JP2002208799A - Electronic component mounting device - Google Patents

Electronic component mounting device

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JP2002208799A
JP2002208799A JP2001005006A JP2001005006A JP2002208799A JP 2002208799 A JP2002208799 A JP 2002208799A JP 2001005006 A JP2001005006 A JP 2001005006A JP 2001005006 A JP2001005006 A JP 2001005006A JP 2002208799 A JP2002208799 A JP 2002208799A
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JP
Japan
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electronic component
suction
port
nozzle
suction port
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JP2001005006A
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Japanese (ja)
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Kazuhiro Matsutani
一弘 松谷
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Juki Corp
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Juki Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reliable electronic component mounting device that can achieve mounting onto the board of electronic components in various shapes at low costs. SOLUTION: A tip section 28 comprises base 44 where a middle port 42 for communicating with a negative pressure supply port 24 is formed, and adaptors 46, 48, and 50 that are detachably and selectively fitted to the base 44. A suction port 26 consists of the adaptors 46, 48, and 50 so that the suction port 26 communicates with the middle port 42. At the same time, the adaptors 46, 48, and 50 have an electronic component suction nozzle 12 where the suction port 26 having a mutually different shape is formed in the electronic component mounting device.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を基板上
に搭載する電子部品搭載装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子部品搭載装置はテープフィー
ダ等の電子部品供給装置により供給される大小様々な電
子部品を基板上の所定の位置に搭載するために、電子部
品を真空吸着する先端部形状が異なる複数の種類の電子
部品吸着ノズルと、この電子部品吸着ノズルを支持する
鉛直のZ軸方向のスライドシャフトと、このスライドシ
ャフトをZ軸方向移動自在、且つ、中心軸であるθ軸廻
りに回転自在に支持するヘッド部と、このヘッド部を支
持してX−Y軸方向移動自在に支持するX−Y駆動部
と、画像認識装置とを有している。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component mounting apparatus has a tip for vacuum-suctioning electronic components in order to mount electronic components of various sizes supplied by an electronic component supply device such as a tape feeder at predetermined positions on a substrate. A plurality of types of electronic component suction nozzles having different shapes, a vertical Z-axis slide shaft that supports the electronic component suction nozzle, and a movable Z-axis direction of the slide shaft, and around a θ axis that is a central axis. A head unit rotatably supporting the head unit, an XY drive unit supporting the head unit so as to be movable in the XY axis directions, and an image recognition device.

【0003】電子部品吸着ノズルは、電子部品供給装置
上の電子部品を真空吸着する際、及び基板上へ電子部品
を搭載する際、ヘッド部に駆動されてZ軸方向に下降
し、このとき電子部品を電子部品供給装置又は基板との
間に挟み込み、確実な真空吸着又は基板上への搭載を行
うようにされている。
[0003] The electronic component suction nozzle is driven by the head unit and descends in the Z-axis direction when the electronic component on the electronic component supply device is vacuum-sucked and when the electronic component is mounted on the substrate. The component is sandwiched between an electronic component supply device and a substrate, and is reliably vacuum-sucked or mounted on the substrate.

【0004】画像認識装置は電子部品供給装置と基板と
の間において、電子部品吸着ノズルに対する電子部品の
吸着誤差(設計上の正規の吸着姿勢との誤差)を検出
し、検出された吸着誤差を補正されて、電子部品は基板
上の所定の位置に搭載される。
The image recognition device detects a suction error of the electronic component with respect to the electronic component suction nozzle between the electronic component supply device and the board (an error from a normal suction posture in design), and detects the detected suction error. After the correction, the electronic component is mounted at a predetermined position on the substrate.

【0005】図7に示されるように電子部品吸着ノズル
100は、一般的に、パイプ状の軸部102a及びこの
軸部102aの先端近傍に設けられた先端部102bか
らなるノズルスライダ102と、このノズルスライダ1
02をZ軸方向摺動自在に支持するノズルホルダ104
と、ピン106と、ノズルスライダ102を先端部10
2bの方向に付勢する緩衝ばね108と、を有して構成
されている。
As shown in FIG. 7, an electronic component suction nozzle 100 generally includes a nozzle slider 102 having a pipe-shaped shaft portion 102a and a tip portion 102b provided near the tip of the shaft portion 102a. Nozzle slider 1
Nozzle 104 for supporting Z02 slidably in the Z axis direction
, The pin 106 and the nozzle slider 102 with the tip 10
And a buffer spring 108 for urging in the direction of 2b.

【0006】ノズルスライダ102は、常態で、緩衝ば
ね108に付勢されて下限位置に保持され、電子部品を
電子部品供給装置又は基板との間に挟み込んだとき、緩
衝ばね108の付勢力に抗して引込むことにより、電子
部品の破損を防止するようにされている。
The nozzle slider 102 is normally biased by the buffer spring 108 and held at the lower limit position, and when the electronic component is sandwiched between the electronic component supply device and the substrate, the nozzle slider 102 resists the biasing force of the buffer spring 108. By retracting, the electronic component is prevented from being damaged.

【0007】又、ノズルスライダ102は軸部102a
の円筒壁にZ軸方向の長孔102cを有し、この長孔1
02cに遊嵌しノズルホルダ104に螺合するピン10
6により、引込みの際Z軸方向に案内され、且つ、ノズ
ルホルダ104に対して相対回転不能とされている。
The nozzle slider 102 has a shaft 102a.
Has an elongate hole 102c in the Z-axis direction in the cylindrical wall thereof.
02c, which is loosely fitted to the nozzle holder 104 and is screwed to the nozzle holder 104.
6, the guide is guided in the Z-axis direction during retraction, and cannot be rotated relative to the nozzle holder 104.

【0008】近年、電子部品の精密化等のため、より高
精度な電子部品の搭載が要求され、画像認識装置による
吸着誤差の検出、及びその補正の精度の向上を図るため
に、ノズルスライダ102とノズルホルダ104及びピ
ン106との遊びを極力小さく抑える必要がある。
In recent years, it has been required to mount electronic components with higher precision in order to make electronic components more precise. For example, the nozzle slider 102 has been used to detect an adsorption error by an image recognition device and to improve the accuracy of the correction. It is necessary to keep the play between the nozzle holder 104 and the pin 106 as small as possible.

