JP2002203765A - 露光装置及びそのメンテナンス方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 照明光学系の光学ユニットのメンテナンスを
容易に行うことができる露光装置及びそのメンテナンス
方法を提供する。 【解決手段】 照明光学系ＩＯＰ１を、少なくとも１つ
の光学素子を有する複数の光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄ
から構成する。それらの光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄ
を、光学ユニットが載置される載置面にほぼ沿うよう
に、第１の位置と第２の位置との間で移動させる移動機
構１３４を設ける。この場合、第２の位置は載置面とほ
ぼ連続するように、照明光学系ＩＯＰ１の架台に対し着
脱可能に装着される作業台１４２上に設定する。移動機
構１３４には、第１の位置から第２の位置に移動させる
際に、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄを第１の位置での載
置面から浮上させる浮上機構１３６を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体素
子、液晶表示素子等を製造するリソグラフィ工程で用い
られる露光装置、及びそのメンテナンス方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子等を製造するリソグラ
フィ工程では、いわゆるスリットスキャン方式、ステッ
プ・アンド・スキャン方式等の走査型露光装置が使用さ
れるようになってきている。この露光装置では、パター
ンが形成されたマスクまたはレチクル（以下、「レチク
ル」と総称する）上を矩形または円弧状の照明領域で照
明し、レチクルとウエハ等の基板とを１次元方向に同期
移動して前記パターンを基板上に逐次転写するようにな
っている。

【０００３】この種の露光装置では、光源からの照明光
によりレチクルを照明する照明光学系内に、露光動作中
に可動する可動部材、例えば露光中にレチクル上のパタ
ーン領域外の部分が不要に露光されないように、レチク
ル上の照明領域を制限する可動ブレード（可動ブライン
ドとも呼ばれる）が設けられている。この可動ブレード
は、露光中にレチクルの移動と同期して駆動されるよう
になっている。

【０００４】一方、半導体素子の製造工程では、レチク
ルに形成されているパターンをウエハ上に正確に重ね合
わせて転写することが要求される。しかしながら、走査
型露光装置では、上記のように照明光学系内に露光動作
中に可動する可動部材が設けられている。このことか
ら、この可動部材の移動により生じる照明光学系の振動
が、照明光学系を保持する露光本体部に悪影響を与えて
いた。

【０００５】すなわち、露光本体部には、レチクルを保
持するレチクルステージ、レチクルのパターンをウエハ
に投影する投影光学系、及びウエハを保持するウエハス
テージ等、これらのレチクルステージ、投影光学系及び
ウエハステージ並びに前記照明光学系を保持する本体コ
ラム、本体コラムに搭載されて両ステージの位置を計測
するレーザ干渉計等が含まれている。このため、上記の
露光動作中の照明光学系の振動、特に露光中の残留振動
がレチクルステージとウエハステージとの同期精度や、
投影光学系と両ステージとの相対位置関係や、干渉計計
測値に影響を与え、結果的に走査型露光装置の露光精度
を低下させることがあった。

【０００６】このような問題点に対処するため、次のよ
うな構成の露光装置も提案されてきている。すなわち、
この露光装置では、照明光学系を、露光動作中に可動す
る可動部を含む第１部分光学系と、露光動作中に前記可
動部の可動量以上で可動する可動部を含まない第２部分
光学系とに分離している。そして、第２部分光学系を露
光本体部上に設置するとともに、第１部分光学系を露光
本体部と分離した分離架台上に設置している。

【０００７】これにより、露光動作中に可動部が大きく
動き、それに伴って第１部分光学系に振動が発生して、
この振動の残留振動が露光中に残ったとしても、その振
動は第２部分光学系及びこれが設置された露光本体部に
悪影響を殆ど与えることがなくなる。この露光装置で
は、露光中の照明光学系の振動が、露光本体部に与える
影響を軽減することができ、結果的に露光精度の向上を
図ることができるようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記の従来
構成において、第１部分光学系を分離架台上にその各光
学素子の光軸が水平方向を指向するように配置しようと
すれば、露光装置全体の大型化が避けられない。光学素
子等を収容する各筐体（光学素子と筐体で光学ユニット
が構成される）を光軸方向が鉛直方向となるように、分
離架台上に配設された箱形の照明系収容部材内に上方か
ら位置決めしつつ順次収容する。また、第２部分光学系
も光学素子等を光軸方向が水平方向となるように順に配
列した状態で、露光本体部の支持コラム上に設置する。

【０００９】近年、半導体素子では、回路パターンの微
細化が著しく、照明光の短波長化が進行している。特
に、ＡｒＦエキシマレーザ（１９４ｎｍ）より短波長の
照明光を使用するような場合には、その光路中に酸素が
存在すると、照明光は酸素により吸収され大きくエネル
ギが低下する。このため、照明光の光路内から酸素を排
除するため、その光路内を窒素等の不活性ガスでパージ
が必要となる。そこで、前記第１部分光学系では、隣接
する光学ユニットの筐体間を蛇腹状部材により接続し
て、光路の内外を区画する必要がある。一方、第２部分
光学系は、その全体を収容するようなガスパージ用のカ
バーで前記光路の内外を区画する必要がある。

【００１０】このような第１部分光学系において、各光
学ユニット内の光学素子をメンテナンスする場合には、
照明系収容部材内から上方に取り外す必要がある。この
場合、第２部分光学系の上面と天井との間に所定の空間
が存在しないときには、光学ユニットのメンテナンス作
業が一層困難になった。

【００１１】さらに、前記第２部分光学系の各光学ユニ
ットをメンテナンスする場合には、その第２部分光学系
の周囲に、温調ラック、温調ラックから延びるダクト等
が配設されているため、側方からメンテナンスを行うの
は困難である。

【００１２】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とし
ては、照明光学系の光学素子群のメンテナンスを容易に
行うことができる露光装置及びそのメンテナンス方法を
提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本願請求項１に記載の発明は、所定のパターンが形
成されたマスクをエネルギビームにより照明する照明光
学系を少なくとも含む露光本体部を備えた露光装置にお
いて、前記照明光学系は少なくとも１つの光学素子を有
する少なくとも１つの光学素子群からなり、その光学素
子群の少なくとも１つをその光学素子群が載置される載
置面を含む面内で、前記エネルギビーム光路中における
第１の位置と前記光路から離れた第２の位置との間で移
動させる移動機構を備えたことを特徴とするものであ
る。

【００１４】この本願請求項１に記載の発明では、照明
光学系の光学素子群をメンテナンスする場合には、その
光学素子群を載置面にほぼ沿って、光路中の第１の位置
から光路より離れた第２の位置に移動させることによ
り、その光学素子群のメンテナンスを容易に行うことが
できる。

【００１５】また、本願請求項２に記載の発明は、前記
請求項１に記載の発明において、前記第２の位置を前記
載置面上に設定したことを特徴とするものである。この
本願請求項２に記載の発明では、光学素子群のメンテナ
ンスに際して、光学素子群をその載置面に沿って第１の
位置から第２の位置へ容易に移動させることができる。

【００１６】また、本願請求項３に記載の発明は、前記
請求項１または請求項２に記載の発明において、前記第
２の位置が前記載置面とほぼ連続するように、かつ前記
照明光学系の架台に対し着脱可能に装着される作業台上
に設定したことを特徴とするものである。

【００１７】この本願請求項３に記載の発明では、架台
に作業台を装着した状態で、光学素子群を作業台上の第
２の位置に引き出すことにより、その光学素子群のメン
テナンスを容易に行うことができる。

【００１８】また、本願請求項４に記載の発明は、前記
請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の発明に
おいて、前記移動機構は、前記第１の位置から前記第２
の位置に移動させる際に、前記光学素子群を前記第１の
位置における載置面から浮上させる浮上機構を備えたこ
とを特徴とするものである。

【００１９】この本願請求項４に記載の発明では、光学
素子群のメンテナンスに際して、光学素子群を第１の位
置での載置面から浮上させた状態で、第１の位置から第
２の位置に移動させることができて、その光学素子群の
移動により載置面が傷付くおそれがなくなる。

【００２０】また、本願請求項５に記載の発明は、所定
のパターンが形成されたマスクをエネルギビームにより
照明する照明光学系を少なくとも含む露光本体部を備え
た露光装置において、前記照明光学系は少なくとも１つ
の光学素子を有する複数の光学素子群をそれぞれ独立し
て収容する少なくとも２つの筐体と、前記２つの筐体の
配列方向に沿って前記２つの筐体を互いに連結する連結
部材と、前記連結部材を前記筐体間に着脱可能に保持す
る保持部材とを設けたことを特徴とするものである。

【００２１】この本願請求項５に記載の発明では、照明
光学系の光学素子群をメンテナンスする場合には、連結
部材を光学素子群の筐体間から取り外して、その筐体間
に移動用空間を形成した後、光学素子群を筐体とともに
移動用空間側へ移動させることにより、光学素子群のメ
ンテナンスを容易に行うことができる。

【００２２】また、本願請求項６に記載の発明は、前記
請求項５に記載の発明において、前記保持部材は、前記
連結部材を前記筐体の配列方向に伸縮させる伸縮機構を
有することを特徴とするものである。

【００２３】この本願請求項６に記載の発明では、光学
素子群のメンテナンス時に、伸縮機構にて連結部材を筐
体の配列方向に縮めることにより、その連結部材を筐体
間から容易に取り外すことができる。

【００２４】また、本願請求項７に記載の発明は、前記
請求項５または請求項６に記載の発明において、前記連
結部材は、その少なくとも一方の端面を、連結される２
つの筐体に対して接合するように形成したことを特徴と
するものである。

【００２５】この本願請求項７に記載の発明では、連結
部材を光学素子群の筐体間に脱着する際に、連結部材の
端面が筐体に対して離間または接合されて、連結部材の
脱着作業を容易に行うことができる。

【００２６】また、本願請求項８に記載の発明は、前記
請求項７に記載の発明において、前記連結部材は、一端
が連結される一方の前記筐体に対して嵌合するととも
に、他端が連結される他方の前記筐体に対して接合する
ようにしたことを特徴とするものである。

【００２７】この本願請求項８に記載の発明では、光学
素子群の筐体間に連結部材を装着する際に、連結部材の
一端を一方の筐体に嵌合した状態で、保持部材を保持操
作することにより、連結部材の他端が他方の筐体に接合
されて、連結部材を所定位置に容易かつより正確に位置
決め装着することができる。

【００２８】また、本願請求項９に記載の発明は、前記
請求項６〜請求項８のうちいずれか一項に記載の発明に
おいて、前記連結部材は複数の連結筒からなり、前記伸
縮機構は隣接配置される連結筒の端部の内周面または外
周面に形成された螺合部からなることを特徴とするもの
である。

【００２９】この本願請求項９に記載の発明では、光学
素子群の筐体間に連結部材を脱着する際に、複数の連結
筒間の螺合部を螺退または螺進させることにより、連結
部材を筐体の配列方向へ容易に縮めまたは伸ばすことが
できる。

【００３０】また、本願請求項１０に記載の発明は、前
記請求項１〜請求項９のうちいずれか一項に記載の発明
において、前記照明光学系の少なくとも一部を、前記エ
ネルギビームが通過するとともに前記各光学素子を収容
する光路室と、露光動作中に可動する可動部を駆動する
ための駆動機構を収容する収容室とに区画し、前記駆動
機構は気体を駆動源とする気体圧駆動機構を含み、前記
気体圧駆動機構に第１の気体を供給する第１供給機構
と、前記光路室に第２の気体を供給する第２供給機構
と、前記収容室は、前記気圧駆動機構を介して前記に第
１の気体が供給されることを特徴とするものである。

【００３１】この本願請求項１０に記載の発明では、気
体圧駆動機構で使用された第１の気体を、その気体圧駆
動機構を介して収容室内に供給するように構成すれば、
第１の気体の有効利用を図ることができる。また、光路
室内に窒素ガス等の不活性ガスからなる第２の気体を供
給することで、光路室内の吸収性ガスによるエネルギビ
ームの吸収を抑制することができる。この結果、高精度
の露光が可能となる。

【００３２】また、本願請求項１１に記載の発明は、前
記請求項１〜請求項１０のうちいずれか一項に記載の発
明において、前記照明光学系の少なくとも一部に区画さ
れ、前記エネルギビームが通過するとともに前記光学素
子を収容する光路室と、その光路室内に所定の気体を供
給するための供給管を着脱可能に接続する接続機構と、
その接続機構に設けられ、前記供給管を接続状態に保持
する保持機構とを備えたことを特徴とするものである。

【００３３】この本願請求項１１に記載の発明では、気
体の供給管が接続機構を介して光路室に接続された状態
で、保持機構により接続状態に保持されるため、供給管
が誤操作等により接続状態から不用意に離脱されるのを
抑制することができる。

