JP2002214040A - 複数素子からの同時信号読み出し方法 - Google Patents
複数素子からの同時信号読み出し方法Info
- Publication number
- JP2002214040A JP2002214040A JP2001007647A JP2001007647A JP2002214040A JP 2002214040 A JP2002214040 A JP 2002214040A JP 2001007647 A JP2001007647 A JP 2001007647A JP 2001007647 A JP2001007647 A JP 2001007647A JP 2002214040 A JP2002214040 A JP 2002214040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elements
- signal
- signals
- added
- microcalorimeter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K17/00—Measuring quantity of heat
- G01K17/006—Microcalorimeters, e.g. using silicon microstructures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各素子毎の配線を必要とせずに、複数素子か
らの信号を同時に読み出すことのできる、新規な信号読
み出し方法を提供する。 【解決手段】 各列毎に配列されたｎ個のマイクロカロ
リメータ１０から構成される素子群３０−１〜３０−７
のそれぞれに、異なる周波数の交流バイアスを印加し、
駆動させる。各マイクロカロリメータ１０からは、所定
の外部情報に基づく情報信号に、キャリアとして前記交
流バイアスが重畳された所定の信号が発せられる。各信
号は、信号加算器２０によって各行毎に加算され、各行
毎に周波数空間で多重化された加算信号が、１つの信号
線により取り出され、読み出される。
らの信号を同時に読み出すことのできる、新規な信号読
み出し方法を提供する。 【解決手段】 各列毎に配列されたｎ個のマイクロカロ
リメータ１０から構成される素子群３０−１〜３０−７
のそれぞれに、異なる周波数の交流バイアスを印加し、
駆動させる。各マイクロカロリメータ１０からは、所定
の外部情報に基づく情報信号に、キャリアとして前記交
流バイアスが重畳された所定の信号が発せられる。各信
号は、信号加算器２０によって各行毎に加算され、各行
毎に周波数空間で多重化された加算信号が、１つの信号
線により取り出され、読み出される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数素子からの同
時信号読み出し方法に関し、詳しくは撮像型・超高波長
分解能のＸ線検出器などの放射線計測、及び撮像型・高
感度赤外線検出器などの熱計測などの分野において好適
に用いることのできる、複数素子からの同時信号読み出
し方法に関する。
時信号読み出し方法に関し、詳しくは撮像型・超高波長
分解能のＸ線検出器などの放射線計測、及び撮像型・高
感度赤外線検出器などの熱計測などの分野において好適
に用いることのできる、複数素子からの同時信号読み出
し方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】マイクロカロリメータは、超高波長分解
能のＸ線検出器や高感度の赤外線検出器として重要な検
出器である。しかしながら、マイクロカロリメータを、
例えば天文衛星に取り付けたＸ線検出器などの撮像素子
として実際に用いる場合には、前記マイクロカロリメー
タを多数配列し、各マイクロカロリメータからの信号を
独立させて読み出す必要があった。
能のＸ線検出器や高感度の赤外線検出器として重要な検
出器である。しかしながら、マイクロカロリメータを、
例えば天文衛星に取り付けたＸ線検出器などの撮像素子
として実際に用いる場合には、前記マイクロカロリメー
タを多数配列し、各マイクロカロリメータからの信号を
独立させて読み出す必要があった。
【０００３】このため、実際の撮像素子においては、マ
イクロカロリメータ毎に、このマイクロカロリメータを
動作させるためのバイアス電流印加用の配線、並びに読
み出し用の配線など、多数の配線が必要とされていた。
イクロカロリメータ毎に、このマイクロカロリメータを
動作させるためのバイアス電流印加用の配線、並びに読
み出し用の配線など、多数の配線が必要とされていた。
【０００４】一方、マイクロカロリメータは一般に０．
１Ｋ程度の極低温で動作させるものである。したがっ
て、前記多数の配線を、前記極低温の動作領域から、読
み出し用の回路が設置された常温の計測領域に取り出す
に際しては、困難を極めていた。このため、実際の撮像
素子におけるマイクロカロリメータの配列数は数１０程
度に限られていた。この結果、撮像素子の有効面積は限
定され、天体が発する広範なＸ線などを検出することの
できる撮像素子を得ることができないでいた。
１Ｋ程度の極低温で動作させるものである。したがっ
て、前記多数の配線を、前記極低温の動作領域から、読
み出し用の回路が設置された常温の計測領域に取り出す
に際しては、困難を極めていた。このため、実際の撮像
素子におけるマイクロカロリメータの配列数は数１０程
度に限られていた。この結果、撮像素子の有効面積は限
定され、天体が発する広範なＸ線などを検出することの
できる撮像素子を得ることができないでいた。
