JP2002287688A - Display device - Google Patents

Display device

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JP2002287688A
JP2002287688A JP2001085260A JP2001085260A JP2002287688A JP 2002287688 A JP2002287688 A JP 2002287688A JP 2001085260 A JP2001085260 A JP 2001085260A JP 2001085260 A JP2001085260 A JP 2001085260A JP 2002287688 A JP2002287688 A JP 2002287688A
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Japan
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display
layer
display panel
film
organic
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Application number
JP2001085260A
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Japanese (ja)
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Tsutomu Ogawa
努 小川
Haruo Hagiwara
治夫 萩原
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make the adjustment of luminance possible during assembling a panel body. SOLUTION: The display device is equipped with a display panel 2, a display panel (organic EL display) driving driver 7 to drive the display panel 2, and a nonvolatile memory (second ROM 8) in which the data for adjusting luminance of the display panel 2 is stored. The organic EL display driving driver 7 adjusts the luminance of the display panel 2 based on the data for adjusting the luminance.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置に関し、
更に言えば、携帯電話等に用いられる表示装置における
輝度調整機構に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device,
More specifically, the present invention relates to a brightness adjustment mechanism in a display device used for a mobile phone or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】ここで、上記表示装置には、LCDディ
スプレイ、LEDディスプレイ、有機EL(エレクトロ
・ルミネッセンス)ディスプレイ、無機ELディスプレ
イ、PDP(プラズマ・ディスプレイ)、FED(フィ
ールド・エミッション・ディスプレイ)等の各種フラッ
ト・パネル・ディスプレイがある。
2. Description of the Related Art Here, the above display devices include LCD displays, LED displays, organic EL (electroluminescence) displays, inorganic EL displays, PDPs (plasma displays), FEDs (field emission displays), and the like. There are various flat panel displays.

【0003】以下、一例として携帯電話向け等で用途の
拡大が期待されている有機ELディスプレイについて説
明する。尚、EL素子は自発光であるため液晶表示装置
で必要なバックライトを必要とせず、視野角にも制限が
ない等の多くの利点を有していることから、次世代の表
示装置への応用が期待されている。特に、有機EL素子
は高輝度が可能で、高効率、高応答特性、並びに多色化
の点で無機EL素子より優れていることが知られてい
る。
[0003] As an example, an organic EL display, which is expected to expand its use for mobile phones and the like, will be described below. Since the EL element is self-luminous, it does not require a backlight necessary for a liquid crystal display device, and has many advantages such as no limitation on the viewing angle. Application is expected. In particular, it is known that an organic EL element is capable of high luminance, and is superior to an inorganic EL element in terms of high efficiency, high response characteristics, and multicoloring.

【0004】以下、上記有機ELディスプレイの構成に
ついて図面を参照しながら説明する。
Hereinafter, the configuration of the organic EL display will be described with reference to the drawings.

【0005】図14において、1はパネル本体で、当該
パネル本体1内には、例えば表示パネルやコントローラ
3や陽極ドライバと陰極ドライバを有し、有機EL素子
に定電流を供給し、当該有機EL素子を発光させる駆動
ドライバ4等が混載されている。
[0005] In FIG. 14, reference numeral 1 denotes a panel main body. The panel main body 1 includes, for example, a display panel, a controller 3, an anode driver and a cathode driver, and supplies a constant current to an organic EL element to thereby control the organic EL element. A drive driver 4 and the like for causing the elements to emit light are mounted.

【0006】そして、前記コントローラ3は、前記パネ
ル本体1と別にMPU(Micro Processing Unit)5と
接続され、更に、当該MPU5は有機ELディスプレイ
に対する各種プログラムデータ等を記憶するROM6と
接続されている。
[0006] The controller 3 is connected to an MPU (Micro Processing Unit) 5 separately from the panel main body 1, and the MPU 5 is connected to a ROM 6 for storing various program data for the organic EL display.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】通常、上記表示装置に
おいて、パネル画面の輝度調整を行いたい場合には、組
立完了後の出荷前検査時に、前記ROM6内に記憶させ
た輝度データを変更することで所望の明るさに設定し、
その後に出荷していた。
Normally, when it is desired to adjust the brightness of the panel screen in the above display device, the brightness data stored in the ROM 6 must be changed at the time of inspection before shipment after the completion of assembly. To set the desired brightness,
It was then shipped.

【0008】しかし、近年では、製造管理の効率化を図
る目的から、パネル本体の組立作業途中で、即ちMPU
5と接続される前のパネル本体単体の状態で、上記輝度
調整等を含む各種調整作業を組立作業における初期の段
階から行いたいという要望が出てきた。
However, in recent years, in order to improve the efficiency of manufacturing control, the MPU, that is, during the assembly operation of the panel body, has been performed.
There has been a demand that various kinds of adjustment work including the above-described brightness adjustment and the like should be performed from an initial stage in an assembly work in a state of the panel body alone before being connected to the panel body 5.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明の表示装
置は、パネル本体内に表示パネルと、当該表示パネルを
駆動するための表示パネル駆動用ドライバと、前記表示
パネルの輝度調整用データが記憶された不揮発性メモリ
とを具備し、前記表示パネル駆動用ドライバは、前記輝
度調整用データに基づいて前記表示パネルの輝度調整を
行うことを特徴とする。
Therefore, a display device of the present invention comprises a display panel in a panel body, a display panel driving driver for driving the display panel, and data for adjusting the luminance of the display panel. A display panel driving driver that adjusts the brightness of the display panel based on the brightness adjustment data.

【0010】また、前記不揮発性メモリは、前記輝度調
整用データを電気的に書き換え可能な不揮発性メモリで
構成し、前記パネル画面の輝度調整を可能にすることを
特徴とする。
The non-volatile memory is constituted by a non-volatile memory in which the brightness adjustment data can be electrically rewritten, so that the brightness of the panel screen can be adjusted.

【0011】更に、前記不揮発性メモリが、フローティ
ングゲートとコントロールゲートとを有するスプリット
ゲート型の不揮発性メモリであることを特徴とする。
Further, the nonvolatile memory is a split gate type nonvolatile memory having a floating gate and a control gate.

【0012】更にまた、前記表示パネルが、有機ELデ
ィスプレイで構成されていることを特徴とする。
Still further, the display panel is characterized by comprising an organic EL display.

【0013】これにより、前記表示パネルの組立作業中
におけるパネル画面の輝度調整が可能になる。
This makes it possible to adjust the brightness of the panel screen during the assembly work of the display panel.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の表示装置の一実施
形態について図面を参照しながら説明する。尚、本実施
形態では、表示装置の一例として携帯電話等の各種用途
に向けて実用化されつつある、有機ELディスプレイを
例示する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the display device of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, an organic EL display, which is being put to practical use for various uses such as a mobile phone, is illustrated as an example of a display device.

