JP2002246669A - Piezo positioner - Google Patents
Piezo positionerInfo
- Publication number
- JP2002246669A JP2002246669A JP2001039353A JP2001039353A JP2002246669A JP 2002246669 A JP2002246669 A JP 2002246669A JP 2001039353 A JP2001039353 A JP 2001039353A JP 2001039353 A JP2001039353 A JP 2001039353A JP 2002246669 A JP2002246669 A JP 2002246669A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezo
- positioner
- elements
- series
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ピエゾポジショナ
ー関し、特に圧電セラミックス製のピエゾ素子連からな
るピエゾポジショナーに関する。The present invention relates to a piezo positioner, and more particularly to a piezo positioner comprising a series of piezo elements made of piezoelectric ceramics.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、圧電セラミックス製のピエゾ素子
連を用いたピエゾポジショナーでは、その素子連の電気
的接続には、図1に示す直線の導通線が、図2に示す各
素子の表面に設けられている電極部に、図3に示す通り
線付け接合され、その導通線が各素子間で曲げられて接
続されていた。2. Description of the Related Art Conventionally, in a piezo positioner using a series of piezo elements made of piezoelectric ceramics, a linear conduction line shown in FIG. 1 is connected to the surface of each element shown in FIG. As shown in FIG. 3, a wire was joined to the provided electrode portion, and the conductive wire was bent and connected between the elements.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この電
気的接続では、素子の伸縮部分が線付けされた直線の導
通線によって拘束されるため、素子の変位量が抑えら
れ、ピエゾポジショナーの性能が低下するという問題が
あった。However, in this electrical connection, since the expansion and contraction portion of the element is restrained by the linear conductive wire, the displacement of the element is suppressed, and the performance of the piezo positioner is reduced. There was a problem of doing.
【0004】本発明は、上述したピエゾポジショナーが
有する課題に鑑みなされたものであって、その目的は、
素子の変位量を大きくすることのできるピエゾポジショ
ナーを提供することにある。[0004] The present invention has been made in view of the problems of the above-described piezo positioner, and has the following objects.
An object of the present invention is to provide a piezo positioner capable of increasing the displacement of an element.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するため鋭意研究した結果、導通線に伸縮可能な
線を用い、それを各素子の電極部に点付け接合すれば、
素子の変位量を大きくすることができるとの知見を得て
本発明を完成するに至った。Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, using a stretchable wire as a conductive wire and attaching it to the electrode portion of each element,
The inventors have found that the displacement amount of the element can be increased, and have completed the present invention.
【0006】即ち本発明は、(1)圧電セラミックス製
のピエゾ素子連からなるピエゾポジショナーにおいて、
該ピエゾ素子連が、各素子に点付け接合されている蛇行
導通線によって電気的に接続されていることを特徴とす
るピエゾポジショナー(請求項1)とし、(2)圧電セ
ラミックス製のピエゾ素子連からなるピエゾポジショナ
ーにおいて、該ピエゾ素子連が、各素子に点付け接合さ
れているヘリカル導通線によって電気的に接続されてい
ることを特徴とするピエゾポジショナー(請求項2)と
することを要旨とする。以下さらに詳細に説明する。That is, the present invention provides (1) a piezoelectric positioner comprising a series of piezoelectric elements made of piezoelectric ceramics,
A piezo positioner (Claim 1) is characterized in that the piezo element series is electrically connected to each other by meandering conductive lines spotted and joined to each element. (2) Piezo element series made of piezoelectric ceramics. Wherein the piezo element series is electrically connected by a helical conductive wire spotted and joined to each element. I do. This will be described in more detail below.
【0007】上記で述べたように、本発明のピエゾ素子
連からなるピエゾポジショナーとしては、そのピエゾ素
子連が、各素子に点付け接合されている蛇行導通線によ
って電気的に接続されていることとするピエゾポジショ
ナーとした(請求項1)。As described above, in the piezo positioner comprising the piezo element series according to the present invention, the piezo element series is electrically connected to each other by means of meandering conductive lines spotted and joined to each element. (Claim 1).
【0008】これは、先ず導通線が各素子に点付け接合
されているため、素子の変位が抑えられることのないピ
エゾポジショナーとなり、同時に導通線が図4に示す如
く伸縮可能な蛇行導通線であるため、導通線に力が加わ
っても、導通線の伸縮可能な部分で緩衝されるので、点
付け部分に大きな力が加わって導通線が剥がれるような
ことのないピエゾポジショナーとなる。This is a piezo positioner in which the conductive wires are first spotted and joined to the respective elements, so that the displacement of the elements is not suppressed, and at the same time, the conductive wires are made of a meandering conductive wire which can expand and contract as shown in FIG. For this reason, even if a force is applied to the conductive wire, the conductive wire is buffered at the stretchable portion of the conductive wire, so that a large force is applied to the spotted portion and the conductive wire does not peel off.
