JP2002260580A - Electrode for discharge lamp - Google Patents

Electrode for discharge lamp

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JP2002260580A
JP2002260580A JP2001060507A JP2001060507A JP2002260580A JP 2002260580 A JP2002260580 A JP 2002260580A JP 2001060507 A JP2001060507 A JP 2001060507A JP 2001060507 A JP2001060507 A JP 2001060507A JP 2002260580 A JP2002260580 A JP 2002260580A
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Japan
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bush
electrode
cathode
tungsten
discharge
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JP2001060507A
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Japanese (ja)
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Naoyoshi Akiyoshi
直義 秋吉
Toru Fujikawa
徹 藤川
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Toho Kinzoku Co Ltd
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Toho Kinzoku Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance heat-radiation characteristics of an electrode used for a discharge lamp such as a xenon lamp and an ultra-high pressure mercury lamp, for stable discharge. SOLUTION: The outer circumference of a rod-like electrode whose main component is tungsten is engaged with a bush whose main component is tungsten. The bush is preferred to be formed as a porous body, with a ruggedness on the outer circumference.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、キセノンランプや
超高圧水銀灯ランプ等の放電灯に用いられる電極に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode used for a discharge lamp such as a xenon lamp and an ultra-high pressure mercury lamp.

【0002】[0002]

【従来の技術】放電灯は一般照明用光源、プロジェクタ
ー用光源、フォトレジスト露光装置用光源、紫外線硬化
装置用光源等として従来から広く使用されている。図4
は従来の放電等の例としてキセノンランプの構造を例示
するもので、石英バルブ1内にタングステンやトリタン
(トリエーテッドタングステン)の電極を対向させて設
けている。同図の3’はカソード電極、4はアノード電
極である。石英バルブ1の内部にはキセノンガスが封入
されている。
2. Description of the Related Art A discharge lamp has been widely used as a light source for general illumination, a light source for a projector, a light source for a photoresist exposure device, a light source for an ultraviolet curing device, and the like. FIG.
FIG. 1 illustrates the structure of a xenon lamp as an example of a conventional discharge or the like. In a quartz bulb 1, tungsten or tritan (triated tungsten) electrodes are provided to face each other. 3 'is a cathode electrode and 4 is an anode electrode. Xenon gas is sealed in the quartz bulb 1.

【0003】この種の放電灯において、使用時に陰極
(カソード)が極度に高温となるとアークが不安定とな
り、放電特性が劣化するため、棒状の電極本体の外周部
に放熱層を設けたものが提案されている(特開2000
−306546)。この公報に記載されている陰極の放
熱層は、電極本体の外周面にタングステン粉末を燒結し
たものであるが、このような粉末を燒結した放熱層では
なく、電極本体に放熱用の筒状コイルを巻きつけたもの
も開発されている。図5はこの放電電極の例を表すもの
で、先端が尖った丸棒状の電極本体Bの外周部に、タン
グステン製のコイルCが嵌着されている。
[0003] In this type of discharge lamp, when the cathode (cathode) becomes extremely high in use, the arc becomes unstable and the discharge characteristics deteriorate, so that a heat radiation layer is provided on the outer periphery of the rod-shaped electrode body. It has been proposed (Japanese Unexamined Patent Application Publication
306546). The heat dissipation layer of the cathode described in this publication is obtained by sintering tungsten powder on the outer peripheral surface of the electrode body, but is not a heat dissipation layer obtained by sintering such a powder, but a tubular coil for heat dissipation on the electrode body. Is also being developed. FIG. 5 shows an example of this discharge electrode, in which a coil C made of tungsten is fitted around the outer periphery of a round rod-shaped electrode body B having a sharp tip.

