JP2002202426A

JP2002202426A - 光導波路の製造方法

Info

Publication number: JP2002202426A
Application number: JP2000400397A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Kishimoto; 良雄岸本; Masahiro Mitsuta; 昌弘光田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-12-28
Filing date: 2000-12-28
Publication date: 2002-07-19

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】きれいで滑らかな円形の断面を有する有機高
分子系の光導波路を有するプレーナー型の光導波路の製
造方法を提供する。【解決手段】撥油性領域と親油性領域である光導波路
パターンとを有する基板１上に反応性油液状プレポリマ
ー１０を塗布することにより、反応性油液状プレポリマ
ーが光導波路パターンのみに塗布されて、反応性油液状
プレポリマー１０の表面張力により自己整合的に円形断
面形状の光導波路を形成する。その後、反応性プレポリ
マーを硬化することにより、きれいで滑らかな円形断面
の光導波路を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信、光情報処
理などに利用される光導波路の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光通信、光情報処理などに用いら
れる半導体レーザ、受光素子、または光スイッチなどの
光デバイスは、一般に、光の入出力を光ファイバと結合
することにより信号光の送受信を行うものであり、光フ
ァイバをモジュール内に組み込んだ光ファイバモジュー
ルなどの種々の光モジュールが作られていた。

【０００３】一方、上記の光ファイバモジュールとは別
に、光導波路を含む平面光導波路と半導体レーザ、受光
素子等の光機能素子とを同一基板上に集積したプレーナ
ー形光波回路（ＰＬＣ；ＰｌａｎｅｒＬｉｇｈｔ−ｗ
ａｖｅＣｉｒｃｕｉｔ）モジュールが提案されてい
る。このＰＬＣモジュールは、アセンブリの自動化が可
能で、光導波路集積回路装置を構成するコンパクトな光
モジュールの一つとして期待が大きい。

【０００４】ＰＬＣモジュールは、従来、主に光スイッ
チ、光分岐カプラーとして開発されており、光導波路は
石英をベースにした石英系のものと有機高分子材料をベ
ースにした有機系のものとがある。中でも、有機高分子
系の光導波路は耐熱性や性能に課題があるものの、容易
に透明膜の形成ができるため、コストや製造工程の数等
の面から期待が高い。

【０００５】従来の有機高分子系のＰＬＣモジュールを
図６（ａ）、（ｂ）に示す。

【０００６】図６（ａ）に示すように、従来のＰＬＣモ
ジュールは、基板１００上に断面が矩形状の溝を有する
下側クラッド層２００が形成され、その溝に有機高分子
材料からなるコア層３００が埋め込まれ、さらに、コア
層３００を埋め込むように上側クラッド層４００が形成
されたものであった。

【０００７】あるいは、図６（ｂ）に示すように、従来
のＰＬＣモジュールは、基板１０１上に下側クラッド層
２０１が形成され、下側クラッド層２０１上に断面が矩
形状の有機高分子材料からなるコア層３０１が形成さ
れ、コア層３０１を埋め込むように上側クラッド層４０
１が形成されたものであった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のように
光導波路となるコア層３００、３０１の断面形状が矩形
のＰＬＣモジュールの場合、光導波路を反射しながら導
波する光の光路長が必要以上に長くなる可能性があっ
た。さらには、矩形状の面と面の境目で光の伝送損失や
乱れを生じていた。

【０００９】従来のＰＬＣモジュールにおいて、コア層
３００、３０１の断面形状が矩形状になっているのは、
図６（ａ）においては、下側クラッド層２００の溝をエ
ッチングにより形成するためであり、同様に、図６
（ｂ）においても、コア層３０１そのものがエッチング
によって形成されているためであった。

【００１０】特に、図６（ａ）、（ｂ）における高分子
材料よりなる下側クラッド層２００の溝あるいはコア層
３０１は、有機質の酸化劣化エッチング反応によって形
成されるため、きれいで滑らかなコア−クラッド界面を
形成できなかった。

