JP2002246616A - Method of manufacturing photoelectric conversion device - Google Patents

Method of manufacturing photoelectric conversion device

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JP2002246616A
JP2002246616A JP2001038602A JP2001038602A JP2002246616A JP 2002246616 A JP2002246616 A JP 2002246616A JP 2001038602 A JP2001038602 A JP 2001038602A JP 2001038602 A JP2001038602 A JP 2001038602A JP 2002246616 A JP2002246616 A JP 2002246616A
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JP
Japan
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substrate
sealing resin
photoelectric conversion
paper
sheet
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Application number
JP2001038602A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshinobu Nakada
年信 中田
Katsuhiko Hayashi
克彦 林
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a photoelectric conversion device which prevents a fused resin from being adhered to the surface of a substrate in a laminating process to eliminate a resin removal work from the surface of the substrate, and can manufacture the device while flaws are prevented from being made on the surface of the substrate due to the contact of the substrate with a support member or the like in a curing process. SOLUTION: A method for manufacturing a photoelectric conversion device has a process for stacking a paper (52), a glass substrate (50) formed with a photoelectric conversion element (51), a sealing resin sheet (53), and a protective sheet (54) on a laminator press (4) and for fusing the sheet (53) for laminate. (54); and a process for holding the paper (52) by the sheet (53) through the laminating process on a support member (41), and for supporting the substrate (50) laminated with the sheets (53) and (54) on the member (41) in a state that the substrate (50) is stacked on the element (51) to heat the sheet (53) within a curing device to cure the sheet (53).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光電変換装置の製造
方法に関し、特に基板に形成された光電変換素子を封止
するための封止樹脂・保護シートのラミネート工程およ
び封止樹脂のキュア工程の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a photoelectric conversion device, and more particularly to a method for laminating a sealing resin / protective sheet for sealing a photoelectric conversion element formed on a substrate and a step for curing a sealing resin. Regarding improvement.

【0002】[0002]

【従来の技術】光電変換装置、例えば太陽電池モジュー
ルには、シリコン結晶を用いた結晶タイプのもの、およ
びアモルファスシリコン薄膜やポリシリコン薄膜を用い
た薄膜タイプのものがある。例えば、薄膜タイプでスー
パーストレート構造の太陽電池モジュールは、ガラス基
板の裏面に積層された透明電極層、光電変換半導体層お
よび裏面電極層からなるストリング状の複数段の光電変
換素子(太陽電池セル)を直列に接続した構造を有す
る。いずれのタイプでも、シリコン自体が化学反応を起
こし易く、また物理的な衝撃にも弱い点が問題になる。
そこで、シリコンの保護などを目的として、太陽電池モ
ジュールの基板に形成された光電変換素子を、架橋剤を
含むエチレン−酢酸ビニル共重合体(以下、EVAと記
す)などを主成分とする封止樹脂とテドラーなどを用い
た保護シートで封止した構造が採用されている。
2. Description of the Related Art Photovoltaic devices, for example, solar cell modules, include a crystal type using a silicon crystal and a thin film type using an amorphous silicon thin film or a polysilicon thin film. For example, a thin-film type solar cell module having a superstrate structure is a string-shaped multi-stage photoelectric conversion element (solar cell) composed of a transparent electrode layer, a photoelectric conversion semiconductor layer, and a back electrode layer laminated on the back surface of a glass substrate. Are connected in series. In any case, the problem is that silicon itself easily undergoes a chemical reaction and is vulnerable to physical impact.
Therefore, for the purpose of protecting silicon and the like, the photoelectric conversion element formed on the substrate of the solar cell module is sealed with ethylene-vinyl acetate copolymer (hereinafter referred to as EVA) containing a crosslinking agent as a main component. A structure sealed with a protective sheet using resin and Tedlar is employed.

【0003】従来、太陽電池モジュールを樹脂封止する
工程は、ラミネーターを用いて以下のようにして実施さ
れていた。すなわち、ラミネータープレス部に、光電変
換素子が形成された基板と、封止樹脂と、保護シートと
を重ねた状態で設置する。ラミネータープレス部にはフ
ッ素樹脂(例えばデュポン社のテフロン)を含浸したガ
ラスクロスからなる無端ベルトが用いられており、基板
はベルトの回転により所定位置まで搬送される。そし
て、ラミネーターの下部に設けられたヒーター板によっ
て加熱することにより封止樹脂を溶融させ、上部からダ
イヤフラムを介して圧力を加えることによりラミネート
していた。
Conventionally, a step of resin-sealing a solar cell module has been performed using a laminator as follows. That is, the substrate on which the photoelectric conversion element is formed, the sealing resin, and the protective sheet are placed on the laminator press section in a state of being stacked. An endless belt made of a glass cloth impregnated with a fluorine resin (for example, Teflon manufactured by DuPont) is used in the laminator press section, and the substrate is transported to a predetermined position by the rotation of the belt. Then, the sealing resin was melted by heating with a heater plate provided at the lower part of the laminator, and lamination was performed by applying pressure from above through a diaphragm.

