JP2002267726A - Method of determining level of signal, and device therefor - Google Patents

Method of determining level of signal, and device therefor

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JP2002267726A
JP2002267726A JP2001066569A JP2001066569A JP2002267726A JP 2002267726 A JP2002267726 A JP 2002267726A JP 2001066569 A JP2001066569 A JP 2001066569A JP 2001066569 A JP2001066569 A JP 2001066569A JP 2002267726 A JP2002267726 A JP 2002267726A
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signal
comparator
output
value
level
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Japanese (ja)
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Masahiro Ishibashi
昌宏 石橋
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that a level is determined erroneously when a noise is superposed on a signal. SOLUTION: The signal is compared with a reference value by a comparator to generate a binary signal for expressing a relation between their levels, the binary signal is compared plural times with an expected value within a prescribed period, and the level of the signal is determined as not brought within a prescribed range only when a frequency in which the both values thereof are not consistent is a prescribed frequency or more. Erroneous determination is precluded thereby from being generated even when the noise is superposed on the signal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、信号のレベルを
判定する方法およびその装置に関し、特にIC検査装置
のデジタル機能試験に用いて好適な信号のレベル判定方
法およびその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for judging a signal level, and more particularly to a signal level judging method and an apparatus suitable for use in a digital function test of an IC inspection apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICのデジタル機能試験では、IC検査
装置のピンドライバから被検査素子に駆動クロックやデ
ータなどを与えて、その被検査素子の出力をピンコンパ
レータでIC検査装置に取り込み、期待値と比較してテ
ストを行っている。
2. Description of the Related Art In a digital function test of an IC, a driving clock or data is applied to a device under test from a pin driver of the IC testing device, an output of the device under test is taken into the IC testing device by a pin comparator, and an expected value is obtained. Testing is done in comparison with

【0003】このようなIC検査装置に用いるレベル判
定装置を図3に示す。図3において、被検査素子(DU
T)2の出力はピンコンパレータ31および32に入力
される。ピンコンパレータ31にはまた基準値としてV
OHが入力され、ピンコンパレータ32には基準値とし
てVOLが入力される。
FIG. 3 shows a level determining apparatus used in such an IC inspection apparatus. In FIG. 3, the device under test (DU)
The output of T) 2 is input to pin comparators 31 and 32. The pin comparator 31 also has V
OH is input, and VOL is input to the pin comparator 32 as a reference value.

【0004】ピンコンパレータ31は被検査素子2の出
力が正しくハイレベルの信号であるかを判定するもので
あり、被検査素子2の出力とVOHを比較し、その出力
がVOHより大きいとハイレベルの信号を、小さいとロ
ーレベルの信号を出力する。同様に、ピンコンパレータ
32は被検査素子2の出力が正しくローレベルの信号を
出力しているかを判定するものであり、被検査素子2の
出力とVOLを比較して、その出力がVOLより小さい
とハイレベル信号を出力し、大きいとローレベル信号を
出力する。
A pin comparator 31 determines whether or not the output of the device under test 2 is a high-level signal correctly. The pin comparator 31 compares the output of the device under test 2 with VOH. And a low-level signal when the signal is small. Similarly, the pin comparator 32 determines whether the output of the device under test 2 is correctly outputting a low-level signal. The pin comparator 32 compares the output of the device under test 2 with VOL, and the output is smaller than VOL. And a high level signal is output.

【0005】ピンコンパレータ31の出力はデジタルコ
ンパレータ(CMP)41のIN1端子に入力される。
また、そのIN2端子にはデジタル信号EXHが入力さ
れる。同様に、ピンコンパレータ32の出力はデジタル
コンパレータ(CMP)42のIN1端子に入力され、
デジタル信号EXLがIN2端子に入力される。両方の
デジタルコンパレータ41,42にはストローブ信号
(STRB)も入力される。デジタルコンパレータ4
1,42の出力はオアゲード5に入力され、その出力が
判定結果のFAIL信号になる。
The output of the pin comparator 31 is input to the IN1 terminal of a digital comparator (CMP) 41.
The digital signal EXH is input to the IN2 terminal. Similarly, the output of the pin comparator 32 is input to the IN1 terminal of the digital comparator (CMP) 42,
The digital signal EXL is input to the IN2 terminal. A strobe signal (STRB) is also input to both digital comparators 41 and 42. Digital comparator 4
The outputs of 1, 42 are input to the OR gate 5, and the output becomes a FAIL signal as a determination result.