【００１１】一方、基板上に界面活性剤をストライプ状
に印刷した部分にのみ、高屈折率透明液状材料を形成
し、その高屈折率透明液状材料を硬化することにより、
光導波路の断面が円形に近い光導波路を形成する方法が
開示されている（特開平３−１５８０５号公報）。

【００１２】あるいは、電子線および紫外線でそれぞれ
照射した各基板上に、重合性モノマー蒸気を接触させて
重合固化させることにより、光導波路の断面が半円形の
光導波路を形成する方法が開示されている（特開２００
０−１０５３１９号公報）。

【００１３】しかしながら、これらの方法は、光導波路
の断面を円形にすることを目的とするものではなく、光
導波路の円形による効果は極めて小さいものである。

【００１４】本発明は、上記課題を解決するために、き
れいで滑らかな円形の断面を有する有機高分子系の光導
波路を有する光導波路の製造方法を提供することを目的
とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光導波路の
製造方法は、反応性油液状プレポリマーに対し撥油性領
域を有する基板上に、前記反応性油液状プレポリマーに
対し親油性領域の光導波路パターンを形成し、反応性油
液状プレポリマーを前記基板上に塗布して前記光導波路
パターン上に前記反応性油液状プレポリマーを形成し、
前記光導波路パターン上の前記反応性油液状プレポリマ
ーを硬化するものである。

【００１６】本発明に係る光導波路の製造方法による
と、反応性油液状プレポリマーに対し撥油性領域を有す
る基板上に、親油性領域の光導波路パターンを形成し、
反応性油液状プレポリマーを親油性領域である光導波路
パターンに塗布することにより、親油性領域にのみ反応
性油液状プレポリマーが塗布されて、その反応性油液状
プレポリマーは、その表面張力により自己整合的に円形
断面となる。次いで、反応性油液状プレポリマーを硬化
することにより、きれいな円形断面の高分子光導波路を
得ることができる。

【００１７】本発明、撥油性と親油性の大きなコントラ
ストの表面特性によるパターニングを用いたものである
ため、光導波路パターンに付着する反応性油液状プレポ
リマーの付着力が大きく、きれいな円形断面の光導波路
が得られる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の光導波路の製造方
法における実施形態について、図面を参照しながら説明
する。

【００１９】（第１の実施形態）以下、第１の実施形態
に係るプレーナー型の光導波路の製造方法について図１
を参照しながら説明する。なお、図１は、第１の実施形
態に係る光導波回路の製造方法を示す工程断面図であ
る。

【００２０】図１（ａ）に示すように、アルミナ等の基
板１の上に、高フッ素濃度のポリフッ化メチルメタクリ
レートからなる下側クラッド層２を１０μｍの膜厚で形
成する。そして、下側クラッド層２の上に表面が撥油性
（撥油性領域）のポリビニルアルコールからなる中間被
膜５を形成する。

【００２１】ここで、「撥油性」とは、光、電子線ある
いは熱などによって硬化反応する高分子前駆体組成物で
ある反応性油液状プレポリマーに対して撥油性を有する
性質をいい、逆に「親油性」とは、その反応性油液状プ
レポリマーに対して親油性を有する性質をいう。以下、
単にこれらを「撥油性」、「親油性」という。

【００２２】次に、図１（ｂ）に示すように、下側クラ
ッド層２の上に１０μｍの幅のストライプ状の開口６を
有するホトレジスト７を形成する。

【００２３】次に、図１（ｄ）に示すように、ホトレジ
スト７を通常のエッチング等により除去する。これによ
り、下側クラッド層２上にストライプ状の親油性表面
（親油性領域）の光導波路パターン８と撥油性領域９と
を有する中間被膜５を形成することができる。なお、撥
油性と親油性の領域を有する面は、中間被膜５を用いな
くとも、撥油性領域を有する下側クラッド層の表面に水
溶性のイオン性活性剤を添加することにより、親油性領
域を容易に形成することもできる。