【０００５】このような状況に鑑み、マイクロカロリメ
ータに使用する超伝導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）を高
速でスイッチングし、時分割的に多数の信号を得て、前
記マイクロカロリメータから構成される撮像素子の有効
面積を時系列的に増大させることが試みられている。し
かしながら、このような高速のスイッチングを実現させ
るためには、多数の技術的問題を克服する必要があり、
実用化は極めて困難である。
ータに使用する超伝導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）を高
速でスイッチングし、時分割的に多数の信号を得て、前
記マイクロカロリメータから構成される撮像素子の有効
面積を時系列的に増大させることが試みられている。し
かしながら、このような高速のスイッチングを実現させ
るためには、多数の技術的問題を克服する必要があり、
実用化は極めて困難である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、各素子毎の
配線を必要とせずに、複数素子からの信号を同時に読み
出すことのできる、新規な信号読み出し方法を提供する
ことを目的とする。
配線を必要とせずに、複数素子からの信号を同時に読み
出すことのできる、新規な信号読み出し方法を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、複数の素子群を、それぞれ異なる周波数の交
流バイアスで駆動するとともに、相異なる素子群の素子
から発せられた信号を加算し、この加算信号を１つの信
号線上に取り出して、読み出すことを特徴とする、複数
素子からの同時信号読み出し方法に関する。
本発明は、複数の素子群を、それぞれ異なる周波数の交
流バイアスで駆動するとともに、相異なる素子群の素子
から発せられた信号を加算し、この加算信号を１つの信
号線上に取り出して、読み出すことを特徴とする、複数
素子からの同時信号読み出し方法に関する。
【０００８】具体的には、本発明の好ましい態様にした
がって、前記複数の素子群をそれぞれｎ×ｍ型マトリッ
クスの列方向に配置し、各素子群を構成する素子からの
信号を前記ｎ行の各行毎に加算するとともに、この加算
信号を１つの信号線上に取り出し、全体としてｎ個の加
算信号を読み出すようにしたことを特徴とする。
がって、前記複数の素子群をそれぞれｎ×ｍ型マトリッ
クスの列方向に配置し、各素子群を構成する素子からの
信号を前記ｎ行の各行毎に加算するとともに、この加算
信号を１つの信号線上に取り出し、全体としてｎ個の加
算信号を読み出すようにしたことを特徴とする。
【０００９】本発明の信号読み出し方法においては、相
異なる素子群に属する素子からの信号に、各素子群に印
加された異なる周波数の交流バイアスがキャリアとして
重畳されている。したがって、これらの信号を加算する
ことにより、周波数空間で多重化された加算信号を得る
ことができる。そして、本発明によれば、この多重化さ
れた加算信号が１つの信号線上に取り出される。すなわ
ち、１つの信号線で複数の信号が多重化された加算信号
を得ることができる。したがって、各素子毎の配線を要
することなく、複数素子からの信号を読み出すことがで
きる。
異なる素子群に属する素子からの信号に、各素子群に印
加された異なる周波数の交流バイアスがキャリアとして
重畳されている。したがって、これらの信号を加算する
ことにより、周波数空間で多重化された加算信号を得る
ことができる。そして、本発明によれば、この多重化さ
れた加算信号が１つの信号線上に取り出される。すなわ
ち、１つの信号線で複数の信号が多重化された加算信号
を得ることができる。したがって、各素子毎の配線を要
することなく、複数素子からの信号を読み出すことがで
きる。
【００１０】なお、各素子群を駆動するための交流バイ
アスが比較的大きく、前記各素子群を構成する素子から
の実際的な信号が比較的小さい場合においては、この信
号が前記交流バイアス中に埋もれてしまう場合がある。
このような場合においては、前記素子がブリッジ型回路
を構成することが好ましい。これによって、前記交流バ
イアスによるキャリアを効果的に抑制することができ、
目的とする信号を精度良く読み出すことができる。
アスが比較的大きく、前記各素子群を構成する素子から
の実際的な信号が比較的小さい場合においては、この信
号が前記交流バイアス中に埋もれてしまう場合がある。
このような場合においては、前記素子がブリッジ型回路
を構成することが好ましい。これによって、前記交流バ
イアスによるキャリアを効果的に抑制することができ、
目的とする信号を精度良く読み出すことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を発明の実施の形態
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の同時信号
読み出し方法の好ましい態様を説明するための概念図で
ある。
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の同時信号
読み出し方法の好ましい態様を説明するための概念図で
ある。
【００１２】図１においては、受動素子としての複数の
マイクロカロリメータ１０が、縦方向にｎ個、横方向に
ｍ個配列されて、ｎ×ｍの行列を構成している。また、
マイクロカロリメータ１０には信号加算器２０が接続さ
れており、マイクロカロリメータ１０からの出力信号が
