JP2591849B2 - Test circuit - Google Patents

Test circuit

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、高速ディジタル回路等の動作速度の試験を
行うのに好適のテスト回路に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test circuit suitable for testing the operation speed of a high-speed digital circuit or the like.

[従来の技術] 従来、半導体集積回路の動作速度の試験は、一般的に
は汎用テスタを使用して行われていた。
[Prior Art] Conventionally, a test of an operation speed of a semiconductor integrated circuit is generally performed using a general-purpose tester.

第5図は、従来の半導体集積回路の試験方法を説明す
るためのブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram for explaining a conventional method for testing a semiconductor integrated circuit.

即ち、試験サンプルである半導体集積回路70に内蔵さ
れた論理回路71の試験を行う場合、従来は、データ入力
端子72及びクロック入力端子73に、夫々汎用テスタのパ
ターンジェネレータからのテスト用データとクロックCK
とを供給し、データ出力端子74から出力される出力デー
タD0を汎用テスタのパターンアナライザに供給するよう
にしている。そして、パターンアナライザに用意された
期待値パターンと実際に得られた出力データD0との比較
を行うことにより、試験サンプルの良否を判定するよう
にしている。
That is, when testing a logic circuit 71 built in a semiconductor integrated circuit 70, which is a test sample, conventionally, a test data and a clock from a pattern generator of a general-purpose tester are applied to a data input terminal 72 and a clock input terminal 73, respectively. CK
Supplying the door, and the output data D 0 output from the data output terminal 74 is supplied to the pattern analyzer universal tester. Then, by comparing the output data D 0, which is actually obtained with the expected value pattern provided in the pattern analyzer, so that to determine the acceptability of the test sample.

[発明が解決しようとする課題] ところで、一般に汎用テスタは、その汎用性のため、
共通のテストボードを使用し、しかも複数の測定系を切
り替えるための補助回路等を含むので、その端子に寄生
する負荷インピダンスは、試験サンプルの通常の使用条
件と比較すると、極めて重負荷となる。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, general-purpose testers are generally
Since a common test board is used and an auxiliary circuit or the like for switching a plurality of measurement systems is included, the load impedance parasitic on its terminal becomes extremely heavy as compared with a normal use condition of a test sample.

このため、特に、クロック入力端子73に高速なクロッ
ク信号CKを入力した場合、汎用テスタのパターンジェネ
レータ自体は十分なドライブ能力を有するため、データ
入力端子72及びクロック入力端子73には、正しい波形が
入力されるが、出力端子74から出力される波形は、論理
回路71が出力端子74に寄生する負荷75を十分に駆動する
能力を持たないため、第6図に示すように、3角波のよ
うななまった波形となってしまう。
For this reason, in particular, when a high-speed clock signal CK is input to the clock input terminal 73, the pattern waveform of the general-purpose tester itself has a sufficient driving capability, so that the data input terminal 72 and the clock input terminal 73 have correct waveforms. The waveform output from the output terminal 74 is input but the logic circuit 71 does not have sufficient ability to drive the load 75 parasitic on the output terminal 74, and as shown in FIG. The result is a dull waveform.

従って、従来の汎用テスタのパターンアナライザを使
用した方法では、正しい判定結果が得られないという問
題点がある。また、特に論理回路71の動作速度のテスト
を行う場合、負荷75の影響が大きすぎて、正しいテスト
結果を得ることができないという問題点がある。
Therefore, the conventional method using a pattern analyzer of a general-purpose tester has a problem that a correct determination result cannot be obtained. In addition, when the operation speed of the logic circuit 71 is tested, there is a problem in that the influence of the load 75 is too large to obtain a correct test result.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであっ
て、汎用テスタを使用した場合でも、半導体集積回路の
動作速度の試験を正しく行うことが可能なテスト回路を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a test circuit that can correctly test the operation speed of a semiconductor integrated circuit even when a general-purpose tester is used.