【００３４】また、本願請求項１２に記載の発明は、所
定のパターンが形成されたマスクをエネルギビームによ
り照明する照明光学系を少なくとも含む露光本体部を備
え、前記照明光学系を少なくとも１つの光学素子を有す
る少なくとも１つの光学素子群で構成した露光装置のメ
ンテナンス方法において、前記光学素子群の少なくとも
１つをその光学素子群が載置される載置面を含む面内
で、前記エネルギビームの光路中における第１の位置と
前記光路から離れた第２の位置との間で移動させ、その
第２の位置において作業することを特徴とするものであ
る。

【００３５】この本願請求項１２に記載の発明では、前
記請求項１に記載の発明と同様の作用を得ることができ
る。また、本願請求項１３に記載の発明は、前記請求項
１２に記載の発明において、前記光学素子群の移動に先
立ち、前記第１の位置に配置された状態で、その光学素
子群を収容する筐体間を連結する連結部材を、前記筐体
の配列方向に縮めて前記筐体から離間させ、前記連結部
材を前記筐体間から取り外すことを特徴とするものであ
る。

【００３６】この本願請求項１３に記載の発明では、前
記請求項５及び請求項６に記載の発明と同様の作用を得
ることができる。

【００３７】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明の
一実施形態を図１〜図１２に基づいて説明する。図１に
は、本発明に係る照明光学装置を照明光学系として具備
する一実施形態に係る露光装置１０の全体構成が概略的
に示されている。

【００３８】この露光装置１０は、マスクとしてのレチ
クルＲと基板としてのウエハＷとを一次元方向（ここで
は、図１における紙面内左右方向であるＹ軸方向とす
る）に同期移動しつつ、レチクルＲに形成された回路パ
ターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上の各ショッ
ト領域に転写する、ステップ・アンド・スキャン方式の
走査型露光装置、いわゆるスキャニング・ステッパであ
る。

【００３９】露光装置１０は、光源１２、この光源１２
からの照明光によりレチクルＲを照明する照明光学装置
としての照明光学系ＩＯＰ、レチクルＲを保持するマス
クステージとしてのレチクルステージＲＳＴ、レチクル
Ｒから射出される照明光（パルス紫外光）をウエハＷ上
に投射する投影光学系ＰＬ、ウエハＷを保持する基板ス
テージとしてのウエハステージＷＳＴを備えている。さ
らに、露光装置１０は、前記照明光学系ＩＯＰの一部、
レチクルステージＲＳＴ、投影光学系ＰＬ、及びウエハ
ステージＷＳＴ等を保持する本体コラム１４、本体コラ
ム１４の振動を抑制あるいは除去する防振ユニット、及
びこれらの制御系等を備えている。

【００４０】前記光源１２としては、ここでは波長１９
２〜１９４ｎｍの間で酸素の吸収帯を避けるように狭帯
化されたパルス紫外光を出力するＡｒＦエキシマレーザ
光源が用いられており、この光源１２の本体は、半導体
製造工場のクリーンルーム内の床面ＦＤ上に設置されて
いる。光源１２には、図示しない光源制御装置が併設さ
れており、射出されるパルス紫外光の発振中心波長及び
スペクトル半値幅の制御、パルス発振のトリガ制御、レ
ーザチャンバ内におけるガスの状態の制御等を行うよう
になっている。

【００４１】なお、光源１２として、波長２４８ｎｍの
パルス紫外光を出力するＫｒＦエキシマレーザ光源ある
いは波長１５７ｎｍのパルス紫外光を出力するＦ２レー
ザ光源等用いてもよい。また、光源１２をクリーンルー
ムよりクリーン度が低い別の部屋（サービスルーム）、
あるいはクリーンルームの床下に設けられるユーティリ
ティスペースに設置しても構わない。

【００４２】光源１２は、図１では作図の都合上その図
示が省略されているが、実際には遮光性のベローズ及び
パイプを介してビームマッチングユニットＢＭＵの一端
（入射端）に接続されている。このビームマッチングユ
ニットＢＭＵの他端（出射端）は、内部にリレー光学系
を内蔵したパイプ１６を介して照明光学系ＩＯＰの後述
する第１部分照明光学系ＩＯＰ１に接続されている。

【００４３】前記照明光学系ＩＯＰは、図２に示すよう
に、可動部分光学系としての第１部分照明光学系ＩＯＰ
１と、静止部分光学系としての第２部分照明光学系ＩＯ
Ｐ２との２部分から構成されている。第１部分照明光学
系ＩＯＰ１は、床面ＦＤ上に設置される。また、第２部
分照明光学系ＩＯＰ２は、図１に示されるように、本体
コラム１４を構成する第２の支持コラム５２によって下
方から支持されている。

【００４４】ここで、図２を参照しつつ、照明光学系Ｉ
ＯＰの各構成部分について説明する。前記第１部分照明
光学系ＩＯＰ１は、パルス紫外光のパルス毎の平均エネ
ルギを調整するために、減光率が異なる複数のＮＤフィ
ルタを回転可能な円板に配置した可変減光器（不図示）
が設けられている。この可変減光器によって所定のピー
ク強度に調整されたパルス紫外光は、ビーム整形光学系
（不図示）に導かれ、その断面形状を第１フライアイレ
ンズ系（不図示）の入射端の全体形状と相似になるよう
に整形される。次いで、オプティカルインテグレータと
しての第１フライアイレンズ系及び第２フライアイレン
ズ系２８Ｆａが設けられ、各フライアイレンズ系の射出
端には面光源（多数の点光源）が形成される。また、両
フライアイレンズ間には、被照射面に生じる干渉縞や微
弱なスペックルを平滑化する振動ミラーが設けられてい
る。さらに、第２フライアイレンズ系２８Ｆａ以降に
は、絞り機構２８Ｇ、補助フィールドレンズ系２８Ｆ
ｂ、ビームスプリッタ２８Ｈ、第１リレーレンズ系２８
Ｉ、及びレチクルブラインド機構を構成する可動視野絞
りとしての可動レチクルブラインド２８Ｊ等を備えてい
る。

【００４５】そして、図２に示すように、前記第２フラ
イアイレンズ系２８Ｆａの射出面の近傍に、円板状部材
から成る照明系開口絞り板２８Ｇが配置されている。こ
の照明系開口絞り板２８Ｇには、ほぼ等角度間隔で、例
えば通常の円形開口より成る開口絞り、小さな円形開口
より成りコヒーレンスファクタであるσ値を小さくする
ための開口絞り、輪帯照明用の輪帯状の開口絞り、及び
変形光源法用に例えば４つの開口を偏心させて配置して
成る変形開口絞り等が配置されている。この照明系開口
絞り板２８Ｇは、切り換え装置としてのモータ３２によ
って回転駆動され、いずれかの開口絞りが第２フライア
イレンズ系２８Ｆａの射出面に配置されるようになって
いる。すなわち、本実施形態では、モータ３２によって
照明系開口絞り板２８Ｇ上のいずれかの開口絞りをオプ
ティカルインテグレータの射出面に位置させる切り換え
装置が構成されている。

【００４６】前記照明系開口絞り板２８Ｇの後方のパル
ス紫外光の光路上に、透過率が大きく反射率が小さなビ
ームスプリッタ２８Ｈが配置され、更にこの後方の光路
上に、第１リレーレンズ系２８Ｉ、可動レチクルブライ
ンド２８Ｊ（図２では図示せず、図１参照）が順次配置
されている。

【００４７】可動レチクルブラインド２８Ｊは、可動部
としての例えば２枚のＬ字型の可動ブレードと、この可
動ブレードを駆動するアクチュエータとを有する。２枚
の可動ブレードは、レチクルＲの走査方向に対応する方
向及び走査方向に直交する非走査方向に対応する方向の
位置が可変となっている。この可動レチクルブラインド
２８Ｊは、不要な部分の露光を防止するため、走査露光
の開始時及び終了時に可動ブレードにより後述するよう
に固定レチクルブラインド２８Ｋによって規定されるレ
チクルＲ上の照明領域をさらに制限するために用いられ
る。

【００４８】さらに、ビームスプリッタ２８Ｈの光源１
２側からの反射光路上には、光電変換素子よりなるイン
テグレータセンサ３４が配置され、ビームスプリッタ２
８ＨのレチクルＲ側からの反射光路上には、インテグレ
ータセンサ３４と同様の光電変換素子から成る反射光モ
ニタ３８が配置されている。このビームスプリッタ２８
Ｈは、パルス紫外光のうち、大部分を透過（約９７％）
し、残りを反射する特性を有する。

【００４９】前記固定レチクルブラインド２８Ｋは、第
２照明系ハウジング２６Ｂの入射端近傍のレチクルＲの
パターン面に対する共役面からわずかにデフォーカスし
た面に配置され、レチクルＲ上の照明領域を規定する所
定形状の開口部が形成されている。この固定レチクルブ
ラインド２８Ｋの開口部は、投影光学系ＰＬの円形視野
内の中央で、走査露光時のレチクルＲの移動方向（Ｙ軸
方向）と直交したＸ軸方向に直線的に伸びたスリット状
又は矩形状に形成されているものとする。

【００５０】前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２は、第２
照明系ハウジング２６Ｂを有し、この第２照明系ハウジ
ング２６Ｂ内には、第１リレーレンズ系２８Ｉとともに
リレー光学系を構成する第２リレーレンズ系２８Ｍを備
える。この第２リレーレンズ系２８Ｍの後方のパルス紫
外光の光路上には、レンズ２８Ｎと、第２リレーレンズ
系２８Ｍを通過したパルス紫外光をレチクルＲに向けて
反射するミラーＭ４が配置されている。このミラーＭ４
の後方のパルス紫外光の光路上にメインコンデンサレン
ズ２８Ｏが配置されている。なお、第２照明系ハウジン
グ２６Ｂ内に収納された、各リレーレンズ系２８Ｍ、レ
ンズ２８Ｌ、ミラーＭ４の少なくとも１つが、非露光動
作中に、その光軸が他のレンズ又はミラーの光軸に対し
て可動に構成されている。

【００５１】以上の構成において、第１フライアイレン
ズ系２８Ｃの入射面、第２フライアイレンズ系２８Ｆａ
の入射面、可動レチクルブラインド２８Ｊのブレードの
配置面、レチクルＲのパターン面は、光学的に互いに共
役に設定され、第１フライアイレンズ系２８Ｃの射出面
側に形成される光源面、第２フライアイレンズ系２８Ｆ
ａの射出面側に形成される光源面、投影光学系ＰＬのフ
ーリエ変換面（射出瞳面）は光学的に互いに共役に設定
され、ケーラー照明系となっている。

【００５２】このように構成された照明光学系ＩＯＰに
より、レチクルステージＲＳＴ上に保持されたレチクル
Ｒ上の所定の照明領域（Ｘ軸方向に直線的に伸びたスリ
ット状または矩形状の照明領域）を均一な照度分布で照
明する。ここで、レチクルＲに照射される矩形スリット
状の照明光は、図１中の投影光学系ＰＬの円形投影視野
の中央にＸ軸方向（非走査方向）に細長く延びるように
設定され、その照明光のＹ軸方向（走査方向）の幅はほ
ぼ一定に設定されている。

【００５３】なお、ビームスプリッタ２８Ｈで反射され
たパルス紫外光はインテグレータセンサ３４に入射し、
パルス紫外光を検出して得られるインテグレータセンサ
３４の出力と、ウエハＷの表面上でのパルス紫外光の照
度（露光量）との相関係数が予め求められる。

【００５４】また、レチクルＲのパターン面からの反射
光は、メインコンデンサレンズ２８Ｏ、ミラーＭ４、レ
ンズ２８Ｎ、第２リレーレンズ系２８Ｍ、ミラーＭ３、
レンズ２８Ｌ、固定レチクルブラインド２８Ｋの開口
部、可動レチクルブラインド２８Ｊのブレードの開口
部、及び第１リレーレンズ系２８Ｉを順次経て、ビーム
スプリッタ２８Ｈで反射され、反射光モニタ３８に入射
する。この反射光モニタ３８の出力に基づいて、例えば
レチクルＲの透過率が求められる。

【００５５】なお、照明光学系ＩＯＰを構成する各光学
部材を保持する筐体や、これらの筐体間の接合構造等に
ついては、後に更に詳述する。図１に戻り、前記本体コ
ラム１４は、べ一スプレートＢＰ上に設けられた複数本
（ここでは４本）の支持部材４０Ａ〜４０Ｄ（但し、紙
面奥側の支柱４０Ｃ、４０Ｄは図示省略）及びこれらの
支持部材４０Ａ〜４０Ｄの上部にそれぞれ固定された防
振ユニット４２Ａ〜４２Ｄ（但し、図１においては紙面
奥側の防振ユニット４２Ｃ、４２Ｄは図示省略）を介し
てほぼ水平に支持された鏡筒定盤４４と、鏡筒定盤４４
上に設けられた第１及び第２の支持コラム４８、５２と
を備えている。