【0004】なお、アークの発生状態が悪いと、カソー
ドの付け根付近から周辺の金具に向かって放電すること
があり、このアークによってカソード周辺の金具が損傷
するおそれがある。このため、上記放熱用のコイルの空
隙部に低仕事関数物質、例えば酸化バリウム(BaO)
や酸化ストロンチウム(SrO)を含浸させて、放電の
開始を容易にし、安定した放電を維持することも行われ
ている。
[0004] If the arc is in a poor state, electric discharge may occur from the vicinity of the base of the cathode to the surrounding metal fittings, and the metal fittings around the cathode may be damaged by the arc. For this reason, a low work function material, for example, barium oxide (BaO) is formed in the gap of the heat radiation coil.
Or strontium oxide (SrO) to facilitate the start of discharge and maintain stable discharge.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、放電電極の
温度が極端に上昇すると、アークの安定性が悪化する
が、上記従来の放電電極のように、棒材の電極本体にコ
イルを巻付けた構造では、電極本体とコイル外周面との
接触が線接触となり、接触面積が小さいので、電極本体
からコイルへの熱の移動量が少なく、効果的な放熱が行
われにくいという問題点があった。そこで、本発明は、
上記電極本体の外周面にタングステン粉末を燒結した放
熱層を設けたり、電極本体に筒状のコイルを巻付けた従
来の放電電極を改良し、より効果的な放熱が行われるよ
うにすることを課題としている。
When the temperature of the discharge electrode rises extremely, the stability of the arc deteriorates. However, as in the above-mentioned conventional discharge electrode, a coil is wound around a rod-shaped electrode body. In the structure, the contact between the electrode main body and the outer peripheral surface of the coil becomes a line contact, and the contact area is small. Therefore, there is a problem that the amount of heat transfer from the electrode main body to the coil is small, and effective heat radiation is difficult to be performed. . Therefore, the present invention
A heat radiation layer made of sintered tungsten powder is provided on the outer peripheral surface of the electrode body, or a conventional discharge electrode in which a cylindrical coil is wound around the electrode body is improved so that more effective heat radiation is performed. It is an issue.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明はつぎのような構成とした。すなわち、本発
明にかかる放電灯用電極は、タングステンを主成分とす
る棒状の電極本体と、該電極本体の外周部に設けられた
筒状体からなり、前記筒状体は、タングステンを主成分
とするブッシュであることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention has the following arrangement. That is, the discharge lamp electrode according to the present invention includes a rod-shaped electrode main body containing tungsten as a main component and a cylindrical body provided on an outer peripheral portion of the electrode main body, and the cylindrical main body contains tungsten as a main component. It is a feature that it is a bush.

【0007】本発明の放電灯用電極は、タングステンを
主成分とする電極本体の外周部に設ける筒体として、従
来のコイルではなく、タングステンを主成分とするブッ
シュを用いるので、当該ブッシュ内面が棒状の電極本体
の外周部に接触する。このため、電極本体からブッシュ
への熱の移動量が大きく、電極本体の異常昇温を効果的
に防止することができる。なお、前記ブッシュを多孔質
体として形成しておけば、放電性を改良する物質を含浸
させておくことができるので効果的である。また、ブッ
シュの外周面に凹凸を形成しておけば、ブッシュ外面の
表面積が増大する結果、放熱性が向上する。特にこのブ
ッシュの外周面にラジエータ状のフィンを多数形成して
おくのが効果的である。
In the discharge lamp electrode of the present invention, a bush containing tungsten as a main component is used instead of a conventional coil as a cylindrical body provided on an outer peripheral portion of an electrode main body containing tungsten as a main component. It contacts the outer periphery of the rod-shaped electrode body. Therefore, the amount of heat transferred from the electrode body to the bush is large, and abnormal temperature rise of the electrode body can be effectively prevented. In addition, if the bush is formed as a porous body, it is effective because it can be impregnated with a substance for improving discharge performance. In addition, if unevenness is formed on the outer peripheral surface of the bush, the surface area of the outer surface of the bush is increased, so that heat dissipation is improved. In particular, it is effective to form a large number of radiator-shaped fins on the outer peripheral surface of the bush.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体的に説明す
る。図1は放電灯の1種であるキセノンランプの構成を
表す説明図であって、このキセノンランプ1は石英バル
ブ2の内部に陰極(カソード)3と陽極(アノード)4
が設けられ、石英バルブ2の内部にはキセノンガスが封
入されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be specifically described below. FIG. 1 is an explanatory view showing the configuration of a xenon lamp, which is one type of discharge lamp. This xenon lamp 1 has a cathode (cathode) 3 and an anode (anode) 4 inside a quartz bulb 2.
, And xenon gas is sealed inside the quartz bulb 2.

【0009】陰極3は、図2に示すように、先端の尖っ
た陰極本体3aの外周部に筒状のブッシュ5を嵌着した
もので、基部側にはリード棒6が接続され、気密封止部
7で封止されている。また、陽極4は上記図1に示すよ
うに、陰極3よりも径の大きい丸棒状の本体4aの端部
にリード棒8が接続されたもので、これも気密封止部7
で封止されている。なお、陽極本体4aの先端部は平ら
な頂面4bを有する円錐状に成形されているが、これを
半球状にしてもよい。
As shown in FIG. 2, the cathode 3 is formed by fitting a cylindrical bush 5 to the outer periphery of a cathode body 3a having a sharp tip. It is sealed with a stop 7. As shown in FIG. 1, the anode 4 is formed by connecting a lead rod 8 to an end of a round bar-shaped main body 4a having a diameter larger than that of the cathode 3.
It is sealed with. Although the tip of the anode body 4a is formed in a conical shape having a flat top surface 4b, it may be formed in a hemispherical shape.

