【特許請求の範囲】
【請求項１】 負極出力端子および正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
スパッタリング用直流電源と、
このスパッタリング用直流電源の負極と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、
前記スパッタリング用直流電源の負極と前記チョークコイルとの接続間に設けられた第１のスイッチング手段と、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間に正極が接続され、負極が前記正極出力端子に接続された逆電圧発生用直流電源と、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧発生用直流電源の正極との間、に接続された第２のスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記各スイッチング手段のオン・オフを制御する制御手段と、
を具備し、
前記チョークコイルは、互いに独立の直列接続された複数のチョークコイルである、
ことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
【請求項２】 負極出力端子および正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
スパッタリング用直流電源と、
このスパッタリング用直流電源の負極と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、
前記スパッタリング用直流電源の負極と前記チョークコイルとの接続間に直列に設けられた第１のスイッチング手段および第３のスイッチング手段と、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間に正極が接続され、負極が前記正極出力端子に接続された逆電圧発生用直流電源と、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧発生用直流電源の正極との間、に接続された第２のスイッチング手段と、
前記第３のスイッチング手段および前記チョークコイルの接続点と、前記第２のスイッチング手段および前記逆電圧発生用直流電源の正極の接続点との間、に接続された還流路と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記各スイッチング手段のオン・オフを制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
【請求項３】 前記第２のスイッチング手段および前記逆電圧発生用直流電源の正極の接続間における前記還流路の接続点とその逆電圧発生用直流電源の正極との間に設けられた逆方向アーク防止回路、をさらに備えること特徴とする請求項２記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項４】 負極出力端子および正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
直流電圧を出力する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換するスイッチング回路と、
前記スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の２次電圧を出力するトランスと、
前記トランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第1および第２のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力端と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、
前記第２のダイオードブリッジの出力端に接続された逆電圧保持用コンデンサと、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧保持用コンデンサの陽極との間、に接続されたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチ素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段のオン・オフを制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段と、
を具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
【請求項５】 負極出力端子および正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
直流電圧を出力する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する第１および第２のスイッチング回路と、
前記各スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の２次電圧をそれぞれ出力する第１および第２のトランスと、
前記第１のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第1のダイオードブリッジと、
前記第２のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第２のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力端と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、
前記第２のダイオードブリッジの出力端に接続された逆電圧保持用コンデンサと、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧保持用コンデンサの陽極との間、に接続されたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチ素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段のオン・オフを制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段と、
を具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
【請求項６】 負極出力端子および正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
直流電圧を出力する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する第１および第２のスイッチング回路と、
前記各スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の２次電圧をそれぞれ出力する第１および第２のトランスと、
前記第１のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第1のダイオードブリッジと、
前記第２のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第２のダイオードブリッジと、
前記第２のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第３のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力端と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、
前記第３のダイオードブリッジの出力端に接続された逆電圧保持用コンデンサと、
前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧保持用コンデンサの陽極との間、に接続されたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチ素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段のオン・オフを制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段と、
を具備し、
前記第１のダイオードブリッジと前記第２のダイオードブリッジとが直列接続されている、
ことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
【請求項７】 前記制御手段は、前記第1のスイッチング回路と前記第２のスイッチング回路の位相をずらして制御することを特徴とする請求項６記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項８】 前記スイッチング手段と前記逆電圧保持用コンデンサの正極との接続および前記スイッチング手段と前記逆電圧保持用コンデンサの負極との接続を選択的に切換えるための切換スイッチをさらに備え、この切換スイッチの切換えにより、前記逆電圧保持用コンデンサから逆電圧パルスを発生させるかゼロ電圧を発生させるか切換えられることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項９】 前記チョークコイルは、互いに直列接続された複数のチョークコイルであることを特徴とする請求項２乃至請求項８のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１０】 前記チョークコイル全体の自己共振周波数は、前記第1のスイッチング手段または前記第１のスイッチング素子のスイッチング周波数の５倍以上であることを特徴とする請求項９記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１１】 前記複数のチョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間における前記スイッチング手段の接続点とその負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路、をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１２】 前記第２のトランスの２次側に設けられた逆方向アーク防止回路、をさらに備えること特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１３】 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段をオン・オフ制御して前記チョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項１または請求項２記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１４】 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段をオン・オフ制御して前記負極出力端子および前記正極出力端子から定電力が出力されるように前記チョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項１または請求項２記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１５】 前記制御手段は、前記第1のスイッチング素子をオン・オフ制御して前記チョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１６】 前記制御手段は、前記第1のスイッチング素子をオン・オフ制御して前記負極出力端子および前記正極出力端子から定電力が出力されるように前記チョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１７】 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとＴ１後に前記第２のスイッチング手段を設定時間Ｔ２だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間Ｔ３以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１８】 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとＴ１後に前記スイッチング手段を設定時間Ｔ２だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間Ｔ３以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項４乃至請求項１６のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項１９】 前記制御手段は、周期的に前記第２のスイッチング手段を設定時間Ｔ２だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項２０】 前記制御手段は、周期的に前記スイッチング手段を設定時間Ｔ２だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項４乃至請求項１６のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項２１】 前記制御手段は、前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記第２のスイッチング手段をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項２２】 前記制御手段は、前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング手段をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項４乃至請求項１６のいずれかに記載のスパッタリング用電源装置。