各行毎に加算されて、各行毎に１つの加算信号が得られ
るように構成されている。なお、この場合においては、
各列方向に配列されたｎ個のマイクロカロリメータ１０
によって１つの素子群が構成されている。
マイクロカロリメータ１０が、縦方向にｎ個、横方向に
ｍ個配列されて、ｎ×ｍの行列を構成している。また、
マイクロカロリメータ１０には信号加算器２０が接続さ
れており、マイクロカロリメータ１０からの出力信号が
各行毎に加算されて、各行毎に１つの加算信号が得られ
るように構成されている。なお、この場合においては、
各列方向に配列されたｎ個のマイクロカロリメータ１０
によって１つの素子群が構成されている。
【００１３】列方向に配列されたマイクロカロリメータ
１０の素子群３０−１〜３０−７には、それぞれ異なる
周波数の交流バイアスが印加される。これによって、各
マイクロカロリメータ１０は動作状態となり、例えばＸ
線などの外部情報を受像した場合において、この外部情
報に基づいた各マイクロカロリメータ１０からの情報信
号がキャリアとしての前記交流バイアスに重畳され、そ
の結果、各マイクロメータ１０から所定の周波数を伴っ
た出力信号が発せられる。
１０の素子群３０−１〜３０−７には、それぞれ異なる
周波数の交流バイアスが印加される。これによって、各
マイクロカロリメータ１０は動作状態となり、例えばＸ
線などの外部情報を受像した場合において、この外部情
報に基づいた各マイクロカロリメータ１０からの情報信
号がキャリアとしての前記交流バイアスに重畳され、そ
の結果、各マイクロメータ１０から所定の周波数を伴っ
た出力信号が発せられる。
【００１４】各マイクロカロリメータ１０からの出力信
号は、各行毎に加算信号器２０によって加算され、その
結果、各行毎に周波数空間で多重化された加算信号を得
ることができる。すなわち、各マイクロカロリメータ毎
の配線を必要とすることなく、各行毎に配置された複数
のマイクロカロリメータ１０からの信号を、周波数空間
で多重化された加算信号として１つの信号線で取り出
し、読み出すことができる。
号は、各行毎に加算信号器２０によって加算され、その
結果、各行毎に周波数空間で多重化された加算信号を得
ることができる。すなわち、各マイクロカロリメータ毎
の配線を必要とすることなく、各行毎に配置された複数
のマイクロカロリメータ１０からの信号を、周波数空間
で多重化された加算信号として１つの信号線で取り出
し、読み出すことができる。
【００１５】したがって、本発明の複数素子からの同時
信号読み出し方法は、多数の配線を設けることが困難
な、マイクロカロリメータを用いた撮像素子などに好適
に用いることができる。
信号読み出し方法は、多数の配線を設けることが困難
な、マイクロカロリメータを用いた撮像素子などに好適
に用いることができる。
【００１６】なお、素子群３０−１〜３０−７に印加す
る交流バイアスの周波数は、マイクロカロリメータの信
号帯域（通常は１０ｋＨｚ）に比べて十分に大きくし、
かつ各周波数の間隔も前記信号帯域よりも十分に大きく
する。
る交流バイアスの周波数は、マイクロカロリメータの信
号帯域（通常は１０ｋＨｚ）に比べて十分に大きくし、
かつ各周波数の間隔も前記信号帯域よりも十分に大きく
する。
【００１７】加算信号器２０としては、マイクロカロリ
メータ１０が、低インピーダンスの超伝導遷移端型Ｘ線
マイクロカロリメータ（ＴＥＳマイクロカロリメータ）
などから構成される場合は、多重入力型のＳＱＵＩＤ又
は多重入力型のバランストランスなどを用いることがで
きる。また、高インピーダンスの半導体型マイクロカロ
リメータなどから構成される場合は、トランジスタを用
いた加算回路などを用いることができる。
メータ１０が、低インピーダンスの超伝導遷移端型Ｘ線
マイクロカロリメータ（ＴＥＳマイクロカロリメータ）
などから構成される場合は、多重入力型のＳＱＵＩＤ又
は多重入力型のバランストランスなどを用いることがで
きる。また、高インピーダンスの半導体型マイクロカロ
リメータなどから構成される場合は、トランジスタを用
いた加算回路などを用いることができる。
【００１８】図２は、本発明の複数素子からの同時信号
読み出し方法の好ましい態様を説明するための図であ
る。上述したように、各素子群に印加される交流バイア
スが比較的大きく、外部情報に基づく情報信号が比較的
小さい場合においては、この情報信号がキャリアとして
の前記交流バイアス中に埋もれてしまう場合が生じる。
このような場合においては、図２に示すように、各マイ
クロカロリメータ１０が、ブリッジ型回路を構成するこ
とが好ましい。
読み出し方法の好ましい態様を説明するための図であ
る。上述したように、各素子群に印加される交流バイア
スが比較的大きく、外部情報に基づく情報信号が比較的
小さい場合においては、この情報信号がキャリアとして
の前記交流バイアス中に埋もれてしまう場合が生じる。
このような場合においては、図２に示すように、各マイ
クロカロリメータ１０が、ブリッジ型回路を構成するこ
とが好ましい。
【００１９】この場合において、入力端子４０−１及び
４０−２に印加された前記交流バイアスは、ブリッジ型
回路を構成する抵抗４１〜４３の抵抗値を制御すること
によって適宜に抑制される。したがって、出力端子４４
−１及び４４−２からは、適宜な大きさのキャリアが重
畳された信号を安定的に得ることができる。
４０−２に印加された前記交流バイアスは、ブリッジ型
回路を構成する抵抗４１〜４３の抵抗値を制御すること
によって適宜に抑制される。したがって、出力端子４４
−１及び４４−２からは、適宜な大きさのキャリアが重
畳された信号を安定的に得ることができる。
