JP2002260811A - サージアブソーバ及びその製造方法 - Google Patents
サージアブソーバ及びその製造方法Info
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Abstract
に、小型化及び表面実装を図る。 【解決手段】 金属製の蓋体15が一対の放電電極1
2,13及び放電間隙14の上方空間を囲むように、そ
の周縁部15Aを絶縁性基板11に接合する。一方の放
電電極12と蓋体15の周縁部15Aとを電気的に接合
する。他方の放電電極13は、その途中部分から基端部
13Aに向かうにしたがい絶縁性基板11の下面に近づ
くように傾斜している。他方の放電電極13と蓋体15
の周縁部15Aとの間に間隙16を形成する。間隙16
を絶縁材17により閉塞する。
Description
機器を保護し、事故を未然に防ぐのに使用するサージア
ブソーバ及びその製造方法に関する。
機器用の電子機器が通信線と接続する部分、あるいはC
RT駆動回路等、雷サージや静電気等の異常電圧(サー
ジ電圧)による電撃を受けやすい部分には、異常電圧に
よって電子機器やこの機器を搭載するプリント基板の熱
的損傷または発火等による破壊を防止するために、サー
ジアブソーバが接続されている。
て、図3に示すようなものが知られている。このサージ
アブソーバ1は、図3に示すように、円柱状のセラミッ
クス部材2の周面に放電間隙4(マイクロギャップ)を
有する導電性被膜3を形成したアブソーバ素子の両端に
キャップ電極5,5をかぶせたものを円筒状のガラス管
7内に不活性ガスとともに収容し、円筒状のガラス管7
の両端に一対の封止電極6,6が相対向して高温加熱で
封着されたガラス管封止型とされたものである。
ような従来のサージアブソーバ1は、それぞれ封止電極
6,6に接続された2本のリード線6A,6Aによって
電気的に接続された回路のサージのみを吸収するもので
あり、空間から侵入する静電気等のサージには対処する
ことができなかった。しかも、このようなガラス管封止
型のサージアブソーバ1では、ガラス管7内にアブソー
バ素子と不活性ガスを封入して製造するため、製品形状
は円筒状で、表面実装には不向きとなる。また、このよ
うにガラス管7内にアブソーバ素子を封入するもので
は、比較的サイズが大きくなってしまい、近年高まって
きている小型化の要求に応えることが難しかった。
で、空間から侵入する静電気等のサージを吸収でき、か
つ表面実装可能で小型化を実現できるサージアブソーバ
及びその製造方法を提供することを目的とする。
このような目的を達成するために、本発明は、絶縁性基
板の上面に、放電間隙を介し互いに相対向して一対の放
電電極が形成されるとともに、これら放電電極の上方空
間を囲うように蓋体の周縁部が前記絶縁性基板の上面に
接合され、該蓋体によって形成される内部空間に不活性
ガスが封入されたサージアブソーバであって、前記蓋体
は金属製とされ、前記放電電極のうち一方は前記蓋体の
周縁部と電気的に接合されているとともに、他方の放電
電極と前記蓋体の周縁部との間に間隙が設けられて、該
間隙が絶縁材により閉塞されていることを特徴とする。
このような構成とすると、一方の放電電極に金属製の蓋
体が電気的に接合されているから、この金属製の蓋体を
空間から侵入する静電気等のサージを集電する電極とす
ることができ、これにより、機器ケース、SWパッド等
の隙間から侵入する静電気を吸収またはグラウンドへ逃
がすことが可能となる。さらに、他方の放電電極と、こ
の他方の放電電極と電気的に接合されていない金属製の
蓋体との間でも放電を行うことができ、放電電極に与え
る熱影響を少なくすることができる。また、放電空間
(蓋体によって形成される内部空間)を形成する蓋体が
金属製であることにより、蓋体を安価に製造することが
できる。しかも、絶縁性基板を用いることで全体がチッ
プ形状となり、小型化及び表面実装を図ることができ
る。
基板の上面に形成された溝部内に設けられ、前記蓋体
