JP2002205254A - Shaping method for optical element grinding/polishing tool, and grinding tool for shaping of grinding/polishing tool - Google Patents

Shaping method for optical element grinding/polishing tool, and grinding tool for shaping of grinding/polishing tool

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JP2002205254A
JP2002205254A JP2001002036A JP2001002036A JP2002205254A JP 2002205254 A JP2002205254 A JP 2002205254A JP 2001002036 A JP2001002036 A JP 2001002036A JP 2001002036 A JP2001002036 A JP 2001002036A JP 2002205254 A JP2002205254 A JP 2002205254A
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grinding
tool
polishing
shape
optical element
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Hiroshi Koibuchi
弘 鯉渕
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a shaping method for grinding/polishing tool and a grinding tool for shaping, capable of making the working surface of an optical element grinding/polishing tool into a predetermined radius of curvature, sphericity, or flatness with high precision by means of grinding process. SOLUTION: This method makes a grinding/polishing tool 4, which is used for grinding/polishing work of creating a spherical or flat surface by transferring the shape of working surface of the grinding/polishing tool 4 to a worked surface of the optical element by relative motion between the grinding/polishing tool 4 and an optical element using the grinding tool 1 while feeding abrasive grains 11, wherein the grinding in tool 1 formed with grooves 3 or holes on a working surface 2 is used, thereby facilitating sufficient supply of abrasive grains 11 into a clearance between the grinding tool 1 and the grinding/polishing tool 4, or discharge of grinding/polishing chips from the clearance.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ等の光学素
子の研削・研磨加工に使用される研削・研磨工具の加工
面形状を製作する工具形状製作方法、さらに、研削・研
磨工具の加工面を摺り合わせ加工により所定の曲率半径
および真球度あるいは所定の平面度に製作するための摺
り合わせ工具に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tool shape manufacturing method for manufacturing a processing surface shape of a grinding / polishing tool used for grinding / polishing an optical element such as a lens, and further, a processing surface of a grinding / polishing tool. For producing a predetermined radius of curvature and sphericity or a predetermined flatness by rubbing.

【0002】[0002]

【従来の技術】レンズ等の光学素子と工具の回転および
揺動による相対運動で該工具の形状を光学素子の被加工
面に転写して球面あるいは平面を創成する光学素子の研
削・研磨加工に使用される研削・研磨工具の形状製作に
際して、遊離砥粒を使用して球面形状あるいは平面形状
を創成する皿形状の工具としては、日本オプトメカトロ
ニクス協会「光学素子加工技術 '90」(1990.9 .5 )
の〔I−4研削・研磨〕5〜6頁に、粗摺り皿としての
鋳鉄皿が記載されており、皿面の表面に関する記述とし
ては、巣に対する軟質金属充填が紹介されている。ま
た、光学素子の研削・研磨加工にダイヤモンド等の砥粒
を金属やレジンで焼結成形した工具を使用することが一
般的となり、該研削・研磨工具の加工面である球面ある
いは平面を予め所定の曲率半径および真球度あるいは所
定の平面度に製作するための工具として、前記の鋳鉄皿
が使用されている。このため、前記粗摺り皿と同様に光
学素子の研削・研磨加工の工具形状製作用の摺り合わせ
皿の加工面は、全面が被加工物に接触するように使用す
る方法が広く行われている。
2. Description of the Related Art The grinding and polishing of an optical element, such as a lens or the like, which transfers a shape of the tool to a surface to be processed of the optical element by relative movement by rotation and swing of the tool to create a spherical surface or a flat surface. In the production of the shape of the grinding / polishing tool used, a dish-shaped tool that creates a spherical shape or a planar shape using loose abrasives is available from the Japan Opto-Mechatronics Association “Optical Element Processing Technology '90” (1990.9) .Five )
[I-4 Grinding and Polishing], pp. 5-6, describes a cast iron plate as a roughing plate, and as a description of the surface of the plate surface, a soft metal filling into a nest is introduced. Further, it is common to use a tool obtained by sintering abrasive grains such as diamond with a metal or a resin for grinding and polishing of an optical element. The above-mentioned cast iron plate is used as a tool for producing a radius of curvature and a sphericity or a predetermined flatness. For this reason, a method is widely used in which a processing surface of a rubbing plate for producing a tool shape for grinding and polishing an optical element is in contact with a workpiece as in the case of the rough rubbing plate. .

【0003】以下に、レンズ等の光学素子の研削・研磨
加工および該研削・研磨加工に使用される研削・研磨工
具の形状製作の従来の一般的な態様について図7および
図8を用いて説明する。図7には、従来のレンズ等の光
学素子を研削・研磨加工する態様を示し、図8には光学
素子の研削・研磨加工に使用される研削・研磨工具を摺
り合わせ加工により形状製作する態様を示し、図9の
(a)および(b)には、研削・研磨工具の加工面の形
状製作に用いる摺り合わせ工具の平面図と一部破断した
側面図を示す。
[0003] A conventional general mode of grinding and polishing of an optical element such as a lens and the production of a shape of a grinding and polishing tool used for the grinding and polishing will be described below with reference to FIGS. 7 and 8. I do. FIG. 7 shows a mode in which a conventional optical element such as a lens is ground and polished, and FIG. 8 shows a mode in which a grinding and polishing tool used for grinding and polishing of an optical element is shaped by rubbing. 9 (a) and 9 (b) show a plan view and a partially broken side view of a rubbing tool used for manufacturing a shape of a processing surface of a grinding / polishing tool.