【0010】ブッシュ5はタングステンの燒結体からな
るもので、中心部に電極(陰極)本体3aが嵌合する貫
通穴が設けられている。また、ブッシュ5の外周部に
は、フィン状の突起10が多数設けられている。
The bush 5 is made of a sintered body of tungsten, and has a through hole in the center thereof for fitting the electrode (cathode) body 3a. A large number of fin-shaped protrusions 10 are provided on the outer peripheral portion of the bush 5.

【0011】この実施形態における陰極用のブッシュ5
は多孔質体として形成され、その多孔部分に低仕事関数
物質、例えば酸化バリウム(BaO)、酸化ストロンチ
ウム(SrO)が含浸されている。なお、図示例では、
陽極4にはブッシュが設けられていないが、陰極と同様
なタングステン燒結体のブッシュを設けておいてもよ
い。この場合、陽極用のブッシュには上記のような低仕
事関数物質を含浸する必要がない。このため、陽極用の
ブッシュは陰極用ブッシュ5よりも緻密に製作しておく
のが好ましい。さらに、上記陰極用のブッシュも場合に
よっては緻密な材質のものとすることができる。
The bush 5 for the cathode in this embodiment
Is formed as a porous body, and the porous portion is impregnated with a low work function material, for example, barium oxide (BaO) or strontium oxide (SrO). In the illustrated example,
The anode 4 is not provided with a bush, but may be provided with a tungsten sintered bush similar to the cathode. In this case, there is no need to impregnate the anode bush with the low work function substance as described above. For this reason, it is preferable to manufacture the bush for the anode more densely than the bush 5 for the cathode. Further, the cathode bush may be made of a dense material in some cases.

【0012】上記陰極3と陽極4とは共にタングステン
を主成分とするもので、このうち陰極3はトリヤが添加
されたトリエーテッドタングステンである。一方、陽極
4は、純タングステンであるが、再結晶温度を上昇させ
るうえで、タングステンに酸化ランタン(La2
3 )、酸化イットリウム(Y23 )、酸化セリウム
(CeO2 )等の高融点酸化物の1種又は2種以上が微
量に添加されたものが好ましい。これら高融点酸化物の
添加量は、通常は総量で0.01〜0.3重量%であ
る。
The cathode 3 and the anode 4 both contain tungsten as a main component, and the cathode 3 is made of thoriated tungsten to which trier is added. On the other hand, although the anode 4 is made of pure tungsten, lanthanum oxide (La 2 O) is added to tungsten in order to raise the recrystallization temperature.
3 ) It is preferable that one or more of high melting point oxides such as yttrium oxide (Y 2 O 3 ) and cerium oxide (CeO 2 ) are added in a trace amount. The added amount of these high melting point oxides is usually 0.01 to 0.3% by weight in total.

【0013】この放電等用の電極、すなわち陰極3と陽
極4は、公知の粉末冶金法によって製造することができ
る。陽極4の場合は、タングステン粉末に上記高融点酸
化物粉末を添加混合し、プレス成形と燒結を行ってイン
ゴットとした後、鍛造、機械加工等の必要な加工を施し
て所定形状とする。なお、タングステン粉末に対する高
融点酸化物の添加は、粉末で添加混合する方法のほか、
塩化物、硝酸塩等の化合物溶液をタングステン粉末に添
加し、再度還元を行う方法を採用することもできる。
The electrodes for electric discharge or the like, that is, the cathode 3 and the anode 4 can be manufactured by a known powder metallurgy method. In the case of the anode 4, the high melting point oxide powder is added to and mixed with the tungsten powder, press-formed and sintered to form an ingot, and then subjected to necessary processing such as forging and machining to obtain a predetermined shape. The addition of the high melting point oxide to the tungsten powder can be achieved by adding and mixing the powder,
A method in which a compound solution such as a chloride or a nitrate is added to the tungsten powder and the reduction is performed again can be adopted.