【0009】一方、電子部品の破損を確実に防止するた
めには、ノズルスライダ102がノズルホルダ104に
対して滑らかに摺動する必要があり、ノズルスライダ1
02とノズルホルダ104及びピン106との間に一定
の遊びを確保しなければならない。
On the other hand, in order to reliably prevent damage to the electronic components, the nozzle slider 102 must slide smoothly with respect to the nozzle holder 104.
A certain play must be ensured between the nozzle holder 02 and the nozzle holder 104 and the pin 106.

【0010】このため、ノズルスライダ102の軸部1
02aの外周面、及び長孔102c等には高精度な仕上
げ加工がなされている。
Therefore, the shaft portion 1 of the nozzle slider 102
The outer peripheral surface 02a, the long hole 102c, and the like are finished with high precision.

【0011】又、ノズルスライダ102の先端部102
bには下向きに開口する吸着口102dが形成されてい
る。
Further, the tip portion 102 of the nozzle slider 102
A suction port 102d that opens downward is formed in b.

【0012】この吸着口102dが大きい程、電子部品
110を吸引する吸引力が大きい反面、吸着口102d
が電子部品110の上面から外側にはみ出すと負圧が漏
れて吸引力が低下する。
As the suction port 102d is larger, the suction force for sucking the electronic component 110 is higher, but the suction port 102d is larger.
If the spills out from the upper surface of the electronic component 110, the negative pressure leaks and the suction force decreases.

【0013】従って、真空吸着する電子部品の上面より
も若干小さな吸着口の電子部品吸着ノズルを使用するこ
とが望ましく、電子部品搭載装置は様々な形状の電子部
品に対応して、吸着口の形状が異なる電子部品吸着ノズ
ルを選択的にスライドシャフトに支持して、電子部品の
搭載を行うようにされている。
Therefore, it is desirable to use an electronic component suction nozzle having a suction port that is slightly smaller than the upper surface of the electronic component to be vacuum-sucked. However, a different electronic component suction nozzle is selectively supported on a slide shaft to mount an electronic component.

【0014】既存の電子部品吸着ノズルで真空吸着する
ことができない新たな形状の電子部品を基板上に搭載す
る場合には、その都度該電子部品に対応する新たな吸着
口の形状の電子部品吸着ノズルを製作していた。
When a new electronic component which cannot be vacuum-sucked by the existing electronic-component suction nozzle is mounted on a substrate, the electronic component has a new suction port shape corresponding to the electronic component. I was making a nozzle.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】しかし、電子部品吸着
ノズルは、高精度の仕上げ加工が要求されるため製作コ
ストが高く、新たな電子部品吸着ノズルの製作が電子部
品搭載装置の設備コストを上昇させていた。
However, the production cost of the electronic component suction nozzle is high because high precision finishing is required, and the production of a new electronic component suction nozzle increases the equipment cost of the electronic component mounting apparatus. I was letting it.

【0016】特に製作した新たな電子部品吸着ノズル
が、特殊な電子部品の搭載にのみ使用され、該電子部品
を搭載する基板の生産数が少ない場合には、減価償却と
いう点で大きな問題となっていた。
In particular, when a newly manufactured electronic component suction nozzle is used only for mounting a special electronic component and the number of substrates on which the electronic component is mounted is small, a great problem arises in terms of depreciation. I was

【0017】仮に、吸着口が形成されるノズルスライダ
のみを新たに製作して既存の電子部品吸着ノズルに組付
けたとしても、ノズルスライダ自体が、高精度の仕上げ
加工を要求されて製作コストが高く、電子部品搭載装置
の設備コストを十分に低減することができなかった。
Even if only a nozzle slider having a suction port is newly manufactured and assembled to an existing electronic component suction nozzle, the nozzle slider itself requires high-precision finishing and the manufacturing cost is reduced. As a result, the equipment cost of the electronic component mounting apparatus cannot be sufficiently reduced.

【0018】これに対して、ノズルスライダの仕上げ加
工精度を低下させれば、電子部品吸着ノズルの製作コス
トを低減することができるが、ノズルスライダの仕上げ
精度の低下は電子部品の破損、誤搭載をもたらし、電子
部品搭載装置の信頼性を低下させることとなる。
On the other hand, if the finishing accuracy of the nozzle slider is reduced, the manufacturing cost of the electronic component suction nozzle can be reduced. And lowers the reliability of the electronic component mounting apparatus.

【0019】本発明は、以上の問題点に鑑みてなされた
ものであり、様々な形状の電子部品の基板上への搭載を
低コストで実現することができ、且つ、信頼性の高い電
子部品搭載装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and can realize mounting electronic components of various shapes on a substrate at low cost and having high reliability. An object is to provide a mounting device.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項1のよ
うに、筒状体で、基端部側の負圧供給口に連通する吸着
口が形成された先端部の当接面を電子部品に当接させつ
つ、前記負圧供給口から供給される負圧により前記電子
部品を真空吸着可能である電子部品吸着ノズルを備えて
なり、電子部品を基板上に搭載する電子部品搭載装置に
おいて、前記電子部品吸着ノズルの先端部は、前記負圧
供給口に連通する中間口が形成された基部と、この基部
に着脱自在、且つ、選択的に装着される複数のアダプタ
と、を含んで構成され、前記吸着口は前記中間口に連通
するように、各前記アダプタにより形成されると共に、
各前記アダプタは相互に異なる形状の前記吸着口を形成
するようにされたことにより、上記目的を達成するもの
である。
According to the present invention, a contact surface of a distal end portion of a cylindrical body having a suction port communicating with a negative pressure supply port on a base end side is formed. An electronic component mounting apparatus comprising: an electronic component suction nozzle capable of vacuum-sucking the electronic component by a negative pressure supplied from the negative pressure supply port while being in contact with the electronic component, and mounting the electronic component on a substrate. , The tip of the electronic component suction nozzle includes a base formed with an intermediate port communicating with the negative pressure supply port, and a plurality of adapters detachably attached to the base and selectively mounted. The suction port is formed by each of the adapters so as to communicate with the intermediate port,
The adapter achieves the above object by forming the suction ports having different shapes from each other.

【0021】又、前記基端部側から前記先端部の方向に
前記当接面まで突出し、前記アダプタと共に前記吸着口
を形成可能である側壁を前記電子部品吸着ノズルの先端
部の基部に設けてもよい。
In addition, a side wall protruding from the base end side toward the front end to the contact surface and capable of forming the suction port together with the adapter is provided at a base of the front end of the electronic component suction nozzle. Is also good.