【0009】上記とは別のピエゾポジショナーとして
は、そのピエゾ素子連が、各素子に点付け接合されてい
るヘリカル導通線によって電気的に接続されていること
とするピエゾポジショナーとした(請求項2)。As another piezo positioner different from the above, a piezo positioner in which a series of piezo elements are electrically connected by helical conduction lines spotted and joined to each element is provided. ).
【0010】この発明であっても、上記と同様、導通線
が各素子に点付け接合されているため、素子の変位が抑
えられることのないピエゾポジショナーとなり、同時に
導通線が図6に示す如く伸縮可能なヘリカル導通線であ
るため、導通線に力が加わっても、導通線の伸縮可能な
部分で緩衝されるので、点付け部分に力が加わって導通
線が剥がれることのないピエゾポジショナーとなる。[0010] Even in the present invention, as in the above, since the conductive wire is spot-joined to each element, the piezoelectric positioner is not restricted in the displacement of the element. At the same time, the conductive wire is connected as shown in FIG. Because it is a helical conductive line that can expand and contract, even if force is applied to the conductive line, it is buffered at the stretchable portion of the conductive line, so a force is applied to the spotted part and the piezo positioner that does not peel off the conductive line Become.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】本発明を具体的な実施例を挙げて
説明する。先ずセラミックス製のピエゾ素子(太平洋セ
メント社製)を用意する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described with reference to specific examples. First, a ceramic piezo element (manufactured by Taiheiyo Cement Corporation) is prepared.
【0012】そのピエゾ素子4個を用いて、その4個を
図5に示す如く接着剤で接着し、その接着された各素子
の電極部に、図4に示すリン青銅からなる蛇行導通線を
図5に示す如く6/4共晶はんだで点付け接合して4連
のピエゾ素子連を作製した。Using the four piezoelectric elements, the four piezoelectric elements are adhered with an adhesive as shown in FIG. 5, and the meandering conducting wire made of phosphor bronze shown in FIG. As shown in FIG. 5, four piezo elements were formed by spot bonding with 6/4 eutectic solder.
【0013】また、同様にピエゾ素子4個を用いて、そ
の4個を図7に示す如く接着剤で接着し、その接着され
た各素子の電極部に、図6に示すリン青銅からなるヘリ
カル導通線を図7に示す如く6/4共晶はんだで点付け
接合して4連のピエゾ素子連を作製した。Similarly, four piezo elements are used, and the four elements are bonded with an adhesive as shown in FIG. 7, and a helical phosphor bronze shown in FIG. As shown in FIG. 7, the conductive wires were spotted and joined with 6/4 eutectic solder to form four piezo element series.
【0014】これらとは別に比較として、同様にピエゾ
素子4個を用いて、その4個を図3に示す如く接着剤で
接着し、その接着された各素子の電極部に、図1し示す
リン青銅からなる直線導通線を図1に示す如く6/4の
共晶はんだで線付け接合して4連のピエゾ素子連を作製
した。As another comparison, similarly, four piezo elements are used, and the four elements are adhered with an adhesive as shown in FIG. 3, and are attached to the electrode portions of each of the bonded elements as shown in FIG. As shown in FIG. 1, linear continuity wires made of phosphor bronze were lined and joined with 6/4 eutectic solder to produce four piezo element series.
【0015】得られたピエゾ素子連の変位を電気マイク
ロメータで測定した。その結果を表1に示す。The displacement of the obtained piezo element series was measured by an electric micrometer. Table 1 shows the results.
【0016】[0016]
【表1】 [Table 1]
【0017】表1から明らかなように、点付け接合した
ピエゾ素子連の方が線付け接合したピエゾ素子連より変
位量が大きいことが確認された。このことより、本発明
のピエゾポジショナーとすれば、素子の変位量を大きく
することのできるピエゾポジショナーとすることができ
ることを示している。As is clear from Table 1, it was confirmed that the displacement of the piezo elements connected in a spotted manner was larger than that of the piezo elements connected in a line connection. This indicates that the piezo positioner of the present invention can be a piezo positioner capable of increasing the displacement of the element.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上の通り、本発明のピエゾポジショナ
ーであれば、従来より変位量の大きいピエゾポジショナ
ーとすることができるようになった。このことにより、
例えば、ガス流量計などに使われるピエゾポジショナー
の性能を向上させることができるようになった。As described above, according to the piezo positioner of the present invention, a piezo positioner having a larger displacement than the conventional one can be obtained. This allows
For example, the performance of a piezo positioner used for a gas flow meter or the like can be improved.