【0015】先ず初めに、上記有機ELディスプレイに
搭載される有機ELディスプレイ駆動用ドライバを構成
する各種MOSトランジスタが混載されて成る半導体装
置について説明する。
First, a description will be given of a semiconductor device in which various MOS transistors constituting a driver for driving an organic EL display mounted on the organic EL display are mounted.

【0016】上記有機ELディスプレイ駆動用ドライバ
は、図10(a)の左側からロジック系の(例えば、3
V)Nチャネル型MOSトランジスタ及びPチャネル型
MOSトランジスタ、レベルシフタ用の(例えば、30
V)Nチャネル型MOSトランジスタ、高耐圧系の(例
えば、30V)Nチャネル型MOSトランジスタ,図1
0(b)の左側から低オン抵抗化が図られた高耐圧系の
(例えば、30V)Nチャネル型MOSトランジスタ、
高耐圧系の(例えば、30V)Pチャネル型MOSトラ
ンジスタ,及び低オン抵抗化が図られた高耐圧系の(例
えば、30V)Pチャネル型MOSトランジスタで構成
される。
The driver for driving the organic EL display has a logic system (for example, 3) from the left side of FIG.
V) N-channel MOS transistors and P-channel MOS transistors, for level shifters (for example, 30
V) N-channel MOS transistor, high breakdown voltage (for example, 30 V) N-channel MOS transistor, FIG.
A high breakdown voltage (eg, 30 V) N-channel MOS transistor whose on-resistance is reduced from the left side of 0 (b),
It is composed of a high-breakdown-voltage (for example, 30 V) P-channel MOS transistor and a high-breakdown-voltage (for example, 30 V) P-channel MOS transistor whose on-resistance is reduced.

【0017】尚、説明の便宜上、上記高耐圧系のMOS
トランジスタと低オン抵抗化が図られた高耐圧系のMO
Sトランジスタとを差別化するため、以下の説明では低
オン抵抗化が図られた高耐圧系のMOSトランジスタを
SLED(Slit channel bycounter doping with exten
ded shallow drain)MOSトランジスタと呼称する。
For convenience of explanation, the high breakdown voltage MOS
Transistor and high breakdown voltage MO with low on-resistance
In order to differentiate the S transistor from the S transistor, in the following description, a high withstand voltage MOS transistor having a reduced on-resistance is replaced by an SLED (Slit channel by counter doping with exten).
ded shallow drain) MOS transistor.

【0018】このような有機ELディスプレイ駆動用ド
ライバを構成する各種MOSトランジスタが混載されて
成る半導体装置では、図10に示すように上記高耐圧系
のPチャネル型MOSトランジスタと上記低オン抵抗化
が図られた高耐圧系のPチャネル型SLEDMOSトラ
ンジスタが構成されるN型ウエル23が段差高部とな
り、その他の各種MOSトランジスタが構成されるP型
ウエル22が段差低部に構成される。言い換えれば、微
細なロジック系の(例えば、3V)Nチャネル型MOS
トランジスタ及びPチャネル型MOSトランジスタが段
差低部に配置されるように構成されている。
In a semiconductor device in which various MOS transistors constituting such an organic EL display driving driver are mounted, as shown in FIG. 10, the high breakdown voltage P-channel MOS transistor and the low on-resistance are reduced. The N-type well 23 in which the illustrated high-withstand-voltage P-channel SLEDMOS transistor is formed is a high step portion, and the P-type well 22 in which other various MOS transistors are formed is in the low step portion. In other words, a fine logic (eg, 3V) N-channel MOS
The configuration is such that the transistor and the P-channel MOS transistor are arranged at the lower part of the step.

【0019】以下、上記半導体装置の製造方法について
説明する。
Hereinafter, a method of manufacturing the semiconductor device will be described.

【0020】先ず、図1において、各種MOSトランジ
スタを構成するための領域を画定するために、例えばP
型の半導体基板(P−sub)21内にP型ウエル(P
W)22及びN型ウエル(NW)23をLOCOS法を
用いて形成する。即ち、図示した説明は省略するが、前
記基板21のN型ウエル形成領域上にパッド酸化膜及び
シリコン窒化膜を形成し、当該パッド酸化膜及びシリコ
ン窒化膜をマスクにして、例えばボロンイオンをおよそ
80KeVの加速電圧で、8×1012/cm2の注入条
件でイオン注入して、イオン注入層を形成する。その
後、前記シリコン窒化膜をマスクに基板表面をLOCO
S法によりフィールド酸化してLOCOS膜を形成す
る。このとき、LOCOS膜形成領域下にイオン注入さ
れていたボロンイオンが基板内部に拡散されてP型層が
形成される。
First, in FIG. 1, in order to define regions for forming various MOS transistors, for example, P
A P-type well (P-sub) is formed in a P-type semiconductor substrate (P-sub) 21.
W) 22 and an N-type well (NW) 23 are formed by using the LOCOS method. That is, although the illustrated description is omitted, a pad oxide film and a silicon nitride film are formed on the N-type well formation region of the substrate 21 and, for example, boron ions are At an acceleration voltage of 80 KeV, ions are implanted under an implantation condition of 8 × 10 12 / cm 2 to form an ion-implanted layer. Then, using the silicon nitride film as a mask,
The LOCOS film is formed by performing field oxidation by the S method. At this time, the boron ions implanted below the LOCOS film formation region are diffused into the substrate to form a P-type layer.

【0021】次に、前記パッド酸化膜及びシリコン窒化
膜を除去した後に、前記LOCOS膜をマスクに基板表
面にリンイオンをおよそ80KeVの加速電圧で、9×
10 12/cm2の注入条件でイオン注入してイオン注入
層を形成する。そして、前記LOCOS膜を除去した後
に、前記基板に注入された各不純物イオンを熱拡散させ
て、P型ウエル及びN型ウエルを形成することで、図1
に示すように前記基板21内に形成されるP型ウエル2
2は段差低部に配置され、N型ウエル23は段差高部に
配置される。
Next, the pad oxide film and the silicon nitride
After removing the film, the substrate surface is exposed using the LOCOS film as a mask.
Phosphorus ions are applied to the surface at an acceleration voltage of about 80 KeV,
10 12/ CmTwoImplantation under the same implantation conditions
Form a layer. Then, after removing the LOCOS film
Then, each impurity ion implanted into the substrate is thermally diffused.
By forming a P-type well and an N-type well, FIG.
A P-type well 2 formed in the substrate 21 as shown in FIG.
2 is located at the low step, and the N-type well 23 is at the high step.
Be placed.