【0004】特開平9−70886号にも記載されてい
るように、上記のようにラミネータープレス部にフッ素
樹脂を含浸したガラスクロスベルトを用いるのは、ベル
トとしての強度を維持しつつ、溶融樹脂に対するフッ素
樹脂のぬれ性が悪いことを利用してラミネータープレス
部に樹脂が残るのを防止することを意図している。しか
し、ラミネータープレス部への樹脂の付着を完全に防止
することはできず、ラミネータープレス部に残った樹脂
は、次回以降の太陽電池モジュールに対するプレス時に
基板へ移って付着する。また、プレス中にも溶融樹脂が
流れてラミネータープレス部と基板との隙間から入り込
んで基板表面に付着することがある。このため、ラミネ
ータープレス部の清掃および洗浄を行うとともに、基板
表面に付着して固まった樹脂を例えば金属工具を用いる
かアルコールで拭き取って除去した後に洗浄する必要が
あり、樹脂の除去作業に時間がかかっていた。また、基
板表面に光反射膜(ARコーティング)が形成されてい
る場合には、光反射膜の硬度が低いため表面を傷付ける
ことなく付着樹脂を除去することは極めて困難であっ
た。
As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-70886, the use of a glass cloth belt impregnated with a fluororesin in the laminator press section as described above is intended to maintain the strength of the belt while maintaining the strength of the molten resin. It is intended to prevent the resin from remaining in the laminator press part by utilizing the poor wettability of the fluororesin to the resin. However, the adhesion of the resin to the laminator press cannot be completely prevented, and the resin remaining in the laminator press moves to and adheres to the substrate at the next press on the solar cell module. Also, during the pressing, the molten resin may flow, enter through the gap between the laminator press section and the substrate, and adhere to the substrate surface. For this reason, it is necessary to clean and wash the laminator press part, and to remove the resin that has adhered to the substrate surface by using, for example, a metal tool or wiping it off with alcohol. It was hanging. Further, when a light reflecting film (AR coating) is formed on the substrate surface, it is extremely difficult to remove the adhered resin without damaging the surface due to the low hardness of the light reflecting film.

【0005】このような問題を解消するために、封止樹
脂の量を調整したり、ラミネータープレス部の材質を変
えることが試みられてきたが、これらの方法は有効な解
決策とはならなかった。
In order to solve such problems, attempts have been made to adjust the amount of sealing resin or to change the material of the laminator press section, but these methods have not been effective solutions. Was.

【0006】また、ラミネート工程の次工程として、支
持部材上に、光電変換素子に対して封止樹脂および保護
シートがラミネートされた基板を支持し、キュア装置内
で加熱して封止樹脂を架橋させてキュア(硬化)する工
程が行われる。
[0006] As a step subsequent to the laminating step, a substrate on which a sealing resin and a protective sheet are laminated with respect to the photoelectric conversion element is supported on a supporting member, and the sealing resin is crosslinked by heating in a curing device. Then, a step of curing (curing) is performed.

【0007】この工程では、支持部材上への基板の設置
作業の際に、支持部材との接触などにより基板表面に傷
が付き、特に反射防止膜を設けている場合には傷付きが
顕著になるため問題になっていた。
In this step, when the substrate is set on the support member, the substrate surface is damaged due to contact with the support member or the like, and particularly when the antireflection film is provided, the damage is remarkable. Had to be a problem.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、光電
変換装置の製造工程に含まれる封止樹脂・保護シートの
ラミネート工程において溶融樹脂の基板表面への付着を
防止し、基板表面からの樹脂の除去作業をなくすことが
できる方法を提供することにある。本発明の他の目的
は、光電変換装置の製造工程に含まれる封止樹脂のキュ
ア工程において支持部材との接触などによる基板表面の
傷付きを防止できる方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to prevent a molten resin from adhering to a substrate surface in a laminating process of a sealing resin and a protective sheet included in a photoelectric conversion device manufacturing process, and An object of the present invention is to provide a method capable of eliminating a resin removing operation. Another object of the present invention is to provide a method capable of preventing a substrate surface from being damaged due to contact with a support member in a curing step of a sealing resin included in a manufacturing process of a photoelectric conversion device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係る光電変換装
置の製造方法は、ラミネータープレス部に、紙と、光電
変換素子が形成された基板と、封止樹脂と、保護シート
とを重ねた状態で設置し、前記封止樹脂を溶融させてラ
ミネートすることを特徴とする。
According to a method of manufacturing a photoelectric conversion device according to the present invention, paper, a substrate on which photoelectric conversion elements are formed, a sealing resin, and a protective sheet are laminated on a laminator press section. It is characterized in that it is installed in a state, and the sealing resin is melted and laminated.

【0010】本発明に係る他の光電変換装置の製造方法
は、支持部材上に、紙と、光電変換素子に対して封止樹
脂および保護シートがラミネートされた基板とを重ねた
状態で支持し、キュア装置内で加熱して前記封止樹脂を
キュアすることを特徴とする。
In another method for manufacturing a photoelectric conversion device according to the present invention, a paper and a substrate on which a sealing resin and a protective sheet are laminated on a photoelectric conversion element are supported on a support member in an overlapping state. And heating the sealing resin by heating in a curing device.

【0011】本発明に係るさらに他の光電変換装置の製
造方法は、ラミネータープレス部に、紙と、光電変換素
子が形成された基板と、封止樹脂と、保護シートとを重
ねた状態で設置し、前記封止樹脂を溶融させてラミネー
トする工程と、支持部材上に、ラミネート工程を経て前
記封止樹脂により紙が保持され、かつ光電変換素子に対
して封止樹脂および保護シートがラミネートされた基板
を重ねた状態で支持し、キュア装置内で加熱して前記封
止樹脂をキュアする工程とを具備したことを特徴とす
る。
According to still another method of manufacturing a photoelectric conversion device according to the present invention, a paper, a substrate on which a photoelectric conversion element is formed, a sealing resin, and a protective sheet are placed on a laminator press section in a stacked state. Then, a step of melting and laminating the sealing resin, and on a support member, paper is held by the sealing resin through a laminating step, and the sealing resin and the protective sheet are laminated on the photoelectric conversion element. Supporting the stacked substrates in a stacked state, and heating the sealing resin by heating in a curing device.

