JP2002287047A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 半透過体と反射体との距離を変えることにより前記半透過体に入射した光をオンオフ可能な光スイッチング素子であって、
   前記反射体が前記半透過体に密着するオン位置と、前記反射体が前記半透過体から所定の距離だけ離れるオフ位置とに移動する光スイッチング素子。
2. 請求項１において、前記オフ位置では、前記反射体と前記半透過体との間の光路に沿った距離が１００ｎｍから１５０ｎｍの範囲となる光スイッチング素子。
3. 請求項１において、前記オフ位置では、前記反射体と前記半透過体との間の光路に沿った距離が１２５ｎｍから１３５ｎｍの範囲となる光スイッチング素子。
4. 請求項１において、前記半透過体の前記反射体と接する側、または前記反射体の前記半透過体と接する側に吸着防止層が形成されている光スイッチング素子。
5. 請求項１において、前記反射体を前記オン位置およびオフ位置に移動するアクチュエータを有する光スイッチング素子。
6. 請求項５において、前記アクチュエータは静電型である光スイッチング素子。
7. 請求項６において、前記アクチュエータは、第１および第２の電極を備えており、これら電極の最小間隔を設定するストッパーが形成されている光スイッチング素子。
8. 請求項１に記載の複数の光スイッチング素子が２次元に配置されている光スイッチングデバイス。
9. 請求項１に記載の複数の前記光スイッチング素子が、第１の前記光スイッチング素子の出射光が第２の前記光スイッチング素子の入力となるように直列に配置されている光スイッチングデバイス。
10. 請求項８において、前記半透過体が形成された第１の基板と、前記反射体およびこの反射体を前記オン位置およびオフ位置に移動するアクチュエータとが重ねて形成された第２の基板とを有する光スイッチングデバイス。
11. 請求項１０において、前記半透過体および反射体の距離が一定の値以外にならないようにするストッパーを備えている光スイッチングデバイス。
12. 請求項８に記載の光スイッチングデバイスと、カラーフィルタとを有する直視型の画像表示装置。
13. 請求項８に記載の光スイッチングデバイスと、
    この光スイッチングデバイスに各色の光を順番に供給する照明機構と、
    前記光スイッチングデバイスから出力された光をスクリーン上に投影するレンズとを有する画像表示装置。
14. 半透過体と反射体との距離を変えることにより前記半透過体に入射した光をオンオフ可能な光スイッチング素子の製造方法であって、
    第１の基板に前記半透過体を形成する第１の工程と、
    第２の基板に前記反射体と、反射体をオン位置およびオフ位置に移動する複数のアクチュエータとを重ねて形成する第２の工程と、
    前記半透過体と前記反射体とが対面し、前記オン位置では、前記反射体が前記半透過体に密着し、前記オフ位置では、前記反射体が前記半透過体から所定の距離だけ離れるように前記第１および第２の基板を組み立てる第３の工程とを有する光スイッチング素子の製造方法。
15. 半透過体と反射体との距離を変えることにより前記半透過体に入射した光をオンオフ可能な光スイッチング素子が２次元に配置された光スイッチングデバイスの製造方法であって、
    第１の基板に複数の前記半透過体を形成する第１の工程と、
    第２の基板に複数の前記反射体と、各々の反射体をオン位置およびオフ位置に移動する複数のアクチュエータとを重ねて形成する第２の工程と、
    前記半透過体と前記反射体とが対面し、前記オン位置では、前記反射体が前記半透過体に密着し、前記オフ位置では、前記反射体が前記半透過体から所定の距離だけ離れるように前記第１および第２の基板を組み立てる第３の工程とを有する光スイッチングデバイスの製造方法。