【0022】そして、図2において、各MOSトランジ
スタ毎に素子分離するため、およそ500nm程度の素
子分離膜24をLOCOS法により形成し、この素子分
離膜24以外の活性領域上におよそ80nm程度の高耐
圧用の厚いゲート酸化膜25を熱酸化により形成する。
In FIG. 2, an element isolation film 24 of about 500 nm is formed by the LOCOS method in order to isolate an element for each MOS transistor, and a high-level of about 80 nm is formed on an active region other than the element isolation film 24. A thick gate oxide film 25 for withstand voltage is formed by thermal oxidation.

【0023】続いて、レジスト膜をマスクにして第1の
低濃度のN型及びP型のソース・ドレイン層(以下、L
N層26、LP層27と称す。)を形成する。即ち、先
ず、不図示のレジスト膜でLN層形成領域上以外の領域
を被覆した状態で基板表層に、例えばリンイオンをおよ
そ120KeVの加速電圧で、8×1012/cm2の注
入条件でイオン注入してLN層26を形成する。その
後、レジスト膜(PR)でLP層形成領域上以外の領域
を被覆した状態で基板表層に、例えばボロンイオンをお
よそ120KeVの加速電圧で、8.5×1012/cm
2の注入条件でイオン注入してLP層27を形成する。
尚、実際には後工程のアニール工程(例えば、1100
℃のN2雰囲気中で、2時間)を経て、上記イオン注入
された各イオン種が熱拡散されてLN層26及びLP層
27となる。
Subsequently, a first low-concentration N-type and P-type source / drain layer (hereinafter referred to as L
These are referred to as an N layer 26 and an LP layer 27. ) Is formed. That is, first, the substrate surface in a state of covering the region other than the LN layer forming region with a resist film (not shown), for example, phosphorus ions at an acceleration voltage of approximately 120 KeV, an implantation condition of 8 × 10 12 / cm 2 Thus, the LN layer 26 is formed. Thereafter, for example, boron ions are applied to the surface layer of the substrate at an acceleration voltage of about 120 KeV at a rate of 8.5 × 10 12 / cm while the area other than the area where the LP layer is formed is covered with the resist film (PR).
The LP layer 27 is formed by ion implantation under the implantation conditions of 2 .
Note that, in practice, a subsequent annealing step (for example, 1100
After 2 hours in a N 2 atmosphere at a temperature of 2 ° C., the ion-implanted ion species are thermally diffused to form the LN layer 26 and the LP layer 27.

【0024】続いて、図3において、Pチャネル型及び
Nチャネル型SLEDMOSトランジスタ形成領域の形
成された前記LN層26間及びLP層27間にレジスト
膜をマスクにしてそれぞれ第2の低濃度のN型及びP型
のソース・ドレイン層(以下、SLN層28及びSLP
層29と称す。)を形成する。即ち、先ず、不図示のレ
ジスト膜でSLN層形成領域上以外の領域を被覆した状
態で基板表層に、例えばリンイオンをおよそ120Ke
Vの加速電圧で、1.5×1012/cm2の注入条件で
イオン注入して前記LN層26に連なるSLN層28を
形成する。その後、レジスト膜(PR)でSLP層形成
領域上以外の領域を被覆した状態で基板表層に、例えば
ニフッ化ボロンイオン(49BF2 +)をおよそ140Ke
Vの加速電圧で、2.5×1012/cm2の注入条件で
イオン注入して前記LP層27に連なるSLP層29を
形成する。尚、前記LN層26と前記SLN層28また
は前記LP層27と前記SLP層29の不純物濃度は、
ほぼ同等であるか、どちらか一方が高くなるように設定
されている。
In FIG. 3, second resistive films are used as masks between the LN layers 26 and the LP layers 27 where the P-channel type and N-channel type SLED MOS transistor forming regions are formed, respectively. And P-type source / drain layers (hereinafter, SLN layer 28 and SLP
Called layer 29. ) Is formed. That is, first, for example, phosphorus ions are applied to the surface of the substrate in a state of covering the region other than the SLN layer formation region with a resist film (not shown) for about 120 Ke.
At an acceleration voltage of V, ions are implanted under an implantation condition of 1.5 × 10 12 / cm 2 to form an SLN layer 28 connected to the LN layer 26. Then, for example, boron difluoride ion ( 49 BF 2 + ) is applied to the surface of the substrate in a state where the region other than the region where the SLP layer is to be formed is covered with the resist film (PR).
At an acceleration voltage of V, ions are implanted under an implantation condition of 2.5 × 10 12 / cm 2 to form an SLP layer 29 connected to the LP layer 27. The impurity concentration of the LN layer 26 and the SLN layer 28 or the impurity concentration of the LP layer 27 and the SLP layer 29 is as follows.
They are set so that they are almost the same or one of them is higher.

【0025】更に、図4において、レジスト膜をマスク
にして高濃度のN型及びP型のソース・ドレイン層(以
下、N+層30、P+層31と称す。)を形成する。即
ち、先ず、不図示のレジスト膜でN+層形成領域上以外
の領域を被覆した状態で基板表層に、例えばリンイオン
をおよそ80KeVの加速電圧で、2×1015/cm 2
の注入条件でイオン注入してN+層30を形成する。そ
の後、レジスト膜(PR)でP+層形成領域上以外の領
域を被覆した状態で基板表層に、例えばニフッ化ボロン
イオンをおよそ140KeVの加速電圧で、2×1015
/cm2の注入条件でイオン注入してP+層31を形成
する。
Further, in FIG. 4, the resist film is masked.
High-concentration N-type and P-type source / drain layers
Below, they are referred to as an N + layer 30 and a P + layer 31. ) Is formed. Immediately
First, a resist film (not shown) other than on the N + layer forming region
In the state of covering the area of the substrate, for example, phosphorus ions
At an acceleration voltage of about 80 KeV and 2 × 1015/ Cm Two
The N + layer 30 is formed by ion implantation under the implantation conditions described above. So
After that, the resist film (PR) is used to cover areas other than the P + layer formation area.
In the state where the area is covered, for example, boron difluoride
The ions were accelerated at about 140 KeV and 2 × 1015
/ CmTwoP + layer 31 by ion implantation under the following implantation conditions
I do.

