JP2002214131A - 表面プラズモン共鳴現象測定装置 - Google Patents

表面プラズモン共鳴現象測定装置

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JP2002214131A
JP2002214131A JP2001015567A JP2001015567A JP2002214131A JP 2002214131 A JP2002214131 A JP 2002214131A JP 2001015567 A JP2001015567 A JP 2001015567A JP 2001015567 A JP2001015567 A JP 2001015567A JP 2002214131 A JP2002214131 A JP 2002214131A
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plasmon resonance
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隆 正留
Toshihiko Imato
稔彦 今任
Yoshito Fushinuki
義十 伏貫
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弦 岩崎
Osamu Niwa
修 丹羽
Hisao Tabei
久男 田部井
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
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    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低価格化を図るとともに、小型化を図り、か
つマルチチャンネルの測定を可能にする。 【解決手段】 光源1から放射された光は偏光板2を通
過すると、p偏光光のみが通過し、このp偏光光は入射
側レンズ3で集光されてプリズム4に入射される。プリ
ズム4の底面に被測定物に接する金属薄膜5が設けられ
ている。偏光板2を通過したp偏光光がプリズム4に入
射し、金属薄膜5を照射し、金属薄膜5からの反射光の
強度変化をCCDラインセンサ8で検出している。そし
て、入射側レンズ3を、光源1からの円形ビーム形状の
光を線形ビーム形状に変えてプリズム4に入射するシリ
ンダーレンズとする。また、集光レンズ6からの円形ビ
ーム形状の光を線形ビーム形状に変えてCCDラインセ
ンサ8に導くシリンダーレンズ7を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学系を用いて非
測定溶液中の特定物質を定量あるいは定性的に測定する
表面プラズモン共鳴現象測定装置に関し、特に、被測定
物に接した金属薄膜での表面プラズモン共鳴現象を利用
し、液体やガスなどの被測定物の屈折率の変化を検知し
定性・定量測定を行う表面プラズモン共鳴現象測定装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、化学プロセス計測や環境計測ある
いは臨床検査等において、呈色反応や免疫反応を利用し
た測定が行われているが、この測定方法では被測定物を
サンプル抽出する必要があるばかりか、煩雑な操作や標
識物質を必要とする等の問題あった。このため、標識物
質を必要とすることなく、高感度で被測定物中の化学物
質の定性・定量測定の可能なセンサとして光励起表面プ
ラズモン共鳴現象を利用したセンサが提案され、実用化
されている。
【0003】図6は従来の表面プラズモン共鳴(Surfac
e Plasmon Resonance 以下、SPRと略称する)現象測
定装置のモデル図である。同図において、1は単色光の
光源であって、この光源1から放射された光が偏光板2
を通過すると、p偏光光のみが通過する。このp偏光光
は、入射側レンズ35で集光されてプリズム4に入射さ
れる。プリズム4の底面には被測定物40に接する金属
薄膜5が設けられており、偏光板2を通過したp偏光光
をこのプリズム4に入射角θで入射させ、金属薄膜5を
照射することによって、金属薄膜5からの反射光の強度
変化を光検出器であるCCDラインセンサ8で検出して
いる。
【0004】すなわち、光源1から放射された光は、プ
リズム4と金属薄膜5の境界でエバネッセント波とな
り、その波数は次式により表される。 Kev=Kppsinθ ここで、Kpは入射光の波数、npはプリズム4の屈折
率、θは入射角である。一方、金属膜表面では、表面プ
ラズモン波が生じ、その波数は次式により表される。 Ksp=(c/w)・√(εn2/(ε+n2)) ここで、cは光速、wは角振動数、εは金属薄膜の誘電