【0014】原料であるタングステン粉末は、純タング
ステン粉末でもよいが、アルミニウム、カリウム、ケイ
素等の化合物(ドープ剤)を微量に添加したいわゆるド
ープタングステン粉末を用いる方が高温特性が優れてい
るので好ましい。粉末の粒度は、一般に粉末冶金で用い
られる粒度であり、通常は数ミクロン乃至数十ミクロン
である。また、成形圧力は所望の強度の成形体が得られ
る圧力であり、通常は1500kgf/cm2 程度であ
る。さらに上記燒結温度は、通常は約3000℃以上で
ある。燒結温度が低いと十分な密度が得られず、陽極と
しての使用に適さない。なお、燒結後における上記ドー
プ剤の残存量は、カリウム(K)が主であり全部で60
ppm程度である。
The tungsten powder as a raw material may be a pure tungsten powder, but it is preferable to use a so-called doped tungsten powder to which a small amount of a compound (doping agent) such as aluminum, potassium, silicon or the like is added because the high-temperature characteristics are excellent. . The particle size of the powder is a particle size generally used in powder metallurgy, and is usually several microns to several tens of microns. The molding pressure is a pressure at which a molded body having a desired strength is obtained, and is usually about 1500 kgf / cm 2 . Further, the sintering temperature is usually about 3000 ° C. or higher. If the sintering temperature is low, sufficient density cannot be obtained, and it is not suitable for use as an anode. The remaining amount of the above dopant after sintering is mainly potassium (K), and is 60
It is about ppm.

【0015】一方、陰極3の場合は、タングステン粉末
にトリア(酸化トリウム)粉末を所定量混合して上記と
同様な方法で製作すればよい。この場合は、ドープ剤や
高融点酸化物の添加は必要ではない。
On the other hand, in the case of the cathode 3, a predetermined amount of tria (thorium oxide) powder may be mixed with tungsten powder to produce the same method as described above. In this case, it is not necessary to add a dopant or a high melting point oxide.

【0016】上記ブッシュ5は、タングステン粉末を押
出成形、射出成形、金型(プレス)成形等の適当な成形
法で成形し、脱脂して比較的低温で仮燒結する方法や、
タングステン粉末をプレス成形した後仮燒結し、所定形
状に機械加工する方法等で比較的簡単に製作することが
できる。得られたブッシュの中空部に電極本体を挿通
し、熱処理(ブッシュの燒結と、該ブッシュの収縮によ
る電極本体への締まり嵌め)を行った後、さらに本燒結
を行う。この本燒結は、例えば真空中で2200℃程度
の高温に加熱することによって行われる。この燒結によ
りブッシュと電極本体とが一体化した放電電極が得られ
る。なお、上記熱処理と本燒結とを一度に行ってもよ
い。
The bush 5 is formed by molding a tungsten powder by an appropriate molding method such as extrusion molding, injection molding, mold (press) molding, etc., degreases and temporarily sinters at a relatively low temperature.
It can be relatively easily manufactured by press-molding tungsten powder, pre-sintering, and machining into a predetermined shape. The electrode body is inserted into the hollow portion of the obtained bush, and heat treatment (sintering of the bush and tight fitting to the electrode body due to shrinkage of the bush) is performed, followed by main sintering. This main sintering is performed, for example, by heating to a high temperature of about 2200 ° C. in a vacuum. By this sintering, a discharge electrode in which the bush and the electrode body are integrated is obtained. The heat treatment and the main sintering may be performed at the same time.

【0017】図3は上記と異なる実施形態を表すもの
で、同図(a),(b)に示す実施形態では、陰極用ブ
ッシュ20が陰極本体3aに嵌合する筒部21と該筒部
から半径方向に突出する板状の突起22,…とで構成さ
れている。これら突起は凸部であり、その間隔部は凹部
となっている。また、図3(c),(d)はさらに異な
る実施形態を表すもので、この実施形態では、ブッシュ
30が陰極本体3aに嵌合する筒部31と該筒部の外周
部に形成された軸方向の筋状の突起32,…とで構成さ
れている。これら突起の間隔部は溝状の凹部となってい
る。ブッシュの外周部に設ける凹凸の形状はこれらに限
らず、熱放散性に優れている種々の形状の凹凸を設けて
おくことができる。
FIG. 3 shows an embodiment different from the above. In the embodiment shown in FIGS. 3A and 3B, the cathode bush 20 has a cylindrical portion 21 fitted to the cathode main body 3a and a cylindrical portion 21 having the same shape. , And plate-like projections 22 projecting in the radial direction. These projections are convex portions, and the interval portions are concave portions. 3 (c) and 3 (d) show still another embodiment. In this embodiment, a bush 30 is formed on a cylindrical portion 31 fitted to the cathode main body 3a and an outer peripheral portion of the cylindrical portion. Are formed in the form of streaks 32 in the axial direction. The space between these projections is a groove-shaped recess. The shape of the irregularities provided on the outer peripheral portion of the bush is not limited to these, and irregularities of various shapes having excellent heat dissipation can be provided.