【0006】デジタルコンパレータ41,42に入力す
るEXH、EXLには期待値を設定する。期待値はテス
ト用のパターンのレート(RATE)毎に記述され、ハ
イレベルのときはH、ローレベルのときはL、中間の値
のときはZで表現される。この期待値H、L、Zを2ビ
ットで表現し、それぞれ(1,0)、(0,1)、
(0,0)の値を取るようにして、その値を(EXH,
EXL)とすると、被測定素子2の出力が期待値に一致
しないと、FAIL信号が高レベルになる。
An expected value is set in EXH and EXL input to the digital comparators 41 and 42. The expected value is described for each rate (RATE) of the test pattern. The expected value is represented by H at a high level, L at a low level, and Z at an intermediate value. The expected values H, L, and Z are represented by 2 bits, and (1, 0), (0, 1),
Take the value of (0,0) and change that value to (EXH,
EXL), if the output of the device under test 2 does not match the expected value, the FAIL signal goes high.

【0007】次に、このレベル判定装置の動作を図4タ
イムチャートに基づいて説明する。図4は上からレート
信号、被測定素子2の出力、ピンコンパレータ31の出
力、同32の出力、期待値、デジタルコンパレータ41
の設定値EXH、同42の設定値EXL、ストローブ信
号、オアゲート5の出力であるFAIL信号である。
Next, the operation of the level determination device will be described with reference to the time chart of FIG. FIG. 4 shows the rate signal, the output of the device under test 2, the output of the pin comparator 31, the output of the pin comparator 32, the expected value, and the digital comparator 41 from the top.
, The set value EXL, the strobe signal, and the FAIL signal output from the OR gate 5.

【0008】レート信号は各レート区間の最初で短時間
ハイレベルになる信号である。また、期待値、EXH、
EXLは各レート毎に設定値が変化する。デジタルコン
パレータ41,42はストローブ信号の立ち上がりで2
つの入力IN1、IN2を比較する。なお、レート信号
に付されている数字はレート番号である。
The rate signal is a signal that goes high for a short time at the beginning of each rate section. The expected value, EXH,
The set value of EXL changes for each rate. The digital comparators 41 and 42 output 2 at the rising edge of the strobe signal.
The two inputs IN1 and IN2 are compared. The number given to the rate signal is a rate number.

【0009】時刻t1、t2ではピンコンパレータ3
1,32の出力が期待値と一致しているので、FAIL
信号はローレベルになる。時刻t3で期待値はHである
がピンコンパレータ31,32の出力はZなので、FA
IL信号はハイレベルになる。時刻t4で再び期待値と
ピンコンパレータ31,32の出力が一致するので、F
AIL信号はローレベルになる。このように、被測定素
子2の出力をレート毎に判定することができる。
At times t1 and t2, the pin comparator 3
Since the outputs of 1, 32 match the expected value, FAIL
The signal goes low. At time t3, the expected value is H, but the outputs of the pin comparators 31 and 32 are Z.
The IL signal goes high. At time t4, the expected value and the outputs of pin comparators 31 and 32 again match, so that F
The AIL signal goes low. Thus, the output of the device under test 2 can be determined for each rate.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな信号のレベル判定装置には、次のような課題があっ
た。
However, such a signal level judging device has the following problems.

【0011】被測定素子2の出力に何らかの原因でノイ
ズが重畳すると、そのレベルを正しく判定する事ができ
ない。図4のレート6で被測定素子2の出力にノイズが
重畳しているために、ピンコンパレータ31の出力がそ
の間ハイレベルになっている。このとき(時刻t5)ス
トローブ信号が立ち上がっているので、ノイズがないと
Zであるはずの出力がHと判定されてFAIL信号がハ
イレベルになっている。このように、ノイズが重畳して
いるときにストローブ信号が立ち上がると、誤判定して
しまうという課題があった。
If noise is superimposed on the output of the device under test 2 for any reason, its level cannot be determined correctly. Since noise is superimposed on the output of the device under test 2 at the rate 6 in FIG. 4, the output of the pin comparator 31 is at a high level during that time. At this time (time t5), since the strobe signal has risen, if there is no noise, the output that should be Z is determined to be H, and the FAIL signal is at the high level. As described above, when the strobe signal rises while the noise is superimposed, there is a problem that an erroneous determination is made.

