JP2002286405A - Method of measuring film thickness of endless belt and film thickness measuring device - Google Patents
Method of measuring film thickness of endless belt and film thickness measuring deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真複写機、
プリンタ、ファクシミリ、これらの複合機等における中
間転写体などに用いられるエンドレスベルトのベルト幅
方向およびベルト周方向に沿って設定される測定ポイン
トでの膜厚を測定するエンドレスベルトの膜厚測定方
法、及び、エンドレスベルトの膜厚測定装置に関する。The present invention relates to an electrophotographic copying machine,
Printer, facsimile, endless belt film thickness measuring method for measuring the film thickness at the measurement point set along the belt width direction and the belt circumferential direction of the endless belt used for the intermediate transfer body and the like in these multi-function devices, Further, the present invention relates to an endless belt film thickness measuring device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子写真複写機、プリンタ、ファクシミ
リ、これらの複合機等における中間転写体などに用いら
れる薄膜製エンドレスベルトでは、図９に示すように、
エンドレスベルトＥＶにおいてベルト幅方向ＷＤおよび
ベルト周方向ＲＤに沿って設定される測定ポイントＭＰ
での膜厚を測って膜厚をベルト全体にわたって広くチェ
ックしたりする必要がある。この場合、膜厚の測定に用
いる器具として、マイクロメータや、ダイヤルゲージ、
リニアゲージ、超音波式膜厚測定器、渦電流式膜厚測定
器などの接触式のものや、レーザ変位型膜厚測定器など
の非接触式のものを用いることが考えられる。2. Description of the Related Art An endless belt made of a thin film used for an intermediate transfer member in an electrophotographic copying machine, a printer, a facsimile, a multifunction machine thereof, etc., as shown in FIG.
Measurement points MP set along the belt width direction WD and the belt circumferential direction RD in the endless belt EV
, It is necessary to check the film thickness widely over the entire belt. In this case, as instruments used for measuring the film thickness, a micrometer, a dial gauge,
It is conceivable to use a contact type such as a linear gauge, an ultrasonic type film thickness measuring device, an eddy current type thickness measuring device, or a non-contact type such as a laser displacement type film thickness measuring device.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
膜厚測定用の器具を用いる場合、エンドレスベルトＥＶ
の膜厚をベルト全体にわたって連続的に且つ迅速に測定
することは、大変困難である。However, when a conventional instrument for measuring film thickness is used, an endless belt EV is required.
It is very difficult to measure the film thickness continuously and quickly over the entire belt.
【０００４】エンドレスベルトＥＶの場合、幅・周長と
もに長くて測定ポイントが何箇所もあるので、上記のよ
うな膜厚測定用の器具で、取扱い難くて破損し易い薄膜
製エンドレスベルトＥＶの各測定ポイントを一つ一つ連
続的に手早く測定するのは無理であり、どうしても長い
時間を必要とする。In the case of the endless belt EV, since both the width and the circumference are long and there are a number of measurement points, each of the endless belts EV made of a thin film which is difficult to handle and is easily damaged with the above-described instrument for measuring the film thickness. It is impossible to measure each measurement point continuously and quickly, and it takes a long time.
【０００５】加えて、超音波式膜厚測定器や渦電流式膜
厚測定器などのエンドレスベルトＥＶに非機械的に接触
する膜厚測定器の場合には、ベルトの材質によっては膜
厚を測ることが出来ないし、非接触式の膜厚測定器の場
合には、測定の際のエンドレスベルトＥＶの組付け精度
やブレにより膜厚を正確に測定することが出来ない（測
定精度が低い）。In addition, in the case of a film thickness measuring device that comes into non-mechanical contact with the endless belt EV, such as an ultrasonic film thickness measuring device or an eddy current film thickness measuring device, the film thickness may vary depending on the material of the belt. In the case of a non-contact type film thickness measuring device, it is not possible to measure the film thickness accurately due to the assembling accuracy and blurring of the endless belt EV at the time of measurement (measurement accuracy is low). .
【０００６】そこで、本発明の目的は、エンドレスベル
トの正確な膜厚を、ベルトの材質による制限を受けるこ
となく、ベルト全体にわたって連続的に且つ迅速に測定
することができるエンドレスベルトの膜厚測定方法、及
び、エンドレスベルトの膜厚測定装置を提供することに
ある。It is an object of the present invention to measure the thickness of an endless belt continuously and quickly without being limited by the material of the belt. It is an object of the present invention to provide a method and a device for measuring the film thickness of an endless belt.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項記載の
発明により達成される。すなわち、本発明の目的を達成
する請求項１に係る本発明のエンドレスベルトの膜厚測
定方法（以下、適宜「膜厚測定方法」と略記）の特徴構
成は、エンドレスベルトのベルト幅方向およびベルト周
方向に沿って設定される測定ポイントでの膜厚を測定す
る方法であって、長手方向を水平方向に向けて支持され
たベルト吊下用のシャフトに膜厚測定対象のエンドレス
ベルトを掛けて吊り下げると共に、ベルト幅方向に沿っ
て設定される測定ポイントの膜厚を測定する片面機械接
触式の膜厚測定手段をシャフトと対向する位置へ配設し
ておき、膜厚測定手段によりエンドレスベルトをシャフ
トの表面に押し当てるようにしてベルト表面側から機械
的に接触して膜厚を測定した後、エンドレスベルトを吊
り下げたままでシャフトの表面を滑らせるようにしてエ
ンドレスベルトをベルト周方向に移送することにより別
の測定ポイントを測定位置に移動させるようにすること
にある。The above object is achieved by the invention described in the claims. That is, the characteristic configuration of the method for measuring the film thickness of the endless belt according to the present invention (hereinafter, abbreviated as “film thickness measuring method” as appropriate) according to the first aspect of the present invention, which achieves the object of the present invention, is as follows. This is a method of measuring the film thickness at a measurement point set along the circumferential direction, by hanging the endless belt of the film thickness measurement target on a belt for supporting a belt suspended with the longitudinal direction directed horizontally. A single-sided mechanical contact type film thickness measuring means for measuring the film thickness at a measurement point set along the belt width direction is arranged at a position facing the shaft, and the endless belt is measured by the film thickness measuring means. After measuring the film thickness by mechanical contact from the belt surface side by pressing against the shaft surface, slide the shaft surface with the endless belt suspended. It is to be moved to another measurement point in the measurement position by transferring endless belt in the belt circumferential direction Te Unishi.
【０００８】上記のように構成された請求項１の膜厚測
定方法では、ベルト幅方向に沿って設定される測定ポイ
ントの膜厚を測定する片面機械接触式の膜厚測定手段
が、ベルト吊下用のシャフトに掛けて吊り下げられたエ
ンドレスベルトをシャフトの表面に押し当てるようにし
てベルト表面側から機械的に接触して膜厚を測定する測
定動作を、シャフトの表面を滑らせるようにして吊り下
げ状態を維持したままでエンドレスベルトをベルト周方
向に移送することにより別の測定ポイントを測定位置に
移動させる度に繰り返し行う。[0008] In the film thickness measuring method according to the first aspect of the present invention, the one-side mechanical contact type film thickness measuring means for measuring the film thickness at a measurement point set along the belt width direction is provided. The endless belt hung on the lower shaft is pressed against the surface of the shaft, and the measurement operation of measuring the film thickness by mechanical contact from the belt surface side is performed by sliding the shaft surface. The measurement is repeated each time another measurement point is moved to the measurement position by moving the endless belt in the circumferential direction of the belt while maintaining the suspended state.
【０００９】このように、請求項１の発明の膜厚測定方
法の場合、膜厚測定手段において測定ポイントがベルト
幅方向に沿って速やかに設定されると共に、エンドレス
ベルトをベルト周方向にスムーズに移送することにより
測定ポイントがベルト周方向に沿って速やかに設定され
るので、ベルト全体にわたって連続的に且つ迅速に膜厚
を測定することができると共に、片面機械接触式の膜厚
測定手段によりエンドレスベルトをシャフトの表面に押
し当てるようにしてベルト表面側から機械的に接触して
膜厚を測定するので、ベルトの材質による制限を受けず
に測定できるのに加え、エンドレスベルトの組付け精度
やブレに左右されることなく、膜厚を正確に測定するこ
とができる。Thus, in the case of the film thickness measuring method according to the first aspect of the present invention, the measuring point is quickly set along the belt width direction by the film thickness measuring means, and the endless belt is smoothly moved in the belt circumferential direction. Since the measuring point is quickly set along the circumferential direction of the belt by transporting, the film thickness can be measured continuously and quickly over the entire belt, and endless by a single-side mechanical contact type film thickness measuring means. The thickness of the film is measured by pressing the belt against the surface of the shaft and making mechanical contact from the surface of the belt, so it can be measured without being restricted by the material of the belt, and in addition to the accuracy of assembling the endless belt. The film thickness can be accurately measured without being affected by blur.