【００２４】ここで、第１の実施形態において、光導波
路パターン８の形状はストライプ状としたが、その他の
光導波路パターン８の形状の例を図２に示す。図２
（ａ）は対称２分岐、図２（ｂ）は非対称２分岐、図２
（ｃ）は対称３分岐、図２（ｄ）は１×４分岐の光導波
路のＹ分岐形状の光導波路パターンを示す。なお、これ
ら以外にも、上記の光導波路パターンの形成方法によれ
ば、エッチングレスで様々な光分岐形状の光導波路パタ
ーンを容易に形成することができる。従って、アレー導
波路格子型分波器のような精密な光導波路の形成なども
可能である。

【００２５】次に、図１（ｅ）に示すように、親油性の
領域と撥油性の領域とを有する基板上に反応性油液状プ
レポリマーとしてポリフッ化メチルメタクリレートプレ
ポリマーを霧状に散布して塗布すると、ポリフッ化メチ
ルメタクリレートプレポリマーは、その性質により光導
波路パターン８である親油性領域上にのみ塗布されてプ
レポリマーパターン１０を形成する。このとき、ポリフ
ッ化メチルメタクリレートプレポリマーは、表面張力に
より円形断面形状を自己整合的に形成するとともに、表
面が滑らかなプレポリマーパターン１０を形成する。プ
レポリマーパターン１０は、光導波路パターン８の幅に
合わせて細い径となるため、表面張力が極めて大きく作
用して断面はきれいな円形になる。ここで、円形断面形
状とは、断面が円、楕円、あるいはそれらに近い形状を
いう。

【００２６】次に、図１（ｆ）に示すように、プレポリ
マーパターン１０を紫外線等により照射して硬化する硬
化反応を行うことにより、光導波路となるコア層３を形
成する。なお、硬化反応には、ビニル重合に代表される
付加重合、ポリイミドやポリエステルに代表される縮重
合、過酸化物架橋に代表される熱架橋反応、エポキシに
代表される二液混合架橋反応、空気中の湿気との反応で
開始するウレタンやシアノアクリレートの湿気硬化反応
などがある。

【００２７】次に、図１（ｇ）に示すように、中間被膜
５をエッチング等により除去する。これにより、下側ク
ラッド層２上に円形断面形状のコア層３を形成する。中
間被膜５であるポリビニルアルコールは、水溶性の高分
子膜であるので、水により容易に除去できる。

【００２８】次に、図１（ｈ）に示すように、コア層３
を埋め込むように、高フッ素濃度のポリフッ化メチルメ
タクリレートを形成して紫外線等で硬化することによ
り、上側クラッド層４を形成する。なお、ステップ型の
プレーナー光導波路を構成する場合では、上側クラッド
層４あるいは下側クラッド層２の材料として、フッ化炭
素構造が屈折率を下げる構造であることからフッ素系ポ
リマーが適している。

【００２９】以上、第１の実施形態のプレーナー光導波
路の製造方法を説明したが、光導波路のコア層３を形成
する反応性油液状プレポリマーとは、例えば、ポリメチ
ルメタクリレート（ＰＭＭＡ）や脂環基を導入した変性
ＰＭＭＡを基本構造とする紫外線硬化性ビニル系樹脂、
各種感光性ポリシロキサン誘導体、変性フッ素化ポリシ
ロキサン、感光性フッ素化ポリイミド、感光性エポキシ
樹脂、変性ポリエステル樹脂、変性ポリカーボネート、
ユリア樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、変性トリア
ジン樹脂およびこれらの共重合体などの油液状高分子前
駆体（ワニス）、あるいはその溶液をいう。なお、溶液
の場合は、塗布乾燥後に硬化反応させる。これらの材料
選択により好適に円形断面形状の高分子の光導波路を形
成することができる。