【0018】このようにして得られる放電灯用電極は、
棒状の電極本体の外周部に凹凸を有するブッシュが嵌着
されているので、放電開始時に陰極側のブッシュの凸部
から陽極側に向かってアークが発生し、次いで当該アー
クの発生位置が徐々に陰極先端部に移行する。このた
め、安定した放電を確保することができる。また、ブッ
シュの内面が電極本体に密着しているので、該電極本体
からブッシュへの熱の移動が良好に行われる。さらに、
ブッシュの外周面には凹凸が形成されているので、その
分だけ表面積が増加する結果、熱の放出が良好に行われ
る。
The discharge lamp electrode thus obtained is
Since a bush having irregularities is fitted to the outer peripheral portion of the rod-shaped electrode body, an arc is generated from the convex portion of the bush on the cathode side toward the anode side at the start of discharge, and then the generation position of the arc gradually increases. Move to the cathode tip. Therefore, a stable discharge can be secured. Further, since the inner surface of the bush is in close contact with the electrode main body, heat can be favorably transferred from the electrode main body to the bush. further,
Since irregularities are formed on the outer peripheral surface of the bush, the surface area is increased by that amount, so that heat is satisfactorily released.

【0019】さらに、ブッシュを上記実施形態における
ような多孔質体として製作しておけば、その多孔部分に
放電性を改良するための低仕事関数物質を多量に含浸保
持させることができるので有利である。この場合、多孔
性の調節は容易であるから、用途に応じて最適の多孔性
をもつものとすればよい。また、粉末成形で製作するの
で、好みの形状寸法に製作するのが容易であり、放熱効
果に優れたものとすることができる。
Further, if the bush is manufactured as a porous body as in the above embodiment, a large amount of a low work function substance for improving discharge performance can be impregnated and held in the porous portion, which is advantageous. is there. In this case, the porosity can be easily adjusted, so that the porosity may be optimal depending on the application. In addition, since it is manufactured by powder molding, it can be easily manufactured to a desired shape and size, and can be excellent in heat radiation effect.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にかかる放電灯用電極は、良好な放電開始状態が得られ
ると共に、電極本体の熱を良好に放出することが可能と
なり、安定した性能を得ることが可能となった。
As is apparent from the above description, the discharge lamp electrode according to the present invention can obtain a good discharge starting state, and can satisfactorily release the heat of the electrode body, thereby providing a stable discharge. It became possible to obtain performance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】キセノンランプの構造を表す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a xenon lamp.

【図2】陰極の側面図である。FIG. 2 is a side view of a cathode.

【図3】上記と異なる陰極の側面図(a)及び断面図
(b)、及び更に異なる陰極の側面図(c)及び断面図
(d)である。
FIG. 3 is a side view (a) and a sectional view (b) of a cathode different from the above, and a side view (c) and a sectional view (d) of a further different cathode.

【図4】従来の陰極を備えた放電灯の説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of a conventional discharge lamp having a cathode.

【図5】従来の陰極の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional cathode.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 キセノンランプ 2 石英バルブ 3 陰極 4 陽極 5 ブッシュ 10,11 突起 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Xenon lamp 2 Quartz bulb 3 Cathode 4 Anode 5 Bush 10,11 Projection

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 タングステンを主成分とする棒状の電極
本体と、該電極本体の外周部に設けられた筒状体からな
り、前記筒状体は、タングステンを主成分とするブッシ
ュであることを特徴とする放電灯用電極。
1. A rod-shaped electrode main body mainly composed of tungsten, and a cylindrical body provided on an outer peripheral portion of the electrode main body, wherein the cylindrical body is a bush mainly composed of tungsten. Characteristic electrode for discharge lamp.
【請求項2】 前記ブッシュが多孔質体として形成され
ている請求項1に記載の放電灯用電極。
2. The discharge lamp electrode according to claim 1, wherein the bush is formed as a porous body.
【請求項3】 前記ブッシュの外周部は複数の凸部を有
する凹凸形状に形成されている請求項1または2に記載
の放電灯用電極。
3. The discharge lamp electrode according to claim 1, wherein an outer peripheral portion of the bush is formed in an uneven shape having a plurality of convex portions.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153391A (en) * 2007-08-06 2010-07-08 Seiko Epson Corp Arc tube, light source device, and projector
US7843137B2 (en) 2005-03-31 2010-11-30 Ngk Insulators, Ltd. Luminous vessels
CN114639589A (en) * 2022-03-02 2022-06-17 唐山金晟照明科技有限公司 Low-power xenon lamp and preparation process thereof

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