【0022】更に、本発明は請求項3のように、筒状体
で、基端部側の負圧供給口に連通する吸着口が形成され
た先端部の当接面を電子部品に当接させつつ、前記負圧
供給口から供給される負圧により前記電子部品を真空吸
着可能である電子部品吸着ノズルを備えてなり、電子部
品を基板上に搭載する電子部品搭載装置において、前記
吸着口は、前記負圧供給口に連通し前記当接面に開口す
る複数の微細孔により形成されると共に、該微細孔内に
着脱自在に装着され、該微細孔を閉塞することにより前
記吸着口の形状を変更可能な1以上の閉塞部材が備えら
れたことにより、上記目的を達成するものである。
Further, in the present invention, the contact surface of the distal end portion of the cylindrical body, which is formed with the suction port communicating with the negative pressure supply port on the base end side, contacts the electronic component. An electronic component suction nozzle capable of vacuum-sucking the electronic component by a negative pressure supplied from the negative pressure supply port, wherein the electronic component mounting apparatus mounts the electronic component on a substrate. Is formed by a plurality of fine holes communicating with the negative pressure supply port and opening to the contact surface, is removably mounted in the fine hole, and closes the fine hole to form the suction port. The above object is achieved by providing one or more closing members whose shape can be changed.

【0023】本発明によれば、様々な形状の電子部品の
基板上への搭載を低コストで実現することができる。
According to the present invention, electronic components having various shapes can be mounted on a substrate at low cost.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態の例を
図面を参照して詳細に説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0025】本発明の実施の形態の例に係る電子部品搭
載装置10は、図1〜図4に示される電子部品吸着ノズ
ル12の構造に特徴を有している。
The electronic component mounting apparatus 10 according to the embodiment of the present invention is characterized by the structure of the electronic component suction nozzle 12 shown in FIGS.

【0026】該電子部品搭載装置10の全体構造につい
て概説すると、該電子部品搭載装置10は鉛直のZ軸方
向の筒状体のスライドシャフト14と、このスライドシ
ャフト14をZ軸方向移動自在、且つ、中心軸であるθ
軸廻りに回転自在に支持するヘッド部16と、このヘッ
ド部16をX−Y軸方向移動自在に支持するX−Y駆動
部18と、画像認識装置20とを有している。
An outline of the overall structure of the electronic component mounting apparatus 10 is as follows. The electronic component mounting apparatus 10 has a vertical cylindrical slide shaft 14 in the Z-axis direction, and the slide shaft 14 is movable in the Z-axis direction. , The central axis θ
The head unit 16 includes a head unit 16 that supports the head unit 16 so as to be rotatable around an axis, an XY drive unit 18 that supports the head unit 16 so as to be movable in the X and Y axes, and an image recognition device 20.

【0027】以下、該電子部品吸着ノズル12の構造に
ついて説明する。なお、電子部品搭載装置10の他の部
分の構造については従来と同様であるので説明を省略す
る。
Hereinafter, the structure of the electronic component suction nozzle 12 will be described. Since the structure of the other parts of the electronic component mounting apparatus 10 is the same as that of the related art, the description is omitted.

【0028】前記電子部品吸着ノズル12は筒状体で、
前記スライドシャフト14下端近傍に着脱自在に支持さ
れ、基端部22側の負圧供給口24に連通する吸着口2
6が形成された先端部28の当接面28aを電子部品3
0の上面に当接させつつ、該スライドシャフト14を介
して前記負圧供給口24から供給される負圧により前記
電子部品30を真空吸着可能であると共に、電子部品供
給装置32と基板34との間で移動自在とされている。
The electronic component suction nozzle 12 is a cylindrical body.
The suction port 2 is detachably supported near the lower end of the slide shaft 14 and communicates with the negative pressure supply port 24 on the base end 22 side.
The contact surface 28a of the tip portion 28 on which the
The electronic component 30 can be vacuum-sucked by the negative pressure supplied from the negative pressure supply port 24 through the slide shaft 14 while being in contact with the upper surface of the electronic component supply device 32 and the electronic component supply device 32 and the substrate 34. It is free to move between.

【0029】又、前記電子部品吸着ノズル12は、前記
先端部28を含むノズルスライダ36と、ノズルホルダ
38と、ピン40と、緩衝ばね41と、を有して構成さ
れている。
The electronic component suction nozzle 12 includes a nozzle slider 36 including the tip 28, a nozzle holder 38, a pin 40, and a buffer spring 41.

【0030】前記ノズルスライダ36は、パイプ状の軸
部36a及びこの軸部36aの下端近傍に同軸的に設け
られた外形略円板状の前記先端部28とから構成され、
前記軸部36aの円筒側壁上端近傍にはZ軸方向の長孔
36bが形成されている。
The nozzle slider 36 comprises a pipe-shaped shaft portion 36a and the substantially disk-shaped tip portion 28 provided coaxially near the lower end of the shaft portion 36a.
An elongated hole 36b in the Z-axis direction is formed near the upper end of the cylindrical side wall of the shaft portion 36a.

【0031】前記先端部28は、前記負圧供給口24に
連通する中間口42が形成された基部44と、この基部
44に着脱自在、且つ、選択的に装着される3組(複
数)のアダプタ46、48及び50と、を含んで構成さ
れ、前記吸着口26は前記中間口42に連通するよう
に、各前記アダプタ46、48及び50により形成され
ている。
The distal end portion 28 includes a base 44 having an intermediate port 42 formed in communication with the negative pressure supply port 24, and three sets (plurality) of three sets which are detachably and selectively attached to the base 44. The suction port 26 is formed by each of the adapters 46, 48 and 50 so as to communicate with the intermediate port 42.

【0032】前記基部44は、前記軸部36aの下端に
一体に形成されたリング板状体部44aと、更にこのリ
ング板状体部44aの外周部に一体に形成され、前記基
端22部側から前記先端部28の方向に前記当接面28
aまで突出し、前記アダプタ46、48及び50と共に
前記吸着口26を形成可能である薄肉円筒状の側壁44
bとから構成されている。
The base portion 44 is formed integrally with a ring plate-like body portion 44a integrally formed at the lower end of the shaft portion 36a, and is further formed integrally with the outer peripheral portion of the ring plate-like body portion 44a. The contact surface 28 in the direction of the tip 28 from the side
a, a thin cylindrical side wall 44 capable of forming the suction port 26 together with the adapters 46, 48 and 50.
b.