【００３０】さらに、上記のビニル系有機分子、シロキ
サン骨格ポリマー、および縮重合系有機分子などの高分
子組成物は、透明性の高いことが必要で、次のような具
体的な材料で構成される。

【００３１】ビニル系有機分子としては、ポリメチルメ
タアクリレート（ＰＭＭＡ）、フッ素化ＰＭＭＡ、重水
素化ＰＭＭＡ、架橋ＰＭＭＡ、脂環基導入変性ＰＭＭ
Ａ、ポリエチルメタクリレートなどのほか、他のビニル
化合物との共重合体がある。

【００３２】シロキサン骨格ポリマーとしては、多くの
変性ポリシロキサンがあり、感光性ポリシロキサン誘導
体、変性フッ素化ポリシロキサンなどがある。また、シ
ロキサン骨格ポリマーは、エポキシ、ウレタン、アクリ
ル、ポリエステルなどで容易に変性され種々の性質を持
たせることができる。

【００３３】縮重合系有機分子としては、フッ素化ポリ
イミド、熱硬化性ポリエステル、ポリカーボネートなど
の縮合高分子を骨格として変性した種々の変性ポリマー
があり、感光性フッ素化ポリイミド、エポキシ変性ポリ
エステル樹脂、アクリル変性ポリカーボネートなどのほ
か多くの共重合体、誘導体がある。

【００３４】また、本発明は、反応性油液状プレポリマ
ーで円形断面形状のプレポリマーパターンを形成し、そ
れを硬化させて固体化するものであるから、反応性油液
状プレポリマーは、硬化反応工程によって反応性油液状
プレポリマーの円形断面形状が大きく変化せずに固体化
するものが好ましい。この点から、反応性油液状プレポ
リマーは、一般溶剤（非反応性溶剤）を含むよりも、モ
ノマー、ダイマー、オリゴマーなどの反応性溶剤を含む
液体であるほうが好ましい。

【００３５】また、第１の実施形態において、「撥油
性」や「親油性」の表面とは、上記のようにワニスや上
記溶液中の反応性油液状プレポリマー自身の薄膜表面特
性を利用する場合が多いが、その液中に界面活性剤、カ
ップラー、透明性調整剤などを混入して成膜し、表面に
析出した前記添加剤の表面特性を利用する場合もある。
添加剤により薄膜表面特性をコントロールする手法は、
例えば水や酸素や四フッ化炭素などの反応性ガスプラズ
マによって表面処理してＯＨ基やフッ素を導入して表面
改質する方法など多くの方法が知られている。

【００３６】原理的には、「撥油性」の表面は、反応性
油液状プレポリマーに非相溶の分子サイト（官能基）が
析出した表面によって形成され、「親油性」の表面は、
反応性油液状プレポリマーに相溶性の良い分子サイトが
析出した表面によって形成される。それら各表面を形成
する表面析出基間の溶解度パラメーターが大きく異なる
場合は特にこの効果が高い。

【００３７】また、周囲が撥油性で親油性の光導波路パ
ターンを有する基板上に、反応性油液状プレポリマーを
展開して反応性油液状プレポリマーの光導波路パターン
を形成する方法として、第１の実施形態では反応性油液
状プレポリマーを霧状に塗布したが、その他には、
（１）キャスティングして親油性部分に付着させる方
法、（２）反応性油液状プレポリマーの液面展開膜を形
成した液中に基板を浸漬して親油性領域の光導波路パタ
ーン部分に吸着させる方法、（３）ラングミュアーブロ
ジェット法による付着法、（４）反応性油液状プレポリ
マーの気化ガスまたは噴霧粒子（ミスト）を気相から吸
着させる方法、などの各種の方法を利用できる。

【００３８】また、光導波路の円形断面形状の径は、数
μｍ〜５００μｍの広い範囲で作る場合が多く、グレー
テッド型の場合は、比較的太い径を用いる場合が多い
が、ステップ型の場合は、その径は一般に６０μｍ以下
と極めて細いものである。光導波路の径が小さい方が、
表面張力は大きく作用し、断面はより円形に近づくの
で、本発明は、ステップ型の光導波路のように、特に細
い径の光導波路を形成する方法に用いるのが好ましい。

