JP2002307254A - リニアガイド装置 - Google Patents

リニアガイド装置

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JP2002307254A
JP2002307254A JP2001110739A JP2001110739A JP2002307254A JP 2002307254 A JP2002307254 A JP 2002307254A JP 2001110739 A JP2001110739 A JP 2001110739A JP 2001110739 A JP2001110739 A JP 2001110739A JP 2002307254 A JP2002307254 A JP 2002307254A
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Kazuo Watanabe
一雄 渡辺
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Okamoto Machine Tool Works Ltd
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
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    • F16C29/0633Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
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    • F16C29/0638Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
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    • F16C32/0423Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 転動体転動溝を有する案内レ−ル
と、これに遊嵌され転動体の転動を介して軸方向に自在
に相対移動するスライダよりなるリニアガイド装置の走
行寿命を長くする。 【解決手段】 転動体転動溝14を有する案内レ
−ル3と、これに遊嵌され転動体の転動を介して軸方向
に自在に相対移動するスライダ4よりなるリニアガイド
装置100において、案内レ−ル3表面とスライダ4底
面に永久磁石を相対向する面の永久磁石の極が同一極
(N極−N極またはS極−S極)となるように設け、両
永久磁石の反発力により案内レ−ルに負荷する荷重を減
らすことによりリニアガイド装置寿命を延ばす。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、研削装置、切削装
置、ダイサ−、マウンタ、マニシングセンタ−等の工作
機械や半導体製造装置において、ツ−ルやワ−クをテ−
ブルに載せて搬送する際にテ−ブルを直線移動させるに
用いる、転動体転動溝を有する案内レ−ルと、これに遊
嵌され転動体の転動を介して軸方向に自在に相対移動す
るスライダよりなるリニアガイド装置に関する。本発明
のリニアガイド装置は、スライダの磨耗を少なくし、リ
ニアガイド装置の寿命を長くする利点を有する。
【0002】
【従来の技術】転動体転動溝を有する案内レ−ルと、こ
れに遊嵌され転動体の転動を介して軸方向に自在に相対
移動するスライダよりなるリニアガイド装置は知られ
(特許第2729318号、特許第2607993号、
特公平6−54129号、実開昭59−103928
号)、また、実用化されている。リニアガイド装置は、
工作機械や半導体製造装置において、ツ−ルやワ−クを
テ−ブルに載せて搬送する際にテ−ブルを直線移動させ
るに用いられている(特開平1−103850号、同6
−270038号)。
【0003】具体的には、図3に示す切削装置1は、一
対の基台テ−ブル2の上面に案内レ−ル3を設け、この
案内レ−ル上面をX軸方向に相対移動する4個のスライ
ダ4が嵌装され、これらのスライダ上面に設けられたネ
ジ孔を利用してトップテ−ブル5を固定し、トップテ−
ブル5上に電磁チャック6を備え、この電磁チャック上
にワ−ク7を載置し、ワ−ク上方よりマニシングセンタ
主軸8に取り付けられたツ−ル(ミル)9を回転させ、
ワ−クを加工する。トップテ−ブル5の下面には図示さ
れていない螺合体がトップテ−ブル5に固定して設けら
れ、かつ、トップテ−ブル5の下面と前述した基台テ−
ブル2,2とで形成される空間にボ−ルネジ10がサポ