【0012】また、被測定素子の出力電圧がある範囲に
あることを精度よく判定するためにVOHとVOLを近
い値に設定する場合があるが、このようなときは小さい
ノイズが重畳しても誤判定する可能性が高いという課題
もあった。
Further, in order to accurately determine that the output voltage of the device under test is within a certain range, VOH and VOL may be set to close values. There is also a problem that the possibility of erroneous determination is high.

【0013】さらに、ノイズの影響を受けにくくするた
めにピンコンパレータ31,32の周波数特性を落とす
ことも考えられるが、出力信号の静定に時間がかかり、
IC試験装置に用いた場合にテスト時間が増大してしま
うという課題もあった。
Further, it is conceivable to lower the frequency characteristics of the pin comparators 31 and 32 in order to reduce the influence of noise, but it takes time to stabilize the output signal.
Another problem is that the test time increases when used in an IC test apparatus.

【0014】従って本発明が解決しようとする課題は、
信号にノイズが重畳しても、そのレベルの判定を誤るこ
とがない信号のレベル判定方法およびその装置を提供す
ることにある。
Therefore, the problem to be solved by the present invention is:
It is an object of the present invention to provide a signal level determination method and a signal level determination method that do not make a mistake in determining the level even when noise is superimposed on a signal.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明のうち請求項1記載の発明は、信号の
レベルと基準値とを比較してそれらの大小関係を表す2
値信号を生成し、所定の周期で期待値と2値信号とを比
較してこの信号のレベルを判定する信号のレベル判定方
法であって、所定の周期内に少なくとも2回期待値と2
値信号とを比較し、一致していない回数が予め定められ
た回数以上であるときのみ信号のレベルが所定の基準を
満たしていないと判定するようにしたものである。信号
にノイズが重畳していても、判定を誤ることがない。
In order to solve such a problem, the invention according to claim 1 of the present invention compares a signal level with a reference value and expresses a magnitude relation between the signal level and a reference value.
A signal level determination method for generating a value signal, comparing an expected value with a binary signal in a predetermined cycle, and determining a level of the signal, wherein the expected value and the binary signal are compared at least twice within a predetermined cycle.
The signal level is compared with the value signal, and it is determined that the signal level does not satisfy the predetermined criterion only when the number of mismatches is equal to or greater than a predetermined number. Even if noise is superimposed on the signal, no mistake is made in the determination.

【0016】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、所定の周期内で期待値と2値信号を比較す
る回数または基準を満たしていないと判定する回数のい
ずれかまたは両方を、信号の状況等によって変更するよ
うにしたものである。状況に応じた処理ができる。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, one or both of the number of times the expected value is compared with the binary signal and the number of times that the criterion is not satisfied within a predetermined period are determined. , Etc., depending on the condition of the signal. Processing according to the situation can be performed.

【0017】請求項3記載の発明は、信号と基準値とを
比較してそれらの大小関係を表す2値信号を生成するコ
ンパレータと、このコンパレータの出力と期待値とを比
較するデジタルコンパレータと、このデジタルコンパレ
ータの出力が入力される多数決決定部とを具備し、この
デジタルコンパレータによって期待値とコンパレータの
出力を予め定められた時間内で少なくとも2回比較し、
多数決決定部はこの比較結果が一致していない回数と予
め定められた値を比較して、前記一致していない回数の
方が大きいときのみ、信号が所定の基準を満たしていな
いと判定するようにしたものである。信号にノイズが重
畳しても、判定を誤ることがない。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a comparator for comparing a signal with a reference value to generate a binary signal representing a magnitude relationship between the signal and the reference value, a digital comparator for comparing an output of the comparator with an expected value, A majority decision determiner to which the output of the digital comparator is input, the digital comparator compares the expected value with the output of the comparator at least twice within a predetermined time,
The majority decision unit compares the number of times that the comparison result does not match with a predetermined value, and determines that the signal does not satisfy the predetermined criterion only when the number of times that the match does not match is greater. It was made. Even if noise is superimposed on the signal, the determination is not erroneous.