【図1】従来用いられている直線導通線を示す。FIG. 1 shows a conventional linear conducting wire.
【図2】ピエゾ素子とその電極部を示す。FIG. 2 shows a piezo element and its electrode part.
【図3】従来の直線導通線で接続されたピエゾ素子連を
示す。FIG. 3 shows a conventional series of piezo elements connected by a straight conductive line.
【図4】本発明で用いる蛇行導通線を示す。FIG. 4 shows a meandering conductive line used in the present invention.
【図5】本発明の蛇行導通線で接続されたピエゾ素子連
を示す。FIG. 5 shows a series of piezo elements connected by meandering conductive lines according to the present invention.
【図6】本発明で用いるヘリカル導通線を示す。FIG. 6 shows a helical conduction line used in the present invention.
【図7】本発明のヘリカル導通線で接続されたピエゾ素
子連を示す。FIG. 7 shows a series of piezo elements connected by a helical conduction line of the present invention.
A:ピエゾ素子 B:電極部 C:導通線 D:はんだ付け部 A: Piezo element B: Electrode part C: Conductive wire D: Solder part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊本 憲二 千葉県東金市子沼田1568−4 太平洋セメ ント株 式会社 中央研究所 電子技術セ ンター (72)発明者 江崎 徹 千葉県東金市子沼田1568−4 太平洋セメ ント株 式会社 中央研究所 電子技術セ ンター ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kenji Kumamoto 1568-4 Konumata, Togane, Chiba Pref.Central Research Laboratories, Central R & D Center, Electronics Technology Center (72) Inventor Tohru Ezaki 1568, Konumata, Togane, Chiba Prefecture -4 Taiheiyo Cement Co., Ltd. Central Research Laboratory Electronics Technology Center
Claims (2)
なるピエゾポジショナーにおいて、該ピエゾ素子連が、
各素子に点付け接合されている蛇行導通線によって電気
的に接続されていることを特徴とするピエゾポジショナ
ー。1. A piezo positioner comprising a piezo element series made of piezoelectric ceramics, wherein the piezo element series comprises:
A piezo positioner, wherein the piezo positioner is electrically connected to each element by a meandering conductive wire that is spot-joined.
なるピエゾポジショナーにおいて、該ピエゾ素子連が、
各素子に点付け接合されているヘリカル導通線によって
電気的に接続されていることを特徴とするピエゾポジシ
ョナー。2. A piezo positioner comprising a piezo element series made of piezoelectric ceramics, wherein the piezo element series comprises:
A piezo positioner, wherein the piezo positioner is electrically connected to each element by a helical conductive wire spot-joined.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001039353A JP2002246669A (en) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | Piezo positioner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001039353A JP2002246669A (en) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | Piezo positioner |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002246669A true JP2002246669A (en) | 2002-08-30 |
Family
ID=18902164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001039353A Pending JP2002246669A (en) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | Piezo positioner |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002246669A (en) |
-
2001
- 2001-02-16 JP JP2001039353A patent/JP2002246669A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3461829B2 (en) | Power semiconductor device having buffer layer | |
JP2000235932A (en) | Ceramic electronic component | |
JP4226200B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
WO2007066633A1 (en) | Ultrasonic actuator | |
JPH08242025A (en) | Piezoelectric actuator | |
JPS62250681A (en) | Laminate bimorph cell having magnetic head fitted on one end side and support member fitted on the other | |
US6657364B1 (en) | Piezoelectric/electrostrictive device | |
US6525448B1 (en) | Piezoelectric/electrostrictive device | |
JP2002246669A (en) | Piezo positioner | |
EP1237204A3 (en) | Piezoelectric/electrostrictive film element | |
US20220302073A1 (en) | Semiconductor module with a first substrate, a second substrate and a spacer separating the substrates from each other | |
JP2000349209A (en) | Power semiconductor module | |
JP4477252B2 (en) | Piezo positioner | |
JP4855585B2 (en) | Piezoelectric transformer | |
JPH05175568A (en) | Production of piezoelectric bimorph | |
JPH08204489A (en) | Piezoelectric vibrator | |
WO2022173017A1 (en) | Heater | |
JP7293381B2 (en) | Structure and heating device | |
JP2556802B2 (en) | Magnetoelectric conversion element | |
JP7299751B2 (en) | semiconductor equipment | |
WO2022196232A1 (en) | Semiconductor apparatus and method for manufacturing semiconductor apparatus | |
JP4614566B2 (en) | Piezoelectric transformer | |
JPH064634Y2 (en) | Electronic circuit device | |
JP2001052951A (en) | Ceramic electronic part | |
JPH0232573A (en) | Flex type piezoelectric displacement element |