JP2002217245A - テープキャリアの製造方法 - Google Patents

テープキャリアの製造方法

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JP2002217245A
JP2002217245A JP2001009886A JP2001009886A JP2002217245A JP 2002217245 A JP2002217245 A JP 2002217245A JP 2001009886 A JP2001009886 A JP 2001009886A JP 2001009886 A JP2001009886 A JP 2001009886A JP 2002217245 A JP2002217245 A JP 2002217245A
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tape
tape carrier
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tab
pulleys
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JP2001009886A
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Shigehiro Morishita
滋宏 森下
Shinichi Nozaki
信一 野崎
Takashi Sasaki
孝 佐々木
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Hitachi Cable Ltd
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Hitachi Cable Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】うねり・変形を伴わず、均一に、且つ高精度に
反りを低減し、安定したTABテープを得ること。 【解決手段】一面又は両面に導体パターンを有するTA
Bテープ1を、その幅方向に逆反りを付与しながら加熱
空間7に通し、次いで冷却空間9に通すことにより、T
ABテープ1の幅方向の反りを低減するに際し、前記加
熱空間内及びこれに続く冷却空間内にかけて、前記TA
Bテープ1の支持として中央部の凹んだ滑車3をテープ
方向に二列に並べ、これにTABテープ1の幅方向両端
部を支持させて逆反りを付与しながらTABテープ1を
送ることにより、TABテープ1を所定の形状に整形す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はTAB(Tape Autom
ated Bonding)テープ又はBGA(Ball Grid Array
)、COF(Chip On Film)用テープキャリアの製造
方法に関するもので、特にテープキャリアの変形の矯正
において、高い精度で簡易的に矯正を制御できることを
特徴とした製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】TABテープは通常次のように形成され
る。
【0003】すなわち、まずBステージの接着剤が形成
されたポリイミド樹脂フィルム等から成るテープ基材の
片面に銅箔をラミネートし、テープ基材、接着剤、銅箔
の3層構造とする。続いて接着剤を硬化させる。更に銅
箔の配線回路を形成するために、感光性レジストの塗
布、露光、現像、エッチング、剥膜工程を経て、リード
を含む配線回路パターンを形成する。最後にめっき工程
において、配線回路パターンにめっきが形成される。T
ABテープの基本構造はこのようなものになる。更にT
−BGA(Tape Ball Grid Array)などの品種によって
は、配線回路パターンの表面における端子部分を除いた
必要部分に絶縁保護層として感光性ソルダーレジストな
どを形成するものもあるし、または2メタルTABテー
プのようにテープ基材の両面に銅箔等で回路パターンが
形成されるものもある。
【0004】このように形成されるTABテープ、T−
BGA又はCOF用テープなどの半導体素子搭載用テー
プキャリアは、ポリイミド樹脂フィルム等から成るテー
プ基材、接着剤、銅箔及びソルダーレジストなどの材料
の熱膨張率の差や、ソルダーレジストの熱収縮に起因し
て、ソルダーレジスト側に凹状の反りが生ずる。
【0005】このテープキャリアの反りは、その後の半
導体装置パッケージの製品完成まで続く工程において除
去することができないばかりか、さらに反りが増す傾向
にある。従って、このような反りを有する製品は、テー
プキャリアに搭載する半導体チップに対するワイヤーボ
ンディングなどの位置精度に影響したり、または、工程
内での搬送の障害となる等の不具合を招来する。