【００１０】また、請求項２に係る本発明の膜厚測定方
法の特徴構成は、膜厚測定手段による膜厚の測定を行う
際に、シャフトの表面を膜厚ゼロの点（膜厚の零点）と
しておこなうことにある。The characteristic configuration of the film thickness measuring method of the present invention according to claim 2 is that, when the film thickness is measured by the film thickness measuring means, the surface of the shaft is set to a point of zero film thickness (zero point of film thickness). ).
【００１１】上記のように構成された請求項２の膜厚測
定方法では、膜厚測定手段が膜厚測定の際にシャフトの
表面を膜厚の零点とするので、膜厚測定手段の測定結果
が膜厚に１対１に対応するものとなる。According to the film thickness measuring method of the present invention, the surface of the shaft is set to the zero point of the film thickness when the film thickness is measured. Corresponds to the film thickness on a one-to-one basis.
【００１２】また、請求項３に係る本発明の膜厚測定方
法の特徴構成は、シャフトとして、シャフトの長手方向
に沿って続きシャフト表面におけるエンドレスベルト接
触面に通気孔が開口している気体通路用空洞を有する中
空状のシャフトを用いると共に、エンドレスベルトをベ
ルト周方向に移送する際はベルトの内面とシャフト表面
の間に気体通路用空洞の通気孔から気体を供給し、膜厚
を測定する際は通気孔からの気体供給を停止することに
ある。A third aspect of the present invention is a gas passage having a gas passage having a shaft extending along a longitudinal direction of the shaft and having a vent hole opened at an endless belt contact surface on the shaft surface. Use a hollow shaft with a cavity for the endless belt, and when transporting the endless belt in the circumferential direction of the belt, supply gas from the air hole of the cavity for the gas passage between the inner surface of the belt and the surface of the shaft, and measure the film thickness. In this case, the gas supply from the vent hole is stopped.
【００１３】上記のように構成された請求項３の膜厚測
定方法では、エンドレスベルトをベルト周方向に移送す
る際はエンドレスベルトの内面とシャフト表面の間に気
体通路用空洞の通気孔から気体を供給するので、エンド
レスベルトの内面とシャフト表面の間の摩擦抵抗が減
り、エンドレスベルトがよりスムーズに移送されると共
に、膜厚を測定する際には、通気孔からの気体供給を停
止するので、通気孔からの気体供給が膜厚測定の妨げと
なることはない。In the film thickness measuring method according to the third aspect of the present invention, when the endless belt is conveyed in the circumferential direction of the belt, the gas flows from the vent hole of the gas passage cavity between the inner surface of the endless belt and the shaft surface. Since the frictional resistance between the inner surface of the endless belt and the shaft surface is reduced, the endless belt is transported more smoothly, and the gas supply from the vent hole is stopped when measuring the film thickness. The gas supply from the vent does not hinder the film thickness measurement.
【００１４】さらに、本発明の目的を達成する請求項４
に係る本発明のエンドレスベルトの膜厚測定装置（以
下、適宜「膜厚測定装置」と略記）の特徴構成は、エン
ドレスベルトのベルト幅方向およびベルト周方向に沿っ
て設定される測定ポイントでの膜厚を測定する装置であ
って、膜厚測定対象のエンドレスベルトを掛けて吊り下
げられるように長手方向を水平方向に向けて支持されて
いるベルト吊下用のシャフトと、ベルト幅方向に沿って
設定される測定ポイントでの膜厚をエンドレスベルトを
シャフトの表面に押し当てるようにしてベルト表面側か
ら機械的に接触して測定できるようにシャフトと対向す
る位置へ配設されている片面機械接触式の膜厚測定手段
と、エンドレスベルトを吊り下げたままでシャフトの表
面を滑らせるようにしてエンドレスベルトをベルト周方
向に移送することにより別の測定ポイントを測定位置に
移動させるベルト移送手段とを備えていることにある。Further, the object of the present invention is achieved.
The characteristic configuration of the endless belt film thickness measuring device according to the present invention (hereinafter, abbreviated as “film thickness measuring device” as appropriate) according to the present invention is based on measurement points set at measurement points set along the belt width direction and the belt circumferential direction of the endless belt. An apparatus for measuring film thickness, a belt for supporting a belt suspended with its longitudinal direction oriented in a horizontal direction so that the endless belt to be measured for film thickness can be hung and suspended, and along a belt width direction. A single-sided machine arranged at a position facing the shaft so that the endless belt can be pressed against the surface of the shaft to measure the film thickness at the measurement point set by the mechanical contact from the belt surface side. To transfer the endless belt in the circumferential direction of the belt by sliding the surface of the shaft while the endless belt is suspended with the contact type film thickness measuring means In that it comprises a belt transport means for moving the different measurement points in the measurement position Ri.
【００１５】上記のように構成された請求項４の膜厚測
定装置では、ベルト幅方向に沿って設定される測定ポイ
ントの膜厚を測定する片面機械接触式の膜厚測定手段
が、ベルト吊下用のシャフトに掛けて吊り下げられたエ
ンドレスベルトをシャフトの表面に押し当てるようにし
てベルト表面側から機械的に接触して膜厚を測定すると
いう測定動作が、ベルト移送手段によって、エンドレス
ベルトを吊り下げ状態を維持したままでエンドレスベル
トをシャフトの表面を滑らせるようにしてベルト周方向
に移送することによりベルト周方向に沿って次の測定ポ
イントを測定位置に移動させる度に繰り返し行われる。
即ち、請求項４の膜厚測定装置では請求項１の発明の方
法を実施してエンドレスベルトの膜厚を測定する。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a film thickness measuring device for measuring the film thickness at a measurement point set along the belt width direction, wherein the single-sided mechanical contact type film thickness measuring means comprises a belt suspension. The endless belt suspended by the lower shaft is pressed against the surface of the shaft to measure the film thickness by mechanical contact from the belt surface side. By moving the endless belt in the circumferential direction of the belt while sliding the endless belt while maintaining the suspended state, the measurement is repeated each time the next measurement point is moved to the measurement position along the circumferential direction of the belt. .
That is, in the film thickness measuring apparatus according to a fourth aspect, the method according to the first aspect of the invention is performed to measure the thickness of the endless belt.
【００１６】このように、請求項４の発明の膜厚測定装
置の場合、請求項１の発明の膜厚測定方法を実施するこ
とにより、ベルト全体にわたって連続的に且つ迅速に膜
厚を測定することができると共に、ベルトの材質による
制限を受けずに膜厚を測定できるのに加え、エンドレス
ベルトの組付け精度やブレに左右されることなく膜厚を
正確に測定することができる。Thus, in the case of the film thickness measuring apparatus according to the fourth aspect of the present invention, the film thickness measuring method according to the first aspect of the present invention measures the film thickness continuously and quickly over the entire belt. In addition to being able to measure the film thickness without being restricted by the material of the belt, the film thickness can be accurately measured without being affected by the assembly accuracy and the shake of the endless belt.
【００１７】また、請求項５に係る本発明の膜厚測定装
置の特徴構成は、シャフトの表面を膜厚ゼロの点（膜厚
の零点）として膜厚測定をおこなうことにある。A characteristic configuration of the film thickness measuring apparatus according to the present invention according to claim 5 is that the film thickness is measured by setting the surface of the shaft to a point where the film thickness is zero (zero point of the film thickness).
【００１８】上記のように構成された請求項５の膜厚測
定装置では、膜厚測定手段が膜厚の測定の際にシャフト
の表面を膜厚の零点とするので、膜厚測定手段の測定結
果が膜厚に１対１に対応するものとなる。即ち、請求項
５の膜厚測定装置では請求項２の発明の方法を実施して
膜厚を測定する。In the film thickness measuring apparatus according to claim 5, the surface of the shaft is set to the zero point of the film thickness when the film thickness is measured. The result corresponds to the film thickness on a one-to-one basis. That is, in the film thickness measuring apparatus according to the fifth aspect, the method according to the second aspect is performed to measure the film thickness.