[課題を解決するための手段] 本発明に係るテスト回路は、半導体集積回路の内部に
試験すべき論理回路と併設されたテスト回路であって、
クロック信号を分周する分周手段と、この分周手段の出
力を前記試験すべき論理回路のゲート段数等に対応した
遅延時間だけ遅延させる遅延回路と、この遅延回路の出
力と前記分周手段の出力との排他的論理を出力するゲー
ト回路と、このゲート回路の出力を前記クロック信号に
同期してラッチするフリップフロップとを有することを
特徴とする。
[Means for Solving the Problems] A test circuit according to the present invention is a test circuit provided together with a logic circuit to be tested inside a semiconductor integrated circuit,
Frequency dividing means for dividing a clock signal, a delay circuit for delaying an output of the frequency dividing means by a delay time corresponding to the number of gate stages of the logic circuit to be tested, and an output of the delay circuit and the frequency dividing means And a flip-flop for latching the output of the gate circuit in synchronization with the clock signal.

[作用] 本発明によれば、クロック信号を分周手段に供給する
ことによって、分周手段からクロック信号の例えば立ち
上がりタイミングで反転する分周出力が得られる。この
分周出力は、試験すべき論理回路のゲート段数等に対応
した遅延特性を有する遅延回路で遅延される。そして、
この遅延出力と前記分周出力との排他的論理がゲート回
路によって求められるので、ゲート回路からは、上記遅
延時間に対応したパルス幅の信号を得ることができる。
そして、この信号をクロック信号の例えば立ち下がりタ
イミング等によってラッチすることにより、上記遅延時
間がクロック周期の1/2よりも長いか短いかによって固
定的に定まる論理値を得ることができる。
[Operation] According to the present invention, by supplying the clock signal to the frequency dividing means, a frequency-divided output which is inverted at the rising timing of the clock signal is obtained from the frequency dividing means. This divided output is delayed by a delay circuit having a delay characteristic corresponding to the number of gate stages of the logic circuit to be tested. And
Since the exclusive logic of the delay output and the divided output is obtained by the gate circuit, a signal having a pulse width corresponding to the delay time can be obtained from the gate circuit.
By latching this signal at the falling timing of the clock signal, for example, it is possible to obtain a logical value that is fixedly determined depending on whether the delay time is longer or shorter than 1/2 of the clock cycle.

本発明によれば、試験対象の遅延量を固定的な論理レ
ベルによって判定することができるので、出力端子に寄
生する負荷インピダンスの影響を受けずに正しい判定結
果を得ることができる。
According to the present invention, the delay amount to be tested can be determined based on a fixed logic level, so that a correct determination result can be obtained without being affected by the load impedance parasitic on the output terminal.

[実施例] 以下、添付の図面に基づいて本発明の実施例について
説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明の実施例に係るテスト回路の構成を示
すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a test circuit according to an embodiment of the present invention.

このテスト回路1は、第3図に示すように、半導体集
積回路10内に、試験すべき論理回路11に併設されるもの
で、次のように構成されている。
As shown in FIG. 3, the test circuit 1 is provided in a semiconductor integrated circuit 10 together with a logic circuit 11 to be tested, and has the following configuration.

即ち、入力端子2からは、図示しない汎用テスタのパ
ターンジェネレータからのクロック信号CKが入力されて
おり、このクロック信号CKはT型フリップフロップ3に
入力されている。T型フリップフロップ3は分周手段を
構成するもので、クロック信号CKの立ち上がりに同期し
てその出力レベルを反転させるものとなっている。T型
フリップフロップ3の出力信号Aは、遅延回路4で所定
時間遅延されるようになっている。そして、この遅延回
路4からの出力信号Bと上記出力信号Aとが排他的論理
和(以下、EX−ORと呼ぶ)ゲート5に入力され、両者の
排他的論理和がとられるようになっている。EX−ORゲー
ト5からの出力信号Cは、D型フリップフロップ6のデ
ータ端子に入力されている。D型フリップフロップ6の
クロック入力端子には、入力端子2から入力されるクロ
ック信号CKが供給されている。D型フリップフロップ6
は、出力信号Cをクロック信号CKの立ち下がりのタイミ
ングでラッチして、その出力をテスト出力信号OTとし
て、出力端子7から出力する。
That is, a clock signal CK from a pattern generator of a general-purpose tester (not shown) is input from the input terminal 2, and the clock signal CK is input to the T-type flip-flop 3. The T-type flip-flop 3 constitutes frequency dividing means, and inverts its output level in synchronization with the rise of the clock signal CK. The output signal A of the T-type flip-flop 3 is delayed by the delay circuit 4 for a predetermined time. Then, the output signal B from the delay circuit 4 and the output signal A are input to an exclusive OR (hereinafter, referred to as EX-OR) gate 5, and the exclusive OR of both is obtained. I have. The output signal C from the EX-OR gate 5 is input to the data terminal of the D-type flip-flop 6. The clock signal input from the input terminal 2 is supplied to the clock input terminal of the D-type flip-flop 6. D-type flip-flop 6
The output signal C is latched at the timing of the falling edge of the clock signal CK, the output as a test output signal O T, and outputs from an output terminal 7.