【0033】前記中間口42は前記軸部36aの中心孔
に連通する前記リング板状体部44aの中心孔下端とし
て形成されている。
The intermediate opening 42 is formed as a lower end of a center hole of the ring-shaped body portion 44a communicating with a center hole of the shaft portion 36a.

【0034】又、前記基部44の外周部近傍にはZ軸方
向の2つのねじ孔44cが中心軸線を挟んで対称的に形
成されている。
In the vicinity of the outer peripheral portion of the base portion 44, two screw holes 44c in the Z-axis direction are formed symmetrically with respect to the center axis.

【0035】前記アダプタ46は半円よりも小さな一対
の半月キー状部材で、円筒側面部46aにおいて前記基
部44の側壁44bの内周面に当接し、該側壁44bの
Z軸方向の長さと等しいZ軸方向の厚さを有している。
The adapter 46 is a pair of half-moon key-shaped members smaller than a semicircle. The adapter 46 abuts on the inner peripheral surface of the side wall 44b of the base 44 at the cylindrical side surface 46a, and is equal to the length of the side wall 44b in the Z-axis direction. It has a thickness in the Z-axis direction.

【0036】又、該アダプタ46は、下段孔が上段孔よ
りも大きくされたZ軸方向の段付孔46bを有し、この
段付孔46bを貫通し、前記基部44のねじ孔44cに
螺合するねじ52により該基部44に着脱自在とされて
いる。
The adapter 46 has a stepped hole 46b in the Z-axis direction in which the lower step hole is larger than the upper step hole, passes through the stepped hole 46b, and is screwed into the screw hole 44c of the base 44. The screw 52 is adapted to be detachable from the base 44.

【0037】該ねじ52の頭部52a、軸部52bの外
径は、各々前記アダプタ46の段付孔46bの下段孔、
上段孔の内径よりも僅かに小さくされ、前記頭部52a
は前記段付孔46bの下段孔内に埋め込まれて、前記当
接面28aよりも上方に引込んでいる。
The outer diameter of the head 52a and the outer diameter of the shaft 52b of the screw 52 are the lower hole of the stepped hole 46b of the adapter 46, respectively.
The head 52a is made slightly smaller than the inner diameter of the upper hole.
Is embedded in the lower hole of the stepped hole 46b, and is drawn in above the contact surface 28a.

【0038】又、前記アダプタ46は前記中間口42か
ら離間して前記基部44に装着され、該中間口42の下
方で、自身の一対の平側面部46cが相互に対向するよ
うにされている。
The adapter 46 is attached to the base 44 at a distance from the intermediate port 42, and a pair of flat side surfaces 46c of the adapter 46 are opposed to each other below the intermediate port 42. .

【0039】該一対の平側面部46c及び前記基部44
の側壁44bの内周面の下端が前記吸着口26を形成
し、該吸着口26は前記中間口42に連通している。
The pair of flat side surfaces 46c and the base 44
The lower end of the inner peripheral surface of the side wall 44b forms the suction port 26, and the suction port 26 communicates with the intermediate port 42.

【0040】前記アダプタ48も前記アダプタ46と等
しい曲率の円弧を有する一対の半月キー状部材で、該ア
ダプタ46よりも円弧及び弦が短く、前記基部44に装
着された状態で一対の平側面部48aが、前記アダプタ
46の一対の平側面部46cよりも離間して対向するよ
うに配置され、前記アダプタ46よりも大きな前記吸着
口26を形成するようにされている。
The adapter 48 is also a pair of half-moon key-shaped members having an arc having the same curvature as the adapter 46. 48a are arranged so as to be spaced apart from and opposed to the pair of flat side surfaces 46c of the adapter 46 so as to form the suction port 26 larger than the adapter 46.

【0041】前記アダプタ50はリング板状体で、外周
部50aにおいて前記基部44の側壁44bの内周面に
遊嵌し、該側壁44bのZ軸方向の長さと等しいZ軸方
向の厚さを有し、中心孔50bの下端が前記吸着口26
を形成するようにされている。
The adapter 50 is a ring-shaped plate. The adapter 50 is loosely fitted to the inner peripheral surface of the side wall 44b of the base 44 at the outer peripheral portion 50a, and has a thickness in the Z-axis direction equal to the length of the side wall 44b in the Z-axis direction. The lower end of the center hole 50b is
Is formed.

【0042】即ち前記アダプタ46、48及び50は相
互に異なる形状の吸着口26を形成するようにされてい
る。
That is, the adapters 46, 48 and 50 are formed so as to form suction ports 26 having different shapes.

【0043】なお、前記アダプタ48及び50も、各々
前記アダプタ46の段付孔46bと同形状の段付孔48
b及び50cを有し、該段付孔48b、50cを貫通す
る前記ねじ52により前記基部44に着脱自在とされて
いる。
Each of the adapters 48 and 50 also has a stepped hole 48 having the same shape as the stepped hole 46b of the adapter 46.
b and 50c, which are detachably attached to the base 44 by the screws 52 passing through the stepped holes 48b and 50c.

【0044】前記ノズルホルダ38は筒状体で、中心孔
38aにおいて前記ノズルスライダ36の軸部36aに
遊嵌し、ニップル状の上半外周部38bにおいて前記ス
ライドシャフト14の下端に着脱自在とされている。
The nozzle holder 38 is a cylindrical body, which is loosely fitted to the shaft portion 36a of the nozzle slider 36 at the center hole 38a, and is detachably attached to the lower end of the slide shaft 14 at the nipple-shaped upper half outer peripheral portion 38b. ing.

【0045】該ノズルホルダ38の上端が前記電子部品
吸着ノズル12の基端22を構成し、前記中心孔38a
の上端が前記負圧供給口24を構成している。
The upper end of the nozzle holder 38 forms the base end 22 of the electronic component suction nozzle 12, and the center hole 38a
Constitutes the negative pressure supply port 24.

【0046】又、前記ノズルホルダ38はZ軸方向略中
央位置に、外周部から前記中心孔38aまで水平方向に
貫通するねじ孔38cを有し、このねじ孔38cには前
記ピン40が螺合している。
The nozzle holder 38 has a screw hole 38c at a substantially central position in the Z-axis direction, which penetrates horizontally from the outer peripheral portion to the center hole 38a. The pin 40 is screwed into the screw hole 38c. are doing.