【００１９】また、請求項６に係る本発明の膜厚測定装
置の特徴構成は、ベルト吊下用のシャフトとして、シャ
フトの長手方向に沿って続きシャフト表面におけるエン
ドレスベルト接触面に通気孔が開口している気体通路用
空洞を有する中空状のシャフトを備えているとともに、
エンドレスベルトをベルト周方向に移送する際にベルト
の内面とシャフト表面の間に気体通路用空洞の通気孔か
ら気体を供給し、膜厚を測定する際は気体通路用空洞の
通気孔からの気体供給を停止する給気手段を備えている
ことにある。A feature of the film thickness measuring apparatus according to the present invention is that a ventilation hole is formed in the endless belt contact surface on the surface of the shaft which continues along the longitudinal direction of the shaft as a shaft for hanging the belt. Having a hollow shaft having a cavity for a gas passage,
When the endless belt is transported in the belt circumferential direction, gas is supplied from the air hole of the gas passage cavity between the inner surface of the belt and the shaft surface, and when the film thickness is measured, the gas is supplied from the gas passage hole of the gas passage cavity. In other words, an air supply means for stopping the supply is provided.
【００２０】上記のように構成された請求項６の膜厚測
定装置では、エンドレスベルトをベルト周方向に移送す
る際はエンドレスベルトの内面とシャフト表面の間に気
体通路用空洞の通気孔から気体が供給されるので、エン
ドレスベルトの内面とシャフト表面の間の摩擦抵抗が減
り、エンドレスベルトがよりスムーズに移送されると共
に、膜厚を測定する際には、通気孔からの気体供給を停
止するので、通気孔からの気体供給が膜厚の測定の妨げ
とならない。即ち、請求項６の膜厚測定装置では請求項
３の発明の方法を実施して膜厚を測定する。In the film thickness measuring apparatus according to the sixth aspect, when the endless belt is transported in the circumferential direction of the belt, the gas flows through the air hole of the gas passage cavity between the inner surface of the endless belt and the shaft surface. Is supplied, the frictional resistance between the inner surface of the endless belt and the shaft surface is reduced, the endless belt is transported more smoothly, and the gas supply from the vent hole is stopped when measuring the film thickness. Therefore, the gas supply from the vent does not hinder the measurement of the film thickness. That is, in the film thickness measuring apparatus according to the sixth aspect, the method according to the third aspect is implemented to measure the film thickness.
【００２１】また、請求項７に係る本発明の膜厚測定装
置の特徴構成は、ベルト吊下用のシャフトのエンドレス
ベルト接触面には、ベルト周方向に沿って気体通路用空
洞の通気孔が複数箇所に開口していることにある。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a film thickness measuring apparatus according to the present invention, wherein a ventilation hole for a gas passage cavity is formed on a contact surface of an endless belt of a shaft for hanging a belt along a circumferential direction of the belt. That is, there are openings at a plurality of locations.
【００２２】上記のように構成された請求項７の膜厚測
定装置では、ベルト周方向に沿って複数箇所に開口して
いる通気孔から気体が供給されるので、エンドレスベル
トの内面とシャフト表面の間の摩擦抵抗が一層減り、エ
ンドレスベルトは極めてスムーズに移送される。In the film thickness measuring apparatus according to the present invention, gas is supplied from a plurality of vent holes opened in the circumferential direction of the belt, so that the inner surface of the endless belt and the surface of the shaft are supplied. The endless belt is transported very smoothly.
【００２３】また、請求項８に係る本発明の膜厚測定装
置の特徴構成は、ベルト吊下用のシャフトの表面は、表
面粗さがＲａ２５μｍ以下であることにある。A feature of the film thickness measuring apparatus of the present invention according to claim 8 is that the surface of the shaft for hanging the belt has a surface roughness of Ra 25 μm or less.
【００２４】上記のように構成された請求項８の膜厚測
定装置では、ベルト周方向に移送するエンドレスベルト
の内面が当接するシャフトの表面の表面粗さがＲａ２５
μｍ以下と非常に滑らかであるので、エンドレスベルト
の内面とシャフトの表面の間の摩擦抵抗が低く、エンド
レスベルトがよりスムーズに移送される。In the film thickness measuring apparatus according to the eighth aspect, the surface roughness of the shaft contacting the inner surface of the endless belt conveyed in the circumferential direction of the belt is Ra25.
Since the endless belt is extremely smooth, ie, less than μm, the frictional resistance between the inner surface of the endless belt and the surface of the shaft is low, and the endless belt is transported more smoothly.
【００２５】また、請求項９に係る本発明の膜厚測定装
置の特徴構成は、膜厚測定手段が、ベルト幅方向に沿っ
て移動可能なように設置されていることにある。A feature of the film thickness measuring apparatus according to the present invention is that the film thickness measuring means is installed so as to be movable in the belt width direction.
【００２６】上記のように構成された請求項９の膜厚測
定装置では、膜厚測定手段がベルト幅方向に沿って移動
することにより測定ポイントの位置が変化するので、１
個の膜厚測定手段でベルト周方向に沿って複数の測定ポ
イントを設定することが出来る。In the film thickness measuring apparatus according to the ninth aspect, the position of the measuring point is changed by moving the film thickness measuring means along the belt width direction.
A plurality of measurement points can be set along the circumferential direction of the belt by the film thickness measuring means.
【００２７】また、請求項１０に係る本発明の膜厚測定
装置の特徴構成は、膜厚測定手段が、リフターにより進
退させられるスピンドルの進出量に基づき膜厚を検出す
るリニアゲージであることにある。In a tenth aspect of the present invention, the film thickness measuring device is a linear gauge that detects the film thickness based on the amount of advance of a spindle that is moved forward and backward by a lifter. is there.
【００２８】上記のように構成された請求項１０の膜厚
測定装置では、リフターによりエンドレスベルトをシャ
フトの表面に押し当てるようにして進出させれば、リニ
アゲージからスピンドル進出量に応じた膜厚検出信号が
直ちに出力されるので、膜厚測定をより迅速に行うこと
ができる。In the film thickness measuring apparatus according to the tenth aspect, if the endless belt is advanced by pressing the endless belt against the surface of the shaft by the lifter, the film thickness according to the spindle advance amount from the linear gauge is obtained. Since the detection signal is output immediately, the film thickness can be measured more quickly.
【００２９】また、請求項１１に係る本発明の膜厚測定
装置の特徴構成は、リフターがエアリフターであること
にある。A feature of the film thickness measuring apparatus according to the present invention is that the lifter is an air lifter.
【００３０】上記のように構成された請求項１１の膜厚
測定装置では、リフターがエアリフターであるので、リ
ニアゲージのスピンドルを気体を用いて進退させること
ができる。In the film thickness measuring apparatus according to the eleventh aspect, since the lifter is an air lifter, the spindle of the linear gauge can be moved forward and backward using gas.
【００３１】また、請求項１２に係る本発明の膜厚測定
装置の特徴構成は、リニアゲージのスピンドル先端がベ
ルト吊下用のシャフトの通気孔に当たらないように配設
されていることにある。A feature of the film thickness measuring apparatus according to the present invention is that the tip of the spindle of the linear gauge is disposed so as not to contact the ventilation hole of the shaft for hanging the belt. .
【００３２】上記のように構成された請求項１２の膜厚
測定装置では、膜厚測定の際にリニアゲージのスピンド
ル先端がベルト吊下用のシャフトの通気孔に当たらない
ので、シャフトの通気孔が膜厚測定の妨げとならない。In the film thickness measuring apparatus according to the twelfth aspect, the tip of the spindle of the linear gauge does not hit the ventilation hole of the shaft for hanging the belt when measuring the film thickness. Does not hinder film thickness measurement.
【００３３】また、請求項１３に係る本発明の膜厚測定
装置の特徴構成は、エンドレスベルトの表面に接触した
状態のままで移動するキャタピラーベルトを具備し、キ
ャタピラーベルトの移動に引き連れられてエンドレスベ
ルトがベルト周方向に移送されるキャタピラーベルト式
ベルト移送手段であることにある。A thirteenth aspect of the present invention is a film thickness measuring apparatus comprising a caterpillar belt that moves while being in contact with the surface of the endless belt, and the endless belt is moved by the movement of the caterpillar belt. The belt is a caterpillar belt type belt transfer means in which the belt is transferred in the belt circumferential direction.
【００３４】上記のように構成された請求項１３の膜厚
測定装置では、エンドレスベルトの表面に接触した状態
でキャタピラーベルトが移動するのに伴ってエンドレス
ベルトがベルト周方向に引き連れられて速やかに移送さ
れるので、エンドレスベルトのベルト周方向への移送を
容易に実現できる。In the film thickness measuring apparatus according to the thirteenth aspect, the endless belt is pulled in the belt circumferential direction as the caterpillar belt moves while being in contact with the surface of the endless belt, so that the belt is quickly moved. Since the endless belt is transferred, the transfer of the endless belt in the belt circumferential direction can be easily realized.