【００３９】（第１の実施形態の変形例）また、第１の
実施形態の変形例として、プレポリマーパターン１０を
硬化反応させて形成したコア層３を有する基板１を、低
屈折率化分子であるフッ素濃度の高いトリフッ化メチル
メタクリレート２量体の溶液中に浸漬し、コア層３にト
リフッ化メチルメタクリレート２量体を一定時間ドーピ
ングして、コア層３の円形断面の外側ほど高濃度になる
ようにトリフッ化メチルメタクリレート２量体を偏在分
布させる。

【００４０】これにより、グレーテッド型の光導波路を
得ることができる。さらには、低屈折率化分子をドーピ
ングしたコア層３を紫外線架橋することにより、経時変
化の小さい高性能のグレーテッド型の光導波路を得るこ
とができる。

【００４１】なお、ドープする低屈折率化分子として
は、コア層３を形成した高分子材料と同系の低分子をフ
ッ素化または３フッ化メチル基で置換したような分子構
造の有機分子が適している。一般に光学樹脂は、分子凝
集構造を無定形にして透明性を高め複屈折のない構造に
しているため、ドーパントの吸収速度が速く、容易にド
ーピングできるので、ドーピングの方法として、上記の
ようにドーパント溶液中に浸漬する方法を用いた。

【００４２】あるいは、低屈折率化分子として、可塑化
効果を有するアルキル基、アルコキシ基、エステル基、
またはカーボネート基などを有する分子を選択すれば、
ドーピングされた低屈折率化分子が可塑剤のようにも働
き、円形断面形状の高分子光導波路の脆性（クラック発
生）を改良して、より透明性、成膜性、均質性に優れる
光導波路が形成できるというメリットがある。

【００４３】上記の可塑化効果を有する低屈折率化分子
が化学結合で固定化される挙動は、外部可塑化された高
分子組成物が固定化反応により「内部可塑化」されるこ
とを意味しており、高分子層中のソフトセグメントとな
って好適な機械特性と光学特性を与える働きをする。

【００４４】次に、第１の実施形態における製造方法に
よって形成された光導波路の端部について図３を用いて
説明する。なお、図３（ａ）は光導波路の平面図、図３
（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図であ
る。

【００４５】本発明の光導波路となるコア層３は、反応
性油液状プレポリマーの表面張力を利用して形成するた
め、図３に示すように、その端面は凸球面である凸球面
状端面３ａが自己整合的に形成する。

【００４６】これにより、コア層３を導波してきた光
は、凸球面状端面３ａから外部に放出するとき、その光
は集光することとなる。

【００４７】従って、図３に示すように、凸球面状端面
３ａにより光は集光されるので、２つのプレーナー光導
波路同士を近接して配置することにより、一方のプレー
ナー光導波路から他方のプレーナー光導波路に入射する
場合に光損失の少ない接続が可能となる。また、半導体
レーザや光ファイバーと接続する場合にも、凸球面状端
面３ａにより光が広がらないため、接続ロスが少ないと
いうメリットがある。

【００４８】また、第１の実施形態により製造されたプ
レーナー光導波路と受光素子を結合した様子を図４に示
す。

【００４９】図４に示すように、コア層３の端部に凸レ
ンズ状の凸球面状端面３ａを有しているプレーナー光導
波路と受光素子１１とを、コア層３の材料より屈折率の
低い屈折率を有する光硬化の光学接着剤１２により結合
して受光モジュールを構成した。

【００５０】これにより、コア層３を導波してきた光が
凸球面状端面３ａから受光素子１１に受光する際に、そ
の光は拡散せず集光されて受光素子１１に受光される。
従って、光損失の少ない受光モジュールを実現できる。