【0012】本発明においては、基板に反射防止膜が形
成されていてもよい。
In the present invention, an antireflection film may be formed on the substrate.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明において、光電変換装置例
えば太陽電池モジュールのタイプは特に限定されず、結
晶タイプのものでも薄膜タイプのものでもよい。例え
ば、薄膜タイプでスーパーストレート構造の太陽電池モ
ジュールは、ガラス基板の裏面に積層された透明電極
層、光電変換半導体層および裏面電極層からなるストリ
ング状の複数段の光電変換素子(太陽電池セル)を直列
に接続した構造を有し、ガラス基板を通して太陽光が入
射する。光電変換半導体層の構造としては、pin型ア
モルファスシリコン、pin型ポリシリコン、pin型
アモルファスシリコンとpin型ポリシリコンのハイブ
リッドなどが含まれる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, the type of a photoelectric conversion device, for example, a solar cell module is not particularly limited, and may be a crystal type or a thin film type. For example, a thin-film type solar cell module having a superstrate structure is a string-shaped multi-stage photoelectric conversion element (solar cell) composed of a transparent electrode layer, a photoelectric conversion semiconductor layer, and a back electrode layer laminated on the back surface of a glass substrate. Are connected in series, and sunlight enters through the glass substrate. Examples of the structure of the photoelectric conversion semiconductor layer include pin-type amorphous silicon, pin-type polysilicon, a hybrid of pin-type amorphous silicon and pin-type polysilicon, and the like.

【0014】ガラス基板の表面には反射防止膜(ARコ
ーティング)が形成されていてもよい。反射防止膜とし
ては、例えばアルキルシリケートを原料とする無機ポリ
マー中にシリカ粒子を分散させた膜、または加水分解性
シリル基含有アクリル系共重合体中もしくは水酸基含有
フッ素樹脂中に有機ポリマー粒子を分散させた膜の表面
に微細な凹凸を形成したものが用いられる。
An antireflection film (AR coating) may be formed on the surface of the glass substrate. As the antireflection film, for example, a film in which silica particles are dispersed in an inorganic polymer made of an alkyl silicate, or an organic polymer particle in a hydrolyzable silyl group-containing acrylic copolymer or a hydroxyl group-containing fluororesin A film having fine irregularities formed on the surface of the formed film is used.

【0015】本発明においては、光電変換装置の製造工
程に含まれる封止樹脂・保護シートのラミネート工程お
よび/または封止樹脂のキュア工程で、基板の下に紙を
敷くことを特徴とする。紙としては、例えば藁半紙が用
いられる。
The present invention is characterized in that a paper is laid under the substrate in the laminating step of the sealing resin / protective sheet and / or the curing step of the sealing resin included in the photoelectric conversion device manufacturing process. As the paper, for example, straw half paper is used.

【0016】本発明の一実施形態では、光電変換装置の
製造工程に含まれる封止樹脂のラミネート工程におい
て、ラミネータープレス部に、紙と、光電変換素子が形
成された基板と、封止樹脂と、保護シートとを重ねた状
態で設置し、封止樹脂を溶融させてラミネートする。こ
の際、基板よりも大きい紙を用い、基板の周囲が紙で囲
まれるようにする。
In one embodiment of the present invention, in a laminating step of the sealing resin included in the manufacturing process of the photoelectric conversion device, paper, a substrate on which the photoelectric conversion element is formed, a sealing resin, Then, the protective sheet is placed in an overlapping state, and the sealing resin is melted and laminated. At this time, paper larger than the substrate is used, and the periphery of the substrate is surrounded by the paper.

【0017】この方法では、紙が溶融樹脂に対して良好
なぬれ性を示すので、ラミネーターでプレスした際に溶
融樹脂が流れたとしても、溶融樹脂は基板の周囲の紙に
吸収されて基板の縁で止まって内側に回り込むことがな
く、基板表面に溶融樹脂が付着するのを防止できる。こ
のため、従来と異なり、基板表面に付着して固まった樹
脂を除去する作業が不要になる。したがって、基板表面
に反射防止膜が形成されている場合でも、傷付きを防止
でき、製品歩留りを高めるとともに商品価値を高めるこ
とができるので、その工業的価値は極めて大きい。
According to this method, since the paper exhibits good wettability with respect to the molten resin, even if the molten resin flows when pressed by the laminator, the molten resin is absorbed by the paper around the substrate and is absorbed by the paper. It is possible to prevent the molten resin from adhering to the surface of the substrate without stopping at the edge and moving inward. For this reason, unlike the related art, there is no need to perform an operation for removing the resin that has adhered to the substrate surface and solidified. Therefore, even when an anti-reflection film is formed on the substrate surface, scratches can be prevented, the product yield can be increased, and the commercial value can be increased. Therefore, the industrial value is extremely large.