【0047】このピン40は、雄ねじ部40aの軸線方
向一端から円柱状突起40bが同軸的に突出した形状
で、該円柱状突起40bにおいて前記ノズルスライダ3
6の長孔36bに遊嵌している。
The pin 40 has a shape in which a cylindrical projection 40b protrudes coaxially from one end in the axial direction of the male screw portion 40a.
6 are loosely fitted in the long holes 36b.

【0048】これにより、前記ノズルスライダ36は前
記ノズルホルダ38に対してZ軸方向の一定範囲で摺動
自在、且つ、θ軸廻りに回転不能とされている。
As a result, the nozzle slider 36 is slidable with respect to the nozzle holder 38 within a certain range in the Z-axis direction, and is not rotatable around the θ-axis.

【0049】前記ノズルスライダ36が、前記ノズルホ
ルダ38に対して滑らかに摺動するとともに、摺動部か
ら負圧が漏れることがないように、前記ノズルスライダ
36の軸部36a外周面、長孔36b、前記ノズルホル
ダ38の中心孔38a及び前記ピン40の円柱状突起4
0bの外周面は高精度に仕上げ加工されている。
The outer peripheral surface of the shaft portion 36a of the nozzle slider 36 has a long hole so that the nozzle slider 36 slides smoothly with respect to the nozzle holder 38 and no negative pressure leaks from the sliding portion. 36b, a central hole 38a of the nozzle holder 38 and a cylindrical projection 4 of the pin 40
0b is finished with high precision.

【0050】前記緩衝ばね41は、前記ノズルスライダ
36の軸部36aを取り巻くように配置された圧縮コイ
ルばねで、上端において前記ノズルホルダ38の下端に
当接し、下端において前記先端部28の上端に当接し、
自然長よりも圧縮されて装架されている。
The cushioning spring 41 is a compression coil spring disposed so as to surround the shaft portion 36a of the nozzle slider 36. The compression spring 41 abuts on the lower end of the nozzle holder 38 at the upper end, and is connected to the upper end of the tip portion 28 at the lower end. Abut,
It is mounted more compressed than its natural length.

【0051】これにより、前記ノズルスライダ36は下
方に付勢され、常態で下限位置に保持されている。
As a result, the nozzle slider 36 is urged downward, and is normally held at the lower limit position.

【0052】次に前記電子部品搭載装置10の作用につ
いて説明する。
Next, the operation of the electronic component mounting apparatus 10 will be described.

【0053】前記電子部品搭載装置10による前記基板
34上への電子部品の搭載は、前記電子部品吸着ノズル
12の吸着口26の形状を、搭載する電子部品に適した
吸着口の形状に調整して行う。
When the electronic component is mounted on the substrate 34 by the electronic component mounting apparatus 10, the shape of the suction port 26 of the electronic component suction nozzle 12 is adjusted to a shape suitable for the electronic component to be mounted. Do it.

【0054】吸着口の形状の調整は、前記アダプタ4
6、48及び50を前記先端部28の基部44に選択的
に着脱することにより行う。
Adjustment of the shape of the suction port is performed by using the adapter 4
6, 48, and 50 are selectively attached to and detached from the base portion 44 of the distal end portion 28.

【0055】ここで、搭載する電子部品に適した吸着口
の形状とは、前記電子部品吸着ノズル12の先端部28
の当接面28aと、搭載する電子部品の上面とが当接し
たときに、該電子部品の上面から外側にはみ出すことが
なく、且つ、極力大きな吸着口をいうものである。
Here, the shape of the suction port suitable for the electronic component to be mounted is defined by the tip 28 of the electronic component suction nozzle 12.
When the contact surface 28a contacts the upper surface of the electronic component to be mounted, the contact hole 28a does not protrude from the upper surface of the electronic component and is as large as possible.

【0056】即ち、搭載する電子部品の上面形状に近い
形状で、且つ、電子部品と電子部品吸着ノズルとの多少
の位置ずれが生じても、該電子部品の上面から外側には
み出さない程度に該電子部品の上面形状よりも若干小さ
くされ、負圧が漏れることがない吸着口の形状が、搭載
する電子部品に適した吸着口の形状である。
That is, even if the electronic component and the electronic component suction nozzle have a shape close to the shape of the upper surface of the electronic component to be mounted and the electronic component and the electronic component suction nozzle are slightly misaligned, the electronic component does not protrude outward from the upper surface of the electronic component. The shape of the suction port, which is slightly smaller than the top surface shape of the electronic component and does not leak negative pressure, is the shape of the suction port suitable for the electronic component to be mounted.

【0057】例えば、上面形状が四角形の電子部品を搭
載する場合には、前記アダプタ46又は48を、上面形
状が丸い電子部品を搭載する場合には、前記アダプタ5
0を前記電子部品吸着ノズル12の先端部28の基部4
4に選択的に装着して電子部品の搭載を行う。
For example, when mounting an electronic component having a square top surface, the adapter 46 or 48 is mounted. When mounting an electronic component having a round top surface, the adapter 5 is mounted.
0 is the base 4 of the tip 28 of the electronic component suction nozzle 12.
4 to selectively mount electronic components.

【0058】又、これらアダプタ46、48及び50に
より、搭載する電子部品に適した吸着口の形状が得られ
ない場合には、新たにアダプタを製作し、前記電子部品
吸着ノズル12の先端部28の基部44に装着して電子
部品の搭載を行う。
If the shape of the suction port suitable for the electronic component to be mounted cannot be obtained with these adapters 46, 48 and 50, a new adapter is manufactured and the tip portion 28 of the electronic component suction nozzle 12 is formed. The electronic component is mounted by mounting the electronic component on the base 44.

【0059】このように、簡単な形状で比較的低コスト
で製作することができる前記アダプタ46、48及び5
0等を前記先端部28の基部44に選択的に着脱するこ
とにより、前記吸着口26の形状を低コストで容易に調
整することができる。
As described above, the adapters 46, 48 and 5 which can be manufactured in a simple shape at a relatively low cost.
By selectively attaching and detaching 0 and the like to and from the base portion 44 of the distal end portion 28, the shape of the suction port 26 can be easily adjusted at low cost.