は、その周縁部の一部が前記溝部の上方に位置し、前記
間隙が前記溝部内に形成されていることを特徴とする。
このような構成とすると、絶縁性基板の上面に溝部を形
成するだけで、容易に蓋体の周縁部と他方の放電電極と
の間に間隙を形成できるとともに、間隙の閉塞作業を、
溝部内に絶縁材ペーストを埋め込むことで容易に行うこ
とができる。
造方法は、絶縁性基板の上面に、放電間隙を介し互いに
相対向して一対の放電電極を形成するとともに、これら
放電電極の上方空間を囲うように蓋体の周縁部を前記絶
縁性基板の上面に接合する蓋体接合工程と、該蓋体によ
って形成される内部空間に不活性ガスを封入するガス封
入工程とを有するサージアブソーバの製造方法であっ
て、前記蓋体接合工程は、金属製の前記蓋体の周縁部を
前記絶縁性基板の上面に接合する際に、前記放電電極の
うち一方と前記蓋体の周縁部とを電気的に接合するとと
もに、他方の放電電極と前記蓋体の周縁部との間に間隙
を設け、前記ガス封入工程は、前記間隙に内外の通気が
可能な絶縁材ペーストを塗布する工程と、不活性ガス雰
囲気中で前記間隙の絶縁材ペーストを加熱して溶融させ
ることにより該間隙を気密状態に閉塞する工程とを有す
ることを特徴とする。
板の上面に溝部を形成し、該溝部内に前記他方の放電電
極を設け、さらに前記蓋体を、その周縁部の一部が前記
溝部の上方に位置するように接合して前記間隙を形成す
ることを特徴とする。
周縁部または前記絶縁性基板の上面のうちの少なくとも
一方に接合材を塗布し、前記蓋体を前記絶縁性基板の上
面に載置する工程と、前記蓋体の周縁部を局所的に加熱
して前記接合材を溶融させる工程とを有することを特徴
とする。このようなサージアブソーバの製造方法を用い
ると、サージアブソーバ全体を加熱するのではなく、接
合材が存在している蓋体の周縁部付近を局所的に加熱し
て接合材を溶融させ、蓋体を絶縁性基板に接合すること
ができるので、サージアブソーバ全体への熱影響を少な
くすることができる。
空中で電子ビームを前記蓋体の周縁部に照射することに
よって行うことを特徴とする。電子ビームを用いて蓋体
を絶縁性基板に接合することで、高速加工が可能になっ
て量産性に優れ、かつ高精度の加工を行うことができる
とともに、局所的な加熱で済むので、サージアブソーバ
全体への熱影響を少なくすることができる。
た図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形
態によるサージアブソーバの斜視図、図2は図1におけ
るサージアブソーバの断面図である。
は、図1及び図2に示すように、略長方形のチップ形状
をなし、例えばアルミナ等の絶縁性材料から構成される
絶縁性基板11の上面11Aに、導電性金属から構成さ
れる一対の放電電極12,13が互いに相対向する配置
で形成されており、一方の放電電極12の先端と他方の
放電電極13の先端との間に所定の寸法をもって放電間
隙14(マイクロギャップ)が形成されている。なお、
この放電電極12,13は、Ag/Pd,SnO2,A
l,Ni,Cu,Ti,TiN,Ta,W,SiC,B
aAl,Nb,Si,C,Ag,Ag/Pt,ITO等
で、スパッタ法,蒸着法,イオンプレーティング法,印
刷法,焼付法等により形成されたものである。
いて、放電電極12,13は、それぞれの基端部12
A,13Aが絶縁性基板11の対向する端面11B,1
1Bのそれぞれまで達するように形成されている。ま
た、この絶縁性基板11の上面11Aには、他方の放電
電極13が形成されている部分に溝部11Cが設けられ
ており、他方の放電電極13において、その途中部分か
ら基端部13Aまでが溝部11Cに沿って基端部13A
側に向かうにしたがい絶縁性基板11の下面に近づく傾
斜がつけられている。すなわち、他方の放電電極13
は、その途中部分から基端部13Aまでが溝部11C内
に設けられ、その先端部のみが、絶縁性基板11の上面
11A上に位置することになる。