率、nは被測定物の屈折率である。
【0005】このエバネッセント波と表面プラズモン波
の波数が一致する入射角θのとき、エバネッセント波は
表面プラズモンの励起に使われ、反射光として計測され
る光量が減少する。SPR現象はプリズム4に設けた金
属薄膜5に接する被測定物の屈折率に依存するために、
例えば被測定物を水とした場合、図7に示すように、あ
る角度で極小を有する曲線として検出することができ、
被測定物40の濃度変化による屈折率変化を測定するば
かりか、金属薄膜5上に抗体などを固定することによ
り、抗原との結合による抗体の屈折率変化を測定するこ
とにより、特定物質の定量を行うことができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】近年、SPR現象測定
装置はその応用範囲が広まり、屋外での携帯センサとし
ての使用が考えられ、小型化・低価格化が求められてい
る。しかしながら、上述した従来の表面プラズモン共鳴
現象測定装置においては、図6に示すように、細長く形
成されたCCDラインセンサ8を照射するビーム形状2
3が円形となるので、ラインセンサ8を照射する光の効
率が低下する。したがって、小型化をするとCCDライ
ンセンサ8の感度が低下するという問題があり、そのた
めには各光学構成部品の精度を上げざるを得ず、低価格
化が困難となっていた。また、小型化された装置では、
マルチチャンネル計測ができないという問題もあった。
【0007】本発明は上記した従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、第1の目的は低価格化を図ることにある。
第2の目的は小型化を図ることにある。第3の目的はマ
ルチチャンネルの測定を可能にすることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、光源と、この光源からの光
を偏光するための偏光フィルタと、この偏光フィルタを
通過した光を集光するレンズと、このレンズからの光が
入射され、表面プラズモン共鳴現象を計測するための金
属薄膜が形成されたプリズムと、このプリズムから反射
された光を計測する光検出器とを備えた表面プラズモン
共鳴現象測定装置において、前記プリズムからの円形ビ
ーム形状の光を線形ビーム形状に変えて前記光検出器に
導くレンズを設けたものである。したがって、光検出器
に効率よく光が導かれる。
【0009】また、請求項2に係る発明は、請求項1に
係る発明において、前記プリズムからの反射光を前記光
検出器に導くレンズをシリンダーレンズとしたものであ
る。したがって、シリンダーレンズを通過する光のビー
ム形状が円形から線形に変換される。
【0010】また、請求項3に係る発明は、請求項1に
係る発明において、前記プリズムへ光を集光させるレン
ズをシリンダーレンズとしたものである。したがって、
プリズムへ入射する光が絞られる。
【0011】また、請求項4に係る発明は、請求項3に
係る発明において、前記光源をレーザー光源とし、この
レーザー光源からの光を線形のビーム形状とするシリン
ダーレンズまたは光学回析素子を設けたものである。し
たがって、シリンダーレンズまたは光学回析素子を通過
した線形のビーム形状の光が、次のレンズを通過すると
きに幅方向が圧縮されて、プリズムへ入射する。
【0012】また、請求項5に係る発明は、請求項4に
係る発明において、前記光源からの光を複数の線形のビ
ーム形状に変換する光学回析素子を設けたものである。
したがって、1個の光源で複数の光が放射される。
【0013】また、請求項6に係る発明は、請求項1な
いし5のうちのいずれかの請求項に係る発明において、
前記光源からの光を前記プリズムに入射する入射系と、
前記プリズムから反射した光を前記光検出器へ導く反射
系とを同期させて駆動する駆動装置を設けたものであ
る。したがって、光の入射角度と反射角度を同期して可
変できる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。図1は本発明に係る表面プラズモン共
鳴現象測定装置のモデル図である。同図において、上述
した図6に示す従来技術において説明した同一または同
等の部材については同一の符号を付し詳細な説明は適宜
省略する。本発明の特徴とするところは、出射側の集光
レンズ6とCCDラインセンサ8との間に、円形のビー
ム形状の光を線形のビーム形状に変換するシリンダーレ
ンズ7を設けた点にある。
【0015】このように構成することにより、プリズム
4で反射した光は、出射側レンズ6上のビーム形状22
が円形になり、この光がシリンダーレンズ7を通過する
と、CCDラインセンサ8上のビーム形状23が線形に