【００２０】さらに、素子群３０−１〜３０−７に印加
する交流バイアスの位相を９０度異なるようにすること
もできる。この場合は、前記交流バイアスの周波数が同
じであっても、マイクロカロリメータ１０からの出力信
号を雑音の加算を防止しながら分離することができる。
したがって、素子群３０−１〜３０−７に印加すべき交
流バイアスの周波数の種類を低減でき、前記交流バイア
ス印加に伴って要求される周波数帯域幅を縮小させるこ
とができる。
する交流バイアスの位相を９０度異なるようにすること
もできる。この場合は、前記交流バイアスの周波数が同
じであっても、マイクロカロリメータ１０からの出力信
号を雑音の加算を防止しながら分離することができる。
したがって、素子群３０−１〜３０−７に印加すべき交
流バイアスの周波数の種類を低減でき、前記交流バイア
ス印加に伴って要求される周波数帯域幅を縮小させるこ
とができる。
【００２１】加算すべき画素数が増大するにつれて多数
の素子群が必要となるため、これら素子群の総てを異な
る周波数の交流バイアスで駆動しようとすると、その周
波数帯域幅を広範囲に設定する必要が生じる。しかしな
がら、前述したようなマイクロカロリメータの信号帯域
に関する制限などから、その周波数帯域幅はある範囲に
限定されてしまう。このため、使用することのできる素
子群の数の上限は比較的狭い範囲内に限定されてしまう
場合がある。
の素子群が必要となるため、これら素子群の総てを異な
る周波数の交流バイアスで駆動しようとすると、その周
波数帯域幅を広範囲に設定する必要が生じる。しかしな
がら、前述したようなマイクロカロリメータの信号帯域
に関する制限などから、その周波数帯域幅はある範囲に
限定されてしまう。このため、使用することのできる素
子群の数の上限は比較的狭い範囲内に限定されてしまう
場合がある。
【００２２】このような場合においても、上述したよう
に、交流バイアスの位相を９０度異なるようにすると、
印加すべき交流バイアスの周波数の種類を低減できるた
め、要求される周波数帯域幅を縮小することができる。
その結果、使用することのできる素子群の数を大幅に増
大させて、加算すべき画素数が増大した場合においても
十分に対応することができる。
に、交流バイアスの位相を９０度異なるようにすると、
印加すべき交流バイアスの周波数の種類を低減できるた
め、要求される周波数帯域幅を縮小することができる。
その結果、使用することのできる素子群の数を大幅に増
大させて、加算すべき画素数が増大した場合においても
十分に対応することができる。
【００２３】例えば、図１に示す素子群３０−１〜３０
−７をｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４、ｆ５、ｆ６、及びｆ７
という異なる周波数の交流バイアスで駆動する代わり
に、ｆ１のｓｉｎ波、ｆ１のｃｏｓ波、ｆ２のｓｉｎ
波、ｆ２のｃｏｓ波、ｆ３のｓｉｎ波、ｆ３のｃｏｓ
波、及びｆ４という交流バイアスを用いて駆動させるこ
とができる。すなわち、７つの異なる周波数の交流バイ
アスに代えて、４種類の異なる周波数の交流バイアスを
用いるのみで、素子群３０−１〜３０−７を駆動するこ
とができる。
−７をｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４、ｆ５、ｆ６、及びｆ７
という異なる周波数の交流バイアスで駆動する代わり
に、ｆ１のｓｉｎ波、ｆ１のｃｏｓ波、ｆ２のｓｉｎ
波、ｆ２のｃｏｓ波、ｆ３のｓｉｎ波、ｆ３のｃｏｓ
波、及びｆ４という交流バイアスを用いて駆動させるこ
とができる。すなわち、７つの異なる周波数の交流バイ
アスに代えて、４種類の異なる周波数の交流バイアスを
用いるのみで、素子群３０−１〜３０−７を駆動するこ
とができる。
【００２４】以上、具体例を挙げながら発明の実施の形
態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は
上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸
脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能であ
る。
態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は
上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸
脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能であ
る。
【００２５】例えば、上記においては、複数のマイクロ
カロリメータから素子群を構成し、各素子群毎に異なる
周波数の交流バイアスを印加して、各マイクロカロリメ
ータを駆動するようにしているが、素子群を構成するこ
となく、マイクロカロリメータのそれぞれに異なる周波
数の交流バイアスを印加して駆動させることもできる。
カロリメータから素子群を構成し、各素子群毎に異なる
周波数の交流バイアスを印加して、各マイクロカロリメ
ータを駆動するようにしているが、素子群を構成するこ
となく、マイクロカロリメータのそれぞれに異なる周波
数の交流バイアスを印加して駆動させることもできる。
【００２６】この場合においても、信号の加算は上述し
た多重入力型のＳＱＵＩＤなどの信号加算器を用いて行
うことができ、交流バイアスの大きさを抑制して適切な
信号を得るべく、ブリッジ型回路を構成することもでき
る。さらに、交流バイアスの位相を９０度異なるように