【００３５】また、請求項１４に係る本発明の膜厚測定
装置の特徴構成は、ベルト移送手段が、エンドレスベル
トのベルト周方向に対して任意に設定する位置を測定ス
タート位置（ベルト周方向の最初の測定ポイント）とし
て所定の周長寸法あるいは所定のベルト外径角度に対応
する間隔でエンドレスベルトをベルト周方向にピッチ送
りするように配設されていることにある。According to a fourteenth aspect of the present invention, there is provided a film thickness measuring apparatus according to the present invention, wherein the belt transfer means sets a position to be arbitrarily set in the circumferential direction of the endless belt in a measurement start position (belt circumferential direction). As the first measurement point), the endless belt is arranged to be pitch-fed in the circumferential direction of the belt at intervals corresponding to a predetermined circumferential length or a predetermined belt outer diameter angle.
【００３６】上記のように構成された請求項１４の膜厚
測定装置では、エンドレスベルトのベルト周方向に対し
て任意に設定する位置を測定スタート位置として、エン
ドレスベルトが所定の周長寸法あるいは所定のベルト外
径角度でベルト周方向にピッチ送りされる度にベルト周
方向に沿って新たな測定ポイントが設定されるので、エ
ンドレスベルトのベルト周方向に対してはベルト移送手
段で規定される所定の周長寸法あるいは所定のベルト外
径角度刻みで膜厚を測定することができる。In the film thickness measuring apparatus according to the present invention, the position of the endless belt is arbitrarily set in the circumferential direction of the endless belt as a measurement start position, and the endless belt has a predetermined circumferential length or a predetermined length. A new measurement point is set along the belt circumferential direction every time the belt is fed in the belt circumferential direction at the belt outer diameter angle of the endless belt. The film thickness can be measured at the circumferential length of the belt or at predetermined angular intervals of the belt outer diameter.
【００３７】また、請求項１５に係る本発明の膜厚測定
装置の特徴構成は、ベルト移送手段の駆動停止状態にお
いて、エンドレスベルトの膜厚測定の動作が可能なよう
に膜厚測定手段が配設されていることにある。According to a fifteenth aspect of the present invention, the film thickness measuring device is arranged so that the operation of measuring the film thickness of the endless belt can be performed when the driving of the belt moving device is stopped. It has been established.
【００３８】上記のように構成された請求項１５の膜厚
測定装置では、ベルト移送手段が故障の場合でも、膜厚
測定手段を手動で操作して動作させてエンドレスベルト
の膜厚測定を行うことができる。In the film thickness measuring apparatus according to the fifteenth aspect, even if the belt transport means is out of order, the film thickness measuring means is operated and operated manually to measure the film thickness of the endless belt. be able to.
【００３９】[0039]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して詳しく説明する。図１は実施例に係るエンドレスベ
ルトの膜厚測定装置の構成を示す概略構成図である。実
施例の膜厚測定装置は、本発明の膜厚測定方法の一例を
実施して膜厚を測定する。Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a configuration of an endless belt film thickness measuring apparatus according to an embodiment. The film thickness measuring apparatus according to the embodiment measures the film thickness by implementing one example of the film thickness measuring method of the present invention.
【００４０】図１の膜厚測定装置１は、図９に示すよう
な薄膜製のエンドレスベルト（以下、適宜「ベルト」と
略記）ＥＶを掛けて吊り下げられるように長手方向を水
平方向に向けて支持されているベルト吊下用のシャフト
２と、ベルト幅方向ＷＤに沿って設定される測定ポイン
トＭＰでの膜厚をベルトＥＶをシャフト２の表面に押し
当てるようにしてベルト表面側から機械的に接触して測
定できるようにシャフト２と対向する位置へ配設されて
いる５つのリニアゲージ（片面機械接触式の膜厚測定手
段）３と、ベルトＥＶを吊り下げたままでシャフト２の
表面を滑らせるようにしてベルトＥＶをベルト周方向Ｒ
Ｄに移送することにより別の測定ポイントＭＰを測定位
置に移動させるキャタピラーベルト式ベルト移送機構４
とを備えている。The film thickness measuring apparatus 1 shown in FIG. 1 has a longitudinal direction oriented horizontally so that it can be hung by an endless belt EV (hereinafter abbreviated as “belt” as appropriate) made of a thin film as shown in FIG. A belt hanging shaft 2 supported by a belt and a film thickness at a measurement point MP set along the belt width direction WD are measured from the belt surface side by pressing the belt EV against the surface of the shaft 2. Linear gauge (single-sided mechanical contact type film thickness measuring means) 3 disposed at a position facing the shaft 2 so as to be able to make contact and measurement, and the surface of the shaft 2 while the belt EV is suspended. The belt EV in the belt circumferential direction R
Caterpillar belt type belt transfer mechanism 4 for moving another measurement point MP to the measurement position by transferring the measurement point MP to the measurement position MP
And
【００４１】膜厚測定装置１は垂直枠５Ａと天枠（天
板）５Ｂ及び底枠５Ｃが逆コ字状に組付けられた金属製
外枠体５を備えていて、ベルト吊下用のシャフト２は真
っ直ぐ水平に支持された状態でシャフト２の基端側で垂
直枠５Ａに固定されており、膜厚測定対象のベルトＥＶ
をシャフト２に掛けて宙ぶらりんの状態で吊り下げられ
るように構成されている。The film thickness measuring apparatus 1 has a metal outer frame 5 in which a vertical frame 5A, a top frame (top plate) 5B and a bottom frame 5C are assembled in an inverted U-shape, and is used for hanging a belt. The shaft 2 is fixed to the vertical frame 5A on the base end side of the shaft 2 while being supported straight and horizontally, and the belt EV for film thickness measurement is
Is hung on the shaft 2 in a suspended state.
【００４２】５つのリニアゲージ３は、シャフト２の長
手方向に沿って等間隔で並ぶようにしてシャフト２の真
上の天枠５Ｂにおけるシャフト２に対向する位置へボル
ト等で固定されている。５つのリニアゲージ３はシャフ
ト２の長手方向に沿って並ぶようにして配設されてい
て、ベルト吊下用のシャフト２にベルトＥＶを掛けて吊
り下げた場合、５つのリニアゲージ３がベルトＥＶのベ
ルト幅方向ＷＤに沿って並ぶことになるので、実施例の
ベルトＥＶにおいては、５つのリニアゲージ３の配置で
もって、ベルト幅方向ＷＤに沿って５個の測定ポイント
が設定される。The five linear gauges 3 are fixed by bolts or the like at a position facing the shaft 2 on the top frame 5B directly above the shaft 2 so as to be arranged at equal intervals along the longitudinal direction of the shaft 2. The five linear gauges 3 are arranged so as to be arranged along the longitudinal direction of the shaft 2, and when the belt EV is hung on the shaft 2 for hanging the belt, the five linear gauges 3 are attached to the belt EV. Are arranged along the belt width direction WD. Therefore, in the belt EV of the embodiment, five measurement points are set along the belt width direction WD with the arrangement of the five linear gauges 3.
【００４３】ベルト移送機構４は、図２（ａ）に示すよ
うに、ベルトＥＶの表面に接触した状態のままで移動す
るキャタピラーベルト４Ａとキャタピラーベルト４Ａを
回動させる超小型モータ４Ｂを具備し、超小型モータ４
Ｂの回転と連動して回動するキャタピラーベルト４Ａの
移動に引き連れられてベルトＥＶがベルト周方向ＲＤに
移送されると共に、測定すべき位置がリニアゲージ３の
直下に来る毎にベルトＥＶの移送が停止されて５つのリ
ニアゲージ３で膜厚が測定されるように構成されてい
る。なおキャタピラーベルト４Ａは、図２（ｂ）に示す
ように、上方へ引き上げてベルトＥＶとの接触状態を解
除できるようにも構成されている。As shown in FIG. 2A, the belt transfer mechanism 4 includes a caterpillar belt 4A that moves while being in contact with the surface of the belt EV, and a micro motor 4B that rotates the caterpillar belt 4A. , Micro motor 4
The belt EV is transported in the belt circumferential direction RD by the movement of the caterpillar belt 4A which rotates in conjunction with the rotation of the belt B, and the transport of the belt EV is carried out every time the position to be measured comes directly below the linear gauge 3. Is stopped, and the film thickness is measured by the five linear gauges 3. As shown in FIG. 2B, the caterpillar belt 4A is also configured so that it can be lifted upward to release the contact state with the belt EV.
【００４４】したがって、実施例の場合、キャタピラー
ベルト４ＡによりベルトＥＶがベルト周方向ＲＤへ移送
されるのに伴って、ベルトＥＶにおいてはベルト周方向
ＲＤに沿って測定ポイントが次々に設定される。なお、
キャタピラーベルト４Ａの素材は、特に限定されるもの
ではないが、ゴム系のものが好ましい。Accordingly, in the case of the embodiment, as the belt EV is transported in the belt circumferential direction RD by the caterpillar belt 4A, measurement points are successively set in the belt EV along the belt circumferential direction RD. In addition,
The material of the caterpillar belt 4A is not particularly limited, but a rubber-based material is preferable.