【0004】光学素子の研削・研磨加工に際しては、図
7に図示するように、回転自在な駆動軸115に固定さ
れた研削・研磨工具114の上に、レンズ116がレン
ズホルダ117および支持カンザシ118により加圧保
持され、ポンプ(不図示)と供給ノズル112を介して
研削液113が供給される。レンズ116は、研削・研
磨工具114との相対的な回転運動と駆動機構(不図
示)を備えたアーム119の揺動運動とにより研削・研
磨され、工具114の曲率半径および真球度がレンズ1
16に転写される。
At the time of grinding and polishing of an optical element, as shown in FIG. 7, a lens 116 is provided with a lens holder 117 and a support screw 118 on a grinding and polishing tool 114 fixed to a rotatable drive shaft 115. , And the grinding fluid 113 is supplied through a pump (not shown) and a supply nozzle 112. The lens 116 is ground and polished by a relative rotational movement with respect to the grinding and polishing tool 114 and an oscillating movement of an arm 119 having a drive mechanism (not shown). 1
16 is transferred.

【0005】また、前記研削・研磨加工に使用される研
削・研磨工具の加工面の曲率半径および真球度を予め所
定の寸法精度に製作する摺り合わせ加工に際しては、図
9に図示するような摺り合わせ工具101が使用され、
その加工面102は、研削・研磨加工しようとする光学
素子116(図7)の所定の曲率に摺り合わせに使う砥
粒111(図8)の粒径分を加味した球面曲率をもって
形成されている。研削・研磨工具の摺り合わせによる工
具形状製作においては、図8に図示するように、回転自
在な駆動軸105に支持された研削・研磨工具104の
上に、摺り合わせ工具101が支持カンザシ108によ
り加圧保持され、ポンプ(不図示)とノズル110を介
して粒度#240〜#3000程度の砥粒111が供給
される。研削・研磨工具104は摺り合わせ工具101
との相対的な回転運動と駆動機構(不図示)を備えた支
持カンザシ108の揺動運動とにより転動する砥粒11
1で研削され、表面形状が創成される。
[0005] Further, in the case of a grinding process in which the radius of curvature and the sphericity of the processing surface of the grinding / polishing tool used for the above-mentioned grinding / polishing process are manufactured with a predetermined dimensional accuracy in advance, as shown in FIG. The rubbing tool 101 is used,
The processed surface 102 is formed to have a spherical curvature that takes into account the particle size of the abrasive grains 111 (FIG. 8) used for grinding to a predetermined curvature of the optical element 116 (FIG. 7) to be ground / polished. . In the manufacture of a tool shape by rubbing of a grinding / polishing tool, as shown in FIG. 8, a rubbing tool 101 is supported on a grinding / polishing tool 104 supported by a rotatable drive shaft 105 by a support screw 108. Pressurized and held, and abrasive grains 111 having a particle size of about # 240 to # 3000 are supplied via a pump (not shown) and the nozzle 110. The grinding / polishing tool 104 is a grinding tool 101
Abrasive grains 11 which are rolled by the relative rotational movement of the support 11 and the oscillating movement of the supporting wrench 108 having a drive mechanism (not shown).
1 to create a surface profile.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】前述したような従来例
における摺り合わせ工具101の加工面全面を使用した
状態での工具形状製作においては、研削・研磨工具10
4と摺り合わせ工具101との間の間隙中央部への砥粒
111の供給等が充分にできず、さらに研削屑の排出も
充分にできず、砥粒の転動を均一に行えないため、研削
・研磨工具104と摺り合わせ工具111の部分的な接
触状態が発生し、所定の曲率半径および真球度あるいは
所定の平面度に製作することが困難であった。このため
摺り合わせ加工による工具形状製作には、経験を基に摺
り合わせの時間を調整して、摺り合わせ加工を中断して
摺り合わせ工具101を取り外し、中央部に砥粒111
を供給するといった技能が必要であった。また、前記摺
り合わせ加工後の被加工物である研削・研磨工具104
の曲率半径および真球度あるいは平面度が所定の規格に
安定して製作できないことにより、該研削・研磨工具1
04で加工されたレンズ116の品質が安定しないとい
った問題点があった。
In the production of a tool shape in the state in which the entire processing surface of the rubbing tool 101 in the conventional example as described above is used, the grinding and polishing tool 10 is used.
Since the supply of the abrasive grains 111 to the center of the gap between the rubbing tool 4 and the rubbing tool 101 cannot be sufficiently performed, the grinding chips cannot be sufficiently discharged, and the rolling of the abrasive grains cannot be performed uniformly. Partial contact between the grinding / polishing tool 104 and the rubbing tool 111 occurred, and it was difficult to produce a predetermined radius of curvature and sphericity or a predetermined flatness. For this reason, in producing a tool shape by rubbing, the rubbing time is adjusted based on experience, the rubbing process is interrupted, the rubbing tool 101 is removed, and abrasive grains 111 are provided at the center.
Skills such as supplying Further, the grinding / polishing tool 104 which is the workpiece after the rubbing process is performed.
The radius of curvature and sphericity or flatness of the grinding / polishing tool 1 cannot be stably manufactured to a predetermined standard.
There is a problem that the quality of the lens 116 processed in step 04 is not stable.