して、用いる周波数の種類を低減することもできる。
た多重入力型のＳＱＵＩＤなどの信号加算器を用いて行
うことができ、交流バイアスの大きさを抑制して適切な
信号を得るべく、ブリッジ型回路を構成することもでき
る。さらに、交流バイアスの位相を９０度異なるように
して、用いる周波数の種類を低減することもできる。
【００２７】また、上記においては受動素子としてマイ
クロカロリメータを用いた場合を示しているが、このよ
うなマイクロカロリメータの代わりに、バイアス電流／
電圧を印加し、電圧あるいは電流を読み出すような受動
素子に用いることが可能である。例えば、サーミスタや
半導体温度計などの受動素子に用いることができる。
クロカロリメータを用いた場合を示しているが、このよ
うなマイクロカロリメータの代わりに、バイアス電流／
電圧を印加し、電圧あるいは電流を読み出すような受動
素子に用いることが可能である。例えば、サーミスタや
半導体温度計などの受動素子に用いることができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、複数の素子群をそれぞ
れ異なる周波数の交流バイアスで駆動し、この周波数を
各素子からの信号に重畳することにより、複数の素子か
らの、周波数空間で多重化された加算信号を１つの信号
線で取り出すことができる。したがって、従来のように
各素子毎に多数の配線を必要とすることなく、多重化さ
れた加算信号を取り出し、読み出すことができる。
れ異なる周波数の交流バイアスで駆動し、この周波数を
各素子からの信号に重畳することにより、複数の素子か
らの、周波数空間で多重化された加算信号を１つの信号
線で取り出すことができる。したがって、従来のように
各素子毎に多数の配線を必要とすることなく、多重化さ
れた加算信号を取り出し、読み出すことができる。
【図１】 本発明の複数素子からの同時信号読み出し方
法の、好ましい態様を説明するための概念図である。
法の、好ましい態様を説明するための概念図である。
【図２】 本発明の複数素子からの同時信号読み出し方
法の、好ましい態様を説明するための図である。
法の、好ましい態様を説明するための図である。
１０ マイクロカロリメータ ２０ 信号加算器 ３０−１〜３０−７ 素子群 ４０−１、４０−２ 入力端子 ４１、４２、４３ 抵抗 ４４−１、４４−２ 出力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｔ 1/24 Ｇ０１Ｔ 1/24 1/26 1/26 Ｈ０１Ｌ 27/14 Ｈ０１Ｌ 39/22 ＺＡＡＤ 39/22 ＺＡＡ ＺＡＡＫ 27/14 Ｋ Ｆターム(参考） 2G065 AA11 AB02 BA12 BA14 BA34 BC02 BE08 DA18 2G066 BA09 BA51 CA02 CA06 2G088 EE30 FF03 FF14 FF15 GG22 GG25 JJ05 JJ33 KK06 KK32 KK35 4M113 AC06 AC24 AC25 AC41 AD01 4M118 AA10 AB01 CB20 DB01 DD01 DD09 GA10
Claims (15)
- 【請求項１】 複数の素子群を、それぞれ異なる周波数
の交流バイアスで駆動するとともに、相異なる素子群の
素子から発せられた信号を加算し、この加算信号を１つ
の信号線上に取り出して、読み出すことを特徴とする、
複数素子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項２】 前記複数の素子群をそれぞれｎ×ｍ型マ
トリックスの列方向に配列し、各素子群を構成する素子
からの信号を前記ｎ行の各行毎に加算するとともに、こ
の加算信号を１つの信号線上に取り出し、全体としてｎ
個の加算信号を読み出すようにしたことを特徴とする、
請求項１に記載の複数素子からの同時信号読み出し方
法。 - 【請求項３】 前記複数の素子群を構成する前記素子
は、ブリッジ型回路を構成することを特徴とする、請求
項１又は２に記載の複数素子からの同時信号読み出し方
法。 - 【請求項４】 前記信号の加算は、信号加算器を用いて
行うことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記
載の複数素子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項５】 前記信号加算器は、多重入力型の超伝導
量子干渉素子又は多重入力型のバランストランスから構
成されることを特徴とする、請求項４に記載の複数素子
からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項６】 前記複数の素子群を構成する前記素子
は、それぞれ受動素子を具えることを特徴とする、請求
項１〜５のいずれか一に記載の複数素子からの同時信号
読み出し方法。 - 【請求項７】 前記受動素子は、マイクロカロリメータ
であることを特徴とする、請求項６に記載の複数素子か
らの同時信号読み出し方法。 - 【請求項８】 前記交流バイアスの位相を９０度異なる
ようにしたことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか
一に記載の複数素子からの同時信号読みだし方法。 - 【請求項９】 複数の素子を、それぞれ異なる周波数の
交流バイアスで駆動するとともに、前記複数の素子から
得られた複数の信号のそれぞれを加算し、前記複数の信
号を１つの信号線上に取り出して、読み出すことを特徴