【００４５】以下、実施例の膜厚測定装置の構成をより
具体的に説明する。Hereinafter, the configuration of the film thickness measuring apparatus of the embodiment will be described more specifically.
【００４６】ベルト吊下用のシャフト２は、図３（ａ）
に示すように、シャフトの長手方向に沿って続きシャフ
ト２の表面におけるエンドレスベルト接触面に通気孔２
Ｂが開口している気体通路用空洞２Ａを有する中空状の
シャフトが用いられている。気体通路用空洞２Ａの通気
孔２Ｂは、シャフト２の長手方向に沿って開口している
だけでなく、図３（ｂ）に示すように、通気孔２Ｂがベ
ルト周方向ＲＤ（シャフト２の幅方向）に沿って２箇所
に開口している。このようなシャフト２は、例えば、金
属製等のパイプの先端をメクラ処理で塞ぎ、通気孔２Ｂ
を所定の位置に穿設することによって容易に形成するこ
とができる。通気孔２Ｂのサイズは、０．１〜３ｍｍ程
度、好ましくは０．５〜１．５ｍｍ程度である。また、
通気孔２Ｂの数は、通常、ベルトＥＶの全幅に対して、
３〜１０個、好ましくは４〜８個とする。The shaft 2 for hanging the belt is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the ventilation holes 2 are formed in the endless belt contact surface on the surface of the shaft 2 which continues along the longitudinal direction of the shaft.
A hollow shaft having a gas passage cavity 2A in which B is open is used. The ventilation hole 2B of the gas passage cavity 2A not only opens along the longitudinal direction of the shaft 2, but also has the ventilation hole 2B in the belt circumferential direction RD (the width of the shaft 2) as shown in FIG. Direction). In such a shaft 2, for example, the tip of a pipe made of metal or the like is closed by a metal treatment, and a vent hole 2B is formed.
Can be easily formed by piercing at a predetermined position. The size of the ventilation hole 2B is about 0.1 to 3 mm, preferably about 0.5 to 1.5 mm. Also,
Normally, the number of the ventilation holes 2B is determined based on the entire width of the belt EV.
Three to ten, preferably four to eight.
【００４７】そして、気体通路用空洞２Ａに（給気手段
としての）コンプレッサ７を配設した加圧空気配管６を
接続しておいて、ベルトＥＶを周方向ＲＤに移送する際
には、気体通路用空洞２Ａ経由で通気孔２Ｂから、ベル
トＥＶの内面とシャフト２の表面の間に加圧空気を供給
してベルトＥＶの内面をシャフト２の表面から少し浮か
し気味にしてベルトＥＶの内面とシャフト２の表面の間
の摩擦抵抗を減らす。また、シャフト２の場合、シャフ
ト２の表面の表面粗さを（通気孔２Ｂのところは除い
て）Ｒａ２５μｍ以下（好ましくはＲａ１０μｍ以下）
として、表面を滑らかにし、ベルトＥＶの内面とシャフ
ト２の表面の摩擦抵抗を減らすようにもしている。ベル
トＥＶの内面とシャフト２の表面の間の摩擦抵抗が減る
と、ベルトＥＶをよりスムーズに移送させられる。A pressurized air pipe 6 provided with a compressor 7 (as an air supply means) is connected to the gas passage cavity 2A, and when the belt EV is transferred in the circumferential direction RD, the gas is supplied. Pressurized air is supplied between the inner surface of the belt EV and the surface of the shaft 2 from the ventilation hole 2B via the passage cavity 2A to slightly float the inner surface of the belt EV from the surface of the shaft 2 to make the inner surface of the belt EV The frictional resistance between the surfaces of the shaft 2 is reduced. In the case of the shaft 2, the surface roughness of the surface of the shaft 2 (except for the vent 2B) is Ra 25 μm or less (preferably Ra 10 μm or less).
In order to reduce the frictional resistance between the inner surface of the belt EV and the surface of the shaft 2, the surface is smoothed. When the frictional resistance between the inner surface of the belt EV and the surface of the shaft 2 is reduced, the belt EV can be transported more smoothly.
【００４８】一方、各リニアゲージ３は、図４に示すよ
うに、リフター３ａにより進退させられるスピンドル３
Ａの進出量に基づき膜厚を検出するディジタルリニアゲ
ージである。リニアゲージ３の場合、リフター３ａによ
りベルトＥＶをシャフト２の表面に押し当てるようにし
て進出させれば、リニアゲージ３からスピンドル進出量
（変化量）に応じたディジタル形式の膜厚検出信号（電
気信号）が直ちに出力されるので、膜厚測定が迅速に行
える。On the other hand, as shown in FIG. 4, each linear gauge 3 has a spindle 3 which is moved forward and backward by a lifter 3a.
This is a digital linear gauge that detects the film thickness based on the amount of advance of A. In the case of the linear gauge 3, if the belt EV is advanced by pressing the belt EV against the surface of the shaft 2 by the lifter 3 a, a digital-type film thickness detection signal (electricity) corresponding to the spindle advance amount (change amount) from the linear gauge 3. Signal) is immediately output, so that the film thickness can be measured quickly.
【００４９】また、リフター３ａが気体を利用するエア
リフターであり、このリフター３ａが加圧空気配管６に
接続されていて、加圧空気の導入に伴ってスピンドル３
Ａが進出し、加圧空気の導入停止に伴ってスピンドル３
Ａが後退するように構成されている。なお、加圧空気配
管６にはフィルター、減圧器、電磁弁、スピードコント
ローラなどの空気供給に必要な部品類（図示省略）が介
設されている。The lifter 3a is an air lifter that uses gas, and this lifter 3a is connected to a pressurized air pipe 6, and the spindle 3
A advances and the spindle 3
A is configured to retreat. The pressurized air pipe 6 is provided with components (not shown) required for air supply, such as a filter, a decompressor, an electromagnetic valve, and a speed controller.
【００５０】さらに、リニアゲージ３は、シャフト２の
表面を膜厚の零点として膜厚を測定するように構成され
ている。即ち、図５（ａ），図５（ｂ）に示すように、
ベルトＥＶがシャフト２に掛けられておらず、キャタピ
ラーベルト４Ａもリニアゲージ３のスピンドル３Ａもシ
ャフト２に接触していない待機状態から、図６（ａ），
図６（ｂ）に示すように、ベルトＥＶはシャフト２に掛
けられていないが、キャタピラーベルト４Ａもリニアゲ
ージ３のスピンドル３Ａもシャフト２に接触している零
点設定状態において、リニアゲージ３から出力される膜
厚検出信号を厚み０μｍとする膜厚の零点の設定が行わ
れる。シャフト２の表面が膜厚の零点として設定されて
いると、膜厚検出信号が膜厚に１対１に対応するものと
なる。Further, the linear gauge 3 is configured to measure the film thickness with the surface of the shaft 2 as the zero point of the film thickness. That is, as shown in FIGS. 5A and 5B,
From the standby state in which the belt EV is not hung on the shaft 2 and neither the caterpillar belt 4A nor the spindle 3A of the linear gauge 3 is in contact with the shaft 2, FIG.
As shown in FIG. 6B, the belt EV is not hung on the shaft 2, but the output from the linear gauge 3 is in a zero point setting state in which both the caterpillar belt 4 A and the spindle 3 A of the linear gauge 3 are in contact with the shaft 2. The zero point of the film thickness is set so that the detected film thickness detection signal is 0 μm. When the surface of the shaft 2 is set as the zero point of the film thickness, the film thickness detection signal corresponds to the film thickness on a one-to-one basis.
【００５１】また、実施例の場合、各リニアゲージ３か
らの膜厚検出信号を入力する膜厚表示器３Ｂが天枠５Ｂ
の上に設置されていて、各リニアゲージ３で測定された
ベルトＥＶの膜厚が、膜厚表示器３Ｂで直読できるよう
に構成されている。膜厚表示器３Ｂはディジタル表示式
でも、アナログ表示式でも、いずれでもよいが、ディジ
タル表示式の方が記録媒体との接続が容易という点で好
ましい。Further, in the case of the embodiment, the film thickness indicator 3B for inputting the film thickness detection signal from each linear gauge 3 is provided on the top frame 5B.
And the thickness of the belt EV measured by each linear gauge 3 can be directly read by the thickness indicator 3B. The film thickness display 3B may be either a digital display type or an analog display type, but the digital display type is preferable because the connection with the recording medium is easy.