【0018】請求項4記載の発明は、請求項3記載の発
明において、予め定められた時間内で期待値とコンパレ
ータの出力を比較する回数または一致していないと判定
する値のいずれかまたは両方を、信号の状況等によって
変更するようにしたものである。状況に応じた処理を行
うことができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, one or both of the number of times the expected value is compared with the output of the comparator within a predetermined time and / or the value determined to be non-matching Is changed according to the state of the signal or the like. Processing according to the situation can be performed.

【0019】請求項5記載の発明は、請求項3または請
求項4記載の発明において、多数決決定部は、期待値と
コンパレータの出力が一致していない回数をカウントす
るカウンタと、このカウンタのカウント値と予め定めら
れた値とを比較してその比較結果を出力するデジタルコ
ンパレータとで構成するようにしたものである。簡単な
構成で多数決決定部を構成できる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the third or fourth aspect, the majority decision unit includes a counter for counting the number of times the expected value and the output of the comparator do not match, and a count of this counter. A digital comparator that compares the value with a predetermined value and outputs the result of the comparison is configured. The majority decision unit can be configured with a simple configuration.

【0020】請求項6記載の発明は、請求項3ないし請
求項5記載の発明において、信号と基準値を比較するコ
ンパレータおよびこのコンパレータの出力と期待値とを
比較するデジタルコンパレータを各2個以上用い、前記
信号の3つ以上のレベルを判定するようにしたものであ
る。複雑なレベル判定を行うことができる。
According to a sixth aspect of the present invention, in accordance with the third to fifth aspects of the present invention, there are provided at least two comparators each for comparing a signal with a reference value and a digital comparator for comparing an output of the comparator with an expected value. Used to determine three or more levels of the signal. Complex level determination can be performed.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下に、図に基づいて本発明を詳
細に説明する。図1は本発明に係るデジタル信号のレベ
ル判定装置の一実施例を示す構成図である。なお、図3
と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。図1
において、1は多数決決定部であり、アンドゲート1
1,mビットのアップカウンタ12,mビットのデジタ
ルコンパレータ13で構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of a digital signal level determining apparatus according to the present invention. Note that FIG.
The same elements as those described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. Figure 1
In the above, 1 is a majority decision unit, and AND gate 1
It comprises a 1, m-bit up counter 12 and an m-bit digital comparator 13.

【0022】アンドゲート11にはオアゲート5の出力
およびストローブ1信号(STRB1)が入力される。
このアンドゲート11の出力はアップカウンタ12のク
ロック入力端子に入力される。また、アップカウンタ1
2のリセット入力端子(RESET)には、レート信号
(RATE)が入力され、アップカウンタ12はレート
区間の最初でリセットされる。
The output of the OR gate 5 and the strobe 1 signal (STRB1) are input to the AND gate 11.
The output of the AND gate 11 is input to the clock input terminal of the up counter 12. Up counter 1
2, a rate signal (RATE) is input to the reset input terminal (RESET), and the up counter 12 is reset at the beginning of the rate section.

【0023】アップカウンタ12のmビットのカウント
出力Qmはデジタルコンパレータ13の一方の入力端子
Amに入力され、他方の入力端子BmにはmビットのN
FAILが入力される。また、レート信号がデジタルコ
ンパレータ13のクロック端子に入力される。デジタル
コンパレータ13はクロック端子に入力されたレート信
号の立ち上がりでアップカウンタ12の出力とNFAI
Lを比較し、FAIL1信号として出力する。FAIL
1信号は、アップカウンタ12の出力QmがNFAIL
より大きいとハイレベルになる信号である。
The m-bit count output Qm of the up counter 12 is input to one input terminal Am of the digital comparator 13 and the other input terminal Bm is connected to the m-bit N output terminal.
FAIL is input. Further, the rate signal is input to the clock terminal of the digital comparator 13. The digital comparator 13 outputs the output of the up counter 12 and the NFAI at the rising of the rate signal input to the clock terminal.
L is compared and output as a FAIL1 signal. FAIL
One signal is that the output Qm of the up counter 12 is NFAIL
This is a signal that goes high when it is larger.