【0060】これにより、吸着口の形状毎に、製作コス
トが高いノズルスライダ又は電子部品吸着ノズル全体を
製作していた従来の電子部品搭載装置に対し、前記電子
部品搭載装置10は設備コストが低く抑えられている。
Accordingly, the electronic component mounting apparatus 10 has a lower equipment cost than the conventional electronic component mounting apparatus in which the manufacturing cost is high for the nozzle slider or the entire electronic component suction nozzle for each suction port shape. It is suppressed.

【0061】特に、特殊な電子部品を搭載するために新
たな吸着口形状の電子部品吸着ノズルが必要とされ、該
特殊な電子部品を搭載する基板の生産数量が少ない場合
において、減価償却費を低く抑える効果が大きい。
In particular, when a special electronic component suction nozzle having a new suction port shape is required to mount a special electronic component, and the production volume of the substrate on which the special electronic component is mounted is small, depreciation costs are reduced. The effect of keeping it low is great.

【0062】又、前記先端部28の基部44に前記側壁
44bが形成されているので、上面形状が四角形の電子
部品に適した吸着口形状を容易に形成することができ
る。
Further, since the side wall 44b is formed on the base portion 44 of the distal end portion 28, it is possible to easily form a suction port shape suitable for an electronic component having a square top surface.

【0063】即ち、角孔加工は丸孔加工よりも困難であ
るが、例えば前記アダプタ46及び48のような簡単な
形状のアダプタと前記側壁44bとにより、四角形に近
い形状の吸着口を形成することができ、例えば前記アダ
プタ50に丸孔に代えて角孔加工を行うよりも容易であ
る。
That is, although square hole processing is more difficult than round hole processing, a suction port having a shape close to a quadrangle is formed by an adapter having a simple shape such as the adapters 46 and 48 and the side wall 44b. This is easier than, for example, forming a square hole in the adapter 50 instead of a round hole.

【0064】このように、搭載する電子部品に適した形
状の吸着口26が形成された前記電子部品吸着ノズル1
2の先端部28の当接面28aを電子部品30の上面に
当接させつつ、前記スライドシャフト14を介して前記
負圧供給口24から負圧を供給すると、電子部品30は
大きな吸引力で真空吸着され、吸着姿勢が安定する。
As described above, the electronic component suction nozzle 1 in which the suction port 26 having a shape suitable for the electronic component to be mounted is formed.
When a negative pressure is supplied from the negative pressure supply port 24 via the slide shaft 14 while the contact surface 28a of the second end portion 28 is in contact with the upper surface of the electronic component 30, the electronic component 30 has a large suction force. Vacuum suction makes the suction posture stable.

【0065】更に、従来と同様に前記ノズルスライダ3
6等は高精度に仕上げ加工され、該ノズルスライダ36
と前記ノズルホルダ38との遊びは微小であるので、こ
の点でも電子部品30の吸着姿勢は安定する。
Further, as in the prior art, the nozzle slider 3
6 and the like are finished with high precision.
The play between the electronic component 30 and the nozzle holder 38 is very small.

【0066】これにより、前記画像認識装置20による
吸着誤差(正規の吸着姿勢と実際の吸着姿勢との位置ず
れ)の測定及び該吸着誤差を補正した前記基板34上へ
の該電子部品30の搭載が正確に行われる。
Thus, the suction error (positional deviation between the normal suction posture and the actual suction posture) by the image recognition device 20 is measured, and the electronic component 30 is mounted on the substrate 34 with the suction error corrected. Is done exactly.

【0067】又、従来と同様に前記ノズルスライダ36
等は高精度に加工され、前記電子部品供給装置32にお
ける電子部品真空吸着時又は前記基板34における電子
部品搭載時に、該ノズルスライダ36は前記緩衝ばね4
1の付勢力に抗して滑らかに摺動して引込みつつ、前記
電子部品供給装置32又は前記基板34との間に電子部
品を挟むので、電子部品が破損することがない。
Also, as in the prior art, the nozzle slider 36
And the like are processed with high precision. When the electronic components are vacuum-sucked in the electronic component supply device 32 or when the electronic components are mounted on the board 34, the nozzle slider 36
Since the electronic component is sandwiched between the electronic component supply device 32 and the substrate 34 while being smoothly slid and retracted against the biasing force of 1, the electronic component is not damaged.

【0068】即ち、前記電子部品搭載装置10は様々な
形状の電子部品の基板上への搭載を低コストで実現する
ことができ、且つ、従来と同様に信頼性の高い電子部品
の搭載を行うことができる。
That is, the electronic component mounting apparatus 10 can mount electronic components of various shapes on a substrate at low cost, and mount electronic components with high reliability as in the related art. be able to.

【0069】なお、本実施の形態の例において、前記電
子部品吸着ノズル12の先端部28の基部44には前記
側壁44bが形成されているが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えば前記アダプタ50のように、
アダプタのみで吸着口を形成することができる場合には
前記側壁44bを設けることなく、前記リング板状体部
44aのみの基部としてもよい。
In the embodiment of the present invention, the side wall 44b is formed at the base 44 of the tip 28 of the electronic component suction nozzle 12, but the present invention is not limited to this. For example, like the adapter 50,
When the suction port can be formed only with the adapter, the side wall 44b may not be provided, and the base may include only the ring plate-shaped body 44a.

【0070】又、本実施の形態の例において、前記アダ
プタ46、48及び50は、1又は2の部材により構成
されているが、本発明はこれに限定されるものではな
く、3以上の部材により構成されるアダプタとしてもよ
い。
In the embodiment of the present invention, the adapters 46, 48 and 50 are constituted by one or two members. However, the present invention is not limited to this. Adapter.

【0071】更に、本実施の形態の例において、前記基
部44及び前記アダプタ46、48及び50の外周は円
又は円弧形状であるが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、例えば四角形等の他の外周形状の基部及びア
ダプタとしてもよい。
Further, in the example of the present embodiment, the outer circumferences of the base portion 44 and the adapters 46, 48, and 50 are circular or arc-shaped, but the present invention is not limited to this. The base and the adapter may have another outer peripheral shape.

【0072】次に、本発明の実施の形態の第2例につい
て説明する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described.