【００５１】（第２の実施形態）以下、第２の実施形態
に係るプレーナー型の光導波路の製造方法について図５
を参照しながら説明する。なお、図５は、第２の実施形
態に係る光導波路の製造方法を示す工程断面図である。

【００５２】図５（ａ）に示すように、アルミナ等の基
板１上に、高フッ素濃度のポリフッ化メチルメタクリレ
ートからなる下側クラッド層２を１０μｍの膜厚で形成
し、下側クラッド層２の上に表面が撥油性のポリビニル
アルコールからなる中間被膜５を形成する。

【００５３】次に、図５（ｂ）に示すように、電子線を
照射して中間被膜５とともに下側クラッド層２を掘りな
がら架橋反応させて、断面の開口が１０μｍの凹形円弧
状の光導波路パターン１３を形成する。このとき、光導
波路パターン１３の凹状の表面は親油性となる。

【００５４】次に、図５（ｃ）に示すように、その親油
性表面（親油性領域）と撥油性表面（撥油性領域）とを
有する基板１上に反応性油液状プレポリマーとしてポリ
フッ化メチルメタクリレートプレポリマーを霧状に散布
して塗布すると、ポリフッ化メチルメタクリレートプレ
ポリマーは、その性質により親油性の領域である光導波
路パターン１３上にのみ塗布されてプレポリマーパター
ン１４を形成する。

【００５５】次に、図５（ｄ）に示すように、プレポリ
マーパターン１４を紫外線等により照射して硬化する硬
化反応をすることにより、光導波路となるコア層３を形
成する。なお、硬化反応には、ビニル重合に代表される
付加重合、ポリイミドやポリエステルに代表される縮重
合、過酸化物架橋に代表される熱架橋反応、エポキシに
代表される二液混合架橋反応、空気中の湿気との反応で
開始するウレタンやシアノアクリレートの湿気硬化反応
などがある。

【００５６】次に、中間被膜５をエッチングにより除去
する。これにより、下側クラッド層２の上に円形断面形
状のコア層３を形成する。中間被膜５のポリビニルアル
コールは、水溶性の高分子膜であるので、水により容易
に除去できる。

【００５７】次に、図５（ｅ）に示すように、コア層３
を埋め込むように、高フッ素濃度のポリフッ化メチルメ
タクリレートを形成して紫外線等で硬化することによ
り、上側クラッド層４を形成する。

【００５８】第２の実施形態においては、親油性の光導
波路パターンを凹形円弧状に形成することにより、さら
に、光導波路の断面が真円の一部に近いものとなる。し
かも、光導波路の直径は、円形円弧状の大きさによって
左右されるため、容易に所望の直径の光導波路を形成す
ることができる。

【００５９】なお、円形円弧状の光導波路パターン１３
は、第２の実施形態のように電子線描画による直接法の
他に、ホトリソグラフィー法やインクジェット法などに
より形成することもできる。また、円形円弧状のサイズ
が大きい場合は、エンボス（押圧）によっても形成する
ことができる。このとき、表面を親油性にするには、表
面に親油性分子を付与するか表面分子を親油基に変換す
れば容易に得られる。例えば、水、酸素あるいは四フッ
化炭素などの反応性ガスプラズマによって表面処理して
ＯＨ基やフッ素を導入して表面改質する方法がある。

【００６０】また、ホトリソグラフィー法のようにホト
レジストを塗布する場合は、下側クラッド層２の表面の
性質を考慮して、下側クラッド層２の表面に親和性を持
った塗布しやすいホトレジスト溶液を用いる必要があ
る。このホトレジスト溶液の表面特性は、界面活性剤で
容易に制御できる。