【0026】次に、図5において、前記SLN層28及
びSLP層29の形成用のマスク開口径(図3参照)よ
りも細い開口径を有するレジスト膜をマスクにして前記
LN層26に連なるSLN層28の中央部及び前記LP
層27に連なるSLP層29の中央部にそれぞれ逆導電
型の不純物をイオン注入することで、当該SLN層28
及びSLP層29を分断するP型ボディ層32及びN型
ボディ層33を形成する。即ち、先ず、不図示のレジス
ト膜でP型層形成領域上以外の領域を被覆した状態で基
板表層に、例えばニフッ化ボロンイオンをおよそ120
KeVの加速電圧で、5×1012/cm2の注入条件で
イオン注入してP型ボディ層32を形成する。その後、
レジスト膜(PR)でN型層形成領域上以外の領域を被
覆した状態で基板表層に、例えばリンイオンをおよそ1
90KeVの加速電圧で、5×1012/cm2の注入条
件でイオン注入してN型ボディ層33を形成する。尚、
上記図3〜図5に示すイオン注入工程に関する作業工程
順は、適宜変更可能なものであり、前記P型ボディ層3
2及びN型ボディ層33の表層部にチャネルが構成され
る。
Next, referring to FIG. 5, a resist film having an opening diameter smaller than the mask opening diameter (see FIG. 3) for forming the SLN layer 28 and the SLP layer 29 is used as a mask. The central part of the layer 28 and the LP
By injecting impurities of the opposite conductivity type into the central portion of the SLP layer 29 connected to the layer 27, respectively,
Then, a P-type body layer 32 and an N-type body layer 33 that divide the SLP layer 29 are formed. That is, first, for example, boron difluoride ions are applied to the surface of the substrate in a state in which the resist film (not shown) covers an area other than the P-type layer forming area, for example, about 120 nm.
The P-type body layer 32 is formed by ion implantation at an acceleration voltage of KeV under the conditions of 5 × 10 12 / cm 2 . afterwards,
With the resist film (PR) covering the area other than the N-type layer forming area, for example, about 1
Ion implantation is performed at an acceleration voltage of 90 KeV under an implantation condition of 5 × 10 12 / cm 2 to form an N-type body layer 33. still,
The order of the operation steps related to the ion implantation step shown in FIGS. 3 to 5 can be appropriately changed.
Channels are formed in the surface layers of the 2 and N-type body layers 33.

【0027】更に、図6において、前記通常耐圧用の微
細化Nチャネル型及びPチャネル型MOSトランジスタ
形成領域の基板(P型ウエル22)内に第2のP型ウエ
ル(SPW)34及び第2のN型ウエル(SNW)35
を形成する。
Further, in FIG. 6, a second P-type well (SPW) 34 and a second P-type well (SPW) 34 are formed in the substrate (P-type well 22) in the miniaturized N-channel type and P-channel type MOS transistor formation region for the normal breakdown voltage. N-type well (SNW) 35
To form

【0028】即ち、前記通常耐圧のNチャネル型MOS
トランジスタ形成領域上に開口を有する不図示のレジス
ト膜をマスクにして前記P型ウエル22内に、例えばボ
ロンイオンをおよそ190KeVの加速電圧で、1.5
×1013/cm2の第1の注入条件でイオン注入後、同
じくボロンイオンをおよそ50KeVの加速電圧で、
2.6×1012/cm2の第2の注入条件でイオン注入
して、第2のP型ウエル34を形成する。また、前記通
常耐圧用のPチャネル型MOSトランジスタ形成領域上
に開口を有するレジスト膜(PR)をマスクにして前記
P型ウエル22内に例えばリンイオンをおよそ380K
eVの加速電圧で、1.5×1013/cm 2の注入条件
でイオン注入して、第2のN型ウエル35を形成する。
尚、380KeV程度の高加速電圧発生装置が無い場合
には、2価のリンイオンをおよそ190KeVの加速電
圧で、1.5×1013/cm2の注入条件でイオン注入
するダブルチャージ方式でも良い。続いてリンイオンを
およそ140KeVの加速電圧で、4.0×1012/c
2の注入条件でイオン注入する。
That is, the normal breakdown voltage N-channel MOS
A resist (not shown) having an opening on the transistor formation region
In the P-type well 22, for example,
Ion at an accelerating voltage of about 190 KeV and 1.5
× 1013/ CmTwoAfter the ion implantation under the first implantation condition of
With the acceleration voltage of about 50 KeV,
2.6 × 1012/ CmTwoImplantation under the second implantation condition
Thus, a second P-type well 34 is formed. In addition,
On P-channel MOS transistor formation region for normal withstand voltage
Using a resist film (PR) having an opening in the mask as a mask,
For example, about 380 K of phosphorus ions are
1.5 × 10 at eV acceleration voltage13/ Cm TwoInjection conditions
To form a second N-type well 35.
In addition, when there is no high acceleration voltage generator of about 380 KeV
In the case of divalent phosphorus ions, about 190 KeV
1.5 × 10 at pressure13/ CmTwoImplantation under the same implantation conditions
Double charging method may be used. Then, add phosphorus ions
At an acceleration voltage of about 140 KeV, 4.0 × 1012/ C
mTwoIs implanted under the implantation conditions of

【0029】次に、通常耐圧用のNチャネル型及びPチ
ャネル型MOSトランジスタ形成領域上とレベルシフタ
用のNチャネル型MOSトランジスタ形成領域上の前記
ゲート酸化膜25を除去した後に、図7に示すように、
この領域上に新たに所望の膜厚のゲート酸化膜を形成す
る。
Next, after removing the gate oxide film 25 on the N-channel type and P-channel type MOS transistor forming regions for normal breakdown voltage and on the N-channel type MOS transistor forming region for level shifters, as shown in FIG. To
A gate oxide film having a desired thickness is newly formed on this region.

【0030】即ち、先ず、全面にレベルシフタ用のNチ
ャネル型MOSトランジスタ用におよそ14nm程度
(この段階では、およそ7nm程度であるが、後述する
通常耐圧用のゲート酸化膜形成時に膜厚が増大する。)
のゲート酸化膜36を熱酸化により形成する。続いて、
通常耐圧用のNチャネル型及びPチャネル型MOSトラ
ンジスタ形成領域上に形成された前記レベルシフタ用の
Nチャネル型MOSトランジスタのゲート酸化膜36を
除去した後に、この領域に通常耐圧用の薄いゲート酸化
膜37(およそ7nm程度)を熱酸化により形成する。
That is, first, the entire surface is about 14 nm for an N-channel type MOS transistor for a level shifter (about 7 nm at this stage, but the film thickness increases when a later-described gate oxide film for normal withstand voltage is formed). .)
Is formed by thermal oxidation. continue,
After removing the gate oxide film 36 of the level shifter N-channel type MOS transistor formed on the N-type and P-channel type MOS transistor formation regions for normal withstand voltage, a thin gate oxide film for normal withstand voltage is formed in this region. 37 (about 7 nm) is formed by thermal oxidation.