【0018】上記の説明から明らかなように、原理的に
は、基板の下に溶融樹脂に対して良好なぬれ性を示すシ
ートを敷いておけば、基板表面へ樹脂が付着するのを防
止できる。したがって、紙に限らず、表面処理により溶
融樹脂に対して良好なぬれ性を示す樹脂シート(例え
ば、デュポン社のテドラー)を用いることもできる。た
だし、藁半紙のような紙は、樹脂シートに比べてコスト
面で非常に優れている。
As is apparent from the above description, in principle, if a sheet showing good wettability to the molten resin is laid under the substrate, the resin can be prevented from adhering to the substrate surface. . Therefore, not only paper, but also a resin sheet (for example, Tedlar manufactured by DuPont) showing good wettability to molten resin by surface treatment can be used. However, paper such as straw paper is extremely superior in cost as compared with resin sheets.

【0019】本発明の他の実施形態では、光電変換装置
の製造工程に含まれる封止樹脂のキュア工程において、
支持部材上に、紙と、光電変換素子に対して封止樹脂お
よび保護シートがラミネートされた基板とを重ねた状態
で支持し、キュア装置内で加熱して封止樹脂をキュアす
る。
In another embodiment of the present invention, in the curing step of the sealing resin included in the manufacturing process of the photoelectric conversion device,
Paper and a substrate on which a sealing resin and a protective sheet are laminated with respect to the photoelectric conversion element are supported on a support member in an overlapping state, and the sealing resin is cured by heating in a curing device.

【0020】この方法では、基板が紙を挟んだ状態で支
持部材上に支持されるので、支持部材への設置作業の間
に基板表面に傷が付くのを防止できる。特に、基板表面
に反射防止膜が形成されている場合でも傷付きを防止で
き、製品歩留りを高めるとともに商品価値を高めること
ができるので、その工業的価値は極めて大きい。
In this method, since the substrate is supported on the support member with the paper interposed therebetween, it is possible to prevent the surface of the substrate from being damaged during the installation work on the support member. In particular, even when an anti-reflection film is formed on the substrate surface, it can be prevented from being damaged, and the product yield and the commercial value can be increased.

【0021】本発明のさらに他の実施形態では、封止樹
脂のラミネート工程において、ラミネータープレス部
に、紙と、光電変換素子が形成されたガラス基板と、封
止樹脂と、保護シートとを重ねた状態で設置し、封止樹
脂を溶融させてラミネートし、引き続き封止樹脂のキュ
ア工程において、支持部材上に、ラミネート工程を経て
封止樹脂により紙が保持され、かつ光電変換素子に対し
て封止樹脂および保護シートがラミネートされた基板を
重ねた状態で支持し、キュア装置内で加熱して封止樹脂
をキュアする。
In still another embodiment of the present invention, in a laminating step of a sealing resin, a paper, a glass substrate on which a photoelectric conversion element is formed, a sealing resin, and a protective sheet are laminated on a laminator press section. In a state where the sealing resin is melted and laminated, and subsequently, in the sealing resin curing step, the paper is held by the sealing resin through the laminating step on the support member, and with respect to the photoelectric conversion element. The substrates on which the sealing resin and the protective sheet are laminated are supported in an overlapping state, and heated in a curing device to cure the sealing resin.

【0022】この方法では、ラミネート工程およびキュ
ア工程を通じて基板の下に紙が敷かれているので、基板
表面への溶融樹脂の付着防止および作業時の基板表面の
保護がなされ、基板表面の傷付きを極めて効果的に防止
できる。
In this method, since the paper is laid under the substrate through the laminating process and the curing process, the molten resin is prevented from adhering to the substrate surface and the substrate surface is protected during the operation, and the substrate surface is not damaged. Can be prevented very effectively.

【0023】以下、図面を参照しながら本発明の実施形
態を説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0024】図1および図2を参照してラミネート工程
に用いられるラミネーターを説明する。図1はラミネー
ターの正面図、図2は側面図である。ラミネーターの装
置本体1の一端部には一対の駆動ローラー2が上下に所
定間隔を隔てて設けられ、他端部には一対の従動ローラ
ー3が上下に所定間隔を隔てて設けられている。駆動ロ
ーラー2と従動ローラー3にはラミネータープレス部を
形成する無端ベルト4が掛け渡されている。この無端ベ
ルト4はテフロンコートしたガラス不織布からなってい
る。駆動ローラー2は駆動源5によって回転駆動するよ
うになっており、それによって無端ベルト4が無端走行
する。ベルト4の下面の駆動ローラー2と従動ローラー
3との間の部分には、ベルト4が下に撓むのを阻止する
受け部材6が設けられている。この受け部材6の上面に
はヒーター板7が設けられている。
The laminator used in the laminating step will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a front view of the laminator, and FIG. 2 is a side view. At one end of the laminator apparatus main body 1, a pair of drive rollers 2 are provided at predetermined intervals vertically, and at the other end, a pair of driven rollers 3 are provided at predetermined intervals vertically. An endless belt 4 forming a laminator press section is stretched between the driving roller 2 and the driven roller 3. The endless belt 4 is made of Teflon-coated glass nonwoven fabric. The drive roller 2 is driven to rotate by a drive source 5, whereby the endless belt 4 runs endlessly. A receiving member 6 for preventing the belt 4 from bending downward is provided at a portion between the driving roller 2 and the driven roller 3 on the lower surface of the belt 4. On the upper surface of the receiving member 6, a heater plate 7 is provided.