【0024】次に、この実施例の動作を図2タイムチャ
ートに基づいて説明する。なお、図4と同じ要素には同
一符号を付し、説明を省略する。ストローブ1信号(S
TRB1)は各レート区間で複数周期(図2では5周
期)変化するパルス信号である。デジタルコンパレータ
41,42はこのストローブ1信号の立ち上がりで2つ
の入力IN1、IN2を比較する。すなわち、1つのレ
ート区間で複数回IN1,IN2の比較を行う。なお、
NFAILは3に固定されているとする。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the time chart of FIG. The same elements as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. Strobe 1 signal (S
TRB1) is a pulse signal that changes for a plurality of periods (five periods in FIG. 2) in each rate section. The digital comparators 41 and 42 compare the two inputs IN1 and IN2 at the rise of the strobe 1 signal. That is, IN1 and IN2 are compared a plurality of times in one rate section. In addition,
It is assumed that NFAIL is fixed at 3.

【0025】オアゲート5の出力は、前述したように期
待値とピンコンパレータ31,32の出力が一致すると
ローレベルに、一致しないとハイレベルになる。レート
区間1〜3では期待値とピンコンパレータ31,32の
出力が一致しているのでオアゲート5の出力がローレベ
ルになり、アンドゲート11の出力もローレベルのまま
である。従って、アップカウンタ12の出力Qmは0に
なり、デジタルコンパレータ13の出力であるFAIL
1信号もローレベルになり、期待値と被測定素子2の出
力が一致していると判定される。
As described above, the output of the OR gate 5 goes low when the expected value and the output of the pin comparators 31 and 32 match, and goes high when they do not match. In the rate sections 1 to 3, the expected value and the outputs of the pin comparators 31 and 32 match, so the output of the OR gate 5 becomes low level, and the output of the AND gate 11 also remains at low level. Accordingly, the output Qm of the up counter 12 becomes 0, and the output FAIL
One signal also becomes low level, and it is determined that the expected value matches the output of the device under test 2.

【0026】レート区間4では期待値とピンコンパレー
タ31,32の出力が一致せず、オアゲート5の出力は
ハイレベルになる。そのため、アンドゲート11はスト
ローブ1信号を通過させる。アップカウンタ12はこの
信号をカウントし、このレート区間の最後でその出力Q
mは5になる。デジタルコンパレータ13はこのカウン
ト値5とNFAILの3を比較して、その出力FAIL
1をハイレベルにする。すなわち、期待値と被測定素子
2の出力が一致していないと判定される。
In the rate section 4, the expected value does not match the output of the pin comparators 31 and 32, and the output of the OR gate 5 becomes high level. Therefore, the AND gate 11 passes the strobe 1 signal. The up counter 12 counts this signal, and at the end of this rate interval its output Q
m becomes 5. The digital comparator 13 compares the count value 5 with NFAIL 3 and outputs the output FAIL
Set 1 to high level. That is, it is determined that the expected value and the output of the device under test 2 do not match.

【0027】レート区間6で、被測定素子2の出力にノ
イズが重畳しており、ピンコンパレータ31の出力はノ
イズが重畳している期間だけハイレベルになる。そのた
め、その期間だけ期待値と被測定素子2の出力が一致せ
ずオアゲート5の出力はハイレベルになり、アンドゲー
ト11はストローブ1信号を通過させる。
In the rate section 6, noise is superimposed on the output of the device under test 2, and the output of the pin comparator 31 is at a high level only during the period in which the noise is superimposed. Therefore, the expected value and the output of the device under test 2 do not match for that period, the output of the OR gate 5 becomes high level, and the AND gate 11 passes the strobe 1 signal.