【請求項２３】 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項２１または請求項２２記載のスパッタリング用電源装置。
[Claims]
1. A sputtering power supply device having a negative output terminal and a positive output terminal,
DC power supply for sputtering,
A choke coil connected between the negative electrode of the DC power source for sputtering and the negative electrode output terminal,
First switching means provided between a connection between the negative electrode of the DC power supply for sputtering and the choke coil;
A positive voltage is connected between the choke coil and the negative electrode output terminal, and a negative voltage is connected to the positive output terminal.
Second switching means connected between a connection between the choke coil and the negative output terminal and between a positive electrode of the reverse voltage generating DC power supply;
A voltage detection unit that detects a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal,
Control means for controlling on / off of each of the switching means;
With
The choke coil is a plurality of choke coils connected in series independent of each other,
A power supply device for sputtering, comprising:
2. A power supply device for sputtering having a negative output terminal and a positive output terminal,
DC power supply for sputtering,
A choke coil connected between the negative electrode of the DC power source for sputtering and the negative electrode output terminal,
First switching means and third switching means provided in series between a connection between the negative electrode of the sputtering DC power supply and the choke coil;
A positive voltage is connected between the choke coil and the negative electrode output terminal, and a negative voltage is connected to the positive output terminal.
Second switching means connected between a connection between the choke coil and the negative output terminal and between a positive electrode of the reverse voltage generating DC power supply;
A return path connected between a connection point of the third switching means and the choke coil and a connection point of a positive electrode of the second switching means and the DC power supply for generating reverse voltage;
A voltage detection unit that detects a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal,
Control means for controlling on / off of each of the switching means;
A power supply device for sputtering, comprising:
3. A reverse direction provided between a connection point of the return path between a connection of the second switching means and a positive electrode of the reverse voltage generating DC power supply and a positive electrode of the reverse voltage generating DC power supply. The power supply device for sputtering according to claim 2, further comprising an arc prevention circuit.
4. A sputtering power supply device having a negative output terminal and a positive output terminal,
A DC power supply that outputs a DC voltage,
A switching circuit that has a plurality of switching elements each connected in a bridge, and converts an output of the DC power supply into a pulse output;
A transformer that receives a pulsed primary voltage from the switching circuit and outputs a pulsed secondary voltage;
First and second diode bridges for rectifying a pulsed secondary voltage output from the transformer;
A choke coil connected between the output end of the first diode bridge and the negative output terminal,
A reverse voltage holding capacitor connected to an output terminal of the second diode bridge;
Switching means connected between the connection between the choke coil and the negative output terminal, and between the anode of the reverse voltage holding capacitor,
A voltage detection unit that detects a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal,
Control means for outputting a switching control signal to the switch element, and outputting a switching control signal for controlling on / off of the switching means;
A power supply device for sputtering, comprising:
5. A power supply device for sputtering having a negative output terminal and a positive output terminal,
A DC power supply that outputs a DC voltage,
First and second switching circuits each having a plurality of switching elements bridge-connected and converting an output of the DC power supply into a pulse output;
A first and a second transformer that are supplied with a pulsed primary voltage from each of the switching circuits and output a pulsed secondary voltage, respectively;
A first diode bridge for rectifying a pulsed secondary voltage output from the first transformer;
A second diode bridge for rectifying a pulsed secondary voltage output from the second transformer;
A choke coil connected between the output end of the first diode bridge and the negative output terminal,
A reverse voltage holding capacitor connected to an output terminal of the second diode bridge;
Switching means connected between the connection between the choke coil and the negative output terminal, and between the anode of the reverse voltage holding capacitor,
A voltage detection unit that detects a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal,