【0007】そこで、本発明は、上記のような従来技術
の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、
光学素子の研削・研磨工具の加工面の球面形状あるいは
平面形状を摺り合わせ加工により所定の曲率半径および
真球度あるいは所定の平面度に精度よく製作することが
できる光学素子研削・研磨工具の形状製作方法、および
光学素子の研削・研磨工具の加工面を摺り合わせ加工に
より所定の球面形状あるいは平面形状に安定して製作す
ることができる研削・研磨工具の形状製作用の摺り合わ
せ工具を提供することを目的とするものである。
Therefore, the present invention has been made in view of the above-mentioned unsolved problems of the prior art,
Grinding / polishing tool for optical element Shape of optical element grinding / polishing tool that can be manufactured to a specified radius of curvature and sphericity or a specified flatness by grinding the spherical or planar shape of the processed surface of the tool. Provided is a manufacturing method and a grinding tool for producing a grinding / polishing tool that can stably produce a predetermined spherical shape or a planar shape by grinding a processing surface of a grinding / polishing tool of an optical element. The purpose is to do so.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光学素子研削・研磨工具の形状製作方法
は、光学素子の研削・研磨加工に用いる研削・研磨工具
の加工面の球面あるいは平面を摺り合わせ工具との摺り
合わせ加工により所定の曲率半径および真球度あるいは
所定の平面度に製作する光学素子研削・研磨工具の形状
製作方法において、前記摺り合わせ工具として加工面の
表面に複数の穴あるいは溝を形成した工具を使用するこ
とを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention is directed to a spherical surface of a grinding / polishing tool used for grinding / polishing an optical element. Alternatively, in a method of producing a shape of an optical element grinding / polishing tool for producing a predetermined curvature radius and a sphericity or a predetermined flatness by grinding a plane with a grinding tool, the grinding tool may be used on a surface of a processing surface. It is characterized in that a tool having a plurality of holes or grooves is used.

【0009】本発明の光学素子研削・研磨工具の形状製
作方法において、前記摺り合わせ工具の加工面表面に形
成された穴あるいは溝は、研削・研磨工具の形状製作時
に使用する砥粒の径より大きな径と深さ、あるいは前記
砥粒の径より大きな幅と深さを有していることが好まし
い。
In the method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention, the hole or groove formed in the surface of the grinding surface of the rubbing tool is larger than the diameter of abrasive grains used in producing the shape of the grinding / polishing tool. It is preferable to have a large diameter and depth, or a width and depth larger than the diameter of the abrasive grains.

【0010】本発明の光学素子研削・研磨工具の形状製
作方法において、前記光学素子の研削・研磨加工は、前
記研削・研磨工具と光学素子の回転および揺動による相
対運動により前記工具の加工面形状を光学素子の被加工
面に転写して球面あるいは平面を創成するものである。
In the method of manufacturing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention, the grinding / polishing of the optical element is performed by a relative movement of the grinding / polishing tool and the optical element by rotation and swing. The shape is transferred to the surface to be processed of the optical element to create a spherical surface or a flat surface.

【0011】本発明の研削・研磨工具の形状製作用摺り
合わせ工具は、光学素子の研削・研磨加工に用いる研削
・研磨工具の加工面の球面あるいは平面を摺り合わせ加
工により所定の曲率半径および真球度あるいは所定の平
面度に製作する研削・研磨工具の形状製作用摺り合わせ
工具において、加工面の表面に複数の穴あるいは溝が形
成されていることを特徴とする。
The grinding tool for producing the shape of a grinding / polishing tool according to the present invention is a grinding / polishing tool used for grinding / polishing an optical element. In a grinding tool for producing a grinding / polishing tool having a sphericity or a predetermined flatness, a plurality of holes or grooves are formed on a surface of a processing surface.

【0012】本発明の研削・研磨工具の形状製作用摺り
合わせ工具においては、前記加工面に形成された穴また
は溝は、研削・研磨工具の形状製作時に使用する砥粒の
径より大きな深さおよび径または幅を有していることが
好ましく、また、前記加工面に形成された穴または溝
は、旋盤、ボール盤等による穴あけ加工により、あるい
はフライス盤、旋盤、放電等による溝入れ加工により形
成されていることが好ましい。
In the grinding tool according to the present invention, the hole or groove formed in the processing surface has a depth greater than a diameter of an abrasive used in manufacturing the shape of the grinding / polishing tool. And a hole or groove formed in the processing surface is formed by drilling with a lathe, a drilling machine, or the like, or by grooving with a milling machine, a lathe, electric discharge, or the like. Is preferred.

【0013】本発明の研削・研磨工具の形状製作用摺り
合わせ工具は、鋳鉄で作製されていることが好ましい。
[0013] The grinding tool for producing the shape of the grinding / polishing tool of the present invention is preferably made of cast iron.