【0031】続いて、図8において、全面におよそ10
0nm程度のポリシリコン膜を形成し、このポリシリコ
ン膜にPOCl3を熱拡散源として熱拡散し導電化した
後に、このポリシリコン膜上におよそ100nm程度の
タングステンシリサイド膜、更にはおよそ150nm程
度のSiO2膜を積層し、不図示のレジスト膜を用いて
パターニングして各MOSトランジスタ用のゲート電極
38A,38B,38C,38D,38E,38F,3
8Gを形成する。尚、前記SiO2膜は、パターニング
時のハードマスクとして働く。
Subsequently, as shown in FIG.
A polysilicon film having a thickness of about 0 nm is formed, the POCl 3 is thermally diffused into the polysilicon film using a thermal diffusion source to make the polysilicon conductive, and then a tungsten silicide film having a thickness of about 100 nm is formed on the polysilicon film. A gate electrode 38A, 38B, 38C, 38D, 38E, 38F, 3 for each MOS transistor is formed by laminating an SiO 2 film and patterning using a resist film (not shown).
8G is formed. The SiO 2 film functions as a hard mask during patterning.

【0032】続いて、図9において、前記通常耐圧用の
Nチャネル型及びPチャネル型MOSトランジスタ用に
低濃度のソース・ドレイン層を形成する。
Subsequently, in FIG. 9, low-concentration source / drain layers are formed for the normal breakdown voltage N-channel type and P-channel type MOS transistors.

【0033】即ち、先ず、通常耐圧用のNチャネル型M
OSトランジスタ用の低濃度ソース・ドレイン層形成領
域上以外の領域を被覆する不図示のレジスト膜をマスク
にして、例えばリンイオンをおよそ20KeVの加速電
圧で、6.2×1013/cm 2の注入条件でイオン注入
して、低濃度のN−型ソース・ドレイン層39を形成す
る。また、通常耐圧用のPチャネル型MOSトランジス
タ用の低濃度ソース・ドレイン層形成領域上以外の領域
を被覆するレジスト膜(PR)をマスクにして、例えば
ニフッ化ボロンイオンをおよそ20KeVの加速電圧
で、2×1013/cm2の注入条件でイオン注入して、
低濃度のP−型ソース・ドレイン層40を形成する。
That is, first, an N-channel type M for normal withstand voltage is used.
Low concentration source / drain layer formation area for OS transistor
Mask the resist film (not shown) that covers the area other than the area
Then, for example, the phosphorous ion is accelerated by about 20 KeV.
By pressure, 6.2 × 1013/ Cm TwoImplantation under the same implantation conditions
To form a lightly doped N− type source / drain layer 39.
You. Also, a P-channel MOS transistor for normal withstand voltage
Area except on the low concentration source / drain layer formation area
Using the resist film (PR) covering the mask as a mask, for example,
Acceleration voltage of about 20 KeV for boron difluoride ion
And 2 × 1013/ CmTwoIon implantation under the implantation conditions of
A low concentration P- type source / drain layer 40 is formed.

【0034】更に、図10において、全面に前記ゲート
電極38A,38B,38C,38D,38E,38
F,38Gを被覆するようにおよそ250nm程度のT
EOS膜41をLPCVD法により形成し、前記通常耐
圧用のNチャネル型及びPチャネル型MOSトランジス
タ形成領域上に開口を有するレジスト膜(PR)をマス
クにして前記TEOS膜41を異方性エッチングする。
これにより、図10に示すように前記ゲート電極38
A,38Bの両側壁部にサイドウォールスペーサ膜41
Aが形成され、前記レジスト膜(PR)で被覆された領
域にはTEOS膜41がそのまま残る。
Further, in FIG. 10, the gate electrodes 38A, 38B, 38C, 38D, 38E, 38
F, T of about 250 nm to cover 38G
An EOS film 41 is formed by an LPCVD method, and the TEOS film 41 is anisotropically etched using a resist film (PR) having an opening on the N-type and P-channel type MOS transistor formation regions for normal breakdown voltage as a mask. .
As a result, as shown in FIG.
A, side wall spacer films 41 on both side walls of 38B
A is formed, and the TEOS film 41 remains in a region covered with the resist film (PR).

【0035】そして、前記ゲート電極38Aとサイドウ
ォールスペーサ膜41A並びに、前記ゲート電極38B
とサイドウォールスペーサ膜41Aをマスクにして、前
記通常耐圧用のNチャネル型及びPチャネル型MOSト
ランジスタ用に高濃度のソース・ドレイン層を形成す
る。
The gate electrode 38A, the side wall spacer film 41A, and the gate electrode 38B
Using the sidewall spacer film 41A as a mask, a high-concentration source / drain layer is formed for the normal breakdown voltage N-channel and P-channel MOS transistors.

【0036】即ち、通常耐圧用のNチャネル型MOSト
ランジスタ用の高濃度ソース・ドレイン層形成領域上以
外の領域を被覆する不図示のレジスト膜をマスクにし
て、例えばヒ素イオンをおよそ100KeVの加速電圧
で、5×1015/cm2の注入条件でイオン注入して、
高濃度のN+型ソース・ドレイン層42を形成する。ま
た、通常耐圧用のPチャネル型MOSトランジスタ用の
高濃度ソース・ドレイン層形成領域上以外の領域を被覆
する不図示のレジスト膜をマスクにして、例えばニフッ
化ボロンイオンをおよそ40KeVの加速電圧で、2×
1015/cm2の注入条件でイオン注入して、高濃度の
P+型ソース・ドレイン層43を形成する。
That is, by using a resist film (not shown) covering a region other than the region for forming the high-concentration source / drain layer for the N-channel MOS transistor for normal withstand voltage as a mask, for example, an arsenic ion is accelerated at about 100 KeV. Then, ion implantation is performed under an implantation condition of 5 × 10 15 / cm 2 ,
A high concentration N + type source / drain layer 42 is formed. Also, using a resist film (not shown) covering a region other than the region for forming the high-concentration source / drain layer for the normally-breakdown-voltage P-channel MOS transistor as a mask, for example, boron difluoride ion at an acceleration voltage of about 40 KeV , 2 ×
Ion implantation is performed under an implantation condition of 10 15 / cm 2 to form a high concentration P + type source / drain layer 43.