【0025】装置本体1の中途部には支柱21が立設さ
れている。支柱21には太陽電池モジュールのガラス基
板よりも十分に大きな平面形状を有する可動体22が、
駆動源23によって上下方向に駆動されるように設けら
れている。この可動体22は下面が開放した容器状に形
成されており、その下面には下端面より所定寸法だけ上
方の位置にゴム製のダイヤフラム24が気密に設けられ
ており、ダイヤフラム24の上部には気密な上部室が形
成されている。
A column 21 is provided upright in the middle of the apparatus main body 1. A movable body 22 having a planar shape sufficiently larger than the glass substrate of the solar cell module is provided on the support 21,
It is provided so as to be driven vertically by a drive source 23. The movable body 22 is formed in a container shape with an open lower surface, and a rubber diaphragm 24 is hermetically provided at a position above the lower surface by a predetermined dimension from the lower end surface. An airtight upper chamber is formed.

【0026】太陽電池モジュールは、搬入ローラー31
により無端ベルト4上に載せられて可動体22の下方の
プレス部に搬送され、所定のラミネート工程を経た後、
無端ベルト4から搬出ローラー32上に載せられて搬出
される。
The solar cell module includes a carry-in roller 31.
After being placed on the endless belt 4 and conveyed to a press section below the movable body 22 and passing through a predetermined laminating step,
From the endless belt 4, it is placed on the carry-out roller 32 and carried out.

【0027】このとき、図3に示すように、光電変換素
子51が形成されたガラス基板50を藁半紙52の上に
載せ、光電変換素子51上に封止樹脂シート53および
保護シート54を重ねた積層体55がセットされる。こ
のようにガラス基板50の下に藁半紙52が敷かれてい
るので、搬入時および搬出時にローラー31、32と接
触してもガラス基板50が藁半紙52によって保護され
る。
At this time, as shown in FIG. 3, the glass substrate 50 on which the photoelectric conversion elements 51 are formed is placed on the straw paper 52, and the sealing resin sheet 53 and the protection sheet 54 are stacked on the photoelectric conversion elements 51. The laminate 55 is set. Since the straw half paper 52 is laid under the glass substrate 50 in this way, the glass substrate 50 is protected by the straw half paper 52 even if the straw half paper 52 comes into contact with the rollers 31 and 32 during loading and unloading.

【0028】ガラス基板50は例えばサイズが910m
m×455mm、厚さが4mmのものである。その裏面
に厚さ約0.8μmのSnO2からなりスクライブされ
た透明電極が形成されている。その上に、厚さ約0.2
5μmのpin型アモルファスシリコンおよび厚さ約2
μmのpin型ポリシリコンからなりスクライブされた
光電変換半導体層が形成されている。その上に、厚さ約
800ÅのZnOおよび厚さ約0.3μmのAgからな
りスクライブされた裏面電極が形成されている。また、
ガラス基板50の光入射面には光反射膜が形成されてい
る。封止樹脂シート53には架橋剤を含むEVAが用い
られている。保護シート54にはアルミニウム箔の両面
にフッ素樹脂シート(例えばデュポン社のテドラー)を
接合したものが用いられている。
The glass substrate 50 has a size of, for example, 910 m.
It has a size of mx 455 mm and a thickness of 4 mm. A scribed transparent electrode made of SnO 2 having a thickness of about 0.8 μm is formed on the back surface. On top of that, a thickness of about 0.2
5 μm pin type amorphous silicon and a thickness of about 2
A scribed photoelectric conversion semiconductor layer made of μm pin-type polysilicon is formed. A scribed back electrode made of ZnO having a thickness of about 800 ° and Ag having a thickness of about 0.3 μm is formed thereon. Also,
On the light incident surface of the glass substrate 50, a light reflection film is formed. EVA containing a cross-linking agent is used for the sealing resin sheet 53. As the protective sheet 54, a sheet in which a fluororesin sheet (for example, Tedlar of DuPont) is bonded to both sides of an aluminum foil is used.

【0029】図4にラミネーターのプレス位置に搬送さ
れた太陽電池モジュールの平面図を示す。なお、この図
では、支柱21、可動体22などのラミネーター上部に
設けられている部材を省略している。
FIG. 4 is a plan view of the solar cell module transferred to the press position of the laminator. In this figure, members provided on the upper part of the laminator, such as the support 21 and the movable body 22, are omitted.

【0030】図3および図4に示すように、藁半紙52
はガラス基板50よりも大きく、ガラス基板50の縁か
ら外側の藁半紙52の縁までの距離は50mm程度であ
る。封止樹脂シート53(図4には図示せず)はガラス
基板50よりもわずかに小さく、ガラス基板50の縁か
ら内側の封止樹脂シート53の縁までの距離は2〜3m
m程度である。保護シート54はガラス基板50よりも
大きく、ガラス基板50の縁から外側の保護シート54
の縁までの距離は20〜30mm程度である。
As shown in FIG. 3 and FIG.
Is larger than the glass substrate 50, and the distance from the edge of the glass substrate 50 to the edge of the outer straw half paper 52 is about 50 mm. The sealing resin sheet 53 (not shown in FIG. 4) is slightly smaller than the glass substrate 50, and the distance from the edge of the glass substrate 50 to the edge of the inner sealing resin sheet 53 is 2-3 m.
m. The protection sheet 54 is larger than the glass substrate 50, and is located outside the edge of the glass substrate 50.
Is about 20 to 30 mm.