縁性基板11の上面11Aには、図1及び図2に示すよ
うに、それら放電電極12,13及び放電間隙14の上
方空間を囲うようにして蓋体15の周縁部15Aが接合
されている。この蓋体15は、径方向に一段拡径したフ
ランジ状の周縁部15Aを有する有底円環状の例えばコ
バール等の金属からなるものである。
形成された一方の放電電極12は、金属製の蓋体15の
周縁部15Aと電気的に接合されるが、他方の放電電極
13は、その途中部分から基端部13A側に向かうにし
たがい絶縁性基板11の下面に近づくような傾斜がつけ
られているために、溝部11Cの上方に位置する蓋体1
5の周縁部15Aとは接触せずに、所定の間隙16が形
成されている。
5の周縁部15Aとの間に形成された間隙16は、例え
ばガラス等の絶縁材17によって封止される。さらに、
蓋体15により形成された内部空間には、例えば、H
e,Ar,Ne,Xe,SF6,CO2,C3F8,C
2F6,CF4,H2及びこれらの混合ガス等の放電に好適
な不活性ガスが封入されて、この内部空間が放電空間と
される。
11Bまで達するように形成された放電電極12,13
の基端部12A、13Aが、絶縁性基板11の両端面1
1B,11Bに接合された端子電極18,18に接続さ
れてチップ形状をなすサージアブソーバ10が構成され
る。
バ10にあっては、互いに相対向する一対の放電電極1
2,13により形成される放電間隙14により、端子電
極18,18に接続された回路等からのサージを吸収で
きるのに加え、一方の放電電極12と電気的に接合され
た金属製の蓋体15を、空間中から侵入する静電気等の
サージを吸収するための電極とすることができるので、
機器ケース、SWパッド等の隙間から侵入する静電気等
のサージを吸収またはグラウンドに逃がすことができ
る。しかも、他方の放電電極13と、この他方の放電電
極13と電気的に接合されていない金属製の蓋体15と
の間で放電を行うこともでき、放電電極12,13に与
える熱影響が少なくなって、サージアブソーバの寿命を
延ばすことができる。
製であることにより、蓋体15を安価に製造することが
でき、サージアブソーバ10の製造コストを下げること
ができる。さらに、絶縁性基板11を用いてサージアブ
ソーバ10を構成することにより、チップ形状のサージ
アブソーバ10を得ることができて、その小型化及び表
面実装が可能となる。また、放電空間の寸法を変更する
場合には、蓋体15のみの大きさを変更するだけでよ
く、容易に放電空間の寸法を変更することが可能とな
る。
部分から基端部13Aまでを絶縁性基板11の上面11
Aに形成された溝部11C内に設けられるとともに、蓋
体15の周縁部15Aの一部が溝部11Cの上方に位置
するよう接合されて間隙16が形成されていることか
ら、絶縁性基板11の上面11Aに溝部11Cを形成す
るだけで、容易に蓋体15の周縁部15Aと他方の放電
電極13との間に間隙16を形成でき、さらに、間隙1
6の閉塞作業を、溝部11C内に絶縁材17を埋め込む
ことで容易に行うことができる。
バ10を製造する方法を説明する。まず、図1に示され
るように、絶縁性基板11の上面11Aに、他方の放電
電極13をその途中部分から基端部13A側に向かうに
したがい絶縁性基板11の下面に近づくように傾斜させ
るための溝部11Cを形成した後に、その上面11A
に、互いに相対向する放電電極12,13を形成するこ
とになる。
g/Pd,SnO2,Al,Ni,Cu,Ti,Ti
N,Ta,W,SiC,BaAl,Nb,Si,C,A
g,Ag/Pt,ITO等の導電性金属を、スパッタ
法,蒸着法,イオンプレーティング法,印刷法,焼付法
等によって、溝部11Cに沿う方向で一本の帯状薄膜に
形成した後、その帯状薄膜の途中位置、すなわち放電間
隙14を形成したい位置にレーザ光を照射して切断する
ことにより、この切断部が放電間隙14となって、互い
に相対向する放電電極12,13が形成される。
て、蓋体15の周縁部15Aが接合されるべき位置に、