次に、上記のように構成された本実施例に係るテスト
回路1の動作を説明する。
Next, the operation of the test circuit 1 according to the present embodiment configured as described above will be described.

第2図は、このテスト回路1の動作を示すタイミング
図である。
FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the test circuit 1.

クロック信号CKが入力端子2に入力されると、T型フ
リップフロップ3はクロック信号CKを1/2分周して出力
信号Aを出力する。この出力信号Aは、遅延回路4で所
定時間遅延されるので、遅延回路4からは、図示のよう
に出力信号Aを遅延させた出力信号Bが出力される。こ
れらの出力信号A,BがEX−ORゲート5に供給されると、E
X−ORゲート4からは、両信号のレベルが異なる期間だ
けハイレベルとなる出力信号Cが出力される。この出力
信号Cは、D型フリップフロップ6において、クロック
信号CKの立ち下がりのタイミングでラッチされる。
When the clock signal CK is input to the input terminal 2, the T-type flip-flop 3 divides the frequency of the clock signal CK by 1/2 and outputs an output signal A. Since the output signal A is delayed by the delay circuit 4 for a predetermined time, the delay circuit 4 outputs an output signal B obtained by delaying the output signal A as illustrated. When these output signals A and B are supplied to the EX-OR gate 5, E
The X-OR gate 4 outputs an output signal C which becomes high only during a period when the levels of both signals are different. This output signal C is latched by the D-type flip-flop 6 at the falling timing of the clock signal CK.

ここで、クロック信号CKの立ち上がりから、遅延出力
信号Cの立ち下がりまでの遅延時間をTd、クロック信号
CKの周期をT、同じくデューディ比を50%とすると、第
2図(a)に示すような、Td<T/2の条件下では、クロ
ック信号CKが立ち下がる以前にEX−ORゲート5の出力信
号Cが立ち下がるので、D型フリップフロップ6は、常
に出力信号Cのローレベル期間をラッチする。このた
め、テスト出力信号OTはローレベルに固定されることに
なる。
Here, the delay time from the rise of the clock signal CK to the fall of the delay output signal C is T d ,
Assuming that the cycle of CK is T and the duty ratio is 50%, under the condition of T d <T / 2, as shown in FIG. 2A, the EX-OR gate 5 before the clock signal CK falls. , The D-type flip-flop 6 always latches the low level period of the output signal C. Thus, the test output signal O T will be fixed to a low level.

一方、第2図(d)に示すように、Td≧T/2の条件下
では、クロック信号CKが立ち下がる時点でEX−ORゲート
5の出力信号Cはまだ立ち下がっていないので、D型フ
リップフロップ6は、常に出力信号Cのハイレベル期間
をラッチする。このため、テスト出力信号OTはハイレベ
ルに固定されることになる。
On the other hand, as shown in FIG. 2 (d), under the condition of T d ≧ T / 2, the output signal C of the EX-OR gate 5 has not yet fallen at the time when the clock signal CK falls. The type flip-flop 6 always latches the high level period of the output signal C. Thus, the test output signal O T will be fixed to a high level.

ところで、T型フリップフロップ3と遅延回路4とに
よる遅延時間Tdは、試験サンプルによって固定であるか
ら、クロック周期Tを一定としてテストを行うことによ
って、前述した第1の状態(Td<T/2)と、第2の状態
(Td≧T/2)のいずれの状態であるかを、出力端子7の
レベルによって判定することができる。
By the way, the delay time Td by the T-type flip-flop 3 and the delay circuit 4 is fixed depending on the test sample. Therefore, by performing the test while keeping the clock cycle T constant, the first state ( Td < Td) can be obtained. / 2) or the second state (T d ≧ T / 2) can be determined based on the level of the output terminal 7.