なる。したがって、CCDラインセンサ8の検出表面の
外形形状とビーム形状23とがほぼ一致するので、CC
Dラインセンサ8上に効率よく光が照射される。このた
め、CCDラインセンサ8での感度が向上することによ
り、SPR現象測定装置1を構成する各種の部品の精度
を上げることなく小型化しても検出の精度を低下させる
ことがないので、製造コストを増大させることなく小型
化を図ることができる。
【0016】また、この第1の実施の形態では、入射側
レンズ3もシリンダーレンズとし、入射側レンズ上の円
形のビーム形状20を、金属薄膜5上のビーム形状21
が線形になるように変換している。このように構成する
ことにより、光源1から放射された光がシリンダーレン
ズ3によって、拡散することなく絞られ、光源1からの
光が効率よく金属薄膜5の表面に照射されるので、CC
Dラインセンサ8による検出精度が向上する。
【0017】図2および図3は本発明の第2の実施の形
態を示し、図2はモデル図、図3は構成図である。この
第2の実施の形態においては、入射側レンズをシリンダ
ーレンズ31と集光レンズ32に分けるとともに、出射
側レンズもシリンダーレンズ61と集光レンズ62に分
けたものである。また、集光レンズ62とシリンダーレ
ンズ7との間に、シリンダーレンズ7によって光を圧縮
する方向と直交する方向に延在するスリット孔24を有
するスリット板10を設けている。図3において、12
は筺体であって、プリズム4が取り付けられた部位に金
属薄膜5が臨む窓13が穿設され、筺体12内には光の
光路を変える4枚のミラー14aないし14dと偏光子
15とが設けられている。
【0018】全体を符号16で示すものは、ミラー14
a、シリンダーレンズ31、ミラー14bおよび集光レ
ンズ32から構成される入射系であって、この入射系1
6を介して光源1からの光がプリズム4に入射角度θで
入射する。全体を符号17で示すものは、シリンダーレ
ンズ61、偏光子15、集光レンズ62、ミラー14
c、スリット板10、ミラー14dおよびシリンダーレ
ンズ7から構成される反射系であって、この反射系17
を介してプリズム4からの光が反射角度θで反射する。
筺体12内には、これら入射系16と反射系17とを、
入射角度θと反射角度θとが同一の状態に保たれたま
ま、同期して駆動する図示を省略した駆動装置が設けら
れている。このように、入射系16と反射系17とを同
期して駆動するようにしたことにより、光の入射角度と
反射角度を同期して可変できるので、各種の被測定物の
測定を容易かつ短時間で行うことが可能になる。
【0019】このような構成とすることによっても、入
射側レンズでの円形のビーム形状20を、金属薄膜5の
表面上のビーム形状21を線形に変換している。また、
スリット板10のスリット孔24によって、一旦、シリ
ンダーレンズ7による光の圧縮方向と直交する方向に出
射光を圧縮していることにより、出射光が拡散すること
なく絞られるので、光源1からの光が効率よくCCDラ
インセンサ8上に照射される。したがって、CCDライ
ンセンサ8の感度が向上するので、CCDラインセンサ
8による検出精度が向上する。
【0020】図4は本発明の第3の実施の形態を示すモ
デル図である。この第3の実施の形態では、光源1をレ
ーザー光源とし、この光源1の平行光を拡げて線形のビ
ーム形状とする光学回析素子18を設け、この光学回析
素子18による光の拡張方向を、シリンダーレンズ31
と集光レンズ32による光の圧縮方向と直交するように
した点に特徴を有している。また、集光レンズ62とC
CDラインセンサ8との間には、シリンダーレンズ7を
設けずに、スリット孔24が小孔に形成されたスリット
板10を設けている。
【0021】このような構成とすることにより、光源1
から放射された平行光は、光学回析素子18によって拡
張され、入射側レンズ上のビーム形状20が線形とな
り、さらにシリンダーレンズ31と集光レンズ32とに
よって、プリズム4上のビーム形状21が点に変換され
る。プリズム4から反射した光は、シリンダーレンズ6
1と集光レンズ62上のビーム形状22が線形になるの
で、スリット板10のスリット孔24を通過した光は、
CCDラインセンサ8でのビーム形状23が線形とな
る。
【0022】したがって、CCDラインセンサ8の検出
表面の外形形状とビーム形状23とが対応するので、C
CDラインセンサ8上に効率よく光が照射される。この
ため、CCDラインセンサ8での感度が向上することに
より、SPR現象測定装置1を構成する各種の部品の精
度を上げることなく小型化しても検出の精度を低下させ
ることがないので、製造コストを増大させることなく小
型化を図ることができる。
【0023】また、光源1の円形形状をしたビーム光
を、光学回析素子18とシリンダーレンズ31および集