【0028】図2ではこの期間はストローブ1信号の1
周期程度であり、アップカウンタ12のカウント値Qm
は1に止まる。この値はNFAILの3より小さいので
デジタルコンパレータ13の出力FAIL1はローレベ
ルになる。すなわち、被測定素子2の出力にノイズが重
畳しても、判定を誤ることはない。
In FIG. 2, during this period, 1 of strobe 1 signal is used.
About the cycle, and the count value Qm of the up counter 12
Stops at 1. Since this value is smaller than 3 of NFAIL, the output FAIL1 of the digital comparator 13 becomes low level. That is, even if noise is superimposed on the output of the device under test 2, the determination is not erroneous.

【0029】なお、この実施例では2つのピンコンパレ
ータを用いてH、L、Zの3種類の判定を行うように構
成したが、1つのピンコンパレータを用いてH、Lの判
定のみを行うように構成してもよい。
In this embodiment, three types of judgments of H, L and Z are made by using two pin comparators. However, only judgment of H and L is made by using one pin comparator. May be configured.

【0030】また、1レート区間内でのストローブ1信
号のパルス数を5としたが、この値に限られることはな
く、任意の値にしてもよい。また、NFAILの値も、
3だけでなく他の値を設定してもよい。さらに、構成を
工夫することにより、レート区間毎にNFAILの値や
ストローブ1信号のパルス数を変化させることもでき
る。
Although the number of pulses of one strobe signal in one rate section is set to 5, it is not limited to this value and may be set to an arbitrary value. Also, the value of NFAIL is
Other values than 3 may be set. Furthermore, by devising the configuration, the value of NFAIL and the number of pulses of the strobe 1 signal can be changed for each rate section.

【0031】さらに、この実施例では多数決決定回路1
をアンドゲートとアップカウンタ、デジタルコンパレー
タで構成したが、他の構成であってもよい。
Further, in this embodiment, the majority decision circuit 1
Is composed of an AND gate, an up counter, and a digital comparator, but other configurations may be used.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば、次の効果が期待できる。請求項1記載
の発明は、信号のレベルと基準値とを比較してそれらの
大小関係を表す2値信号を生成し、所定の周期で期待値
と2値信号とを比較してこの信号のレベルを判定する信
号のレベル判定方法であって、所定の周期内に少なくと
も2回期待値と2値信号とを比較し、一致していない回
数が予め定められた回数以上であるときのみ信号のレベ
ルが所定の基準を満たしていないと判定するようにし
た。
As is apparent from the above description,
According to the present invention, the following effects can be expected. According to the first aspect of the present invention, the signal level is compared with a reference value to generate a binary signal representing the magnitude relationship between the signal and the expected value and the binary signal at a predetermined cycle. A level determination method for a signal for determining a level, wherein an expected value and a binary signal are compared at least twice within a predetermined period, and only when the number of mismatches is equal to or greater than a predetermined number, It was determined that the level did not meet the predetermined criteria.

【0033】信号にノイズが重畳していても、正確なレ
ベル判定を行うことができるという効果がある。また、
コンパレータの周波数特性を制限する必要がなくなるの
で、IC検査装置に用いた場合でも検査時間が長くなる
ことがないという効果もある。
Even if noise is superimposed on the signal, there is an effect that accurate level determination can be performed. Also,
Since there is no need to limit the frequency characteristics of the comparator, there is also an effect that the inspection time does not become long even when used in an IC inspection device.

【0034】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、所定の周期内で期待値と2値信号を比較す
る回数または基準を満たしていないと判定する回数のい
ずれかまたは両方を、信号の状況等によって変更するよ
うにした。ノイズの状況や信号の状況に応じて、最適な
処理を行うことができるという効果がある。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, one or both of the number of times that the expected value is compared with the binary signal and the number of times that the criterion is not satisfied within a predetermined period are determined. , Depending on the signal conditions, etc. There is an effect that optimal processing can be performed according to the state of noise or the state of a signal.