【００５６】前記防振ユニット４２Ａ〜４２Ｄは、支持
部材４０Ａ〜４０Ｄの上部にそれぞれ直列（または並
列）に配置された内圧が調整可能なエアマウントとボイ
スコイルモータとを含んで構成されている。これらの防
振ユニット４２Ａ〜４２Ｄによって、べースプレートＢ
Ｐ及び支持部材４０Ａ〜４０Ｄを介して、鏡筒定盤４４
に伝わる床面ＦＤからの微振動がマイクロＧレベルで絶
縁されるようになっている。

【００５７】前記鏡筒定盤４４の中央部に平面視円形の
開口が形成され、その内部に投影光学系ＰＬがその光軸
方向をＺ軸方向として上方から挿入されている。投影光
学系ＰＬの鏡筒部の外周部には、その鏡筒部に一体化さ
れたフランジＦＬＧが設けられている。また、このフラ
ンジＦＬＧは、投影光学系ＰＬを鏡筒定盤４４に対して
点と面とＶ溝とを介して３点で支持するいわゆるキネマ
ティック支持マウントを構成している。

【００５８】ウエハベース定盤５４は、ベースプレート
ＢＰ上に配置される。また、第１の支持コラム４８は、
鏡筒定盤４４の上面に投影光学系ＰＬを取り囲んで植設
された４本の脚５８（紙面奥側の脚は図示省略）と、こ
れら４本の脚５８によってほぼ水平に支持されたレチク
ルベース定盤６０とを備えている。同様に、第２の支持
コラム５２は、鏡筒定盤４４の上面に、第１の支持コラ
ム４８を取り囲む状態で植設された４本の支柱６２（紙
面奥側の支柱は図示省略）と、これら４本の支柱６２に
よってほぼ水平に支持された天板６４とによって構成さ
れている。この第２の支持コラム５２の天板６４によっ
て、前述した第２部分照明光学系ＩＯＰ２が支持されて
いる。

【００５９】そして、レチクルステージＲＳＴ、ウエハ
ステージＷＳＴの移動時等において、本体コラム１４に
設けられた振動センサ群の計測値に基づいて求めた本体
コラム１４の６自由度方向の振動を除去するように、防
振ユニット４２Ａ〜４２Ｄの速度制御を、例えばフィー
ドバック制御あるいはフィ―ドバック制御及びフィード
フォワード制御によって行い、本体コラム１４の振動を
効果的に抑制するようになっている。

【００６０】前記レチクルステージＲＳＴは、本体コラ
ム１４を構成する第１の支持コラム４８を構成するレチ
クルベース定盤６０上に配置されている。レチクルステ
ージＲＳＴは、例えば磁気浮上型の２次元リニアアクチ
ュエータ等から成るレチクルステージ駆動系によって駆
動され、レチクルＲをレチクルベース定盤６０上でＹ軸
方向に大きなストロークで直線駆動するとともに、Ｘ軸
方向とθｚ方向（Ｚ軸回りの回転方向）に関しても微小
駆動が可能な構成となっている。

【００６１】前記レチクルステージＲＳＴの一部には、
その位置や移動量を計測するための位置検出装置である
レチクルレーザ干渉計７０からの測長ビームを反射する
移動鏡７２が取り付けられている。レチクルレーザ干渉
計７０は、レチクルベース定盤６０に固定され、投影光
学系ＰＬの上端部側面に固定された固定鏡Ｍｒを基準と
して、レチクルステージＲＳＴのＸＹ面内の位置（θｚ
回転を含む）を例えば、０．５〜１ｎｍ程度の分解能で
検出するようになっている。

【００６２】上記のレチクルレーザ干渉計７０によって
計測されるレチクルステージＲＳＴ（すなわちレチクル
Ｒ）の位置情報（または速度情報）に基づいてレチクル
ステージ駆動系を制御する。

【００６３】前記投影光学系ＰＬとしては、ここでは、
物体面（レチクルＲ）側と像面（ウエハＷ）側の両方が
テレセントリックで円形の投影視野を有し、石英や螢石
を光学硝材とした屈折光学素子（レンズ素子）のみから
成る１／４、１／５、または１／６縮小倍率の屈折光学
系が使用されている。

【００６４】一方、前記ウエハステージＷＳＴは、ウエ
ハべース定盤５４上に不図示の防振ユニットを介して配
置され、例えば磁気浮上型の２次元リニアアクチュエー
タ等から成るウエハステージ駆動系によってＸＹ面内で
自在に駆動されるようになっている。そして、このウエ
ハステージＷＳＴの上面に、ウエハＷがウエハホルダ７
６を介して真空吸着等により固定されている。

【００６５】前記ウエハステージＷＳＴのＸＹ位置及び
回転量（ヨーイング量、ローリング量、ピッチング量）
は、投影光学系ＰＬの鏡筒下端に固定された参照鏡Ｍｗ
を基準として、ウエハステージＷＳＴの一部に固定され
た移動鏡７８の位置変化を計測するウエハレーザ干渉計
８０によって、所定の分解能、例えば０．５〜１ｎｍ程
度の分解能でリアルタイムに計測される。

【００６６】次に、照明光学系ＩＯＰを構成する第１、
第２部分照明光学系ＩＯＰ１、ＩＯＰ２の各光学部材を
保持する筐体及びその接合構造について、図２を参照し
て詳細に説明する。

【００６７】図２には、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の
全体及び第１部分照明光学系ＩＯＰ１の一部が断面図に
て示されている。この図３から明らかなように、照明光
学系ＩＯＰは、少なくとも１つの光学部材（レンズ又は
ミラー等の光学素子、あるいはレチクルブラインドの絞
り、ブレード等）と、その光学部材を保持する筐体とを
有する光学素子群としての光学ユニットが複数集まって
構成されている。

【００６８】これをさらに詳述すると、前記第１部分照
明光学系ＩＯＰ１は、可動部としての２枚のＬ字状可動
ブレードＢＬ及びこれを保持する筐体８２Ａを有する光
学ユニット８４Ａ、第１リレーレンズ系２８Ｉ及びこれ
を保持する筐体８２Ｂを有する光学ユニット８４Ｂ、ビ
ームスプリッタ２８Ｈ及びこれを保持する筐体８２Ｃを
有する光学ユニット８４Ｃ、第２フライアイレンズ系２
８Ｆａと、補助フィールドレンズ系２８Ｆｂと、照明系
開口絞り板２８Ｇと、これらを保持する筐体８２Ｄとを
有する光学ユニット８４Ｄ、並びにその他多数の光学ユ
ニットが順次接合されて構成されている。

【００６９】なお、前記筐体８２Ａ、８２Ｂ、８２Ｃ、
８２Ｄの内表面には、例えばフッ素系の樹脂をコーティ
ングしたり、プラズマ溶射により金属膜、セラミック膜
やステンレス膜等を形成したりして、ケミカルクリーン
処理が施されている。あるいは、これらの筐体８２Ａ〜
８２Ｆそのものの素材として、ステンレスあるいはテフ
ロン（登録商標）等のケミカルクリーンな素材を用いて
もよい。なお、以下に述べる全ての筐体についても、上
記と同様にして形成されている。

【００７０】前記光学ユニット８４Ａを構成する筐体８
２Ａには、可動量の大きな前記可動ブレードＢＬが光学
部材として保持されており、この可動ブレードＢＬは、
筐体８２Ａの外部に配置されたアクチュエータ８６によ
って駆動されるようになっている。この場合、２枚の可
動ブレードＢＬとアクチュエータ８６とによって、前述
した可動レチクルブラインド２８Ｊが構成されている。

【００７１】ここで、アクチュエータ８６としては、例
えば気体圧駆動機構としてのエアベアリング８８によ
り、ガイド面に対して非接触で支持された可動子を有す
るリニアモータが用いられる。このようなアクチュエー
タを用いると、ロータリモータによりボールねじ機構を
介して可動ブレードを駆動する場合に比べて、クリーン
度、及びケミカルクリーン度ともに向上させることがで
きる。すなわち、非接触駆動であるため、接触駆動のリ
ニアガイド等に比べて発塵を低減でき、ボールねじ及び
モータベアリングが不要であるため、これらからの脱ガ
スがなくなり、ケミカルクリーン度を向上させることが
できる。

【００７２】また、前記筐体８２Ａの外部には、アクチ
ュエータ８６による可動ブレードＢＬの駆動量を検出す
るセンサ９０が設けられている。走査露光時にセンサ９
０の出力に基づいてアクチュエータ８６を制御すること
により、可動ブレードＢＬをレチクルＲと同期移動し
て、不要部分の露光を抑制する。

【００７３】前記第１リレーレンズ系２８Ｉは、筐体８
２Ｂの外部に取り付けられたアクチュエータ９２、及び
図示しない移動機構によりＸＹシフト及びチルト方向の
微少駆動が可能な第１レンズ９４と非可動の第２レンズ
９６とを有している。この場合、可動ブレードＢＬの駆
動により筐体８２Ａを介して筐体８２Ｂに伝わった振動
により、第１リレーレンズ系２８Ｉの光学的な配置が所
期の位置よりずれるおそれがあるが、アクチュエータ９
２により第１レンズ９４をＸＹシフト及びチルト方向の
微小駆動することにより、かかる位置ずれを調整するこ
とができる。

【００７４】また、筐体８２Ｂの外部には、アクチュエ
ータ９２による第１レンズ９４の駆動量を検出するセン
サ９８が設けられている。このセンサ９８の出力に基づ
いてアクチュエータ９２を制御することにより、上記の
補正を行う。

【００７５】前記光学ユニット８４Ｃを構成する筐体８
２Ｃ内には、ビームスプリッタ２８Ｈがパルス紫外光の
光路に対してほぼ４５°の角度をもって斜設されてい
る。また、筐体８２Ｃには、取付部材１００、１０２を
介してインテグレータセンサ３４、反射光モニタ３８が
外側から装着され、それらの光センサの配線は、筐体８
２Ｃ外に配置され、それらの配線が筐体８２Ｃ内のケミ
カルクリーン度を低下させないように配慮されている。
すなわち、インテグレータセンサ３４及び反射光モニタ
３８は、それらの受光面のみが筐体８２Ｃ内に臨んだ状
態となっている。

【００７６】前記光学ユニット８４Ｄを構成する筐体８
２Ｄには、第２フライアイレンズ系２８Ｆａ及び補助フ
ィールドレンズ系２８Ｆｂが収容されるとともに、軸受
部１０４を介して回転軸１０６を有する照明系開口絞り
板２８Ｇが回転自在に取り付けられている。そして、こ
の照明系開口絞り板２８Ｇは、筐体８２Ｄの外部に設け
られたアクチュェータとしてのモータ３２によって回転
駆動されるようになっている。

【００７７】前記軸受部１０４と回転軸１０６との間に
は、磁性流体シールが用いられている。このため、回転
軸１０６と軸受部１０４の間の空隙に一種の潤滑油とし
て機能する磁性流体が入り込み、その軸受部１０４の気
密性の向上と回転軸１０６の円滑な回転とを同時に実現
することができる。この場合の磁性流体としては、例え
ばフッ素系のベースオイルが用いらる。フッ素系のべー
スオイルは、ケミカルクリーンな物質であるので、ケミ
カルクリーン度の低下を抑制することができる。

【００７８】また、筐体８２Ｄの外部には、モータ３２
による照明系開口絞り板２８Ｇの回転量を検出するセン
サ１０８が設けられている。このセンサ１０８の出力に
基づいてモータ３２を制御する。

【００７９】前記光学ユニット８４Ａの筐体８２Ａと光
学ユニット８４Ｂの筐体８２Ｂとの間は、その内部を外
気に対して気密状態にすることが可能な接続部としての
伸縮自在の蛇腹状部材１１０Ａを介して、両者間の振動
の伝達が制限された状態で着脱可能に接続されている。
この筐体８２Ａ，８２Ｂ間と同様に、光学ユニット８４
Ｂの筐体８２Ｂと光学ユニット８４Ｃの筐体８２Ｃとの
間、及び光学ユニット８４Ｃの筐体８２Ｃと光学ユニッ
ト８４Ｄの筐体８２Ｄとの間も、伸縮自在の蛇腹状部材
１１０Ｂ，１１０Ｃを介して着脱可能に接続されてい
る。

【００８０】これらの蛇腹状部材１１０Ａ，１１０Ｂ，
１１０Ｃとしては、例えば約２４０℃の温度で２４時間
程度の２次加硫が施されたフッ素ゴム製のものが用いら
れている。なお、これらの蛇腹状部材１１０Ａ，１１０
Ｂ，１１０Ｃとしては、金属製の筒の少なくとも内面に
ケミカルクリーン処理、例えばフッ素系の樹脂をコーテ
ィングしたものを用いてもよい。また、蛇腹状部材の材
質として、ステンレスなどを用いてもよい。

【００８１】前記のように構成された第１部分照明光学
系ＩＯＰ１における各光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの筐
体８２Ａ〜８２Ｄ、特に蛇腹状部材１１０Ａ〜１１０Ｃ
で接続された筐体８２Ａ〜８２Ｄは、蛇腹状部材１１０
Ａ〜１１０Ｃの支持のみでは、各筐体８２Ａ〜８２Ｄの
位置が安定しないために、外部から保持する必要性があ
る。