例えば、タングステンペーストを焼き付け、その後Ni
めっきを施しておき、一方、金属製の蓋体15の周縁部
15Aに、例えば銀ロウ等の接合材を塗布して、蓋体1
5を絶縁性基板11の上面11Aの所定位置に載置す
る。このとき、他方の放電電極13は、その途中部分か
ら基端部13A側に向けて絶縁性基板11の下面に近づ
くように傾斜していることで、溝部11Cの上方に位置
する蓋体15の周縁部15Aとは接触せずに間隙16が
形成される。
て、電子ビームを蓋体15の周縁部15A付近に照射す
ることにより、接合材を加熱して溶融させ、蓋体15の
周縁部15Aと絶縁性基板11の上面11Aとを接合す
る。ここで、絶縁性基板11の上面11Aに形成された
一方の放電電極12は、金属製の蓋体15の周縁部15
Aと電気的に接合されることになる。
ースト等の絶縁材ペーストを塗布するが、間隙16に塗
布されているガラスペーストは、加熱されて溶融する前
には、多くの隙間や孔が存在しており、蓋体15の内部
と外部との通気性を有するものである。そして、例え
ば、He,Ar,Ne,Xe,SF6,CO2,C3F8,
C2F6,CF4,H2及びこれらの混合ガス等の放電に適
した不活性ガス中で加熱することにより、この間隙16
に塗布されているガラスペーストを介して不活性ガスを
蓋体15の内部空間に封入して放電空間を形成するとと
もに、ガラスペーストが溶融して通気性を失い、間隙1
6が絶縁材17に閉塞された状態となって封止される。
11Bに、例えばディッピング法により、端子電極1
8,18を絶縁性基板11の両端面11B、11Bに形
成するとともに、絶縁性基板11の両端面11B,11
Bまで延びる放電電極12,13の基端部12A,13
Aを端子電極18,18に接合して、上記のような構成
のサージアブソーバ10が製造される。
用いて蓋体15を絶縁性基板11に接合することから、
高速加工ができて量産性に優れており、かつ高精度の加
工を行うことができるとともに、局所的な加熱で済むの
で、サージアブソーバ10全体への熱的影響を少なくし
て、優れた特性をもつサージアブソーバ10を得ること
ができる。
周縁部15Aを絶縁性基板11の上面11Aに接合する
のに、電子ビームを用いたが、これに限定されることな
く、接合材をレーザ光によって加熱するようにしてもよ
いし、さらには、蓋体15の周縁部15Aの形状に対応
した環状のヒータによって、接合材を局所的に加熱する
ようにしてもよい。
電極13がその途中部分から基端部13A側に向かうに
したがい絶縁性基板11の下面に近づくように傾斜し
て、他方の放電電極13と蓋体15の周縁部15Aとの
間に間隙16が形成されているが、他方の放電電極13
と蓋体15の周縁部15Aとの間に間隙が形成されれば
他の構成でもよく、例えば、絶縁性基板11に他方の放
電電極13の途中部分から基端部13Aに至るまで上面
11Aより一段低くなるように段差を形成するようにし
て間隙16を形成してもよいし、さらには、蓋体15の
周縁部15Aに、切り欠きを設けて、他方の放電電極1
3との間に間隙16が形成されるようにしてもよい。
ジを吸収できることに加え、一方の放電電極と電気的に
接合された金属製の蓋体が空間から侵入する静電気等の
サージを集電する電極となるために、機器ケース、SW
パッド等の隙間から侵入する静電気を吸収またはグラウ
ンドへ逃がすことができる。しかも、他方の放電電極
と、金属製の蓋体との間で放電を行うこともができて、
放電電極に与える熱影響が少なくなり、サージアブソー
バの寿命の延長を図ることができる。また、放電空間を
形成する蓋体が金属製であることから、蓋体を安価に製
造することができ、サージアブソーバの製造コストを下
げることができる。さらに、絶縁性基板を用いることで
チップ形状のサージアブソーバを得ることができて、サ
ージアブソーバの小型化及び表面実装が可能になる。
面に形成された溝部内に設けられるとともに、蓋体の周
縁部の一部が溝部の上方に位置して間隙が形成されてい