【0006】そこで、このTABテープの反りを低減す
る方法として、特開平6−260535号公報におい
て、逆反りを付与しながら加熱し、その形状を保ったま
ま冷却することにより、反りを低減するテープキャリア
の製造方法が開示されている。また、この公報には、反
りの低減方法として、反りと反対方向に湾曲した整形治
具を用いて整形することも開示されている。この成形治
具は、円形の成形型と、その外周に切り欠き部を有して
設けられた位置決めガイド型と、さらにその外周に設け
られた円形の押さえ型より構成される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、TAB
テープの品種は多岐に渡ることから、上記のような型の
成形治具では、整形治具を多種用意する必要が出てき
た。例えば、基材として75μm厚のポリイミド樹脂で
あるユーピレックスS(宇部興産製)、接着剤として1
2μm厚の接着剤X(巴川製紙製)、銅箔として18μ
m厚の電解銅箔FQ−VLP(三井金属製)を用いた7
0mm幅のある品種でのF−BGAの場合、矯正幅として
61〜63mm程度にしたものが最適である。しかしなが
ら、中央にデバイスホールのあるT−BGAや感光性ソ
ルダーレジストが形成されたもの、或いは基材厚が異な
るものでは、それぞれ必要とされる矯正幅または曲率が
異なり、またテープ幅が35mm、48mm、105mmと異
なれば、それらに必要とされる整形治具の数も膨大とな
る。
【0008】そこで、一般には整形方法として図3に示
すような2つのL形ガイド2を互いに向き合わせて左右
に配設して、矯正幅可変なコの字型のガイドを構成し、
その各L形ガイド2の内側コーナ部でTABテープ1の
両側を支持することにより、TABテープの反りを低減
する方法が用いられる。
【0009】しかしながら、図3のコの字型のガイドを
用いた場合、TABテープ端と矯正治具間で摩擦が生
じ、TABテープ端、特にスプロケットホール近傍で、
テープのうねりや変形を生じやすく、または部分的に逆
反りになり、チップ搭載時の障害になる場合もある。
【0010】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、うねり・変形を伴わず、均一にかつ高精度に反りを
低減し、安定したTABテープを得ることのできるテー
プキャリアの製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、次のように構成したものである。
【0012】(1)請求項1に記載の発明は、一面又は
両面に導体パターンを有するテープキャリアを、その幅
方向に逆反りを付与しながら加熱空間に通し、次いで冷
却空間に通すことにより、テープキャリアの幅方向の反
りを低減するテープキャリアの製造方法において、前記
加熱空間内及びこれに続く冷却空間内にかけて、前記テ
ープキャリアの支持として中央部の凹んだ滑車をテープ
方向に二列に並べ、これにテープキャリアの幅方向両端
部を支持させて逆反りを付与しながらテープキャリアを
送ることにより、テープキャリアを所定の形状に整形す
ることを特徴とする。
【0013】この発明によれば、テープ方向に二列に並
べた滑車により、テープキャリアの幅方向両端部が支持
される。二列に並べた滑車間の間隔により、テープキャ
リアに逆反りが付与され、その状態で加熱空間内及びこ
れに続く冷却空間内を通され、これによりテープキャリ
アの幅方向の反りが低減され、テープキャリアが所定の
形状に整形される。
【0014】本発明は、テープキャリアの整形治具とし
て、中央部が凹んだ滑車を用いてテープキャリアを支持
しながら整形するものであり、これにより形状の安定し
たテープキャリアを供給するものである。
【0015】TABテープ(高分子材料)等のテープキ
ャリアに加熱と変形を加えてクリープにより変形する方
式ではあるが、本発明は滑車によりテープキャリアの幅
方向両端部を支持する方式であるため、テープキャリア
に対する逆反りの付与が、従来に比し、摩擦を伴わない
で円滑に行われる。このため、うねり・変形を伴わず、
均一に、且つ高精度に反りを低減し、安定したテープキ
ャリアを得ることができる。
【0016】(2)請求項2に記載の発明は、前記テー
プキャリアの幅方向両端部に位置する滑車の軸を互いに
逆ハの字状に傾けておくことを特徴とする。
【0017】この特徴によれば、テープキャリアの幅方
向両端部の曲げ方向が滑車周面谷部の中心の向きと一致
し、曲げの負担を和らげるため、テープキャリアの両端
部の好ましくない変形を防止することができる。
【0018】(3)請求項3に記載の発明は、前記テー
プキャリアの幅方向両端部に位置する滑車間の間隔調整
機構を設け、予め滑車のテープキャリアの幅方向両端部
間の間隔を最適な間隔幅に調整することを特徴とする。
【0019】この特徴によれば、TABテープやBG