【００８２】そこで、図３に示されるように、各筐体８
２Ａ〜８２Ｄの外周部にはフランジ１１２Ａ，１１２
Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄが設けらけている。これらのフ
ランジ１１２Ａ〜１１２Ｄは筐体８２Ａ〜８２Ｄと一体
化されており、筐体８２Ａ〜８２Ｄ及びフランジ１１２
Ａ〜１１２Ｄの材質としては、低熱膨張の材質、例えば
インバーが用いられる。

【００８３】また、前記分離架台２２上には、ほぼ箱形
の照明系収容部材１１４が取り付けられ、その一面には
開口部１１６が形成されるとともに、内側面には複数対
の支持棚１１８Ａ，１１８Ｂ，１１８Ｃ，１１８Ｄが形
成されている。そして、前記各光学ユニット８４Ａ〜８
４Ｄにおける筐体８２Ａ〜８２Ｄのフランジ１１２Ａ〜
１１２Ｄが、これらの支持棚１１８Ａ〜１１８Ｄ上に開
口部１１６側へ移動可能に載置されて、複数（例えば４
本）の固定ねじ１２０により所定位置に位置決め固定さ
れている。また、この筐体８２Ａ〜８２Ｄの固定状態
で、図４に鎖線で示されるように、照明系収容部材１１
４の開口部１１６に蓋体１２２が着脱可能に取り付けら
れて、その開口部１１６が閉塞されている。

【００８４】そして、前記蛇腹状部材１１０Ａ〜１１０
Ｃで接続された光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの筐体８２
Ａ〜８２Ｄにより、第１部分照明光学系ＩＯＰ１の第１
照明系ハウジング２６Ａ（図２参照）が構成され、その
内部にはエネルギビームとしてのパルス紫外光を通過さ
せるとともに、各光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの光学部
材を収容するための光路室１２４が区画形成されてい
る。また、照明系収容部材１１４内において光路室１２
４の外側には、各光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄにおける
アクチュエータやモータ等の駆動機構を収容するための
収容室１２６が区画形成されている。

【００８５】なお、前記各筐体８２Ａ〜８２Ｄのフラン
ジ１１２Ａ〜１１２Ｄと、照明系収容部材１１４の支持
棚１１８Ａ〜１１８Ｄとの接触部分に、各筐体８２Ａ〜
８２Ｄを精度よく保持するために、セラミックや、ステ
ンレス等の金属材料を溶射することが望ましい。

【００８６】図２に示されるように、前記光学ユニット
８４Ａにおける可動ブレードＢＬのエアベアリング８８
には、気体供給源及び供給パイプ等よりなる第１供給機
構１２８が接続されている。そして、この第１供給機構
１２８からエアベアリング８８にドライエア等の第１の
気体が供給されて、その気体圧によりアクチュエータ８
６の可動子が浮上されるようになっている。

【００８７】また、前記蛇腹状部材１１０Ａ〜１１０Ｃ
で接続された筐体８２Ａ〜８２Ｄ内の光路室１２４に
は、気体供給源及び供給パイプ等よりなる第２供給機構
１３０が接続されている。そして、この第２供給機構１
３０から光路室１２４中に、低吸収性ガス（例えば空気
（酸素）の含有濃度が１ｐｐｍ未満のクリーンな乾燥窒
素ガスあるいはヘリウムガス）等の第２の気体としての
不活性ガスが供給されて、光路室１２４内のケミカルク
リーン度が向上されるようになっている。

【００８８】さらに、前記照明系収容部材１１４内にお
いて、第１供給機構１２８の気体噴出部と収容室１２６
との間には、供給パイプ等よりなる第３供給機構１３２
が配設されている。そして、可動ブレードＢＬのエアベ
アリング８８で使用されたドライエア等の第１の気体
が、この第３供給機構１３２を介して収容室１２６内に
供給されて、収容室１２６内のクリーン度が向上される
ようになっている。

【００８９】次に、前記第１部分照明光学系ＩＯＰ１に
おいて、各光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄのメンテナンス
を行うための構成について説明する。図３及び図４に示
されるように、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄのメンテナ
ンス時には、照明系収容部材１１４の開口部１１６から
蓋体１２２を取り外して開口部１１６を開放する。そし
て、この開口部１１６を介して、メンテナンスしようと
する光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの筐体８２Ａ〜８２Ｄ
と、それに隣接する筐体８２Ａ〜８２Ｄとの間の蛇腹状
部材１１０Ａ〜１１０Ｃを取り外すようになっている。

【００９０】以下、光学ユニット８４Ｂと、支持棚１１
８Ｂとの構成について説明する。なお、他の光学ユニッ
トと支持棚との構成については、光学ユニット８４Ｂ、
支持棚１１８Ｂの構成と同様の構成であるため、説明を
省略する。

【００９１】図４に示すように、前記照明系収容部材１
１４の支持棚１１８Ｂ上には、複数（例えば４つ）の支
持部材１３６よりなる移動機構１３４が配設されてい
る。各支持部材１３６は、支持棚１１８Ｂに螺合された
調整ねじ１３８と、その調整ねじ１３８の上端に回転自
在に取り付けられた支持ボール１４０とから構成されて
いる。そして、通常は図４に実線で示すように、各支持
部材１３６の調整ねじ１３８が支持棚１１８Ｂの表面か
ら下方位置に螺退移動されて、支持ボール１４０が筐体
８２Ｂのフランジ１１２Ｂから離間した状態に配置され
ている。この状態で、フランジ１１２Ｂが固定ねじ１２
０によって、支持棚１１８Ｂに締め付け固定されてい
る。

【００９２】また、光学ユニット８４Ｂのメンテナンス
時には、固定ねじ１２０を取り外して、支持棚１１８Ｂ
に対する筐体８２Ｂのフランジ１１２Ｂの締め付け固定
を解放する。その後、図４に鎖線で示すように、各支持
部材１３６の調整ねじ１３８を支持棚１１８Ｂの表面か
ら上方位置に螺進移動させることにより、各支持部材１
３６の支持ボール１４０がフランジ１１２Ｂに係合し
て、光学ユニット８４Ｂの筐体８２Ｂが支持棚１１８Ｂ
の載置面から浮上されるようになっている。すなわち、
この支持部材１３６によって、光学ユニット８４Ｂを載
置面から浮上させるための浮上機構が構成されている。

【００９３】さらに、光学ユニット８４Ｂのメンテナン
ス時には、筐体８２Ｂを載置した支持棚１１８Ｂとその
表面が連続するように、照明系収容部材１１４の開口部
１１６の外側に作業台１４２を着脱可能に装着する。こ
の作業台１４２の上面両側には、上方位置に配置された
支持部材１３６の支持ボール１４０に連続するように、
ローラコンベア１４４が敷設されている。

【００９４】そして、前記のように浮上状態にある筐体
８２Ｂを、照明系収容部材１１４内の光路中の第１の位
置から、支持棚１１８Ｂ上の載置面にほぼ沿って、光路
より離れた作業台１４２上の第２の位置に引き出し移動
させ、この第２の位置で光学ユニット８４Ｂのメンテナ
ンス作業を行うようになっている。この場合、筐体８２
Ｂのフランジ１１２Ｂが、支持棚１１８Ｂの載置面から
浮上された状態で、支持部材１３６の支持ボール１４０
及び作業台１４２のローラコンベア１４４に支持されて
移動されるため、筐体８２Ｂの引き出し移動に伴い、支
持棚１１８Ｂの載置面が傷付くことなくスムーズに行う
ことができる。

【００９５】なお、前記第１部分照明光学系ＩＯＰ１を
構成する残りの光学部材、例えば振動ミラー、第１フラ
イアイレンズ系、ビーム整形光学系、可変減光器も、そ
れぞれ前述と同様にケミカルクリーン処理が施された筐
体に保持されて、光学ユニットを構成している。そし
て、各光学ユニットの筐体が前記と同様の蛇腹状部材を
介して、両者間の振動の伝達が制限された状態で接続さ
れている。

【００９６】次に、前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２の
詳細構成について説明する。図５は、図２の第２部分照
明光学系ＩＯＰ２の詳細を示す。図５に示すように、第
２部分照明光学系ＩＯＰ２は、メインコンデンサレンズ
２８ＯとミラーＭ４とレンズ２８Ｎ、及びこれらを保持
する筐体８２Ｅを有する光学ユニット８４Ｅと、第２リ
レーレンズ系２８Ｍ及びこれを保持する筐体８２Ｆを有
する光学ユニット８４Ｆと、ミラーＭ３とレンズ２８Ｌ
及びこれらを保持する筐体８２Ｇを有する光学ユニット
８４Ｇと、固定レチクルブラインド２８Ｋ及びこれを保
持する筐体８２Ｈを有する光学ユニット８４Ｈとが、順
次接合されて構成されている。

【００９７】前記光学ユニット８４Ｅの筐体８２Ｅと光
学ユニット８４Ｆの筐体８２Ｆとの間は、一端部が光学
ユニット８４Ｅに接触し、他端部が光学ユニット８４Ｆ
に接触するダクト状の連結部材１４６Ａが配置されてい
る。この連結部材１４６Ａは、後述するように、光学ユ
ニット８４Ｅ及び光学ユニット８４Ｆの間に着脱自在に
配置される。同様に、光学ユニット８４Ｆの筐体８２Ｆ
と光学ユニット８４Ｇの筐体８２Ｇとの間も、連結部材
１４６Ａと同様の連結部材１４６Ｂにより連結されてい
る。また、光学ユニット８４Ｇの筐体８２Ｇと光学ユニ
ット８４Ｈの筐体８２Ｈとの間は、ケミカルクリーンな
素材により形成されたＯリング１４８を介して接合固定
されている。

【００９８】このように、筐体８２Ｅ〜８２Ｈが連結部
材１４６Ａ，１４６Ｂによって順次連結されることによ
って、第２部分照明光学系ＩＯＰ２の第２照明系ハウジ
ング２６Ｂが構成されている。そして、この第２照明系
ハウジング２６Ｂの両端（出射端、入射端）に位置する
筐体８２Ｅ，８２Ｇには、メインコンデンサレンズ２８
Ｏ及びレンズ２８Ｌに対する外気の接触を遮断するため
のカバーガラス１５０Ａ，１５０Ｂがそれぞれ取り付け
られている。

【００９９】さらに、図２に示すように、前記第２部分
照明光学系ＩＯＰ２における光学ユニット８４Ｈの筐体
８２Ｈと、第１部分照明光学系ＩＯＰ１における光学ユ
ニット８４Ａの筐体８２Ａとの間は、その内部を外気に
対して気密状態にすることが可能な接続部としての伸縮
自在の蛇腹状部材１１０Ｄを介して、両者間の振動の伝
達が制限された状態で接続されている。これは、筐体８
２Ｈと筐体８２Ａとを強固に接合すると、露光動作中に
可動ブレードＢＬの駆動に起因して筐体８２Ａに生じる
振動が、筐体８２Ｈ側、すなわち本体コラム１４に保持
された第２部分照明光学系ＩＯＰ２側にそのまま伝達さ
れることとなって、好ましくないためである。

【０１００】次に、前記本体コラム１４に対する第２部
分照明光学系ＩＯＰ２の装着構成について説明する。図
３に示すように、本体コラム１４における第２の支持コ
ラム５２の天板６４上には、光学ユニット８４Ｅ，８４
Ｆ，８４Ｇの配列方向に延びる一対の凸状の載置面１５
２（図７参照）が形成されている。この凸状の載置面１
５２は、各ベースプレートの配列方向長さと略同じ長さ
を有する。すなわち、ベースプレート間には、この凸状
の載置面１５２は形成されていないものとする。光学ユ
ニット８４Ｅ，８４Ｆ，８４Ｇの筐体８２Ｅ，８２Ｆ，
８２Ｇは、ベースプレート１５４Ａ，１５４Ｂ，１５４
Ｃ上に搭載された状態で載置面１５２上に載置されてい
る。そして、図６（図５の上面図を示す図である）に示
すように、複数の固定ねじ１５６により載置面１５２上
に固定されている。すなわち、各ベースプレート１５４
Ａ〜１５４Ｃは、各プレートの四隅にそれぞれ設けられ
た固定ねじ１５６によって載置面に固定されている。

【０１０１】なお、光学ユニット８４Ｅ，８４Ｇについ
ては、それらの筐体８２Ｅ，８２Ｇがベースプレート１
５４Ａ，１５４Ｃに対して、図示しない複数の固定ねじ
により固定されている。これに対して、第２リレーレン
ズ系２８Ｍを収容した光学ユニット８４Ｆについては、
その筐体８２Ｆがベースプレート１５４Ｂ上の図示しな
いＶ溝上に位置決め支持された状態で、一対のバンド１
５７により締め付け固定されている。