光レンズ32とによって2回絞り、金属薄膜5上のビー
ムの形状21を点状としたことにより、光源1から放射
された光が、拡散することなく絞られる。したがって、
光源1からの光が効率よく金属薄膜5の表面に照射され
るので、CCDラインセンサ8による検出精度が向上す
る。
【0024】図5は本発明の第4の実施の形態を示すモ
デル図である。この第4の実施の形態においては、符号
19で示す光学回析素子によって、レーザー光の光源1
の平行光が拡げられ、入射側レンズ上のビームの形状2
0が3本の線形のビームに形成される点に特徴を有す
る。このような構成によれば、シリンダーレンズ31と
集光レンズ32とを通過し、プリズム4に入射して金属
薄膜5を照射する光のビーム形状21は3個の点状にな
り、金属薄膜5で反射した光は出射側レンズ上のビーム
形状22が3本の線形のビームとなる。スリット板10
にはこれら3本の線形のビームに対応して3個の小孔2
4が穿孔されており、これら小孔24を通過した光は、
CCDラインセンサ8上のビーム形状が3本の線形ビー
ムとなる。
【0025】したがって、CCDラインセンサ8におい
ては、これら3本の線形ビームを同時に検出することが
できるので、金属薄膜5上の複数点でのマルチチャンネ
ル測定が可能になる。また、光学回析素子19とシリン
ダーレンズ31および集光レンズ32とによってビーム
形状を2回絞り、金属薄膜5上のビームの形状21を点
としたことにより、ビーム内で出射光量はほぼ均一にな
る。したがって,CCDラインセンサ8の長手方向の両
端において光量が低下するようなことがないので、CC
Dラインセンサ8のいずれの部位においてもSPRの測
定の感度が良好になる。
【0026】
【実施例】筺体12の外形寸法を90×140mmとし
た。また、第1および第2の実施の形態における単色光
の光源1は赤色LEDを用いた。また、入射角度θを6
8±5°とした。
【0027】第3および第4の実施の形態における光学
回析素子18,19をロッドレンズとしてもよい。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1または2
に係る発明によれば、プリズムからの反射光が光検出器
上に効率よく光が照射されることにより、光検出器での
感度が向上する。したがって、各種の構成部品の精度を
上げることなく小型化しても検出の精度が低下すること
がないので、製造コストを増大させることなく小型化を
図ることができる。
【0029】また、請求項3に係る発明によれば、光源
から放射された光を絞ってプリズムへ入射させることが
できることにより、光を効率よくプリズムに入射できる
ので、光検出器での検出の精度が向上する。
【0030】また、請求項4に係る発明によれば、光源
から放射された光を絞ってプリズムへ入射させることが
できることにより、光を効率よくプリズムに入射できる
ので、光検出器での検出の精度が向上する。
【0031】また、請求項5に係る発明によれば、複数
点でのマルチチャンネル測定が可能になる。また、光源
からの光を光学回析素子と入射側レンズによってビーム
光を2回絞り、金属薄膜上のビームの形状を点としたこ
とにより、ビーム内の出射光量がほぼ均一になる。した
がって,光検出器の長手方向の両端において光量が低下
するようなことがないので、光検出器のいずれの部位に
おいてもSPRの測定の感度が良好になる。
【0032】また、請求項6に係る発明によれば、光の
入射角度と反射角度を同期して可変できるので、各種の
被測定物の測定を容易かつ短時間で行うことが可能にな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る表面プラズモン共鳴現象測定装
置のモデル図である。
【図2】 本発明の第2の実施の形態のモデル図であ
る。
【図3】 本発明の第2の実施の形態の構成図である。
【図4】 本発明の第3の実施の形態を示すモデル図で
ある。
【図5】 本発明の第4の実施の形態を示すモデル図で
ある。
【図6】 従来の表面プラズモン共鳴現象測定装置のモ
デル図である。
【図7】 SPR現象をグラフで表した図である。
【符号の説明】
1…光源、2…偏光板、3,31,61…シリンダーレ
ンズ、4…プリズム、5…金属薄膜、6…集光レンズ、
7…シリンダーレンズ、8…CCDラインセンサ、10
…スリット板、12…筺体、16…入射系、17…反射
系、18,19…光学回析素子、20…入射側レンズ上
のビーム形状、21…プリズム上のビーム形状、22…
反射側レンズ上のビーム形状、23…ラインセンサ上の
ビーム形状、24…スリット孔。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年12月10日(2001.12.