【0073】本実施の形態の第2例に係る電子部品搭載
装置は、前記実施の形態の第1例に係る前記電子部品搭
載装置10に対して、前記電子部品吸着ノズル12の先
端部28の構造が異なるものである。
The electronic component mounting apparatus according to the second embodiment of the present embodiment is different from the electronic component mounting apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention in that the distal end portion 28 of the electronic component suction nozzle 12 has They differ in structure.

【0074】他の構造については前記電子部品搭載装置
10と同じであるので、前記実施の形態の第1例と同一
符号を付することとし、説明を省略する。
Since the other structure is the same as that of the electronic component mounting apparatus 10, the same reference numerals as those in the first embodiment of the present embodiment denote the same parts, and a description thereof will not be repeated.

【0075】図5及び図6に示されるように、本実施の
形態の第2例に係る電子部品吸着ノズル60は、先端部
62の吸着口64が、前記負圧供給口24に連通し当接
面62aに開口する複数の微細孔66により形成される
と共に、該微細孔66内に着脱自在に装着され、該微細
孔66を閉塞することにより前記吸着口64の形状を変
更可能な複数の閉塞部材68が備えられたことを特徴と
している。
As shown in FIGS. 5 and 6, in the electronic component suction nozzle 60 according to the second example of the present embodiment, the suction port 64 of the distal end portion 62 is communicated with the negative pressure supply port 24 to be in contact with. A plurality of fine holes 66 are formed in the contact surface 62a and are removably mounted in the fine holes 66, and the shapes of the suction ports 64 can be changed by closing the fine holes 66. It is characterized in that a closing member 68 is provided.

【0076】前記先端部62には、前記側壁44bに対
し内周面が段付孔とされ、下段孔70aの内径が上段孔
70bの内径よりも大きくされた側壁70が形成されて
いる。
The end portion 62 has a side wall 70 in which the inner peripheral surface is formed as a stepped hole with respect to the side wall 44b, and the inner diameter of the lower step hole 70a is larger than the inner diameter of the upper step hole 70b.

【0077】前記下段孔70aには略円板状の多孔板7
2が嵌合して固着され、この多孔板72の下端が前記当
接面62aを構成している。
The lower hole 70a has a substantially disc-shaped porous plate 7
2 are fitted and fixed, and the lower end of the perforated plate 72 constitutes the contact surface 62a.

【0078】前記微細孔66は、該多孔板72をZ軸方
向に貫くねじ孔で、該多孔板72の全面に複数(本実施
の形態の第2例では21個)形成され、各々前記中間口
42に連通している。
The fine holes 66 are screw holes penetrating the porous plate 72 in the Z-axis direction, and are formed in plural (21 in the second example of the present embodiment) on the entire surface of the porous plate 72, It communicates with the mouth 42.

【0079】前記閉塞部材68は、いもねじ状部材で前
記微細孔66に螺合することにより、該微細孔66を閉
塞するようにされている。
The closing member 68 is adapted to close the fine hole 66 by being screwed into the fine hole 66 with a threaded member.

【0080】前記吸着口64は、前記中間口42を介し
て前記負圧供給口24に連通する複数の前記微細孔66
の下端として形成され、前記閉塞部材68が該微細孔6
6に適宜装着されて該微細孔66を閉塞することによ
り、前記吸着口64の形状が変更可能とされている。
The suction port 64 is provided with a plurality of micro holes 66 communicating with the negative pressure supply port 24 through the intermediate port 42.
The closing member 68 is formed as a lower end of the micro hole 6.
6, the shape of the suction port 64 can be changed by closing the fine hole 66 appropriately.

【0081】このように本実施の形態の第2例において
も、簡単な形状で低コストで製作することができる前記
閉塞部材68を前記微細孔66に着脱することにより、
前記吸着口64の形状を容易に変更することができ、前
記実施の形態の第1例と同様に、様々な形状の電子部品
の基板上への搭載を低コストで実現することができる。
As described above, also in the second example of the present embodiment, the closing member 68, which can be manufactured in a simple shape and at low cost, is attached to and detached from the fine hole 66.
The shape of the suction port 64 can be easily changed, and, similarly to the first example of the embodiment, mounting of electronic components having various shapes on a substrate can be realized at low cost.

【0082】なお、本実施の形態の第2例において前記
微細孔66はねじ孔とされ、前記閉塞部材68はいもね
じ状部材とされているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、例えば相互に着脱自在に嵌着するピン孔及
びピンの微細孔及び閉塞部材としてもよい。
In the second embodiment of the present invention, the fine hole 66 is a screw hole, and the closing member 68 is a threaded member. However, the present invention is not limited to this. For example, a pin hole, a pin fine hole, and a closing member which are detachably fitted to each other may be used.

【0083】又、本実施の形態の第2例において、前記
多孔板72は前記側壁44bに固着されているが、本発
明はこれに限定されるものではなく、例えばねじ等によ
り前記側壁44bに着脱自在に装着される多孔板として
もよい。
In the second embodiment of the present invention, the perforated plate 72 is fixed to the side wall 44b. However, the present invention is not limited to this. It may be a perforated plate that is detachably mounted.

【0084】このようにすることで、例えば、微細孔の
形成パターンが異なる複数の多孔板を前記側壁44bに
選択的に装着して、より多様な形状の吸着口を形成する
ことができる。
In this manner, for example, a plurality of perforated plates having different formation patterns of fine holes can be selectively mounted on the side wall 44b to form suction ports having various shapes.

【0085】一方、例えば前記中間口42が前記吸着口
64よりも大きく、加工が容易な場合には、前記多孔板
72を前記側壁44bに一体に形成してもよい。
On the other hand, for example, when the intermediate port 42 is larger than the suction port 64 and processing is easy, the perforated plate 72 may be formed integrally with the side wall 44b.

【0086】又、電子部品搭載装置は一般的に、吸着口
形状の異なる複数の電子部品吸着ノズルを備え、これら
電子部品吸着ノズルを適宜選択してスライドシャフト下
端に装着して電子部品の搭載を行うが、本発明はこれら
全ての電子部品吸着ノズルが前記実施の形態の第1例及
び第2例に係る前記電子部品吸着ノズル12、60のよ
うに、吸着口形状変更可能とされる場合に限定されるも
のではなく、少なくとも一の電子部品吸着ノズルが、前
記電子部品吸着ノズル12、60のように吸着口形状変
更可能とされていればよい。
An electronic component mounting apparatus generally has a plurality of electronic component suction nozzles having different suction port shapes, and these electronic component suction nozzles are appropriately selected and mounted on the lower end of a slide shaft to mount electronic components. However, the present invention is applied to a case where all the electronic component suction nozzles can be changed in shape of the suction port as in the electronic component suction nozzles 12 and 60 according to the first and second examples of the embodiment. The present invention is not limited to this, and it is only necessary that at least one of the electronic component suction nozzles is capable of changing the shape of the suction port like the electronic component suction nozzles 12 and 60.