A、COF用のテープキャリアのテープ反り低減に関
し、逆反りを付与する左右滑車間の間隔が、間隔調整機
構により最適値に設定されるため、あらゆる品種に対応
することができ、且つ安定、且つ均一に整形を行うこと
ができる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明のテープキャリアの
製造方法を図示の実施形態に基づいて説明する。
【0021】図1は整形装置の概要を示したもので、テ
ープキャリアたるTABテープ1を巻出し機5より巻出
し、順次、加熱炉(加熱空間)7及びこれに続く冷却部
(冷却空間)9を通して、巻取り機8により巻取る構成
となっている。
【0022】上記加熱炉7の加熱空間内及びこれに続く
冷却部9の冷却空間内にかけて、整形治具として、中央
部の凹んだ滑車3が、TABテープ1の幅方向両側部を
支持するように、テープ走行方向に二列に並べられてい
る。
【0023】加熱炉7内においてスムーズにTABテー
プに変形を与えるために、加熱炉7の前には、きっかけ
6のガイドを設けてある。
【0024】図2に、この整形治具の断面構造を示す。
この整形治具は、外周が「く」の字型に凹んだ滑車3
を、TABテープ1の幅方向(図2の左右方向)の一端
側を支持する第1列の滑車群3Aと、他端側を支持する
第2列の滑車群3Bとし、両滑車群3A、3Bをそれぞ
れ滑車支持台4に設けた構成である。この左右の滑車群
3A、3Bは、TABテープ1の幅方向両端部を支持す
る位置にて、一定の角度を付けて且つ直線上に2列に並
べて滑車支持台4に設けられる。
【0025】すなわち、左右の滑車群3A、3Bの滑車
3の軸3aは、TABテープ1の幅方向両端部同士の間
で、互いに逆ハの字状に傾けられている。このため、T
ABテープ1の幅方向両端部の曲げ方向が滑車周面谷部
の中心の向きと一致し、曲げの負担を和らげるため、T
ABテープ1の両端部の好ましくない変形を防止するこ
とができる。また、滑車支持台4はTABテープ1の幅
方向に移動可能となっていて間隔調整機構を構成してお
り、第1列の滑車群3Aと第2列の滑車群3Bとの間の
間隔、正確にはその滑車周面谷部間の間隔を、多種の各
TABテープ1に対して、その都度テープ幅よりも若干
小さく設定できるようになっている。従って、左右の滑
車群3A、3Bの滑車周面谷部間にTABテープ1の幅
方向両端部を支持させて、TABテープ1に幅方向の逆
反りを付与しながら、滑車により摩擦を伴わないで円滑
に送ることができ、TABテープ1を所定の形状に整形
することができる。
【0026】次に、上記整形装置を用いたTABテープ
の整形方法について説明する。
【0027】成形されたTABテープ1は一般に反りを
有している。このTABテープ1を巻出し機5より巻出
し、一定の整形を与えて加熱する。
【0028】整形の方法は2本の滑車3の列にTABテ
ープ1を送り込み、反りと逆方向の形状(逆反り)を与
える。
【0029】加熱炉7内においてスムーズにTABテー
プ1に変形(逆反り)を与えるため、加熱炉7の前にき
っかけ6のガイドを設け、これにTABテープ1を通
す。次に、この整形(逆反り)を与えたまま、加熱炉7
からTABテープ1を出し、冷却部9を通して十分冷却
させた後、整形(逆反り)を解き、TABテープ1を解
放し、巻取り機8により巻取り整形工程を完了する。
【0030】この整形工程における整形幅は、テープ幅
が異なる場合は勿論のこと、構成材料や配線回路パター
ンによってもそれぞれ最適な幅があるので、間隔調整機
構としての滑車支持台4間の間隔を調整することによ
り、TABテープ1の幅方向両端部に位置する滑車群3
A、3B間の間隔を、予め最適な間隔幅に設定する。こ
の時のTABテープ1と滑車3間には摩擦が生じない
為、TABテープ端部などにおいて、うねりなど生じ
ず、反りの少ない安定した形状のTABテープを製造す
ることができる。
【0031】TABテープを整形する条件は、構成材料
や配線回路パターンにより大きく異なるが、一般に加熱
時間は1分から3分程度で、加熱温度は100℃から1
50℃程度が望ましい。通常、整形に対しては、加熱温
度が高い方が有利ではあるが、ソルダーレジストが形成
されている場合は150℃以下にする必要がある。また
錫めっきが形成されている場合は130℃以下にするこ
とが必要である。しかし、ソルダーレジストが形成され
ておらず、金めっきで形成されたTABテープの場合
は、短時間であるなら170℃から190℃程度までな
ら加熱することも可能である。この場合、加熱時問を短
縮できるので生産効率が向上する。
【0032】図1の整形装置を用いて整形を行った結
果、例えばテープ基材として50μm厚のポリイミド樹
脂である商品名「ユーピレックスS」(宇部興産製)を
用いた場合、従来のコの字型ガイドでは、スプロケット
部やTABテープ端にうねりを生じていたが、本発明に