【００５２】他方、ベルト移送機構４は、ベルトＥＶの
ベルト周方向ＲＤに対して任意に設定する位置を測定ス
タート位置（ベルト周方向の最初の測定ポイント）とし
て所定の周長寸法あるいは所定のベルト外径角度に対応
する間隔でベルトＥＶをベルト周方向ＲＤにピッチ送り
するように配設されていて、ベルト周方向ＲＤに対して
任意に設定する位置を測定スタート位置として、ベルト
が所定の周長寸法（例えば１０ｍｍ）あるいは所定のベ
ルト外径角度（例えば３０°）でベルト周方向ＲＤにピ
ッチ送りされる度にベルト周方向ＲＤに沿って次の測定
ポイントが設定される。したがって、ベルト周方向ＲＤ
に対してはベルト移送機構４で規定される所定の周長寸
法あるいは所定のベルト外径角度刻みで膜厚を測定でき
る。On the other hand, the belt transfer mechanism 4 sets a position arbitrarily set in the belt circumferential direction RD of the belt EV as a measurement start position (first measurement point in the belt circumferential direction) with a predetermined circumferential length or a predetermined belt length. The belt EV is arranged so as to be pitch-fed in the belt circumferential direction RD at intervals corresponding to the outer diameter angle, and a position set arbitrarily in the belt circumferential direction RD is set as a measurement start position, and the belt is moved in a predetermined circumferential direction. Each time a pitch is fed in the belt circumferential direction RD at a long dimension (for example, 10 mm) or a predetermined belt outer diameter angle (for example, 30 °), the next measurement point is set along the belt circumferential direction RD. Therefore, the belt circumferential direction RD
The film thickness can be measured at a predetermined circumferential length defined by the belt transfer mechanism 4 or at predetermined belt outer diameter angle increments.
【００５３】なお、実施例装置の場合、周長寸法のピッ
チ送りとベルト外径角度のピッチ送りが選択可能に構成
されているが、ベルト移送機構４は、周長寸法のピッチ
送りとベルト外径角度のピッチ送りのどちらか一方だけ
が行える構成でもよい。In the case of the apparatus of the embodiment, the pitch feed of the circumferential length and the pitch feed of the belt outer diameter angle are selectable. A configuration in which only one of the radial angle pitch feed can be performed may be employed.
【００５４】さらに、実施例の場合、ベルト移送機構４
の駆動停止状態において、ベルトの膜厚測定の動作が可
能なようにリニアゲージ３が配設されており、ベルト移
送機構４が故障でベルトＥＶを移送させられないような
場合でも、リニアゲージ３を手動で操作して動作させて
ベルトＥＶの膜厚測定を行うことができる。Further, in the case of the embodiment, the belt transport mechanism 4
The linear gauge 3 is provided so that the operation of measuring the film thickness of the belt can be performed when the driving of the belt is stopped, and even if the belt transport mechanism 4 fails and the belt EV cannot be transported, the linear gauge 3 Can be operated manually to measure the film thickness of the belt EV.
【００５５】続いて、実施例の膜厚測定装置１によるベ
ルトＥＶの膜厚測定プロセスを説明する。Next, a process of measuring the film thickness of the belt EV by the film thickness measuring apparatus 1 of the embodiment will be described.
【００５６】なお、以下では、リニアゲージ３として小
野測器（株）製のリニアゲージ型番ＧＳ−１６１３、リ
フター３ａとして小野測器（株）製のエアリフター型番
ＡＡ−６１００、膜厚表示器３Ｂとして小野測器（株）
製のディジタルゲージカウンタＤＧ−４１２０を用い
た。また、シャフト２には外径３０ｍｍ、内径２０ｍ
ｍ、表面粗さ６．３μｍに調整したＳＵＳ製のパイプに
０．５ｍｍの通気孔２Ｂを１０ケ所均一に開口すると共
に、パイプの先端をメクラネジにて閉塞して空気漏れ止
めしたものを垂直枠５Ａに固定してから、加圧空気配管
６を接続した。In the following, the linear gauge 3 is a linear gauge model number GS-1613 manufactured by Ono Sokki Co., Ltd., and the lifter 3a is an air lifter model number AA-6100 manufactured by Ono Sokki Co., Ltd., and a film thickness display 3B. Ono Sokki Co., Ltd.
A digital gauge counter DG-4120 manufactured by Toshiba Corporation was used. The shaft 2 has an outer diameter of 30 mm and an inner diameter of 20 m.
A SUS pipe adjusted to have a surface roughness of 6.3 μm is uniformly opened with 10 vent holes 2B of 0.5 mm, and the end of the pipe is closed with a female screw to prevent air leakage. After fixing to 5A, the pressurized air pipe 6 was connected.
【００５７】また、リフター３ａの空気加圧時の圧力は
０．３Ｍｐａ、ベルト回動速度１００ｍｍ／分、ベルト
ＥＶのベルト周方向ＲＤのピッチ送りの間隔は、ベルト
外径角度３０°とした。また膜厚測定の際は５つのリニ
アゲージ３を全て作動させるようにした。従って、ベル
トＥＶにおいてはベルト幅方向ＷＤに沿って５か所、ベ
ルト周方向ＲＤに沿って１２か所の合計６０個の測定ポ
イントＭＰが設定される。なお、膜厚測定対象のエンド
レスベルトＥＶには、膜厚１００μｍ、幅３５０ｍｍ、
周長約１１３０ｍｍのベルトを用いた。The pressure when the lifter 3a was pressurized with air was 0.3 Mpa, the belt rotation speed was 100 mm / min, and the pitch of the belt EV in the belt circumferential direction RD was 30 °. When measuring the film thickness, all five linear gauges 3 were operated. Therefore, in the belt EV, a total of 60 measurement points MP are set at five locations along the belt width direction WD and at twelve locations along the belt circumferential direction RD. The endless belt EV for measuring the film thickness has a film thickness of 100 μm, a width of 350 mm,
A belt having a circumference of about 1130 mm was used.
【００５８】〔第１測定例〕（測定ステップＳ１）図５
（ａ），図５（ｂ）に示すように、ベルトＥＶがシャフ
ト２に掛けられておらず、ベルト移送機構４のキャタピ
ラーベルト４Ａもリニアゲージ３のスピンドル３Ａもシ
ャフト２に接触していない待機状態から、図６（ａ），
図６（ｂ）に示すように、ベルトＥＶはシャフト２に掛
けられていないが、キャタピラーベルト４Ａとリニアゲ
ージ３のスピンドル３Ａがシャフト２に接触している状
態において、リニアゲージ３から出力される膜厚検出信
号を膜厚０μｍとするように膜厚の零点を設定する。[First Measurement Example] (Measurement Step S1) FIG.
As shown in FIGS. 5A and 5B, the belt EV is not hung on the shaft 2, and the caterpillar belt 4A of the belt transfer mechanism 4 and the spindle 3A of the linear gauge 3 are not in contact with the shaft 2. From the state, FIG.
As shown in FIG. 6B, the belt EV is not hung on the shaft 2, but is output from the linear gauge 3 in a state where the caterpillar belt 4A and the spindle 3A of the linear gauge 3 are in contact with the shaft 2. The zero point of the film thickness is set so that the film thickness detection signal is 0 μm.
【００５９】（測定ステップＳ２）図６（ａ）に示す待
機状態に戻してから、図７（ａ），図７（ｂ）に示すよ
うに、シャフト２にベルトＥＶを掛けて吊り下げた後、
図８（ａ），図８（ｂ）に示すように、キャタピラーベ
ルト４Ａとスピンドル３Ａが下げられてベルトＥＶの表
面に直に接触している測定状態に移行すると、ベルト周
方向ＲＤの測定スタート位置におけるベルト幅方向ＷＤ
の５点の測定ポイントＭＰの膜厚検出信号が、各リニア
ゲージ３から膜厚表示器３Ｂにそれぞれ出力され、膜厚
表示器３Ｂで測定膜厚の値が表示される。(Measurement Step S2) After returning to the standby state shown in FIG. 6 (a), as shown in FIG. 7 (a) and FIG. ,
As shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b), when the caterpillar belt 4A and the spindle 3A are moved down to a measurement state in which they are in direct contact with the surface of the belt EV, the measurement in the belt circumferential direction RD starts. Width direction WD at position
The film thickness detection signals at the five measurement points MP are output from each linear gauge 3 to the film thickness indicator 3B, and the value of the measured film thickness is displayed on the film thickness indicator 3B.
【００６０】（測定ステップＳ３）ベルトＥＶをベルト
周方向ＲＤにベルト外径角度３０°の間隔だけピッチ送
りし、測定ステップＳ２の場合と同様にスピンドル３Ａ
をベルトＥＶの表面に直に接触するまで下げて膜厚を測
定する動作を１１回、繰り返し行い、６０個の全測定ポ
イントの膜厚を測定した。(Measurement Step S3) The belt EV is pitch-fed in the belt circumferential direction RD by an interval of a belt outer diameter angle of 30 °, and the spindle 3A is moved in the same manner as in the measurement step S2.