【0035】請求項3記載の発明は、信号と基準値とを
比較してそれらの大小関係表す2値信号を生成するコン
パレータと、このコンパレータの出力と期待値とを比較
するデジタルコンパレータと、このデジタルコンパレー
タの出力が入力される多数決決定部とを具備し、このデ
ジタルコンパレータによって期待値とコンパレータの出
力を予め定められた時間内で少なくとも2回比較し、多
数決決定部はこの比較結果が一致していない回数と予め
定められた値を比較して、前記一致していない回数の方
が大きいときのみ、信号が所定の基準を満たしていない
と判定するようにした。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a comparator for comparing a signal with a reference value to generate a binary signal representing a magnitude relationship between the signal and the reference value, a digital comparator for comparing an output of the comparator with an expected value, A majority decision determiner to which the output of the digital comparator is input, the digital comparator compares the expected value with the output of the comparator at least twice within a predetermined time, and the majority decision determiner determines that the comparison result matches The number of times of non-coincidence is compared with a predetermined value, and only when the number of times of non-coincidence is greater, it is determined that the signal does not satisfy a predetermined criterion.

【0036】信号にノイズが重畳していても、正確なレ
ベル判定を行うことができるという効果がある。また、
コンパレータの周波数特性を制限する必要がなくなるの
で、IC検査装置に用いた場合でも検査時間が長くなる
ことがないという効果もある。
There is an effect that accurate level determination can be performed even if noise is superimposed on a signal. Also,
Since there is no need to limit the frequency characteristics of the comparator, there is also an effect that the inspection time does not become long even when used in an IC inspection device.

【0037】請求項4記載の発明は、請求項3記載の発
明において、予め定められた時間内で期待値とコンパレ
ータの出力を比較する回数または一致していないと判定
する値のいずれかまたは両方を、信号の状況等によって
変更するようにした。ノイズの状況や信号の状況に応じ
て、最適な処理を行うことができるという効果がある。
According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, one or both of the number of times the expected value is compared with the output of the comparator within a predetermined time and / or the value determined to be not the same. Is changed according to the condition of the signal and the like. There is an effect that optimal processing can be performed according to the state of noise or the state of a signal.

【0038】請求項5記載の発明は、請求項3または請
求項4記載の発明において、多数決決定部は、期待値と
コンパレータの出力が一致していない回数をカウントす
るカウンタと、このカウンタのカウント値と予め定めら
れた値とを比較してその比較結果を出力するデジタルコ
ンパレータとで構成するようにした。簡単な構成で多数
決決定部を構成できるという効果がある。
According to a fifth aspect of the present invention, in the third or fourth aspect of the present invention, the majority decision determiner includes a counter for counting the number of times the expected value does not match the output of the comparator, and a count of this counter. It is constituted by a digital comparator which compares a value with a predetermined value and outputs the comparison result. There is an effect that the majority decision unit can be configured with a simple configuration.

【0039】請求項6記載の発明は、請求項3ないし請
求項5記載の発明において、信号と基準値を比較するコ
ンパレータおよびこのコンパレータの出力と期待値とを
比較するデジタルコンパレータを各2個以上用い、信号
の3つ以上のレベルを判定するようにした。複雑なレベ
ル判定を行うことができるという効果がある。
According to a sixth aspect of the present invention, in the third to fifth aspects of the present invention, at least two comparators for comparing a signal with a reference value and two or more digital comparators for comparing an output of the comparator with an expected value are provided. Used to determine three or more levels of the signal. There is an effect that a complicated level determination can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の動作を表すタイムチャート
である。
FIG. 2 is a time chart showing the operation of one embodiment of the present invention.

【図3】従来の信号のレベル判定装置の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional signal level determination device.

【図4】従来の信号のレベル判定装置の動作を表すタイ
ムチャートである。
FIG. 4 is a time chart showing the operation of a conventional signal level determination device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 多数決決定部 11 アンドゲート 12 アップカウンタ 13 デジタルコンパレータ 2 被測定素子 31,32 ピンコンパレータ 41,42 デジタルコンパレータ VOH、VOL 基準値 EXH、EXL 期待値 STRB1 ストローブ1信号 Reference Signs List 1 majority decision unit 11 AND gate 12 up counter 13 digital comparator 2 device under test 31, 32 pin comparator 41, 42 digital comparator VOH, VOL reference value EXH, EXL expected value STRB1 strobe 1 signal