【0014】[0014]

【作用】本発明によれば、光学素子の研削・研磨加工に
用いる研削・研磨工具の加工面の球面あるいは平面形状
を摺り合わせ工具との摺り合わせ加工により所定の曲率
半径および真球度あるいは所定の平面度に製作する際
に、加工面の表面に穴あけあるいは溝入れをした摺り合
わせ工具を使用することにより、摺り合わせ工具と研削
・研磨工具間の間隙への充分な砥粒の供給あるいは研削
屑の排出などが容易になり、経験を基に摺り合わせの時
間や砥粒の量を調整するといった技能を不要にすること
ができ、さらに、摺り合わせ加工後の被加工物である研
削・研磨工具の曲率半径や真球度あるいは平面度を所定
の規格に安定して製作することができ、これにより、研
削・研磨工具で加工した光学素子の品質が安定し、光学
素子の製造コストを安価にすることができる。
According to the present invention, the surface of a grinding or polishing tool used for grinding or polishing an optical element has a predetermined radius of curvature and a certain sphericity or a predetermined sphericity by a grinding process with a grinding tool. By using a rubbing tool with a hole or grooving on the surface of the processing surface when manufacturing to a flatness of, sufficient supply of abrasive grains to the gap between the rubbing tool and the grinding / polishing tool or grinding It facilitates the removal of debris and eliminates the need for skills such as adjusting the grinding time and the amount of abrasive grains based on experience. In addition, the grinding and polishing of the workpiece after the grinding process The radius of curvature, sphericity or flatness of the tool can be manufactured stably to the specified standard, which stabilizes the quality of the optical element processed by the grinding / polishing tool and reduces the manufacturing cost of the optical element. It can be to the valence.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0016】(実施例1)図1の(a)は、本発明の光
学素子研削・研磨工具の形状製作方法の一実施例を示す
概略図であり、同図(b)および(c)は、本実施例に
おける摺り合わせ工具の平面図および一部破断した側面
図である。
(Embodiment 1) FIG. 1A is a schematic view showing an embodiment of a method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention, wherein FIGS. FIG. 3 is a plan view and a partially cutaway side view of the rubbing tool in the present embodiment.

【0017】本実施例における凹形状の摺り合わせ工具
1は、鋳鉄等で作製され、図1の(b)および(c)に
示すように、その凹形状の加工面2の表面には半径方向
に直線状に延びる溝3が、フライス盤や旋盤等の研削加
工あるいは放電加工等による溝入れ加工により創成され
ており、これらの溝3は、研削・研磨工具の形状製作時
に使用する砥粒の径より大きな幅と深さを有し、その断
面形状は、図3の(a)、(b)、(c)に示すような
三角形状、矩形状あるいは半円形状等に形成される。
The concave-shaped rubbing tool 1 in the present embodiment is made of cast iron or the like, and as shown in FIGS. Grooves 3 are formed by grinding or milling of a milling machine or a lathe, or by grooving by electric discharge machining. It has a larger width and depth, and its cross-sectional shape is formed in a triangular shape, a rectangular shape, a semicircular shape, or the like as shown in FIGS. 3A, 3B, and 3C.

【0018】凹形状の摺り合わせ工具1を用いて研削・
研磨工具の工具形状を製作する際には、図1の(a)に
示すように、回転自在な駆動軸5に固定された研削・研
磨工具4の上に、摺り合わせ工具1が支持カンザシ8に
より加圧保持され、ポンプ(不図示)とノズル10を介
して粒度#240〜#3000程度の砥粒11が供給さ
れる。研削・研磨工具4は、摺り合わせ工具1との相対
的な回転運動と駆動機構(不図示)を備えた支持カンザ
シ8の揺動運動とにより転動する砥粒11で研削され、
表面形状が創成される。このとき、加工面2の表面に溝
3を創成した摺り合わせ工具1を使用して摺り合わせ加
工を行うことにより、研削・研磨工具4と摺り合わせ工
具1との間の間隙への充分な砥粒11の供給および研削
屑の排出が加工面2の溝3を介して充分に可能となり、
砥粒11の転動を均一にすることができ、摺り合わせ加
工後の研削・研磨工具4に所定の曲率半径および真球度
の加工面形状を創成することが容易になる。
Grinding using a concave grinding tool 1
When manufacturing the tool shape of the polishing tool, as shown in FIG. 1A, a grinding tool 1 is supported on a grinding / polishing tool 4 fixed to a rotatable drive shaft 5 by a support screw 8. , And abrasive grains 11 having a particle size of about # 240 to # 3000 are supplied via a pump (not shown) and the nozzle 10. The grinding / polishing tool 4 is ground by the abrasive grains 11 which are rolled by a relative rotational movement with respect to the rubbing tool 1 and a swinging movement of a supporting screw 8 provided with a drive mechanism (not shown).
A surface shape is created. At this time, by performing the rubbing process using the rubbing tool 1 in which the groove 3 is formed on the surface of the processing surface 2, sufficient grinding to the gap between the grinding / polishing tool 4 and the rubbing tool 1 is performed. The supply of the grains 11 and the discharge of the grinding debris can be sufficiently performed through the grooves 3 of the processing surface 2,
The rolling of the abrasive grains 11 can be made uniform, and it becomes easy to create a processed surface shape having a predetermined radius of curvature and sphericity in the grinding / polishing tool 4 after the rubbing process.

【0019】以上のように、加工面の表面に研削・研磨
工具の形状製作に使用する砥粒径より大きな幅と深さを
有する溝を形成した摺り合わせ工具を用いて、研削・研
磨工具の工具形状を製作することにより、研削・研磨工
具の球面形状あるいは平面形状を所定の曲率半径や真球
度あるいは所定の平面度に精度良く創成することがで
き、このように工具形状が創成された研削・研磨工具で
加工したレンズ等の光学素子は、品質が安定し、製造コ
ストも安価にすることができる。
As described above, a grinding / polishing tool is formed by using a rubbing tool having a groove having a width and a depth larger than the abrasive grain size used for manufacturing the shape of the grinding / polishing tool on the surface of the processing surface. By manufacturing the tool shape, the spherical or planar shape of the grinding / polishing tool can be accurately formed to a predetermined radius of curvature, sphericity or predetermined flatness, and thus the tool shape was created. Optical elements such as lenses processed by a grinding / polishing tool have stable quality and can be manufactured at low cost.