The operation of measuring the film thickness by lowering the film thickness until it comes into direct contact with the surface of the belt EV was repeated 11 times, and the film thickness was measured at all 60 measurement points.
【００６１】第１測定例の測定結果は、測定時間３３
秒、膜厚のバラツキ±１μｍであった。The measurement result of the first measurement example is a measurement time 33
The variation in film thickness was ± 1 μm in seconds.
【００６２】〔第２測定例〕ベルトＥＶのベルト周方向
ＲＤのピッチ送りの間隔を、ベルトの周長寸法９４ｍｍ
とした他は、第１測定例と同様にしてベルトＥＶの膜厚
を測定した。[Second Measurement Example] The interval of the pitch feed of the belt EV in the belt circumferential direction RD is set to a belt circumferential length of 94 mm.
The film thickness of the belt EV was measured in the same manner as in the first measurement example, except for the above.
【００６３】第２測定例の測定結果は、測定時間３３
秒、膜厚のバラツキ±１μｍと第１測定例の場合と同様
の結果であった。The measurement result of the second measurement example is a measurement time 33
The variation of the film thickness in seconds was ± 1 μm, which was the same result as in the first measurement example.
【００６４】〔比較測定例〕マイクロメータを用いて手
動で膜厚を測定するようにした他は、第１測定例と同様
にして膜厚を測定した。[Comparative Measurement Example] The film thickness was measured in the same manner as in the first measurement example except that the film thickness was measured manually using a micrometer.
【００６５】比較測定例の測定結果は、測定時間３８
分、膜厚のバラツキ±３であった。The measurement result of the comparative measurement example is as follows.
And variation in film thickness ± 3.
【００６６】上記の第１，２測定例と比較測定例の測定
結果を比べれば、本発明の場合、５つのリニアゲージ３
の配置によりベルト幅方向ＷＤに沿って測定ポイントＭ
Ｐが速やかに設定されると共に、シャフト２の表面を滑
らせるようにしてベルトＥＶをベルト周方向ＲＤにスム
ーズに移送することにより、ベルト周方向ＲＤに沿って
速やかに測定ポイントＭＰが設定されるので、ベルト全
体にわたって連続的に且つ迅速に膜厚を測定することが
できると共に、リニアゲージ３によりベルトＥＶをシャ
フト２の表面に押し当てるようにしてベルト表面側から
機械的に接触して膜厚を測定するので、ベルトの材質に
よる制限を受けずに測定できるのに加え、ベルトＥＶの
組付け精度やブレに左右されることなく膜厚を正確に測
定することができる。When the measurement results of the first and second measurement examples and the comparative measurement example are compared, in the case of the present invention, five linear gauges 3
Measurement point M along the belt width direction WD
P is set quickly, and the belt EV is smoothly transferred in the belt circumferential direction RD by sliding the surface of the shaft 2, so that the measurement point MP is quickly set along the belt circumferential direction RD. Therefore, the film thickness can be measured continuously and quickly over the entire belt, and the belt EV is pressed against the surface of the shaft 2 by the linear gauge 3 so that the belt EV is mechanically contacted from the belt surface side. Is measured, the film thickness can be measured without being restricted by the material of the belt, and the film thickness can be accurately measured without being affected by the assembling accuracy or the shake of the belt EV.
【００６７】〔別実施の形態〕 （１）実施例の場合、片面機械接触式の膜厚測定手段と
して、ディジタルリニアゲージを用いたが、アナログリ
ニアゲージ或いはリニアゲージ以外の片面機械接触式の
膜厚測定器を用いてもよい。[Other Embodiments] (1) In the case of the embodiment, a digital linear gauge is used as a single-side mechanical contact type film thickness measuring means, but a single-side mechanical contact type film other than an analog linear gauge or a linear gauge is used. A thickness measuring device may be used.
【００６８】（２）膜厚測定対象のエンドレスベルト
も、電子写真複写機、プリンタ、ファクシミリ、これら
の複合機等における中間転写体以外のベルトであっても
よい。(2) The endless belt whose film thickness is to be measured may be a belt other than the intermediate transfer member in an electrophotographic copying machine, a printer, a facsimile, a multifunction machine thereof, or the like.
【００６９】（３）実施例の場合、ディジタルリニアゲ
ージは固定であったが、ディジタルリニアゲージがベル
ト幅方向ＷＤに沿って移動可能なように設置されていて
もよい。このように構成された装置の場合、リニアゲー
ジがベルト幅方向ＷＤに沿って移動することにより測定
ポイントの位置が変化するので、１個のリニアゲージで
ベルト周方向ＲＤに沿って複数の測定ポイントを設定す
ることが出来る。特に、リニアゲージが連続移動可能で
あれば、測定ポンイトを任意の位置に設定することが出
来る。(3) In the case of the embodiment, the digital linear gauge is fixed, but the digital linear gauge may be installed so as to be movable along the belt width direction WD. In the case of the device configured as described above, the position of the measurement point changes as the linear gauge moves along the belt width direction WD. Can be set. In particular, as long as the linear gauge can be continuously moved, the measuring point can be set at an arbitrary position.
【図１】実施例に係るエンドレスベルトの膜厚測定装置
の構成を示す概略構成図FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a configuration of an endless belt film thickness measuring apparatus according to an embodiment.
【図２】ベルト移送機構の構成・動作を示す模式図FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration and operation of a belt transfer mechanism.
【図３】ベルト吊下用のシャフトの水平断面と横断面の
概略構造を示す模式図FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic structure of a horizontal section and a transverse section of a shaft for hanging a belt.
【図４】リニアゲージまわりの構成を示す概略図FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration around a linear gauge.
【図５】リニアゲージとベルト移送機構の待機状態を示
す模式図FIG. 5 is a schematic diagram showing a standby state of a linear gauge and a belt transfer mechanism.
【図６】リニアゲージの零点設定時の状況を示す模式図FIG. 6 is a schematic diagram showing a situation when a zero point of a linear gauge is set.
【図７】シャフトにエンドレスベルトを掛ける時の状況
を示す模式図FIG. 7 is a schematic diagram showing a situation when an endless belt is hung on a shaft.
【図８】リニアゲージによるエンドレスベルトの膜厚測
定時の状況を示す模式図FIG. 8 is a schematic diagram showing a situation when measuring the film thickness of an endless belt using a linear gauge.
【図９】膜厚測定対象のエンドレスベルトを示す斜視図FIG. 9 is a perspective view showing an endless belt whose film thickness is to be measured.
１ エンドレスベルトの膜厚測定装置 ２ ベルト吊下用のシャフト ２Ａ 気体通路用空洞 ２Ｂ 通気孔 ３ リニアゲージ ３Ａ スピンドル ３ａ リフター ４ キャタピラー式ベルト移送機構 ４Ａ キャタピラーベルト ６ 加圧空気配管 ７ コンプレッサ ＥＶ エンドレスベルト ＷＤ ベルト幅方向 ＲＤ ベルト周方向 ＭＰ 測定ポイント Reference Signs List 1 Endless belt film thickness measuring device 2 Belt suspension shaft 2A Gas passage cavity 2B Vent hole 3 Linear gauge 3A Spindle 3a Lifter 4 Caterpillar belt transfer mechanism 4A Caterpillar belt 6 Pressurized air pipe 7 Compressor EV Endless belt WD Belt width direction RD Belt circumferential direction MP Measurement point
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F062 AA27 BB05 BC04 BC80 CC27 CC30 DD26 EE01 EE66 FF13 FF22 GG37 HH05 HH13 MM08 MM13 MM16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2F062 AA27 BB05 BC04 BC80 CC27 CC30 DD26 EE01 EE66 FF13 FF22 GG37 HH05 HH13 MM08 MM13 MM16
Claims (15)
ルト周方向に沿って設定される測定ポイントでの膜厚を
測定する方法であって、長手方向を水平方向に向けて支
持されたベルト吊下用のシャフトに膜厚測定対象のエン
ドレスベルトを掛けて吊り下げると共に、ベルト幅方向
に沿って設定される測定ポイントの膜厚を測定する片面
機械接触式の膜厚測定手段をシャフトと対向する位置へ
配設しておき、膜厚測定手段によりエンドレスベルトを
シャフトの表面に押し当てるようにしてベルト表面側か
ら機械的に接触して膜厚を測定した後、エンドレスベル
トを吊り下げたままでシャフトの表面を滑らせるように
してエンドレスベルトをベルト周方向に移送することに
より別の測定ポイントを測定位置に移動させるようにす
ることを特徴とするエンドレスベルトの膜厚測定方法。1. A method for measuring a film thickness at a measurement point set along a belt width direction and a belt circumferential direction of an endless belt, the method comprising: a belt suspension supporting a longitudinal direction in a horizontal direction. A single-sided mechanical contact type film thickness measuring means for measuring the film thickness at a measurement point set along the belt width direction is suspended at the position facing the shaft while hanging the endless belt of the film thickness measurement object on the shaft of After the endless belt is pressed against the surface of the shaft by the film thickness measuring means and the film thickness is measured by mechanical contact from the belt surface side, the surface of the shaft is kept with the endless belt suspended. And moving the endless belt in the circumferential direction of the belt so as to move another measurement point to the measurement position. Film thickness measuring method of the endless belt.