【０１０２】また、図５に示すように、メインコンデン
サレンズ２８Ｏを収容した光学ユニット８４Ｅにおいて
は、筐体８２Ｅ内のメインコンデンサレンズ２８Ｏ及び
カバーガラス１５０Ａがベースプレート１５４Ａの下面
より下方に突出しないように配置されている。これによ
り、後述するように光学ユニット８４Ｅのメンテナンス
を行う際に、筐体８２Ｅを載置面１５２にほぼ沿って支
障なく移動させることができるようになっている。

【０１０３】図６に示すように、前記第２の支持コラム
５２の天板６４の後側上面には、各一対の第１位置決め
コマ１５８Ａ，１５８Ｂ，１５８Ｃが取り付けられてい
る。そして、これらの第１位置決めコマ１５８Ａ〜１５
８Ｃが各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇのベースプレート
１５４Ａ〜１５４Ｃの端縁に接触することにより、光学
ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの配列方向と直交する方向の位
置が規制されるようになっている。なお、光学ユニット
８４Ｅ〜８４Ｇを天板６４上に最初に装着する際には、
図６に鎖線で示されるように、天板６４の上面に基準位
置決めコマ１６０を仮止めし、この基準位置決めコマ１
６０に基づいて、光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇを配列方
向と直交する方向に位置決めした後、各第１位置決めコ
マ１５８Ａ〜１５８Ｃが天板６４上に取り付けられる。

【０１０４】前記天板６４の紙面左側上面及び中央上面
には、第２位置決めコマ１６２及び第３位置決めコマ１
６４が取り付けられている。そして、第２位置決めコマ
１６２が光学ユニット８４Ｅのベースプレート１５４Ａ
の左側の端縁に接触することにより、光学ユニット８４
Ｅの配列方向の左端位置が規制されるようになってい
る。また、第３位置決めコマ１６４が光学ユニット８４
Ｅ，８４Ｆ間において、それらのベースプレート１５４
Ａ，１５４Ｂの互いに対向する端縁に接触することによ
り、光学ユニット８４Ｅ，８４Ｆの配列方向の位置が規
制されるようになっている。

【０１０５】図５に示されるように、前記天板６４の右
端縁には円弧状の切欠部１６６が形成されている。そし
て、この切欠部１６６が光学ユニット８４Ｇの筐体８２
Ｇの下方突出部分に接触することによって、その光学ユ
ニット８４Ｇの配列方向の位置が規制されるようになっ
ている。

【０１０６】次に、前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２に
おいて、各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇのメンテナンス
を行うための構成について説明する。さて、この光学ユ
ニット８４Ｅ〜８４Ｇのメンテナンス時には、メンテナ
ンスしようとする光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの筐体８
２Ｅ〜８２Ｇと、それに隣接する筐体８２Ｅ〜８２Ｇと
の間の連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを取り外すようにな
っている。

【０１０７】以下、筐体８２Ｅ，８２Ｆ間を連結する連
結部材１４６Ａについて、図９を参照して説明する。筐
体８２Ｅ，８２Ｆ間を連結する一方の連結部材１４６Ａ
は一対の連結筒１６８Ａ，１６８Ｂに分割して構成さ
れ、それらの連結筒１６８Ａ，１６８Ｂが互いに対向す
る側の端部間には伸縮機構１７０が設けられている。こ
の伸縮機構１７０は、一方の連結筒１６８Ａの外周面に
形成された雄状螺合部１７２と、他方の連結筒１６８Ｂ
の内周面に形成された雌状螺合部１７４とから構成され
ている。そして、この伸縮機構１７０の螺合部１７２，
１７４が螺進されたときには、筐体８２Ｅ，８２Ｆの配
列方向における連結部材１４６Ａの長さが縮められ、螺
合部１７２，１７４が螺退されたときには、連結部材１
４６Ａの長さが伸ばされるようになっている。

【０１０８】前記連結部材１４６Ａにおける一方の連結
筒１６８Ａの端部には嵌合部１７６が形成され、他方の
連結筒１６８Ｂ側の端部には接合部１７８が形成されて
いる。そして、この嵌合部１７６が筐体８２Ｅの端面に
Ｏリング１８０を介して嵌合されて、複数の固定ねじ１
８２により固定されている。また、この嵌合部１７６側
が固定された状態で、伸縮機構１７０にて連結部材１４
６Ａが収縮状態から伸ばされることにより、接合部１７
８が筐体８２Ｆの対向端部にＯリング１８４を介して接
合されている。

【０１０９】従って、光学ユニット８４Ｅ，８４Ｆをメ
ンテナンスする際には、伸縮機構１７０により連結部材
１４６Ａを伸張状態から縮めれば、接合部１７８が筐体
８２Ｆの端面から離間し、そして、固定ねじ１８２を取
り外すことによって連結部材１４６Ａを筐体８２Ｅ，８
２Ｆ間から容易に取り外すことができる。そして、この
連結部材１４６Ａを取り外した状態で、両筐体８２Ｅ，
８２Ｆ間には、光学ユニット８４Ｅ，８４Ｆを配列方向
に沿って移動させるための移動用空間を形成することが
できる。

【０１１０】さらに、第５図に示されるように、筐体８
２Ｆ，８２Ｇ間を連結する他方の連結部材１４６Ｂにお
いても、前記連結部材１４６Ａと同様に、一対の連結筒
１８６Ａ，１８６Ｂに分割して構成され、それらの連結
筒１８６Ａ，１８６Ｂ間に同一構造の伸縮機構１８８が
設けられている。従って、光学ユニット８４Ｆ，８４Ｇ
をメンテナンスする際にも、伸縮機構１８８により連結
部材１４６Ｂを伸張状態から縮めれば、筐体８２Ｆに嵌
合する嵌合部の固定ねじを取り外すことにより、連結部
材１４６Ｂを筐体８２Ｆ，８２Ｇ間から容易に取り外す
ことができる。

【０１１１】すなわち、この実施形態においては、前記
伸縮機構１７０，１８８により、連結部材１４６Ａ，１
４６Ｂを筐体８２Ｅ，８２Ｆ間、または筐体８２Ｆ，８
２Ｇ間に着脱可能に連結保持するための保持部材が構成
されている。

【０１１２】図６及び図７に示されるように、各光学ユ
ニット８４Ｅ〜８４Ｇのベースプレート１５４Ａ〜１５
４Ｃには、複数（例えば４つ）のボールプランジャ１９
２よりなる移動機構１９０が配設されている。各ボール
プランジャ１９２は、ベースプレート１５４Ａ〜１５４
Ｃに嵌合固定された有蓋筒状のホルダ１９４と、そのホ
ルダ１９４の下端に出没可能に収容された支持ボール１
９６と、その支持ボール１９６を突出方向に付勢するバ
ネ１９８とから構成されている。

【０１１３】そして、通常は図７に実線で示させるよう
に、固定ねじ１５６にてベースプレート１５４Ａ〜１５
４Ｃが天板６４上の載置面１５２に締め付け固定される
ことにより、各ボールプランジャ１９２の支持ボール１
９６がバネ１９８の付勢力に抗して、ホルダ１９４内の
没入位置に配置されている。これにより、各光学ユニッ
ト８４Ｅ〜８４Ｇの筐体８２Ｅ〜８２Ｇが載置面１５２
上の所定位置に載置固定されるようになっている。

【０１１４】また、光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇのメン
テナンス時には、前記のように各筐体８２Ｅ〜８２Ｇ間
から連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを取り外した後、固定
ねじ１５６を緩めて、載置面１５２に対するベースプレ
ート１５４Ａ〜１５４Ｃの締め付け固定を解放する。す
ると、各ボールプランジャ１９２の支持ボール１９６が
バネ１９８の付勢力により、ホルダ１９４の下端から突
出した位置に移動される。これにより、図７に鎖線で示
されるように、光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの筐体８２
Ｅ〜８２Ｇが持ち上げられて、そのベースプレート１５
４Ａ〜１５４Ｃが載置面１５２から浮上されるようにな
っている。すなわち、このボールプランジャ１９２によ
って、光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇを載置面１５２から
浮上させるための浮上機構が構成されている。

【０１１５】そして、光学ユニット８４Ｅをメンテナン
スする場合には、前記連結部材１４６Ａ及び位置決めコ
マ１６４の取り外しに伴い筐体８２Ｅ，８２Ｆ間に形成
された移動用空間に対応させて、図６に鎖線で示される
ように、天板６４の前部に第１部分照明光学系ＩＯＰ１
のメンテナンス時と同様の作業台１４２を装着する。こ
の状態で、筐体８２Ｅを載置面１５２から浮上された状
態にて、ボールプランジャ１９２を介して移動用空間側
（図６に矢印で示される右側）に移動させた後、作業台
１４２上に引き出し移動させれば、その作業台１４２上
で光学ユニット８４Ｅのメンテナンス作業を容易に行う
ことができる。

【０１１６】同様に、光学ユニット８４Ｆをメンテナン
スする場合にも、前記作業台１４２の装着状態で、筐体
８２Ｆを移動用空間側（図６に矢印で示される左側）に
移動させた後、作業台１４２上に引き出し移動させれ
ば、その作業台１４２上で光学ユニット８４Ｆのメンテ
ナンス作業を容易に行うことができる。また、光学ユニ
ット８４Ｇをメンテナンスする場合には、天板６４の右
側部に図示しない作業台を装着し、この状態で筐体８２
Ｇを図６に矢印で示される右側に移動させて、作業台上
に引き出すことにより、その作業台１４２上で光学ユニ
ット８４Ｇのメンテナンス作業を容易に行うことができ
る。

【０１１７】次に、前記第２部分照明光学系ＩＯＰ２に
対する低吸収性ガス等の気体の供給構成について説明す
る。図５、図６及び図８に示されるように、前記第２リ
レーレンズ系２８Ｍを収容する筐体８２Ｆは、複数の鏡
筒２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ，２００Ｄに分割して
構成され、それらの鏡筒２００Ａ〜２００Ｄ内に第２リ
レーレンズ系２８Ｍの各レンズ２０２Ａ，２０２Ｂ，２
０２Ｃ，２０２Ｄが収容されて、固定されている。そし
て、各鏡筒２００Ａ〜２００Ｄが、それらの対向端部に
おいてＯリング２０６Ａ，２０６Ｂ，２０６Ｃを介して
互いに接合され、複数の固定ねじ２０８Ａ，２０８Ｂ，
２０８Ｃにより固定されている。

【０１１８】図６及び図８に示されるように、前記筐体
８２Ｆの鏡筒２００Ｃ，２００Ｄの外周部には、供給用
接続機構２１０Ａ，２１０Ｂが設けられている。これら
の供給用接続機構２１０Ａ，２１０Ｂには図１０に示す
ように供給管２１２Ａ，２１２Ｂが着脱可能に接続さ
れ、図示しない気体供給源から、これらの供給管２１２
Ａ，２１２Ｂを介して、筐体８２Ｆにおける鏡筒２００
Ｃ内のレンズ２０２Ｃの両側の光路室中に、前記低吸収
性ガス等の気体が供給されるようになっている。

【０１１９】前記各供給用接続機構２１０Ａ，２１０Ｂ
には、供給管２１２Ａ，２１２Ｂが接続された状態で、
Ｃリング２１４が着脱可能に取り付けられるようになっ
ている。供給管２１２Ａ，２１２Ｂは、供給用接続機構
２１０Ａ，２１０Ｂに対して、一旦、供給用接続機構２
１０Ａ，２１０Ｂ側に押し付けることによって、供給用
接続機構２１０Ａ，２１０Ｂから取り外すことができ
る。そこで、このＣリング２１４により、接続状態の供
給管２１２Ａ，２１２Ｂが、誤って供給用接続機構２１
０Ａ，２１０Ｂ側に押し付け移動されて、接続状態から
解除されるのが抑制されるようになっている。すなわ
ち、このＣリング２１４により、供給管２１２Ａ，２１
２Ｂを接続機構２１０Ａ，２１０Ｂに対する接続状態に
保持するための保持機構が構成されている。

【０１２０】図８に示されるように、前記筐体８２Ｆに
おける鏡筒２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｄの内周面に
は、各複数本の切欠溝２１６Ａ，２１６Ｂ，２１６Ｃが
光軸方向に沿って延長形成されている。そして、前記供
給管２１２Ａから供給用接続機構２１０Ａを介して、鏡
筒２００Ｃ内のレンズ２０２Ｃの一側（図５，図６及び
図８の左側）の光路室中に供給された気体が、切欠溝２
１６Ｂ，２１６Ａを介して、筐体８２Ｅ内に光路室中に
導かれるようになっている。また、供給管２１２Ｂから
供給用接続機構２１０Ｂを介して、鏡筒２００Ｃ内のレ
ンズ２０２Ｃの他側（図５，図６及び図８の右側）の光
路室中に供給された気体が、切欠溝２１６Ｃを介して、
筐体８２Ｇ内に光路室中に導かれるようになっている。