【0020】(実施例2)図2の(a)は、本発明の光
学素子研削・研磨工具の形状製作方法の他の実施例を示
す概略図であり、同図(b)および(c)は、本実施例
における摺り合わせ工具の平面図および側面図である。
(Embodiment 2) FIG. 2A is a schematic view showing another embodiment of a method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention, which is shown in FIGS. 2B and 2C. FIG. 3 is a plan view and a side view of the rubbing tool in the present embodiment.

【0021】本実施例における凸形状の摺り合わせ工具
1aは、鋳鉄等で作製され、図2の(b)および(c)
に示すように、その凸形状の加工面2aの表面には半径
方向に直線状に延びる溝3aが、フライス盤や旋盤等の
研削加工あるいは放電加工等による溝入れ加工により創
成されており、これらの溝3aは、研削・研磨工具の形
状製作時に使用する砥粒の径より大きな幅と深さを有
し、その断面形状は、図3の(a)、(b)、(c)に
示すような三角形状、矩形状あるいは半円形状等に形成
される。
The convex-shaped rubbing tool 1a in this embodiment is made of cast iron or the like, and is shown in FIGS.
As shown in FIG. 5, grooves 3a extending linearly in the radial direction are formed on the surface of the convex processing surface 2a by grinding such as a milling machine or a lathe or grooving by electric discharge machining. The groove 3a has a width and a depth larger than the diameter of the abrasive used when manufacturing the shape of the grinding / polishing tool, and its cross-sectional shape is as shown in FIGS. 3 (a), (b) and (c). It is formed in a triangular, rectangular or semi-circular shape.

【0022】凸形状の摺り合わせ工具1aを用いて研削
・研磨工具の工具形状を製作する際には、図2の(a)
に示すように、回転自在な駆動軸5aに固定された摺り
合わせ工具1aの上に、研削・研磨工具4aが工具台金
14および支持カンザシ8により加圧保持され、ポンプ
(不図示)とノズル10を介して粒度#240〜#30
00程度の砥粒11が供給される。研削・研磨工具4a
は、摺り合わせ工具1aとの相対的な回転運動と駆動機
構(不図示)を備えた支持カンザシ8aの揺動運動とに
より転動する砥粒11で研削され、表面形状が創成され
る。このとき、加工面2aの表面に溝3aを創成した摺
り合わせ工具1aを使用して摺り合わせ加工を行うこと
により、前述した実施例1と同様に、研削・研磨工具4
aと摺り合わせ工具1aとの間の間隙への充分な砥粒1
1の供給および研削屑の排出が充分に可能となり、摺り
合わせ加工後の研削・研磨工具4aに所定の曲率半径お
よび真球度の加工面形状を創成することが容易になる。
したがって、本実施例においても、前述した実施例1と
同様の作用効果を得ることができる。
When manufacturing the tool shape of the grinding / polishing tool using the convex-shaped rubbing tool 1a, FIG.
As shown in FIG. 5, a grinding / polishing tool 4a is pressed and held by a tool base 14 and a support screw 8 on a rubbing tool 1a fixed to a rotatable drive shaft 5a, and a pump (not shown) and a nozzle Particle size # 240 to # 30 through 10
About 00 abrasive grains 11 are supplied. Grinding / polishing tool 4a
Is ground by the abrasive grains 11 which are rolled by a relative rotational movement with respect to the rubbing tool 1a and a swinging movement of a supporting screw 8a provided with a drive mechanism (not shown), and a surface shape is created. At this time, by performing the rubbing using the rubbing tool 1a in which the groove 3a is formed on the surface of the processing surface 2a, the grinding and polishing tool 4 is formed in the same manner as in the first embodiment.
a and sufficient abrasive grains 1 into the gap between
1 and discharge of the grinding waste can be sufficiently performed, and it becomes easy to create a processing surface shape having a predetermined radius of curvature and sphericity in the grinding / polishing tool 4a after the rubbing process.
Therefore, also in the present embodiment, it is possible to obtain the same operation and effect as in the first embodiment.

【0023】(実施例3)図4の(a)および(b)
は、本発明の光学素子研削・研磨工具の形状製作方法の
他の実施例における摺り合わせ工具の平面図および側面
図である。
(Embodiment 3) FIGS. 4A and 4B
FIG. 8 is a plan view and a side view of a rubbing tool in another embodiment of the method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool of the present invention.

【0024】本実施例における凸形状の摺り合わせ工具
1bは、鋳鉄等で作製され、図4の(a)および(b)
に示すように、その凸形状の加工面2bの表面には、工
具の回転方向に対して凹となる溝3bがフライス盤や旋
盤等の研削加工あるいは放電加工等による溝入れ加工に
より創成されており、これらの溝3bは、研削・研磨工
具の形状製作に使用する砥粒の径より大きな幅と深さを
有し、その断面形状は、図3の(a)、(b)、(c)
に示すような三角形状、矩形状あるいは半円形状等に形
成される。
The convex rubbing tool 1b in this embodiment is made of cast iron or the like, and is shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b).
As shown in FIG. 2, a groove 3b that is concave with respect to the rotation direction of the tool is formed on the surface of the convex machining surface 2b by grinding such as a milling machine or a lathe or grooving by electric discharge machining. The grooves 3b have a width and depth greater than the diameter of the abrasive grains used for manufacturing the shape of the grinding / polishing tool, and the cross-sectional shapes thereof are shown in FIGS. 3 (a), 3 (b) and 3 (c).
Are formed in a triangular, rectangular or semicircular shape as shown in FIG.

