、図２は磁気抵抗効果型磁気ヘッドをレーザー光で加
熱して評価する装置及び方法を示す。
【００１３】図１において、磁気抵抗効果型磁気ヘッド
１へ所定の電流２を通電し、外部から永久磁石または電
磁石等の磁界印加手段により所定の磁界３を印加したと
き、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの両端電圧の変化量４を
測定することで、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの電磁変換
特性を評価する。
１へ所定の電流２を通電し、外部から永久磁石または電
磁石等の磁界印加手段により所定の磁界３を印加したと
き、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの両端電圧の変化量４を
測定することで、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの電磁変換
特性を評価する。
【００１４】磁気抵抗効果型磁気ヘッドの前記評価を室
温に対して高温又は低温の温度制御手段を備えた恒温槽
５内部にて行うことにより、磁気ヘッドへの機械的接触
を伴わずに磁気抵抗効果素子の高温，低温評価を実現す
る。また、恒温槽５にて冷却を行う場合、恒温槽内に結
露を生じ電磁変換特性評価機器の故障や、磁気ヘッドの
金属膜の腐食等を引き起こす恐れがあるため、湿度も同
時に管理することも有効であり、この場合、恒温恒湿槽
を用いても良いし、恒温槽で低湿度の空気を用いても良
い。
温に対して高温又は低温の温度制御手段を備えた恒温槽
５内部にて行うことにより、磁気ヘッドへの機械的接触
を伴わずに磁気抵抗効果素子の高温，低温評価を実現す
る。また、恒温槽５にて冷却を行う場合、恒温槽内に結
露を生じ電磁変換特性評価機器の故障や、磁気ヘッドの
金属膜の腐食等を引き起こす恐れがあるため、湿度も同
時に管理することも有効であり、この場合、恒温恒湿槽
を用いても良いし、恒温槽で低湿度の空気を用いても良
い。
【００１５】図２は、磁気抵抗効効果型磁気ヘッドの加
熱手段としてレーザー光を用いる例である。磁気ヘッド
へレーザー光を照射し、照射部分を赤外線モニター等の
温度測定手段を用いて温度管理を行い、所定の温度とな
るようにレーザー発振源への電力供給を調節する。レー
ザー光を用いる場合には室温から高温までの温度でヘッ
ド評価を行う。
熱手段としてレーザー光を用いる例である。磁気ヘッド
へレーザー光を照射し、照射部分を赤外線モニター等の
温度測定手段を用いて温度管理を行い、所定の温度とな
るようにレーザー発振源への電力供給を調節する。レー
ザー光を用いる場合には室温から高温までの温度でヘッ
ド評価を行う。
【００１６】図１と図２に示す方法を用いた設備での温
度管理は、自動制御にて常時行う機能を有しても良く、
温度を段階的に変化させることで低温側から高温側まで
の磁気ヘッドの電磁変換特性を連続評価させることが可
能である。この際、磁気抵抗効果型磁気ヘッドを使用す
る具体的な環境に対応して、室温に対する低温側のみ又
は高温側のみ、又は低温から高温での評価としても良
い。
度管理は、自動制御にて常時行う機能を有しても良く、
温度を段階的に変化させることで低温側から高温側まで
の磁気ヘッドの電磁変換特性を連続評価させることが可
能である。この際、磁気抵抗効果型磁気ヘッドを使用す
る具体的な環境に対応して、室温に対する低温側のみ又
は高温側のみ、又は低温から高温での評価としても良
い。
【００１７】以上のように、本実施形態によれば、磁気
ヘッド表面の汚染、傷の発生は、環境温度の制御のため
の加熱及び／又は冷却を磁気ヘッドに対し非接触にて行
うものである。
ヘッド表面の汚染、傷の発生は、環境温度の制御のため
の加熱及び／又は冷却を磁気ヘッドに対し非接触にて行
うものである。
【００１８】また、ウエハ、スライダー、ヘッドアセン
ブリ、ヘッドスタックアセンブリ、サーボトラックライ
タ、ディスクドライブといった磁気抵抗効果素子を有し
た全ての部品又は製造品について、それぞれの製造工程
において環境温度評価を実施することができる。
ブリ、ヘッドスタックアセンブリ、サーボトラックライ
タ、ディスクドライブといった磁気抵抗効果素子を有し
た全ての部品又は製造品について、それぞれの製造工程
において環境温度評価を実施することができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの加熱、冷却を磁気ヘッドに対し非接触で行うこと
により、磁気ヘッド表面に傷を発生させることなく、ま
た異物等による汚染を発生させることなく、磁気抵抗効
果型磁気ヘッドの電磁変換特性の環境温度特性を評価す
ることができる。
ッドの加熱、冷却を磁気ヘッドに対し非接触で行うこと
により、磁気ヘッド表面に傷を発生させることなく、ま
た異物等による汚染を発生させることなく、磁気抵抗効
果型磁気ヘッドの電磁変換特性の環境温度特性を評価す
ることができる。
【図１】磁気抵抗効果型磁気ヘッドを恒温槽で加熱及び
冷却して評価する装置及び方法を示す図である。
冷却して評価する装置及び方法を示す図である。
【図２】磁気抵抗効果型磁気ヘッドをレーザー光で加熱
して評価する装置及び方法を示す図である。
して評価する装置及び方法を示す図である。
１ 磁気抵抗効果型磁気ヘッド ２ 電流源 ３ 磁界印加機構 ４ 電圧計 ５ 恒温槽 ６ レーザー光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G017 AA01 AB05 AD55 5D034 BA02 BB14
Claims (5)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに
対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電磁変
換特性を評価する評価装置において、 前記磁気ヘッドに非接触状態で前記磁気ヘッドを加熱及
び／又は冷却して、前記電磁変換特性の温度評価を行う
ことを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装