【０１２１】図６に示されるように、筐体８２Ｅの外周
前部、筐体８２Ｇの外周前部及び外周側部には排出用接
続機構２１８Ａ，２１８Ｂ，２１８Ｃが突設されてい
る。これらの排出用接続機構２１８Ａ〜２１８Ｃには排
出管２２０Ａ，２２０Ｂ，２２０Ｃが着脱可能に接続さ
れ、光路室中の気体が排出用接続機構２１８Ａ〜２１８
Ｃから、これらの排出管２２０Ａ〜２２０Ｃを介して排
出されるようになっている。これにより、第２部分照明
光学系ＩＯＰ２の光路室内のケミカルクリーン度が向上
されるようになっている。なお、前述した投影光学系Ｐ
Ｌの鏡筒内にも、前記低吸収性ガス等の気体がパージさ
れている。

【０１２２】次に、上述のようにして構成された露光装
置１０における露光動作について説明する。前提とし
て、ウエハＷ上のショット領域を適正露光量（目標露光
量）で走査露光するための各種の露光条件が予め設定さ
れる。また、図示しないレチクル顕微鏡及び図示しない
オフアクシス・アライメントセンサ等を用いたレチクル
アライメント、ベースライン計測等の準備作業が行わ
れ、その後、アライメントセンサを用いたウエハＷのフ
ァインアライメント（ＥＧＡ（エンハンスト・グローバ
ル・アライメント）等）が終了し、ウエハＷ上の複数の
ショット領域の配列座標が求められる。

【０１２３】このようにして、ウエハＷの露光のための
準備動作が終了すると、レチクルステージＲＳＴとウエ
ハステージＷＳＴとのＹ方向の走査を開始し、両ステー
ジＲＳＴ，ＷＳＴがそれぞれの目標走査速度に達する
と、パルス紫外光によってレチクルＲのパターン領域が
照明され始め、走査露光が開始される。

【０１２４】特に上記の走査露光時にレチクルステージ
ＲＳＴのＹ軸方向の移動速度ＶｒとウエハステージＷＳ
ＴのＹ軸方向の移動速度Ｖｗとが、投影光学系ＰＬの投
影倍率（１／４倍、１／５倍あるいは１／６倍）に応じ
た速度比に維持されるように、レチクルステージＲＳＴ
及びウエハステージＷＳＴを同期制御する。

【０１２５】そして、レチクルＲのパターン領域の異な
る領域がパルス紫外光で逐次照明され、パターン領域全
面に対する照明が完了することにより、ウエハＷ上の第
１ショットの走査露光が終了する。これにより、レチク
ルＲのパターンが投影光学系ＰＬを介して第１ショット
に縮小転写される。

【０１２６】次に、第２ショットに対して、上記と同様
の走査露光を行う。このようにして、ウエハＷ上のショ
ットの走査露光と次ショット露光のためのステッピング
動作とが繰り返し行われ、ウエハＷ上の露光対象ショッ
トの全てにレチクルＲのパターンが順次転写される。

【０１２７】従って、本実施形態によれば、以下のよう
な効果を得ることができる。 （１） この露光装置１０では、所定のパターンが形成
されたレチクルＲをエネルギビームにより照明する照明
光学系ＩＯＰを含む露光本体部が装備されている。ま
た、照明光学系ＩＯＰが少なくとも１つの光学素子を有
する複数の光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄ，８４Ｅ〜８４
Ｇからなっている。そして、これらの光学ユニット８４
Ａ〜８４Ｇには、その光学ユニットが載置される載置面
にほぼ沿うように、光路中の第１の位置と光路から離れ
た第２の位置との間で移動させるための移動機構１３
４，１９０が設けられている。このため、照明光学系Ｉ
ＯＰの光学ユニット８４Ａ〜８４Ｇをメンテナンスする
場合には、その光学ユニット８４Ａ〜８４Ｇを載置面に
ほぼ沿って、光路中の第１の位置から光路より離れた第
２の位置に移動させることにより、その光学ユニット８
４Ａ〜８４Ｇのメンテナンスを容易に行うことができ
る。

【０１２８】（２） この露光装置１０では、前記第２
の位置が載置面上でその載置面と連続するように、かつ
照明光学系ＩＯＰの架台に対し着脱可能に装着される作
業台１４２上に設定されている。このため、架台に作業
台１４２を装着した状態にて、光学ユニット８４Ａ〜８
４Ｇを載置面より大きく位置換えすることなく、その載
置面に沿って第１の位置から作業台１４２上の第２の位
置に引き出すことにより、その光学ユニット８４Ａ〜８
４Ｇのメンテナンスを容易に行うことができる。

【０１２９】（３） この露光装置１０では、前記移動
機構１３４，１９０が、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｇを
第１の位置から第２の位置に移動させる際に、第１の位
置での載置面から浮上させる浮上機構を備えている。こ
のため、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｇのメンテナンスに
際して、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｇを第１の位置での
載置面から浮上させた状態で、第１の位置から第２の位
置に移動させることができて、その光学ユニット８４Ａ
〜８４Ｇの移動を載置面が傷付くおそれもなく手軽に行
うことができる。

【０１３０】（４） この露光装置１０では、前記照明
光学系ＩＯＰの第２部分照明光学系ＩＯＰ２が、各光学
ユニット８４Ｅ〜８４Ｇをそれぞれ独立して収容する筐
体８２Ｅ〜８２Ｇと、各筐体８２Ｅ〜８２Ｇを配列方向
に沿って互いに連結する連結部材１４６Ａ，１４６Ｂ
と、連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを筐体８２Ｅ〜８２Ｇ
間に着脱可能に保持する保持部材とから構成されてい
る。そして、前記保持部材が連結部材１４６Ａ，１４６
Ｂを筐体８２Ｅ〜８２Ｇの配列方向に伸縮させる伸縮機
構１７０，１８８で構成されている。このため、第２部
分照明光学系ＩＯＰ２の光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇを
メンテナンスする場合には、伸縮機構１７０，１８８に
より連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを筐体８２Ｅ〜８２Ｇ
の配列方向に縮めて、連結部材１４６Ａ，１４６Ｂと筐
体８２Ｅ〜８２Ｇとの連結を解放した状態で、連結部材
１４６Ａ，１４６Ｂを筐体８２Ｅ〜８２Ｇ間から取り外
して移動用空間を形成した後、光学ユニット８４Ｅ〜８
４Ｇを移動用空間側へ移動させることにより、その光学
ユニット８４Ｅ〜８４Ｇのメンテナンスを容易に行うこ
とができる。

【０１３１】（５） この露光装置１０では、前記連結
部材１４６Ａ，１４６Ｂが、その少なくとも一方の端面
を、連結される一対の筐体８２Ｅ〜８２Ｇに対して接合
するように形成されている。このため、連結部材１４６
Ａ，１４６Ｂを光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの筐体８２
Ｅ〜８２Ｇ間に脱着する際に、連結部材１４６Ａ，１４
６Ｂを筐体８２Ｅ〜８２Ｇの配列方向に縮めまたは伸ば
すことにより、その連結部材１４６Ａ，１４６Ｂの端面
が筐体８２Ｅ〜８２Ｇに対して離間または接合されて、
連結部材１４６Ａ，１４６Ｂの脱着作業を容易に行うこ
とができる。

【０１３２】（６） この露光装置１０では、前記連結
部材１４６Ａ，１４６Ｂの一端が一方の筐体８２Ｅ〜８
２Ｇに対して嵌合されるとともに、他端が他方の筐体８
２Ｅ〜８２Ｇに対して接合されるようになっている。こ
のため、光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの筐体８２Ｅ〜８
２Ｇ間に連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを装着する際に、
連結部材１４６Ａ，１４６Ｂの一端を一方の筐体８２Ｅ
〜８２Ｇに嵌合した状態で、その連結部材１４６Ａ，１
４６Ｂを筐体８２Ｅ〜８２Ｇの配列方向に伸ばすことに
より、連結部材１４６Ａ，１４６Ｂの他端が他方の筐体
８２Ｅ〜８２Ｇに接合されて、連結部材１４６Ａ，１４
６Ｂを所定位置に容易かつ正確に位置決め装着すること
ができる。

【０１３３】（７） この露光装置１０では、前記連結
部材１４６Ａ，１４６Ｂが複数の連結筒１６８Ａ，１６
８Ｂ，１８６Ａ，１８６Ｂからなり、前記伸縮機構１７
０，１８８が隣接配置される連結筒１６８Ａ，１６８
Ｂ，１８６Ａ，１８６Ｂの端部の内周面または外周面に
形成された螺合部１７２，１７４からなっている。この
ため、光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの筐体８２Ｅ〜８２
Ｇ間に連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを脱着する際に、複
数の連結筒１６８Ａ，１６８Ｂ，１８６Ａ，１８６Ｂ間
の螺合部１７２，１７４を螺退または螺進させることに
より、連結部材１４６Ａ，１４６Ｂを筐体８２Ｅ〜８２
Ｇの配列方向へ容易に縮めまたは伸ばすことができる。

【０１３４】（８） この露光装置１０では、前記第１
部分照明光学系ＩＯＰ１の少なくとも一部が、エネルギ
ビームを通過させるとともに各光学素子を収容する光路
室１２４と、露光動作中に可動する可動部を駆動するた
るの駆動機構を収容する収容室１２６とに区画されてい
る。また、駆動機構が気体を駆動源とする気体圧駆動機
構８８を含んでいる。そして、気体圧駆動機構８８には
第１供給機構１２８により第１の気体が供給され、光路
室１２４には第２供給機構１３０により第２の気体が供
給され、収容室１２６には第３供給機構１３２により第
１の気体が供給されるようになっている。

【０１３５】このため、気体圧駆動機構８８で使用され
た第１の気体が、その気体圧駆動機構８８を介して収容
室１２６内に供給されるようにすることで、第１の気体
の有効利用を図ることができる。また、光路室１２４内
に窒素ガス等の第２の気体を供給することで、光路室１
２４内の吸収性ガスによるエネルギビームの吸収を抑制
することができる。この結果、高精度の露光が可能とな
る。

【０１３６】（９） この露光装置１０では、前記第２
部分照明光学系ＩＯＰ２における光路室の区画壁に、光
路室内へ窒素ガス等の気体を供給するための供給管２１
２Ａ，２１２Ｂを着脱可能に接続する接続機構２１０
Ａ，２１０Ｂが設けられている。そして、この接続機構
２１０Ａ，２１０Ｂには供給管２１２Ａ，２１２Ｂが接
続された状態に保持するための保持機構２１４が設けら
れている。このため、気体の供給管２１２Ａ，２１２Ｂ
が接続機構２１０Ａ，２１０Ｂを介して光路室に接続さ
れた状態で、保持機構２１４によりその接続状態に保持
されて、供給管２１２Ａ，２１２Ｂが誤操作等により接
続状態から不用意に離脱されるのを抑制することができ
る。

【０１３７】（１０） この露光装置１０では、前記照
明光学系ＩＯＰが、露光動作中に可動する可動部を含む
可動部分光学系としての第１部分照明光学系ＩＯＰ１
と、露光動作中にほぼ静止状態にある静止部分光学系と
しての第２部分照明光学系ＩＯＰ２とに分離されてい
る。そして、第２部分照明光学系ＩＯＰ２が露光本体部
上に配置されるとともに、第１部分照明光学系ＩＯＰ１
が露光本体部とは分離した分離架台２２上に設置されて
いる。このため、露光動作中に可動部が動いて第１部分
照明光学系ＩＯＰ１に振動が発生し、この振動の残留振
動が露光中に残ったとしても、その振動が第２部分照明
光学系ＩＯＰ２及びこれが設置された露光本体部に悪影
響を与えることはほとんどない。よって、露光中の照明
光学系の振動が、露光本体部に与える影響を軽減するこ
とができて、露光精度の向上を図ることができる。

【０１３８】（第２実施形態）次に、本発明の第２実施
形態について、前記第１実施形態と異なる部分を中心に
説明する。

【０１３９】この第２実施形態では、図１１及び図１２
に示されるように、第２部分照明光学系ＩＯＰ２におけ
る各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇのベースプレート１５
４Ａ〜１５４Ｃが、複数のクランプ部材２２２により第
２の支持コラム５２の天板６４上にクランプ保持される
ようになっている。すなわち、天板６４上にはクランプ
部材２２２が支軸２２４を介して回動可能に取り付けら
れ、このクランプ部材２２２と天板６４との間には、ク
ランプ部材２２２を図１２に鎖線で示す解放位置に回動
付勢するためのバネ２２６が介装されている。

【０１４０】前記クランプ部材２２２の挿通孔２２８か
ら、ベースプレート１５４Ａ〜１５４Ｃの凹部２３０を
介して天板６４に固定ねじ２３２が螺合されている。そ
して、この固定ねじ２３２を締め付けることにより、ク
ランプ部材２２２がバネ２２６の付勢力に抗して図１２
に実線で示すクランプ位置に回動されて、ベースプレー
ト１５４Ａ〜１５４Ｃが天板６４上にクランプ保持され
るようになっている。また、固定ねじ２３２を緩めるこ
とにより、クランプ部材２２２がバネ２２６の付勢力に
より、図１２に鎖線で示す解放位置に回動されて、ベー
スプレート１５４Ａ〜１５４Ｃのクランプが解放される
ようになっている。