Control means for outputting a switching control signal to the switch element, and outputting a switching control signal for controlling on / off of the switching means;
A power supply device for sputtering, comprising:
6. A sputtering power supply device having a negative output terminal and a positive output terminal,
A DC power supply that outputs a DC voltage,
First and second switching circuits each having a plurality of switching elements bridge-connected and converting an output of the DC power supply into a pulse output;
A first and a second transformer that are supplied with a pulsed primary voltage from each of the switching circuits and output a pulsed secondary voltage, respectively;
A first diode bridge for rectifying a pulsed secondary voltage output from the first transformer;
A second diode bridge for rectifying a pulsed secondary voltage output from the second transformer;
A third diode bridge for rectifying a pulsed secondary voltage output from the second transformer;
A choke coil connected between the output end of the first diode bridge and the negative output terminal,
A reverse voltage holding capacitor connected to an output terminal of the third diode bridge;
Switching means connected between the connection between the choke coil and the negative output terminal, and between the anode of the reverse voltage holding capacitor,
A voltage detection unit that detects a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal,
Control means for outputting a switching control signal to the switch element, and outputting a switching control signal for controlling on / off of the switching means;
With
The first diode bridge and the second diode bridge are connected in series,
A power supply device for sputtering, comprising:
7. The power supply device for sputtering according to claim 6, wherein said control means controls the first switching circuit and the second switching circuit while shifting their phases.
8. A switch for selectively switching connection between the switching means and a positive electrode of the reverse voltage holding capacitor and connection between the switching means and a negative electrode of the reverse voltage holding capacitor, The power supply device for sputtering according to any one of claims 1 to 7, wherein the switching of the changeover switch switches between generating a reverse voltage pulse and generating a zero voltage from the reverse voltage holding capacitor. .
9. The sputtering power supply device according to claim 2, wherein the choke coil is a plurality of choke coils connected in series to each other.
10. The sputtering power source according to claim 9, wherein a self-resonant frequency of the entire choke coil is at least five times a switching frequency of the first switching means or the first switching element. apparatus.
11. A reverse arc prevention circuit provided between a connection point of the switching means between a connection of the plurality of choke coils and the negative output terminal and a negative output terminal thereof. The power supply device for sputtering according to any one of claims 1 to 10.
12. The sputtering power supply device according to claim 4, further comprising a reverse arc prevention circuit provided on a secondary side of said second transformer.
13. The sputtering apparatus according to claim 1, wherein the control means controls on / off of the first switching means to control a constant current to flow through the choke coil. Power supply.
14. The control means controls on / off of the first switching means to control a current value flowing through the choke coil so that constant power is output from the negative output terminal and the positive output terminal. The power supply device for sputtering according to claim 1 or 2, wherein the sputtering is performed.
15. The control device according to claim 4, wherein the control unit controls on / off of the first switching element to control a constant current to flow through the choke coil. The power supply device for sputtering according to the above.
16. The control means controls on / off of the first switching element to control a current value flowing through the choke coil so that constant power is output from the negative output terminal and the positive output terminal. The power supply device for sputtering according to any one of claims 4 to 6, wherein
17. The control unit further performs an arc determination based on the voltage detected by the voltage detection unit. When the arc determination is made, the control unit turns on the second switching unit for a set time T2 after T1 to set a reverse voltage pulse. The power supply device for sputtering according to any one of claims 1 to 3, wherein the control is performed such that the arc determination is performed again after a set time T3 after the output of the reverse voltage pulse is completed and the same processing is repeated. .
18. The control unit further performs an arc determination based on the voltage detected by the voltage detection unit. When the arc is determined, the control unit turns on the switching unit for a set time T2 after T1 to generate a reverse voltage pulse. 17. The power supply device for sputtering according to claim 4, wherein the arc determination is performed again after a set time T3 after the output of the reverse voltage pulse is completed, and control for repeating the same processing is performed.
19. The apparatus according to claim 1, wherein said control means periodically turns on said second switching means for a set time T2 to generate a reverse voltage pulse. Power supply for sputtering.
20. The sputtering apparatus according to claim 4, wherein said control means periodically turns on said switching means for a set time T2 to generate a reverse voltage pulse. Power supply.