置。 - 【請求項２】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに
対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電磁変
換特性を評価する評価装置において、 前記磁気ヘッドを高温及び／又は低温に温度制御した恒
温槽内部に配して、前記電磁変換特性の温度評価を行う
ことを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装
置。 - 【請求項３】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに
対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電磁変
換特性を評価する評価装置において、 前記磁気ヘッドにレーザー光を照射して、前記電磁変換
特性の温度評価を行うことを特徴とする磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの評価装置。 - 【請求項４】 請求項１又は２に記載の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの評価装置において、 湿度制御を行うことを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの評価装置。 - 【請求項５】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに
対して外部から磁界を印加して前記磁気ヘッドの電磁変
換特性を評価する評価方法において、 前記磁気ヘッドに非接触状態で前記磁気ヘッドに対して
室温の低温側及び／又は高温側に温度調整して、前記電
磁変換特性の温度評価を行うことを特徴とする磁気抵抗
効果型磁気ヘッドの評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119678A JP2002312912A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置及び評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119678A JP2002312912A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置及び評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002312912A true JP2002312912A (ja) | 2002-10-25 |
Family
ID=18969857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001119678A Pending JP2002312912A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの評価装置及び評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002312912A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007304027A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Shimadzu Corp | 磁気センサの温度特性測定用ケース及び磁気センサの温度特性測定方法 |
| US7780344B2 (en) | 2007-09-25 | 2010-08-24 | Tdk Corporation | Method for evaluating the deterioration of magneto-resistive effect device |
| US8552328B2 (en) | 2007-12-28 | 2013-10-08 | Tdk Corporation | Method of repairing the deterioration of magneto-resistive effect device |
| KR20190015094A (ko) * | 2017-08-04 | 2019-02-13 | 가부시키가이샤 아드반테스트 | 자기 센서 시험 장치 |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119678A patent/JP2002312912A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007304027A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Shimadzu Corp | 磁気センサの温度特性測定用ケース及び磁気センサの温度特性測定方法 |
| US7780344B2 (en) | 2007-09-25 | 2010-08-24 | Tdk Corporation | Method for evaluating the deterioration of magneto-resistive effect device |
| US8552328B2 (en) | 2007-12-28 | 2013-10-08 | Tdk Corporation | Method of repairing the deterioration of magneto-resistive effect device |
| KR20190015094A (ko) * | 2017-08-04 | 2019-02-13 | 가부시키가이샤 아드반테스트 | 자기 센서 시험 장치 |
| KR102406272B1 (ko) * | 2017-08-04 | 2022-06-10 | 주식회사 아도반테스토 | 자기 센서 시험 장치 |
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