とする、複数素子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項１０】 前記複数の素子は、ブリッジ型回路を
構成することを特徴とする、請求項９に記載の複数素子
からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項１１】 前記信号の加算は、信号加算器を用い
て行うことを特徴とする、請求項９又は１０に記載の複
数素子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項１２】 前記信号加算器は、多重入力型の超伝
導量子干渉素子又は多重入力型のバランストランスから
構成されることを特徴とする、請求項１１に記載の複数
素子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項１３】 前記複数の素子は、それぞれ受動素子
を具えることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか
一に記載の複数素子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項１４】 前記受動素子は、マイクロカロリメー
タであることを特徴とする、請求項１３に記載の複数素
子からの同時信号読み出し方法。 - 【請求項１５】 前記交流バイアスの位相を９０度異な
るようにしたことを特徴とする、請求項９〜１４のいず
れか一に記載の複数素子からの同時信号読みだし方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001007647A JP2002214040A (ja) | 2001-01-16 | 2001-01-16 | 複数素子からの同時信号読み出し方法 |
| US10/052,206 US6627894B2 (en) | 2001-01-16 | 2002-01-15 | Method for reading signals from plural elements simultaneously |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001007647A JP2002214040A (ja) | 2001-01-16 | 2001-01-16 | 複数素子からの同時信号読み出し方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002214040A true JP2002214040A (ja) | 2002-07-31 |
Family
ID=18875371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001007647A Pending JP2002214040A (ja) | 2001-01-16 | 2001-01-16 | 複数素子からの同時信号読み出し方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6627894B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002214040A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6627894B2 (en) * | 2001-01-16 | 2003-09-30 | The Institute Of Space And Astronautical Science | Method for reading signals from plural elements simultaneously |
| JP2008076373A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Seiko Npc Corp | 赤外線検出器 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7220965B1 (en) * | 2004-11-19 | 2007-05-22 | Vitali Souchkov | Warm AC biasing in TES microcalorimeter readout via transformer |
| EP2113757A1 (en) | 2008-05-02 | 2009-11-04 | Systematic Design Holding B.V. | Method for simultaneous read-out of a plurality of sensor output signals using baseband feedback |
| US8115152B1 (en) | 2008-06-03 | 2012-02-14 | ADIC, Inc. | Method of operating a photoconductor in an imaging system, and read-out circuit employing an AC-biased photoconductor |
| CN105816194B (zh) | 2015-01-07 | 2018-12-04 | 苏州瑞派宁科技有限公司 | 一种探测器信号读出的通道复用方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4054797A (en) * | 1976-09-23 | 1977-10-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Series-parallel scan, IR, CID, focal-plane array |