【0037】以下、図示した説明は省略するが、全面に
TEOS膜及びBPSG膜等からなるおよそ600nm
程度の層間絶縁膜を形成した後に、前記各高濃度のソー
ス・ドレイン層30,31,42,43にコンタクト接
続する金属配線層を形成することで、前記有機ELディ
スプレイ駆動用ドライバを構成する通常耐圧用のNチャ
ネル型MOSトランジスタ及びPチャネル型MOSトラ
ンジスタ、レベルシフタ用のNチャネル型MOSトラン
ジスタ、高耐圧用のNチャネル型MOSトランジスタ及
びPチャネル型MOSトランジスタ,低オン抵抗化が図
られた高耐圧用のNチャネル型SLEDMOSトランジ
スタ及びPチャネル型SLEDMOSトランジスタが完
成する(図10参照)。
Although not shown in the drawings, the entire surface is made of a TEOS film, a BPSG film, etc.
After forming an interlayer insulating film of about the same degree, a metal wiring layer is formed to be connected to each of the high-concentration source / drain layers 30, 31, 42, and 43 to form the organic EL display driving driver. N-channel MOS transistor and P-channel MOS transistor for breakdown voltage, N-channel MOS transistor for level shifter, N-channel MOS transistor and P-channel MOS transistor for high breakdown voltage, high breakdown voltage with reduced on-resistance N-channel SLEDMOS transistor and P-channel SLEDMOS transistor are completed (see FIG. 10).

【0038】続いて、図11を参照しながら、上記有機
EL素子(有機エレクトロ・ルミネッセンス素子)に定
電流を供給し、有機EL素子を発光させる有機ELディ
スプレイ駆動用ドライバ等において、陽極ドライバと陰
極ドライバと表示データ等を記憶するメモリ部並びにコ
ントローラ等を1チップ化する場合の効率の良いパター
ンレイアウトについて説明する。
Subsequently, referring to FIG. 11, an anode driver and a cathode are used in an organic EL display driving driver or the like for supplying a constant current to the organic EL element (organic electroluminescence element) and causing the organic EL element to emit light. A description will be given of an efficient pattern layout when a driver and a memory unit for storing display data and the like and a controller and the like are integrated into one chip.

【0039】以下、上記パターンレイアウト構成につい
て簡略化した図面を用いて概略を説明する。
The outline of the pattern layout configuration will be described below with reference to simplified drawings.

【0040】図11において、陽極ドライバと陰極ドラ
イバとメモリ部並びにコントローラ等を1チップ化し
て、図11の紙面左上から、32ビットの陽極(セグメ
ント:SEG)ドライバ領域10、128ビットの陰極
(コモン:COM)ドライバ領域11、32ビットの陽
極ドライバ領域12、紙面左下から、32ビットの陽極
ドライバ領域13、10ビットのアイコン用の陽極ドラ
イバ領域14、10ビットのアイコン用の陽極ドライバ
領域15、32ビットの陽極ドライバ領域16を配置し
ている。尚、それぞれのドライバ領域は、出力1ビット
分に相当する出力領域を必要な出力分だけ繰り返し配置
することで、所望の出力ビット群を構成している。
In FIG. 11, an anode driver, a cathode driver, a memory section, a controller and the like are integrated into one chip, and a 32-bit anode (segment: SEG) driver area 10 and a 128-bit cathode (common) are arranged from the upper left of FIG. : COM) driver area 11, 32-bit anode driver area 12, 32-bit anode driver area 13, 10-bit icon anode driver area 14, 10-bit icon anode driver areas 15, 32 from bottom left A bit anode driver area 16 is arranged. In each driver area, a desired output bit group is formed by repeatedly arranging an output area corresponding to one output bit for a required output.

【0041】そして、チップの中央部に他のロジック
(LOGIC)部17を介して対称な位置(本実施形態
では、左右対称であるが、チップ内の配列に併せて上下
対称な位置でも良い。)にメモリ部としてのSRAM
(スタティックRAM)18,19が配置され、当該S
RAM18,19からの出力配線20がそれぞれ前記陽
極ドライバ領域10,12,13,16に結線されてい
る。
A symmetrical position (a left-right symmetric position in the present embodiment) via another logic (LOGIC) portion 17 at the center of the chip may be a vertically symmetrical position in accordance with the arrangement in the chip. ) SRAM as memory part
(Static RAM) 18 and 19 are arranged,
Output wires 20 from the RAMs 18 and 19 are connected to the anode driver regions 10, 12, 13 and 16, respectively.

【0042】このように本発明では、SRAMと結線さ
れる陽極ドライバをチップ内の四隅に配置させ、各陽極
ドライバ領域10,12,13,16に併せてSRAM
を2分割して、チップの左端部に配置された陽極ドライ
バ領域10と13のグループと、チップの右端部に配置
された陽極ドライバ領域12と16のグループとにそれ
ぞれ対応させることで、配線20の引き回しが容易にな
るため、引き回しスペースが少なくてすみ、その分だけ
チップサイズの微細化が図れる。
As described above, according to the present invention, the anode drivers connected to the SRAM are arranged at the four corners in the chip, and the anode drivers 10, 12, 13, and 16 are combined with the SRAMs.
Is divided into two, and corresponds to the group of the anode driver regions 10 and 13 arranged at the left end of the chip and the group of the anode driver regions 12 and 16 arranged at the right end of the chip, respectively. In this case, the wiring space can be easily reduced, so that the wiring space can be reduced, and the chip size can be reduced accordingly.

【0043】以下、本発明の特徴である表示装置の構成
について図12を参照しながら説明する。尚、従来(図
14)と同等な構成については重複した説明を避けるた
め、同符号を付して説明を簡略化する。
Hereinafter, the structure of the display device, which is a feature of the present invention, will be described with reference to FIG. In addition, the same reference numerals are given to the same configurations as the conventional configuration (FIG. 14) to avoid redundant description, and the description will be simplified.

【0044】図12において、1はパネル本体で、当該
パネル本体内には表示パネル2、陽極ドライバと陰極ド
ライバとメモリ部並びにコントローラ等が1チップ化さ
れた上記有機ELディスプレイ駆動用ドライバ7等が搭
載されている。
In FIG. 12, reference numeral 1 denotes a panel main body, in which a display panel 2, an organic EL display driving driver 7 in which an anode driver, a cathode driver, a memory section, a controller and the like are integrated into one chip, and the like. It is installed.

【0045】また、前記有機ELディスプレイ駆動用ド
ライバ7内に搭載されたコントローラは、前記パネル本
体1内とは別にMPU(Micro Processing Unit)5と
接続され、更に、当該MPU5は有機ELディスプレイ
に対する各種プログラムデータ等を記憶する第1のRO
M6Aと接続されている。
A controller mounted in the driver 7 for driving the organic EL display is connected to an MPU (Micro Processing Unit) 5 separately from the inside of the panel main body 1. First RO for storing program data etc.
Connected to M6A.

【0046】そして、前記パネル本体1内において、本
発明の特徴である第2のROM8が、前記コントローラ
と接続されている。尚、当該第2のROM8は、例えば
輝度調整用データ等の比較的用途の限られたデータを記
憶するものであり、大容量のメモリである必要はない。
本実施形態では、256ビットのEEPROMもしくは
フラッシュメモリ等の不揮発性メモリが搭載されてい
る。
In the panel main body 1, a second ROM 8, which is a feature of the present invention, is connected to the controller. The second ROM 8 stores data of relatively limited use, such as brightness adjustment data, for example, and does not need to be a large-capacity memory.
In this embodiment, a nonvolatile memory such as a 256-bit EEPROM or a flash memory is mounted.