−トユニット支持体11とサポ−トユニット固定体12
間に設けられ、アクチエ−タ−13によりボ−ルネジ1
0が回転されるとボ−ルネジ10に螺合している螺合体
に回転力が伝達され、螺合体に固定されているトップテ
−ブル5がX軸方向に移動する。
【0004】トップテ−ブル5を支持するスライダ4,
4,4,4は、案内レ−ル3,3上を滑走する。
【0005】トップテ−ブル5の移動仕様は、ボ−ルネ
ジ10にかかわらず、公知のようにベルト仕様でも、シ
リンダ仕様でもリニアモ−タ仕様であってもよい。
【0006】前述の特許公報に開示されるように、およ
び図4、図5に示すように案内レ−ル3はボ−ル状また
はころ状の転動体13が転動する無限循環路14を形成
する転動溝を有する。スライダ4底部は、この案内レ−
ル3に遊嵌され、転動体13の転動を介してX軸方向に
自在に相対移動する。この転動体転動溝を有する案内レ
−ル3と、これに遊嵌され転動体13の転動を介して軸
方向に自在に相対移動するスライダ4とからリニアガイ
ド装置100は構成される。図5において、4aはブロ
ック、4bはネジ孔、4cはエンドプレ−ト、4dはエ
ンドシ−ル、4eはインナ−シ−ル、4fはサイドシ−
ル、4gはオイルバルブおよび4hはグリ−スニップル
である。
【0007】リニアガイド装置100のスライダ4が荷
重を受けて案内レ−ル4上を直線往復移動する場合、た
えず繰り返し応力が転動体や転送面に作用するので、材
料疲労によるフレ−キングと呼ばれるうろこ状の損傷が
現れる。この最初のフレ−キングの発生するまでの総走
行距離をリニアガイド装置の寿命と業界では呼ぶ。ま
た、一群の同じリニアガイド装置を、同じ条件で個々に
走行させたとき、そのうちの90%がフレ−キングを起
こすことなく到達できる総走行距離を定格寿命(L)と
いう。
【0008】この定格寿命(L)kmは、基本動定格荷
重(C)ニュ−トンとリニアガイド装置に加わる荷重
(P)ニュ−トンから次式で求められる。 転動体がボ−ルの場合 L=(C/P)・50 転動体がコロの場合 L=(C/P)10/3・50
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、このリニ
アガイド装置に加わる荷重(P)を減らすことができれ
ば定格寿命(L)を延ばすことができることに着目し、
スライダ4およびトップテ−ブル5の荷重が案内レ−ル
3に負荷する値を見掛け上減らすことによりリニアガイ
ド装置の寿命を長くすることに到達した。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1は、転
動体転動溝を有する案内レ−ルと、これに遊嵌され転動
体の転動を介して軸方向に自在に相対移動するスライダ
よりなるリニアガイド装置において、前記案内レ−ル表
面とスライダ底面に永久磁石を相対向する面の永久磁石
の極が同一極となるように設けられていることを特徴と
する、リニアガイド装置を提供するものである。
【0011】案内レ−ル表面に設けた永久磁石とスライ
ダ底面に設けた永久磁石の相対向する面の永久磁石の極
を同一極、例えばN極−N極、またはS極−S極となる
ように設けることにより、両永久磁石間に反発力が発生
し、案内レ−ル3に負荷するスライダ3、トップテ−ブ
ル5、チャック6、ワ−ク7等の荷重が減少されること
によりリニアガイド装置100の寿命を延ばすことがで
きる。
【0012】本発明の請求項2は、断面凹状の側壁を有
する金属製のベッドに設けられた一対の案内レ−ル上を
一対のスライダを介して線形移動可能に支持されたトッ
プテ−ブルの送り装置であって、前記トップテ−ブルの
下面中央部には垂下した突起部が固定して設けられ、こ
の突起部は前記ベッドの凹部に垂下し、前記ベッドの凹
部側壁と平行な前記突起部の両側壁面には一次側部材が
設けられ、ベッドの凹部内側壁面の両面には二次側部材
が設けられ、この2組の一対の一次側部材と二次側部材
とでリニアモ−タを構成し、該リニアモ−タの稼動でテ
−ブルは線形移動可能であり、前記トップテ−ブルの下
面に垂下して設けられた突起部の底面には永久磁石が設
けられており、かつ、この永久磁石に相対向する前記金
属製のベッド表面にも永久磁石が設けられ、これらの相
対向する面の磁極が同一てあることを特徴とする、工作
機械のテ−ブル送り装置を提供するものである。
【0013】トップテ−ブル下面に設けられた突起部の
底面に設けた永久磁石と、ベッド表面に設けた永久磁石
案内レ−ル表面に設けた永久磁石とスライダ底面に設け
た永久磁石の間に発生する反発力によりトップテ−ブル
のスライダの案内レ−ルに掛かる負荷荷重が減少される
ことによりテ−ブル送り装置の寿命を延ばすことができ