よる滑車3を用いた整形方法では、このような問題は生
じず、反りの低減した、且つ安定した形状のTABテー
プを製造することが可能となった。 <他の実施形態、変形例>本発明は一般的なTABテー
プに限らず、これを応用したBGA用、COF用のテー
プキャリアにも適用することができる。
【0033】また、上記実施形態では、接着剤を用いた
テープキャリアに関して説明したが、接着剤なしで銅箔
を貼り合わせた2層材の場合でも加工中に生じる反りや
変形に関しては、構成材料のクリープが原因と考えられ
るので、本発明は接着剤の無い2層材のテープキャリア
に対しても適用することができ、上記と同様の作用効果
を得ることができる。またソルダーレジストや感光性ソ
ルダーレジストを設けたものは、接着剤の有無に係わら
ず同様の効果が期待できる。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、T
ABテープ等のテープキャリアの整形治具として、中央
部が凹んだ滑車を用いてテープキャリアを支持しながら
整形するため、うねり・変形を伴わず、均一に、且つ高
精度に反りを低減し、形状の安定したテープキャリアを
供給することができる。
【0035】また、テープキャリアの幅方向両端部に位
置する滑車の軸を互いに逆ハの字状に傾けておく形態に
よれば、テープキャリアの両端部の好ましくない変形を
防止することができる。
【0036】さらに、間隔調整機構を設けて、予め滑車
のテープキャリアの幅方向両端部間の間隔を最適な間隔
幅に調整する形態によれば、TABテープやBGA、C
OF用のテープキャリアのテープ反り低減に関し、逆反
りを付与する左右滑車間の間隔を最適値に設定できるた
め、あらゆる品種に対応することができ、且つ安定、且
つ均一に整形を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るTABテープの製造方法を示す図
である。
【図2】本発明の製造方法におけるTABテープの整形
治具の断面図である。
【図3】従来のTABテープの整形治具を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
1 TABテープ 2 L形ガイド 3 滑車 3a 軸 3A 第1列の滑車群 3B 第2列の滑車群 4 滑車支持台 5 巻出し機 6 きっかけ 7 加熱炉 8 巻取り機 9 冷却部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 孝 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社総合技術研究所内 Fターム(参考) 5F044 MM01 MM48 MM49

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一面又は両面に導体パターンを有するテー
    プキャリアを、その幅方向に逆反りを付与しながら加熱
    空間に通し、次いで冷却空間に通すことにより、テープ
    キャリアの幅方向の反りを低減するテープキャリアの製
    造方法において、 前記加熱空間内及びこれに続く冷却空間内にかけて、前
    記テープキャリアの支持として中央部の凹んだ滑車をテ
    ープ方向に二列に並べ、これにテープキャリアの幅方向
    両端部を支持させて逆反りを付与しながらテープキャリ
    アを送ることにより、テープキャリアを所定の形状に整
    形することを特徴とするテープキャリアの製造方法。
  2. 【請求項2】請求項1記載のテープキャリアの製造方法
    において、前記テープキャリアの幅方向両端部に位置す
    る滑車の軸を互いに逆ハの字状に傾けておくことを特徴
    とするテープキャリアの製造方法。
  3. 【請求項3】請求項1又は2記載のテープキャリアの製
    造方法において、前記テープキャリアの幅方向両端部に
    位置する滑車間の間隔調整機構を設け、予め滑車のテー
    プキャリアの幅方向両端部間の間隔を最適な間隔幅に調
    整することを特徴とするテープキャリアの製造方法。
JP2001009886A 2001-01-18 2001-01-18 テープキャリアの製造方法 Withdrawn JP2002217245A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9096139B2 (en) 2009-12-22 2015-08-04 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Power feeding control apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Effective date: 20080401