【0087】[0087]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
様々な形状の電子部品の基板上への搭載を低コストで実
現することができるという優れた効果がもたらされる。
As described above, according to the present invention,
There is an excellent effect that electronic components of various shapes can be mounted on a substrate at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の第1例に係る電子部品搭
載装置の要部構造を示す斜視図
FIG. 1 is a perspective view showing a main structure of an electronic component mounting apparatus according to a first example of an embodiment of the present invention.

【図2】同電子部品搭載装置における電子部品吸着ノズ
ルの構造を示す断面図
FIG. 2 is a sectional view showing the structure of an electronic component suction nozzle in the electronic component mounting apparatus.

【図3】同電子部品吸着ノズルの先端部の構造を示す斜
視図
FIG. 3 is a perspective view showing a structure of a tip portion of the electronic component suction nozzle.

【図4】同電子部品吸着ノズルの先端部の構造を拡大し
て示す断面図
FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the structure of the tip of the electronic component suction nozzle.

【図5】本発明の実施の形態の第2例に係る電子部品吸
着ノズルの先端部の構造を示す斜視図
FIG. 5 is a perspective view showing a structure of a distal end portion of an electronic component suction nozzle according to a second example of the embodiment of the present invention.

【図6】同電子部品吸着ノズルの先端部の構造を拡大し
て示す断面図
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing the structure of the tip of the electronic component suction nozzle.

【図7】従来の電子部品吸着ノズルの構造を示す分解斜
視図
FIG. 7 is an exploded perspective view showing the structure of a conventional electronic component suction nozzle.

【図8】同電子部品吸着ノズルのノズルスライダの構造
を示す断面図
FIG. 8 is a sectional view showing a structure of a nozzle slider of the electronic component suction nozzle.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…電子部品搭載装置 12、60、100…電子部品吸着ノズル 22…基端部 24…負圧供給口 26、64、102d…吸着口 28、62、102b…先端部 28a、62a…当接面 36、102…ノズルスライダ 42…中間口 44…基部 44b、70…側壁 46、48、50…アダプタ 66…微細孔 68…閉塞部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Electronic component mounting apparatus 12, 60, 100 ... Electronic component suction nozzle 22 ... Base end part 24 ... Negative pressure supply port 26, 64, 102d ... Suction port 28, 62, 102b ... Tip part 28a, 62a ... Contact surface 36, 102: Nozzle slider 42: Intermediate port 44: Base 44b, 70: Side wall 46, 48, 50: Adapter 66: Micro hole 68: Closure member

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】筒状体で、基端部側の負圧供給口に連通す
る吸着口が形成された先端部の当接面を電子部品に当接
させつつ、前記負圧供給口から供給される負圧により前
記電子部品を真空吸着可能である電子部品吸着ノズルを
備えてなり、電子部品を基板上に搭載する電子部品搭載
装置において、 前記電子部品吸着ノズルの先端部は、前記負圧供給口に
連通する中間口が形成された基部と、この基部に着脱自
在、且つ、選択的に装着される複数のアダプタと、を含
んで構成され、前記吸着口は前記中間口に連通するよう
に、各前記アダプタにより形成されると共に、各前記ア
ダプタは相互に異なる形状の前記吸着口を形成するよう
にされたことを特徴とする電子部品搭載装置。
1. A cylindrical body provided with a suction surface communicating with a negative pressure supply port on a base end side and having a contact surface at a distal end portion contacting with an electronic component while supplying from the negative pressure supply port. An electronic component mounting nozzle for mounting the electronic component on a substrate, the electronic component mounting nozzle being capable of vacuum-sucking the electronic component by a negative pressure applied to the electronic component. It is configured to include a base formed with an intermediate port communicating with the supply port, and a plurality of adapters detachably attached to the base and selectively mounted. The suction port communicates with the intermediate port. The electronic component mounting apparatus is formed by each of the adapters, and each of the adapters forms the suction port having a different shape.
【請求項2】請求項1において、 前記基端部側から前記先端部の方向に前記当接面まで突
出し、前記アダプタと共に前記吸着口を形成可能である
側壁が前記電子部品吸着ノズルの先端部の基部に設けら
れたことを特徴とする電子部品搭載装置。
2. The tip of the electronic component suction nozzle according to claim 1, wherein a side wall protruding from the base end side toward the tip end to the contact surface and forming the suction port together with the adapter is formed. An electronic component mounting device provided at a base of the electronic component.
【請求項3】筒状体で、基端部側の負圧供給口に連通す
る吸着口が形成された先端部の当接面を電子部品に当接
させつつ、前記負圧供給口から供給される負圧により前
記電子部品を真空吸着可能である電子部品吸着ノズルを
備えてなり、電子部品を基板上に搭載する電子部品搭載
装置において、 前記吸着口は、前記負圧供給口に連通し前記当接面に開
口する複数の微細孔により形成されると共に、該微細孔
内に着脱自在に装着され、該微細孔を閉塞することによ
り前記吸着口の形状を変更可能な1以上の閉塞部材が備
えられたことを特徴とする電子部品搭載装置。
3. A cylindrical body provided with a suction port communicating with a negative pressure supply port on a base end side, and a contact surface at a distal end formed with a suction port, the supply surface being supplied from the negative pressure supply port. An electronic component mounting device for mounting the electronic component on a substrate, wherein the suction port communicates with the negative pressure supply port. One or more closing members formed by a plurality of fine holes opened in the contact surface, removably mounted in the fine holes, and capable of changing the shape of the suction port by closing the fine holes. An electronic component mounting device, comprising:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013193182A (en) * 2012-03-21 2013-09-30 Seiko Instruments Inc Suction head and suction conveyance device
CN106211737A (en) * 2015-05-27 2016-12-07 上野精机株式会社 Electronic component carrying apparatus
CN110290649A (en) * 2019-08-05 2019-09-27 广东速美达自动化股份有限公司 A kind of assembling product safe float device

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