【0047】図13は上記不揮発性メモリの一例とし
て、半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されるフ
ローティングゲート(FG)と、当該フローティングゲ
ートを被覆するトンネル絶縁膜を介して前記フローティ
ングゲートの側部から上部にまたがるように形成される
コントロールゲート(CG)とから成るスプリットゲー
ト型の不揮発性メモリの等価回路図である。
FIG. 13 shows, as an example of the above-mentioned nonvolatile memory, a floating gate (FG) formed on a semiconductor substrate through a gate insulating film and a floating gate (FG) formed through a tunnel insulating film covering the floating gate. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of a split gate nonvolatile memory including a control gate (CG) formed so as to extend from the side to the top.

【0048】図13において、各メモリセルMC1,M
C2,MC3,MC4・・・はそれぞれ1ビットに相当
し、本実施形態では当該メモリセルが128個併設され
ている。尚、BLはドレイン領域に接続するビットライ
ンで、WL1,WL2,WL3,WL4は各メモリセル
MC1,MC2,MC3,MC4の各コントロールゲー
トにそれぞれ接続するワードラインで、SL1,Sl2
は前記メモリセルMC1,MC2並びにメモリセルMC
3,MC4のソース領域に共通接続するソースラインで
ある。
Referring to FIG. 13, each memory cell MC1, M
Each of C2, MC3, MC4,... Corresponds to one bit, and in the present embodiment, 128 memory cells are provided in parallel. Here, BL is a bit line connected to the drain region, and WL1, WL2, WL3, and WL4 are word lines connected to each control gate of each of the memory cells MC1, MC2, MC3, and MC4.
Are the memory cells MC1, MC2 and the memory cell MC.
3 is a source line commonly connected to the source region of MC4.

【0049】そして、当該メモリセルへのデータの書き
込み・消去・読み出し動作は、以下のようにして行われ
る。
The operation of writing / erasing / reading data to / from the memory cell is performed as follows.

【0050】即ち、書き込み動作においては、コントロ
ールゲートの電位を2V、ドレイン領域の電位を0.5
V、ソース領域の高電位を12Vとする。これにより、
ソース領域に高電位を印加することで、ソース領域とフ
ローティングゲート間のカップリング比によりフローテ
ィングゲートの電位が9V程度に持ち上げられ、フロー
ティングゲートとコントロールゲートとが並設された領
域下のチャネル領域付近で発生したホットエレクトロン
が、前記ゲート絶縁膜を通してフローティングゲートに
注入されてデータの書き込みが行われる。
That is, in the write operation, the potential of the control gate is set to 2 V, and the potential of the drain region is set to 0.5
V and the high potential of the source region is 12V. This allows
By applying a high potential to the source region, the potential of the floating gate is raised to about 9 V by the coupling ratio between the source region and the floating gate, and the vicinity of the channel region below the region where the floating gate and the control gate are juxtaposed. Is injected into the floating gate through the gate insulating film to write data.

【0051】一方、消去動作においては、ドレイン領域
及びソース領域の電位を0Vとし、コントロールゲート
を14Vとする。これにより、フローティングゲート内
に蓄積されている電荷(電子)が、フローティングゲー
トの上部角部の鋭角部分からF−N(Fowler-Nordheim
tunnelling)伝導によって前記トンネル絶縁膜を突き抜
けてコントロールゲートに放出されてデータが消去され
る。
On the other hand, in the erase operation, the potentials of the drain region and the source region are set to 0 V, and the control gate is set to 14 V. As a result, charges (electrons) accumulated in the floating gate are transferred from the acute angle of the upper corner of the floating gate to the FN (Fowler-Nordheim).
The data is erased by being transmitted to the control gate through the tunnel insulating film by tunneling conduction.

【0052】そして、読み出し動作においては、コント
ロールゲートの電位を4Vとし、ドレイン領域を2V、
ソース領域を0Vとする。このとき、フローティングゲ
ートに電荷(電子)が注入されていると、フローティン
グゲートの電位が低くなるため、フローティングゲート
の下にはチャネルが形成されずドレイン電流は流れな
い。逆に、フローティングゲートに電荷(電子)が注入
されていなければ、フローティングゲートの電位が高く
なるため、フローティングゲートの下にチャネルが形成
されてセル電流(読み出し電流)が流れる。
In the read operation, the potential of the control gate is set to 4 V, the drain region is set to 2 V,
The source region is set to 0V. At this time, if charges (electrons) are injected into the floating gate, the potential of the floating gate is lowered, so that no channel is formed below the floating gate and no drain current flows. Conversely, if charges (electrons) are not injected into the floating gate, the potential of the floating gate increases, so that a channel is formed below the floating gate and a cell current (read current) flows.

【0053】ここで、本実施形態では隣り合うメモリセ
ルMC1,MC2及びメモリセルMC3,MC4同士を
向かい合わせに配置し、ソースラインSL1,SL2を
共通化させることで高集積化を可能にしているが、これ
に限定されるものではなく、各メモリセル毎にソースラ
インを構成するものであっても構わない。
In this embodiment, the memory cells MC1 and MC2 and the memory cells MC3 and MC4 adjacent to each other are arranged to face each other, and the source lines SL1 and SL2 are made common to enable high integration. However, the present invention is not limited to this, and a source line may be formed for each memory cell.

【0054】以上に説明したように本発明では、パネル
本体1内に前記有機ELディスプレイ駆動用ドライバ7
内に搭載されたコントローラに接続された不揮発性メモ
リから成る第2のROM8を設けたことで、パネル本体
1の組立作業途中で、即ちMPU5と接続される前のパ
ネル本体単体の状態で、上記輝度調整等を含む各種調整
作業を組立作業における初期の段階から行うことが可能
になり、製造管理の効率化が図れる。
As described above, according to the present invention, the driver 7 for driving the organic EL display is provided in the panel body 1.
By providing the second ROM 8 composed of a non-volatile memory connected to a controller mounted in the inside of the panel main body, during the assembly work of the panel main body 1, that is, in the state of the panel main body alone before being connected to the MPU 5, Various adjustment operations including brightness adjustment and the like can be performed from an early stage in the assembly operation, and the efficiency of manufacturing management can be improved.