る。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明をさらに
詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示す、リニ
アガイド装置の一部分を欠いた斜視図、図2はリニアモ
−タ仕様の工作機械のテ−ブル送り装置の断面図であ
る。
【0015】
【実施例】図1において、100はリニアガイド装置、
3は案内レ−ル、4はスライダ、4aはブロック、4b
はネジ孔、4cはエンドプレ−ト、4dはエンドシ−
ル、14は転動体転動溝、15は案内レ−ル表面に埋設
された永久磁石、16はスライダ底面に埋設された永久
磁石である。前記スライダ4は案内レ−ル3上面に遊嵌
され、転動体13の転動を介して軸方向に自在に相対移
動する。前記案内レ−ル3表面とスライダ4底面に設け
られた永久磁石15,16は、相対向する面の永久磁石
の極が同一極、N極−N極、またはS極−S極となるよ
うに設けられている。
【0016】永久磁石としては、MK磁石、NKS磁
石、キュニフェ、バイカロイ等が上げられる。
【0017】図2に示すリニアモ−タ仕様のテ−ブル送
り装置は、案内レ−ル3のある固定フレ−ム20を案内
レ−ルと見立て、トップテ−ブル5を支持するスライダ
4のある可動体をスライダと見立ててリニアガイド装置
として説明する。
【0018】このリニアガイド装置を示す図2におい
て、トップテ−ブル5はスライダ4を介してV字型案内
レ−ル3上をリニアモ−タにより往復線形移動可能な構
造となっている。なお、図において、左側のV字型案内
レ−ルおよびスライダは板64により隠蔽されている。
案内レ−ル3,3は、V−Vの組み合わせ、V−平の組
み合わせ、平−平の組み合わせのいずれであってもよ
い。案内レ−ル3,3は、断面凹状の側壁を有するベッ
ドを構成するフレ−ム20の側壁20a,20bの上面
に設けられる。
【0019】前記トップテ−ブル5の下面中央部には前
記ベッド20の側壁凹部に垂下した突起部23がボルト
23aによりトップテ−ブル5に固定して設けられる。
リニアモ−タは磁石24,24とコイル27,27とか
らなり、ベッドの凹部側壁と平行な前記突起部23の両
側壁面に磁石24,24が設けられ、フレ−ムの凹部内
側壁面の両面にはコイル27,27が設けられる。この
2組の一対の磁石とコイルでリニアモ−タを構成し、該
リニアモ−タの稼動でトップテ−ブル5は案内レ−ル
3,3上を線形移動可能となっている。
【0020】前記断面凹状のベッド側壁20a,20b
には冷却媒体通路を有する取付板27a,27aを介し
てコイル27,27が取り付けられており、冷却媒体通
路には管27b,27bが接続され、冷却媒体通路に冷
却媒体を図示されていないポンプにより供給する。冷却
媒体はコイル27,27より発生する熱を冷却する。板
64には、ダンパ−63が設けられ、コイル27への電
線ケ−ブルを収納している。65はリミットスイッチで
ある。
【0021】前記断面凹状の側壁20a,20bの案内
レ−ル3,3近傍には、案内レ−ル冷却媒体通路が設け
られ、管62により側壁20a,20b面に冷却媒体を
供給する。これらコイル27,27に対面してベッドの
凹部側壁と平行な前記突起部23の両側壁面に磁石2
4,24がわずかな隙間をコイル間に設けて固定され
る。磁石は、永久磁石であっても、コイルを使用した電
磁石であってもよい。
【0022】この図2に示すリニアモ−タ仕様のテ−ブ
ル送り装置において、案内レ−ル3に負荷する荷重を減
らすため、前記トップテ−ブル5の下面中央部にフレ−
ム20の側壁凹部内に垂下した突起部23底面に永久磁
石16を、この永久磁石16に相対向し、この永久磁石
の往復移動距離に相当する長さの永久磁石15をベッド
20の中央部19aに設ける。
【0023】永久磁石15,16は、相対向する面の永
久磁石の極が同一極、N極−N極、またはS極−S極と
なるように設ける。これら永久磁石15,16表面間の
距離は、0.1〜2mm、好ましくは、0.3〜1.0
mmである。
【0024】テ−ブル5の下面に設けられた突起部底面
に設けられた永久磁石はスペ−サ15を介してテ−ブル
の下面中央部には垂下した断面凸状の突起部底面に設け
られ、この突起部の凸状部の上面にまでベッド20の側
壁面より水平方向に延びた停止板19b,19bにより
テ−ブルの上方への浮き上がりが制限される構造となっ
ている。
【0025】
【発明の効果】本発明の案内レ−ルとスライダよりなる
リニアガイド装置は、案内レ−ル表面とスライダ底面に
永久磁石を相対向する面の永久磁石の極が同一極となる
ように設けられているので、両永久磁石の反発力により