【0025】本実施例の凸形状の摺り合わせ工具1bを
用いて研削・研磨工具の工具形状を製作する際には、前
述した実施例2と同様の方法(図2の(a)参照)で研
削・研磨工具の摺り合わせ加工を行う。このとき、摺り
合わせ工具1bに創成されている溝3bの外周端が回転
方向に向かうことで、砥粒11が、摺り合わせ工具1b
と研削・研磨工具との間の間隙の中心方向に流入しやす
くなり、所定の曲率半径および真球度の加工面形状を創
成することが容易になる。したがって、本実施例におい
ても、前述した実施例1および実施例2と同様の作用効
果を得ることができる。
When manufacturing the tool shape of the grinding / polishing tool using the convex-shaped rubbing tool 1b of the present embodiment, a method similar to that of the second embodiment described above (see FIG. 2A). Grinding and polishing tools are rubbed. At this time, since the outer peripheral end of the groove 3b created in the rubbing tool 1b is directed in the rotation direction, the abrasive grains 11 are moved to the rubbing tool 1b.
It easily flows toward the center of the gap between the grinding tool and the grinding / polishing tool, and it is easy to create a processing surface shape having a predetermined radius of curvature and sphericity. Therefore, also in the present embodiment, it is possible to obtain the same operation and effect as those of the above-described first and second embodiments.

【0026】(実施例4)図5の(a)および(b)
は、本発明の光学素子研削・研磨工具の形状製作方法の
他の実施例における摺り合わせ工具の平面図および側面
図である。
(Embodiment 4) FIGS. 5A and 5B
FIG. 8 is a plan view and a side view of a rubbing tool in another embodiment of the method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool of the present invention.

【0027】本実施例における凸形状の摺り合わせ工具
1cは、鋳鉄等で作製され、図5の(a)および(b)
に示すように、その加工面2cの表面に、前述した実施
例と同様に、工具の外形と同心円状の複数の溝3cがフ
ライス盤や旋盤等の研削加工あるいは放電加工等による
溝入れ加工により創成されており、これらの溝3cは、
研削・研磨工具の形状製作に使用する砥粒の径より大き
な幅と深さを有し、その断面形状は、図3の(a)、
(b)、(c)に示すような三角形状、矩形状あるいは
半円形状等に形成される。
The convex rubbing tool 1c in this embodiment is made of cast iron or the like, and is shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b).
As shown in FIG. 7, a plurality of grooves 3c concentric with the outer shape of the tool are formed on the surface of the machining surface 2c by grinding such as a milling machine or a lathe or by grooving by electric discharge machining. And these grooves 3c are
It has a width and depth that are greater than the diameter of the abrasive grains used to produce the shape of the grinding / polishing tool.
It is formed in a triangular, rectangular or semicircular shape as shown in FIGS.

【0028】本実施例の凸形状の摺り合わせ工具1cを
用いて研削・研磨工具の工具形状を製作する際には、前
述した実施例2と同様の方法(図2の(a)参照)で研
削・研磨工具の摺り合わせ加工を行う。このとき、砥粒
11は、摺り合わせ工具1cに創成されている同心円状
の複数の溝3c内に保持されることとなり、砥粒の転動
は均一に行われ、所定の曲率半径および真球度の加工面
形状を創成することが容易であった。したがって、本実
施例においても、前述した実施例と同様の作用効果を得
ることができる。
When manufacturing the tool shape of the grinding / polishing tool using the convex-shaped rubbing tool 1c of the present embodiment, a method similar to that of the second embodiment described above (see FIG. 2A). Grinding and polishing tools are rubbed. At this time, the abrasive grains 11 are held in the plurality of concentric grooves 3c created in the rubbing tool 1c, and the rolling of the abrasive grains is performed uniformly, with a predetermined radius of curvature and a true spherical shape. It was easy to create a degree of machined surface shape. Therefore, also in this embodiment, the same operation and effect as those of the above-described embodiment can be obtained.

【0029】(実施例5)図6の(a)および(b)
は、本発明の光学素子研削・研磨工具の形状製作方法の
他の実施例における摺り合わせ工具の平面図および一部
断面で示す側面図である。
(Embodiment 5) FIGS. 6A and 6B
FIG. 7 is a plan view and a side view showing a partial cross section of a rubbing tool in another embodiment of the method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool of the present invention.

【0030】本実施例における凸形状の摺り合わせ工具
1dは、鋳鉄等で作製され、図6の(a)および(b)
に示すように、その加工面2dの表面に複数の穴3d
が、旋盤、ボール盤等の研削加工あるいは放電加工等に
よる穴あけ加工により形成されており、これらの穴3
は、研削・研磨工具の形状製作時に使用する砥粒の径よ
り大きな径と深さを有し、その断面形状は、三角形状、
矩形状あるいは半円形状等に形成される。
The convex rubbing tool 1d in this embodiment is made of cast iron or the like, and is shown in FIGS.
As shown in the figure, a plurality of holes 3d are formed in the surface of the processing surface 2d.
Are formed by grinding or electric discharge machining of a lathe, drilling machine or the like.
Has a diameter and depth greater than the diameter of the abrasive grains used when manufacturing the shape of the grinding and polishing tool, and its cross-sectional shape is triangular,
It is formed in a rectangular or semicircular shape.