第3図は、上述したテスト回路1を実際の半導体集積
回路10に内蔵した例を示すブロック図である。半導体集
積回路10の内部のテスト対象となる論理回路11には、デ
ータ入力端子12からテスト用のデータが入力されるよう
になっている。また、論理回路11から出力される出力デ
ータは、データ出力端子14を介して外部に出力されるも
のとなっている。一方、クロック入力端子13を介して外
部から入力されるクロック信号CKは、論理回路11のクロ
ック入力端子に入力されると共に、テスト回路1にも入
力されている。テスト回路1から出力されるテスト出力
信号OTは、テスト出力端子15を介して外部に出力される
ものとなっている。
FIG. 3 is a block diagram showing an example in which the above-described test circuit 1 is built in an actual semiconductor integrated circuit 10. Test data is input from a data input terminal 12 to a logic circuit 11 to be tested inside the semiconductor integrated circuit 10. Output data output from the logic circuit 11 is output to the outside via the data output terminal 14. On the other hand, the clock signal CK input from the outside via the clock input terminal 13 is input to the clock input terminal of the logic circuit 11 and is also input to the test circuit 1. Test output signal O T output from the test circuit 1 has a what is output to the outside via the test output terminal 15.

このように構成された半導体集積回路10の汎用テスト
でテストする場合、クロック入力端子13にデューティ比
50%、周期Tのクロック信号CKを供給する。そして、テ
スト出力端子15のレベルを判定し、ローレベルであれば
上記第1の状態、ハイレベルであれば上記第2の状態で
あると判定することができる。
When performing a general-purpose test of the semiconductor integrated circuit 10 configured as described above, the duty ratio is input to the clock input terminal 13.
A clock signal CK having a period T of 50% is supplied. Then, the level of the test output terminal 15 is determined. If the level is low, the first state can be determined, and if the level is high, the second state can be determined.

このとき、出力端子14,15には、夫々汎用テスタによ
る高インピダンスの負荷16,17が寄生するが、テスト出
力端子15自体の出力はローレベル又はハイレベルに固定
されるので、これに影響されることなく判定を行うこと
ができる。
At this time, high impedance loads 16 and 17 by the general-purpose tester are parasitic on the output terminals 14 and 15, respectively.However, the output of the test output terminal 15 itself is fixed at a low level or a high level, and is affected by this. The determination can be made without any need.

次に、第4図を参照して、遅延回路4の具体的な構成
例について説明する。
Next, a specific configuration example of the delay circuit 4 will be described with reference to FIG.

第4図(a)は、第3図の論理回路11の中に含まれる
クリティカルパスを示すブロック図である。即ち、D型
フリップフロップ20,22の間に構成された論理回路21
は、能動素子31,34,37,40及びそれに寄生する多くの受
動素子32,33,35,36,38,39で構成されている。そして、
フリップフロップ20から論理回路21を介してフリップフ
ロップ22に至るまでがクリティカルパスを構成してお
り、これによって論理回路11全体の動作スピードが決定
されているものとする。
FIG. 4A is a block diagram showing a critical path included in the logic circuit 11 of FIG. That is, the logic circuit 21 configured between the D-type flip-flops 20 and 22
Is composed of active elements 31, 34, 37, 40 and a number of passive elements 32, 33, 35, 36, 38, 39 parasitic thereon. And
It is assumed that a critical path is formed from the flip-flop 20 to the flip-flop 22 via the logic circuit 21, and the operation speed of the entire logic circuit 11 is determined by this.

論理回路11のクリティカルパスが上記のような構成で
ある場合、遅延回路4は、論理回路21を構成する能動素
子及びこれに寄生する受動素子と等価の能動素子51,54,
57,60と、これらに寄生する同様の受動素子52,53,55,5
6,58,59とにより構成する。そして、これらの素子で形
成されるクリティカルパスが開路となるように、能動素
子54及び能動素子57,60の各他方の入力は、夫々ローレ
ベル及びハイレベルに固定しておく。
When the critical path of the logic circuit 11 has the above configuration, the delay circuit 4 includes the active elements 51 and 54 equivalent to the active elements forming the logic circuit 21 and the passive elements parasitic thereto.
57, 60 and similar passive elements 52, 53, 55, 5
6,58,59. Then, the other inputs of the active element 54 and the active elements 57 and 60 are fixed to a low level and a high level, respectively, so that the critical path formed by these elements is opened.