| US4959723A (en) * | 1987-11-06 | 1990-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid state image pickup apparatus having multi-phase scanning pulse to read out accumulated signal |
| JPH01300685A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-05 | Victor Co Of Japan Ltd | 固体撮像素子の駆動方法 |
| DE4002431A1 (de) * | 1990-01-27 | 1991-08-01 | Philips Patentverwaltung | Sensormatrix |
| US4996413A (en) * | 1990-02-27 | 1991-02-26 | General Electric Company | Apparatus and method for reading data from an image detector |
| EP0842540B1 (en) * | 1995-07-31 | 2001-12-19 | iFire Technology Inc. | Flat panel detector for radiation imaging and pixel for use therein |
| US5777336A (en) * | 1995-10-03 | 1998-07-07 | The Regents Of The University Of California | Broadband high resolution X-ray spectral analyzer |
| US5818898A (en) * | 1995-11-07 | 1998-10-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray imaging apparatus using X-ray planar detector |
| US5852296A (en) * | 1996-06-21 | 1998-12-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray imaging apparatus |
| US6310350B1 (en) * | 1998-09-24 | 2001-10-30 | Eric H. Silver | Multiplexed microcalorimeter array |
| US6453008B1 (en) * | 1999-07-29 | 2002-09-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Radiation detector noise reduction method and radiation detector |
| KR100336616B1 (ko) * | 1999-12-31 | 2002-05-16 | 구본준, 론 위라하디락사 | 엑스-선 이미지 촬영장치의 구동방법 |
| US6399950B1 (en) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Shimadzu Corporation | Two-dimensional radiation detector |
| JP2002214040A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Inst Of Space & Astronautical Science | 複数素子からの同時信号読み出し方法 |
-
2001
- 2001-01-16 JP JP2001007647A patent/JP2002214040A/ja active Pending
-
2002
- 2002-01-15 US US10/052,206 patent/US6627894B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6627894B2 (en) * | 2001-01-16 | 2003-09-30 | The Institute Of Space And Astronautical Science | Method for reading signals from plural elements simultaneously |
| JP2008076373A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Seiko Npc Corp | 赤外線検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020115572A1 (en) | 2002-08-22 |
| US6627894B2 (en) | 2003-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6600325B2 (en) | Method and apparatus for probing an integrated circuit through capacitive coupling | |