案内レ−ルに負荷する荷重が経り、リニアガイド装置の
寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のリニアガイド装置の一部を切り欠い
た斜視図である。
【図2】 別の態様を示すリニアモ−タ仕様のテ−ブル
送り装置の断面図である。
【図3】 リニアガイド装置を用いた切削装置の一部を
切り欠いた斜視図である(公知)。
【図4】 リニアガイド装置の一部を切り欠いた斜視図
である(公知)。
【図5】 リニアガイド装置の断面図である(公知)。
【符号の説明】
1 切削装置 2 基台テ−ブル 3 案内レ−ル 4 スライダ 5 トップテ−ブル 13 転動体 14 転動体転動溝 15 永久磁石 16 永久磁石 20 ベッド 23 突起部 100 リニアガイド装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 転動体転動溝を有する案内レ−ルと、こ
    れに遊嵌され転動体の転動を介して軸方向に自在に相対
    移動するスライダよりなるリニアガイド装置において、 前記案内レ−ル表面とスライダ底面に永久磁石を相対向
    する面の永久磁石の極が同一極となるように設けられて
    いることを特徴とする、リニアガイド装置。
  2. 【請求項2】 断面凹状の側壁を有する金属製のベッド
    に設けられた一対の案内レ−ル上を一対のスライダを介
    して線形移動可能に支持されたトップテ−ブルの送り装
    置であって、 前記トップテ−ブルの下面中央部には垂下した突起部が
    固定して設けられ、この突起部は前記ベッドの凹部に垂
    下し、前記ベッドの凹部側壁と平行な前記突起部の両側
    壁面には一次側部材が設けられ、ベッドの凹部内側壁面
    の両面には二次側部材が設けられ、この2組の一対の一
    次側部材と二次側部材とでリニアモ−タを構成し、該リ
    ニアモ−タの稼動でテ−ブルは線形移動可能であり、 前記トップテ−ブルの下面に垂下して設けられた突起部
    の底面には永久磁石が設けられており、かつ、この永久
    磁石に相対向する前記金属製のベッド表面にも永久磁石
    が設けられ、これらの相対向する面の磁極が同一てある
    ことを特徴とする、工作機械のテ−ブル送り装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005077597A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 Horkos Corporation 工作機械の直動案内装置
DE102006053041A1 (de) * 2006-11-10 2008-05-15 Schaeffler Kg Lagerungsanordnung, insbesondere für eine Werkzeugmaschine
CN103950021A (zh) * 2014-04-30 2014-07-30 肖叶 一种微调滑块式操作台
EP2908190A3 (fr) * 2014-02-17 2015-11-04 The Swatch Group Research and Development Ltd. Résonateur combiné à frottement minimal

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005077597A1 (ja) * 2004-02-18 2005-08-25 Horkos Corporation 工作機械の直動案内装置
DE102006053041A1 (de) * 2006-11-10 2008-05-15 Schaeffler Kg Lagerungsanordnung, insbesondere für eine Werkzeugmaschine
WO2008055917A3 (de) * 2006-11-10 2009-01-22 Schaeffler Kg Lagerungsanordnung, insbesondere für eine werkzeugmaschine
EP2908190A3 (fr) * 2014-02-17 2015-11-04 The Swatch Group Research and Development Ltd. Résonateur combiné à frottement minimal
CN103950021A (zh) * 2014-04-30 2014-07-30 肖叶 一种微调滑块式操作台

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