これによって、遅延回路4の遅延時間は、論理回路21
のクリティカルパスにおけるパスの遅延時間と略等しく
なる。また、D型フリップフロップ20のクロック入力か
らの遅延時間は、本発明のテスト回路1中のT型フリッ
プフロップ3のクロック入力からの遅延時間と略等しい
ので、以上から論理回路11内のクリティカルパスの遅延
時間は、前述した時間Tdと略等しくなる。
As a result, the delay time of the delay circuit 4 is
Is substantially equal to the delay time of the critical path. Further, the delay time from the clock input of the D-type flip-flop 20 is substantially equal to the delay time from the clock input of the T-type flip-flop 3 in the test circuit 1 of the present invention. Is substantially equal to the above-described time Td .

[発明の効果] 以上述べたように、本発明によれば、試験すべき論理
回路のゲート段数等に対応した遅延特性を有する遅延回
路での遅延時間とクロック周期との間の関係を、固定的
な出力レベルによって判定することができるので、出力
負荷インピダンスに影響されずに、半導体集積回路の動
作速度を正確に判定することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the relationship between the delay time and the clock cycle in a delay circuit having delay characteristics corresponding to the number of gate stages of a logic circuit to be tested is fixed. Thus, the operating speed of the semiconductor integrated circuit can be accurately determined without being affected by the output load impedance.

また、本発明によれば、半導体集積回路に内蔵された
論理回路の機能テストについては、低周波数の信号パタ
ーンで実施すれば良く、汎用テスタを使用した場合で
も、上記の動作速度テストと併せて半導体集積回路の良
否を精度良く判定することができるという効果を奏す
る。
According to the present invention, the function test of the logic circuit built in the semiconductor integrated circuit may be performed with a low-frequency signal pattern. Even when a general-purpose tester is used, the function test is performed together with the above-described operation speed test. This has the effect that the quality of the semiconductor integrated circuit can be determined with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の実施例に係るテスト回路のブロック
図、第2図は同テスト回路の動作を示すタイミング図、
第3図は同テスト回路を内蔵した半導体集積回路を示す
ブロック図、第4図は同半導体集積回路の具体例を示す
ブロック図、第5図は従来の半導体集積回路のブロック
図、第6図は同回路のテスト時の波形図である。 1;テスト回路、2;入力端子、3;T型フリップフロップ、
4;遅延回路、5;EX−ORゲート、6,20,22;D型フリップフ
ロップ、7;出力端子、10,70;半導体集積回路、11,21,7
1;論理回路、12;データ入力端子、13;クロック入力端
子、14;データ出力端子、15;テスト出力端子、16,17,7
5;負荷、
FIG. 1 is a block diagram of a test circuit according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the test circuit,
FIG. 3 is a block diagram showing a semiconductor integrated circuit incorporating the test circuit, FIG. 4 is a block diagram showing a specific example of the semiconductor integrated circuit, FIG. 5 is a block diagram of a conventional semiconductor integrated circuit, and FIG. Is a waveform diagram at the time of testing the circuit. 1; test circuit, 2; input terminal, 3; T-type flip-flop,
4; delay circuit, 5; EX-OR gate, 6, 20, 22; D-type flip-flop, 7; output terminal, 10, 70; semiconductor integrated circuit, 11, 21, 7
1; logic circuit, 12; data input terminal, 13; clock input terminal, 14; data output terminal, 15; test output terminal, 16, 17, 7
5; load,

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】半導体集積回路の内部に試験すべき論理回
路と併設されたテスト回路であって、クロック信号を分
周する分周手段と、この分周手段の出力を前記試験すべ
き論理回路のゲート段数等に対応した遅延時間だけ遅延
させる遅延回路と、この遅延回路の出力と前記分周手段
の出力との排他的論理を出力するゲート回路と、このゲ
ート回路の出力を前記クロック信号に同期してラッチす
るフリップフロップとを有することを特徴とするテスト
回路。
1. A test circuit provided in a semiconductor integrated circuit together with a logic circuit to be tested, wherein the frequency divider divides a clock signal, and an output of the frequency divider is a logic circuit to be tested. A delay circuit for delaying by a delay time corresponding to the number of gate stages, etc., a gate circuit for outputting an exclusive logic of the output of the delay circuit and the output of the frequency dividing means, and an output of the gate circuit as the clock signal. A test circuit comprising: a flip-flop that latches in synchronization.
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