【０１４１】従って、本実施形態によれば、前記第１実
施形態における（１）〜（１０）に記載の効果に加え
て、以下のような効果を得ることができる。 （１１） この露光装置１０では、第２部分照明光学系
ＩＯＰ２における各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇのベー
スプレート１５４Ａ〜１５４Ｃが、複数のクランプ部材
２２２によって、第２の支持コラム５２の天板６４上に
クランプ保持されるようになっている。このため、特に
光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの後方側に位置する固定部
分に、このクランプ構成を用いることにより、光学ユニ
ット８４Ｅ〜８４Ｇのメンテナンス時における着脱作業
を容易に行うことができる。

【０１４２】（第３実施形態）次に、本発明の第３実施
形態について、前記第１実施形態と異なる部分を中心に
説明する。

【０１４３】この第３実施形態では、図１３及び図１４
に示されるように、第１部分照明光学系ＩＯＰ１におけ
る光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの移動機構２３４が前記
第１実施形態と異なっている。すなわち、この移動機構
２３４は、筐体８２Ａ〜８２Ｄのフランジ１１２Ａ〜１
１２Ｄの両側に回転可能に支持された複数（例えば各２
個）の支持ローラ２３６と、照明系収容部材１１４の各
支持棚１１８Ａ〜１１８Ｄの両側部に延長配置された一
対のガイドレール２３８とから構成されている。

【０１４４】前記各ガイドレール２３８の上面には、支
持ローラ２３６に対応する複数（例えば２つ）の凹所２
４０が形成されている。そして、光学ユニット８４Ａ〜
８４Ｄの筐体８２Ａ〜８２Ｄが支持棚１１８Ａ〜１１８
Ｄ上の所定位置に配置されたときには、図１４に実線で
示されるように、各支持ローラ２３６がガイドレール２
３８上の凹所２４０に係合されて、フランジ１１２Ａ〜
１１２Ｄが支持棚１１８Ａ〜１１８Ｄ上の載置面に接合
載置される。この状態で、フランジ１１２Ａ〜１１２Ｄ
上から支持棚１１８Ａ〜１１８Ｄに固定ねじ１２０が螺
合されることにより、筐体８２Ａ〜８２Ｄが支持棚１１
８Ａ〜１１８Ｄに固定されるようになっている。

【０１４５】また、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄのメン
テナンスを行う場合には、固定ねじ１２０を取り外した
後、筐体８２Ａ〜８２Ｄを支持棚１１８Ａ〜１１８Ｄ上
の載置面に沿って、図１４の矢印方向に移動させると、
同図に鎖線で示されるように、各支持ローラ２３６がガ
イドレール２３８の凹所２４０から離脱して、ガイドレ
ール２３８の頂面に係合される。これにより、筐体８２
Ａ〜８２Ｄのフランジ１１２Ａ〜１１２Ｄが支持棚１１
８Ａ〜１１８Ｄの載置面から浮上されるようになってい
る。すなわち、この実施形態では、支持ローラ２３６等
によって、光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄを浮上させるた
めの浮上機構が構成されている。

【０１４６】従って、本実施形態によれば、前記第１実
施形態における（１）〜（１０）に記載の効果とほぼ同
様の効果を得ることができる。 （変更例）なお、本発明の実施形態は、以下のように変
更してもよい。

【０１４７】・ 前記各実施形態において、照明光学系
ＩＯＰを、可動部分光学系としての第１部分照明光学系
ＩＯＰ１と、静止部分光学系としての第２部分照明光学
系ＩＯＰ２とに分離することなく、照明光学系ＩＯＰを
露光本体部上に設置してなる露光装置において、その照
明光学系ＩＯＰの各光学ユニットを、載置面にほぼ沿っ
て、光路中の第１の位置から光路外の第２の位置に移動
させて、メンテナンスを行うように構成してもよい。

【０１４８】・ 前記各実施形態において、照明光学系
ＩＯＰの各光学ユニットを、モータ等の駆動機構によ
り、光路中の第１の位置と光路外の第２の位置との間で
移動させるように構成してもよい。

【０１４９】・ 前記各実施形態において、第２部分照
明光学系ＩＯＰ２の各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇ間を
連結する連結部材１４６Ａ，１４６Ｂの伸縮機構１７
０，１８８として、前記螺合部１７２，１７４に代えて
スナップロックタイプの伸縮機構の構成を採用してもよ
い。

【０１５０】・ 前記各実施形態において、第２部分照
明光学系ＩＯＰ２の各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇ間を
連結する連結部材１４６Ａ，１４６Ｂとして、長手方向
に伸縮可能な蛇腹状部材を用いてもよい。

【０１５１】・ 前記各実施形態において、第２部分照
明光学系ＩＯＰ２の各光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇ間を
連結する連結部材１４６Ａ，１４６Ｂの両端部を、対応
する筐体８２Ｅ〜８２Ｇに接合させるように構成しても
よい。

【０１５２】・ 前記各実施形態において、第１部分照
明光学系ＩＯＰ１の光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの移動
機構として、図７に示される第２部分照明光学系ＩＯＰ
２の光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの移動機構１９０を用
いてもよい。

【０１５３】・ 前記各実施形態において、第２部分照
明光学系ＩＯＰ２の光学ユニット８４Ｅ〜８４Ｇの移動
機構として、図３及び図４、または図１３及び図１４に
示される第１部分照明光学系ＩＯＰ１の光学ユニット８
４Ａ〜８４Ｄの移動機構１３４，２３４を用いてもよ
い。

【０１５４】・ 前記各実施形態において、第１部分照
明光学系ＩＯＰ１の光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄの移動
機構、あるいは第２部分照明光学系ＩＯＰ２の光学ユニ
ット８４Ｅ〜８４Ｇの移動機構として、エアガイド、油
圧ガイド、磁気作用等で、筐体８２Ａ〜８２Ｇを載置面
から浮上させるように構成してもよい。

【０１５５】以上のように変更して構成した場合でも、
前述した各実施形態における効果とほぼ同様の効果を得
ることができる。また、露光装置全体として、次のよう
に変更して具体化することもできる。

【０１５６】・ すなわち、前記実施形態では、光源と
して、ＡｒＦエキシマレーザ光源あるいはＦ２レーザ光
源を用いるものとしたが、本発明がこれに限定されるも
のではなく、例えば波長２４７ｎｍのＫｒＦエキシマレ
ーザ光源、波長１４６ｎｍのＫｒ２レーザ光源、波長１
２６ｎｍのＡｒ２レーザ光源等の真空紫外光源を用いて
もよい。このうちで、より短波長のパルス紫外光を用い
る場合には、解像力の一層の向上、ひいては一層高精度
な露光が可能となる。

【０１５７】・ また、前記実施形態では、オプティカ
ルインテグレータとしての第２フライアイレンズ系２８
Ｆａの射出面の近傍に開口絞りとして照明系開口絞り板
２８Ｇが配置された場合について説明したが、これに代
えて開口数を連続的に可変な虹彩絞りを配置してもよ
い。

【０１５８】・ また、前記実施形態では、オプティカ
ルインテグレータ（ホモジナイザ）としてフライアイレ
ンズを用いるものとしたが、その代わりにロッド・イン
テグレータを用いるようにしてもよい。ロッド・インテ
グレータを用いる照明光学系では、ロッド・インテグレ
ータはその射出面がレチクルＲのパターン面とほぼ共役
になるように配置されるので、例えばロッド・インテグ
レータの射出面に近接して前述の可動レチクルブライン
ド２８Ｊの可動ブレードＢＬを配置する。従って、この
照明光学系はロッド・インテグレータを境にして２分割
され、前記実施形態と同様に、可動レチクルブラインド
はロッド・インテグレータが配置される第１部分に設け
られ、固定ブラインドは本体コラムに固定される第２部
分に設けられる。なお、ロッド・インテグレータを用い
る照明光学系は、例えば米国特許第５，６７５，４０１
号に開示されている。また、フライアイレンズとロッド
・インテグレータとを組み合わせる、あるいは２つのロ
ッド・インテグレータを直列に配置してダブルオプティ
カルインテグレータとしてもよい。

【０１５９】・ また、例えば前記実施形態と同様に紫
外光を用いる露光装置であっても、投影光学系として反
射光学素子のみからなる反射系、または反射光学素子と
屈折光学素子とを有する反射屈折系（カタディオプトリ
ック系）を採用してもよい。ここで、反射屈折型の投影
光学系としては、例えば特開平８−１７１０５４号公報
（及びこれに対応する米国特許第５，６６８，６７２
号）、並びに特開平１０−２０１９５号公報（及びこれ
に対応する米国特許第５，８３５，２７５号）などに開
示される、反射光学素子としてビームスプリッタと凹面
鏡とを有する反射屈折系、または特開平８−３３４６９
５号公報（及びこれに対応する米国特許第５，６８９，
３７７号）、並びに特開平１０−３０３９号公報などに
開示される。反射光学素子としてビームスプリッタを用
いずに凹面鏡などを有する反射屈折系を用いることがで
きる。

【０１６０】・ この他、特開平１０−１０４５１３号
公報（及び米国特許第５，４８８，２２９号）に開示さ
れる、複数の屈折光学素子と２枚のミラー（凹面鏡であ
る主鏡と、屈折素子又は平行平面板の入射面と反対側に
反射面が形成される裏面鏡である副鏡）とを同一軸上に
配置し、その複数の屈折光学素子によって形成されるレ
チクルパターンの中間像を、主鏡と副鏡とによってウエ
ハ上に再結像させる反射屈折系を用いてもよい。この反
射屈折系では、複数の屈折光学素子に続けて主鏡と副鏡
とが配置され、照明光が主鏡の一部を通って副鏡、主鏡
の順に反射され、さらに副鏡の一部を通ってウエハ上に
達することになる。

【０１６１】・ また、反射屈折型の投影光学系として
は、例えば円形イメージフィールドを有し、かつ物体面
側、及び像面側が共にテレセントリックであるととも
に、その投影倍率が１／４倍又は１／５倍となる縮小系
を用いてもよい。また、この反射屈折型の投影光学系を
備えた走査型露光装置の場合、照明光の照射領域が投影
光学系の視野内でその光軸をほぼ中心とし、かつレチク
ル又はウエハの走査方向とほぼ直交する方向に沿つて延
びる矩形スリット状に規定されるタイプであってもよ
い。かかる反射屈折型の投影光学系を備えた走杏型露光
装置によれば、例えば波長１５７ｎｍのＦ２レーザ光を
露光用照明光として用いても１００ｎｍＬ／Ｓパターン
程度の微細パターンをウエハ上に高精度に転写すること
が可能である。

【０１６２】・ また、真空紫外光としてＡｒＦエキシ
マレーザ光やＦ２レーザ光などが用いられるが、ＤＦＢ
半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外
域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウ
ム（又はエルビウムとイットリビウムの両方）がドープ
されたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用
いて紫外光に波長変換した高調波を用いてもよい。

【０１６３】例えば、単一波長レーザの発振波長を１．
５１〜１．５９μｍの範囲内とすると、発生波長が１８
９〜１９９ｎｍの範囲内である８倍高調波、又は発生波
長が１５１〜１５９ｎｍの範囲内である１０倍高調波が
出力される。特に発振波長を１．５４４〜１．５５３μ
ｍの範囲内とすると、発生波長が１９３〜１９４ｎｍの
範囲内の８倍高調波、即ちＡｒＦエキシマレーザ光とほ
ぼ同一波長となる紫外光が得られ、発振波長を１．５７
〜１．５８μｍの範囲内とすると、発生波長が１５７〜
１５８ｎｍの範囲内の１０倍高調波、即ちＦ２レーザ光
とほぼ同一波長となる紫外光が得られる。

【０１６４】また、発振波長を１．０３〜１．１２μｍ
の範囲内とすると、発生波長が１４７〜１６０ｎｍの範
囲内である７倍高調波が出力され、特に発振波長を１．
０９９〜１．１０６μｍの範囲内とすると、発生波長が
１５７〜１５８μｍの範囲内の７倍高調波、即ちＦ２レ
ーザ光とほぼ同一波長となる紫外光が得られる。この場
合、単一波長発振レーザとしては例えばイットリビウム
・ドープ・ファイバーレーザを用いることができる。

【０１６５】・ また、半導体素子などのマイクロデバ
イスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露
光装置、及び電子線露光装置などで使用されるレチクル
またはマスクを製造するために、ガラス基板またはシリ
コンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも
本発明を適用できる。ここで、ＤＵＶ（遠紫外）光やＶ
ＵＶ（真空紫外）光などを用いる露光装置では一般的に
透過型レチクルが用いられ、レチクル基板としては石英
ガラス、フッ素がドープされた石英ガラス、蛍石、フッ
化マグネシウム、または水晶などが用いられる。また、
プロキシミティ方式のＸ線露光装置、または電子線露光
装置などでは透過型マスク（ステンシルマスク、メンブ
レンマスク）が用いられ、マスク基板としてはシリコン
ウエハなどが用いられる。