【００６１】

【発明の効果】本発明は、基板上に反応性油液状プレポ
リマーに対して撥油性領域と親油性領域を形成し、親油
性領域に反応性油液状プレポリマーに塗布されることに
より、その反応性油液状プレポリマーの表面張力により
自己整合的に円形断面形状の光導波路を形成するもので
ある。これにより、きれいで滑らかな円形断面の光導波
路を得ることができる。従って、光導波路の断面が円形
であるため、従来における断面が矩形状の光導波路に比
べて、光の伝送損失や乱れを限りなく小さくすることが
できる。

【００６２】また、撥油性領域には、全く反応性油液状
プレポリマーが付着しないので、汚れのないＳＮ比の高
いパターニングが可能となる。この優れた付着特性は、
本発明に用いるフッ素系材料、シリコン樹脂材料、一般
有機系材料、親油性材料間の溶解度パラメーターの極め
て大きな表面活性における差を利用していることによ
る。

【００６３】また、本発明によれば、エッチングやホト
リソグラフィーを何度も繰り返さずに簡単なプロセスで
高性能の光導波路が得られるという有利な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る光導波路の製造
方法の工程断面図

【図２】光導波路の光導波路パターン形状を示す図

【図３】本発明における光導波路の製造方法によって形
成された光導波路の端部を示す図

【図４】本発明における光導波路の製造方法によって形
成された光導波路と受光素子とを結合した図

【図５】本発明の第２の実施形態に係る光導波路の製造
方法の工程断面図

【図６】従来の光導波路の断面図

【符号の説明】

１基板２下側クラッド層３コア層３ａ凸球面状端面４上側クラッド層５中間被膜６開口７ホトレジスト８、１３光導波路パターン９撥油性領域１０、１４プレポリマーパターン１１受光素子１２光学接着剤

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光導波路を形成する反応性油液状プレポ
リマーに対し撥油性表面を有する基板上に、親油性表面
の光導波路パターンを形成し、前記反応性油液状プレポ
リマーを前記基板上に塗布し、円形断面形状の前記反応
性油液状プレポリマーのパターンを形成し、次いで硬化
反応させて円形断面形状の高分子光導波路を形成する光
導波路の製造方法。
【請求項２】低屈折率化分子を、前記高分子光導波路
の周辺よりドーピングしてグレーテッド型光導波路を形
成してなる請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項３】前記基板がクラッド樹脂層であり、硬化
反応して形成した高分子光導波路をコアとして、前記コ
アの上にさらにクラッド樹脂で埋め込みをしてステップ
型プレーナー光導波路を形成してなる請求項１に記載の
光導波路の製造方法。
【請求項４】前記光導波路パターンが、エッチングに
より断面が凹形円弧状に形成されてなる請求項１に記載
の光導波路の製造方法。
【請求項５】前記反応性油液状プレポリマーが、ビニ
ル系有機分子、シロキサン骨格ポリマー、および縮重合
系有機分子のいずれかより選ばれた１つを含む高分子組
成物からなり、撥油性表面が、親水性表面またはフッ化
有機分子表面よりなる請求項１に記載の光導波路の製造
方法。
【請求項６】前記基板上の撥油性表面が中間被膜によ
り形成され、高分子光導波路形成後に、前記中間被膜が
除かれてなる請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項７】前記中間被膜が、水溶性高分子膜よりな
る請求項６に記載の光導波路の製造方法。
【請求項８】前記クラッド樹脂層上に中間被膜が形成
され、前記中間被膜が高分子光導波路形成後に前記中間
被膜が除かれてなる請求項１に記載の光導波路の製造方
法。
【請求項９】前記反応性油液状プレポリマーの表面張
力により、前記高分子光導波路の端面が凸球面をなして
なる請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１０】反応性油液状プレポリマーに対し撥油
性領域を有する基板上に、前記反応性油液状プレポリマ
ーに対し親油性領域の光導波路パターンを形成し、反応
性油液状プレポリマーを前記基板上に塗布して前記光導
波路パターン上に前記反応性油液状プレポリマーを形成
し、前記光導波路パターン上の前記反応性油液状プレポ
リマーを硬化する光導波路の製造方法。