| Makinwa et al. | A smart wind sensor using thermal sigma-delta modulation techniques | |
| US20180348014A1 (en) | Sensing apparatus and associated methods | |
| TWI323348B (en) | Apparatus and methods for measurement of analog voltages in an integrated circuit | |
| JP4970512B2 (ja) | 熱分析センサー並びに熱分析センサーを製造する方法 | |
| EP3066487A1 (en) | Hall sensor readout system with offset determination using the hall element itself | |
| US10598968B2 (en) | Temperature feedback for electro-optic phase-shifters | |
| JP2002214040A (ja) | 複数素子からの同時信号読み出し方法 | |
| KR100613170B1 (ko) | 매트릭스 스위치를 이용한 온도 측정 장치, 반도체 패키지및 냉각 시스템 | |
| US5444234A (en) | Position transmitter for acquiring the position of a light beam | |
| US20090282375A1 (en) | Circuit And Method Using Distributed Phase Change Elements For Across-Chip Temperature Profiling | |
| Dawson et al. | Two-level switches for advanced time-division multiplexing | |
| US5043580A (en) | Radiation detector | |
| Bannister | Instrumentation: transducers and interfacing | |
| US6541299B2 (en) | Semiconductor device having thin film resistors made of bolometer materials | |
| JPH09203659A (ja) | ボロメータ型赤外線検出装置 | |
| JP5089048B2 (ja) | 多重信号読み出し回路 | |
| JP2001083019A (ja) | 温度計測器 | |
| JP6809519B2 (ja) | 抵抗素子アレイ回路、抵抗素子アレイ回路ユニットおよび赤外線センサ | |
| JP2002022543A (ja) | 熱電対を用いた温度測定装置 | |
| Dahal et al. | On-chip Broadband Load Calibrators for Characterizing Transition-Edge Sensor Bolometers | |
| US10401231B2 (en) | PWB with temperature sensor matrix allowing thermal imaging of the PWB | |
| Brandolini et al. | Silicon strategies to increase performance of piezoelectric sensors | |
| JPH01254880A (ja) | 磁気パターン検出装置 | |
| SU808870A1 (ru) | Устройство дл инфракрасного конт-РОл МиКРОСХЕМ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040203 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040318 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050412 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050512 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050613 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050614 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050720 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050922 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060420 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060720 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070123 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070123 |