【0031】その後、図5に示すように可動体22を下
降させて、図3で示される積層体55(図5では簡略化
のため藁半紙52とガラス基板50のみを示す)を囲う
ように、ベルト4の上面を可動体22の周囲壁面の下端
面によって覆う。この状態で、ダイヤフラム24の上部
には気密な上部室25が、ダイヤフラム24の下面とベ
ルト4の上面との間には気密な下部室26が形成され
る。上部室25および下部室26には、それぞれ第1の
真空ポンプ27および第2の真空ポンプ28が接続され
ている。
Thereafter, as shown in FIG. 5, the movable body 22 is lowered to surround the laminated body 55 shown in FIG. 3 (only the straw half paper 52 and the glass substrate 50 are shown in FIG. 5 for simplicity). The upper surface of the belt 4 is covered by the lower end surface of the peripheral wall surface of the movable body 22. In this state, an airtight upper chamber 25 is formed above the diaphragm 24, and an airtight lower chamber 26 is formed between the lower surface of the diaphragm 24 and the upper surface of the belt 4. A first vacuum pump 27 and a second vacuum pump 28 are connected to the upper chamber 25 and the lower chamber 26, respectively.

【0032】この状態で以下のようにして封止樹脂シー
トと保護シートのラミネートを行う。ヒーター板7によ
ってベルト4を介してガラス基板50および封止樹脂シ
ート53、保護シート54を加熱する。第1および第2
の真空ポンプ27、28を作動させて、上部室25と下
部室26を同じ圧力で減圧する。この操作により、ベル
ト4上に位置するガラス基板50と封止樹脂シート53
の接合面および封止樹脂シート53と保護シート54と
の接合面から空気が除去されとともに封止樹脂シート5
3に含まれる気泡が除去される。このとき、上部室25
と下部室26とは同圧なので、ダイヤフラム24はほと
んど変形しない。
In this state, the sealing resin sheet and the protective sheet are laminated as follows. The glass substrate 50, the sealing resin sheet 53, and the protection sheet 54 are heated by the heater plate 7 via the belt 4. First and second
Are operated to reduce the pressure in the upper chamber 25 and the lower chamber 26 at the same pressure. By this operation, the glass substrate 50 located on the belt 4 and the sealing resin sheet 53
Air is removed from the bonding surface of the sealing resin sheet 53 and the protection sheet 54 and the sealing resin sheet 5.
3 are removed. At this time, the upper chamber 25
Since the pressure in the lower chamber 26 is the same as that in the lower chamber 26, the diaphragm 24 hardly deforms.

【0033】次に、上部室25の減圧を解除して大気に
連通させる。これにより、ダイヤフラム24は圧力の低
い下部室26側に膨張変形し、ガラス基板50上に重ね
られた保護シート54および封止樹脂シート53を加圧
する。この操作により、溶融した封止樹脂がガラス基板
50の裏面に密着し、封止樹脂および保護シート54が
ラミネートされる。
Next, the pressure in the upper chamber 25 is released to communicate with the atmosphere. As a result, the diaphragm 24 expands and deforms toward the lower chamber 26 having a lower pressure, and presses the protective sheet 54 and the sealing resin sheet 53 stacked on the glass substrate 50. By this operation, the molten sealing resin adheres to the back surface of the glass substrate 50, and the sealing resin and the protection sheet 54 are laminated.

【0034】このとき、溶融樹脂がガラス基板50の周
縁部よりはみ出して流れる。しかし、ガラス基板50の
下には藁半紙52が敷かれているので、溶融樹脂はガラ
ス基板50の周囲の藁半紙52に吸収され、ガラス基板
50の縁より内側に回り込んでその表面に付着すること
はない。また、溶融樹脂は藁半紙52に吸収されるの
で、溶融樹脂がベルト4へ移ることもない。
At this time, the molten resin protrudes from the peripheral portion of the glass substrate 50 and flows. However, since the straw paper 52 is laid under the glass substrate 50, the molten resin is absorbed by the straw paper 52 around the glass substrate 50, wraps around the edge of the glass substrate 50, and adheres to the surface thereof. There is no. Further, since the molten resin is absorbed by the straw paper 52, the molten resin does not move to the belt 4.

【0035】その後、下部室26の減圧を解除して大気
に連通させる。これにより、ダイヤフラム24に加えら
れた圧力が除去され、加圧操作が終了する。加圧終了
後、可動部材22を上昇させ、ベルト4を所定距離だけ
間欠的に駆動し、封止樹脂シート52をラミネートした
ガラス基板50を装置本体1から搬出し、新たなガラス
基板50を搬入して、上述した工程を繰り返す。
Thereafter, the pressure in the lower chamber 26 is released to communicate with the atmosphere. As a result, the pressure applied to the diaphragm 24 is removed, and the pressurizing operation ends. After the pressurization, the movable member 22 is raised, the belt 4 is intermittently driven by a predetermined distance, the glass substrate 50 on which the sealing resin sheet 52 is laminated is carried out of the apparatus body 1, and a new glass substrate 50 is carried in. Then, the above-described steps are repeated.

【0036】比較のために、ベルトとガラス基板表面と
の間に藁半紙を設けずに上記と同様にラミネート工程を
行った。
For comparison, a laminating step was performed in the same manner as described above, except that no straw half paper was provided between the belt and the glass substrate surface.