【0031】本実施例の凸形状の摺り合わせ工具1dを
用いて研削・研磨工具の形状製作に際しては、前述した
実施例2と同様の方法(図2の(a)参照)で研削・研
磨工具の摺り合わせ加工を行う。このとき、砥粒11
は、摺り合わせ工具1dに形成されている複数の穴3d
内に保持されることとなり、砥粒の転動は均一に行わ
れ、所定の曲率半径および真球度の加工面形状を創成す
ることが容易であった。したがって、本実施例において
も、前述した実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。
When manufacturing the shape of the grinding / polishing tool using the convex-shaped rubbing tool 1d of the present embodiment, the grinding / polishing tool is manufactured in the same manner as in the second embodiment (see FIG. 2A). Rubbing process. At this time, the abrasive grains 11
Is a plurality of holes 3d formed in the rubbing tool 1d.
The rolling of the abrasive grains was performed uniformly, and it was easy to create a processed surface shape having a predetermined radius of curvature and sphericity. Therefore, also in this embodiment, the same operation and effect as those of the above-described embodiment can be obtained.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
研削・研磨工具と光学素子の回転および揺動による相対
運動で工具の加工面形状を光学素子の被加工面に転写
し、球面あるいは平面を創成する光学素子の研削・研磨
加工に使用される研削・研磨工具の加工面の球面あるい
は平面形状を予め所定の曲率半径および真球度あるいは
所定の平面度に製作する摺り合わせ加工において、加工
面の表面に穴あけあるいは溝入れをした摺り合わせ工具
を使用することにより、摺り合わせ工具と研削・研磨工
具間の間隙への充分な砥粒の供給あるいは研削屑の排出
などが容易になり、経験を基に摺り合わせの時間や砥粒
の量を調整するといった技能を不要にすることができ、
さらに、摺り合わせ加工後の被加工物である研削・研磨
工具の曲率半径や真球度、あるいは平面度を所定の規格
に安定して製作することができ、これにより、研削・研
磨工具で加工した光学素子の品質が安定し、光学素子の
製造コストを安価にすることができる。
As described above, according to the present invention,
Grinding / polishing Grinding used in grinding / polishing of optical elements that creates a spherical or flat surface by transferring the processing surface shape of the tool to the surface to be processed of the optical element by the relative movement of the tool and the rotation and oscillation of the optical element・ Use a grinding tool with a hole or grooving in the surface of the grinding surface in the grinding process to make the spherical or planar shape of the grinding tool's processing surface to a predetermined radius of curvature and sphericity or a predetermined flatness in advance. By doing so, it becomes easy to supply sufficient abrasive grains to the gap between the grinding tool and the grinding / polishing tool or discharge the grinding dust, etc., and adjust the grinding time and the amount of abrasive grains based on experience. Such skills can be eliminated,
In addition, the radius of curvature, sphericity, or flatness of the grinding / polishing tool, which is the workpiece after the rubbing process, can be stably manufactured to a predetermined standard. The quality of the obtained optical element is stabilized, and the manufacturing cost of the optical element can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は本発明の光学素子研削・研磨工具の形
状製作方法の一実施例を示す概略図であり、(b)およ
び(c)は、本実施例における摺り合わせ工具の平面図
および一部破断した側面図である。
FIG. 1A is a schematic view showing an embodiment of a method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention, and FIGS. 1B and 1C are plan views of a rubbing tool according to the present embodiment. It is the figure and the side view which fractured partially.

【図2】(a)は本発明の光学素子研削・研磨工具の形
状製作方法の他の実施例を示す概略図であり、(b)お
よび(c)は、本実施例における摺り合わせ工具の平面
図および側面図である。
FIG. 2A is a schematic view showing another embodiment of a method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to the present invention, and FIGS. 2B and 2C are diagrams of a rubbing tool in the present embodiment. It is a top view and a side view.

【図3】(a)、(b)および(c)は、本発明におけ
る摺り合わせ工具の加工面表面に形成する溝の断面形状
を例示する断面図である。
FIGS. 3 (a), (b) and (c) are cross-sectional views illustrating the cross-sectional shape of a groove formed on the processed surface of the rubbing tool according to the present invention.

【図4】(a)および(b)は本発明の光学素子研削・
研磨工具の形状製作方法の他の実施例における摺り合わ
せ工具の平面図および側面図である。
FIGS. 4 (a) and (b) show an optical element grinding method according to the present invention.
It is a top view and a side view of a rubbing tool in other examples of a grinding tool shape manufacturing method.

【図5】(a)および(b)は本発明の光学素子研削・
研磨工具の形状製作方法の他の実施例における摺り合わ
せ工具の平面図および側面図である。
FIGS. 5 (a) and (b) show an optical element grinding method of the present invention.
It is a top view and a side view of a rubbing tool in other examples of a grinding tool shape manufacturing method.

【図6】(a)および(b)は本発明の光学素子研削・
研磨工具の形状製作方法の他の実施例における摺り合わ
せ工具の平面図および一部断面で示す側面図である。
FIGS. 6 (a) and (b) show an optical element grinding method according to the present invention.
It is the top view and side view which show in partial cross section of the grinding tool in the other Example of the shape manufacturing method of a grinding tool.

【図7】従来の光学素子を研削・研磨加工する態様を示
す概略図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a mode of grinding and polishing a conventional optical element.

