JP2002203773A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401764A JP2002203773A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401764A JP2002203773A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002203773A JP2002203773A (ja) | 2002-07-19 |
| JP2002203773A5 true JP2002203773A5 (enExample) | 2008-02-28 |
Family
ID=18866153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000401764A Withdrawn JP2002203773A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002203773A (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005209926A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Nikon Corp | マーク検出方法とその装置、露光方法とその装置、及び、デバイス製造方法 |
| TWI271602B (en) | 2004-03-31 | 2007-01-21 | Fujifilm Corp | A correcting method and an exposure method of exposure device, and an exposure device |
| JP5984459B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-09-06 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光装置の制御方法及びデバイス製造方法 |
| JP5840584B2 (ja) | 2012-09-06 | 2016-01-06 | 株式会社東芝 | 露光装置、露光方法および半導体装置の製造方法 |
| JP6226525B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2017-11-08 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法、それらを用いたデバイスの製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3339079B2 (ja) * | 1992-01-23 | 2002-10-28 | 株式会社ニコン | アライメント装置、そのアライメント装置を用いた露光装置、並びにアライメント方法、そのアライメント方法を含む露光方法、その露光方法を含むデバイス製造方法、そのデバイス製造方法により製造されたデバイス |
| JP3572430B2 (ja) * | 1994-11-29 | 2004-10-06 | 株式会社ニコン | 露光方法及びその装置 |
| JPH10172900A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Nikon Corp | 露光装置 |
| JP3454497B2 (ja) * | 1997-07-15 | 2003-10-06 | キヤノン株式会社 | 投影露光方法および装置 |
| JP3413074B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2003-06-03 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
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2000
- 2000-12-28 JP JP2000401764A patent/JP2002203773A/ja not_active Withdrawn