ることから、絶縁性基板の上面に溝部を形成するだけ
で、容易に蓋体の周縁部と他方の放電電極との間に間隙
を形成でき、さらに、間隙の閉塞作業を、溝部内に絶縁
材を埋め込むことで容易に行うことができる。
て接合材を溶融させることにより、蓋体の周縁部を絶縁
性基板の上面に接合することから、サージアブソーバ全
体への熱的影響を少なくすることができて、優れた特性
をもつサージアブソーバを得ることができる。さらに、
接合材を溶融させるのに、電子ビームを用いると、高速
加工ができて量産性に優れ、かつ高精度の加工を行うこ
とができる。
の斜視図である。
の断面図である。
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 絶縁性基板の上面に、放電間隙を介し
互いに相対向して一対の放電電極が形成されるととも
に、これら放電電極の上方空間を囲うように蓋体の周縁
部が前記絶縁性基板の上面に接合され、該蓋体によって
形成される内部空間に不活性ガスが封入されたサージア
ブソーバであって、 前記蓋体は金属製とされ、 前記放電電極のうち一方は前記蓋体の周縁部と電気的に
接合されているとともに、他方の放電電極と前記蓋体の
周縁部との間に間隙が設けられて、該間隙が絶縁材によ
り閉塞されていることを特徴とするサージアブソーバ。 - 【請求項2】 請求項1に記載のサージアブソーバに
おいて、 前記他方の放電電極は、前記絶縁性基板の上面に形成さ
れた溝部内に設けられ、 前記蓋体は、その周縁部の一部が前記溝部の上方に位置
し、前記間隙が前記溝部内に形成されていることを特徴
とするサージアブソーバ。 - 【請求項3】 絶縁性基板の上面に、放電間隙を介し
互いに相対向して一対の放電電極を形成するとともに、
これら放電電極の上方空間を囲うように蓋体の周縁部を
前記絶縁性基板の上面に接合する蓋体接合工程と、該蓋
体によって形成される内部空間に不活性ガスを封入する
ガス封入工程とを有するサージアブソーバの製造方法で
あって、 前記蓋体接合工程は、金属製の前記蓋体の周縁部を前記
絶縁性基板の上面に接合する際に、前記放電電極のうち
一方と前記蓋体の周縁部とを電気的に接合するととも
に、他方の放電電極と前記蓋体の周縁部との間に間隙を
設け、 前記ガス封入工程は、前記間隙に内外の通気が可能な絶
縁材ペーストを塗布する工程と、不活性ガス雰囲気中で
前記間隙の絶縁材ペーストを加熱して溶融させることに
より該間隙を気密状態に閉塞する工程とを有することを
特徴とするサージアブソーバの製造方法。 - 【請求項4】 請求項3に記載のサージアブソーバの
製造方法において、 前記蓋体接合工程は、前記絶縁性基板の上面に溝部を形
成し、該溝部内に前記他方の放電電極を設け、 さらに前記蓋体を、その周縁部の一部が前記溝部の上方
に位置するように接合して前記間隙を形成することを特
徴とするサージアブソーバの製造方法。 - 【請求項5】 請求項3または請求項4に記載のサー
ジアブソーバの製造方法において、 前記蓋体接合工程は、前記蓋体の周縁部または前記絶縁
性基板の上面のうちの少なくとも一方に接合材を塗布
し、前記蓋体を前記絶縁性基板の上面に載置する工程
と、前記蓋体の周縁部を局所的に加熱して前記接合材を
溶融させる工程とを有することを特徴とするサージアブ
ソーバの製造方法。 - 【請求項6】 請求項5に記載のサージアブソーバの
製造方法において、 前記接合材を溶融させる工程は、真空中で電子ビームを
前記蓋体の周縁部に照射することによって行うことを特
徴とするサージアブソーバの製造方法。
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JP2001055544A JP4239420B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | サージアブソーバ及びその製造方法 |
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