に、シャフトの表面を膜厚ゼロの点としておこなうこと
を特徴とする請求項１記載のエンドレスベルトの膜厚測
定方法。2. The method for measuring the film thickness of an endless belt according to claim 1, wherein, when measuring the film thickness by the film thickness measuring means, the surface of the shaft is set to a point where the film thickness is zero.
って続きシャフトの表面におけるエンドレスベルト接触
面に通気孔が開口している気体通路用空洞を有する中空
状のシャフトを用いると共に、エンドレスベルトをベル
ト周方向に移送する際はベルトの内面とシャフトの表面
の間に気体通路用空洞の通気孔から気体を供給し、膜厚
を測定する際は通気孔からの気体供給を停止することを
特徴とする請求項１又は請求項２記載のエンドレスベル
トの膜厚測定方法。3. A hollow shaft having a gas passage cavity in which a ventilation hole is opened at a contact surface of an endless belt on a surface of the shaft which continues along the longitudinal direction of the shaft and uses the endless belt as a shaft. When transporting in the circumferential direction, gas is supplied from the air hole of the gas passage cavity between the inner surface of the belt and the surface of the shaft, and gas supply from the air hole is stopped when measuring the film thickness. The method for measuring the film thickness of an endless belt according to claim 1 or 2, wherein:
ルト周方向に沿って設定される測定ポイントでの膜厚を
測定する装置であって、膜厚測定対象のエンドレスベル
トを掛けて吊り下げられるように長手方向を水平方向に
向けて支持されているベルト吊下用のシャフトと、ベル
ト幅方向に沿って設定される測定ポイントでの膜厚をエ
ンドレスベルトをシャフトの表面に押し当てるようにし
てベルト表面側から機械的に接触して測定できるように
シャフトと対向する位置へ配設されている片面機械接触
式の膜厚測定手段と、エンドレスベルトを吊り下げたま
までシャフトの表面を滑らせるようにしてエンドレスベ
ルトをベルト周方向に移送することにより別の測定ポイ
ントを測定位置に移動させるベルト移送手段とを備えて
いることを特徴とするエンドレスベルトの膜厚測定装
置。4. An apparatus for measuring a film thickness at a measurement point set along a belt width direction and a belt circumferential direction of an endless belt, wherein the endless belt whose thickness is to be measured is hung and suspended. A belt for supporting the belt suspended with its longitudinal direction oriented in the horizontal direction, and the film surface at the measurement point set along the belt width direction by pressing the endless belt against the surface of the shaft. One-side mechanical contact type film thickness measuring means arranged at a position facing the shaft so that measurement can be made by mechanical contact from the side, and by sliding the surface of the shaft with the endless belt suspended Belt transfer means for moving another measurement point to the measurement position by transferring the endless belt in the belt circumferential direction, The film thickness measuring device of the endless belt that.
ロの点として膜厚測定をおこなうことを特徴とする請求
項４記載のエンドレスベルトの膜厚測定装置。5. An endless belt film thickness measuring apparatus according to claim 4, wherein the film thickness measuring means measures the film thickness with the surface of the shaft having a point of zero film thickness.
の長手方向に沿って続きシャフト表面におけるエンドレ
スベルト接触面に通気孔が開口している気体通路用空洞
を有する中空状のシャフトを備えているとともに、エン
ドレスベルトをベルト周方向に移送する際にベルトの内
面とシャフト表面の間に気体通路用空洞の通気孔から気
体を供給し、膜厚を測定する際は気体通路用空洞の通気
孔からの気体供給を停止する給気手段を備えていること
を特徴とする請求項４又は請求項５記載のエンドレスベ
ルトの膜厚測定装置。6. A hollow shaft having a gas passage cavity, which extends along the longitudinal direction of the shaft and has an air hole in an endless belt contact surface on the shaft surface, is provided as the shaft for hanging the belt. At the same time, when transferring the endless belt in the belt circumferential direction, gas is supplied from the air hole of the gas passage cavity between the inner surface of the belt and the shaft surface, and when measuring the film thickness, the gas is supplied from the air hole of the gas passage cavity. 6. The endless belt film thickness measuring apparatus according to claim 4, further comprising an air supply means for stopping the gas supply.
ト接触面には、ベルト周方向に沿って気体通路用空洞の
通気孔が複数箇所に開口していることを特徴とする請求
項６記載のエンドレスベルトの膜厚測定装置。7. A gas passage cavity according to claim 6, wherein a plurality of vent holes of a gas passage cavity are formed on the endless belt contact surface of the shaft for hanging the belt along the circumferential direction of the belt. Endless belt film thickness measuring device.
さがＲａ２５μｍ以下であることを特徴とする請求項４
〜７のいずれかに記載のエンドレスベルトの膜厚測定装
置。8. The surface of a shaft for hanging a belt has a surface roughness of 25 μm or less.
An endless belt film thickness measuring apparatus according to any one of claims 1 to 7.
動可能なように設置されていることを特徴とする請求項
４〜８のいずれかに記載のエンドレスベルトの膜厚測定
装置。9. An endless belt film thickness measuring apparatus according to claim 4, wherein said film thickness measuring means is installed so as to be movable along the belt width direction.
せられるスピンドルの進出量に基づき膜厚を検出するリ
ニアゲージであることを特徴とする請求項４〜９のいず
れかに記載のエンドレスベルトの膜厚測定装置。10. The endless belt according to claim 4, wherein the film thickness measuring means is a linear gauge for detecting the film thickness based on the amount of advance of the spindle advanced and retracted by the lifter. Film thickness measuring device.
徴とする請求項１０記載のエンドレスベルトの膜厚測定
装置。11. The apparatus according to claim 10, wherein the lifter is an air lifter.
ト吊下用のシャフトの通気孔に当たらないように配設さ
れていることを特徴とする請求項１０又は請求項１１記
載のエンドレスベルトの膜厚測定装置。12. The film thickness of the endless belt according to claim 10, wherein the spindle of the linear gauge is disposed so that the tip does not contact the ventilation hole of the shaft for hanging the belt. measuring device.
表面に接触した状態のままで移動するキャタピラーベル
トを具備し、キャタピラーベルトの移動に引き連れられ
てエンドレスベルトがベルト周方向に移送されるキャタ
ピラーベルト式ベルト移送手段であることを特徴とする
請求項４〜１２のいずれかに記載のエンドレスベルトの
膜厚測定装置。13. A caterpillar belt type wherein the belt transfer means includes a caterpillar belt that moves while being in contact with the surface of the endless belt, and the endless belt is transferred in the belt circumferential direction by the movement of the caterpillar belt. 13. The apparatus for measuring the film thickness of an endless belt according to claim 4, wherein the apparatus is a belt transfer means.
ベルト周方向に対して任意に設定する位置を測定スター
ト位置（ベルト周方向の最初の測定ポイント）として所
定の周長寸法あるいは所定のベルト外径角度に対応する
間隔でエンドレスベルトをベルト周方向にピッチ送りす
るように配設されていることを特徴とする請求項４〜１
３のいずれかに記載のエンドレスベルトの膜厚測定装
置。14. A predetermined circumferential length or a predetermined belt outer diameter, wherein a position set arbitrarily in the circumferential direction of the endless belt by the belt transfer means is set as a measurement start position (first measuring point in the circumferential direction of the belt). 4. An endless belt is provided so as to be pitch-fed in the circumferential direction of the belt at intervals corresponding to the angle.
3. The endless belt film thickness measuring device according to any one of 3.
て、エンドレスベルトの膜厚測定の動作が可能なように
膜厚測定手段が配設されていることを特徴とする請求項
４〜１４のいずれかに記載のエンドレスベルトの膜厚測
定装置。15. The apparatus according to claim 4, wherein the film thickness measuring means is provided so that the operation of measuring the film thickness of the endless belt can be performed when the driving of the belt transfer means is stopped. 2. The endless belt film thickness measuring device according to 1.
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2001
- 2001-03-28 JP JP2001092699A patent/JP4870273B2/en not_active Expired - Fee Related
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