【0037】同様に比較のために、ベルトとガラス基板
表面との間に藁半紙の代わりにテフロンシートを設けて
上記と同様にラミネート工程を行った。テフロンシート
はEVAに対するぬれ性が悪い。
Similarly, for comparison, a Teflon sheet was provided between the belt and the surface of the glass substrate instead of the straw semi-paper, and the laminating step was performed in the same manner as described above. Teflon sheets have poor wettability to EVA.

【0038】藁半紙を用いた実施形態の方法と2つの比
較例の方法とで、ガラス面への樹脂の付着状態およびベ
ルトへの樹脂の付着状態を比較した結果を下記表1に示
す。
Table 1 below shows the results of comparing the state of adhesion of the resin to the glass surface and the state of adhesion of the resin to the belt by the method of the embodiment using straw half paper and the method of the two comparative examples.

【0039】表1に示されるように、ガラス基板の下に
藁半紙を敷いてラミネート工程を行った場合には、ガラ
スおよびベルトのいずれにも樹脂の付着が認められなか
った。
As shown in Table 1, when the laminating step was performed by laying straw semi-paper under the glass substrate, no adhesion of the resin to both the glass and the belt was observed.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】上述したラミネート工程を経ると、ラミネ
ーターから搬出されるガラス基板50の縁で固化した封
止樹脂によってガラス基板50の下に藁半紙53が保持
された状態になっている。
After the above-mentioned laminating step, the straw half paper 53 is held under the glass substrate 50 by the sealing resin solidified at the edge of the glass substrate 50 carried out from the laminator.

【0042】ラミネート工程の後には、封止樹脂のキュ
ア工程が行われる。このキュア工程は以下のようにして
行われる。まず、例えば図6に示すように、ラミネート
工程を経た積層体55を、藁半紙52側を下にして、お
およそ1m×1m×1mの寸法を有するカセット40の
内側端部に設けられた多段の棚状の支持部材41上に設
置する。なお、図6には図3の積層体55を簡略化し
て、藁半紙52とガラス基板50のみを示している。こ
のとき、ガラス基板50の下に藁半紙52が保持されて
いるので、支持部材41とこすれてもガラス基板50の
表面に傷が付くのを防止できる。
After the laminating step, a sealing resin curing step is performed. This curing step is performed as follows. First, for example, as shown in FIG. 6, the laminated body 55 having undergone the laminating step is placed on a multi-stage shelf provided at the inner end of the cassette 40 having a size of about 1 m × 1 m × 1 m with the straw half paper 52 side down. It is installed on a support member 41 having a shape. 6 shows only the straw half paper 52 and the glass substrate 50 by simplifying the laminate 55 of FIG. At this time, since the straw half paper 52 is held under the glass substrate 50, it is possible to prevent the surface of the glass substrate 50 from being damaged even if the straw half paper 52 is rubbed with the support member 41.

【0043】このようにして積層体55を設置したカセ
ット40をキュア装置(加熱炉)に装入し、加熱により
封止樹脂を架橋させてキュア(硬化)する。キュア装置
内における加熱は、昇温、約150℃で10〜20分間
保持、および降温を含めて合計で約1時間程度行われ
る。
The cassette 40 in which the laminated body 55 is set as described above is loaded into a curing device (heating furnace), and the sealing resin is cross-linked by heating and cured (cured). Heating in the curing apparatus is performed for about 1 hour in total, including raising the temperature, holding at about 150 ° C. for 10 to 20 minutes, and lowering the temperature.

【0044】キュア工程を経てキュア装置からカセット
40を取り出し、カセット40から積層体55を取り外
す。このときにも、ガラス基板50の下に藁半紙52が
保持されているので、支持部材41とこすれてもガラス
基板50の表面に傷が付くのを防止できる。
After the curing step, the cassette 40 is taken out of the curing device, and the laminate 55 is removed from the cassette 40. Also at this time, since the straw half paper 52 is held under the glass substrate 50, it is possible to prevent the surface of the glass substrate 50 from being damaged even if it is rubbed with the support member 41.

【0045】その後、保護シート54をガラス基板50
の大きさに合わせて切り取る(トリミング)。このと
き、ガラス基板50の下に保持されている藁半紙52も
はがされる。
Thereafter, the protective sheet 54 is placed on the glass substrate 50.
Cut according to the size of (trimming). At this time, the straw half paper 52 held under the glass substrate 50 is also peeled off.

【0046】なお、ラミネーターおよびキュア装置の型
式は特に限定されず、以上で説明したもの以外のもので
も用いることができる。例えば、キュア装置へのガラス
基板50の搬入は、上記のようにカセット40を用いる
ものに限らず、ローラーやベルトを用いる型式のもので
もよい。
The types of the laminator and the curing device are not particularly limited, and those other than those described above can be used. For example, the loading of the glass substrate 50 into the curing device is not limited to the one using the cassette 40 as described above, but may be a type using a roller or a belt.