21. The control means performs an arc judgment on the basis of the voltage detected by the voltage detection unit. When the arc judgment is made, the control means turns off the second switching means to change the voltage-current characteristic of the arc discharge. The power supply device for sputtering according to any one of claims 1 to 3, further comprising an arc discharge characteristic measurement mode for measuring.
22. An arc controller for performing an arc determination based on a voltage detected by the voltage detector, and turning off the switching means when the arc determination is performed to measure a voltage-current characteristic of arc discharge. 17. The power supply device for sputtering according to claim 4, further comprising a discharge characteristic measurement mode.
23. The sputtering apparatus according to claim 21, wherein the control means performs an arc determination based on a voltage-current characteristic of the arc discharge measured in the arc discharge characteristic measurement mode. Power supply.
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明のスパッタリング用電源装置は、負極出力端子および正極出力端子を有するものであって、スパッタリング用直流電源と、このスパッタリング用直流電源の負極と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、前記スパッタリング用直流電源の負極と前記チョークコイルとの接続間に設けられた第１のスイッチング手段と、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間に正極が接続され、負極が前記正極出力端子に接続された逆電圧発生用直流電源と、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧発生用直流電源の正極との間、に接続された第２のスイッチング手段と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、前記各スイッチング手段のオン・オフを制御する制御手段と、を備える。そして、前記チョークコイルが、互いに独立の直列接続された複数のチョークコイルである。
[0007]
[Means for Solving the Problems]
A power supply device for sputtering according to the invention according to claim 1 has a negative output terminal and a positive output terminal, and is connected between a DC power source for sputtering and a negative electrode of the DC power source for sputtering and the negative output terminal. A choke coil, a first switching means provided between the negative electrode of the sputtering DC power supply and the choke coil, and a positive electrode connected between the choke coil and the negative electrode output terminal. A second power supply connected to the positive output terminal, a second power supply connected between the choke coil and the negative output terminal, and a second power supply connected to the positive electrode of the reverse voltage generation DC power supply. Switching means, a voltage detection unit for detecting a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal, And a control unit for controlling the stage on and off, the. The choke coil is a plurality of choke coils connected in series independent of each other.
請求項２記載のスパッタリング用電源装置は、負極出力端子および正極出力端子を有するものであって、スパッタリング用直流電源と、このスパッタリング用直流電源の負極と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、前記スパッタリング用直流電源の負極と前記チョークコイルとの接続間に直列に設けられた第１のスイッチング手段および第３のスイッチング手段と、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間に正極が接続され、負極が前記正極出力端子に接続された逆電圧発生用直流電源と、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧発生用直流電源の正極との間、に接続された第２のスイッチング手段と、前記第３のスイッチング手段および前記チョークコイルの接続点と、前記第２のスイッチング手段および前記逆電圧発生用直流電源の正極の接続点との間、に接続された還流路と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、前記各スイッチング手段のオン・オフを制御する制御手段と、を備える。
Sputtering power supply device according to claim 2 wherein, there is one having a negative output terminal and the positive output terminal, a DC for sputtering power source, connected between the negative electrode and the negative electrode output terminal of the sputtering DC power supply A choke coil, first switching means and third switching means provided in series between a connection between the negative electrode of the sputtering DC power supply and the choke coil, and a connection between the choke coil and the negative electrode output terminal. A positive electrode is connected, a negative voltage is connected to the positive output terminal, and a reverse voltage generating DC power supply is connected between the choke coil and the negative output terminal, and between the positive voltage of the reverse voltage generating DC power supply. A connected second switching means, a connection point between the third switching means and the choke coil, A return path connected between the switching means and the connection point of the positive electrode of the reverse voltage generating DC power supply; and a voltage detection unit for detecting a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal. And control means for controlling on / off of each of the switching means.