【０１６６】・ 勿論、半導体素子の製造に用いられる
露光装置だけでなく、液晶表示素子などを含むディスプ
レイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスブ
レート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に
用いられる、デバイスパターンをセラミックウエハ上に
転写する露光装置、及び撮像素子（ＣＣＤなど）の製造
に用いられる露光装置などにも本発明を適用することが
できる。

【０１６７】・ なお、前記実施形態では、本発明が、
スキャニング・ステッパに適用された場合について説明
したが、マスクと基板とを静止した状態でマスクのパタ
ーンを基板に転写するとともに、基板を順次ステップ移
動させるステップ・アンド・リピ―ト方式の縮小投影露
光装置や、投影光学系を用いることなくマスクと基板と
を近接配置あるいは密着させてマスクのパターンを基板
に転写するプロキシミティ露光装置あるいはコンタクト
露光装置にも、本発明は好適に適用できるものである。

【０１６８】また、半導体デバイスは、デバイスの機能
・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づい
たレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウエ
ハを製作するステップ、前述した実施形態の露光装置に
よりレチクルのパターンをウエハに転写するステップ、
デバイス組み立てステップ（ダイシングエ程、ボンディ
ングエ程、パッケージエ程を含む）、検査ステップ等を
経て製造される。

【０１６９】

【発明の効果】以上詳述したように、本願請求項１に記
載の発明によれば、照明光学系の光学素子群を載置面に
ほぼ沿って、光路中の第１の位置から光路より離れた第
２の位置に移動させることにより、その光学素子群のメ
ンテナンスを容易に行うことができる。

【０１７０】また、本願請求項２に記載の発明によれ
ば、前記請求項１に記載の発明の効果に加えて、光学素
子群を載置面に沿って第１の位置から第２の位置へ容易
に移動させることができる。

【０１７１】また、本願請求項３に記載の発明によれ
ば、前記請求項１または請求項２に記載の発明の効果に
加えて、架台に作業台を装着した状態で、光学素子群を
作業台上の第２の位置に引き出すことにより、その光学
素子群のメンテナンスを容易に行うことができる。

【０１７２】また、本願請求項４に記載の発明によれ
ば、前記請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載
の発明の効果に加えて、光学素子群を載置面から浮上さ
せた状態で、第１の位置から第２の位置に移動させるこ
とができる。従って、その光学素子群の移動により載置
面が傷付くおそれがなくなる。

【０１７３】また、本願請求項５に記載の発明によれ
ば、連結部材を光学素子群の筐体間から取り外して、そ
の筐体間に移動用空間を形成した後、光学素子群を筐体
とともに移動用空間側へ移動させることにより、光学素
子群のメンテナンスを容易に行うことができる。

【０１７４】また、本願請求項６に記載の発明によれ
ば、前記請求項５に記載の発明の効果に加えて、連結部
材を筐体の配列方向に縮めることにより、その連結部材
を筐体間から容易に取り外すことができる。

【０１７５】また、本願請求項７に記載の発明によれ
ば、前記請求項５または請求項６に記載の発明の効果に
加えて、連結部材の端面が筐体に対して離間または接合
されて、連結部材を筐体間に対して容易に脱着すること
ができる。

【０１７６】また、本願請求項８に記載の発明によれ
ば、前記請求項７に記載の発明の効果に加えて、連結部
材の一端を一方の光学素子群の筐体に嵌合した状態で、
保持部材を保持操作することにより、連結部材の他端が
他方の筐体に接合されて、連結部材を筐体間の所定位置
に容易かつ正確に位置決め装着することができる。

【０１７７】また、本願請求項９に記載の発明によれ
ば、前記請求項６〜請求項８のうちいずれか一項に記載
の発明の効果に加えて、光学素子群の筐体間に連結部材
を脱着する際に、複数の連結筒間の螺合部を螺退または
螺進させることにより、連結部材を筐体の配列方向へ容
易に縮めまたは伸ばすことができる。

【０１７８】また、本願請求項１０に記載の発明によれ
ば、前記請求項１〜請求項９のうちいずれか一項に記載
の発明の効果に加えて、気体圧駆動機構で使用された第
１の気体を、その気体圧駆動機構を介して収容室内に供
給するように構成すれば、第１の気体の有効利用を図る
ことができる。また、光路室内での吸収性ガスによるエ
ネルギビームの吸収を抑制することができて、高精度の
露光を行うことができる。

【０１７９】また、本願請求項１１に記載の発明によれ
ば、前記請求項１〜請求項１０のうちいずれか一項に記
載の発明の効果に加えて、光路室内に気体を供給するた
めの供給管を、光路室に対する接続状態に保持すること
ができて、その供給管が誤操作等により接続状態から不
用意に離脱されるのを抑制することができる。

【０１８０】また、本願請求項１２に記載の発明によれ
ば、前記請求項１に記載の発明と同様の効果を得ること
ができる。また、本願請求項１３に記載の発明によれ
ば、前記請求項５及び請求項６に記載の発明と同様の効
果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態の露光装置の全体構成を概略的
に示す側面図。

【図２】 照明光学系における第２部分照明光学系の全
体と、第１部分照明光学系の一部について、各光学ユニ
ットの保持構成を示す断面図。

【図３】 図２の第１部分照明光学系における光学ユニ
ットのメンテナンス方法を説明する斜視図。

【図４】 第１部分照明光学系の光学ユニットの移動機
構を示す断面図。

【図５】 図２の第２部分照明光学系の拡大断面図。

【図６】 図２の第２部分照明光学系の詳細構成を示す
拡大平面図。

【図７】 第２部分照明光学系の光学ユニットの移動機
構を示す断面図。

【図８】 図５の第２部分照明光学系における第２リレ
ーレンズ系の光学ユニットを拡大して示す断面図。

【図９】 図５の第２部分照明光学系における光学ユニ
ットの連結部材を拡大して示す断面図。

【図１０】 図６の第２部分照明光学系に対する気体の
供給管を拡大して示す平面図。

【図１１】 第２実施形態における第２部分照明光学系
の光学ユニットの固定構成を示す部分平面図。

【図１２】 図１１の１２−１２における断面図。

【図１３】 第３実施形態における第１部分照明光学系
の光学ユニットの移動機構を示す部分断面図。

【図１４】 図１３の移動機構の部分側面図。

【符号の説明】

１０…露光装置、１４…露光本体部の一部を構成する本
体コラム、２６Ａ…第１照明系ハウジング、２６Ｂ…第
２照明系ハウジング、８２Ａ〜８２Ｈ…筐体、８４Ａ〜
８４Ｈ…光学素子群としての光学ユニット、８８…気体
圧駆動機構としてのエアベアリング、１１４…照明系収
容部材、１１８Ａ〜１１８Ｄ…支持棚、１２４…光路
室、１２６…収容室、１２８…第１供給機構、１３０…
第２供給機構、１３４…移動機構、１３６…浮上機構を
構成する支持部材、１４２…作業台、１４６Ａ，１４６
Ｂ…連結部材、１５２…載置面、１６８Ａ，１６８Ｂ…
連結筒、１７０…保持部材としての伸縮機構、１７２…
雄状螺合部、１７４…雌状螺合部、１７６…嵌合部、１
７８…接合部、１８６Ａ，１８６Ｂ…連結筒、１８８…
保持部材としての伸縮機構、１９０…移動機構、１９２
…浮上機構を構成するボールプランジャ、２１０Ａ，２
１０Ｂ…供給用接続機構、２１２Ａ，２１２Ｂ…供給
管、２１４…保持機構としてのＣリング、２３４…移動
機構、２３６…浮上機構を構成する支持ローラ、ＩＯＰ
…照明光学系、ＩＯＰ１…第１部分照明光学系、ＩＯＰ
２…第２部分照明光学系、Ｒ…マスクとしてのレチク
ル、ＲＳＴ…露光本体部の一部を構成するマスクステー
ジとしてのレチクルステージ、Ｗ…基板としてのウエ
ハ、ＷＳＴ…露光本体部の一部を構成する基板ステージ
としてのウエハステージ、ＰＬ…露光本体部の一部を構
成する投影光学系。

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定のパターンが形成されたマスクをエ
   ネルギビームにより照明する照明光学系を少なくとも含
   む露光本体部を備えた露光装置において、 前記照明光学系は少なくとも１つの光学素子を有する少
   なくとも１つの光学素子群からなり、その光学素子群の
   少なくとも１つをその光学素子群が載置される載置面を
   含む面内で、前記エネルギビーム光路中における第１の
   位置と前記光路から離れた第２の位置との間で移動させ
   る移動機構を備えたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記第２の位置を前記載置面上に設定し
   たことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記第２の位置が前記載置面とほぼ連続
   するように、かつ前記照明光学系の架台に対し着脱可能
   に装着される作業台上に設定したことを特徴とする請求
   項１または請求項２に記載の露光装置。
4. 【請求項４】 前記移動機構は、前記第１の位置から前
   記第２の位置に移動させる際に、前記光学素子群を前記
   第１の位置における載置面から浮上させる浮上機構を備
   えたことを特徴とする請求項１〜請求項３のうちいずれ
   か一項に記載の露光装置。
5. 【請求項５】 所定のパターンが形成されたマスクをエ
   ネルギビームにより照明する照明光学系を少なくとも含
   む露光本体部を備えた露光装置において、 前記照明光学系は少なくとも１つの光学素子を有する複
   数の光学素子群をそれぞれ独立して収容する少なくとも
   ２つの筐体と、前記２つの筐体の配列方向に沿って前記
   ２つの筐体を互いに連結する連結部材と、前記連結部材
   を前記筐体間に着脱可能に保持する保持部材とを設けた
   ことを特徴とする露光装置。
6. 【請求項６】 前記保持部材は、前記連結部材を前記筐
   体の配列方向に伸縮させる伸縮機構を有することを特徴
   とする請求項５に記載の露光装置。
7. 【請求項７】 前記連結部材は、その少なくとも一方の
   端面を、連結される２つの筐体に対して接合するように
   形成したことを特徴とする請求項５または請求項６に記
   載の露光装置。
8. 【請求項８】 前記連結部材は、一端が連結される一方
   の前記筐体に対して嵌合するとともに、他端が連結され
   る他方の前記筐体に対して接合するようにしたことを特
   徴とする請求項７に記載の露光装置。
9. 【請求項９】 前記連結部材は複数の連結筒からなり、
   前記伸縮機構は隣接配置される連結筒の端部の内周面ま
   たは外周面に形成された螺合部からなることを特徴とす
   る請求項６〜請求項８のうちいずれか一項に記載の露光
   装置。
10. 【請求項１０】 前記照明光学系の少なくとも一部を、
    前記エネルギビームが通過するとともに前記各光学素子
    を収容する光路室と、露光動作中に可動する可動部を駆
    動するための駆動機構を収容する収容室とに区画し、前
    記駆動機構は気体を駆動源とする気体圧駆動機構を含
    み、前記気体圧駆動機構に第１の気体を供給する第１供
    給機構と、前記光路室に第２の気体を供給する第２供給
    機構と、前記収容室は、前記気圧駆動機構を介して前記
    に第１の気体が供給されることを特徴とする請求項１〜
    請求項９のうちいずれか一項に記載の露光装置。
11. 【請求項１１】 前記照明光学系の少なくとも一部に区
    画され、前記エネルギビームが通過するとともに前記光
    学素子を収容する光路室と、その光路室内に所定の気体
    を供給するための供給管を着脱可能に接続する接続機構
    と、その接続機構に設けられ、前記供給管を接続状態に
    保持する保持機構とを備えたことを特徴とする請求項１
    〜請求項１０のうちいずれか一項に記載の露光装置。
12. 【請求項１２】 所定のパターンが形成されたマスクを
    エネルギビームにより照明する照明光学系を少なくとも
    含む露光本体部を備え、前記照明光学系を少なくとも１
    つの光学素子を有する少なくとも１つの光学素子群で構
    成した露光装置のメンテナンス方法において、 前記光学素子群の少なくとも１つをその光学素子群が載
    置される載置面を含む面内で、前記エネルギビームの光
    路中における第１の位置と前記光路から離れた第２の位
    置との間で移動させ、その第２の位置において作業する
    ことを特徴とする露光装置のメンテナンス方法。
13. 【請求項１３】 前記光学素子群の移動に先立ち、前記
    第１の位置に配置された状態で、その光学素子群を収容
    する筐体間を連結する連結部材を、前記筐体の配列方向
    に縮めて前記筐体から離間させ、前記連結部材を前記筐
    体間から取り外すことを特徴とする請求項１２に記載の
    露光装置のメンテナンス方法。