10)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】図6は従来の表面プラズモン共鳴(Surfac
e Plasmon Resonance 以下、SPRと略称する)現象測
定装置のモデル図である。同図において、1は単色光の
光源であって、この光源1から放射された光が偏光子2
を通過すると、p偏光光のみが通過する。このp偏光光
は、入射側レンズ35で集光されてプリズム4に入射さ
れる。プリズム4の底面には被測定物40に接する金属
薄膜5が設けられており、偏光子2を通過したp偏光光
をこのプリズム4に入射角θで入射させ、金属薄膜5を
照射することによって、金属薄膜5からの反射光の強度
変化を光検出器であるCCDラインセンサ8で検出して
いる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】このエバネッセント波と表面プラズモン波
の波数が一致する入射角θのとき、エバネッセント波は
表面プラズモンの励起に使われ、反射光として計測され
る光量が減少する。SPR現象はプリズム4に設けた金
属薄膜5に接する被測定物40の屈折率に依存するため
に、例えば被測定物40を水とした場合、図7に示すよ
うに、ある角度で極小を有する曲線として検出すること
ができ、被測定物40の濃度変化による屈折率変化を測
定するばかりか、金属薄膜5上に抗体などを固定するこ
とにより、抗原との結合による抗体の屈折率変化を測定
することにより、特定物質の定量を行うことができる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、光源と、この光源からの光
を偏光するための偏光子と、この偏光子を通過した光を
集光するレンズと、このレンズからの光が入射され、表
面プラズモン共鳴現象を計測するための金属薄膜が形成
されたプリズムと、このプリズムから反射された光を計
測する光検出器とを備えた表面プラズモン共鳴現象測定
装置において、前記プリズムからの円形ビーム形状の光
を線形ビーム形状に変えて前記光検出器に導くレンズを
設けたものである。また、請求項2に係る発明は、光源
と、この光源からの光が入射され、表面プラズモン共鳴
現象を計測するための金属薄膜が形成されたプリズム
と、このプリズムから反射された光を偏光するための偏
光子と、この偏光子を通過した光を集光するレンズと、
このレンズから出射された光を計測する光検出器とを備
えた表面プラズモン共鳴現象測定装置において、前記プ
リズムからの円形ビーム形状の光を線形ビーム形状に変
えて前記光検出器に導くレンズを設けたものである。し
たがって、光検出器に効率よく光が導かれる。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】請求項3に係る発明は、請求項1または2
に係る発明において、前記プリズムからの反射光を前記
光検出器に導くレンズをシリンダーレンズとしたもので
ある。したがって、シリンダーレンズを通過する光のビ
ーム形状が円形から線形に変換される。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】また、請求項4に係る発明は、請求項1ま
たは2に係る発明において、前記プリズムへ光を集光さ
せるレンズをシリンダーレンズとしたものである。した
がって、プリズムへ入射する光が絞られる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】また、請求項5に係る発明は、請求項4に
係る発明において、前記光源をレーザー光源とし、この
レーザー光源からの光を線形のビーム形状とするシリン
ダーレンズまたは光学回析素子を設けたものである。し
たがって、シリンダーレンズまたは光学回析素子を通過
した線形のビーム形状の光が、次のレンズを通過すると
きに幅方向が圧縮されて、プリズムへ入射する。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】また、請求項6に係る発明は、請求項5に
係る発明において、前記光源からの光を複数の線形のビ
ーム形状に変換する光学回析素子を設けたものである。
したがって、1個の光源で複数の光が放射される。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】また、請求項7に係る発明は、請求項1な
いし6のうちのいずれかの請求項に係る発明において、
前記光源からの光を前記プリズムに入射する入射系と、
前記プリズムから反射した光を前記光検出器へ導く反射
系とを同期させて駆動する駆動装置を設けたものであ
る。したがって、光の入射角度と反射角度を同期して可
変できる。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】変更
【補正内容】
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1ないし3
に係る発明によれば、プリズムからの反射光が光検出器
上に効率よく光が照射されることにより、光検出器での
感度が向上する。したがって、各種の構成部品の精度を
上げることなく小型化しても検出の精度が低下すること
がないので、製造コストを増大させることなく小型化を
図ることができる。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】また、請求項4に係る発明によれば、光源
から放射された光を絞ってプリズムへ入射させることが
できることにより、光を効率よくプリズムに入射できる
ので、光検出器での検出の精度が向上する。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】変更