【0047】また、以上の説明では、ラミネート工程お
よびキュア工程を通じて基板の下に同一の藁半紙が敷い
て作業を行った例について説明したが、ラミネート工程
のみまたはキュア工程のみにおいて、基板の下に藁半紙
を敷いてもよい。このような場合でも、各々の工程にお
いて所望の効果を得ることができる。例えば、基板表面
への樹脂の付着の問題が生じないようなラミネーターを
用いる場合、キュア工程のみにおいて基板の下に藁半紙
を敷くようにしてもよい。
In the above description, an example was described in which the same straw paper was laid under the substrate through the laminating process and the curing process to perform the work. May be laid. Even in such a case, a desired effect can be obtained in each step. For example, when using a laminator that does not cause a problem of adhesion of the resin to the substrate surface, a straw semi-paper may be laid under the substrate only in the curing step.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上詳述したように本発明の方法を用い
れば、光電変換装置の製造工程に含まれる封止樹脂・保
護シートのラミネート工程において溶融樹脂の基板表面
への付着を防止して基板表面からの樹脂の除去作業をな
くすことができ、また光電変換装置の製造工程に含まれ
る封止樹脂のキュア工程において支持部材との接触など
による基板表面の傷付きを防止できる。
As described above in detail, the use of the method of the present invention prevents the molten resin from adhering to the substrate surface in the laminating step of the sealing resin / protective sheet included in the photoelectric conversion device manufacturing process. The operation of removing the resin from the substrate surface can be eliminated, and the surface of the substrate can be prevented from being damaged due to contact with the support member or the like in the curing step of the sealing resin included in the manufacturing process of the photoelectric conversion device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態において用いられるラミネ
ーターを示す正面図。
FIG. 1 is a front view showing a laminator used in an embodiment of the present invention.

【図2】図1のラミネーターの側面図。FIG. 2 is a side view of the laminator of FIG. 1;

【図3】ラミネーターに設置される藁半紙、ガラス基
板、封止樹脂シートおよび保護シートの積層体を示す正
面図。
FIG. 3 is a front view showing a laminate of a straw semi-paper, a glass substrate, a sealing resin sheet, and a protection sheet installed on a laminator.

【図4】図1のラミネーターのプレス部に太陽電池モジ
ュールを設置した状態を示す平面図。
FIG. 4 is a plan view showing a state where a solar cell module is installed in a press section of the laminator of FIG. 1;

【図5】図1のラミネーターによるラミネート工程を説
明する図。
FIG. 5 is a view for explaining a laminating step using the laminator in FIG. 1;

【図6】本発明の一実施形態において用いられるキュア
装置に装入されるカセットを示す正面図。
FIG. 6 is a front view showing a cassette inserted into a curing device used in one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…装置本体 2…駆動ローラー 3…従動ローラー 4…無端ベルト 5…駆動源 6…受け部材 7…ヒーター板 21…支柱 22…可動体 23…駆動源 24…ダイヤフラム 31…搬入ローラー 32…搬出ローラー 40…カセット 41…支持部材 50…ガラス基板 51…光電変換素子 52…藁半紙 53…封止樹脂シート 54…保護シート 55…積層体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Device main body 2 ... Drive roller 3 ... Follower roller 4 ... Endless belt 5 ... Drive source 6 ... Receiving member 7 ... Heater plate 21 ... Post 22 ... Movable body 23 ... Drive source 24 ... Diaphragm 31 ... Import roller 32 ... Export roller DESCRIPTION OF SYMBOLS 40 ... Cassette 41 ... Support member 50 ... Glass substrate 51 ... Photoelectric conversion element 52 ... Straw half paper 53 ... Sealing resin sheet 54 ... Protective sheet 55 ... Laminate

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ラミネータープレス部に、紙と、光電変
換素子が形成された基板と、封止樹脂と、保護シートと
を重ねた状態で設置し、前記封止樹脂を溶融させてラミ
ネートすることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
1. A laminator press section in which a paper, a substrate on which a photoelectric conversion element is formed, a sealing resin, and a protective sheet are placed in an overlapping state, and the sealing resin is melted and laminated. A method for manufacturing a photoelectric conversion device, comprising:
【請求項2】 支持部材上に、紙と、光電変換素子に対
して封止樹脂および保護シートがラミネートされた基板
とを重ねた状態で支持し、キュア装置内で加熱して前記
封止樹脂をキュアすることを特徴とする光電変換装置の
製造方法。
2. A method in which a paper and a substrate on which a sealing resin and a protective sheet are laminated with respect to a photoelectric conversion element are supported on a supporting member in an overlapping state, and the sealing resin is heated in a curing device. Curing the photoelectric conversion device.
【請求項3】ラミネータープレス部に、紙と、光電変換
素子が形成された基板と、封止樹脂と、保護シートとを
重ねた状態で設置し、前記封止樹脂を溶融させてラミネ
ートする工程と、支持部材上に、ラミネート工程を経て
前記封止樹脂により紙が保持され、かつ光電変換素子に
対して封止樹脂および保護シートがラミネートされた基
板を重ねた状態で支持し、キュア装置内で加熱して前記
封止樹脂をキュアする工程とを具備したことを特徴とす
る光電変換装置の製造方法。
3. A step in which a paper, a substrate on which a photoelectric conversion element is formed, a sealing resin, and a protective sheet are stacked on a laminator press section, and the sealing resin is melted and laminated. And a support member on which a paper sheet is held by the sealing resin through a laminating step, and a substrate on which the sealing resin and the protective sheet are laminated is supported on the photoelectric conversion element in a stacked state, and the inside of the curing device And curing the sealing resin by heating at a temperature in the step (c).
【請求項4】 前記基板に反射防止膜が形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の
光電変換装置の製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein an anti-reflection film is formed on the substrate.
JP2001038602A 2001-02-15 2001-02-15 Method of manufacturing photoelectric conversion device Pending JP2002246616A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012256717A (en) * 2011-06-09 2012-12-27 Bridgestone Corp Manufacturing method of solar cell module

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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