【図8】従来の光学素子の研削・研磨加工に使用される
研削・研磨工具を摺り合わせ加工により形状製作する態
様を示す概略図である。
FIG. 8 is a schematic view showing a form in which a grinding / polishing tool used for grinding / polishing a conventional optical element is shaped by rubbing.

【図9】(a)および(b)は従来の光学素子の研削・
研磨工具の加工面の形状製作に用いる摺り合わせ工具の
平面図および一部破断した側面図である。
9 (a) and (b) show grinding and grinding of a conventional optical element.
It is the top view of the grinding tool used for manufacture of the shape of the processing surface of a grinding tool, and the side view which partly fractured.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1a〜1d 摺り合わせ工具 2、2a〜2d 加工面 3、3a〜3c 溝 3d 穴 4、4a 研削・研磨工具 5、5a 駆動軸 8、8a 支持カンザシ 10 ノズル 11 砥粒 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a-1d Rubbing tool 2, 2a-2d Working surface 3, 3a-3c Groove 3d hole 4, 4a Grinding / polishing tool 5, 5a Drive shaft 8, 8a Support screw 10 Nozzle 11 Abrasive grain

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光学素子の研削・研磨加工に用いる研削
・研磨工具の加工面の球面あるいは平面を摺り合わせ工
具との摺り合わせ加工により所定の曲率半径および真球
度あるいは所定の平面度に製作する光学素子研削・研磨
工具の形状製作方法において、前記摺り合わせ工具とし
て加工面の表面に複数の穴あるいは溝を形成した工具を
使用することを特徴とする光学素子研削・研磨工具の形
状製作方法。
1. A grinding or polishing tool used for grinding or polishing an optical element, wherein a spherical surface or a flat surface of a processing surface of a grinding and polishing tool is manufactured to a predetermined radius of curvature and sphericity or a predetermined flatness by grinding with a grinding tool. A method of manufacturing a shape of an optical element grinding / polishing tool, wherein a tool having a plurality of holes or grooves formed in a surface of a processing surface is used as the rubbing tool. .
【請求項2】 前記摺り合わせ工具の加工面表面に形成
された穴あるいは溝は、研削・研磨工具の形状製作時に
使用する砥粒の径より大きな径と深さ、あるいは前記砥
粒の径より大きな幅と深さを有していることを特徴とす
る請求項1記載の光学素子研削・研磨工具の形状製作方
法。
2. A hole or groove formed in a surface of a processing surface of the grinding tool has a diameter and a depth larger than a diameter of an abrasive used in manufacturing a shape of a grinding / polishing tool, or a diameter or a diameter of the abrasive. 2. The method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to claim 1, wherein the method has a large width and a large depth.
【請求項3】 前記光学素子の研削・研磨加工は、前記
研削・研磨工具と光学素子の回転および揺動による相対
運動により前記工具の加工面形状を光学素子の被加工面
に転写して球面あるいは平面を創成することを特徴とす
る請求項1または2記載の光学素子研削・研磨工具の形
状製作方法。
3. The grinding and polishing of the optical element is performed by transferring a processing surface shape of the tool to a surface to be processed of the optical element by a relative movement of the grinding and polishing tool and the optical element by rotation and swing. 3. A method for producing a shape of an optical element grinding / polishing tool according to claim 1, wherein a plane is created.
【請求項4】 光学素子の研削・研磨加工に用いる研削
・研磨工具の加工面の球面あるいは平面を摺り合わせ加
工により所定の曲率半径および真球度あるいは所定の平
面度に製作する研削・研磨工具の形状製作用摺り合わせ
工具において、加工面の表面に複数の穴あるいは溝が形
成されていることを特徴とする研削・研磨工具の形状製
作用摺り合わせ工具。
4. A grinding / polishing tool for producing a predetermined radius of curvature and sphericity or a predetermined flatness by grinding a spherical surface or a flat surface of a grinding / polishing tool used for grinding / polishing an optical element. 2. A grinding and grinding tool according to claim 1, wherein a plurality of holes or grooves are formed in the surface of the processing surface.
【請求項5】 前記加工面表面に形成された穴または溝
は、研削・研磨工具の形状製作時に使用する砥粒の径よ
り大きな深さおよび径または幅を有していることを特徴
とする請求項4記載の研削・研磨工具の形状製作用摺り
合わせ工具。
5. The hole or groove formed on the surface of the processing surface has a depth and a diameter or a width larger than a diameter of an abrasive used when manufacturing a shape of a grinding / polishing tool. A grinding tool for producing a shape of the grinding / polishing tool according to claim 4.
【請求項6】 前記加工面に形成された穴または溝は、
旋盤、ボール盤等による穴あけ加工により、あるいはフ
ライス盤、旋盤、放電等による溝入れ加工により形成さ
れていることを特徴とする請求項4または5記載の研削
・研磨工具の形状製作用摺り合わせ工具。
6. The hole or groove formed in the processing surface,
6. A grinding tool for producing a shape of a grinding / polishing tool according to claim 4, which is formed by drilling with a lathe, drilling machine or the like, or by grooving with a milling machine, lathe, electric discharge or the like.
【請求項7】 鋳鉄で作製されていることを特徴とする
請求項4ないし6のいずれか1項に記載の研削・研磨工
具の形状製作用摺り合わせ工具。
7. The grinding tool for forming a shape of a grinding / polishing tool according to claim 4, wherein the tool is made of cast iron.
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