【0055】また、本実施形態では有機ELディスプレ
イ駆動用ドライバ7のように、例えばコントローラやメ
モリや陽極ドライバと陰極ドライバ等を1チップ化して
チップサイズの微細化を図っているため、その分だけ配
置スペースに余裕が生まれ、上記第2のROM8をパネ
ル本体1内に搭載するスペースを新たに確保しなければ
ならないということはない。従って、携帯電話等の軽薄
短小な装置への適用の妨げとはならない。
In the present embodiment, for example, the controller, the memory, the anode driver, the cathode driver, and the like are integrated into one chip as in the driver 7 for driving the organic EL display to reduce the chip size. There is no need to secure a space for mounting the second ROM 8 in the panel main body 1 and to secure a space for the second ROM 8. Therefore, it does not hinder application to light and thin devices such as mobile phones.

【0056】更に言えば、前記第2のROM8内に記憶
するデータとして、例えば輝度調整用データ等のパネル
画面の調整用に用いられる比較的限られたデータを記憶
するだけに限定しているため、当該ROM8は大容量で
ある必要はなく、配置スペースの確保が難しいというこ
とはない。尚、パネル本体1内に第2のROM8と共に
上記第1のROM6Aの機能を併せ持ったROMを搭載
させても良い。この場合、上述したように第1のROM
6Aは各種プログラムデータ等を含む表示装置に関する
全てのデータを記憶しておく必要があるため、大容量な
ものとなる。
More specifically, the data stored in the second ROM 8 is limited to storing only relatively limited data used for adjusting a panel screen, such as brightness adjustment data. The ROM 8 does not need to have a large capacity, and it is not difficult to secure an arrangement space. In addition, a ROM having the function of the first ROM 6A together with the second ROM 8 may be mounted in the panel body 1. In this case, as described above, the first ROM
6A has a large capacity because it is necessary to store all data relating to the display device including various program data and the like.

【0057】また、本発明では上記第2のROM8が、
有機ELディスプレイ駆動用ドライバ7と共に1チップ
化された構成であっても構わない。
In the present invention, the second ROM 8 is
It may be configured as one chip together with the driver 7 for driving the organic EL display.

【0058】尚、本実施形態では表示装置として、有機
ELディスプレイを例にして説明したが、本発明はそれ
に限定されるものではなく、例えばLCDディスプレ
イ、LEDディスプレイ、無機ELディスプレイ、PD
P(プラズマ・ディスプレイ)、FED(フィールド・
エミッション・ディスプレイ)等の各種フラット・パネ
ル・ディスプレイ等に適用可能なものである。
In this embodiment, an organic EL display has been described as an example of a display device, but the present invention is not limited to this. For example, an LCD display, LED display, inorganic EL display, PD
P (plasma display), FED (field
This is applicable to various flat panel displays such as emission displays.

【0059】[0059]

【発明の効果】本発明によれば、パネル本体内に不揮発
性メモリを設けたことで、パネル本体の組立作業途中で
の輝度調整作業が可能になり、製造管理の効率化が図れ
る。
According to the present invention, the provision of the non-volatile memory in the panel main body makes it possible to perform the brightness adjustment work during the assembly work of the panel main body, and the efficiency of manufacturing management can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 1 is a sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図2】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図3】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図4】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図5】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図6】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing a semiconductor device of the present invention;

【図7】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図8】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図9】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図で
ある。
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention.

【図10】本発明の半導体装置の製造方法を示す断面図
である。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing a semiconductor device of the present invention;

【図11】本発明の半導体装置のパターンレイアウトを
示す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing a pattern layout of the semiconductor device of the present invention.

【図12】本発明の表示装置を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing a display device of the present invention.

【図13】本発明の表示装置に搭載される不揮発性メモ
リの等価回路図である。
FIG. 13 is an equivalent circuit diagram of a nonvolatile memory mounted on a display device of the present invention.

【図14】従来の表示装置を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing a conventional display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パネル本体 2 表示パネル 5 MPU 6A 第1のROM 7 有機ELディスプレイ駆動用ドライバ 8 第2のROM DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Panel main body 2 Display panel 5 MPU 6A 1st ROM 7 Organic EL display drive driver 8 2nd ROM

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09G 3/30 G09G 3/30 K H01L 21/8238 H01L 27/10 461 27/092 27/08 321C 27/10 461 Fターム(参考) 5C080 AA06 BB05 DD25 DD28 EE28 JJ02 JJ06 KK07 KK47 5F048 AB01 AB03 AB07 AB10 AC01 AC03 BA01 BB05 BB08 BB16 BC06 BC07 BE03 BE06 BE09 BG12 DA25 5F083 EP02 EP24 ZA13 5G435 AA17 BB05 BB06 BB12 EE37 GG21 LL07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G09G 3/30 G09G 3/30 K H01L 21/8238 H01L 27/10 461 27/092 27/08 321C 27 / 10 461 F-term (reference) 5C080 AA06 BB05 DD25 DD28 EE28 JJ02 JJ06 KK07 KK47 5F048 AB01 AB03 AB07 AB10 AC01 AC03 BA01 BB05 BB08 BB16 BC06 BC07 BE03 BE06 BE09 BG12 DA25 5F083 EP02 EP24 ZA13 BB13 BB07

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パネル本体内に表示パネルと、当該表示
パネルを駆動するための表示パネル駆動用ドライバと、
前記表示パネルの輝度調整用データが記憶された不揮発
性メモリとを具備し、 前記表示パネル駆動用ドライバは、前記輝度調整用デー
タに基づいて前記表示パネルの輝度調整を行うことを特
徴とする表示装置。
1. A display panel in a panel body, a display panel driving driver for driving the display panel,
A non-volatile memory storing brightness adjustment data of the display panel, wherein the display panel driving driver performs brightness adjustment of the display panel based on the brightness adjustment data. apparatus.
【請求項2】 前記不揮発性メモリは、前記輝度調整用
データを電気的に書き換え可能な不揮発性メモリで構成
し、前記表示パネル画面の輝度調整を可能にすることを
特徴とする請求項1に記載の表示装置。
2. The non-volatile memory according to claim 1, wherein the non-volatile memory comprises a non-volatile memory in which the luminance adjustment data is electrically rewritable, and the luminance of the display panel screen can be adjusted. The display device according to the above.
【請求項3】 前記不揮発性メモリが、フローティング
ゲートとコントロールゲートとを有するスプリットゲー
ト型の不揮発性メモリであることを特徴とする請求項1
または請求項2に記載の表示装置。
3. The non-volatile memory according to claim 1, wherein the non-volatile memory is a split gate type non-volatile memory having a floating gate and a control gate.
Alternatively, the display device according to claim 2.
【請求項4】 前記表示パネルが、有機ELディスプレ
イで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の
表示装置。
4. The display device according to claim 1, wherein the display panel comprises an organic EL display.
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