【補正内容】
【0030】また、請求項5に係る発明によれば、光源
から放射された光を絞ってプリズムへ入射させることが
できることにより、光を効率よくプリズムに入射できる
ので、光検出器での検出の精度が向上する。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】また、請求項6に係る発明によれば、複数
点でのマルチチャンネル測定が可能になる。また、光源
からの光を光学回析素子と入射側レンズによってビーム
光を2回絞り、金属薄膜上のビームの形状を点としたこ
とにより、ビーム内の出射光量がほぼ均一になる。した
がって,光検出器の長手方向の両端において光量が低下
するようなことがないので、光検出器のいずれの部位に
おいてもSPRの測定の感度が良好になる。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0032
【補正方法】変更
【補正内容】
【0032】また、請求項7に係る発明によれば、光の
入射角度と反射角度を同期して可変できるので、各種の
被測定物の測定を容易かつ短時間で行うことが可能にな
る。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 1…光源、2…偏光子、3,31,61…シリンダーレ
ンズ、4…プリズム、5…金属薄膜、6…集光レンズ、
7…シリンダーレンズ、8…CCDラインセンサ、10
…スリット板、12…筺体、16…入射系、17…反射
系、18,19…光学回析素子、20…入射側レンズ上
のビーム形状、21…プリズム上のビーム形状、22…
反射側レンズ上のビーム形状、23…ラインセンサ上の
ビーム形状、24…スリット孔。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅野 泰一 青森県八戸市大字田面木字上野平16番地1 高専宿舎202 (72)発明者 正留 隆 福岡県大牟田市東萩尾町150 (72)発明者 今任 稔彦 福岡県福岡市早良区南庄二丁目8番8号 307 (72)発明者 伏貫 義十 鹿児島県鹿児島市武岡一丁目3番地16 (72)発明者 岩崎 弦 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 丹羽 修 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 田部井 久男 東京都新宿区西新宿二丁目1番1号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 飛田 達也 東京都新宿区西新宿二丁目1番1号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 Fターム(参考) 2G059 AA01 BB04 DD13 EE04 GG01 GG02 JJ11 JJ12 JJ13 JJ19 JJ30 KK04 LL02

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、この光源からの光を偏光するた
    めの偏光フィルタと、この偏光フィルタを通過した光を
    集光するレンズと、このレンズからの光が入射され、表
    面プラズモン共鳴現象を計測するための金属薄膜が形成
    されたプリズムと、このプリズムから反射された光を計
    測する光検出器とを備えた表面プラズモン共鳴現象測定
    装置において、前記プリズムからの円形ビーム形状の光
    を線形ビーム形状に変えて前記光検出器に導くレンズを
    設けたことを特徴とする表面プラズモン共鳴現象測定装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の表面プラズモン共鳴現象
    測定装置において、前記プリズムからの反射光を前記光
    検出器に導くレンズをシリンダーレンズとしたことを特
    徴とする表面プラズモン共鳴現象測定装置。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の表面プラズモン共鳴現象
    測定装置において、前記プリズムへ光を集光させるレン
    ズをシリンダーレンズとしたことを特徴とする表面プラ
    ズモン共鳴現象測定装置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の表面プラズモン共鳴現象
    測定装置において、前記光源をレーザー光源とし、この
    レーザー光源からの光を線形のビーム形状とするシリン
    ダーレンズまたは光学回析素子を設けたことを特徴とす
    る表面プラズモン共鳴現象測定装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の表面プラズモン共鳴現象
    測定装置において、前記光源からの光を複数の線形のビ
    ーム形状に変換する光学回析素子を設けたことを特徴と
    する表面プラズモン共鳴現象測定装置。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし5のうちのいずれかの請
    求項に記載の表面プラズモン共鳴現象測定装置におい
    て、前記光源からの光を前記プリズムに入射する入射系
    と、前記プリズムから反射した光を前記光検出器へ導く
    反射系とを同期させて駆動する駆動装置を設けたことを
    特徴とする表面プラズモン共鳴現象測定装置。
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