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】信号のレベルと基準値とを比較してそれら
の大小関係に関連する2値信号を生成し、所定の周期で
期待値と前記2値信号とを比較して、この信号のレベル
を判定する信号のレベル判定方法において、前記所定の
周期内に少なくとも2回前記期待値と前記2値信号とを
比較し、一致していない回数が予め定められた回数以上
であるときのみ前記信号のレベルが所定の基準を満たし
ていないと判定するようにしたことを特徴とする信号の
レベル判定方法。
1. A method for comparing a level of a signal with a reference value to generate a binary signal related to a magnitude relation between the signal and a predetermined value, comparing an expected value with the binary signal at a predetermined period, and In the signal level determination method for determining a level, the expected value and the binary signal are compared at least twice within the predetermined period, and only when the number of mismatches is equal to or greater than a predetermined number of times, A method for determining a signal level, wherein the signal level does not satisfy a predetermined criterion.
【請求項2】所定の周期内で期待値と2値信号を比較す
る回数または基準を満たしていないと判定する回数を状
況によって変更するようにしたことを特徴とする請求項
1記載の信号のレベル判定方法。
2. The method according to claim 1, wherein the number of times the expected value is compared with the binary signal within a predetermined period or the number of times that the criterion is not satisfied is changed depending on the situation. Level judgment method.
【請求項3】信号と基準値とを比較してそれらの大小関
係に関連する2値信号を生成するコンパレータと、この
コンパレータの出力と期待値とを比較するデジタルコン
パレータと、このデジタルコンパレータの出力が入力さ
れる多数決決定部とを有し、前記デジタルコンパレータ
によって前記期待値と前記コンパレータの出力を予め定
められた時間内で少なくとも2回比較し、前記多数決決
定部はこの比較結果が一致していない回数と予め定めら
れた値を比較して、前記一致していない回数の方が大き
いときのみ、前記信号が所定の基準を満たしていないと
判定するようにしたことを特徴とする信号のレベル判定
装置。
3. A comparator for comparing a signal with a reference value to generate a binary signal related to a magnitude relationship between them, a digital comparator for comparing an output of the comparator with an expected value, and an output of the digital comparator. And a majority decision unit to which the expected value and the output of the comparator are compared at least twice within a predetermined time by the digital comparator. Comparing the number of non-matching times with a predetermined value, and determining that the signal does not satisfy a predetermined criterion only when the number of non-matching times is larger than the predetermined number. Judgment device.
【請求項4】予め定められた時間内で期待値とコンパレ
ータの出力を比較する回数または一致していないと判定
する値を状況によって変更するようにしたことを特徴と
する請求項3記載の信号のレベル判定装置。
4. The signal according to claim 3, wherein the number of times the expected value is compared with the output of the comparator within a predetermined time or the value determined to be inconsistent is changed depending on the situation. Level determination device.
【請求項5】多数決決定部は、期待値とコンパレータの
出力が一致していない回数をカウントするカウンタと、
このカウンタのカウント値と予め定められた値とを比較
してその比較結果を出力するデジタルコンパレータとで
構成されることを特徴とする請求項3または請求項4記
載の信号のレベル判定装置。
5. A majority decision unit, comprising: a counter for counting the number of times the expected value and the output of the comparator do not match;
5. The signal level judging device according to claim 3, further comprising a digital comparator for comparing a count value of the counter with a predetermined value and outputting a result of the comparison.
【請求項6】信号と基準値を比較するコンパレータおよ
びこのコンパレータの出力と期待値とを比較するデジタ
ルコンパレータを各2個以上用い、前記信号の3つ以上
のレベルを判定するようにしたことを特徴とする請求項
3ないし請求項5記載の信号のレベル判定装置。
6. A method for judging three or more levels of a signal by using two or more comparators each for comparing a signal with a reference value and a digital comparator for comparing an output of the comparator with an expected value. The signal level judging device according to claim 3, wherein
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125844A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Hioki Ee Corp Measuring instrument
JP2011232031A (en) * 2010-04-23 2011-11-17 Renesas Electronics Corp Self-diagnosis system and inspection circuit determination method

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