請求項４記載のスパッタリング用電源装置は、負極出力端子および正極出力端子を有するものであって、直流電圧を出力する直流電源と、それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換するスイッチング回路と、前記スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の２次電圧を出力するトランスと、前記トランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第1および第２のダイオードブリッジと、前記第1のダイオードブリッジの出力端と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、前記第２のダイオードブリッジの出力端に接続された逆電圧保持用コンデンサと、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧保持用コンデンサの陽極との間、に接続されたスイッチング手段と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、前記スイッチ素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段のオン・オフを制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段と、を備える。
The power supply device for sputtering according to claim 4 , wherein the power supply device has a negative output terminal and a positive output terminal, and has a DC power supply that outputs a DC voltage, and a plurality of switching elements each of which is bridge-connected, A switching circuit that converts the output of the DC power supply into a pulse output; a transformer that receives a pulsed primary voltage from the switching circuit and outputs a pulsed secondary voltage; and a pulsed secondary voltage that is output from the transformer. First and second diode bridges for rectifying a voltage, a choke coil connected between an output end of the first diode bridge and the negative output terminal, and an output end of the second diode bridge. The connection between the choke coil and the negative output terminal, and the reverse voltage holding capacitor. A switching means connected to the positive electrode, a voltage detecting unit for detecting a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal, and a switching control signal to the switch element. And control means for outputting a switching control signal for controlling on / off of the switching means.
請求項５記載のスパッタリング用電源装置は、負極出力端子および正極出力端子を有するものであって、直流電圧を出力する直流電源と、それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する第１および第２のスイッチング回路と、前記各スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の２次電圧をそれぞれ出力する第１および第２のトランスと、前記第１のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第1のダイオードブリッジと、前記第２のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第２のダイオードブリッジと、前記第1のダイオードブリッジの出力端と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、前記第２のダイオードブリッジの出力端に接続された逆電圧保持用コンデンサと、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧保持用コンデンサの陽極との間、に接続されたスイッチング手段と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、前記スイッチ素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段のオン・オフを制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段と、を備える。
The power supply device for sputtering according to claim 5 , wherein the power supply device has a negative output terminal and a positive output terminal, and includes a DC power supply that outputs a DC voltage, and a plurality of switching elements each of which is bridge-connected, First and second switching circuits for converting the output of the DC power supply into pulse outputs, and first and second switching circuits each supplied with a pulsed primary voltage and outputting a pulsed secondary voltage, respectively. A transformer, a first diode bridge for rectifying the pulsed secondary voltage output from the first transformer, and a second diode for rectifying the pulsed secondary voltage output from the second transformer A bridge, a choke coil connected between an output terminal of the first diode bridge and the negative output terminal, and a second diode bridge. A reverse voltage holding capacitor connected to an output terminal of the capacitor; a switching means connected between a connection between the choke coil and the negative output terminal; and an anode of the reverse voltage holding capacitor; A voltage detection unit that detects a voltage generated between an output terminal and the positive electrode output terminal, and outputs a switching control signal to the switch element, and a switching control signal that controls on / off of the switching unit. Control means for outputting.
請求項６記載のスパッタリング用電源装置は、負極出力端子および正極出力端子を有するものであって、直流電圧を出力する直流電源と、それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する第１および第２のスイッチング回路と、前記各スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の２次電圧をそれぞれ出力する第１および第２のトランスと、前記第１のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第1のダイオードブリッジと、前記第２のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第２のダイオードブリッジと、前記第２のトランスから出力されるパルス状の２次電圧を整流する第３のダイオードブリッジと、前記第1のダイオードブリッジの出力端と前記負極出力端子との間に接続されたチョークコイルと、前記第３のダイオードブリッジの出力端に接続された逆電圧保持用コンデンサと、前記チョークコイルおよび前記負極出力端子の接続間と、前記逆電圧保持用コンデンサの陽極との間、に接続されたスイッチング手段と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、前記スイッチ素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段のオン・オフを制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段と、を備える。
The power supply device for sputtering according to claim 6, which has a negative output terminal and a positive output terminal, has a DC power supply that outputs a DC voltage, and a plurality of switching elements each of which is bridge-connected, First and second switching circuits for converting the output of the DC power supply into pulse outputs, and first and second switching circuits each supplied with a pulsed primary voltage and outputting a pulsed secondary voltage, respectively. A transformer, a first diode bridge for rectifying the pulsed secondary voltage output from the first transformer, and a second diode for rectifying the pulsed secondary voltage output from the second transformer A bridge, a third diode bridge for rectifying a pulsed secondary voltage output from the second transformer, and the first diode bridge. A choke coil connected between the output terminal of the third diode bridge and the negative output terminal; a reverse voltage holding capacitor connected to the output terminal of the third diode bridge; and a connection between the choke coil and the negative output terminal. A switching unit connected between the anode of the reverse voltage holding capacitor, a voltage detection unit that detects a voltage generated between the negative output terminal and the positive output terminal, and Control means for outputting a switching control signal to the switching means and outputting a switching control signal for controlling on / off of the switching means.